JPH11144679A - ショートアークランプ - Google Patents
ショートアークランプInfo
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- JPH11144679A JPH11144679A JP9320581A JP32058197A JPH11144679A JP H11144679 A JPH11144679 A JP H11144679A JP 9320581 A JP9320581 A JP 9320581A JP 32058197 A JP32058197 A JP 32058197A JP H11144679 A JPH11144679 A JP H11144679A
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- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical group [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 8
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 8
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 17
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- ZSLUVFAKFWKJRC-IGMARMGPSA-N 232Th Chemical compound [232Th] ZSLUVFAKFWKJRC-IGMARMGPSA-N 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052776 Thorium Inorganic materials 0.000 description 1
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/36—Seals between parts of vessels; Seals for leading-in conductors; Leading-in conductors
-
- H—ELECTRICITY
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- H01J61/04—Electrodes; Screens; Shields
- H01J61/06—Main electrodes
- H01J61/073—Main electrodes for high-pressure discharge lamps
- H01J61/0732—Main electrodes for high-pressure discharge lamps characterised by the construction of the electrode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/84—Lamps with discharge constricted by high pressure
- H01J61/86—Lamps with discharge constricted by high pressure with discharge additionally constricted by close spacing of electrodes, e.g. for optical projection
Landscapes
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
- Discharge Lamp (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】簡単で、かつ確実に保持用筒体を電極芯棒に仮
止めすることができ、ランプ点灯直後の異常放電に起因
する不具合も解消することが可能なショートアークラン
プを提供する。 【解決手段】発光管１０内に陰極２１と陽極２２が対向
配置され、陰極および陽極の電極芯棒２０が保持用筒体
３０に挿通されて保持され、保持用筒体が発光管に続く
側管１１の絞り込み部１２において支持されてなるショ
ートアークランプにおいて、電極芯棒に、保持用筒体の
電極側端面に当接するコイル部材４０を巻き付け、この
コイル部材を保持用筒体の仮止め部材とする。また、コ
イル部材として、コイル素線の中腹部で折り返して２段
に巻回され、コイル素線の両側の端部４１が同一側であ
る２段巻きコイルを使用し、コイル素線の端部を電極側
に位置させる。
止めすることができ、ランプ点灯直後の異常放電に起因
する不具合も解消することが可能なショートアークラン
プを提供する。 【解決手段】発光管１０内に陰極２１と陽極２２が対向
配置され、陰極および陽極の電極芯棒２０が保持用筒体
３０に挿通されて保持され、保持用筒体が発光管に続く
側管１１の絞り込み部１２において支持されてなるショ
ートアークランプにおいて、電極芯棒に、保持用筒体の
電極側端面に当接するコイル部材４０を巻き付け、この
コイル部材を保持用筒体の仮止め部材とする。また、コ
イル部材として、コイル素線の中腹部で折り返して２段
に巻回され、コイル素線の両側の端部４１が同一側であ
る２段巻きコイルを使用し、コイル素線の端部を電極側
に位置させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＳＩ製造工程に
おいて紫外線露光用の光源などに使用されるショートア
ークランプに関するものである。
おいて紫外線露光用の光源などに使用されるショートア
ークランプに関するものである。
【０００２】ショートアークランプは、石英ガラスから
なる球形や楕円球形をした発光管内に陰極と陽極が所定
距離で対向配置され、この陰極および陽極の電極芯棒が
発光管の両側に続く側管でシールされている。そして、
陰極および陽極の電極芯棒を保持するために、発光管内
を減圧状態にして側管の発光管側の端部を加熱し、側管
を縮径して絞り込み部を形成している。しかし、側管の
絞り込み部で陰極および陽極の電極芯棒を直接保持する
ためには、絞り込み量を大きくする必要がある。このた
め、陰極および陽極の電極芯棒の外周面に、厚さが１５
〜３０μｍ程度のモリブデン箔を巻き付け、この巻き付
け部分を石英ガラスからなる保持用筒体に挿通して保持
し、側管の絞り込み部を保持用筒体に溶着することによ
り保持用筒体を側管の絞り込み部と一体化して固定して
いる。側管の絞り込み部と保持用筒体を溶着して一体化
すると、結果的にその部分の肉厚が大きくなり、強度が
向上する利点もある。なお、モリブデン箔を電極芯棒に
巻き付けるのは、ランプ点灯中に高温になった電極芯棒
の膨張を吸収して保持用筒体に大きな負荷がかからない
ようにするためである。
なる球形や楕円球形をした発光管内に陰極と陽極が所定
距離で対向配置され、この陰極および陽極の電極芯棒が
発光管の両側に続く側管でシールされている。そして、
陰極および陽極の電極芯棒を保持するために、発光管内
を減圧状態にして側管の発光管側の端部を加熱し、側管
を縮径して絞り込み部を形成している。しかし、側管の
絞り込み部で陰極および陽極の電極芯棒を直接保持する
ためには、絞り込み量を大きくする必要がある。このた
め、陰極および陽極の電極芯棒の外周面に、厚さが１５
〜３０μｍ程度のモリブデン箔を巻き付け、この巻き付
け部分を石英ガラスからなる保持用筒体に挿通して保持
し、側管の絞り込み部を保持用筒体に溶着することによ
り保持用筒体を側管の絞り込み部と一体化して固定して
いる。側管の絞り込み部と保持用筒体を溶着して一体化
すると、結果的にその部分の肉厚が大きくなり、強度が
向上する利点もある。なお、モリブデン箔を電極芯棒に
巻き付けるのは、ランプ点灯中に高温になった電極芯棒
の膨張を吸収して保持用筒体に大きな負荷がかからない
ようにするためである。
【０００３】この絞り込み工程中に、保持用筒体が電極
芯棒に沿って移動しないように、保持用筒体を電極芯棒
に仮止めしておく必要がある。保持用筒体の反電極側
は、給電用の導電箔が設けられているので、これを利用
して保持用筒体を仮止めすることができ、保持用筒体が
反電極側に移動することはない。従って、保持用筒体が
電極側に移動するのを阻止する仮止めが必要になる。
芯棒に沿って移動しないように、保持用筒体を電極芯棒
に仮止めしておく必要がある。保持用筒体の反電極側
は、給電用の導電箔が設けられているので、これを利用
して保持用筒体を仮止めすることができ、保持用筒体が
反電極側に移動することはない。従って、保持用筒体が
電極側に移動するのを阻止する仮止めが必要になる。
【０００４】このため従来は、先ず、図４に示すよう
に、厚さが０．１ｍｍ程度のモリブデン板からなる短冊
状の仮止め板２８の端部を電極芯棒２０に溶接し、しか
る後、この溶接部分を含む電極芯棒２０の外周面に、つ
まり仮止め板２８の長さ方向のほぼ半分の上にモリブデ
ン箔２７を巻き付け、残りの半分の仮止め板２８が伸び
出た状態で保持用筒体３０に挿通する。そして、図５に
示すように、保持用筒体３０の端部から伸び出た仮止め
板２８をカール状に曲げて保持用筒体３０の端面に接触
させることによって保持用筒体３０を電極芯棒２０に仮
止めしていた。
に、厚さが０．１ｍｍ程度のモリブデン板からなる短冊
状の仮止め板２８の端部を電極芯棒２０に溶接し、しか
る後、この溶接部分を含む電極芯棒２０の外周面に、つ
まり仮止め板２８の長さ方向のほぼ半分の上にモリブデ
ン箔２７を巻き付け、残りの半分の仮止め板２８が伸び
出た状態で保持用筒体３０に挿通する。そして、図５に
示すように、保持用筒体３０の端部から伸び出た仮止め
板２８をカール状に曲げて保持用筒体３０の端面に接触
させることによって保持用筒体３０を電極芯棒２０に仮
止めしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかる仮止め
構造は、次のような不具合があった。先ず、短冊状の仮
止め板の端部を電極芯棒に溶接し、かつ保持用筒体の端
部から伸び出た仮止め板をカール状に曲げるために、製
造に大きな手間を要した。また、仮止め板上にモリブデ
ン箔を巻くときに、仮止め板のエッジによって薄いモリ
ブデン箔が切れることがあり、更には、仮止め板をカー
ル状に曲げるときにも、浮き上がる仮止め板によってモ
リブデン箔が切れることがあった。そして、カール状に
曲げられた仮止め板は、ただ１ヶ所で保持用筒体の端面
に接触しているのて、発光管を回転させながら側管の絞
り込み操作を行うときに、保持用筒体の重量で仮止め板
の溶接部分が破損し、保持用筒体が移動してしまうこと
があった。つまり、仮止めが不完全であった。
構造は、次のような不具合があった。先ず、短冊状の仮
止め板の端部を電極芯棒に溶接し、かつ保持用筒体の端
部から伸び出た仮止め板をカール状に曲げるために、製
造に大きな手間を要した。また、仮止め板上にモリブデ
ン箔を巻くときに、仮止め板のエッジによって薄いモリ
ブデン箔が切れることがあり、更には、仮止め板をカー
ル状に曲げるときにも、浮き上がる仮止め板によってモ
リブデン箔が切れることがあった。そして、カール状に
曲げられた仮止め板は、ただ１ヶ所で保持用筒体の端面
に接触しているのて、発光管を回転させながら側管の絞
り込み操作を行うときに、保持用筒体の重量で仮止め板
の溶接部分が破損し、保持用筒体が移動してしまうこと
があった。つまり、仮止めが不完全であった。
【０００６】また、ランプを点灯するとき、通電直後に
おいて、電極間で放電を開始する前に、エッジを有する
仮止め板を放電起点とする異常放電が生ずることがあ
り、放電起点が仮止め板のエッジから電極先端に移動し
て正常放電するまでの間に仮止め板の一部が溶け出す。
そして、この溶け出したモリブデンの溶塊が保持用筒体
と側管の絞り込み部との境界部分に食い込むように付着
し、この部分の発光管や絞り込み部にクラックが発生す
ることがあり、このクラックが成長すると遂にはランプ
が破壊することもあった。
おいて、電極間で放電を開始する前に、エッジを有する
仮止め板を放電起点とする異常放電が生ずることがあ
り、放電起点が仮止め板のエッジから電極先端に移動し
て正常放電するまでの間に仮止め板の一部が溶け出す。
そして、この溶け出したモリブデンの溶塊が保持用筒体
と側管の絞り込み部との境界部分に食い込むように付着
し、この部分の発光管や絞り込み部にクラックが発生す
ることがあり、このクラックが成長すると遂にはランプ
が破壊することもあった。
【０００７】そこで本発明は、電極芯棒に巻かれたモリ
ブデン箔が損傷することがなく、簡単で、かつ確実に保
持用筒体を電極芯棒に仮止めすることができ、ランプ点
灯直後に異常放電が発生しても、発光管と絞り込み部と
の境界部分におけるクラックの発生を防止することがで
きるショートアークランプを提供することを目的とす
る。
ブデン箔が損傷することがなく、簡単で、かつ確実に保
持用筒体を電極芯棒に仮止めすることができ、ランプ点
灯直後に異常放電が発生しても、発光管と絞り込み部と
の境界部分におけるクラックの発生を防止することがで
きるショートアークランプを提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、請求項１の発明は、発光管内に陰極と陽極が対向
配置され、陰極および陽極の電極芯棒が保持用筒体に挿
通されて保持され、保持用筒体が発光管に続く側管の絞
り込み部において支持されてなるショートアークランプ
において、電極芯棒に、保持用筒体の電極側端面に当接
するコイル部材を巻き付け、このコイル部材を保持用筒
体の仮止め部材とする。
めに、請求項１の発明は、発光管内に陰極と陽極が対向
配置され、陰極および陽極の電極芯棒が保持用筒体に挿
通されて保持され、保持用筒体が発光管に続く側管の絞
り込み部において支持されてなるショートアークランプ
において、電極芯棒に、保持用筒体の電極側端面に当接
するコイル部材を巻き付け、このコイル部材を保持用筒
体の仮止め部材とする。
【０００９】請求項２の発明は、電極芯棒にコイル部材
が係止する溝を形成するので、コイル部材が移動するこ
とがなく、従って、保持用筒体の仮止め効果をより確実
にすることができる。
が係止する溝を形成するので、コイル部材が移動するこ
とがなく、従って、保持用筒体の仮止め効果をより確実
にすることができる。
【００１０】仮止め部材としてコイル部材を使用する
と、ランプ点灯直後の異常放電の起点は、尖端状である
コイル素線の端部になる確率が大きいが、請求項３の発
明は、コイル部材として、コイル素線の中腹部で折り返
して２段に巻回され、コイル素線の両側の端部が同一側
である２段巻きコイルを使用し、コイル素線の端部が電
極側に位置するようにするので、このコイル素線の両方
の端部、つまり異常放電の起点が保持用筒体から遠い位
置であり、従って、保持用筒体と側管の絞り込み部との
境界部分からも遠い位置となる。このため、コイル素線
の端部が溶け出しても、この溶塊が保持用筒体と側管の
絞り込み部との境界部分に食い込むように付着すること
がなく、クラックの発生を防止することができる。
と、ランプ点灯直後の異常放電の起点は、尖端状である
コイル素線の端部になる確率が大きいが、請求項３の発
明は、コイル部材として、コイル素線の中腹部で折り返
して２段に巻回され、コイル素線の両側の端部が同一側
である２段巻きコイルを使用し、コイル素線の端部が電
極側に位置するようにするので、このコイル素線の両方
の端部、つまり異常放電の起点が保持用筒体から遠い位
置であり、従って、保持用筒体と側管の絞り込み部との
境界部分からも遠い位置となる。このため、コイル素線
の端部が溶け出しても、この溶塊が保持用筒体と側管の
絞り込み部との境界部分に食い込むように付着すること
がなく、クラックの発生を防止することができる。
【００１１】請求項４の発明は、コイル部材をエミッタ
ーを含むタングステンで成形するので、コイル部材のタ
ングステンの蒸発を抑制でき、発光管の黒化を防止する
ことができる。
ーを含むタングステンで成形するので、コイル部材のタ
ングステンの蒸発を抑制でき、発光管の黒化を防止する
ことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に、図面に基づいて本発明の
実施の形態を具体的に説明する。図１は、ＬＳＩ露光用
に使用されるショートアークランプを示すが、このショ
ートアークランプの定格消費電力が７００Ｗ、ランプ電
圧が４４Ｖ、ランプ電流が１５．９Ａである。石英ガラ
スからなる略楕円球状の発光管１０の両側から内径が８
ｍｍφの側管１１が伸びており、発光管１０内には、一
対の電極芯棒２０先端の陰極２１と陽極２２が３ｍｍ間
隔で対向配置されている。この電極芯棒２０は、外径が
３ｍｍφのタングステン棒からなるが、電極芯棒２０の
尾端は扁平状に加工されており、その偏平部２０ａの両
面にモリブデンからなる導電箔２４がそれぞれ接続され
ている。そして、２枚の導電箔２４の間に石英板２５が
挾まれている。
実施の形態を具体的に説明する。図１は、ＬＳＩ露光用
に使用されるショートアークランプを示すが、このショ
ートアークランプの定格消費電力が７００Ｗ、ランプ電
圧が４４Ｖ、ランプ電流が１５．９Ａである。石英ガラ
スからなる略楕円球状の発光管１０の両側から内径が８
ｍｍφの側管１１が伸びており、発光管１０内には、一
対の電極芯棒２０先端の陰極２１と陽極２２が３ｍｍ間
隔で対向配置されている。この電極芯棒２０は、外径が
３ｍｍφのタングステン棒からなるが、電極芯棒２０の
尾端は扁平状に加工されており、その偏平部２０ａの両
面にモリブデンからなる導電箔２４がそれぞれ接続され
ている。そして、２枚の導電箔２４の間に石英板２５が
挾まれている。
【００１３】石英ガラスからなり、外径が６ｍｍφ、長
さが８ｍｍの保持用筒体３０に電極芯棒２０がそれぞれ
挿通されている。なお、図２に示すように、電極芯棒２
０と保持用筒体３０の間には、ランプ点灯時の電極芯棒
２０の膨張を吸収するためのモリブデン箔２７が介在し
ている。そして、発光管１０内を減圧状態にして、側管
１１を加熱することにより縮径し、偏平状のシール部１
３で導電箔２４をシールすると共に、絞り込み部１２で
保持用筒体３０を固定している。また、側管１１の端部
には、それぞれ口金２６が取り付けられている。
さが８ｍｍの保持用筒体３０に電極芯棒２０がそれぞれ
挿通されている。なお、図２に示すように、電極芯棒２
０と保持用筒体３０の間には、ランプ点灯時の電極芯棒
２０の膨張を吸収するためのモリブデン箔２７が介在し
ている。そして、発光管１０内を減圧状態にして、側管
１１を加熱することにより縮径し、偏平状のシール部１
３で導電箔２４をシールすると共に、絞り込み部１２で
保持用筒体３０を固定している。また、側管１１の端部
には、それぞれ口金２６が取り付けられている。
【００１４】そして、電極芯棒２０にコイル部材４０が
巻き付けられている。このコイル部材４０は、素線径が
０．４ｍｍφのタングステン線を長さ５ｍｍ程度に緊密
に巻き付けたものであり、少々の力がかかっても移動し
ない。そして、コイル部材４０は保持用筒体３０の電極
側端面に当接している。かかるコイル部材４０は、側管
１１を加熱して縮径する工程において、保持用筒体３０
が電極芯棒２０に沿って電極側に移動するのを防止する
仮止め部材であり、保持用筒体３０の電極側端面に当接
しているので、電極側への移動を防止することができ
る。また、図２に示すように、電極芯棒２０に円周状の
溝２３を形成し、コイル部材４０の素線をこの溝２３に
係止させると、コイル部材４０に大きな力がかかっても
移動することがなく、仮止め効果をより確実にすること
ができる。なお、導電箔２４の端部は保持用筒体３０の
反電極側端面に当接しており、保持用筒体３０が電極芯
棒２０に沿って反電極側に移動するのを防止している。
つまり、保持用筒体３０は電極芯棒２０に沿っていずれ
の方向にも移動しないように仮止めされる。
巻き付けられている。このコイル部材４０は、素線径が
０．４ｍｍφのタングステン線を長さ５ｍｍ程度に緊密
に巻き付けたものであり、少々の力がかかっても移動し
ない。そして、コイル部材４０は保持用筒体３０の電極
側端面に当接している。かかるコイル部材４０は、側管
１１を加熱して縮径する工程において、保持用筒体３０
が電極芯棒２０に沿って電極側に移動するのを防止する
仮止め部材であり、保持用筒体３０の電極側端面に当接
しているので、電極側への移動を防止することができ
る。また、図２に示すように、電極芯棒２０に円周状の
溝２３を形成し、コイル部材４０の素線をこの溝２３に
係止させると、コイル部材４０に大きな力がかかっても
移動することがなく、仮止め効果をより確実にすること
ができる。なお、導電箔２４の端部は保持用筒体３０の
反電極側端面に当接しており、保持用筒体３０が電極芯
棒２０に沿って反電極側に移動するのを防止している。
つまり、保持用筒体３０は電極芯棒２０に沿っていずれ
の方向にも移動しないように仮止めされる。
【００１５】このように、電極芯棒２０にコイル部材４
０を巻き付けることにより、保持用筒体３０を仮止めす
るので、確実に仮止めできるとともに、構造が簡単であ
り、極めて容易にランプを製造することができる。ま
た、電極芯棒２０と保持用筒体３０の間に介在するモリ
ブデン箔２７を損傷することもない。
０を巻き付けることにより、保持用筒体３０を仮止めす
るので、確実に仮止めできるとともに、構造が簡単であ
り、極めて容易にランプを製造することができる。ま
た、電極芯棒２０と保持用筒体３０の間に介在するモリ
ブデン箔２７を損傷することもない。
【００１６】次に、図３に示すように、コイル部材４０
として、コイル素線の中腹部で折り返して２段に巻回さ
れ、コイル素線の両側の端部が同一側である２段巻きコ
イルを使用し、コイル素線の両方の端部４１，４１が電
極側に位置するようにするのがよい。かかる構成にする
と、ランプ点灯直後の異常放電の起点は、コイル素線の
端部４１，４１になる確率が大きくなる。しかし、コイ
ル素線の端部４１，４１は保持用筒体３０と側管１１の
絞り込み部１２の境界から遠い位置にあるので、異常放
電によってコイル素線の端部４１，４１が溶け出して
も、その溶塊が保持用筒体３０と側管１１の絞り込み部
１２との境界部分に食い込むように付着することがな
く、クラックの発生を防止することができる。また、コ
イル部材４０を、トリウムやセリウム、イットリウムな
どのエミッターを含むタングステンで成形すると、コイ
ル部材４０のタングステンの蒸発を抑制でき、発光管１
０の黒化を防止することができる。
として、コイル素線の中腹部で折り返して２段に巻回さ
れ、コイル素線の両側の端部が同一側である２段巻きコ
イルを使用し、コイル素線の両方の端部４１，４１が電
極側に位置するようにするのがよい。かかる構成にする
と、ランプ点灯直後の異常放電の起点は、コイル素線の
端部４１，４１になる確率が大きくなる。しかし、コイ
ル素線の端部４１，４１は保持用筒体３０と側管１１の
絞り込み部１２の境界から遠い位置にあるので、異常放
電によってコイル素線の端部４１，４１が溶け出して
も、その溶塊が保持用筒体３０と側管１１の絞り込み部
１２との境界部分に食い込むように付着することがな
く、クラックの発生を防止することができる。また、コ
イル部材４０を、トリウムやセリウム、イットリウムな
どのエミッターを含むタングステンで成形すると、コイ
ル部材４０のタングステンの蒸発を抑制でき、発光管１
０の黒化を防止することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、発光管
内に陰極と陽極が対向配置され、陰極および陽極の電極
芯棒が保持用筒体に挿通されて保持され、保持用筒体が
発光管に続く側管の絞り込み部において支持されてなる
ショートアークランプにおいて、電極芯棒に、保持用筒
体の電極側端面に当接するコイル部材を巻き付け、この
コイル部材を保持用筒体の仮止め部材とするので、電極
芯棒と保持用筒体の間に介在するモリブデン箔が損傷す
ることがなく、簡単で、かつ確実に保持用筒体を電極芯
棒に仮止めすることができる。そして、コイル部材とし
て、コイル素線の中腹部で折り返して２段に巻回され、
コイル素線の両側の端部が同一側である２段巻きコイル
を使用し、コイル素線の端部が電極側に位置するように
すると、ランプ点灯直後に異常放電が発生しても発光管
と絞り込み部との境界部分におけるクラックの発生を防
止するショートアークランプとすることができる。更に
は、電極芯棒にコイル部材が係止する溝を形成すると、
コイル部材が移動することがなく、仮止め効果をより確
実にすることができ、コイル部材をエミッターを含むタ
ングステンで成形すると、コイル部材のタングステンの
蒸発を抑制でき、発光管の黒化を防止することができ
る。
内に陰極と陽極が対向配置され、陰極および陽極の電極
芯棒が保持用筒体に挿通されて保持され、保持用筒体が
発光管に続く側管の絞り込み部において支持されてなる
ショートアークランプにおいて、電極芯棒に、保持用筒
体の電極側端面に当接するコイル部材を巻き付け、この
コイル部材を保持用筒体の仮止め部材とするので、電極
芯棒と保持用筒体の間に介在するモリブデン箔が損傷す
ることがなく、簡単で、かつ確実に保持用筒体を電極芯
棒に仮止めすることができる。そして、コイル部材とし
て、コイル素線の中腹部で折り返して２段に巻回され、
コイル素線の両側の端部が同一側である２段巻きコイル
を使用し、コイル素線の端部が電極側に位置するように
すると、ランプ点灯直後に異常放電が発生しても発光管
と絞り込み部との境界部分におけるクラックの発生を防
止するショートアークランプとすることができる。更に
は、電極芯棒にコイル部材が係止する溝を形成すると、
コイル部材が移動することがなく、仮止め効果をより確
実にすることができ、コイル部材をエミッターを含むタ
ングステンで成形すると、コイル部材のタングステンの
蒸発を抑制でき、発光管の黒化を防止することができ
る。
【図１】本発明のショートアークランプである。
【図２】請求項２の発明の要部の説明図である。
【図３】請求項３の発明の要部の説明図である。
【図４】従来例の製造工程説明図である。
【図５】従来例の製造工程説明図である。
１０ 発光管 １１ 側管 １２ 絞り込み部 １３ シール部 ２０ 電極芯棒 ２１ 陰極 ２２ 陽極 ２３ 溝 ２４ 導電箔 ２５ 石英板 ２６ 口金 ２７ モリブデン箔 ２８ 仮止め板 ３０ 保持用筒体 ４０ コイル部材 ４１ コイル素線の端部
Claims (4)
- 【請求項１】 発光管内に陰極と陽極が対向配置され、
該陰極および陽極の電極芯棒が保持用筒体に挿通されて
保持され、該保持用筒体が発光管に続く側管の絞り込み
部において支持されてなるショートアークランプにおい
て、 前記電極芯棒に、該保持用筒体の電極側端面に当接する
コイル部材が巻き付けられたことを特徴とするショート
アークランプ。 - 【請求項２】 前記電極芯棒に、該コイル部材が係止す
る溝が形成されたことを特徴とする請求項１記載のショ
ートアークランプ。 - 【請求項３】 前記コイル部材は、コイル素線の中腹部
で折り返して２段に巻回され、コイル素線の両側の端部
が同一側である２段巻きコイルであり、コイル素線の端
部が電極側に位置することを特徴とする請求項１又は２
記載のショートアークランプ。 - 【請求項４】 前記コイル部材は、エミッターを含むタ
ングステンであることを特徴とする請求項１、２又は３
記載のショートアークランプ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32058197A JP3562271B2 (ja) | 1997-11-07 | 1997-11-07 | ショートアークランプ |
| EP98120846A EP0915496B1 (en) | 1997-11-07 | 1998-11-03 | Short arc lamp |
| US09/184,949 US6369509B1 (en) | 1997-11-07 | 1998-11-03 | Short arc lamp with crack-preventing electric mounting arrangement |
| DE69826960T DE69826960T2 (de) | 1997-11-07 | 1998-11-03 | Kurzbogenlampe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32058197A JP3562271B2 (ja) | 1997-11-07 | 1997-11-07 | ショートアークランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11144679A true JPH11144679A (ja) | 1999-05-28 |
| JP3562271B2 JP3562271B2 (ja) | 2004-09-08 |
Family
ID=18123027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32058197A Expired - Lifetime JP3562271B2 (ja) | 1997-11-07 | 1997-11-07 | ショートアークランプ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6369509B1 (ja) |
| EP (1) | EP0915496B1 (ja) |
| JP (1) | JP3562271B2 (ja) |
| DE (1) | DE69826960T2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2009151982A (ja) * | 2007-12-19 | 2009-07-09 | Ushio Inc | 高圧放電ランプ |
| JP2014067516A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-17 | Orc Manufacturing Co Ltd | 放電ランプ、及び、放電ランプの製造方法 |
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| JP3166526B2 (ja) | 1994-12-22 | 2001-05-14 | ウシオ電機株式会社 | ショートアーク型放電ランプ |
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1997
- 1997-11-07 JP JP32058197A patent/JP3562271B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-11-03 DE DE69826960T patent/DE69826960T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-11-03 US US09/184,949 patent/US6369509B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-11-03 EP EP98120846A patent/EP0915496B1/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69826960D1 (de) | 2004-11-18 |
| EP0915496B1 (en) | 2004-10-13 |
| EP0915496A1 (en) | 1999-05-12 |
| JP3562271B2 (ja) | 2004-09-08 |
| US6369509B1 (en) | 2002-04-09 |
| DE69826960T2 (de) | 2006-02-23 |
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