JPH11132758A - 電子部品の外観検査装置 - Google Patents
電子部品の外観検査装置Info
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- JPH11132758A JPH11132758A JP29282697A JP29282697A JPH11132758A JP H11132758 A JPH11132758 A JP H11132758A JP 29282697 A JP29282697 A JP 29282697A JP 29282697 A JP29282697 A JP 29282697A JP H11132758 A JPH11132758 A JP H11132758A
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- electronic component
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- transport rail
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】電子部品の外観検査を６面について検査し、検
査品質を向上させる。 【解決手段】直線上に配置され、電子部品１３を搬送す
る３本の搬送レール９ａ〜９ｃと、２本の前記搬送レー
ルの間のそれぞれに設けられ、一方の搬送レール９ａ、
９ｂから搬送された電子部品１３を受け垂直の姿勢を介
し反転し他方の搬送レール９ｂ、９ｃに送り出す２つの
反転ドラム１０ａ、１０ｂと、搬送レール９および前記
反転ドラム１０のそれぞれの上方から電子部品１３を撮
像するための撮像装置（検査光学ヘッド）１、４〜６、
と水平方向から撮像する検査光学ヘッド２、３と、更に
電子部品１３の端子の半田付を検査する検査光学ヘッド
７、８とを備えている。また各搬送レール９の下部には
カムを利用した機械式のピッチ送り機構が設けられてい
る。
査品質を向上させる。 【解決手段】直線上に配置され、電子部品１３を搬送す
る３本の搬送レール９ａ〜９ｃと、２本の前記搬送レー
ルの間のそれぞれに設けられ、一方の搬送レール９ａ、
９ｂから搬送された電子部品１３を受け垂直の姿勢を介
し反転し他方の搬送レール９ｂ、９ｃに送り出す２つの
反転ドラム１０ａ、１０ｂと、搬送レール９および前記
反転ドラム１０のそれぞれの上方から電子部品１３を撮
像するための撮像装置（検査光学ヘッド）１、４〜６、
と水平方向から撮像する検査光学ヘッド２、３と、更に
電子部品１３の端子の半田付を検査する検査光学ヘッド
７、８とを備えている。また各搬送レール９の下部には
カムを利用した機械式のピッチ送り機構が設けられてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は外観検査装置に関
し、特にミニチュアリレー、半導体装置などの電子部品
のキズ、汚れ、異物付着、捺印、端子長さ、端子曲が
り、端子半田状態等の外観を検査する外観検査装置に関
する。
し、特にミニチュアリレー、半導体装置などの電子部品
のキズ、汚れ、異物付着、捺印、端子長さ、端子曲が
り、端子半田状態等の外観を検査する外観検査装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の外観検査装置の一般的な
例として特開平２−１４１６０６号公報に記載されたも
のがある。図５はこの従来例を示す（ａ）平面図（ｂ）
側面図である。
例として特開平２−１４１６０６号公報に記載されたも
のがある。図５はこの従来例を示す（ａ）平面図（ｂ）
側面図である。
【０００３】図１において、「符号２１および２２は半
導体装置５０（この場合リード端子付のＩＣ）を案内す
る２つのガイドレールで、各々が互いに所定の間隔をも
って並設されている。これら両ガイドレール２１、２２
には、各々が半導体装置５０の両側縁が摺動可能な２つ
の摺動面が形成されている。２３は半導体装置５０を収
納案内する２つのガイド路を有する反転ドラムで、２５
は半導体装置５０をガイドレール２１、２２側に突き出
すプッシャーである。２６および２７は各々マーク面と
リード先端面を撮像する撮像装置としての検査光学ヘッ
ドで、前記プッシャー２５の上方に設けられており、前
記ガイドレール２１、２２上の半導体装置５０を上方か
ら撮像するように構成されている。
導体装置５０（この場合リード端子付のＩＣ）を案内す
る２つのガイドレールで、各々が互いに所定の間隔をも
って並設されている。これら両ガイドレール２１、２２
には、各々が半導体装置５０の両側縁が摺動可能な２つ
の摺動面が形成されている。２３は半導体装置５０を収
納案内する２つのガイド路を有する反転ドラムで、２５
は半導体装置５０をガイドレール２１、２２側に突き出
すプッシャーである。２６および２７は各々マーク面と
リード先端面を撮像する撮像装置としての検査光学ヘッ
ドで、前記プッシャー２５の上方に設けられており、前
記ガイドレール２１、２２上の半導体装置５０を上方か
ら撮像するように構成されている。
【０００４】２８および２９は前記ガイドレール２１、
２２上の半導体装置５０を搬送する多数の送り爪で、前
記検査光学ヘッド２６、２７の下方に移動自在に設けら
れている。すなわち、これら送り爪２８、２９は後述す
るベルトの面上に所定の間隔をもって取り付けられてい
る。３０および３１は伝達部材としてのベルトで、３４
および３５は前記送り爪２８、２９を位置検出するセン
サである。３８は前記反転ドラム２３を駆動するモータ
である。
２２上の半導体装置５０を搬送する多数の送り爪で、前
記検査光学ヘッド２６、２７の下方に移動自在に設けら
れている。すなわち、これら送り爪２８、２９は後述す
るベルトの面上に所定の間隔をもって取り付けられてい
る。３０および３１は伝達部材としてのベルトで、３４
および３５は前記送り爪２８、２９を位置検出するセン
サである。３８は前記反転ドラム２３を駆動するモータ
である。
【０００５】次に、このように構成された外観検査装置
による半導体装置の検査（良否判断）につき説明する。
による半導体装置の検査（良否判断）につき説明する。
【０００６】先ず、ガイドレール２１上を移動する半導
体装置５０のマーク面を検査光学ヘッド２８によって上
方から撮像する。このとき、送り爪２８は、半導体装置
２をガイドレール２１に沿って搬送すると共に、センサ
３４によって位置検出される。次に、マーク面検査後の
半導体装置５０が反転ドラム２３により１８０°反転さ
せられる。そして、プッシャー２５によって半導体装置
５０をガイドレール２２につきだしてから、ガイドレー
ル２２上を前記した移動方向と反対方向に移動する半導
体装置５０のリード先端面を検査光学ヘッド２７によっ
て上方から撮像すると共に、検査光学ヘッド６、７によ
って両側面を各側方から撮像する。このとき、送り爪２
９は、半導体装置２をガイドレール２２に沿って搬送す
ると共に、センサ３５によって位置検出される。
体装置５０のマーク面を検査光学ヘッド２８によって上
方から撮像する。このとき、送り爪２８は、半導体装置
２をガイドレール２１に沿って搬送すると共に、センサ
３４によって位置検出される。次に、マーク面検査後の
半導体装置５０が反転ドラム２３により１８０°反転さ
せられる。そして、プッシャー２５によって半導体装置
５０をガイドレール２２につきだしてから、ガイドレー
ル２２上を前記した移動方向と反対方向に移動する半導
体装置５０のリード先端面を検査光学ヘッド２７によっ
て上方から撮像すると共に、検査光学ヘッド６、７によ
って両側面を各側方から撮像する。このとき、送り爪２
９は、半導体装置２をガイドレール２２に沿って搬送す
ると共に、センサ３５によって位置検出される。
【０００７】このようにして、半導体装置５０のマーク
面、リード先端面、両側面の外観を検査することができ
る。
面、リード先端面、両側面の外観を検査することができ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】このように従来例にお
いては、半導体装置のマーク面（表面）、リード先端面
（裏面）、両側面の４面のみを検査光学ヘッドを用いて
外観検査を行っているが、半導体装置の両端面について
は何ら検査が行われておらず、このため、半導体装置が
例えばリード端子型のＩＣであれば端子の曲がりなどの
故障検出が確実に行えないという問題がある。
いては、半導体装置のマーク面（表面）、リード先端面
（裏面）、両側面の４面のみを検査光学ヘッドを用いて
外観検査を行っているが、半導体装置の両端面について
は何ら検査が行われておらず、このため、半導体装置が
例えばリード端子型のＩＣであれば端子の曲がりなどの
故障検出が確実に行えないという問題がある。
【０００９】また、半導体装置の端子の半田付（予備半
田）の状態も両側面直角方向の撮像であるので、端子外
側のみの外観検査で端子内側の検査が行われていないと
いう問題がある。
田）の状態も両側面直角方向の撮像であるので、端子外
側のみの外観検査で端子内側の検査が行われていないと
いう問題がある。
【００１０】更に、ガイドレール上の半導体装置の位置
決めを位置センサを用いて電気的にモータを制御して行
っているので、このための制御回路が必要となり、電気
的に複雑となる問題がある。
決めを位置センサを用いて電気的にモータを制御して行
っているので、このための制御回路が必要となり、電気
的に複雑となる問題がある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の電子部品の外観
検査装置は、直線上に配置され電子部品を搬送する３本
の搬送レールと、２本の前記搬送レールの間のそれぞれ
に設けられ一方の前記搬送レールから搬送された前記電
子部品を受け垂直の姿勢を介し反転し他方の前記搬送レ
ールに送り出す２つの反転ドラムと、前記搬送レールお
よび前記反転ドラムのそれぞれの上方および両側面から
前記電子部品を撮像するための複数の撮像装置とを備え
ている。
検査装置は、直線上に配置され電子部品を搬送する３本
の搬送レールと、２本の前記搬送レールの間のそれぞれ
に設けられ一方の前記搬送レールから搬送された前記電
子部品を受け垂直の姿勢を介し反転し他方の前記搬送レ
ールに送り出す２つの反転ドラムと、前記搬送レールお
よび前記反転ドラムのそれぞれの上方および両側面から
前記電子部品を撮像するための複数の撮像装置とを備え
ている。
【００１２】前記撮像装置は、前記電子部品の表面、裏
面、両側面および両端面の６面をそれぞれ撮像するため
に６台を備えるようにしても良い。
面、両側面および両端面の６面をそれぞれ撮像するため
に６台を備えるようにしても良い。
【００１３】更に、前記撮像装置は、前記電子部品の端
子の半田付を検査するために前記搬送レールに対し傾斜
した方向から前記電子部品の両側面を撮像する２台を付
加しても良い。
子の半田付を検査するために前記搬送レールに対し傾斜
した方向から前記電子部品の両側面を撮像する２台を付
加しても良い。
【００１４】また、前記搬送レールは、搬送する複数の
前記電子部品を等間隔で搭載し、搭載した前記電子部品
を部品間のピッチで間欠的に搬送するための機械式のピ
ッチ送り機構を備えるようにしても良い。
前記電子部品を等間隔で搭載し、搭載した前記電子部品
を部品間のピッチで間欠的に搬送するための機械式のピ
ッチ送り機構を備えるようにしても良い。
【００１５】更に、前記反転ドラムは、前記搬送レール
の搬送ピッチと同期して前記電子部品の姿勢を垂直状態
で一時停止するように９０°のピッチで間欠的に回転す
る回転機構を備えるようにしても良い。
の搬送ピッチと同期して前記電子部品の姿勢を垂直状態
で一時停止するように９０°のピッチで間欠的に回転す
る回転機構を備えるようにしても良い。
【００１６】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態について
図面を参照して説明する。図１は本発明の実施例の外観
検査装置の全体を示す斜視図である。
図面を参照して説明する。図１は本発明の実施例の外観
検査装置の全体を示す斜視図である。
【００１７】図１において、この外観検査装置は、前工
程側から搬送されて来た電子部品１３を本外観検査装置
へ投入する投入口１１及び検査完了した良品を後工程側
に転送する払出口１２と不良品を排出する排出口１３
と、投入口１１と払出口１２との間に位置し、被検査物
品である電子部品を搬送する搬送レール９ａ、９ｂ、９
ｃと、隣り合う搬送レール９ａと９ｂ及び９ｂと９ｃの
それぞれの間にあり、電子部品１３を垂直姿勢で一時停
止した後反転して転送する反転ドラム１０ａ及び１０ｂ
と、搬送レール９ａ、９ｂ、９ｃ及び反転ドラム１０
ａ、１０ｂにある各電子部品１３を上方からあるいは水
平方向から撮像するための撮像装置、即ちＣＣＤカメ
ラ、レンズ、フィルター光源とから成る検査光学ヘッド
１〜８と、撮像した各画像を取り込み良否判定を行う画
像処理部１７（点線で示す）と、搬送レール９ａ〜９
ｃ、反転ドラム１０ａ、１０ｂ、検査光学ヘッド１〜８
および画像処理部の動作を制御するコントローラ１４
（点線で示す）と、検査状態を表示するモニター１５と
自動運転の各種設定を行う操作ボックス１６とから構成
される。
程側から搬送されて来た電子部品１３を本外観検査装置
へ投入する投入口１１及び検査完了した良品を後工程側
に転送する払出口１２と不良品を排出する排出口１３
と、投入口１１と払出口１２との間に位置し、被検査物
品である電子部品を搬送する搬送レール９ａ、９ｂ、９
ｃと、隣り合う搬送レール９ａと９ｂ及び９ｂと９ｃの
それぞれの間にあり、電子部品１３を垂直姿勢で一時停
止した後反転して転送する反転ドラム１０ａ及び１０ｂ
と、搬送レール９ａ、９ｂ、９ｃ及び反転ドラム１０
ａ、１０ｂにある各電子部品１３を上方からあるいは水
平方向から撮像するための撮像装置、即ちＣＣＤカメ
ラ、レンズ、フィルター光源とから成る検査光学ヘッド
１〜８と、撮像した各画像を取り込み良否判定を行う画
像処理部１７（点線で示す）と、搬送レール９ａ〜９
ｃ、反転ドラム１０ａ、１０ｂ、検査光学ヘッド１〜８
および画像処理部の動作を制御するコントローラ１４
（点線で示す）と、検査状態を表示するモニター１５と
自動運転の各種設定を行う操作ボックス１６とから構成
される。
【００１８】次に本図について動作の概要を説明する。
前工程からの電子部品１３は投入口１１から投入され搬
送ベルトを介し搬送レール９ａに順次等間隔で載せられ
る。搬送レール９ａは機械的なピッチ送り機構（図示せ
ず）により、等間隔に搭載された電子部品を部品間のピ
ッチで間欠的に右方向に搬送して行く。反転ドラム１０
ａは搬送レール９ａにより搬送されて来た電子部品１３
を受け取り、搬送レール９ａの搬送動作と同期し９０°
回転して電子部品１３を垂直状態とし、更に９０°回転
させ反転させた状態で搬送レール９ｂに引き渡す。
前工程からの電子部品１３は投入口１１から投入され搬
送ベルトを介し搬送レール９ａに順次等間隔で載せられ
る。搬送レール９ａは機械的なピッチ送り機構（図示せ
ず）により、等間隔に搭載された電子部品を部品間のピ
ッチで間欠的に右方向に搬送して行く。反転ドラム１０
ａは搬送レール９ａにより搬送されて来た電子部品１３
を受け取り、搬送レール９ａの搬送動作と同期し９０°
回転して電子部品１３を垂直状態とし、更に９０°回転
させ反転させた状態で搬送レール９ｂに引き渡す。
【００１９】搬送レール９ｂ、反転ドラム１０ｂおよび
搬送レール９ｃも搬送レール９ａの搬送動作と同期して
同様なピッチ送り機構で搬送動作を行う。
搬送レール９ｃも搬送レール９ａの搬送動作と同期して
同様なピッチ送り機構で搬送動作を行う。
【００２０】搬送レール９ａの上方には検査光学ヘッド
１、左右水平方向には検査光学ヘッド２、３、反転ドラ
ム１０ａの上方には検査光学ヘッド４、搬送レール９ｂ
の上方には検査光学ヘッド５、反転ドラム１０ｂの上方
には検査光学ヘッド６、搬送レール９ｃの左右水平方向
には検査光学ヘッド７、８がそれぞれ設けられている。
各検査光学ヘッドは搬送レール上を搬送されて来る電子
部品１３が一時停止する図示の各位置で担当する面の撮
像を行う。即ち、電子部品１３が図示のように端子先端
面（裏面）を上に向けた状態で投入されると、先ず検査
光学ヘッド１で裏面、検査光学ヘッド２、３で両側面、
検査光学ヘッド４で一方の端面、検査光学ヘッド５で表
面、検査光学ヘッド６で他方の端面、更に検査光学ヘッ
ド７、８で斜め方向から両側面の端子部がそれぞれ撮像
される。
１、左右水平方向には検査光学ヘッド２、３、反転ドラ
ム１０ａの上方には検査光学ヘッド４、搬送レール９ｂ
の上方には検査光学ヘッド５、反転ドラム１０ｂの上方
には検査光学ヘッド６、搬送レール９ｃの左右水平方向
には検査光学ヘッド７、８がそれぞれ設けられている。
各検査光学ヘッドは搬送レール上を搬送されて来る電子
部品１３が一時停止する図示の各位置で担当する面の撮
像を行う。即ち、電子部品１３が図示のように端子先端
面（裏面）を上に向けた状態で投入されると、先ず検査
光学ヘッド１で裏面、検査光学ヘッド２、３で両側面、
検査光学ヘッド４で一方の端面、検査光学ヘッド５で表
面、検査光学ヘッド６で他方の端面、更に検査光学ヘッ
ド７、８で斜め方向から両側面の端子部がそれぞれ撮像
される。
【００２１】撮像された各画像の信号はコントローラ１
４の制御信号に従い画像処理部１７に集められ、ここで
画像処理され、操作ボックス１６から入力された基準デ
ータと比較されて良否判定される。そしてこの結果はコ
ントローラ１４に出力される。コントローラ１４は搬送
レール９ｃを送り出される電子部品１３に対し良品であ
れば払出口１２へ不良品であれば排出口１３へ仕分ける
制御信号を仕分部（図示せず）へ送出する。
４の制御信号に従い画像処理部１７に集められ、ここで
画像処理され、操作ボックス１６から入力された基準デ
ータと比較されて良否判定される。そしてこの結果はコ
ントローラ１４に出力される。コントローラ１４は搬送
レール９ｃを送り出される電子部品１３に対し良品であ
れば払出口１２へ不良品であれば排出口１３へ仕分ける
制御信号を仕分部（図示せず）へ送出する。
【００２２】この検査光学ヘッドによる撮像とその画像
処理による良否判定はピッチ送り機構よりコントローラ
１４へ出力される同期信号により搬送動作と同期して行
われ、検査する電子部品１３が搬送レール９ｃの後部に
ある仕分部（図示せず）に至るまでに総て完了する。
処理による良否判定はピッチ送り機構よりコントローラ
１４へ出力される同期信号により搬送動作と同期して行
われ、検査する電子部品１３が搬送レール９ｃの後部に
ある仕分部（図示せず）に至るまでに総て完了する。
【００２３】次に本発明に関係する搬送レール９、反転
ドラム１０および検査光学ヘッド１〜８で構成されるメ
カニカルな部分について詳細に説明する。図２は搬送レ
ール９ａに関する部分を示す斜視図である。
ドラム１０および検査光学ヘッド１〜８で構成されるメ
カニカルな部分について詳細に説明する。図２は搬送レ
ール９ａに関する部分を示す斜視図である。
【００２４】図２において、搬送レール９ａの下部には
搬送レール９ａに等間隔で載せられた各電子部品を部品
間の距離だけ右方向に間欠的にスライドさせるピッチ送
り機構が設けられている。このピッチ送り機構は各電子
部品をその凹部に入れて右方向にスライドさせる点線で
示したスライダー１８ａとこのスライダー１８ａを駆動
させるカム機構１９ａとが設けられている。尚、このカ
ム機構１９ａは動力源であるモータ（図示せず）で回転
する。
搬送レール９ａに等間隔で載せられた各電子部品を部品
間の距離だけ右方向に間欠的にスライドさせるピッチ送
り機構が設けられている。このピッチ送り機構は各電子
部品をその凹部に入れて右方向にスライドさせる点線で
示したスライダー１８ａとこのスライダー１８ａを駆動
させるカム機構１９ａとが設けられている。尚、このカ
ム機構１９ａは動力源であるモータ（図示せず）で回転
する。
【００２５】このスライダー１８ａの動きは、カム機構
１９ａが１回転するに応じて、上方向から下方向に動く
半サイクルでその凹部に電子部品１３を入れて１ピッチ
だけ右方向にスライドし、更に下方向から上方向に動く
半サイクルで元の位置に戻るサイクルをくり返してい
る。各電子部品１３はスライドした位置で一時停止する
ので、この時に各検査光学ヘッドは動作して撮像する。
検査光学ヘッド１はＣＣＤカメラ１ａ、レンズ１ｂ、フ
ィルタ１ｃ、光源１ｄで構成され、ＣＣＤカメラから撮
像した画像信号が出力される。他の検査光学ヘッドも同
じ構成である。
１９ａが１回転するに応じて、上方向から下方向に動く
半サイクルでその凹部に電子部品１３を入れて１ピッチ
だけ右方向にスライドし、更に下方向から上方向に動く
半サイクルで元の位置に戻るサイクルをくり返してい
る。各電子部品１３はスライドした位置で一時停止する
ので、この時に各検査光学ヘッドは動作して撮像する。
検査光学ヘッド１はＣＣＤカメラ１ａ、レンズ１ｂ、フ
ィルタ１ｃ、光源１ｄで構成され、ＣＣＤカメラから撮
像した画像信号が出力される。他の検査光学ヘッドも同
じ構成である。
【００２６】図３は反転ドラム１０と搬送レール９ｂに
関する部分を示す斜視図である。図３において、反転ド
ラム１０ａ、１０ｂは同一構造で、それぞれ４本のアー
ムＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを有しており、各アームはその先端で
電子部品１３を挟持する機能を有している。反転ドラム
１０ａについて説明すれば、搬送レール９ａで搬送され
て来た電子部品１３を、アームＡはその先端を閉じてこ
れを挟持する。次に反転ドラム９ａは９０°回転し、ア
ームＡはアームＢの垂直状態となり検査光学ヘッド４で
その一方の端面が撮像される。更に９０°回転してアー
ムＡはアームＣで示す反転状態となり、その先端を開き
表裏反転した状態の電子部品１３を搬送レール９ｂに渡
す。
関する部分を示す斜視図である。図３において、反転ド
ラム１０ａ、１０ｂは同一構造で、それぞれ４本のアー
ムＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを有しており、各アームはその先端で
電子部品１３を挟持する機能を有している。反転ドラム
１０ａについて説明すれば、搬送レール９ａで搬送され
て来た電子部品１３を、アームＡはその先端を閉じてこ
れを挟持する。次に反転ドラム９ａは９０°回転し、ア
ームＡはアームＢの垂直状態となり検査光学ヘッド４で
その一方の端面が撮像される。更に９０°回転してアー
ムＡはアームＣで示す反転状態となり、その先端を開き
表裏反転した状態の電子部品１３を搬送レール９ｂに渡
す。
【００２７】この電子部品１３は搬送レール９ｂで搬送
され、途中の検査光学ヘッド６の位置でその表面が撮像
される。更に反転ドラム１０ｂで他方の端面が撮像さ
れ、表裏反転され、裏面を上方に向けた状態で搬送レー
ル９ｃへ渡される。搬送レール９ｂの下部に設けられた
スライダー１８ｂとカム機構１９ｂは、ピッチ送り機構
を構成し、先に説明した搬送レール９ａのピッチ送り機
構と同期して同様に動作する。また反転ドラム１０ａ、
１０ｂも同様にこれらと同期して９０°回転する。
され、途中の検査光学ヘッド６の位置でその表面が撮像
される。更に反転ドラム１０ｂで他方の端面が撮像さ
れ、表裏反転され、裏面を上方に向けた状態で搬送レー
ル９ｃへ渡される。搬送レール９ｂの下部に設けられた
スライダー１８ｂとカム機構１９ｂは、ピッチ送り機構
を構成し、先に説明した搬送レール９ａのピッチ送り機
構と同期して同様に動作する。また反転ドラム１０ａ、
１０ｂも同様にこれらと同期して９０°回転する。
【００２８】図４は搬送レール９ｃに関する部分を示す
斜視図である。図４において、反転ドラム１０ｂからの
電子部品１３は搬送レール９ｃにより搬送され、検査光
学ヘッド７、８により両側面が撮像されるが、先の検査
光学ヘッド２、３と異なり搬送レール９ｃと垂直な直線
に対して１５°傾斜した角度で端子部分を中心に撮像す
る。傾斜させるのは電子部品１３の前列端子の表側と後
列端子の裏側とを同時に撮像するためで、これにより端
子全体の半田付（予備半田）の状態を検査することがで
きる。
斜視図である。図４において、反転ドラム１０ｂからの
電子部品１３は搬送レール９ｃにより搬送され、検査光
学ヘッド７、８により両側面が撮像されるが、先の検査
光学ヘッド２、３と異なり搬送レール９ｃと垂直な直線
に対して１５°傾斜した角度で端子部分を中心に撮像す
る。傾斜させるのは電子部品１３の前列端子の表側と後
列端子の裏側とを同時に撮像するためで、これにより端
子全体の半田付（予備半田）の状態を検査することがで
きる。
【００２９】搬送レール９ｃの下部に設けられたスライ
ダー１８ｃとカム機構１９ｃとはピッチ送り機構を構成
し、先に説明した搬送レール９ａのピッチ送り機構と同
期して動作する。尚、この搬送レール９ｃの部分は、端
子の半田付検査を行う必要なない電子部品について削除
しても良い。
ダー１８ｃとカム機構１９ｃとはピッチ送り機構を構成
し、先に説明した搬送レール９ａのピッチ送り機構と同
期して動作する。尚、この搬送レール９ｃの部分は、端
子の半田付検査を行う必要なない電子部品について削除
しても良い。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明の電子部品の
外観検査装置は、電子部品の表面、裏面、両側面の従来
行ってきた４面に加えて両端面を加え６面を検査できる
ので、特に端子曲がりなどを正確に良否判定することが
でき外観検査の検査品質を向上させる効果がある。ま
た、更に２検査工程を付加することにより電子部品の端
子の半田付状態を検査することができ一層検査品質を向
上させる効果がある。更に、搬送レールのピッチ送り機
構は、従来のセンサで位置検出して制御する電気的方法
に比べ簡単なカム機構を利用した機械的方法なので外観
試験装置の部品点数が削減でき低コストにできる効果が
ある。
外観検査装置は、電子部品の表面、裏面、両側面の従来
行ってきた４面に加えて両端面を加え６面を検査できる
ので、特に端子曲がりなどを正確に良否判定することが
でき外観検査の検査品質を向上させる効果がある。ま
た、更に２検査工程を付加することにより電子部品の端
子の半田付状態を検査することができ一層検査品質を向
上させる効果がある。更に、搬送レールのピッチ送り機
構は、従来のセンサで位置検出して制御する電気的方法
に比べ簡単なカム機構を利用した機械的方法なので外観
試験装置の部品点数が削減でき低コストにできる効果が
ある。
【図１】本発明の実施の形態例の外観検査装置の全体を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図２】図１における搬送レール９ａとその周辺部を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図３】図１における回転ドラム１０と、搬送レール９
ｂおよびその周辺部を示す斜視図を示す。
ｂおよびその周辺部を示す斜視図を示す。
【図４】図１における搬送レール９ｃとその周辺を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図５】従来例を示す（ａ）平面図、（ｂ）側面図であ
る。
る。
１〜８ 検査光学ヘッド ９ａ〜９ｃ 搬送レール １０ａ、１０ｂ 反転ドラム １１ 投入口 １２ 払出口 １３ 排出口 １８ａ〜１８ｃ スライダー １９ａ〜１９ｃ カム機構
Claims (5)
- 【請求項１】 直線上に配置され電子部品を搬送する３
本の搬送レールと、２本の前記搬送レールの間のそれぞ
れに設けられ一方の前記搬送レールから搬送された前記
電子部品を受け垂直の姿勢を介し反転し他方の前記搬送
レールに送り出す２つの反転ドラムと、前記搬送レール
および前記反転ドラムのそれぞれの上方および両側面か
ら前記電子部品を撮像するための複数の撮像装置とを備
えることを特徴とする電子部品の外観検査装置。 - 【請求項２】 前記撮像装置は、前記電子部品の表面、
裏面、両側面および両端面の６面をそれぞれ撮像するた
めに６台を備えることを特徴とする請求項１記載の電子
部品の外観検査装置。 - 【請求項３】 前記撮像装置は、前記電子部品の端子の
半田付を検査するために前記搬送レールに対し傾斜した
方向から前記電子部品の両側面を撮像する２台を付加す
ることを特徴とする請求項２記載の電子部品の外観検査
装置。 - 【請求項４】 前記搬送レールは、搬送する複数の前記
電子部品を等間隔で搭載し、搭載した前記電子部品を部
品間のピッチで間欠的に搬送するための機械式のピッチ
送り機構を備えることを特徴とする請求項１、２あるい
は３記載の電子部品の外観検査装置。 - 【請求項５】 前記反転ドラムは、前記搬送レールの搬
送ピッチと同期して前記電子部品の姿勢を垂直状態で一
時停止するように９０°のピッチで間欠的に回転する回
転機構を備えることを特徴とする請求項４記載の電子部
品の外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29282697A JP2978860B2 (ja) | 1997-10-24 | 1997-10-24 | 電子部品の外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29282697A JP2978860B2 (ja) | 1997-10-24 | 1997-10-24 | 電子部品の外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11132758A true JPH11132758A (ja) | 1999-05-21 |
| JP2978860B2 JP2978860B2 (ja) | 1999-11-15 |
Family
ID=17786855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29282697A Expired - Lifetime JP2978860B2 (ja) | 1997-10-24 | 1997-10-24 | 電子部品の外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2978860B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002113427A (ja) * | 2000-08-02 | 2002-04-16 | Hyuu Brain:Kk | 微小物体検査装置 |
| JP2014106192A (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-09 | Hu-Brain Inc | 外観検査装置 |
| JP5835758B1 (ja) * | 2014-11-21 | 2015-12-24 | 上野精機株式会社 | 外観検査装置 |
| CN109205302A (zh) * | 2018-07-19 | 2019-01-15 | 杨定娟 | 继电器全自动检测装置及其检测方法 |
| KR20190095035A (ko) * | 2018-02-06 | 2019-08-14 | (주) 인텍플러스 | 반도체 소자 외관 검사장치 |
| WO2020012628A1 (ja) * | 2018-07-13 | 2020-01-16 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 異物検出方法および電子部品装着装置 |
| CN115468516A (zh) * | 2022-09-22 | 2022-12-13 | 苏州襄行智能科技有限公司 | 一种长方体精密六面测量机 |
| CN115808419A (zh) * | 2022-12-19 | 2023-03-17 | 无锡中车时代智能装备研究院有限公司 | 一种铜排鱼尾槽视觉检测方法及系统 |
-
1997
- 1997-10-24 JP JP29282697A patent/JP2978860B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002113427A (ja) * | 2000-08-02 | 2002-04-16 | Hyuu Brain:Kk | 微小物体検査装置 |
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| CN112334762A (zh) * | 2018-07-13 | 2021-02-05 | 株式会社富士 | 异物检测方法及电子元件安装装置 |
| JPWO2020012628A1 (ja) * | 2018-07-13 | 2021-02-25 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 異物検出方法および電子部品装着装置 |
| EP3822619A4 (en) * | 2018-07-13 | 2021-07-21 | Fuji Corporation | METHOD AND DEVICE FOR DETECTING FOREIGN MATERIALS |
| CN112334762B (zh) * | 2018-07-13 | 2024-01-12 | 株式会社富士 | 异物检测方法及电子元件安装装置 |
| CN109205302A (zh) * | 2018-07-19 | 2019-01-15 | 杨定娟 | 继电器全自动检测装置及其检测方法 |
| CN115468516A (zh) * | 2022-09-22 | 2022-12-13 | 苏州襄行智能科技有限公司 | 一种长方体精密六面测量机 |
| CN115468516B (zh) * | 2022-09-22 | 2024-03-26 | 苏州襄行智能科技有限公司 | 一种长方体精密六面测量机 |
| CN115808419A (zh) * | 2022-12-19 | 2023-03-17 | 无锡中车时代智能装备研究院有限公司 | 一种铜排鱼尾槽视觉检测方法及系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2978860B2 (ja) | 1999-11-15 |
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