JP3166526B2 - ショートアーク型放電ランプ - Google Patents
ショートアーク型放電ランプInfo
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- JP3166526B2 JP3166526B2 JP33534794A JP33534794A JP3166526B2 JP 3166526 B2 JP3166526 B2 JP 3166526B2 JP 33534794 A JP33534794 A JP 33534794A JP 33534794 A JP33534794 A JP 33534794A JP 3166526 B2 JP3166526 B2 JP 3166526B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はショートアーク型の放電
ランプに関する。
ランプに関する。
【０００２】
【従来の技術】ショートアーク型放電ランプは、耐熱温
度の高い石英ガラスよりなる発光バルブ内にタングステ
ン製の一対の電極を有し、該一対の電極は電極間距離を
１〜１０ｍｍ程度保って配置され、内部に放電用ガスと
して水銀や各種メタルハライドや希ガスが封入されてい
る。この様なショートアーク型放電ランプは、電極間隔
が小さくて高輝度が得られることから半導体露光装置用
の光源や映写用の光源として使用されている。
度の高い石英ガラスよりなる発光バルブ内にタングステ
ン製の一対の電極を有し、該一対の電極は電極間距離を
１〜１０ｍｍ程度保って配置され、内部に放電用ガスと
して水銀や各種メタルハライドや希ガスが封入されてい
る。この様なショートアーク型放電ランプは、電極間隔
が小さくて高輝度が得られることから半導体露光装置用
の光源や映写用の光源として使用されている。
【０００３】近年、半導体露光においては、露光する半
導体ウエハが大型化の傾向にあり、またスループットの
増大（露光処理時間の短縮）が求められている。映写用
の光源としては、スクリーンの大型化に伴い照度の大き
いランプが期待されている。このような事情により、シ
ョートアーク型放電ランプの大出力化が図られてきてい
る。比較的小出力のランプは、例えば実願昭４９−１０
２７５２（実願昭５１−３０３７７）に記載されてい
る。それに対し、消費電力が１ｋＷ以上のランプでは更
に以下の構成をとる必要があることが知られている。
導体ウエハが大型化の傾向にあり、またスループットの
増大（露光処理時間の短縮）が求められている。映写用
の光源としては、スクリーンの大型化に伴い照度の大き
いランプが期待されている。このような事情により、シ
ョートアーク型放電ランプの大出力化が図られてきてい
る。比較的小出力のランプは、例えば実願昭４９−１０
２７５２（実願昭５１−３０３７７）に記載されてい
る。それに対し、消費電力が１ｋＷ以上のランプでは更
に以下の構成をとる必要があることが知られている。
【０００４】すなわち、消費電力が大きくなると、放電
ランプの電流、電圧の設計値にもよるが大体において電
流値は大きくなる。そのため電極の径を大きくし、電極
支持用の内部リード棒も太く長くする必要がある。これ
に対応した電極の支持は、例えば実公平３−３０９９６
や実公平３−３９５６５に記載されているように、枝管
部にガラスパイプを使用することによって成される。
ランプの電流、電圧の設計値にもよるが大体において電
流値は大きくなる。そのため電極の径を大きくし、電極
支持用の内部リード棒も太く長くする必要がある。これ
に対応した電極の支持は、例えば実公平３−３０９９６
や実公平３−３９５６５に記載されているように、枝管
部にガラスパイプを使用することによって成される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】枝管部にガラスパイプ
を使用する場合、その製造工程において、ランプの両端
を保持し、さらにランプを回転させながらガスバーナー
で枝管部を加熱させてガラスを収縮させている。しかし
ながら発光バルブとして使用している石英ガラス管が均
一に収縮しないため、発光バルブ側もしくは反対側の片
側にガラスパイプと内部リード棒との間に１ｍｍ程度の
大きな隙間が生じる。
を使用する場合、その製造工程において、ランプの両端
を保持し、さらにランプを回転させながらガスバーナー
で枝管部を加熱させてガラスを収縮させている。しかし
ながら発光バルブとして使用している石英ガラス管が均
一に収縮しないため、発光バルブ側もしくは反対側の片
側にガラスパイプと内部リード棒との間に１ｍｍ程度の
大きな隙間が生じる。
【０００６】放電ランプは点灯中には高温になるため、
熱膨張率の差が大きいガラスパイプと内部リード棒との
間には、熱膨張の違いによる破損を防止するため極僅か
な隙間が必要である。しかし、この隙間が大きすぎると
輸送中の振動、衝撃によりガラスパイプが割れたり、封
止部に使用している金属箔が内部リード棒との接続点に
おいて切断される可能性が大きくなる。また、電極から
の伝導熱が内部リード棒から枝管部のガラスに十分伝わ
らないために、封止部の温度が上昇し金属箔と内部リー
ド棒との接続部が破損する可能性が大きくなる。
熱膨張率の差が大きいガラスパイプと内部リード棒との
間には、熱膨張の違いによる破損を防止するため極僅か
な隙間が必要である。しかし、この隙間が大きすぎると
輸送中の振動、衝撃によりガラスパイプが割れたり、封
止部に使用している金属箔が内部リード棒との接続点に
おいて切断される可能性が大きくなる。また、電極から
の伝導熱が内部リード棒から枝管部のガラスに十分伝わ
らないために、封止部の温度が上昇し金属箔と内部リー
ド棒との接続部が破損する可能性が大きくなる。
【０００７】該隙間を小さくするため枝管部を加熱する
時間を長くしたり、バーナーの火力を大きくすると、ガ
ラスパイプが内部リード棒に焼き付いてガラスパイプに
クラックが発生する。そして場合によっては、枝管部に
もクラックが派生する。
時間を長くしたり、バーナーの火力を大きくすると、ガ
ラスパイプが内部リード棒に焼き付いてガラスパイプに
クラックが発生する。そして場合によっては、枝管部に
もクラックが派生する。
【０００８】一方、封止作業時にランプを回転させてい
るので、ガラスパイプの収縮前には内部リード棒が貫通
するガラスパイプは静止せず動き回り、どうしても収縮
後に隙間に偏りが生じる。さらに、ガラスパイプを所定
の位置に配置するのが困難になり、所望の特性を有する
大出力のショートアーク型放電ランプを製作できない。
るので、ガラスパイプの収縮前には内部リード棒が貫通
するガラスパイプは静止せず動き回り、どうしても収縮
後に隙間に偏りが生じる。さらに、ガラスパイプを所定
の位置に配置するのが困難になり、所望の特性を有する
大出力のショートアーク型放電ランプを製作できない。
【０００９】本発明は以上のような事情に基づいてなさ
れたものであり、その第１の課題は内部リード棒とガラ
スパイプとの隙間が均一に十分小さい、大出力のショー
トアーク型放電ランプを提供することにある。
れたものであり、その第１の課題は内部リード棒とガラ
スパイプとの隙間が均一に十分小さい、大出力のショー
トアーク型放電ランプを提供することにある。
【００１０】本発明の第２の課題は、ガラスパイプが所
定の位置にある、所望の特性を有する大出力のショート
アーク型放電ランプを提供することにある。
定の位置にある、所望の特性を有する大出力のショート
アーク型放電ランプを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の請求項１の発明は、放電空間を取り囲む発
光バルブと、該発光バルブの両端に続く枝管部と、該発
光バルブ内に対設された一対の電極と、該電極を支持し
該枝管部で保持される内部リード棒と、該内部リード棒
に接続された気密封止金属箔と、前記枝管部と前記内部
リード棒との間に介在する前記枝管部と同材質のガラス
パイプからなる放電ランプからなり、前記ガラスパイプ
が前記内部リード棒に固着した２枚以上の厚さ０．０８
〜０．８ｍｍの金属片で位置決めされ、該金属片が前記
内部リード棒に固着する固着点が２ヵ所以上あり、かつ
該固着点の間隔が１０ｍｍ以下であって、該ガラスパイ
プと該金属片との間に厚さ０．００５〜０．０５ｍｍの
金属箔が巻きつけられているものである。
に、本発明の請求項１の発明は、放電空間を取り囲む発
光バルブと、該発光バルブの両端に続く枝管部と、該発
光バルブ内に対設された一対の電極と、該電極を支持し
該枝管部で保持される内部リード棒と、該内部リード棒
に接続された気密封止金属箔と、前記枝管部と前記内部
リード棒との間に介在する前記枝管部と同材質のガラス
パイプからなる放電ランプからなり、前記ガラスパイプ
が前記内部リード棒に固着した２枚以上の厚さ０．０８
〜０．８ｍｍの金属片で位置決めされ、該金属片が前記
内部リード棒に固着する固着点が２ヵ所以上あり、かつ
該固着点の間隔が１０ｍｍ以下であって、該ガラスパイ
プと該金属片との間に厚さ０．００５〜０．０５ｍｍの
金属箔が巻きつけられているものである。
【００１２】
【００１３】本発明の請求項２の発明は、請求項１の発
明において、前記巻きつけられている金属箔が前記内部
リード棒に固着し、その固着点が、前記２枚以上の各金
属片間にそれぞれ１点以上存在するようにしたものであ
る。
明において、前記巻きつけられている金属箔が前記内部
リード棒に固着し、その固着点が、前記２枚以上の各金
属片間にそれぞれ１点以上存在するようにしたものであ
る。
【００１４】
【作用】本発明の請求項１の発明は、前記ガラスパイプ
が前記内部リード棒に固着した２枚以上の金属片で位置
決めされているので、前記ガラスパイプが所定の位置に
配置される。さらに、枝管部を加熱する際、２枚以上の
金属片が内部リード棒の外周に均等に配置されているの
で、ガラスパイプが内部リード棒に対して変位せず、所
定に位置に配置される。金属片は、その厚みを０．０８
〜０．８ｍｍとすると好適である。
が前記内部リード棒に固着した２枚以上の金属片で位置
決めされているので、前記ガラスパイプが所定の位置に
配置される。さらに、枝管部を加熱する際、２枚以上の
金属片が内部リード棒の外周に均等に配置されているの
で、ガラスパイプが内部リード棒に対して変位せず、所
定に位置に配置される。金属片は、その厚みを０．０８
〜０．８ｍｍとすると好適である。
【００１５】また、前記ガラスパイプと前記金属片との
間に金属箔を巻きつけたので、隙間を小さくするため枝
管部を加熱する時間を長くしたり、バーナーの火力を大
きくしても、ガラスパイプが内部リード棒に焼き付くこ
とがなくなり、ガラスパイプのクラックの派生が抑制さ
れる。さらに、金属箔は極僅かな隙間を持ったクッショ
ンとして作用するので、前記内部リード棒と前記ガラス
パイプの熱膨張の違いによる破損が防止され、輸送中の
振動による破損も防止される。金属箔は、その厚みを
０．００５〜０．０５ｍｍとすると好適である。
間に金属箔を巻きつけたので、隙間を小さくするため枝
管部を加熱する時間を長くしたり、バーナーの火力を大
きくしても、ガラスパイプが内部リード棒に焼き付くこ
とがなくなり、ガラスパイプのクラックの派生が抑制さ
れる。さらに、金属箔は極僅かな隙間を持ったクッショ
ンとして作用するので、前記内部リード棒と前記ガラス
パイプの熱膨張の違いによる破損が防止され、輸送中の
振動による破損も防止される。金属箔は、その厚みを
０．００５〜０．０５ｍｍとすると好適である。
【００１６】更に、前記金属片が前記内部リード棒に固
着する固着点を２ヵ所以上とし、かつ該固着点の間隔を
１０ｍｍ以下にしたので、請求項１の発明と同様な作用
に加えて、以下の作用を有する。固着点を２ヵ所以上と
したので、前記ガラスパイプを位置決めする前記金属片
が精度よく配置される。
着する固着点を２ヵ所以上とし、かつ該固着点の間隔を
１０ｍｍ以下にしたので、請求項１の発明と同様な作用
に加えて、以下の作用を有する。固着点を２ヵ所以上と
したので、前記ガラスパイプを位置決めする前記金属片
が精度よく配置される。
【００１７】発明者の実験によれば、固着点の間隔を１
０ｍｍより大きくすると、枝管部の加熱時に前記金属片
が熱膨張のため弓なりに反り、大きな隙間が発生するこ
とが分かった。よって固着点の間隔を１０ｍｍ以下とし
たので、このような大きな隙間が発生しない。
０ｍｍより大きくすると、枝管部の加熱時に前記金属片
が熱膨張のため弓なりに反り、大きな隙間が発生するこ
とが分かった。よって固着点の間隔を１０ｍｍ以下とし
たので、このような大きな隙間が発生しない。
【００１８】本発明の請求項２の発明は、請求項１の発
明において、前記巻きつけられている金属箔が前記内部
リード棒に固着し、その固着点が、前記２枚以上の各金
属片間にそれぞれ１点以上存在するようにしたもので、
請求項１または請求項２のいずれかの発明と同様な作用
に加えて、以下の作用を有する。
明において、前記巻きつけられている金属箔が前記内部
リード棒に固着し、その固着点が、前記２枚以上の各金
属片間にそれぞれ１点以上存在するようにしたもので、
請求項１または請求項２のいずれかの発明と同様な作用
に加えて、以下の作用を有する。
【００１９】巻きつけられている金属箔が前記内部リー
ド棒に固着されているので、固着されていないときに発
生する巻き戻しによる金属箔のゆるみが発生しない。よ
ってゆるみよる金属箔のシワに起因する大きな隙間が発
生しない。特に、固着点が、前記２枚以上の各金属片間
にそれぞれ１点以上存在するようにしたので、確実にゆ
るみが発生することなく金属箔が設置される。
ド棒に固着されているので、固着されていないときに発
生する巻き戻しによる金属箔のゆるみが発生しない。よ
ってゆるみよる金属箔のシワに起因する大きな隙間が発
生しない。特に、固着点が、前記２枚以上の各金属片間
にそれぞれ１点以上存在するようにしたので、確実にゆ
るみが発生することなく金属箔が設置される。
【００２０】
【実施例】図１を用いて、本発明のショートアーク型放
電ランプを説明する。放電空間を取り囲む発光バルブ２
内に陽極１と陰極（不図示）が対向配置されており、電
極間距離は３ｍｍである。陽極１の長さは２０ｍｍ、陽
極１の直径は１５ｍｍである。この陽極１は直径６ｍｍ
の内部リード棒６によって、発光バルブ２に続く枝管部
１４内で保持されている。そして、この内部リード棒６
は電極１と反対側の端部において、集電用金属ワッシャ
７に熔接されている。
電ランプを説明する。放電空間を取り囲む発光バルブ２
内に陽極１と陰極（不図示）が対向配置されており、電
極間距離は３ｍｍである。陽極１の長さは２０ｍｍ、陽
極１の直径は１５ｍｍである。この陽極１は直径６ｍｍ
の内部リード棒６によって、発光バルブ２に続く枝管部
１４内で保持されている。そして、この内部リード棒６
は電極１と反対側の端部において、集電用金属ワッシャ
７に熔接されている。
【００２１】この金属ワッシャ７には気密封止用金属箔
８の一端が熔接されている。気密封止用金属箔８は、外
部リード棒１３を封止固定する封止用ガラスパイプ１０
を覆う封止用ガラスカップ９の側面に沿って配置され
る。また気密封止用金属箔８の他端部には、外部リード
棒１３に熔接された集電用金属ワッシャ１１が熔接され
ている。１２は、金属ワッシャ１１を支えるガラスパイ
プである。この放電ランプは、消費電力が２ｋＷであ
り、ランプ電流は６０Ａ，ランプ電圧は３３Ｖである。
８の一端が熔接されている。気密封止用金属箔８は、外
部リード棒１３を封止固定する封止用ガラスパイプ１０
を覆う封止用ガラスカップ９の側面に沿って配置され
る。また気密封止用金属箔８の他端部には、外部リード
棒１３に熔接された集電用金属ワッシャ１１が熔接され
ている。１２は、金属ワッシャ１１を支えるガラスパイ
プである。この放電ランプは、消費電力が２ｋＷであ
り、ランプ電流は６０Ａ，ランプ電圧は３３Ｖである。
【００２２】図２は、本発明の放電ランプの枝管部分の
拡大図である。図３は、図２における枝管部分のＡ−Ａ
断面図である。図４は、図２におけるガラスパイプ部分
の拡大図である。金属片３は、厚さ０．１ｍｍ、幅３ｍ
ｍ、長さ２０ｍｍのモリブデン製であり、図３に示され
るように内部リード棒６の外周に３枚均等に配置されて
いる。また、図４に示されるように、各々２点で内部リ
ード棒６と固着され、その固着点１５は封止部近くに５
ｍｍの間隔で位置している。
拡大図である。図３は、図２における枝管部分のＡ−Ａ
断面図である。図４は、図２におけるガラスパイプ部分
の拡大図である。金属片３は、厚さ０．１ｍｍ、幅３ｍ
ｍ、長さ２０ｍｍのモリブデン製であり、図３に示され
るように内部リード棒６の外周に３枚均等に配置されて
いる。また、図４に示されるように、各々２点で内部リ
ード棒６と固着され、その固着点１５は封止部近くに５
ｍｍの間隔で位置している。
【００２３】図３に戻り、ガラスパイプ５と内部リード
棒６との間に、金属片３を覆うように内部リード棒６の
外周に沿って厚さ０．０１５ｍｍのモリブデン製のクッ
ション用金属箔４が巻きつけられている。クッション用
金属箔４は、内部リード棒６の外周に略均等に配置され
た隣合う金属片３の間で、内部リード棒６と固着してい
る。１６はクッション用金属箔４を内部リード棒６に固
着した固着点であり、、固着点１６は、各金属片３間に
それぞれ１点存在する。
棒６との間に、金属片３を覆うように内部リード棒６の
外周に沿って厚さ０．０１５ｍｍのモリブデン製のクッ
ション用金属箔４が巻きつけられている。クッション用
金属箔４は、内部リード棒６の外周に略均等に配置され
た隣合う金属片３の間で、内部リード棒６と固着してい
る。１６はクッション用金属箔４を内部リード棒６に固
着した固着点であり、、固着点１６は、各金属片３間に
それぞれ１点存在する。
【００２４】本発明のショートアーク型放電ランプは、
以下の利点を有する。 （１）ガラスパイプ５を加熱収縮させる時、ガラスパイ
プ５が内部リード棒６の外周に均等に配置された金属片
３によって位置決めされているので、ガラスパイプ５が
内部リード棒６に対して変位せず、所定に位置に配置す
ることができる。特に図２あるいは図４に示すように、
金属片３の先端を折り曲げておくと、位置決めを確実に
行うことができる。
以下の利点を有する。 （１）ガラスパイプ５を加熱収縮させる時、ガラスパイ
プ５が内部リード棒６の外周に均等に配置された金属片
３によって位置決めされているので、ガラスパイプ５が
内部リード棒６に対して変位せず、所定に位置に配置す
ることができる。特に図２あるいは図４に示すように、
金属片３の先端を折り曲げておくと、位置決めを確実に
行うことができる。
【００２５】発明者は、金属片の厚みを変えて複数のラ
ンプを製作した。その結果、金属片３の厚さが０．０８
ｍｍより薄い場合には、ガラスパイプ５は所定の位置に
固定されなくなるとともに、内部リード棒６とガラスパ
イプ５との隙間によるリード棒６のガタツキは改善され
なかった。また、金属片３が０．８ｍｍより厚いと内部
リード棒６の外周に沿った折り曲げが困難になり、ガラ
スの収縮後にガラスおよび金属片３に歪みが入って破損
してしまうことがあった。よって金属片３は、その厚み
を０．０８〜０．８ｍｍとすると好適であることが分か
った。
ンプを製作した。その結果、金属片３の厚さが０．０８
ｍｍより薄い場合には、ガラスパイプ５は所定の位置に
固定されなくなるとともに、内部リード棒６とガラスパ
イプ５との隙間によるリード棒６のガタツキは改善され
なかった。また、金属片３が０．８ｍｍより厚いと内部
リード棒６の外周に沿った折り曲げが困難になり、ガラ
スの収縮後にガラスおよび金属片３に歪みが入って破損
してしまうことがあった。よって金属片３は、その厚み
を０．０８〜０．８ｍｍとすると好適であることが分か
った。
【００２６】また、図４に示すように内部リード棒６と
金属片３との固着点１５を２カ所以上設けたので、金属
片３がずれることなく配置することができた。
金属片３との固着点１５を２カ所以上設けたので、金属
片３がずれることなく配置することができた。
【００２７】発明者は、この固着点間の間隔を変えて複
数のランプを製作した。その結果、固着点間の間隔が１
０ｍｍ以上になると、枝管部１４のガラス加熱時、熱膨
張のため金属片３が延びて弓なりになり、ガラスパイプ
と内部リード棒の隙間が１ｍｍ以上になり、完全にガラ
スが収縮されなくて、冷却時に隙間が大きくなってガタ
が大きくなってしまうことが分かった。本実施例では、
先に述べたように固着点間の間隔を５ｍｍにしたので、
このような問題は発生しなかった。
数のランプを製作した。その結果、固着点間の間隔が１
０ｍｍ以上になると、枝管部１４のガラス加熱時、熱膨
張のため金属片３が延びて弓なりになり、ガラスパイプ
と内部リード棒の隙間が１ｍｍ以上になり、完全にガラ
スが収縮されなくて、冷却時に隙間が大きくなってガタ
が大きくなってしまうことが分かった。本実施例では、
先に述べたように固着点間の間隔を５ｍｍにしたので、
このような問題は発生しなかった。
【００２８】（２）ガラスパイプ５と内部リード棒６と
の間に、クッション用金属箔４が巻きつけられているの
で、隙間を小さくするため枝管部を加熱する時間を長く
したり、バーナーの火力を大きくしても、ガラスパイプ
が内部リード棒に焼き付くことがなくなり、ガラスパイ
プでのクラックの発生しなかった。なお、内部リード棒
６に巻き付けるクッション用金属箔４は、内部リード棒
６とガラスパイプとの隙間に応じて、適時巻き数を決め
れば良い。一例として、３から４ターンが好ましい。さ
らに、クッション用金属箔４は極僅かな隙間を持ったク
ッションとして作用するので、内部リード棒６とガラス
パイプ５との熱膨張の違いによる破損も起こらなかっ
た。また、輸送中の振動に対してもクッションの役目が
あって、内部リード棒の一端に取り付けられた集電用金
属ワッシャに熔接された封止用金属箔の破損が防止でき
る。よって、内部リード棒とガラスパイプとの隙間が十
分に小さい、大出力のショートアーク型放電ランプを提
供することができた。
の間に、クッション用金属箔４が巻きつけられているの
で、隙間を小さくするため枝管部を加熱する時間を長く
したり、バーナーの火力を大きくしても、ガラスパイプ
が内部リード棒に焼き付くことがなくなり、ガラスパイ
プでのクラックの発生しなかった。なお、内部リード棒
６に巻き付けるクッション用金属箔４は、内部リード棒
６とガラスパイプとの隙間に応じて、適時巻き数を決め
れば良い。一例として、３から４ターンが好ましい。さ
らに、クッション用金属箔４は極僅かな隙間を持ったク
ッションとして作用するので、内部リード棒６とガラス
パイプ５との熱膨張の違いによる破損も起こらなかっ
た。また、輸送中の振動に対してもクッションの役目が
あって、内部リード棒の一端に取り付けられた集電用金
属ワッシャに熔接された封止用金属箔の破損が防止でき
る。よって、内部リード棒とガラスパイプとの隙間が十
分に小さい、大出力のショートアーク型放電ランプを提
供することができた。
【００２９】発明者は、本発明のショートアーク型放電
ランプの製作時に、クッション用金属箔４を内部リード
棒６に固着しないまま巻きつけると、クッション用金属
箔４が加熱時に巻き戻しによるゆるみが発生し、ゆるみ
よる金属箔のシワに起因する大きな隙間が発生すること
が分かった。また、ガラスの収縮が不完全になって内部
リード棒６が所定の位置に配置されないことがあること
も分かった。本実施例では、先に述べたようにクッショ
ン用金属箔４と内部リード棒６とは隣合う金属片３の間
で固着されているので、このような問題は発生しなかっ
た。
ランプの製作時に、クッション用金属箔４を内部リード
棒６に固着しないまま巻きつけると、クッション用金属
箔４が加熱時に巻き戻しによるゆるみが発生し、ゆるみ
よる金属箔のシワに起因する大きな隙間が発生すること
が分かった。また、ガラスの収縮が不完全になって内部
リード棒６が所定の位置に配置されないことがあること
も分かった。本実施例では、先に述べたようにクッショ
ン用金属箔４と内部リード棒６とは隣合う金属片３の間
で固着されているので、このような問題は発生しなかっ
た。
【００３０】また、本発明のショートアーク型放電ラン
プの製作時に、クッション用金属箔４の厚さを０．００
５ｍｍより薄くすると巻きつけ作業中やガラスパイプ５
を挿入するときに、クッション用金属箔４の破れが生じ
やすいことが分かった。また、０．０５ｍｍより厚い
と、巻きつけ作業性が悪くなったり、内部リード棒６に
沿わなくて大きな隙間ができたりすることがあった。よ
ってクッション用金属箔４は、その厚みを０．００５〜
０．０５ｍｍとすると好適であることが分かった。
プの製作時に、クッション用金属箔４の厚さを０．００
５ｍｍより薄くすると巻きつけ作業中やガラスパイプ５
を挿入するときに、クッション用金属箔４の破れが生じ
やすいことが分かった。また、０．０５ｍｍより厚い
と、巻きつけ作業性が悪くなったり、内部リード棒６に
沿わなくて大きな隙間ができたりすることがあった。よ
ってクッション用金属箔４は、その厚みを０．００５〜
０．０５ｍｍとすると好適であることが分かった。
【００３１】本実施例は主に消費電力が２ｋＷのショー
トアーク型放電ランプについて実施したものである。先
に述べた効果（１）（２）の確認後は更に、消費電力が
１．３ｋＷから８ｋＷまでの放電ランプについても同様
な構成を適用したが、同じような効果を確認できた。
尚、本発明の構造はその考え方において、同様の構造の
放電ランプであれば８ｋＷ以上のランプに対しても適用
しても同様の改善効果を期待できるのは明らかである。
トアーク型放電ランプについて実施したものである。先
に述べた効果（１）（２）の確認後は更に、消費電力が
１．３ｋＷから８ｋＷまでの放電ランプについても同様
な構成を適用したが、同じような効果を確認できた。
尚、本発明の構造はその考え方において、同様の構造の
放電ランプであれば８ｋＷ以上のランプに対しても適用
しても同様の改善効果を期待できるのは明らかである。
【００３２】
【発明の効果】本発明の請求項１の発明においては、前
記ガラスパイプが前記内部リード棒に固着した２枚以上
の金属片で位置決めされているので、前記ガラスパイプ
が所定の位置に配置することができる。特に、金属片
は、その厚みを０．０８〜０．８ｍｍとすると好適であ
る。
記ガラスパイプが前記内部リード棒に固着した２枚以上
の金属片で位置決めされているので、前記ガラスパイプ
が所定の位置に配置することができる。特に、金属片
は、その厚みを０．０８〜０．８ｍｍとすると好適であ
る。
【００３３】また、前記ガラスパイプと前記金属片との
間に金属箔を巻きつけたので、隙間を小さくするため枝
管部を加熱する時間を長くしたり、バーナーの火力を大
きくしても、ガラスパイプが内部リード棒に焼き付くこ
とがなくなり、ガラスパイプでのクラックの発生が抑制
される。 さらに、金属箔は極僅かな隙間を持ったクッ
ションとして作用するので、前記内部リード棒と前記ガ
ラスパイプの熱膨張の違いによる破損が防止され、輸送
中の振動による破損も防止される。特に、金属箔は、そ
の厚みを０．００５〜０．０５ｍｍとすると好適であ
る。
間に金属箔を巻きつけたので、隙間を小さくするため枝
管部を加熱する時間を長くしたり、バーナーの火力を大
きくしても、ガラスパイプが内部リード棒に焼き付くこ
とがなくなり、ガラスパイプでのクラックの発生が抑制
される。 さらに、金属箔は極僅かな隙間を持ったクッ
ションとして作用するので、前記内部リード棒と前記ガ
ラスパイプの熱膨張の違いによる破損が防止され、輸送
中の振動による破損も防止される。特に、金属箔は、そ
の厚みを０．００５〜０．０５ｍｍとすると好適であ
る。
【００３４】更に、前記金属片が前記内部リード棒に固
着する固着点を２ヵ所以上とし、かつ該固着点の間隔を
１０ｍｍ以下にしたので、以下の効果を有する。すなわ
ち、固着点を２ヵ所以上としたので、前記ガラスパイプ
を位置決めする前記金属片が精度よく配置される。
着する固着点を２ヵ所以上とし、かつ該固着点の間隔を
１０ｍｍ以下にしたので、以下の効果を有する。すなわ
ち、固着点を２ヵ所以上としたので、前記ガラスパイプ
を位置決めする前記金属片が精度よく配置される。
【００３５】また、固着点の間隔を１０ｍｍ以下とした
ので、枝管部の加熱時に前記金属片が熱膨張のため弓な
りに反り、大きな隙間が発生することがない。
ので、枝管部の加熱時に前記金属片が熱膨張のため弓な
りに反り、大きな隙間が発生することがない。
【００３６】本発明の請求項２の発明は、請求項１の発
明において、前記巻きつけられている金属箔が前記内部
リード棒に固着し、その固着点が、前記２枚以上の各金
属片間にそれぞれ１点以上存在するようにしたので、請
求項１の発明と同様な効果に加えて、以下の効果を有す
る。
明において、前記巻きつけられている金属箔が前記内部
リード棒に固着し、その固着点が、前記２枚以上の各金
属片間にそれぞれ１点以上存在するようにしたので、請
求項１の発明と同様な効果に加えて、以下の効果を有す
る。
【００３７】巻きつけられている金属箔が前記内部リー
ド棒に固着されているので、固着されていないときに発
生する巻き戻しによる金属箔のゆるみが発生しない。よ
ってゆるみよる金属箔のシワに起因する大きな隙間が発
生しない。特に、固着点が、前記２枚以上の各金属片間
にそれぞれ１点以上存在するようにしたので、確実にゆ
るみが発生することなく金属箔が設置することができ
る。
ド棒に固着されているので、固着されていないときに発
生する巻き戻しによる金属箔のゆるみが発生しない。よ
ってゆるみよる金属箔のシワに起因する大きな隙間が発
生しない。特に、固着点が、前記２枚以上の各金属片間
にそれぞれ１点以上存在するようにしたので、確実にゆ
るみが発生することなく金属箔が設置することができ
る。
【００３８】以上説明したように、本発明によれば、内
部リード棒とガラスパイプとの隙間が適正になり、輸送
中のガラスパイプの破損や点灯中のシール部分の破損が
生じる可能性がほとんどなくなった。また、ガラスパイ
プを使用したため枝管部分の肉厚が増し、耐圧強度も増
加して安全度が増した。よって、内部リード棒とガラス
パイプとの隙間が十分に小さい、大出力のショートアー
ク型放電ランプを提供することができる。また、ガラス
パイプが所定の位置にある、所望の特性を有する大出力
のショートアーク型放電ランプを提供することができ
る。
部リード棒とガラスパイプとの隙間が適正になり、輸送
中のガラスパイプの破損や点灯中のシール部分の破損が
生じる可能性がほとんどなくなった。また、ガラスパイ
プを使用したため枝管部分の肉厚が増し、耐圧強度も増
加して安全度が増した。よって、内部リード棒とガラス
パイプとの隙間が十分に小さい、大出力のショートアー
ク型放電ランプを提供することができる。また、ガラス
パイプが所定の位置にある、所望の特性を有する大出力
のショートアーク型放電ランプを提供することができ
る。
【図１】封止部分及び枝管部の説明図である。
【図２】枝管部分の拡大図である。
【図３】枝管部分のＡ−Ａ断面図である。
【図４】ガラスパイプ部分の拡大図である。
１ 陽極 ２ 発光バルブ ３ 金属片 ４ クッション用金属箔 ５ ガラスパイプ ６ 内部リード棒 ７ 金属ワッシャ ８ 気密封止用金属箔 ９ 封止用ガラスカップ １０ 封止用ガラスパイプ １１ 金属ワッシャ １２ ガラスパイプ １３ 外部リード棒 １４ 枝管部 １５ 固着点 １６ 固着点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−101348（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−47060（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 61/36 H01J 61/30 H01J 61/86
Claims (2)
- 【請求項１】 放電空間を取り囲む発光バルブと、該発
光バルブの両端に続く枝管部と、該発光バルブ内に対設
された一対の電極と、該電極を支持し該枝管部で保持さ
れる内部リード棒と、該内部リード棒に接続された気密
封止金属箔と、前記枝管部と前記内部リード棒との間に
介在する前記枝管部と同材質のガラスパイプからなる放
電ランプからなり、 前記ガラスパイプが前記内部リード棒に固着した２枚以
上の厚さ０．０８〜０．８ｍｍの金属片で位置決めさ
れ、該金属片が前記内部リード棒に固着する固着点が２
ヵ所以上あり、かつ該固着点の間隔が１０ｍｍ以下であ
って、 該ガラスパイプと該金属片との間に厚さ０．００５〜
０．０５ｍｍの金属箔が巻きつけられていることを特徴
とするショートアーク型放電ランプ。 - 【請求項２】 前記巻きつけられている金属箔が前記内
部リード棒に固着されていて、 その固着点が、前記２枚以上の各金属片間にそれぞれ１
点以上存在することを特徴とする請求項１に記載のショ
ートアーク型放電ランプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33534794A JP3166526B2 (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | ショートアーク型放電ランプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33534794A JP3166526B2 (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | ショートアーク型放電ランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08180839A JPH08180839A (ja) | 1996-07-12 |
| JP3166526B2 true JP3166526B2 (ja) | 2001-05-14 |
Family
ID=18287514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33534794A Expired - Lifetime JP3166526B2 (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | ショートアーク型放電ランプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3166526B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007115414A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Orc Mfg Co Ltd | 放電灯の封止構造 |
| CN101527250B (zh) * | 2008-03-03 | 2012-07-25 | 优志旺电机株式会社 | 短弧型高压放电灯 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3430887B2 (ja) | 1997-10-31 | 2003-07-28 | ウシオ電機株式会社 | ショートアークランプ |
| JP3562271B2 (ja) * | 1997-11-07 | 2004-09-08 | ウシオ電機株式会社 | ショートアークランプ |
| JP3480364B2 (ja) * | 1999-04-23 | 2003-12-15 | ウシオ電機株式会社 | ショートアーク型放電ランプ |
| DE19951445C1 (de) * | 1999-10-25 | 2001-07-19 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Quecksilber-Kurzbogenlampe |
| JP2009230904A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプ |
| WO2010025762A1 (de) * | 2008-09-02 | 2010-03-11 | Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Entladungslampe |
| JP5446218B2 (ja) * | 2008-11-11 | 2014-03-19 | ウシオ電機株式会社 | 放電ランプ |
| JP6929763B2 (ja) * | 2017-11-29 | 2021-09-01 | 株式会社オーク製作所 | 放電ランプおよび放電ランプの製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0330996Y2 (ja) * | 1985-09-11 | 1991-07-01 | ||
| JPH04101348A (ja) * | 1990-08-17 | 1992-04-02 | Ushio Inc | 高圧放電灯 |
-
1994
- 1994-12-22 JP JP33534794A patent/JP3166526B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007115414A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Orc Mfg Co Ltd | 放電灯の封止構造 |
| CN101527250B (zh) * | 2008-03-03 | 2012-07-25 | 优志旺电机株式会社 | 短弧型高压放电灯 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08180839A (ja) | 1996-07-12 |
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