JP3430887B2 - ショートアークランプ - Google Patents
ショートアークランプInfo
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- JP3430887B2 JP3430887B2 JP31464997A JP31464997A JP3430887B2 JP 3430887 B2 JP3430887 B2 JP 3430887B2 JP 31464997 A JP31464997 A JP 31464997A JP 31464997 A JP31464997 A JP 31464997A JP 3430887 B2 JP3430887 B2 JP 3430887B2
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- Japan
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- holding cylinder
- short arc
- arc lamp
- narrowed portion
- narrowed
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
- G03F7/70016—Production of exposure light, i.e. light sources by discharge lamps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/30—Vessels; Containers
- H01J61/32—Special longitudinal shape, e.g. for advertising purposes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/36—Seals between parts of vessels; Seals for leading-in conductors; Leading-in conductors
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- H01J61/84—Lamps with discharge constricted by high pressure
- H01J61/86—Lamps with discharge constricted by high pressure with discharge additionally constricted by close spacing of electrodes, e.g. for optical projection
-
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- H01J61/02—Details
- H01J61/12—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature
- H01J61/16—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature having helium, argon, neon, krypton, or xenon as the principle constituent
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プロジェクター
用、半導体露光用、紫外線硬化用の光源などに使用され
るショートアークランプに関するものである。
用、半導体露光用、紫外線硬化用の光源などに使用され
るショートアークランプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、プロジェクター用の光源には、
従来からキセノンガスが封入されたショートアークラン
プがしばしば用いられるが、最近では、プロジェクター
の投射映像の明るさをより明るくすることが強く要求さ
れるようになった。このため、封入されるキセノンガス
のガス量が多くなる傾向にあり、従って、最近のショー
トアークランプは、点灯中の発光管内のガス圧が極めて
高くなっている。
従来からキセノンガスが封入されたショートアークラン
プがしばしば用いられるが、最近では、プロジェクター
の投射映像の明るさをより明るくすることが強く要求さ
れるようになった。このため、封入されるキセノンガス
のガス量が多くなる傾向にあり、従って、最近のショー
トアークランプは、点灯中の発光管内のガス圧が極めて
高くなっている。
【０００３】かかるショートアークランプは、石英ガラ
スからなる球形や楕円球形をした発光管内にキセノンガ
スが封入されるとともに、陰極と陽極が対向配置され、
この陰極および陽極の電極芯棒が発光管の両側に続く側
管の端部でシールされている。そして、陰極および陽極
の電極芯棒を保持するために、側管の発光管側の端部を
加熱して絞り込み、縮径して絞り込み部を形成してい
る。しかし、側管の絞り込み部で陰極および陽極の電極
芯棒を直接保持するためには、絞り込み量を大きくする
必要がある。このため、陰極および陽極の電極芯棒を石
英ガラスからなる保持用筒体に挿通し、側管の絞り込み
部を保持用筒体に溶着することにより陰極および陽極の
電極芯棒を保持している。
スからなる球形や楕円球形をした発光管内にキセノンガ
スが封入されるとともに、陰極と陽極が対向配置され、
この陰極および陽極の電極芯棒が発光管の両側に続く側
管の端部でシールされている。そして、陰極および陽極
の電極芯棒を保持するために、側管の発光管側の端部を
加熱して絞り込み、縮径して絞り込み部を形成してい
る。しかし、側管の絞り込み部で陰極および陽極の電極
芯棒を直接保持するためには、絞り込み量を大きくする
必要がある。このため、陰極および陽極の電極芯棒を石
英ガラスからなる保持用筒体に挿通し、側管の絞り込み
部を保持用筒体に溶着することにより陰極および陽極の
電極芯棒を保持している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように、側管の絞
り込み部を加熱して保持用筒体に溶着して一体化してい
るが、保持用筒体の長手方向の全域にわたって側管を加
熱して絞り込み部を形成すると、図５に示すように、絞
り込み部１２の保持用筒体３０の端面を越えた部分に垂
れ下がり部１４が形成される。このため、絞り込み部１
２と溶着されて一体になった保持用筒体３０の端面と垂
れ下がり部１４の間が小さな隙間のクサビ部１５とな
る。
り込み部を加熱して保持用筒体に溶着して一体化してい
るが、保持用筒体の長手方向の全域にわたって側管を加
熱して絞り込み部を形成すると、図５に示すように、絞
り込み部１２の保持用筒体３０の端面を越えた部分に垂
れ下がり部１４が形成される。このため、絞り込み部１
２と溶着されて一体になった保持用筒体３０の端面と垂
れ下がり部１４の間が小さな隙間のクサビ部１５とな
る。
【０００５】また、この垂れ下がり部１４の形成を避け
るために、保持用筒体３０の端部の手前まで側管１１を
加熱して絞り込み部１２を形成し、保持用筒体３０の端
部に対応する側管１１を加熱しないと、図６に示すよう
に、保持用筒体３０の端部において未溶着部ができ、こ
れが小さな隙間のクサビ部１５となる。つまり、いずれ
にしても、絞り込み部１２と保持用筒体３０の端部のコ
ーナー部に小さな隙間のクサビ部１５ができる。
るために、保持用筒体３０の端部の手前まで側管１１を
加熱して絞り込み部１２を形成し、保持用筒体３０の端
部に対応する側管１１を加熱しないと、図６に示すよう
に、保持用筒体３０の端部において未溶着部ができ、こ
れが小さな隙間のクサビ部１５となる。つまり、いずれ
にしても、絞り込み部１２と保持用筒体３０の端部のコ
ーナー部に小さな隙間のクサビ部１５ができる。
【０００６】このように絞り込み部１２と保持用筒体３
０の端部コーナー部において、絞り込み部１２と保持用
筒体３０が溶着して一体化すると、前記のとおり、小さ
な隙間のクサビ部１５ができ、また、点灯中の発光管１
０内のガス圧が極めて高いので、このクサビ部１５に応
力が集中し、クサビ部１５を起点とするクラックが発生
する。そして、応力が繰返し加わることによってクラッ
クが斜め方向に大きく成長し、絞り込み部１２と保持用
筒体３０の接触している端部コーナー部において、遂に
はランプが破壊してしまうことがある。
０の端部コーナー部において、絞り込み部１２と保持用
筒体３０が溶着して一体化すると、前記のとおり、小さ
な隙間のクサビ部１５ができ、また、点灯中の発光管１
０内のガス圧が極めて高いので、このクサビ部１５に応
力が集中し、クサビ部１５を起点とするクラックが発生
する。そして、応力が繰返し加わることによってクラッ
クが斜め方向に大きく成長し、絞り込み部１２と保持用
筒体３０の接触している端部コーナー部において、遂に
はランプが破壊してしまうことがある。
【０００７】そこで本発明は、点灯中のガス圧を高くし
ても、側管の絞り込み部と電極芯棒を保持する保持用筒
体の端部のコーナー部においてクラックが発生すること
がなく、ランプ動作耐圧の高いショートアークランプを
提供することを目的とするものである。
ても、側管の絞り込み部と電極芯棒を保持する保持用筒
体の端部のコーナー部においてクラックが発生すること
がなく、ランプ動作耐圧の高いショートアークランプを
提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明は、発光管内に陰極と陽極が対向配置さ
れ、陰極および陽極の電極芯棒が保持用筒体に挿通され
て保持され、この保持用筒体が発光管に続く側管の絞り
込み部において支持されてなるショートアークランプに
おいて、保持用筒体と絞り込み部の間に金属層もしくは
セラミック層からなる中間層を介在させて保持用筒体と
絞り込み部とを溶着させず一体化しない構造にする。
めに、本発明は、発光管内に陰極と陽極が対向配置さ
れ、陰極および陽極の電極芯棒が保持用筒体に挿通され
て保持され、この保持用筒体が発光管に続く側管の絞り
込み部において支持されてなるショートアークランプに
おいて、保持用筒体と絞り込み部の間に金属層もしくは
セラミック層からなる中間層を介在させて保持用筒体と
絞り込み部とを溶着させず一体化しない構造にする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に、図面に基づいて本発明の
実施の形態を具体的に説明する。図１は、定格消費電力
が１０ｋＷのキセノンショートアークランプを示す。石
英ガラスからなる発光管１０内には、外径が６ｍｍφの
タングステン棒からなる一対の電極芯棒２３の先端に固
定された陰極２１と陽極２２が１５ｍｍ間隔で対向配置
されている。また、発光管１０内には、７５００Ｔｏｒ
ｒのキセノンガスが封入されている。発光管１０の両側
から側管１１が伸びており、側管１１端部のシール部１
３において、電極芯棒２３がそれぞれシールされてい
る。
実施の形態を具体的に説明する。図１は、定格消費電力
が１０ｋＷのキセノンショートアークランプを示す。石
英ガラスからなる発光管１０内には、外径が６ｍｍφの
タングステン棒からなる一対の電極芯棒２３の先端に固
定された陰極２１と陽極２２が１５ｍｍ間隔で対向配置
されている。また、発光管１０内には、７５００Ｔｏｒ
ｒのキセノンガスが封入されている。発光管１０の両側
から側管１１が伸びており、側管１１端部のシール部１
３において、電極芯棒２３がそれぞれシールされてい
る。
【００１０】石英ガラスからなり、外径が１２ｍｍφ、
内径が６ｍｍφ、長さが３０ｍｍの保持用筒体３０に電
極芯棒２３がそれぞれ挿通されている。つまり、電極芯
棒２３は保持用筒体３０によって保持されている。そし
て、発光管１０内を減圧状態にして、側管１１の発光管
１０側の端部を加熱することにより側管１１を縮径して
絞り込み部１２を形成しているが、保持用筒体３０と絞
り込み部１２の間に、図２に示すように、金属層もしく
はセラミック層からなる中間層４０が介在しており、保
持用筒体３０と絞り込み部１２は溶着によって一体化す
ることなく固定されている。
内径が６ｍｍφ、長さが３０ｍｍの保持用筒体３０に電
極芯棒２３がそれぞれ挿通されている。つまり、電極芯
棒２３は保持用筒体３０によって保持されている。そし
て、発光管１０内を減圧状態にして、側管１１の発光管
１０側の端部を加熱することにより側管１１を縮径して
絞り込み部１２を形成しているが、保持用筒体３０と絞
り込み部１２の間に、図２に示すように、金属層もしく
はセラミック層からなる中間層４０が介在しており、保
持用筒体３０と絞り込み部１２は溶着によって一体化す
ることなく固定されている。
【００１１】中間層４０としては、例えばモリブデン箔
を使用することができる。この場合の製造方法を説明す
ると、先ず、保持用筒体３０の外周面に厚さが１５μｍ
のモリブデン箔を、図２中Ａ−Ａ線における断面図であ
る図３に示すように、１．５ターン程度巻き付ける。こ
こで、モリブデン箔の厚さが２０μｍを越えると、巻き
付けるときにスプリングバックが生じて巻き付けが困難
であるので、モリブデン箔の厚さは２０μｍ以下が望ま
しい。そして、発光管１０内を１×１０-3〜１×１０-4
Ｔｏｏｒ程度に減圧して側管１１を管軸方向に沿って加
熱すると縮径し、絞り込み部１２が形成されるが、モリ
ブデン箔からなる中間層４０が介在するので、保持用筒
体３０と絞り込み部１２は溶着によって一体化すること
なく固定される。このように、中間層４０としてモリブ
デン箔を使用するときは、モリブデン箔を保持用筒体３
０の外周面に巻き付ける工程が増加するのみであるの
で、取扱いが容易で製造が極めて簡単な利点がある。ま
た、保持用筒体３０は、完全な円筒体だけでなく、５角
形以上の多角形の筒体、あるいは両端にテーパーを設け
て小径化した筒体であってもよい。
を使用することができる。この場合の製造方法を説明す
ると、先ず、保持用筒体３０の外周面に厚さが１５μｍ
のモリブデン箔を、図２中Ａ−Ａ線における断面図であ
る図３に示すように、１．５ターン程度巻き付ける。こ
こで、モリブデン箔の厚さが２０μｍを越えると、巻き
付けるときにスプリングバックが生じて巻き付けが困難
であるので、モリブデン箔の厚さは２０μｍ以下が望ま
しい。そして、発光管１０内を１×１０-3〜１×１０-4
Ｔｏｏｒ程度に減圧して側管１１を管軸方向に沿って加
熱すると縮径し、絞り込み部１２が形成されるが、モリ
ブデン箔からなる中間層４０が介在するので、保持用筒
体３０と絞り込み部１２は溶着によって一体化すること
なく固定される。このように、中間層４０としてモリブ
デン箔を使用するときは、モリブデン箔を保持用筒体３
０の外周面に巻き付ける工程が増加するのみであるの
で、取扱いが容易で製造が極めて簡単な利点がある。ま
た、保持用筒体３０は、完全な円筒体だけでなく、５角
形以上の多角形の筒体、あるいは両端にテーパーを設け
て小径化した筒体であってもよい。
【００１２】かかるショートアークランプを点灯する
と、垂れ下がり部１４が形成されている場合には、高圧
のガスが垂れ下がり部１４と保持用筒体３０の端面の間
の隙間に入り込むが、保持用筒体３０と絞り込み部１２
は溶着によって一体化していないので、ランプ圧力によ
る応力が発生しても、絞り込み部１２と保持用筒体３０
のそれぞれの部材にクラックが入ることがなく、絞り込
み部１２と保持用筒体３０の端部のコーナー部におい
て、ランプか破壊することがない。また、垂れ下がり部
１４の形成を避けるために、図４に示すように、保持用
筒体３０の端部に対応する側管１１を加熱せず未溶着部
が形成される場合であっても、高圧ガスが絞り込み部１
２と保持用筒体３０の間の未溶着部に入り込むが、保持
用筒体３０と絞り込み部１２は溶着によって一体化して
いないので、ランプ圧力による応力が発生しても、絞り
込み部１２と保持用筒体３０のそれぞれの部材にクラッ
クが入ることがなく、絞り込み部１２と保持用筒体３０
の端部のコーナー部において、ランプか破壊することが
ない。従って、ランプの動作耐圧を高めることができ、
キセノンガスの圧力を高くして明るいキセノンショート
アークランプにしてもクラックが発生せず、ランプの破
損を防止することができる。
と、垂れ下がり部１４が形成されている場合には、高圧
のガスが垂れ下がり部１４と保持用筒体３０の端面の間
の隙間に入り込むが、保持用筒体３０と絞り込み部１２
は溶着によって一体化していないので、ランプ圧力によ
る応力が発生しても、絞り込み部１２と保持用筒体３０
のそれぞれの部材にクラックが入ることがなく、絞り込
み部１２と保持用筒体３０の端部のコーナー部におい
て、ランプか破壊することがない。また、垂れ下がり部
１４の形成を避けるために、図４に示すように、保持用
筒体３０の端部に対応する側管１１を加熱せず未溶着部
が形成される場合であっても、高圧ガスが絞り込み部１
２と保持用筒体３０の間の未溶着部に入り込むが、保持
用筒体３０と絞り込み部１２は溶着によって一体化して
いないので、ランプ圧力による応力が発生しても、絞り
込み部１２と保持用筒体３０のそれぞれの部材にクラッ
クが入ることがなく、絞り込み部１２と保持用筒体３０
の端部のコーナー部において、ランプか破壊することが
ない。従って、ランプの動作耐圧を高めることができ、
キセノンガスの圧力を高くして明るいキセノンショート
アークランプにしてもクラックが発生せず、ランプの破
損を防止することができる。
【００１３】中間層４０としては、蒸着された金属膜や
焼結されたセラミック層であってもよい。保持用筒体３
０の外周面にスパッタリングによりモリブデンを蒸着さ
せる例を説明すると、マグネトロンスパッタリング装置
のターゲットは金属モリブデンであり、高周波電源入力
を５００Ｗとした。そして、１０ｃｃ／１０ｍｉｎ、２
Ｐａのアルゴンガス中で、ワークである保持用筒体３０
をターゲットである金属モリブデンから２２ｃｍの距離
において、回転させながら、１μｍ／ｍｉｎの速度で移
動させると、厚さが１μｍのモリブデンが保持用筒体３
０の外周面に蒸着された。次に、前記のとおり、発光管
１０内を減圧状態にして加熱し、絞り込み部１２を形成
するが、モリブデンの蒸着膜からなる中間層４０が介在
するので、この場合も、保持用筒体３０と絞り込み部１
２は溶着によって一体化することなく固定される。な
お、モリブデンの蒸着膜は、厚さが１μｍ以上であれ
ば、保持用筒体３０と絞り込み部１２の溶着を十分に防
止することができる。
焼結されたセラミック層であってもよい。保持用筒体３
０の外周面にスパッタリングによりモリブデンを蒸着さ
せる例を説明すると、マグネトロンスパッタリング装置
のターゲットは金属モリブデンであり、高周波電源入力
を５００Ｗとした。そして、１０ｃｃ／１０ｍｉｎ、２
Ｐａのアルゴンガス中で、ワークである保持用筒体３０
をターゲットである金属モリブデンから２２ｃｍの距離
において、回転させながら、１μｍ／ｍｉｎの速度で移
動させると、厚さが１μｍのモリブデンが保持用筒体３
０の外周面に蒸着された。次に、前記のとおり、発光管
１０内を減圧状態にして加熱し、絞り込み部１２を形成
するが、モリブデンの蒸着膜からなる中間層４０が介在
するので、この場合も、保持用筒体３０と絞り込み部１
２は溶着によって一体化することなく固定される。な
お、モリブデンの蒸着膜は、厚さが１μｍ以上であれ
ば、保持用筒体３０と絞り込み部１２の溶着を十分に防
止することができる。
【００１４】中間層４０としてセラミック層を使用する
場合は、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、炭化タンタ
ル、酸化チタンなどの粉末状セラミックをバインダーに
溶かして塗布液を作り、この塗布液を保持用筒体３０の
外周面に所定厚さに塗布し、加熱して焼結することによ
りセラミック層を形成すればよい。そして、前記の工程
によって絞り込み部１２を形成するが、セラミック層か
らなる中間層４０が介在するので、この場合も、保持用
筒体３０と絞り込み部１２は溶着によって一体化するこ
となく固定される。
場合は、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、炭化タンタ
ル、酸化チタンなどの粉末状セラミックをバインダーに
溶かして塗布液を作り、この塗布液を保持用筒体３０の
外周面に所定厚さに塗布し、加熱して焼結することによ
りセラミック層を形成すればよい。そして、前記の工程
によって絞り込み部１２を形成するが、セラミック層か
らなる中間層４０が介在するので、この場合も、保持用
筒体３０と絞り込み部１２は溶着によって一体化するこ
となく固定される。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のショート
アークランプは、電極芯棒を保持する保持用筒体と側管
の絞り込み部の間に金属層もしくはセラミック層からな
る中間層を介在させて保持用筒体と絞り込み部との溶着
を防止して一体化しない構造にするので、点灯中のガス
圧を高くしても、保持用筒体と絞り込み部のそれぞれの
部材にクラックが入ることがなく、従って、絞り込み部
と保持用筒体の端部コーナー部においてランプが破壊す
ることがなく、動作耐圧を高めて明るいショートアーク
ランプとすることができる。
アークランプは、電極芯棒を保持する保持用筒体と側管
の絞り込み部の間に金属層もしくはセラミック層からな
る中間層を介在させて保持用筒体と絞り込み部との溶着
を防止して一体化しない構造にするので、点灯中のガス
圧を高くしても、保持用筒体と絞り込み部のそれぞれの
部材にクラックが入ることがなく、従って、絞り込み部
と保持用筒体の端部コーナー部においてランプが破壊す
ることがなく、動作耐圧を高めて明るいショートアーク
ランプとすることができる。
【図１】ショートアークランプの説明図である。
【図２】本発明実施例の要部の断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線における断面図である。
【図４】同じく本発明実施例の要部の断面図である。
【図５】従来例の説明図である。
【図６】同じく従来例の説明図である。
１０ 発光管
１１ 側管
１２ 絞り込み部
１３ シール部
２１ 陰極
２２ 陽極
２３ 電極芯棒
３０ 保持用筒体
４０ 中間層
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平２−170339（ＪＰ，Ａ)
実開 昭57−119455（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭63−61755（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭62−137553（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 61/30 - 61/48
Claims (2)
- 【請求項１】 発光管内に陰極と陽極が対向配置され、
該陰極および陽極の電極芯棒が保持用筒体に挿通されて
保持され、該保持用筒体が発光管に続く側管の絞り込み
部において支持されてなるショートアークランプにおい
て、 前記保持用筒体と絞り込み部の間に金属層もしくはセラ
ミック層からなる中間層を介在させたことを特徴とする
ショートアークランプ。 - 【請求項２】 前記中間層がモリブデン箔であり、該モ
リブデン箔が該保持用筒体の外周面に巻かれたことを特
徴とする請求項１記載のショートアークランプ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31464997A JP3430887B2 (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | ショートアークランプ |
| US09/181,604 US6356018B1 (en) | 1997-10-31 | 1998-10-28 | Short ARC tube having an intermediate layer between the side tube and the retaining body |
| EP98120496A EP0913855B1 (en) | 1997-10-31 | 1998-10-29 | Short arc lamp |
| DE69806327T DE69806327T2 (de) | 1997-10-31 | 1998-10-29 | Kurzbogenlampe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31464997A JP3430887B2 (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | ショートアークランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11135067A JPH11135067A (ja) | 1999-05-21 |
| JP3430887B2 true JP3430887B2 (ja) | 2003-07-28 |
Family
ID=18055878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31464997A Expired - Lifetime JP3430887B2 (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | ショートアークランプ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6356018B1 (ja) |
| EP (1) | EP0913855B1 (ja) |
| JP (1) | JP3430887B2 (ja) |
| DE (1) | DE69806327T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100914112B1 (ko) * | 2004-12-22 | 2009-08-27 | 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 | 쇼트아크형 방전등 |
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