JPH11203890A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH11203890A
JPH11203890A JP10000226A JP22698A JPH11203890A JP H11203890 A JPH11203890 A JP H11203890A JP 10000226 A JP10000226 A JP 10000226A JP 22698 A JP22698 A JP 22698A JP H11203890 A JPH11203890 A JP H11203890A
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JP
Japan
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column
signal
memory cell
block
sub
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JP10000226A
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English (en)
Inventor
Narihito Yamagata
整人 山形
Akira Yamazaki
彰 山崎
Shigeki Tomishima
茂樹 冨嶋
Makoto Hatanaka
真 畠中
Masashi Matsumura
雅司 松村
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Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd
Mitsubishi Electric Corp
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    • G11C29/808Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved layout using a flexible replacement scheme

Abstract

(57)【要約】 【課題】 冗長メモリセル列への置換を行なった場合で
も、バス幅の広いブロック書込動作を可能とする半導体
記憶装置を提供する。 【解決手段】 サブブロック0に含まれる列は第1およ
び第2のグループに分割される。第1のグループ中に不
良メモリセル列が存在する場合、アドレス比較回路45
0により、冗長メモリセル列を選択するための信号SP
Aが活性化すると、プログラミング回路500中にプロ
グラムされていた情報に応じて、信号/NED−1が
“L”レベルとなり、第1のグループの列の選択は禁止
され、冗長メモリセル列選択信号SCSLは活性化され
る。一方、第2の列グループに対しては、通常どおりの
選択動作が行なわれる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体記憶装置に
関し、特に、半導体記憶装置のデータ書込回路の構成に
関する。より特定的には、この発明は、通常の書込動作
よりも多くのメモリセルに、同一のデータを同時に書込
む動作モードを有する半導体記憶装置の構成に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、グラフィックス分野等において半
導体メモリが多数使用されるようになっている。このよ
うな半導体メモリに対しては、「ブロック書込」といわ
れる機能が要求されるようになっている。たとえば、S
GRAM(Synchronous Graphic Random Access Memor
y)においては、画面クリア等の高速化に有利な機能と
して、上記「ブロック書込」動作モードを有するものが
ある。
【0003】一方で、グラフィックスデータを処理する
ことに対応したDRAM(DynamicRandom Access Memor
y)/ロジック回路混載チップにおける、DRAMコア
等においても、上述したような「ブロック書込」という
機能が要求される。
【0004】このようなブロック書込機能は、DRAM
の動作からいうと、通常の書込動作よりも多くのメモリ
セルに、同一のデータを同時に書込むという機能に対応
する。
【0005】図16は、従来のブロック書込機能を有す
る半導体記憶装置5000の構成の概略を示すブロック
図である。
【0006】半導体記憶装置5000においては、4つ
のメモリセルアレイマット♯M0〜M3が配置される。
各メモリセルアレイマットには、行列状にメモリセルが
配置されている。各メモリセルアレイマットに対応し
て、行デコーダ5110および列デコーダ5200が設
けられている。行デコーダ5110は、外部から与えら
れたアドレス信号に応じて、対応する行(ワード線)を
選択し、列デコーダ5200は、外部から与えられるア
ドレス信号に従って、対応する列の選択を行なう。
【0007】各メモリセル列に対応して、ビット線対B
L,/BL(図示せず)が配置され、列デコーダ520
0は、書込動作において、選択された列に対応するビッ
ト線対BL,/BLに対して、書込データを与える。
【0008】図17は、図16に示した列デコーダ52
00の構成をより詳しく説明するための概略ブロック図
である。
【0009】列アドレスバッファ5202は、外部から
与えられた列アドレス信号に従って、内部列アドレス信
号CA0,/CA0〜CAm,/CAmを発生する。列
プリデコーダ5204は、内部列アドレス信号CA0,
/CA0〜CAm,/CAmを受けて、プリデコード信
号を出力する。列デコーダ5200は、列プリデコーダ
5204からのプリデコードされた内部列アドレス信号
を受けて、対応するメモリ列を選択する列選択信号発生
回路5206a〜5206dとを含む。
【0010】図17に示した例においては、図16に示
したメモリセルアレイマット♯M3に対応する列選択信
号発生回路5206a〜5206dの構成(図16にお
いて、楕円で囲んだ領域に相当)が示されている。
【0011】すなわち、図16および図17を参照し
て、メモリセルアレイマット♯M3は、他のメモリセル
アレイマット♯M0〜♯M2と同様に、4つのサブブロ
ック、つまり、サブブロック0〜サブブロック3に分割
されている。各サブブロックは、メモリセルアレイマッ
ト♯M3に含まれる列を、それぞれ4等分して含んでい
るものとする。
【0012】列選択信号発生回路5206a〜5206
dは、それぞれサブブロック0〜サブブロック3に対応
して設けられている。
【0013】また、サブブロック0〜サブブロック3に
は、それぞれ冗長列が1列ずつ含まれている。
【0014】列選択信号発生回路5206aは、プリデ
コードされた内部列アドレス信号を受けて、予め記憶し
ている不良アドレスとプリデコードされた内部列アドレ
ス信号とが一致する場合、冗長メモリセル列を活性化す
るためのスペアアクティブ信号SPAを活性化するアド
レス比較回路5230と、スペアアクティブ信号SPA
を受けて、反転した信号を出力するインバータ5228
と、プリデコードされた内部列アドレス信号と、インバ
ータ5228の出力および外部から与えられるアドレス
信号に応じて、サブブロック0が選択されたときに活性
状態(“H”レベル)となるサブブロック活性化信号S
BA0とを受けて、その論理積に応じた列選択信号CS
L1を出力するAND回路5210とを含む。
【0015】列選択信号CSL1に応じて、対応するサ
ブブロック0内のメモリセル列が選択される。
【0016】サブブロック0内の第2番目のメモリセル
列を選択するための列選択信号CSL2は、信号SBA
0、プリデコードされた内部列アドレス信号およびイン
バータ5228の出力の論理積を演算するAND回路5
220から出力される。
【0017】以下、順次サブブロック0内に含まれるメ
モリセル列に対応する列選択信号CSLi(i=1〜
n)に対応して、AND回路5210と同様のAND回
路が設けられる。たとえば、サブブロック0に含まれる
n個目のメモリセル列に対応する列選択信号CSLnは
信号SBA0、プリデコードされた内部列アドレス信号
およびインバータ5228の出力を受けるAND回路5
224から出力される。
【0018】列選択信号発生回路4206aは、さら
に、スペアアクティブ信号SPAおよびサブブロック活
性化信号SBA0を受けて、冗長メモリセル列を選択す
る信号SCSLを出力するAND回路5226を含む。
【0019】すなわち、プリデコードされた内部列アド
レス信号が、アドレス比較回路5230に不揮発的に記
録されている不良アドレスと一致する場合は、スペアア
クティブ信号SPAが活性状態(“H”レベル)とな
る。これに応じて、インバータ5228から出力される
信号は“L”レベルとなるため、AND回路5210〜
5224から出力される列選択信号CSL1〜CSLn
はいずれも不活性状態(“L”レベル)となる。
【0020】これに対して、信号SPAが活性状態とな
り、かつ、サブブロック活性化信号SBA0も活性状態
(“H”レベル)であることに応じて、冗長メモリセル
列を選択する信号SCSLの活性状態(“H”レベル)
となる。
【0021】これに対し、プリデコードされた内部列ア
ドレス信号がアドレス比較回路5230中に記録されて
いる不良アドレスと一致しない場合は、スペアアクティ
ブ信号SPAは不活性状態(“L”レベル)である。こ
のため、インバータ5228から出力される信号のレベ
ルは“H”レベルとなる。このため、プリデコードされ
た内部列アドレス信号の値に応じて、各メモリセル列に
応じて設けられているAND回路5210〜5224の
うちのいずれかから出力される列選択信号CSLi(i
=1〜n)が活性状態となって、対応するメモリセル列
が選択されることになる。
【0022】以上のようにして、サブブロック0中に不
良なメモリセルを含むメモリセル列が存在する場合は、
予めアドレス比較回路5230に、その不良アドレスを
記憶させておくことで、不良アドレスに対応するメモリ
セル列は、冗長メモリセル列に置換されることになる。
【0023】サブブロック1〜サブブロック3に応じて
設けられている列選択信号発生回路5206b〜520
6dについても、全く同様の構成が設けられている。
【0024】ここで、サブブロック1〜サブブロック3
のそれぞれは、外部から与えられるアドレス信号に応じ
て、サブブロック活性化信号SBA1〜SBA3がそれ
ぞれ活性状態となることによって選択され、サブブロッ
ク内のメモリセル列が選択されることになる。
【0025】図16および図17に示したような半導体
記憶装置5000の構成において、通常の読出/書込動
作においては、選択されたサブブロック内で1つの列選
択信号CSLiが活性化され、1つの列だけが選択され
る。非選択のサブブロックにおいては列選択信号はいず
れも活性化されない。
【0026】たとえば、4つのサブブロックのうち、2
つのサブブロックが活性化され、2つのサブブロックが
非活性である場合、1つのメモリセルアレイマットにお
いては、同時に2つのメモリセル列が選択される。
【0027】これに対して、上述したブロック書込モー
ドにおいては、4つのサブブロックがすべて活性化さ
れ、すなわちすべてのサブブロック活性化信号SBL0
〜SBL3が“H”レベルとなり、1つのメモリセルア
レイマットにおいて4つのメモリセル列が同時に選択さ
れる。
【0028】このような動作を行なうことで、ブロック
書込動作においては、通常の書込動作に比べて、2倍の
量のメモリセルに対してデータが同時に書込まれること
になる。
【0029】ところで、上述したようなSGRAM等に
おいては、より高速な画像データ処理のために、外部と
の間でデータをやり取りするデータバスのバス幅(1度
にやり取りされるデータのビット数)を大きくできれ
ば、高速データ転送に有利である。
【0030】さらには、近年注目されているDRAM/
ロジック回路混載チップにおいては、DRAMとロジッ
ク間の内部データバス幅を大きくとることによって、D
RAMとロジック間のデータ転送レートを上げることが
可能なことがその特徴の1つとなっている。
【0031】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図17
において説明したような方式でブロック書込動作モード
を実現している場合、DRAMにおいて、外部との間で
データのやり取りを行なうバス幅(DRAM/ロジック
回路混載チップにおいては内部バス幅)を大きくするこ
とが困難であるという問題がある。
【0032】すなわち、「バス幅が大きい」ということ
は、1つのメモリセルアレイマットに対して、多くのデ
ータを同時に読出/書込できるということを意味する。
そのためには、1つのメモリセルアレイマット内ででき
るだけ多くの列選択信号を同時に活性化させる必要があ
る。
【0033】しかしながら、図17に示した構成におい
ては、1つのメモリセルアレイマット内で同時に活性化
できる列選択信号の数(同時に選択できるメモリセル列
の数)は、メモリセルアレイマットを分割したサブブロ
ック数によって規定されている。
【0034】ところで、上述したように、1つのサブブ
ロックは、冗長メモリセル列との置換を行なうための単
位となっている。つまり、このサブブロックの数をいた
ずらに増やすことは、メモリセルアレイマット内に含ま
れる正規のメモリセル列に対する冗長メモリセル列の割
合を増加させることを意味する。したがって、メモリセ
ルアレイ面積の増大を抑制しつつ、このサブブロック数
を増加させることには限界が存在することになる。
【0035】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたものであって、その目的は、ブロック
書込動作が可能な半導体記憶装置において、バス幅(内
部バス幅)を増大させることが可能な半導体記憶装置を
提供することである。
【0036】この発明の他の目的は、チップ面積の増大
を抑制しつつ、高速なブロック書込動作を行なうことが
可能な半導体記憶装置を提供することである。
【0037】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の半導体記
憶装置は、ブロック書込モードを有する半導体記憶装置
であって、各々が、行列状に配列された複数のメモリセ
ルを含む少なくとも1つのメモリセルアレイマットを備
え、各メモリセルアレイマットは、各々が複数のメモリ
セル列を含む複数のサブブロックを含み、各サブブロッ
クは、各々が複数のメモリセル列を有する、複数の列グ
ループと、サブブロック中のメモリセルのうち、不良な
メモリセルを含むメモリセル列と置換するための冗長メ
モリセル列とを有し、外部からのアドレス信号に応じ
て、メモリセルアレイマット中の対応するメモリセル列
を選択する列選択手段をさらに備え、列選択手段は、外
部からの動作モード指定信号に応じて指定されるブロッ
ク書込モードにおいては、列グループ毎に1つの対応す
るメモリセル列を選択する列選択信号を発生する列選択
信号発生手段と、列選択信号が、不良なメモリセルに対
応する不良アドレスと一致する場合、対応する冗長メモ
リセル列を選択し、かつ、不良アドレスに対応する列グ
ループへの列選択信号を不活性化する列置換手段とを含
み、ブロック書込モードが指定されている期間におい
て、アドレス信号に従って対応するメモリセル行を選択
し、外部から与えられた書込データを、選択されたメモ
リセル行および選択されたメモリセル列に対応する複数
のメモリセルに同時に書込む書込手段をさらに備える。
【0038】請求項2記載の半導体記憶装置は、請求項
1記載の半導体記憶装置の構成において、列置換手段
は、不良アドレスを不揮発的に記憶し、列選択信号が不
良アドレスに一致する場合、冗長メモリセル列を選択す
る冗長列選択信号を活性化する比較手段と、不良アドレ
スに対応する列アドレスを不揮発的に記憶し、冗長列選
択信号の活性化に応じて、対応する列グループの選択動
作を禁止する選択不能化信号を活性化するプログラム手
段とを含む。
【0039】請求項3記載の半導体記憶装置は、請求項
2記載の半導体記憶装置の構成において、プログラム手
段は、不良アドレス記憶手段を含み、不良アドレス記憶
手段は、活性レベルに対応する第1の電位を受ける第1
の電源ノードと、不活性レベルに対応する第2の電位を
受ける第2の電源ノードと、第1および第2の電源ノー
ドに直列に接続される抵抗体およびヒューズ素子とを有
し、ヒューズ素子および抵抗体の接続ノードの電位が活
性レベルであり、かつ、冗長列選択信号が活性レベルで
あることに応じて、選択不能化信号を活性化する論理ゲ
ートをさらに含む。
【0040】請求項4記載の半導体記憶装置は、請求項
1記載の半導体記憶装置の構成において、冗長メモリセ
ル列は、サブブロック毎にm個(m:自然数、m≧2)
設けられ、列置換手段は、冗長メモリセル列毎に対応し
て設けられ、各列置換手段は、不良アドレスを不揮発的
に記憶し、列選択信号が不良アドレスに一致する場合、
対応する冗長メモリセル列を選択する冗長列選択信号を
活性化する比較手段と、不良アドレスに対応する列アド
レスを不揮発的に記憶し、冗長列選択信号の活性化に応
じて、対応する列グループの選択動作を禁止する選択不
能化信号を活性化するプログラム手段とを含む。
【0041】請求項5記載の半導体記憶装置は、請求項
1記載の半導体記憶装置の構成において、列選択手段
は、外部からの制御信号に応じて、ライトマスク動作が
指定された場合、ライトマスク動作が指定されたサブブ
ロックに対する列選択動作を不能化する列選択マスク制
御手段をさらに備える。
【0042】請求項6記載の半導体記憶装置は、請求項
5記載の半導体記憶装置の構成に加えて、書込手段は、
ライトマスク動作が指定された場合、ライトマスク動作
が指定されたサブブロックに対するデータ書込動作を不
能化するライトマスク制御手段をさらに備える。
【0043】請求項7記載の半導体記憶装置は、請求項
5記載の半導体記憶装置の構成に加えて、外部からの制
御信号に応じて、読出モードが指定されることに応じ
て、列選択マスク制御手段を不活性化する手段をさらに
備える。
【0044】請求項8記載の半導体記憶装置は、請求項
1から7いずれか1項に記載の半導体記憶装置の構成に
おいて、書込手段は、第1の電流駆動能力を有する第1
のデータ駆動手段と、第2の電流駆動能力を有する第2
のデータ駆動手段と、ブロック書込動作が指定されるこ
とに応じて、第1および第2のデータ駆動手段を並列に
駆動して、データ書込を行なわせる切換手段とを含む。
【0045】
【発明の実施の形態】[実施の形態1]図1は、この発
明の実施の形態のダイナミック型半導体記憶装置(以
下、DRAMと呼ぶ)の構成を示す概略ブロック図であ
る。
【0046】なお、以下の説明で明らかとなるように、
DRAM1000は、単独で1チップ上に集積化された
構成であってもよいし、1チップ上にロジック回路とと
もに混載される、DRAM/ロジック回路混載チップ上
におけるDRAM回路であってもよい。
【0047】DRAM1000は、外部からのアドレス
信号Ext.A0〜Ext.Ajを受けて内部アドレス
信号を生成するアドレスバッファ102と、行列状に配
置された複数のメモリセルを有し、サブブロック0〜サ
ブブロック3に分割されたメモリセルアレイマット30
0と、アドレスバッファ102からの内部行アドレス信
号を受けてプリデコードする行プリデコーダおよび行プ
リデコーダからのプリデコードされた行アドレス信号に
応じて、メモリセルアレイマット300中の対応する行
を選択する行デコーダ(以下では、行プリデコーダおよ
び行デコーダを合わせて行プリデコーダ+行デコーダ1
10と表わす)と、アドレスバッファ102からの内部
列アドレス信号を受けて、プリデコードする列プリデコ
ーダ104と、列プリデコーダ104の出力を受けて、
メモリセルアレイマット300中の対応する列あるいは
サブブロック毎に設けられている冗長列を選択するため
の列デコーダ200と、列プリデコーダ104からの出
力を受けて、サブブロック選択信号SBA0〜SBA3
を生成するSBA生成回路106と、外部からの制御信
号を受けて、動作モードを指定するコマンド信号Sco
mを出力する命令生成回路302と、信号Scomと、
外部から与えられる外部クロック信号Ext.CLKを
受けて、DRAM1000の回路動作を制御する内部制
御信号int.CTSを出力する制御回路304とを含
む。
【0048】命令生成回路302から出力される信号S
comには、たとえば、読出モードにおいて活性化する
信号RSや、ブロックライト動作時において活性化する
ブロック書込活性化信号BWE等が含まれる。
【0049】DRAM1000は、さらに、外部から与
えられるデータマスク信号DQM0〜DQM3を受ける
データマスクバッファ306と、データマスクバッファ
306から出力されるデータマスク信号DQM0〜DQ
M3を受けて、命令生成回路から出力される読出モード
指定信号RSに制御されて、信号DM0〜DM3を出力
するデータマスク信号制御回路310と、データマスク
信号制御回路310から出力される信号DM0〜DM3
に制御されて、サブブロック活性化信号SBA0〜信号
SBA3を列デコーダ200に対して出力するサブブロ
ック信号制御回路312と、外部から与えられるデータ
DQを受けて、内部に書込データを与え、または内部か
ら読出されたデータを受けて、外部に信号DQとして出
力する入出力バッファ314と、外部から与えられたD
Qとして、入出力バッファ314が与えられる書込デー
タを受けて、データマスク信号制御回路312により制
御されて、メモリセルアレイマット300に対して書込
データを与える書込ドライバ回路316と、メモリセル
アレイマット300中の選択されたメモリセルから読出
されたデータを受けて増幅し、入出力バッファ回路31
4に与える読出アンプ318とを備える。
【0050】後の説明で明らかとなるように、外部から
の制御信号に応じて、読出モードが指定されている期間
中(信号RSが活性状態(”H”レベル)である期間
中)は、データマスク信号制御回路310から出力され
る信号DM0〜DM3は、いずれも不活性レベル
(“L”レベル)であり、これに応じて、サブブロック
信号制御回路312は、SBA生成回路106から出力
された信号SBA0〜SBA3をそのまま、列デコーダ
200に対して出力する。
【0051】これに対して、たとえば、ブロック書込動
作モードが指定されており、信号RSが不活性レベル
(“L”レベル)である期間中は、データマスク信号制
御回路310は、書込ドライバ316およびサブブロッ
ク信号制御回路312に対して、外部から与えられた信
号DQM0〜DQM3に対応するレベルの信号DM0〜
DM3を出力する。
【0052】これに応じて、書込ドライバ316におい
ては、データマスク動作が指定されたサブブロックに対
応するデータ書込動作が禁止され、列デコーダ200に
おいては、サブブロック信号制御回路312より制御さ
れて、データマスク動作が指定されたサブブロックに対
しての列選択動作が禁止される。
【0053】なお、図1においては、メモリセルアレイ
マットが1つの場合について示しているが、本発明はこ
のような場合に限定されることはなく、たとえば図16
において示したとおり、メモリセルアレイマットが4つ
の場合に対しても、あるいはより一般的には、複数個の
メモリセルアレイマットを含むDRAMに対して適用す
ることが可能である。
【0054】また、図1にし示した例では、SBA生成
回路106から出力された信号は、サブブロック信号制
御回路312を経由して、列デコーダ200に与えられ
る構成となっているが、SBA生成回路106から出力
された信号が、直接列デコーダ200に与えられる構成
であってもよい。以下では、まず、SBA生成回路10
6から出力された信号が、直接列デコーダ200に与え
られる構成である場合について説明する。
【0055】図2は、図1に示したメモリセルアレイマ
ット300の構成をより詳細に示す回路図である。
【0056】メモリセルアレイマットは、サブブロック
0〜サブブロック3に分割されている。
【0057】サブブロック0は、行列状に配置されたD
RAMセルMCと、各メモリセル列に対応して設けられ
るビット線対とを含む。
【0058】図2においては、サブブロック0中におい
て、2つのメモリセル列に対応するビット線対BL1,
/BL1およびBL2,/BL2のみを例示的に示して
いる。
【0059】サブブロック0は、さらに、冗長メモリセ
ル列に対応して設けられるビット線対SBL,/SBL
と、各メモリセル列のビット線対に対応して設けられ、
選択されたメモリセルから読出されたデータを増幅する
センスアンプ400と、対応する列選択信号CSLi
(i=1〜n)により制御され、ビット線対と対応する
ローカルIO線対L−I/Oとの接続を開閉するスイッ
チ回路402とを含む。
【0060】たとえば、ビット線対BL1,/BL1
は、列選択信号CSL1により制御されるスイッチ回路
402により、ローカルIO線対L−I/Oに選択的に
接続される。
【0061】他のビット線対および冗長メモリセル列の
ビット線対についても同様の構成である。
【0062】すなわち、ビット線対BLi,/BLi
(i=1、…、n)は、列選択信号CSLiにより制御
されるスイッチ回路402により、ローカルIO線対L
−I/Oに接続される。同様にして、冗長ビット線対S
BL,/SBLは、信号SCSLにより制御されるスイ
ッチ回路402により、ローカルIO線対L−I/Oに
接続される。
【0063】ローカルIO線対L−I/Oは、外部から
与えられるアドレス信号に応じて制御されるスイッチ回
路410により、グローバルIO線対G−I/Oと選択
的に接続される。
【0064】スイッチ回路402およびスイッチ回路4
10は、ともに、たとえば、ゲートに制御信号を受ける
NチャネルMOSトランジスタの対で構成することが可
能である。
【0065】グローバルI/O線対G−I/Oは、外部
から与えられるデータに従って、グローバルI/O線対
G−I/Oの電位レベルを駆動する書込ドライバ回路3
16aと接続している。
【0066】グローバルI/O線対G−I/Oは、ま
た、選択されたメモリセルからの読出データに応じて、
センスアンプにより増幅されたデータにより駆動された
グローバルIO線対G−I/Oの電位レベルを受けて、
入出力バッファ314に与える読出アンプ回路318a
とも接続している。
【0067】書込ドライバ回路316aは、図1に示し
た書込ドライバ回路316に含まれ、読出アンプ318
aは、図1に示した読出アンプ回路318に含まれてい
る。
【0068】サブブロック1〜サブブロック3について
も全く同様の構成が設けられている。
【0069】[ブロックライトを行なう場合の列デコー
ダの構成]図3は、図1に示したDRAM1000の構
成のうち、列選択動作を行なう回路部分の構成を示す回
路図である。
【0070】アドレスバッファ102中に含まれる列ア
ドレスバッファ102cは、外部から与えられるアドレ
ス信号Ext.Add(Ext.A0〜Ext.Aj)
を受けて、内部アドレス信号CA0,/CA0〜CA
m,/CAmを出力する。ここで、内部列アドレス信号
CAx,/CAx(x=0〜n)は、互いに相補なレベ
ルの信号である。
【0071】列アドレスバッファ102cから、列プリ
デコーダ104に与えられる内部列アドレス信号のう
ち、信号CAxは、一方の入力ノードにブロック書込活
性化信号BWEを受けるNOR回路420の他の入力ノ
ードに入力し、このOR回路420の出力が列プリデコ
ーダ104に与えられる。一方で、信号/CAxは、一
方の入力ノードにブロック書込活性化信号BWEを受け
るOR回路422の他の入力ノードに入力し、このOR
回路422の出力が列プリデコーダ104に出力される
構成となっている。
【0072】すなわち、ブロック書込活性化信号BWE
が不活性状態(“L”レベル)である期間中は、OR回
路420および422は、それぞれ受取った信号CAx
または信号/CAxのレベルに応じた信号を、列プリデ
コーダ104に対して出力する。
【0073】ところが、ブロック書込動作が指定され、
ブロック書込活性化信号BWEが活性状態(“H”)レ
ベルとなると、内部列アドレス信号CAx,/CAxの
レベルにかかわりなく、OR回路420および422か
ら出力される信号は“H”レベルとなる。
【0074】これは、言換えると、通常動作時において
は、信号CAx,/CAxで区別されていたメモリセル
列に対応する列選択信号が双方ともブロック書込動作に
おいては活性化することになる。
【0075】つまり、ブロック書込動作時には、サブブ
ロック内において2つのメモリセル列に対応する列選択
信号が活性化されることになる。
【0076】このような構成とすることで、図2に示し
たサブブロック0においては、2つのメモリセル列に対
応するビット線対が、1つのローカルI/O線対L−I
/Oに同時に接続されることになる。
【0077】通常動作時においては、同一のローカルI
/O線対L−I/Oに複数のビット線対を同時に接続さ
せることは許されない。これは、読出時においては、ビ
ット線から読出されたデータがローカルI/O線対L−
I/O上で衝突することによりデータ破壊を起こしてし
まうためである。
【0078】ところが、上述したとおり、ブロック書込
動作時においては、同一のローカルI/O線対L−I/
Oに2本またはそれ以上のメモリセル列を接続すること
によって、バス幅(あるいは内部バス幅)が大きい構成
のDRAMにおいても、通常の書込動作よりも多くのメ
モリセルに、同一のデータを同時に書込むことが可能と
なる。
【0079】図4は、このようなブロック書込動作を外
部から指定する際の外部制御信号のタイミングを示すた
めのタイミングチャートである。
【0080】すなわち、時刻t1において、外部クロッ
ク信号Ext.CLKが立上がる際に、外部から命令生
成回路302に与えられるコマンド信号によりブロック
書込モードが指定される。このとき、書込が行なわれる
列アドレスの信号Ext.Addおよび、書込を行なう
ためのデータDQも同時にDRAM1000に対して与
えられる。
【0081】また、後に説明するように、データ書込時
においてデータマスク動作を指定する場合は、この時刻
t1において、データマスクを行なうサブブロックを指
定するための信号DQN0〜DQN3が、DRAM10
00に対して与えられる。
【0082】以上説明したとおり、図3に示したような
構成とすることで、たとえば、サブブロック数が4つの
場合においても、同時に8個のメモリセルに対して同一
のデータの書込を行なうことが可能となる。
【0083】しかしながら、集積度が向上したDRAM
においては、製造工程中において発生した不良メモリセ
ルを含むメモリセル列を救済するために、一般に冗長メ
モリセル列が設けられる構成となっている。
【0084】すなわち、図2に示したとおり、一般に
は、正規のビット線対BL1,/BL1〜BLn,/B
Lnの他に、冗長メモリセル列に対応するビット線対S
BL,/SBLが設けられるのが一般的である。
【0085】したがって、列デコーダ200の構成とし
ては、図3に示したような列デコーダ200aの構成だ
けでは不十分である。
【0086】図5は、このような冗長メモリセル列の選
択を可能とするために、冗長メモリセル列選択信号SC
SLを出力する構成をさらに備える列デコーダ200b
の構成を示す回路図である。
【0087】列デコーダ200bにおいて、サブブロッ
ク0に対応して設けられる列デコーダ200b0は、列
プリデコーダ104から出力されるプリデコードされた
列アドレス信号を受けて、予め記憶された不良メモリセ
ルを含む不良メモリセル列のアドレスとの比較を行な
い、不良アドレスとプリデコードされた内部列アドレス
信号とが一致する場合、スペアアクティブ信号SPAを
活性化するアドレス比較回路450と、信号SPAを受
けて、反転した信号/NEDを出力するインバータ44
2と、プリデコードされた内部列アドレス信号、信号/
NEDおよびサブブロック活性化信号SBA0を受け
て、列選択信号CSL1を出力するAND回路430を
含む。AND回路430は、不良メモリセル列が選択さ
れ、スペアアクティブ信号SPAが活性化されると、プ
リデコードされた内部列アドレス信号およびサブブロッ
ク活性化信号SBA0の値とかかわりなく、列選択信号
CSL1の値を不活性レベル(“L”レベル)とする。
【0088】デコード回路200b0は、さらに、列選
択信号CSL2〜CSLnに対応して、AND回路43
0と同様の構成を有するAND回路432〜434を含
む。
【0089】デコーダ回路200b0は、さらに、スペ
アアクセス信号SPAおよびサブブロック活性化信号S
BA0を受けて、冗長メモリセル列選択信号SCSLを
出力するAND回路440を含む。
【0090】すなわち、プリデコードされた内部列アド
レスが不良列アドレスと一致し、スペアアクティブ信号
SPAが活性化し、かつサブブロック活性化信号SBA
0が活性化している状態では、冗長メモリセル列選択信
号SCSLが活性状態(“H”レベル)となる。
【0091】つまり、デコーダ200b0は、プリデコ
ードされた内部列アドレス信号が不良列アドレスと一致
しない場合は、与えられたプリデコードされた内部列ア
ドレス信号に応じて、対応するメモリセル列を選択する
ための列選択信号CSLi(i=1n)のいずれかを活
性状態とし、プリデコードされた内部列アドレス信号が
不良列アドレスと一致する場合は、列アドレス信号CS
L1〜CSLnはすべて不活性状態とし、冗長メモリセ
ル列選択信号SCSLを活性状態とする。
【0092】図5に示したような構成とすることで、通
常動作モードにおいては、問題なく正規のメモリセル列
と冗長メモリセル列との置換が行なわれる。
【0093】しかしながら、ブロック書込動作が指定さ
れ、かつ1つのサブブロック内において、2つのメモリ
セル列を同時に選択しようとすると、以下に説明するよ
うな問題が生じる。
【0094】すなわち、上述したとおり、選択されたサ
ブブロックにおいて、入力アドレスと不良アドレスが一
致し、アドレス比較回路450によってスペアアクティ
ブ信号SPAが活性化したとすると、そのサブブロック
において、信号SCSLが活性化され、信号SCL1〜
SCLnは、信号/NEDが“L”レベルであるため、
すべて不活性状態となる。これでは、ブロック書込動作
においても、冗長メモリセル列を使用する場合は、列選
択信号CSL1〜CSLnはすべて不活性とされてしま
うので、サブブロック当り複数個の列選択信号を同時に
活性化させることができなくなってしまう。
【0095】図6は、このような問題を解決するための
列デコーダ200cの構成を示す回路図である。
【0096】図6に示した列デコーダ回路200cの構
成が、図5に示した列デコーダ回路200bの構成と異
なる点は以下のとおりである。
【0097】すなわち、列デコーダ回路200c中にお
いて、サブブロック0に対応して設けられるデコーダ回
路200c0は、予め、不揮発的に不良列アドレスを記
憶しておき、列プリデコーダ回路104から与えられる
プリデコードされた内部列アドレス信号が不良列アドレ
スと一致する場合は、スペアアクティブ信号SPAを活
性化するアドレス比較回路450と、予め不揮発的にプ
ログラムされた状態に応じて、出力する信号N1および
N2を互いに相補なレベルに保持するプログラム回路5
00と、信号N1および信号SPAを受けて、信号/N
ED−1を出力するNAND回路502と、信号N2と
信号SPAとを受けて、信号/NED−2を出力するN
AND回路504と、それぞれが、列選択信号CSL1
〜CSLn/2に応じて設けられ、各々がプリデコード
された内部列アドレス信号と、信号/NED−1および
信号SBA0を受けるAND回路452〜454と、そ
れぞれが列選択信号CSLn/2+1〜CSLnに対応
して設けられ、各々がプリデコードされた内部列アドレ
ス信号と信号/NED−2と、サブブロック活性化信号
SBA0とを受けるAND回路456〜458と、信号
SBAおよび信号SBA0とを受けて、信号SCSLを
出力するAND回路460とを含む。
【0098】すなわち、図6に示した構成においては、
冗長メモリセル列を使用する場合に、正規の列選択信号
CSL1〜CSLnを不活性にする信号を2系統の信号
/NED−1,/NED−2に分けている。
【0099】信号/NED−1,/NED−2は、ブロ
ック書込時において、無効されるアドレスCAxで区別
される2つの列選択信号のグループ、すなわち列選択信
号CSL1〜CSLn/2のグループと、列選択信号C
SLn/2+1〜CSLnのグループとの各々に対応す
る、2つのAND回路のグループにそれぞれ入力してい
る。
【0100】すなわち、列選択信号CSL1〜CSLn
/2を出力するAND回路452〜454のグループに
対しては、信号/NED−1が入力し、信号CSLn/
2+1〜CSLnを出力するAND回路456〜458
に対しては、信号/NDE−2が入力する構成となって
いる。
【0101】冗長メモリセル列を使用するときに、信号
/NED−1および/NED−2のどちらを“L”レベ
ルとするかは、プログラム回路500に予めプログラム
されている。
【0102】すなわち、プログラム回路500は、その
出力する信号N1またはN2のいずれか一方のみを
“H”レベルとし、他方を“L”レベルとする。
【0103】たとえば、今通常動作時において、信号C
Ax=“L”レベルであることが、信号CSL1〜CS
Ln/2のいずれかが活性状態となることに対応し、信
号CAx=“H”レベルであることが、信号CSLn/
2+1〜CSLnのいずれかが活性状態となることに対
応するものとする。
【0104】このとき、不良メモリセル列がCSLn/
2+1〜CSLnのいずれかの信号により活性化される
メモリセル列に含まれているとすると、その不良アドレ
スのCAxは“H”レベルである。このとき、プログラ
ミング回路500の出力する信号レベルを、信号N1が
“L”レベルで、信号N2が“H”レベルとなるように
設定しているものとする。このとき、入力アドレスと不
良アドレスとが一致し、アドレス比較回路450によっ
て、スペアアクティブ信号SPAが活性化し、信号SC
SLが活性化された場合、それと同時に、信号/NED
−1は“H”レベルに、信号/NED−2は“L”レベ
ルとなり、不良メモリセル列が含まれている側の、列選
択信号CSLn/2+1〜CSLnのグループは、その
レベルがすべて不活性状態となる。
【0105】したがって、ブロック書込動作時において
も、冗長メモリセル列選択信号SCSLが活性化となる
とともに、列選択信号CSL1〜CSLn/2のうちか
ら、いずれかの列選択信号が1つ活性状態となる。
【0106】すなわち、冗長メモリセル列に対して、置
換動作が行なわれている場合でも、ブロック書込動作時
には、2つのメモリセル列が同時に選択されることとな
る。
【0107】不良メモリセル列が列選択信号CSL1〜
CSLn/2に対応するメモリセル列に含まれている場
合は、その不良アドレスの信号CAxは“L”レベルで
ある。このときは、プログラミング回路500の出力す
る信号レベルを、不揮発的に信号N1が“H”レベル
に、信号N2が“L”レベルとなるように設定してお
く。このようにしておくことで、入力アドレスと不良ア
ドレスとが一致し、冗長メモリセル列選択信号SCSL
が活性化された場合、信号/NED−1は“L”レベル
に、信号NED−2は“H”レベルとなって、不良メモ
リセル列が含まれているメモリセル列のグループに対応
する列選択信号CSL1〜CSLn/2の方がすべて不
活性状態とされる。
【0108】したがって、この場合においても、ブロッ
ク書込動作時においては、冗長メモリセル列選択信号S
CSLとともに、列選択信号CSLn/2+1〜CSL
nのうちから1つの列選択信号が同時に活性化されるこ
とになる。
【0109】以上のような構成とすることで、不良メモ
リセルを含むメモリセル列を、冗長メモリセル列と置換
した場合においても、ブロック書込動作において、各サ
ブブロックごとに複数のメモリセル列を同時に選択する
ことが可能となり、バス幅(内部バス幅)の大きなDR
AMにおいても、ブロック書込動作を行なうことが可能
となる。
【0110】しかも、図6に示したような構成において
は、サブブロックの数を増加させる必要がないため、メ
モリセルアレイの面積の増加を抑制することが可能とな
る。
【0111】図7は、図6に示したアドレス比較回路4
50の構成を示す回路図である。以下では、簡単のため
に、サブブロック内の列は、プリデコードされた内部列
アドレス信号(以下、プリデコード信号と略称する)C
ak,/CakおよびCal,/Calにより指定され
るものとする。
【0112】列アドレス比較回路450は、プリデコー
ド信号Cakをゲートに受け、ソースが接地ノードに接
続されたNチャネルトランジスタ474と、プリデコー
ド信号Calをゲートに受けNチャネルトランジスタ4
74と直列に接続されたNチャネルトランジスタ472
と、プリデコード信号Calをゲートに受け、ソースが
接地ノードに接続されたNチャネルトランジスタ478
と、プリデコード信号/Cakをゲートに受けNチャネ
ルトランジスタ478と直列に接続されたNチャネルト
ランジスタ476と、プリデコード信号/Calをゲー
トに受け、ソースが接地ノードに接続されたNチャネル
トランジスタ482と、プリデコード信号Cakをゲー
トに受けNチャネルトランジスタ482と直列に接続さ
れたNチャネルトランジスタ480と、プリデコード信
号/Calをゲートに受け、ソースが接地ノードに接続
されたNチャネルトランジスタ486と、プリデコード
信号/Cakをゲートに受けNチャネルトランジスタ4
86と直列に接続されたNチャネルトランジスタ484
とを含む。
【0113】ヒューズ群460は、Nチャネルトランジ
スタ472のドレインと充電ノードnqとの間に設けら
れるヒューズ462と、Nチャネルトランジスタ476
のドレインと充電ノードnqとの間に設けられるヒュー
ズ464と、Nチャネルトランジスタ480のドレイン
と充電ノードnqとの間に設けられるヒューズ466
と、Nチャネルトランジスタ484のドレインと充電ノ
ードnqとの間に設けられるヒューズ468とを含む。
【0114】ヒューズ462〜468のいずれか1つが
切断されていれば、プリチャージ信号/PCに応じて行
なわれるノードnqの充電終了後に、プリデコード信号
Cak,/CakおよびCal,/Calが不良アドレ
スに対応するレベルとなったときにのみ、充電ノードか
らは”H”レベルとなる信号SPAが出力される。
【0115】図8は、図6に示したプログラミング回路
500の構成をより詳細に示す回路図である。
【0116】プログラミング回路500は、電源電位V
ccと接地電位GNDとの間に直列に接続される抵抗体
R1およびヒューズ素子F1と、抵抗体R1およびヒュ
ーズ素子F1の接続ノードnpの電位レベルを入力とし
て受けるラッチ回路520とを含む。
【0117】ラッチ回路520は、ノードnpの電位レ
ベルを入力として受けるインバータ522と、インバー
タ522の出力を入力として受け、出力ノードがノード
npと接続するインバータ524とを含む。
【0118】インバータ522の出力が信号N1として
出力され、インバータ524の出力が、信号N2として
出力される。
【0119】すなわち、信号N1および信号N2のレベ
ルは、ノードnpの電位レベルに応じて決定される、互
いに相補な電位レベルとなる。
【0120】図9は、図2に示したサブブロック0の他
の構成を示す回路図である。図2にサブブロック0と、
図9に示したサブブロック0の構成が異なる点は、図2
に示したサブブロック0においては、データ入出力線対
がグローバルI/IO線対G−I/OとローカルI/O
線対L−I/Oからなる階層構造を有しているのに対
し、図9に示したサブブロック0においては、このよう
な階層構造ではなく、I/O線対I/Oに対して、直接
書込ドライバ回路316aと、読出アンプ318aが接
続される構成となっている点である。
【0121】その他の点は、図2に示したメモリセルア
レイマットの構成と同様であるので、同一部分には同一
符号を付してその説明は繰返さない。
【0122】図9に示したようなメモリセルアレイマッ
ト中のサブブロックの構成によっても、図2に示したサ
ブブロックの構成と同様に、サブブロック内の不良メモ
リセルを含むメモリセル列が、冗長メモリセル列に置換
されている場合においても、ブロック書込動作時に、通
常の書込動作よりも多くのメモリセルに同一のデータを
同時に書込むことが可能となる。
【0123】[実施の形態2]図10は、本発明の実施
の形態2のDRAMにおける列選択回路の構成を示すブ
ロック図であり、実施の形態1の図6と対比される図で
ある。
【0124】図10に示した構成においては、ブロック
ライト時に、サブブロックあたり4個のメモリセル列が
同時に活性化される回路構成を示している。
【0125】すなわち、サブブロックあたり4列のメモ
リセル列に対応する列選択信号CSLiを活性化させる
ために、ブロック書込動作時においては、2ビットのア
ドレス(CAx,CAy)を無効とする構成になってい
る。
【0126】すなわち、列アドレスバッファ102cか
ら出力される内部アドレス信号CA0,/CA0〜CA
m,/CAmのうち、信号CAxを一方の入力ノードに
受けるOR回路420および信号/CAxを一方の入力
ノードに受けるOR回路422に加えて、さらに、一方
の入力ノードに信号CAyを、他方の入力ノードにブロ
ック書込活性化信号BWEを受けるOR回路424と、
信号/CAyを一方の入力ノードに、他方の入力ノード
にブロック書込活性化信号BWEを受けるOR回路42
6が設けられる構成となっている。
【0127】OR回路420〜426の出力信号が、列
プリデコーダ104に与えられる。図10に示した列デ
コーダ200dにおいては、正規のメモリセル列に対応
する列選択信号CALiを不活性化する信号が、4系統
の信号/NED−1〜/NED−4に分けられる構成と
なっている。すなわち、列デコーダ200dのうち、サ
ブブロック0に対応して設けられるデコーダ200d0
は、互いに相補な信号N11およびN12を出力する第
1のプログラミング回路500と、互いに相補な信号で
ある信号N21とN22を出力する第2のプログラミン
グ回路506と、第1の入力ノードに信号N22を、第
2の入力ノードに信号N11を、第3の入力ノードにス
ペアアクティブ信号SPAを受けるNAND回路502
と、第1の入力ノードに信号N21を、第2の入力ノー
ドに信号N12を、第3の入力ノードにスペアアクティ
ブ信号SPAを受けるNAND回路504と、第1の入
力ノードに信号N21を、第2の入力ノードに信号N1
1を、第3の入力ノードにスペアアクティブ信号SPA
を受けるNAND回路508と、第1の入力ノードに信
号N22を、第2の入力ノードに信号N12を、第3の
入力ノードにスペアアクティブ信号SPAを受けるNA
ND回路510とを含む。
【0128】デコーダ回路200d0は、さらに、列選
択信号CSL1〜CSL2n/4にそれぞれ対応して設
けられ、各々が、プリデコードされた内部列アドレス信
号と、信号/NED1と、信号SPAとを受けて、信号
CSL1〜CSLn/4をそれぞれ出力するAND回路
550〜552と、列選択信号CSLn/4+1〜CS
Ln/2にそれぞれ対応して設けられ、各々がプリデコ
ードされた内部列アドレス信号と、信号/NED−2
と、信号SPAとを受けて、信号CSLn/4+1〜C
SLn/2をそれぞれ出力するNAND回路554〜5
56と、信号CSLn/2+1〜CSL3n/4にそれ
ぞれ対応して設けられ、各々が、プリデコードされた内
部アドレス信号と、信号/NED−3と、信号SPAと
を受けて、信号CSLn/2+1〜信号CSL3n/4
をそれぞれ出力するAND回路558〜560と、信号
CSL3n/4+1〜CSLnにそれぞれ対応して設け
られ、各々が、プリデコードされた内部列アドレス信号
と、信号/NED−4と、信号SPAとを受けて、信号
CSL3n/4+1〜信号CSLnをそれぞれ出力する
AND回路562〜564と、信号SPAと、サブブロ
ック活性化信号SBA0とを受けて、冗長メモリセル列
活性化信号SCSLを出力するAND回路570とを含
む。
【0129】すなわち、正規なメモリセル列に対応した
列選択信号CSLiを不活性にする信号が4系統に分け
られ、内部アドレス信号CAxと、CAyで区別される
4つのCSLiのグループに信号/NED−1〜信号/
NED−4が、各列グループに対応して設けられている
AND回路に入力される。
【0130】サブブロックあたり2組のプログラミング
回路が用意されており、各々のプログラミング回路50
0および502について、不良アドレスのCAx、CA
yの値によって、ヒューズをブローしたりしなかったり
することによって、冗長メモリセル列を使用する場合
は、4つの列グループのうち、不良メモリセル列が含ま
れている列グループだけを不活性状態にする。
【0131】他のサブブロックに対応して設けられてい
るデコード回路200d1〜200d3も、デコード回
路200d0と同様の構成を有する。
【0132】したがって、冗長メモリセル列使用時にお
いても、ブロック書込動作時には、冗長メモリセル列選
択信号SCSL以外に、正規なメモリセル列に対応する
列選択信号CSLiが3個活性化されることになる。こ
のため、サブブロックあたり4個のメモリセル列を同時
に活性化させることが可能となる。
【0133】[実施の形態3]図11は、本発明の実施
の形態3のメモリセル列を選択する回路構成、特に、列
デコーダ200eの構成を示す概略ブロック図である。
【0134】列デコーダ200eのうち、サブブロック
0に対応して設けられているデコーダ200e0におい
ては、冗長メモリセル列を選択するための、冗長メモリ
セル列選択信号を生成する回路が2系統設けられる構成
となっている。
【0135】すなわち、まず、サブブロック0中の正規
なメモリセル列は、列選択信号CSL1〜CSLn/2
で選択される第1の列のグループと、列選択信号CSL
n/2+1〜信号CSLnにより選択される第2の列の
グループとに分けられている。
【0136】この第1の列のグループが選択されるか、
第2の列のグループが選択されるかは、内部アドレス信
号CAxの値により通常の読出/書込動作においては区
別されているものとする。
【0137】ブロック書込動作期間中においては、この
内部列アドレス信号CAxの値とかかわりなく、メモリ
セル列の選択が行なわれる。
【0138】すなわち、言い換えれば、第1の列グルー
プから1つの列が、第2の列グループから1つの列が、
それぞれ選択されることになる。
【0139】実施の形態3の列デコーダ200eが、図
6に示した実施の形態1の列デコーダ200cの構成と
異なる点は、以下の点である。
【0140】デコーダ回路200e0は、不良アドレス
を不揮発的に記憶し、プリデコードされた内部列アドレ
ス信号が、記憶した不良アドレスと一致する場合、第1
のスペアアクティブ信号SPA1を活性状態とする第1
のアドレス比較回路450と、不良アドレスを不揮発的
に記憶し、プリデコードされた内部列アドレス信号が、
記憶した不良アドレスと一致する場合、第2のスペアア
クティブ信号SPA2を活性化する第2のアドレス比較
回路452と、不揮発的に記憶した情報に従って、互い
に相補な信号N11とN12を出力する第1のプログラ
ミング回路500と、不揮発的に記憶した情報に従っ
て、互いに相補な信号N21およびN22を出力する第
2のプログラミング回路506と、信号N11および信
号SPA1を受けて、信号/NDD−11を出力するN
AND回路502と、信号N12および信号SPA1を
受けて、信号/NED−12を出力するNAND回路5
04と、信号N21と信号PSA2とを受けて、信号/
NED−21を出力するNAND回路512と、信号N
22と、信号SPA2とを受けて、信号/NED−22
とを出力するNAND回路514とを含む。
【0141】デコーダ回路200e0は、さらに、第1
の列グループに対応して設けられ、各々がプリデコード
された内部列アドレス信号と、信号/NDD−11と、
信号/NAD−21と、サブブロック活性化信号SBA
0を受けて、信号CSL1〜信号CSLn/2をそれぞ
れ出力するNAND回路580〜582と、第2の列グ
ループに対応して設けられ、各々がプリデコードされた
内部列アドレス信号と、信号/NED−12と、信号/
NED−22とを受けて、信号CSLn/2+1〜信号
CSLnをそれぞれ出力するAND回路584〜586
と、信号SPA1と信号SPA0とを受けて第1の冗長
列選択信号SCSL1を出力するAND回路590と、
信号SPA2と信号SBA0とを受けて第2の冗長列選
択信号SCSL2を出力するAND回路592とを含
む。
【0142】図11に示したような構成とすることで、
信号SCSL1および信号SCSL2は、各々独立にプ
ログラミング回路を有しているため、各々が救済する不
良アドレスに応じて独立にプログラミングされているこ
とになる。
【0143】したがって、冗長メモリセル列が、サブブ
ロックに2本存在する場合において、正規のメモリセル
列が、冗長メモリセル列に置換されている場合において
も、ブロック書込動作時には、通常の書込動作よりも多
くのメモリセルに、同一のデータを同時に書込むことが
可能となる。
【0144】サブブロック1〜3に対応して設けられる
デコーダ回路200e1〜200e3も、それぞれ同様
の構成を有する。
【0145】なお、実施の形態3においては、サブブロ
ックあたり冗長メモリセル列が2つある場合について示
したが、この発明はこのような場合に限定されることな
く、より一般的には、サブブロックあたり冗長メモリセ
ル列が2n (n:自然数)個ずつ存在する場合に適用す
ることが可能である。
【0146】[実施の形態4]図12は、本発明の実施
の形態4のDRAMの列選択動作を行なう回路部分の構
成を示す概略ブロック図である。
【0147】図12に示した列選択系回路の構成が図6
に示した実施の形態1の列選択系回路の構成と異なる点
は、以下のとおりである。
【0148】すなわち、図6に示した列選択系回路にお
いては、列デコーダ200cにおいて、サブブロック0
に対応して設けられるデコーダ200c0には、サブブ
ロック活性化信号SBA0が直接入力される構成となっ
ていた。
【0149】これに対して、図12において示したデコ
ーダ回路200f0に対しては、データマスク信号制御
回路310から出力される信号DM0と、サブブロック
活性化信号SBA0を受ける論理ゲート回路3122の
出力が入力される構成となっている。
【0150】論理ゲート回路3122は、図1に示した
サブブロック信号制御回路312に含まれる。
【0151】論理ゲート3122は、データマスク信号
DM0が不活性状態においては、受けたサブブロック活
性化信号SBA0のレベルに対応する信号ISBA0を
出力し、信号DM0が活性状態(“H”レベル)におい
ては、信号SBA0のレベルにかかわりなく常に“L”
レベルの信号ISBA0を出力する。
【0152】他のサブブロック1〜3についても、信号
DM1および信号SBA1を受ける論理ゲート回路31
24の出力信号ISBA1がサブブロック1に対応した
デコーダ回路200f1に出力され、信号SBA2およ
び信号DM2を受ける論理ゲート3126の出力の信号
ISBA2が、サブブロック2に対応して設けられるデ
コーダ200f2に出力され、信号SAB3および信号
DM3を受ける論理ゲート3128の出力信号のISB
A3が、サブブロック3に対応して設けられるデコーダ
200f3に出力される構成となっている。
【0153】図6に示した実施の形態1のデコーダ回路
200cの構成において、信号SBA0〜信号SBA3
が、それぞれ、信号ISBA0〜信号ISBA3となっ
ている点を除いては、実施の形態4の列デコーダ回路2
00fは、実施の形態1の列デコーダ回路200cの構
成と同様であるので、同一部分には同一符号を付してそ
の説明は繰返さない。
【0154】図12に示したような構成とすることで、
外部から与えられるデータマスク信号のうち、たとえば
信号DM0が活性状態である場合は、信号ISBA0は
“L”レベルとなるため、デコーダ回路200f0から
出力される列選択信号は、いずれも不活性状態(“L”
レベル)に固定される。
【0155】このため、データマスク信号DM0の活性
化により、対応するサブブロック内の列選択動作が不能
化されるとともに、メモリセル列へのデータ書込が禁止
される。
【0156】図13は、本発明の実施の形態4のメモリ
セルアレイマットの構成を示す回路図であり、実施の形
態1の図2と対比される図である。
【0157】実施の形態4のメモリセルアレイマットの
構成が、実施の形態1のメモリセルアレイマットの構成
と異なる点は、書込ドライバ回路316a〜316dに
対応して設けられ、それぞれ、対応するデータマスク信
号DM0〜DM3に応じて、これらの信号が活性状態
(“H”レベル)である期間中は、対応する書込ドライ
バ回路316a〜316dを、対応するグローバルI/
O線対G−I/Oと接続し、信号DM0〜DM3が
“L”レベルのときは、対応するグローバルI/O線対
G−I/Oと分離するスイッチ回路319a〜319d
を備える構成となっている点である。
【0158】その他の点は、図2に示したメモリセルア
レイマットの構成と同様であるので、同一部分には同一
符号を付してその説明は繰返さない。
【0159】図12および図13に示したような構成と
することで、書込動作時に所望のビットにのみデータを
書込まない、すなわち、信号DM0〜DM3により指定
したサブブロックに属するメモリセル列については、デ
ータの書込を行なわないライトマスク機能を実現するこ
とが可能である。
【0160】しかも、図12および図13に示したよう
な回路構成であれば、ブロックライトを行なうために、
1つのサブブロックについて、複数のメモリセル列が同
時に選択される場合においても、言い換えると、複数の
メモリセル列に対応するビット線対は、1つのローカル
/I/O線対に同時に接続する場合においても、ライト
マスクされたサブブロックにおいてデータの破壊が起こ
らないという利点がある。
【0161】すなわち、たとえばライトマスク機能を実
現するために、信号DM0〜DM3により、ライトドラ
イバ回路316a〜316dのうち、選択したサブブロ
ックに対応するライトドライバ回路を対応するグローバ
ルI/O線対G−I/Oから分離する構成としたのみで
は、ブロック書込動作時には同一のローカルIO線対L
−I/Oに複数のビット線対が接続することになる。
【0162】この場合、ビット線から読出されたデータ
が、ローカルIO線対I−I/O上で衝突して、データ
の破壊が起こる。ライトマスクされていない場合は、こ
の後、新たなデータがライトドライバ318a〜318
dによって駆動されることになるのに対し、ライトマス
クされている場合は、データが破壊されたままもとのメ
モリセルに書込まれてしまうため、メモリセル中のデー
タの破壊が起こってしまうことになる。
【0163】すなわち、図12および図13に示したよ
うな実施の形態4のDRAMにおいては、ライトマスク
機能と、ブロックライト機能とを両立することが可能と
なる。
【0164】したがって、所望のサブブロックについて
のみブロックライト動作を行なうことが可能であるた
め、画像データのうち、所望の領域においてのみ画像デ
ータを高速にクリアするといった動作を行なうことが可
能となる。
【0165】しかも、図1に示したとおり、データマス
ク信号制御回路310から出力される信号DM0〜DM
3は、読出動作が指定される期間中は、すべて“L”レ
ベルとなっている。
【0166】このことは、言い換えると、読出動作期間
中、すなわち読出モード指定信号RSが活性状態
(“H”レベル)である期間中は、自動的に、外部から
与えられるアドレス信号に応じて、選択されたサブブロ
ック活性化信号SBA0〜SBA3がそれぞれ、そのま
ま対応するデコーダ回路200f0〜200f3に伝達
されることになる。
【0167】このような構成とすることで、読出動作時
に、誤って外部から与えられる信号DQM0〜DQM3
が“H”レベルとなった場合においても、信号DM0〜
DM3は、読出動作期間中は、“L”レベルに固定され
るため、外部から与えられる信号DQMのレベルとかか
わりなく、正常な読出動作を行なうことが可能となる。
【0168】図14は、図13に示したメモリセルアレ
イマットの他の構成を示す回路図である。
【0169】図13に示したメモリセルアレイマットの
構成と異なる点は、1つの列選択信号CSL1によっ
て、2つのメモリセル列が同時に選択され、この同時に
選択される2つのメモリセル列には、それぞれ独立に設
けられたグローバルI/O線対G−I/Oと、独立に設
けられたローカルIO線対I−I/Oにより、書込デー
タが伝達される構成となっている点である。
【0170】その他の点は、図13に示した回路の構成
と同様であるので、同一部分には同一符号を付してその
説明は繰返さない。
【0171】図14に示したような構成とすることで、
1つの列選択線についてメモリセル列が同時に2つ選択
される場合においても、ブロックライト機能と、ライト
マスク機能を同時に両立し、かつバス幅(内部バス幅)
が大きなDRAMに対して、通常の書込動作時よりも多
くのメモリセルに同一のデータを同時に書込むことが可
能となる。
【0172】[実施の形態5]図15は、本発明の実施
の形態5の書込ドライバ回路317の構成を示す概略ブ
ロック図である。
【0173】その他の点は、実施の形態1〜実施の形態
4に示したDRAMの構成と同様であるので、以下で
は、この書込ドライバ回路317の構成および動作につ
いてのみ説明することにする。
【0174】書込ドライバ回路317は、外部から書込
データに応じて、相補の内部書込データを出力ノードO
UTおよび/OUTに出力する第1の書込駆動回路32
0と、外部から与えられる書込データWDを受けて、相
補な書込データを出力する第2の書込駆動回路322
と、第2の書込駆動回路322の出力を受けて、ブロッ
ク回路活性化信号BWEが活性時には、出力ノードOU
T,/OUTに第2の書込駆動回路322を接続し、信
号BWEが不活性状態のときは、第2の書込駆動回路3
22を出力ノードOUT,/OUTから切離すスイッチ
回路324とを含む。
【0175】出力ノードOUT,/OUTは、実施の形
態1〜実施の形態3において示したとおり、対応するグ
ローバルI/O線対G−I/Oと接着接続する構成とな
っていてもよいし、実施の形態4において示したとお
り、スイッチ回路319a〜319dにより、選択的に
対応するグローバルI/O線対G−I/Oと接続される
構成となっていてもよい。
【0176】このような構成とすることで、ブロックラ
イト時に、サブブロックあたり複数の列選択信号が活性
化され、同一のローカルI/O線対L−I/Oに複数の
ビット線対が接続する場合でも、ライトドライバ回路の
負荷駆動力を通常動作時よりも大きくすることが可能で
ある。
【0177】したがって、ブロックライト時において
も、データの書込を高速に行なうことが可能である。
【0178】
【発明の効果】請求項1〜請求項3記載の半導体記憶装
置においては、列置換手段は、列選択信号が、不活性な
メモリセルに対応するフルアドレスと一致する場合、対
応する冗長メモリセル列を選択し、かつ、不良アドレス
に対応する列グループへの列選択信号を不活性化するの
で、サブブロック内において、冗長メモリセル列への置
換が行なわれている場合でも、ブロック書込モードにお
いて、サブブロックあたり複数のメモリセル列を同時に
選択してデータを書込むことが可能である。
【0179】請求項4記載の半導体記憶装置において
は、サブブロックごとに複数の冗長メモリセル列が設け
られている場合においても、ブロックライト時に、サブ
ブロックごとに複数のメモリセル列を同時に選択して同
一のデータを同時に書込むことが可能である。
【0180】請求項5〜6に記載の半導体記憶装置にお
いては、ブロック書込モード指定中において、ライトマ
スク動作を指定して、所望のサブブロックに対してのみ
データの書込を禁止する動作を行なうことが可能であ
る。
【0181】請求項7記載の半導体記憶装置において
は、読出動作期間中は、外部からの制御信号に応じて、
ライトマスク動作が指定されることが禁止されるので、
読出動作中に誤動作が起こることを防止することが可能
である。
【0182】請求項8記載の半導体記憶装置において
は、ブロック書込動作においても、書込ドライバ回路の
駆動能力を増加させることにより、高速なデータ書込を
行なうことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1のDRAMセルの構成
を示す概略ブロック図である。
【図2】 メモリセルアレイマット300の構成をより
詳細に示す概略ブロック図である。
【図3】 列デコーダ回路200aの構成を示す概略ブ
ロック図である。
【図4】 ブロック書込動作モードを指定するための外
部制御信号を示すタイミングチャートである。
【図5】 列デコーダ回路200bの構成を示す概略ブ
ロック図である。
【図6】 本発明の実施の形態1の列デコーダ回路20
0cの構成を示す概略ブロック図である。
【図7】 アドレス比較回路450の構成を示す回路図
である。
【図8】 プログラム回路500の構成を示す回路図で
ある。
【図9】 メモリセルアレイマット300の他の構成の
例を示す回路図である。
【図10】 本発明の実施の形態2の列デコーダ回路2
00dの構成を示す概略ブロック図である。
【図11】 本発明の実施の形態3の列デコーダ回路2
00eの構成を示す概略ブロック図である。
【図12】 本発明の実施の形態4の列選択系回路の構
成を示す概略ブロック図である。
【図13】 本発明の実施の形態4のメモリセルアレイ
マット300および書込ドライバ回路316ならびに読
出アンプ318の構成を示す概略ブロック図である。
【図14】 本発明の実施の形態4のメモリセルアレイ
マット300、書込ドライバ回路316および読出アン
プ318の他の構成の例を示す概略ブロック図である。
【図15】 本発明の実施の形態5の書込ドライバ回路
317の構成を示す概略ブロック図である。
【図16】 従来のDRAM5000の構成を示す概略
ブロック図である。
【図17】 従来のDRAM5000における列選択系
回路の構成を示す概略ブロック図である。
【符号の説明】
102 アドレスバッファ、104 列プリデコーダ、
106 SBA生成回路、110 行プリデコーダ+行
デコーダ、200 列デコーダ、300 メモリセルマ
ット、302 命令生成回路、304 制御回路、30
6 データマスクバッファ、310 データマスク信号
制御回路、312 サブブロック信号制御回路、314
入出力バッファ、316 書込ドライバ、318 読
出アンプ319a〜319b スイッチ回路。
フロントページの続き (72)発明者 冨嶋 茂樹 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 畠中 真 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 松村 雅司 東京都千代田区大手町二丁目6番2号 三 菱電機エンジニアリング株式会社内

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ブロック書込モードを有する半導体記憶
    装置であって、 各々が、行列状に配列された複数のメモリセルを含む少
    なくとも1つのメモリセルアレイマットを備え、 前記各メモリセルアレイマットは、 各々が複数のメモリセル列を含む複数のサブブロックを
    含み、 前記各サブブロックは、 各々が複数のメモリセル列を有する、複数の列グループ
    と、 前記サブブロック中のメモリセルのうち、不良なメモリ
    セルを含むメモリセル列と置換するための冗長メモリセ
    ル列とを有し、 外部からのアドレス信号に応じて、前記メモリセルアレ
    イマット中の対応するメモリセル列を選択する列選択手
    段をさらに備え、 前記列選択手段は、 外部からの動作モード指定信号に応じて指定される前記
    ブロック書込モードにおいては、前記列グループ毎に1
    つの対応するメモリセル列を選択する列選択信号を発生
    する列選択信号発生手段と、 前記列選択信号が、不良なメモリセルに対応する不良ア
    ドレスと一致する場合、対応する冗長メモリセル列を選
    択し、かつ、前記不良アドレスに対応する列グループへ
    の列選択信号を不活性化する列置換手段とを含み、 前記ブロック書込モードが指定されている期間におい
    て、前記アドレス信号に従って対応するメモリセル行を
    選択し、外部から与えられた書込データを、前記選択さ
    れたメモリセル行および前記選択されたメモリセル列に
    対応する複数のメモリセルに同時に書込む書込手段をさ
    らに備える、半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記列置換手段は、 前記不良アドレスを不揮発的に記憶し、前記列選択信号
    が前記不良アドレスに一致する場合、前記冗長メモリセ
    ル列を選択する冗長列選択信号を活性化する比較手段
    と、 前記不良アドレスに対応する列アドレスを不揮発的に記
    憶し、前記冗長列選択信号の活性化に応じて、前記対応
    する列グループの選択動作を禁止する選択不能化信号を
    活性化するプログラム手段とを含む、請求項1記載の半
    導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記プログラム手段は、 不良アドレス記憶手段を含み、 前記不良アドレス記憶手段は、 活性レベルに対応する第1の電位を受ける第1の電源ノ
    ードと、 不活性レベルに対応する第2の電位を受ける第2の電源
    ノードと、 前記第1および第2の電源ノードに直列に接続される抵
    抗体およびヒューズ素子とを有し、 前記ヒューズ素子および前記抵抗体の接続ノードの電位
    が活性レベルであり、かつ、前記冗長列選択信号が活性
    レベルであることに応じて、前記選択不能化信号を活性
    化する論理ゲートをさらに含む、請求項2記載の半導体
    記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記冗長メモリセル列は、 前記サブブロック毎にm個(m:自然数、m≧2)設け
    られ、 前記列置換手段は、 前記冗長メモリセル列毎に対応して設けられ、 各前記列置換手段は、 前記不良アドレスを不揮発的に記憶し、前記列選択信号
    が前記不良アドレスに一致する場合、対応する前記冗長
    メモリセル列を選択する冗長列選択信号を活性化する比
    較手段と、 前記不良アドレスに対応する列アドレスを不揮発的に記
    憶し、前記冗長列選択信号の活性化に応じて、前記対応
    する列グループの選択動作を禁止する選択不能化信号を
    活性化するプログラム手段とを含む、請求項1記載の半
    導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 前記列選択手段は、 外部からの制御信号に応じて、ライトマスク動作が指定
    された場合、ライトマスク動作が指定された前記サブブ
    ロックに対する列選択動作を不能化する列選択マスク制
    御手段をさらに備える、請求項1記載の半導体記憶装
    置。
  6. 【請求項6】 前記書込手段は、 前記ライトマスク動作が指定された場合、ライトマスク
    動作が指定された前記サブブロックに対するデータ書込
    動作を不能化するライトマスク制御手段をさらに備え
    る、請求項5記載の半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】 外部からの制御信号に応じて、読出モー
    ドが指定されることに応じて、前記列選択マスク制御手
    段を不活性化する手段をさらに備える、請求項5記載の
    半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 前記書込手段は、第1の電流駆動能力を
    有する第1のデータ駆動手段と、 第2の電流駆動能力を有する第2のデータ駆動手段と、 前記ブロック書込動作が指定されることに応じて、前記
    第1および前記第2のデータ駆動手段を並列に駆動し
    て、データ書込を行なわせる切換手段とを含む、請求項
    1から7のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。
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