JPH10202540A - ブラシ研磨装置用ブラシ - Google Patents
ブラシ研磨装置用ブラシInfo
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- JPH10202540A JPH10202540A JP9158637A JP15863797A JPH10202540A JP H10202540 A JPH10202540 A JP H10202540A JP 9158637 A JP9158637 A JP 9158637A JP 15863797 A JP15863797 A JP 15863797A JP H10202540 A JPH10202540 A JP H10202540A
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- Japan
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- brush
- sleeve
- brush polishing
- polishing apparatus
- wafer
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
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- A46B—BRUSHES
- A46B13/00—Brushes with driven brush bodies or carriers
- A46B13/008—Disc-shaped brush bodies
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 ウエーハを掻き取ることなくウエーハをブラ
シ研磨するブラシを提供する。 【解決手段】 ブラシは、スリーブ、キャップ部材、ブ
ラシ研磨部材、および少なくとも１つの弾性部材から成
る。スリーブは第１の端部および第２の端部を有する。
ブラシ研磨部材は第１の端部においてスリーブ内に移動
自在に受容され、一方キャップ部材は第２の端部におい
てスリーブへ強固に連結される。弾性部材は、キャップ
部材とブラシ研磨部材との間に配設されるので、ブラシ
研磨部材の一部分が、スリーブの第２の端部から突き出
る。
シ研磨するブラシを提供する。 【解決手段】 ブラシは、スリーブ、キャップ部材、ブ
ラシ研磨部材、および少なくとも１つの弾性部材から成
る。スリーブは第１の端部および第２の端部を有する。
ブラシ研磨部材は第１の端部においてスリーブ内に移動
自在に受容され、一方キャップ部材は第２の端部におい
てスリーブへ強固に連結される。弾性部材は、キャップ
部材とブラシ研磨部材との間に配設されるので、ブラシ
研磨部材の一部分が、スリーブの第２の端部から突き出
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ブラシ研磨装置の
ブラシ、特に、ウェーハを掻き取ることなくウェーハを
ブラシ研磨するブラシに関するものである。
ブラシ、特に、ウェーハを掻き取ることなくウェーハを
ブラシ研磨するブラシに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１を参照すると、DNS 社により生産さ
れ、6 インチのウェーハ用設備に広く使用されているブ
ラシ研磨装置が示される。そのブラシ研磨装置は、ウェ
ーハを真空で保持する回転自在の円板１０と、回転自在
のシャフト１２２により支持される一端部および円板１
０により保持されるウェーハをブラシ研磨するブラシ２
が設けられる他端部を有するブラシアーム１２と、ブラ
シ２が、使用されないときには上に載置されるブラシ載
置台14と、ブラシ２がウェーハ上で円滑に動くように純
水を噴流してウェーハを潤滑する純水(DIW) 洗浄ノズル
と、窒素を吹きつけてウェーハを乾燥する窒素吹きつけ
ノズル１６４と、および噴流ノズルアーム１８２を経て
回転自在のシャフト１８４へ接続される、水を噴流して
ウェーハを洗浄する噴流ノズル１８とを備える。
れ、6 インチのウェーハ用設備に広く使用されているブ
ラシ研磨装置が示される。そのブラシ研磨装置は、ウェ
ーハを真空で保持する回転自在の円板１０と、回転自在
のシャフト１２２により支持される一端部および円板１
０により保持されるウェーハをブラシ研磨するブラシ２
が設けられる他端部を有するブラシアーム１２と、ブラ
シ２が、使用されないときには上に載置されるブラシ載
置台14と、ブラシ２がウェーハ上で円滑に動くように純
水を噴流してウェーハを潤滑する純水(DIW) 洗浄ノズル
と、窒素を吹きつけてウェーハを乾燥する窒素吹きつけ
ノズル１６４と、および噴流ノズルアーム１８２を経て
回転自在のシャフト１８４へ接続される、水を噴流して
ウェーハを洗浄する噴流ノズル１８とを備える。
【０００３】図２および３に示されるように、ブラシ研
磨装置のブラシ２は、スリーブ２２、キャップ部材２４
およびブラシ研磨部材２６から成る。スリーブ２２は、
第１の端部２２２ａおよび第２の端部２２２ｂを有す
る。第1 の端部２２２ａにおいてスリーブ２２には、ブ
ラシ研磨部材２６をスリーブ内に保持する内部フランジ
２２４、および図１に示されるブラシ載置台１４と係合
する外部フランジ２２６が設けられ、この配置により、
ブラシ組立体２を、使用されないときにはブラシ載置台
１４上に載置できる。第２の端部２２２ｂにおいてスリ
ーブ２２の内壁２２２には窪み２２８が設けられる。
磨装置のブラシ２は、スリーブ２２、キャップ部材２４
およびブラシ研磨部材２６から成る。スリーブ２２は、
第１の端部２２２ａおよび第２の端部２２２ｂを有す
る。第1 の端部２２２ａにおいてスリーブ２２には、ブ
ラシ研磨部材２６をスリーブ内に保持する内部フランジ
２２４、および図１に示されるブラシ載置台１４と係合
する外部フランジ２２６が設けられ、この配置により、
ブラシ組立体２を、使用されないときにはブラシ載置台
１４上に載置できる。第２の端部２２２ｂにおいてスリ
ーブ２２の内壁２２２には窪み２２８が設けられる。
【０００４】キャップ部材２４は、その外周上に連続ネ
ジ部２４４および係合部２４２を有する。連続ネジ部２
４４の手段によりキャップ部材２４は、図１に示される
ブラシアーム１２と共にネジ込みできる。係合部２４２
の手段によりキャップ部材２４は、スリーブ２２の窪み
２２８へ取り付けができる。
ジ部２４４および係合部２４２を有する。連続ネジ部２
４４の手段によりキャップ部材２４は、図１に示される
ブラシアーム１２と共にネジ込みできる。係合部２４２
の手段によりキャップ部材２４は、スリーブ２２の窪み
２２８へ取り付けができる。
【０００５】スリーブ２２内に受容されるブラシ研磨部
材２６は、ポリ酢酸ビニル(PVA) のような材料から作ら
れる。またブラシ研磨部材２６は、第１の部分２６２お
よび第２の部分２６４を有する。第１の部分２６２の直
径が第２の部分２６４のものよりも大きいので、第１の
部分２６２はスリーブ２２の内部フランジ２２４により
保持され、また第２の部分２６４はウェーハをブラシ研
磨するようにスリーブ２２から突き出る。
材２６は、ポリ酢酸ビニル(PVA) のような材料から作ら
れる。またブラシ研磨部材２６は、第１の部分２６２お
よび第２の部分２６４を有する。第１の部分２６２の直
径が第２の部分２６４のものよりも大きいので、第１の
部分２６２はスリーブ２２の内部フランジ２２４により
保持され、また第２の部分２６４はウェーハをブラシ研
磨するようにスリーブ２２から突き出る。
【０００６】しかしながら従来技術のブラシ２は欠点を
有する。図４を参照すると、ブラシ２の高さがウェーハ
に関して適正に設定されないか、またはウェーハの表面
の凸凹が過大である場合、ブラシ研磨部材２６へ加えら
れる圧力は、過大となりウェーハの掻きとりを生じる。
有する。図４を参照すると、ブラシ２の高さがウェーハ
に関して適正に設定されないか、またはウェーハの表面
の凸凹が過大である場合、ブラシ研磨部材２６へ加えら
れる圧力は、過大となりウェーハの掻きとりを生じる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の主な目的は、
ウェーハを掻き取ることなくウェーハをブラシ研磨する
ブラシを提供することにある。
ウェーハを掻き取ることなくウェーハをブラシ研磨する
ブラシを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の目的によれば、
スリーブ、キャップ部材、ブラシ研磨部材、中間プレー
トおよび少なくとも１つの弾性部材から成るブラシが提
供される。スリーブは第１の端部および第２の端部を有
する。ブラシ研磨部材は第１の端部においてスリーブ内
に移動自在に受容され、一方キャップ部材は第２の端部
においてスリーブへ強固に連結される。中間プレート
は、ブラシ研磨部材上に配設され、また少なくとも１つ
の開口部を備える。弾性部材は、キャップ部材および中
間プレートを押付けるように配設されるので、ブラシ研
磨部材の一部分が、ウェーハをブラシ研磨するようにス
リーブの第１の端部から突き出る。
スリーブ、キャップ部材、ブラシ研磨部材、中間プレー
トおよび少なくとも１つの弾性部材から成るブラシが提
供される。スリーブは第１の端部および第２の端部を有
する。ブラシ研磨部材は第１の端部においてスリーブ内
に移動自在に受容され、一方キャップ部材は第２の端部
においてスリーブへ強固に連結される。中間プレート
は、ブラシ研磨部材上に配設され、また少なくとも１つ
の開口部を備える。弾性部材は、キャップ部材および中
間プレートを押付けるように配設されるので、ブラシ研
磨部材の一部分が、ウェーハをブラシ研磨するようにス
リーブの第１の端部から突き出る。
【０００９】ウェーハが本発明のブラシによりブラシ研
磨されるとき、ブラシ研磨部材へ加えられる圧力は弾性
部材の圧縮により軽減される。加えてブラシ研磨部材の
部分は、過大な上方向の力を受けると、中間プレートの
開口部を通して延びることができるので、圧力がさらに
軽減される。したがってブラシ研磨部材へ加えられる過
大な圧力に由来する問題は生じないし、またブラシはウ
ェーハを掻きとらない。
磨されるとき、ブラシ研磨部材へ加えられる圧力は弾性
部材の圧縮により軽減される。加えてブラシ研磨部材の
部分は、過大な上方向の力を受けると、中間プレートの
開口部を通して延びることができるので、圧力がさらに
軽減される。したがってブラシ研磨部材へ加えられる過
大な圧力に由来する問題は生じないし、またブラシはウ
ェーハを掻きとらない。
【００１０】
【発明の実施の形態】図５および６に示されるように本
発明に従うブラシは、スリーブ３０、キャップ部材３
２、ブラシ研磨部材３４、中間プレート３６およびバネ
部材３８から成る。
発明に従うブラシは、スリーブ３０、キャップ部材３
２、ブラシ研磨部材３４、中間プレート３６およびバネ
部材３８から成る。
【００１１】スリーブ３０は、第１の端部３０２ａおよ
び第２の端部３０２ｂを有する。スリーブ３０には、第
１の端部３０２ａにおいて、ブラシ研磨部材３４を保持
する内部フランジ３０４、および図１に示されるブラシ
載置台１４と係合する外部フランジ３０６が設けられ、
この配置により、ブラシ組立体を、使用されないときに
はブラシ載置台１４上に載置できる。第２の端部３０２
ｂにおいてスリーブ３０の内壁３０２には窪み３０８が
設けられる。
び第２の端部３０２ｂを有する。スリーブ３０には、第
１の端部３０２ａにおいて、ブラシ研磨部材３４を保持
する内部フランジ３０４、および図１に示されるブラシ
載置台１４と係合する外部フランジ３０６が設けられ、
この配置により、ブラシ組立体を、使用されないときに
はブラシ載置台１４上に載置できる。第２の端部３０２
ｂにおいてスリーブ３０の内壁３０２には窪み３０８が
設けられる。
【００１２】キャップ部材３２はほぼ円筒形であり、バ
ネ部材３８を保持する保持穴３２６がその端面上に設け
られる。さらにキャップ部材３２は、その外周上に連続
ネジ部３２４および係合部３２２を有する。連続ネジ部
３２４の手段によりキャップ部材３２は、図１に示され
るブラシアーム１２と共にネジ込みできる。係合部３２
２の手段によりキャップ部材３２は、スリーブ３０の窪
み３０８へ取り付けができる。
ネ部材３８を保持する保持穴３２６がその端面上に設け
られる。さらにキャップ部材３２は、その外周上に連続
ネジ部３２４および係合部３２２を有する。連続ネジ部
３２４の手段によりキャップ部材３２は、図１に示され
るブラシアーム１２と共にネジ込みできる。係合部３２
２の手段によりキャップ部材３２は、スリーブ３０の窪
み３０８へ取り付けができる。
【００１３】スリーブ３０内に受容されるブラシ研磨部
材３４は、ポリ酢酸ビニル(PVA) のような材料から作ら
れる。またブラシ研磨部材34は、第１の部分３４２およ
び第２の部分３４４を有する。第１の部分３４２の直径
が第２の部分３４４のものよりも大きいので、第1 の部
分３４２はスリーブ３０の内部フランジ３０４により保
持され、また第２の部分３４４はウェーハをブラシ研磨
するようにスリーブ３０から突き出る。さらに第１の部
分３４２の長さは図３に示される第１の部分２６２より
も短いので、キャップ部材３２とブラシ研磨部材３４と
の間に空間が設けられ、その空間を通してブラシ研磨部
材３４が移動できる。
材３４は、ポリ酢酸ビニル(PVA) のような材料から作ら
れる。またブラシ研磨部材34は、第１の部分３４２およ
び第２の部分３４４を有する。第１の部分３４２の直径
が第２の部分３４４のものよりも大きいので、第1 の部
分３４２はスリーブ３０の内部フランジ３０４により保
持され、また第２の部分３４４はウェーハをブラシ研磨
するようにスリーブ３０から突き出る。さらに第１の部
分３４２の長さは図３に示される第１の部分２６２より
も短いので、キャップ部材３２とブラシ研磨部材３４と
の間に空間が設けられ、その空間を通してブラシ研磨部
材３４が移動できる。
【００１４】中間プレート３６は、例えば硬質プラスチ
ックのような硬質材料から作られ、ブラシ研磨部材３４
の第１の部分３４２上に配設される。少なくとも１つの
開口部、例えば穴３６２、長穴３６４および／または切
り欠き３６６は、中間プレート３６上に設けられ、図７
に示されるように圧搾されたブラシ研磨部材３４の第１
の部分３４２の上面上で膨らみ部分を対応して受容す
る。
ックのような硬質材料から作られ、ブラシ研磨部材３４
の第１の部分３４２上に配設される。少なくとも１つの
開口部、例えば穴３６２、長穴３６４および／または切
り欠き３６６は、中間プレート３６上に設けられ、図７
に示されるように圧搾されたブラシ研磨部材３４の第１
の部分３４２の上面上で膨らみ部分を対応して受容す
る。
【００１５】バネ部材３８の個数は１つ以上にできる。
この実施例においては３個である。またバネ部材３８は
コイルバネでよい。図６に示されるようにバネ部材３８
は、中間プレート３６を経てブラシ研磨部材３４を押付
けるように配設されるので、ブラシ研磨部材３４の第２
の部分３４４はスリーブ３０から突き出る。
この実施例においては３個である。またバネ部材３８は
コイルバネでよい。図６に示されるようにバネ部材３８
は、中間プレート３６を経てブラシ研磨部材３４を押付
けるように配設されるので、ブラシ研磨部材３４の第２
の部分３４４はスリーブ３０から突き出る。
【００１６】ウェーハが本発明のブラシによりブラシ研
磨されるとき、バネ部材３８は圧縮され、ブラシ研磨部
材３４へ加えられる圧力の一部を軽減できる。加えてブ
ラシ研磨部材３４の一部は、中間プレート３６の開口部
から膨らむことができる。したがって、例えば不均一な
表面を有するウェーハまたは歪んだウェーハからの、ブ
ラシ研磨部材３４へ加えられる過大な上方向の圧力に由
来する問題は無くなる。
磨されるとき、バネ部材３８は圧縮され、ブラシ研磨部
材３４へ加えられる圧力の一部を軽減できる。加えてブ
ラシ研磨部材３４の一部は、中間プレート３６の開口部
から膨らむことができる。したがって、例えば不均一な
表面を有するウェーハまたは歪んだウェーハからの、ブ
ラシ研磨部材３４へ加えられる過大な上方向の圧力に由
来する問題は無くなる。
【００１７】本発明は、好ましい形態において、かつあ
る程度の特殊性を有する種々の例において説明してきた
が、これらの好ましい形態および種々の例の開示は、構
造の詳細において変更できることが分かる。本発明の範
囲は、ここで示された特定の例によってではなく前記の
特許請求の範囲により決めるべきである。
る程度の特殊性を有する種々の例において説明してきた
が、これらの好ましい形態および種々の例の開示は、構
造の詳細において変更できることが分かる。本発明の範
囲は、ここで示された特定の例によってではなく前記の
特許請求の範囲により決めるべきである。
【図１】従来技術のブラシ研磨装置の一部切欠斜面図。
【図２】従来技術のブラシ研磨装置に使用されるブラシ
の透視図。
の透視図。
【図３】図２のブラシの断面図。
【図４】圧力を受けている図３のブラシの断面図。
【図５】本発明の一実施例の形態を示すブラシの透視
図。
図。
【図６】図５のブラシの断面図。
【図７】圧力を受けている図６のブラシの断面図。
３０ スリーブ ３２ キャップ部材 ３４ ブラシ研磨部材 ３６ 中間プレート ３８ バネ部材
Claims (9)
- 【請求項１】 第１の端部と第２の端部を有するスリー
ブと、第１の端部においてスリーブ内に移動自在に受容
されるブラシ研磨部材と、第２の端部においてスリーブ
へ強固に連結されるキャップ部材と、およびブラシ研磨
部材の一部分がスリーブの第２の端部から突き出し、ブ
ラシ研磨部材が少なくとも１つの弾性部材に対して移動
可能なように、キャップ部材とブラシ研磨部材との間に
配設される少なくとも１つの弾性部材とから構成された
ブラシ研磨装置用ブラシ。 - 【請求項２】 上記弾性部材とブラシ研磨部材との間に
中間プレートを配設して成る請求項１記載のブラシ研磨
装置用ブラシ。 - 【請求項３】 開口部が上記中間プレート上に少なくと
も１つの開口部が設けられて成る請求項２記載のブラシ
研磨装置用ブラシ。 - 【請求項４】 上記開口部は穴にて形成されて成る請求
項３記載のブラシ研磨装置用ブラシ。 - 【請求項５】 上記開口部は長穴にて形成されて成る請
求項３記載のブラシ研磨装置用ブラシ。 - 【請求項６】 上記開口部は切り欠きにて形成されて成
る請求項３記載のブラシ研磨装置用ブラシ。 - 【請求項７】 上記弾性部材は、キャップ部材および中
間プレートに押し当たるバネ部材である請求項２記載の
ブラシ研磨装置用ブラシ。 - 【請求項８】 少なくとも１つの保持穴がキャップ部材
上に設けられて上記バネ部材を保持するように形成され
て成る請求項７記載のブラシ研磨装置用ブラシ。 - 【請求項９】 上記バネ部材はコイルバネで形成されて
成る請求項７記載のブラシ研磨装置用ブラシ。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW086200986U TW320879U (en) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | Brush head for brushing machine |
| TW86200986 | 1997-01-20 | ||
| US08/814,970 US5901403A (en) | 1997-01-20 | 1997-03-11 | Scrubber brush |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10202540A true JPH10202540A (ja) | 1998-08-04 |
| JP2983189B2 JP2983189B2 (ja) | 1999-11-29 |
Family
ID=26666497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9158637A Expired - Fee Related JP2983189B2 (ja) | 1997-01-20 | 1997-06-16 | ブラシ研磨装置用ブラシ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5901403A (ja) |
| JP (1) | JP2983189B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100376395B1 (ko) * | 2000-09-19 | 2003-03-15 | 주식회사 케이씨텍 | 세정용 브러시 조립체 |
| CN107993913A (zh) * | 2016-10-26 | 2018-05-04 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 装载腔体及晶圆洗边装置及半导体制程设备 |
| JP2020040177A (ja) * | 2018-09-11 | 2020-03-19 | 日本ユニット株式会社 | 自動送出ブラシ |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3641349B2 (ja) * | 1997-05-19 | 2005-04-20 | 株式会社荏原製作所 | 洗浄装置 |
| JP4046931B2 (ja) * | 2000-07-14 | 2008-02-13 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置及び洗浄具 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1681648A (en) * | 1925-10-30 | 1928-08-21 | Charles S Root | Rubbing machine |
| US2882544A (en) * | 1957-10-23 | 1959-04-21 | Puzant H Hadidian | Tooth brush |
| SU689657A1 (ru) * | 1977-12-30 | 1979-10-05 | Московский Ордена Трудового Красного Знамени Текстильный Институт | Цилиндрическа щетка |
| IL71065A (en) * | 1984-02-27 | 1989-09-28 | Marta N Berl | Toothbrush |
| IL96413A0 (en) * | 1990-11-20 | 1991-08-16 | Ohad Paz | Brush including spring-mounted bristle holders |
| US5581840A (en) * | 1995-12-13 | 1996-12-10 | Chen; Li-Min | Hairbrush |
-
1997
- 1997-03-11 US US08/814,970 patent/US5901403A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-06-16 JP JP9158637A patent/JP2983189B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100376395B1 (ko) * | 2000-09-19 | 2003-03-15 | 주식회사 케이씨텍 | 세정용 브러시 조립체 |
| CN107993913A (zh) * | 2016-10-26 | 2018-05-04 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 装载腔体及晶圆洗边装置及半导体制程设备 |
| CN107993913B (zh) * | 2016-10-26 | 2019-11-15 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 装载腔体及晶圆洗边装置及半导体制程设备 |
| JP2020040177A (ja) * | 2018-09-11 | 2020-03-19 | 日本ユニット株式会社 | 自動送出ブラシ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5901403A (en) | 1999-05-11 |
| JP2983189B2 (ja) | 1999-11-29 |
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