JP6637801B2 - ショートアーク型放電ランプ - Google Patents

ショートアーク型放電ランプ Download PDF

Info

Publication number
JP6637801B2
JP6637801B2 JP2016054205A JP2016054205A JP6637801B2 JP 6637801 B2 JP6637801 B2 JP 6637801B2 JP 2016054205 A JP2016054205 A JP 2016054205A JP 2016054205 A JP2016054205 A JP 2016054205A JP 6637801 B2 JP6637801 B2 JP 6637801B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holding cylinder
electrode core
discharge lamp
tube
metal member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016054205A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017168367A (ja
Inventor
裕介 細木
裕介 細木
宏 小平
宏 小平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Orc Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Orc Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Orc Manufacturing Co Ltd filed Critical Orc Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2016054205A priority Critical patent/JP6637801B2/ja
Publication of JP2017168367A publication Critical patent/JP2017168367A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6637801B2 publication Critical patent/JP6637801B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)

Description

本発明は、デジタルシネマ用、半導体露光用、赤外線や紫外線硬化用等の光源に使用されるショートアーク型放電ランプに関する。
このようなショートアーク型放電ランプは、発光管内には一対の対向する電極が配置されるともに、放電ガスが封入される。放電ガスはキセノン等の希ガスを主成分としたガスであり、発光管内部の放電ガス圧力を非常に高くすることで、輝度を高くしている。発光管内部に水銀を封入していないため、ランプ点灯時に電極に供給される電流が大電流となる。よって、一対の電極を支持する一対の電極芯棒を、発光管の両端に連設した封止管から外部に突出させている。
そして、電極芯棒を封止管内に安定して支持するため、該電極芯棒と封止管との間に、石英ガラスからなる保持用筒体を介在させることが行われている。保持用筒体は、中心部に電極芯棒を通す軸穴を有する筒体で、その外周面には従来、封止管と保持用筒体との溶着を防ぐ金属体を介在させている(特許文献1ないし4)。
中でも、特許文献3の保持用筒体は、外周面に小径部を形成し、この保持用筒体の外周面に金属箔を巻回し、封止管を保持用筒体の小径部に倣うように熱変形(縮径)させることにより、保持用筒体の封止管内での軸方向移動を防いでいる。
特開平11-135067号公報 特開2000-306549号公報 特開2003-242932号公報 特開2005-11671号公報
しかし、特許文献3の保持用筒体の軸方向の位置は、封止管を熱変形させたときに規制されるものであって、ランプ製造段階(封止管縮径前)では保持用筒体の軸方向位置がずれる可能性があった。具体的には、封止工程において、電極芯棒を挿通した保持用筒体を封止管内に挿入したときに、保持用筒体が振動等によって電極芯棒に対して軸方向に移動し、外周面の金属箔が封止管内周面に擦れることで、封止管にクラックが生じるおそれがあった。さらに上記構造では、封止管を熱変形させて保持用筒体の軸方向移動を規制した状態でも、保持用筒体が回転方向(周方向)に位置ずれが生じる(すなわち、電極芯棒及び封止管に対して相対回転する)可能性があり、同様に封止管にクラックが生じるおそれがあった。
本発明は、以上の問題意識、特に保持用筒体が電極芯棒に対して相対回転してしまうことに起因する問題点に基づき、ランプ製造段階を含めて、保持用筒体と電極芯棒とが相対回転しないショートアーク型放電ランプを得ることを目的とする。
また、本発明は、加えて、保持用筒体と電極芯棒とが軸方向に相対移動しないショートアーク型放電ランプを得ることを目的とする。
本発明は、内部に一対の電極を備えた発光管と、上記発光管の両端部に連設された封止管と、上記一対の電極にそれぞれ接続された一対の電極芯棒と、少なくとも一方の上記封止管の内部で、上記電極芯棒と上記封止管との間に位置する保持用筒体と、を有するショートアーク型放電ランプにおいて、上記保持用筒体と上記電極芯棒との間に、上記電極芯棒に固定され、上記保持用筒体に相対回動を生じない態様で係合する金属部材が存在すること、を特徴としている。
好ましい実施形態では、上記保持用筒体には、上記保持用筒体の内周面と外周面とを連通させる、上記保持用筒体の径方向に沿った連通部が形成されており、上記連通部に上記金属部材の少なくとも一部が挿入されている。
また、好ましい実施形態では、上記金属部材は、上記保持用筒体と上記電極芯棒との間に配置された電極芯棒巻回部分と、上記保持用筒体と上記封止管との間に配置された保持用筒体巻回部分とを有し、上記連通部を介して上記電極芯棒巻回部分と上記保持用筒体巻回部分とが一体的に接続されている。
上記電極芯棒巻回部分と上記保持用筒体巻回部分の少なくとも一方は、ランプ軸方向両端部に上記保持用筒体の軸方向端面に沿った金属部材を有することが好ましい。
上記連通部は、上記保持用筒体の軸方向両側の空間を連通させる連通路を有することが好ましい。
本発明のショートアーク型放電ランプは、保持用筒体の電極芯棒に対する相対回転を電極芯棒に固定した金属部材によって防止することができるので、該相対回転に起因する封止管の破損を防止することができる。さらに、金属部材によって保持用筒体と電極芯棒の軸方向の相対移動も防止することで該軸方向移動に起因する封止管の破損を防止することができる。
本発明によるショートアーク型放電ランプ及び反射鏡を含む光源装置の一実施形態を示す縦断図である。 図1のII部拡大断面図である。 図2のIII−III線に沿う断面図である。 (A)、(B)、(C)及び(D)は、電極芯棒に金属箔を巻回し、その電極芯棒を保持用筒体に結合する工程を示す斜視図である。 本発明の別の実施形態を示す、図2に対応する断面図である。 本発明によるショートアーク型放電ランプのさらに別の実施形態を示す、図4(B)に対応する斜視図である。
以下、図面に基づいて本発明の実施形態を説明する。図1ないし図4は、本発明によるショートアーク型放電ランプ(以下「ランプ」)100の第1の実施形態を示している。
図1は、ランプ100と凹面反射鏡1を有する光源装置の全体を示している。図2は、図1のII部拡大断面を示しており、図3は、図2のIII−III線に沿う断面を示している。ランプ100は、発光管3と、発光管3の両端に連接された封止管4とを備える。発光管3と封止管4とはそれぞれ石英ガラスから構成され、発光管3には放電ガスとしてキセノンガスが大気圧以上で封入される。発光管3の内部には、一対の電極5(陽極5aと陰極5b)が配置され、この一対の電極5には一端を封止管4の端部から外部に突出させた電極芯棒6がそれぞれ接続される。凹面反射鏡1は通常、楕円面鏡または放物面鏡であって、一対の電極5は、凹面反射鏡1の焦点位置を中心として対向配置される。図1では、封止管4の端部に電極芯棒6に導通する口金9が設けられており、この口金9には、内外を連通する空冷用の通気孔9aが複数箇所に設けられる。口金9は省略することがある。
封止管4のランプ軸方向外側端部には、封止管4に連なってランプ径方向に沿って縮径する端壁部4aと、端壁部4aより発光管側に連なる内管状部4bとが形成されており、内管状部4bの発光管3側の端部(内端部)には、電極芯棒6を封着する段継ガラス7が一体に形成されている。一般的に石英ガラスが採用される封止管4の熱膨張率は、タングステン等の金属材料からなる電極芯棒6の熱膨張率より小さいため、電極芯棒6と封止管4が直接接触していると、ランプ点灯時(通電時)の電極芯棒の熱膨張により封止管4が破損するおそれがある。封止管4と電極芯棒6との間に、例えば、含有する成分が異なることで熱膨張率が段階的に変化するガラスからなる段継ガラス7を介在させるこのような段継ガラス封止構造を採用することで、段継ガラス7が封止管4と電極芯棒6の熱膨張差を緩衝し、適切に封止管4と電極芯棒6とを封着することができる。
段継ガラス7よりランプ軸方向内側(発光管3側)において、一方の電極芯棒6(図示例では陽極5aの電極芯棒)と封止管4とのランプ径方向の間に保持用筒体(ビーズ管)10が介在している。保持用筒体10は略円筒状(詳細は後述)の筒であり、保持用筒体10に電極芯棒6を挿通することで、保持用筒体10は電極芯棒6と同軸状に配置される。
保持用筒体10は完全な円筒状ではなく、径方向断面において、径方向に沿った保持用筒体10の内側空間と外側空間を連通させる連通部(径方向スリット)13を有した略円筒状構造(軸直交断面がC形となる構造)であり、連通部13は保持用筒体10の内周面11と外周面12を連通している。連通部13は保持用筒体の軸方向に沿って、一方の端面から他方の端面に渡って形成されており、連通部13を介して保持用筒体軸方向両側の空間が連通している。内周面11と外周面12はともに、一部が連通部13によって欠損した単純円筒面からなっている。保持用筒体は、例えば封止管4(発光管3)と同じ石英ガラスからなる。
図2に示すように、保持用筒体10と電極芯棒6との間には、金属部材20aが存在している。この金属部材20aは、例えば金属箔(例えばモリブデン箔)を電極芯棒6に巻き回すことで形成され、金属箔の一部を電極芯棒6に固定することによって、金属部材20aは電極芯棒6に固定される。
保持用筒体10と封止管4との間には、金属部材20bが存在している。金属部材20bは、保持用筒体10の外周面12に沿って配置され、外周面12を覆うことによって、保持用筒体10と封止管4とが溶着することを防止する。さらに金属部材20bの発光管側端部およびランプ端部側端部には、それぞれ保持用筒体軸方向端面14に沿って電極径方向に延びる金属部材20eが連接する。即ち、保持用筒体10は、外周面12と、軸方向端面14のそれぞれ一部とが、金属部材20bおよび金属部材20eに覆われる。これにより、保持用筒体10と、金属部材20bおよび金属部材20eとは、ランプ軸方向断面において凹凸関係となり、ランプ軸方向に嵌合する。
保持用筒体10の連通部13内には連通部13に沿った金属部材20cを備え、この金属部材20cは、連通部13の径方向両端において、それぞれ金属部材20aと金属部材20bと一体的に接続される。これにより、金属部材20cは金属部材20aを介して、金属部材20bは金属部材20aと金属部材20cとを介して、それぞれ電極芯棒6に固定される。連通部13内の金属部材20cが電極芯棒6に固定されることによって、保持用筒体10が電極芯棒6に対して周方向に相対回転することが防止される。さらに金属部材20bが電極芯棒6に固定されることで、ランプ軸方向において保持用筒体10は電極芯棒6に固定される。
さらに、連通部13内には保持用筒体10のランプ軸方向両側の空間、すなわち保持用筒体10より発光管側の空間と、保持用筒体10よりランプ端部側の空間とを連通させる連通隙間13Sを備える。この連通隙間13Sを設けることで、ランプ点灯によって保持用筒体10や封止管4が熱膨張しても発光管側空間とランプ端部側空間の連通状態が維持され、保持用筒体10両側の空間に極端な圧力差が生じることがなく、保持用筒体10の破損や位置ずれの発生が防止することができる。
図4は第1の実施形態の製造方法の例であり、電極芯棒6に金属部材(金属箔)20を巻回し、その電極芯棒6と保持用筒体10とを接続する工程を示す斜視図である。図2、図3に加えて図4を用いて第1の実施形態の製造方法を説明する。
金属部材20の材料として、例えば、厚さ0.1mm程度の矩形(帯状)をなす金属箔を用いる(以下、金属部材20を金属箔20と示す。)。図4(A)、(B)に示すように、金属箔20の一端部が電極芯棒6に巻回されることで金属部材(電極芯棒巻回部分)20aを形成し、この電極芯棒巻回部分20aはスポット溶接Wにより該電極芯棒6に固定される。金属箔20を固定した電極芯棒6は、保持用筒体10に挿入されるとともに(図4(C))、金属箔20を保持用筒体10の連通部(径方向スリット)13を通して保持用筒体10の外周面に導くことで、径方向スリット13内に金属部材(内外接続部)20cを形成する。保持用筒体10の外周に導かれた金属箔20は保持用筒体の外周面12に巻回されることで金属部材(保持用筒体巻回部分)20bを形成する。保持用筒体巻回部分20bは、円筒状の外周面12に巻き回された金属箔20の保持用筒体周方向端部を径方向スリット13内に折り込み挿入して(挿入部20d)固定される(図4(D))。保持用筒体10の直径は、例えば12〜23mm程度である。
また、金属箔20の幅Sは、保持用筒体10の軸方向長さLより長く、外周面12に巻回した自由端部、すなわち挿入部20dを径方向スリット13内に挿入した後、保持用筒体10の軸方向両端から突出した部分をそれぞれ保持用筒体10の軸方向端面14に沿うように折曲することで金属部材(折曲端部)20eを形成する(図2、図4(D)矢印X)。
図3及び図4に示すように、保持用筒体10の径方向スリット13内には、金属箔20の内外接続部20c及び挿入部20dを有する状態において(も)、保持用筒体10の軸方向両側の空間(発光管側空間とランプ端部側空間)を連通させる連通隙間13Sが形成されている。連通隙間13Sは、封止管4内の保持用筒体10により仕切られた発光管側空間とランプ端部側空間を連通させる連通路である。
以上の電極芯棒6、保持用筒体10及び金属箔20は、電極芯棒6と金属箔20の電極芯棒巻回部分20aが溶接固定され、金属箔20の保持用筒体巻回部分20bが保持用筒体10の外周円筒面12に巻回され、金属箔20の内外接続部20c及び挿入部20dが保持用筒体10の径方向スリット13内に位置することで、電極芯棒6と保持用筒体10の回転方向の相対移動が生じない。そして、折曲端部20eをそれぞれ保持用筒体10の軸方向端面14に沿って配置させることにより、保持用筒体10と金属箔20とが軸方向に嵌合し、電極芯棒6と保持用筒体10の軸方向の相対移動も生じない。つまり、金属箔20は、電極芯棒6と保持用筒体10の回転方向及び軸方向の相対移動を防ぐ部材(要素)として機能する。
以上の電極芯棒6、保持用筒体10及び金属箔20は、封止管4の端壁部4a、内管状部4b及び段継ガラス7を形成する前に、封止管4内の所定の位置に挿入される。すなわち、端壁部4aと内管状部4bを形成する前の封止管4の内径は、保持用筒体の外周面12に巻き回された保持用筒体巻回部分20bの外径より大きい。その挿入状態で、保持用筒体10とランプ径方向において対向する封止管4の領域(縮径領域4c(図1))を加熱して縮径することで、保持用筒体巻回部分20bを介して封止管4に保持用筒体10を保持させる。なお、縮径領域4cは、封止管4と保持用筒体巻回部分20bとがランプ径方向において対向する領域の一部分だけでも良い。この封止管4の加熱縮径の際、保持用筒体10の外周面12と封止管4(縮径領域4c)の内面との間には金属箔20(保持用筒体巻回部分20b)が位置しているので、封止管4と保持用筒体10とが溶着してしまうことがない。そして、保持用筒体10は金属箔20によって電極芯棒6に軸方向、回転方向ともに固定されているので、保持用筒体10が電極芯棒6に対して相対移動することに起因して、封止管4にクラック(破損)が生じるおそれがない。なお、回転方向及び軸方向に固定されている(相対移動が生じない)とは、同方向の相対移動が厳密にゼロということを意味しない。金属箔20の柔軟性(伸縮性)により、若干の相対移動が生じることはあり、本発明で相対移動が生じない(固定されている)とは、封止管4の破損に至るような有害な相対移動が生じないの意である。
また、金属箔20を含む保持用筒体10には、保持用筒体10の軸方向両側の空間を連通させる連通隙間13Sが形成されている。この連通隙間13Sは、ランプ点灯中に保持用筒体10や封止管4などが熱膨張しても維持され、この空隙(連通隙間13S)によって保持用筒体10の軸方向両側の空間が繋がることで、保持用筒体10の軸方向両側の空間に極端な圧力差が生じることがなく、保持用筒体10の破損や位置ずれの発生が防止される。
金属部材20は、一定厚の金属箔を用いることが可能であるが、エンボス加工の金属箔を用いることがより好ましい。エンボス加工の金属箔を用いることで金属箔周辺に空間が生じる。これにより、電極芯棒6または金属部材20と保持用筒体10との熱膨張差が緩衝され、保持用筒体10の破損を防止することができ、かつ連通隙間13S内での金属部材20の周辺で容易に空間を確保することができる。
例えば特許文献1では、封止管の縮径によって保持用筒体を軸方向に固定させるために、十分に封止管を縮径させる必要がある。そのため、封止管に対する熱加工が増え、熱歪が生じやすくなる。また、ランプ点灯中においては、封止管や保持用筒体の熱膨張によって保持用筒体の軸方向両側の空間が分断されやすくなる。さらに、特許文献3では、保持用筒体に合わせて(複雑に)封止管を縮径させる必要があり、点灯中に封止管の中を伝播する赤外線や紫外線が縮径部にて乱反射することで、封止管の脆化や金属箔の加熱によるランプの破損が生じるおそれがある。これに対し、以上の実施形態では、保持用筒体10は電極芯棒6に固定され、かつ保持用筒体10の外周円筒面12は単純円筒形であることから、封止管4の縮径具合(熱加工具合)を、封止管4が保持用筒体10を保持できる最小限とすることができ、封止管4の破損を抑制することができる。尤も、本願発明において、ビーズ管10の外周面を単純円筒形状以外の形状とすることも可能である。
図5は、本発明によるショートアーク型放電ランプの別の実施形態を示している。上の実施形態では、金属部材20の保持用筒体巻回部分20bの軸方向端部をそれぞれ保持用筒体10の軸方向端面14に沿って折り曲げて折曲端部20eを形成しているが、この実施形態では、電極芯棒巻回部分20aの軸方向端部をそれぞれ端面14に沿って折り曲げることで、金属部材(折曲端部)20fを形成している。
以上の実施形態の金属部材20は、電極芯棒6への電極芯棒巻回部分20aと、保持用筒体10の外周面12への保持用筒体巻回部分20bとが内外接続部20cで繋がっており、単一の金属部材20で電極芯棒6と保持用筒体10との相対回転及び軸方向移動を防止できるという利点がある。これに対し、図6の金属部材20は、電極芯棒6への巻回部分20a1と保持用筒体10の径方向スリット131へ挿入される挿入部分20c1とを有する第1の金属部材201と、保持用筒体10の外周面12へ巻回される第2の金属部材202とから構成された実施形態である。この実施形態では、径方向スリット131は内周面に連接していれば径方向に貫通していなくてもよく、径方向外側にて底部を持つ単なる凹部であってもよい。この様な形態においても挿入部分20c1によって電極芯棒6と保持用筒体10との相対回転を防止することができる。
以上の実施形態は、一対の電極5(陽極5aと陰極5b)のうちの陽極5a側の電極芯棒6と封止管4との間に保持用筒体10を設ける態様に本発明を適用したものであるが、陰極5b側の電極芯棒6と封止管4との間に(も)保持用筒体10を介在させる態様にも本発明は適用可能である。
1 凹面反射鏡
3 発光管
4 封止管
4a 端壁部
4b 内管状部
4c 縮径領域
5 電極(一対の電極)
5a 陽極
5b 陰極
6 電極芯棒
7 段継ガラス
9 口金
9a 通気孔
10 保持用筒体
11 保持用筒体の内周面
12 保持用筒体の外周面
13 連通部(径方向スリット)
13S 連通隙間
14 保持用筒体の軸方向端面
20 金属部材(金属箔)
20a 金属部材(電極芯棒巻回部分)
20b 金属部材(保持用筒体巻回部分)
20c 金属部材(内外接続部)
20d 金属部材(挿入部)
20e 金属部材(折曲端部)
20f 金属部材(折曲端部)
201 第1の金属部材(第1の金属箔)
20a1 金属部材(巻回部分)
20c1 金属部材(挿入部分)
202 第2の金属部材(第1の金属箔)
100 ランプ

Claims (5)

  1. 内部に一対の電極を備えた発光管と、
    上記発光管の両端部に連設された封止管と、
    上記一対の電極にそれぞれ接続された一対の電極芯棒と、
    少なくとも一方の上記封止管の内部で、上記電極芯棒と上記封止管との間に位置する保持用筒体と、
    を有するショートアーク型放電ランプにおいて、
    上記保持用筒体と上記電極芯棒との間に、上記電極芯棒に固定され、上記保持用筒体に相対回動を生じない態様で係合する金属部材が存在すること、
    を特徴とするショートアーク型放電ランプ。
  2. 請求項1記載のショートアーク型放電ランプにおいて、
    上記保持用筒体には、
    上記保持用筒体の内周面と外周面とを連通させる、上記保持用筒体の径方向に沿った連通部が形成されており、
    上記連通部に上記金属部材の少なくとも一部が挿入されているショートアーク型放電ランプ。
  3. 請求項1または2記載のショートアーク型放電ランプにおいて、
    上記金属部材は、
    上記保持用筒体と上記電極芯棒との間に配置された電極芯棒巻回部分と、
    上記保持用筒体と上記封止管との間に配置された保持用筒体巻回部分とを有し、
    上記連通部を介して上記電極芯棒巻回部分と上記保持用筒体巻回部分とが一体的に接続されているショートアーク型放電ランプ。
  4. 請求項3記載のショートアーク型放電ランプにおいて、
    上記電極芯棒巻回部分と上記保持用筒体巻回部分の少なくとも一方は、ランプ軸方向両端部に上記保持用筒体の軸方向端面に沿った金属部材を有するショートアーク型放電ランプ。
  5. 請求項1ないし4のいずれか1項記載のショートアーク型放電ランプにおいて、
    上記連通部は、
    上記保持用筒体の軸方向両側の空間を連通させる連通路を有するショートアーク型放電ランプ。
JP2016054205A 2016-03-17 2016-03-17 ショートアーク型放電ランプ Active JP6637801B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016054205A JP6637801B2 (ja) 2016-03-17 2016-03-17 ショートアーク型放電ランプ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016054205A JP6637801B2 (ja) 2016-03-17 2016-03-17 ショートアーク型放電ランプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017168367A JP2017168367A (ja) 2017-09-21
JP6637801B2 true JP6637801B2 (ja) 2020-01-29

Family

ID=59913645

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016054205A Active JP6637801B2 (ja) 2016-03-17 2016-03-17 ショートアーク型放電ランプ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6637801B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017168367A (ja) 2017-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0866488A1 (en) High-pressure discharge lamp and manufacturing method thereof
US20050156526A1 (en) Discharge lamp, method for producing the same and lamp unit
US8049398B2 (en) High-pressure discharge lamp, lamp unit using the same, and projective image display device using the lamp unit
JP4587130B2 (ja) 高圧放電ランプおよびその製造方法並びに光照射装置
JP6637801B2 (ja) ショートアーク型放電ランプ
JP3166526B2 (ja) ショートアーク型放電ランプ
JP4662471B2 (ja) ショートアーク型放電ランプの封止部構造とその製造方法
US9748087B2 (en) Short arc flash lamp and light source device
US6849993B2 (en) Discharge lamp and lamp unit with caulking member
JP5573959B2 (ja) 放電ランプ装置
US6876151B2 (en) Discharge lamp and lamp unit
JP2001023565A (ja) 放電ランプ
JP2007052973A (ja) セラミックランプ
JP2000173544A (ja) ショートアーク水銀ランプ
JP2002373622A (ja) ショートアーク型超高圧放電ランプ
JP2008108504A (ja) 管型白熱電球、管型白熱電球の製造方法、加熱装置
JPH1021875A (ja) 高圧放電ランプ,照射装置,点灯装置および露光装置
JPH1196972A (ja) 高圧放電ランプおよび半導体露光装置
JP6671591B2 (ja) ショートアーク型放電ランプ
JP4179153B2 (ja) 高圧水銀ランプ
WO2006098944A1 (en) Discharge tubes
JP2017216145A (ja) 放電ランプ
JP2000003695A (ja) 放電ランプ
JP2021150177A (ja) 放電ランプ
JP2006294269A (ja) 高圧放電ランプおよびその製造方法、ならびに当該高圧放電ランプを有するランプユニット

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190221

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20191203

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20191129

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20191223

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6637801

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250