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JP3937979B2
(ja)
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2002-08-23 |
2007-06-27 |
株式会社明電舎 |
吸着ハンド
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SG125948A1
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Asml Netherlands Bv |
Supporting structure for use in a lithographic apparatus
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(zh)
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2003-05-06 |
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奥林巴斯株式会社 |
基板吸附装置
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(en)
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2004-05-28 |
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Substrate support method
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(ja)
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2005-06-02 |
2010-11-04 |
株式会社安川電機 |
基板吸着装置と基板支持体および基板搬送装置
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JP4899357B2
(ja)
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2012-03-21 |
株式会社Ｉｈｉ |
基板吸着装置
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JP4519743B2
(ja)
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2005-09-20 |
2010-08-04 |
株式会社安川電機 |
基板吸着装置、基板支持体、基板搬送装置、およびガラス基板搬送用ロボット。
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JP2008078304A
(ja)
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2006-09-20 |
2008-04-03 |
Olympus Corp |
基板保持機構およびそれを用いた基板検査装置
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JP4962903B2
(ja)
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2006-12-28 |
2012-06-27 |
株式会社ニコン |
用力供給装置、移動体システム及びパターン形成装置、並びに移動体装置
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JP4811882B2
(ja)
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2009-03-27 |
2011-11-09 |
東京エレクトロン株式会社 |
基板熱処理装置
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JP5352329B2
(ja)
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2009-04-13 |
2013-11-27 |
株式会社日立ハイテクノロジーズ |
実装処理作業装置及び実装処理作業方法並びに表示基板モジュール組立ライン
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JP5379589B2
(ja)
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2009-07-24 |
2013-12-25 |
東京エレクトロン株式会社 |
真空吸着パッド、搬送アーム及び基板搬送装置
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JP5494369B2
(ja)
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2010-09-07 |
2014-05-14 |
株式会社デンソー |
吸着装置および搬送装置
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2011-01-11 |
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Murata Mfg Co Ltd |
基板吸着装置
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2013-11-04 |
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J. Schmalz Gmbh |
Sauggreifvorrichtung
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東京エレクトロン株式会社 |
基板搬送装置
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(ja)
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2014-05-08 |
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株式会社ブイ・テクノロジー |
露光方法及び露光装置
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2014-12-06 |
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Kla-Tencor Corporation |
Chucking warped wafer with bellows
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JP6316181B2
(ja)
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2014-12-18 |
2018-04-25 |
東京エレクトロン株式会社 |
基板保持ステージ
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JP6327374B2
(ja)
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2017-02-21 |
2018-05-23 |
シンフォニアテクノロジー株式会社 |
パージノズルユニット、ロードポート
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CN108666251B
(zh)
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2017-03-31 |
2020-11-20 |
上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
硅片吸附装置、硅片传送装置、硅片传输系统及传送方法
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GB2572016A
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2018-03-16 |
2019-09-18 |
Maxwell Wade Colin |
Vacuum plate
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JP6519897B2
(ja)
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2018-04-10 |
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シンフォニアテクノロジー株式会社 |
パージノズルユニット、ロードポート
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NL2021006B1
(en)
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2018-05-29 |
2019-12-04 |
Suss Microtec Lithography Gmbh |
Holding apparatus and method for holding a substrate
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JP6882698B2
(ja)
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2019-04-24 |
2021-06-02 |
シンフォニアテクノロジー株式会社 |
パージノズルユニット、ロードポート
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KR20210007327A
(ko)
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2019-07-11 |
2021-01-20 |
미래에이티 주식회사 |
플렉시블 회로기판 공정용 흡착 장치
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JP7235884B2
(ja)
*
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2019-10-08 |
2023-03-08 |
株式会社日立ハイテク |
試料ステージ及び光学式検査装置
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EP3851916A1
(en)
|
2020-01-17 |
2021-07-21 |
ASML Netherlands B.V. |
Suction clamp, object handler, stage apparatus and lithographic apparatus
|
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JP7641187B2
(ja)
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2021-06-23 |
2025-03-06 |
株式会社ダイヘン |
ワーク搬送用ハンド
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TWI841309B
(zh)
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2023-03-21 |
2024-05-01 |
盛詮科技股份有限公司 |
吸嘴及具有該吸嘴的運送裝置
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EP4455064A1
(de)
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2023-04-27 |
2024-10-30 |
Grob-Werke GmbH & Co. KG |
Werkstückträger, transportsystem mit mehreren solcher werkstückträger, sowie verwendung zur vereinzelung von werkstücken, insbesondere bei einer batterieherstellung
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