JPH10217089A - 研磨装置における研磨高さ位置設定方法 - Google Patents
研磨装置における研磨高さ位置設定方法Info
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- JPH10217089A JPH10217089A JP1693797A JP1693797A JPH10217089A JP H10217089 A JPH10217089 A JP H10217089A JP 1693797 A JP1693797 A JP 1693797A JP 1693797 A JP1693797 A JP 1693797A JP H10217089 A JPH10217089 A JP H10217089A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 研磨高さ位置を決定するセンサの高さ原点設
定時に、研磨ヘッドの損傷を防止し正確な設定を可能と
する研磨装置における研磨高さ位置設定方法を提供す
る。 【解決手段】 研磨動作に先立って、研磨テープ８を取
り付けたコンタクトロッド１０を校正テーブル１５に当
接させ、このときにセンサ３ａ、３ｂが校正テーブル１
５の表面を検出する高さを高さ原点として設定する。校
正テーブル１５は弾性支持体１４によって剛性体からな
るテーブル１６を支持して構成されているので、コンタ
クトロッド１０の当接時に押しつけ圧力に応じて沈み込
むので、コンタクトロッド１０を損傷させず、コンタク
トロッド１０の先端と点接触で当接するので、正確な高
さ原点の設定ができる。
定時に、研磨ヘッドの損傷を防止し正確な設定を可能と
する研磨装置における研磨高さ位置設定方法を提供す
る。 【解決手段】 研磨動作に先立って、研磨テープ８を取
り付けたコンタクトロッド１０を校正テーブル１５に当
接させ、このときにセンサ３ａ、３ｂが校正テーブル１
５の表面を検出する高さを高さ原点として設定する。校
正テーブル１５は弾性支持体１４によって剛性体からな
るテーブル１６を支持して構成されているので、コンタ
クトロッド１０の当接時に押しつけ圧力に応じて沈み込
むので、コンタクトロッド１０を損傷させず、コンタク
トロッド１０の先端と点接触で当接するので、正確な高
さ原点の設定ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、平面上に存在する
微小な突起を所定高さ位置で研磨により除去する研磨装
置における研磨ヘッドの研磨高さ位置設定方法に関する
ものである。
微小な突起を所定高さ位置で研磨により除去する研磨装
置における研磨ヘッドの研磨高さ位置設定方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は、液晶カラーフィルタの表面に生
じた微小突起を研磨除去する研磨装置の構成を示す斜視
図である。研磨装置１は、Ｙ軸方向（前後方向）に吸着
テーブル７を移動させるＹ軸ステージ５と、Ｘ軸方向
（左右方向）に研磨ヘッド６を移動させるＸ軸ステージ
４とを備え、前記吸着テーブル７上に研磨対象物である
液晶カラーフィルタ２を吸着保持してＹ軸方向に移動さ
せ、研磨ヘッド６をＸ軸ステージ４により往復移動させ
ることにより前記液晶カラーフィルタ２の表面に存在す
る微小突起を研磨除去する。前記微小突起は前記研磨ヘ
ッド６に隣接して取り付けられたセンサにより検出され
る。
じた微小突起を研磨除去する研磨装置の構成を示す斜視
図である。研磨装置１は、Ｙ軸方向（前後方向）に吸着
テーブル７を移動させるＹ軸ステージ５と、Ｘ軸方向
（左右方向）に研磨ヘッド６を移動させるＸ軸ステージ
４とを備え、前記吸着テーブル７上に研磨対象物である
液晶カラーフィルタ２を吸着保持してＹ軸方向に移動さ
せ、研磨ヘッド６をＸ軸ステージ４により往復移動させ
ることにより前記液晶カラーフィルタ２の表面に存在す
る微小突起を研磨除去する。前記微小突起は前記研磨ヘ
ッド６に隣接して取り付けられたセンサにより検出され
る。
【０００３】図３は、前記研磨ヘッド６の先端部を拡大
図示する正面図で、研磨ヘッド６の先端部に設けられた
コンタクトロッド１０に、順次供給される研磨テープ８
が装着され、研磨ヘッド６が移動するＸ軸方向の両側に
微小突起９を検出する一対のセンサ３ａ、３ｂが取り付
けられている。このセンサ３ａ、３ｂは、エアマイクロ
センサとして形成されており、吹き出し空気の圧力の対
面物との距離による変化から微小突起９を検出する。
図示する正面図で、研磨ヘッド６の先端部に設けられた
コンタクトロッド１０に、順次供給される研磨テープ８
が装着され、研磨ヘッド６が移動するＸ軸方向の両側に
微小突起９を検出する一対のセンサ３ａ、３ｂが取り付
けられている。このセンサ３ａ、３ｂは、エアマイクロ
センサとして形成されており、吹き出し空気の圧力の対
面物との距離による変化から微小突起９を検出する。
【０００４】このセンサ３ａ、３ｂにより微小突起９を
検出し、前記研磨ヘッド６により研磨する原点位置の設
定は、従来図４（ｂ）に示すように、研磨ヘッド６を下
降させ、研磨テープ８が装着された研磨ヘッド６の先端
部を剛性体からなる校正テーブル１１に当接させたとき
に、前記センサ３ａ、３ｂが校正テーブル１１の表面を
検出する高さにセンサ３ａ、３ｂを設定する。センサ３
ａ、３ｂの高さ設定がなされた後、研磨ヘッド６を微小
突起９を研磨除去する所定高さに設定して研磨動作が開
始され、センサ３ａ、３ｂにより微小突起９が検出され
ない状態にまで研磨ヘッド６による研磨動作が実行され
る。
検出し、前記研磨ヘッド６により研磨する原点位置の設
定は、従来図４（ｂ）に示すように、研磨ヘッド６を下
降させ、研磨テープ８が装着された研磨ヘッド６の先端
部を剛性体からなる校正テーブル１１に当接させたとき
に、前記センサ３ａ、３ｂが校正テーブル１１の表面を
検出する高さにセンサ３ａ、３ｂを設定する。センサ３
ａ、３ｂの高さ設定がなされた後、研磨ヘッド６を微小
突起９を研磨除去する所定高さに設定して研磨動作が開
始され、センサ３ａ、３ｂにより微小突起９が検出され
ない状態にまで研磨ヘッド６による研磨動作が実行され
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、研磨ヘ
ッド６の先端部を校正テーブル１１に押し当てたとき、
校正テーブル１１が剛性体であるため、当接圧力によっ
て研磨テープ８に弾性変形が生じるため、正確な原点位
置の設定ができない問題点があった。また、研磨ヘッド
６の校正テーブル１１への押し当て時に、研磨ヘッド６
の損傷を防止するため、図示しない押し当て停止位置検
出センサを設ける必要があった。
ッド６の先端部を校正テーブル１１に押し当てたとき、
校正テーブル１１が剛性体であるため、当接圧力によっ
て研磨テープ８に弾性変形が生じるため、正確な原点位
置の設定ができない問題点があった。また、研磨ヘッド
６の校正テーブル１１への押し当て時に、研磨ヘッド６
の損傷を防止するため、図示しない押し当て停止位置検
出センサを設ける必要があった。
【０００６】本発明は、研磨高さの原点位置の設定構造
を改良して、設定精度の向上と構造の簡易化を実現する
研磨装置における研磨高さ位置設定方法を提供すること
を目的とするものである。
を改良して、設定精度の向上と構造の簡易化を実現する
研磨装置における研磨高さ位置設定方法を提供すること
を目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、研磨テープが
装着された研磨ヘッドと、この研磨ヘッドの近傍に研磨
ヘッドの先端から所定距離だけ後退した位置に配設され
たセンサとを備え、研磨対象物の平面から突出する微小
突起を前記センサにより検出して、前記研磨ヘッドの前
記研磨対象物の平面に平行した往復移動により前記微小
突起を研磨除去する研磨装置における研磨高さ位置設定
方法において、研磨開始に先立って、前記研磨ヘッドの
押しつけ方向に弾性支持されてなる校正テーブルに前記
研磨ヘッドを当接させ、このときの前記センサが検出す
る前記校正テーブルからの高さ位置を前記研磨ヘッドに
よる研磨高さとすることを特徴とする。
装着された研磨ヘッドと、この研磨ヘッドの近傍に研磨
ヘッドの先端から所定距離だけ後退した位置に配設され
たセンサとを備え、研磨対象物の平面から突出する微小
突起を前記センサにより検出して、前記研磨ヘッドの前
記研磨対象物の平面に平行した往復移動により前記微小
突起を研磨除去する研磨装置における研磨高さ位置設定
方法において、研磨開始に先立って、前記研磨ヘッドの
押しつけ方向に弾性支持されてなる校正テーブルに前記
研磨ヘッドを当接させ、このときの前記センサが検出す
る前記校正テーブルからの高さ位置を前記研磨ヘッドに
よる研磨高さとすることを特徴とする。
【０００８】上記構成によれば、校正テーブルは弾性支
持されているので、研磨ヘッドが押しつけられたとき、
押しつけ加圧に応じて沈み込む。従って、研磨ヘッドの
降下速度や加圧が大きくても、研磨ヘッドに損傷を与え
たり、研磨テープの変形による設定高さに誤差を生じさ
せることがない。また、従来構成では必要とした押しつ
け停止機能センサを設ける必要もなく構造を簡易化する
ことができ、センサの高さ原点の設定時に、研磨ヘッド
の先端部に装着された研磨テープと校正テーブルとは点
接触の状態で当接するので、正確且つ迅速にセンサの高
さ原点の設定を行うことができる。
持されているので、研磨ヘッドが押しつけられたとき、
押しつけ加圧に応じて沈み込む。従って、研磨ヘッドの
降下速度や加圧が大きくても、研磨ヘッドに損傷を与え
たり、研磨テープの変形による設定高さに誤差を生じさ
せることがない。また、従来構成では必要とした押しつ
け停止機能センサを設ける必要もなく構造を簡易化する
ことができ、センサの高さ原点の設定時に、研磨ヘッド
の先端部に装着された研磨テープと校正テーブルとは点
接触の状態で当接するので、正確且つ迅速にセンサの高
さ原点の設定を行うことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の一実施形態について説明し、本発明の理解に供する。
尚、以下に示す実施形態は本発明を具体化した一例であ
って、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
の一実施形態について説明し、本発明の理解に供する。
尚、以下に示す実施形態は本発明を具体化した一例であ
って、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００１０】ここに、図１〜図３は本発明の一実施形態
に係る研磨高さ位置設定の状態を示す説明図である。
尚、従来構成と共通する要素には同一の符号を付して、
その説明は省略する。
に係る研磨高さ位置設定の状態を示す説明図である。
尚、従来構成と共通する要素には同一の符号を付して、
その説明は省略する。
【００１１】図１〜図３において、研磨ヘッド６は、テ
ープ基材に砥粒を付着させた研磨テープ８と、この研磨
テープ８を微小突起９に押しつけるコンタクトロッド１
０と、コンタクトロッド８に供給された前記研磨テープ
８を保持するテープロック１３と、研磨対象物である液
晶カラーフィルタ２の表面上に存在する微小突起９を検
出する一対のセンサ３ａ、３ｂとを備えて構成されてい
る。
ープ基材に砥粒を付着させた研磨テープ８と、この研磨
テープ８を微小突起９に押しつけるコンタクトロッド１
０と、コンタクトロッド８に供給された前記研磨テープ
８を保持するテープロック１３と、研磨対象物である液
晶カラーフィルタ２の表面上に存在する微小突起９を検
出する一対のセンサ３ａ、３ｂとを備えて構成されてい
る。
【００１２】上記構成になる研磨ヘッド６は、図２に示
したような研磨装置１のＸ軸ステージ４に搭載されてＸ
軸方向に往復移動し、Ｙ軸ステージ５に搭載された吸着
テーブル７に保持された液晶カラーフィルタ２がＹ軸方
向に移動することによって、液晶カラーフィルタ２の全
表面を走査することができる。このように研磨ヘッド６
が液晶カラーフィルタ２の全表面を走査して、表面に存
在する微小突起９をセンサ３ａ、３ｂにより検出し、研
磨テープ８をコンタクトロッド１０により微小突起９に
押しつけ、図３に示したように所定高さ位置で研磨除去
する。
したような研磨装置１のＸ軸ステージ４に搭載されてＸ
軸方向に往復移動し、Ｙ軸ステージ５に搭載された吸着
テーブル７に保持された液晶カラーフィルタ２がＹ軸方
向に移動することによって、液晶カラーフィルタ２の全
表面を走査することができる。このように研磨ヘッド６
が液晶カラーフィルタ２の全表面を走査して、表面に存
在する微小突起９をセンサ３ａ、３ｂにより検出し、研
磨テープ８をコンタクトロッド１０により微小突起９に
押しつけ、図３に示したように所定高さ位置で研磨除去
する。
【００１３】前記センサ３ａ、３ｂは、非接触で微小突
起９を検出するエアマイクロセンサとして構成されてお
り、このセンサ３ａ、３ｂによる微小突起９を検出する
高さ原点の設定方法は、図１（ａ）、（ｂ）に示すよう
になされる。
起９を検出するエアマイクロセンサとして構成されてお
り、このセンサ３ａ、３ｂによる微小突起９を検出する
高さ原点の設定方法は、図１（ａ）、（ｂ）に示すよう
になされる。
【００１４】センサ３ａ、３ｂの高さ原点の設定は、研
磨動作に先立って、図１（ｂ）に示すように、校正テー
ブル１５に研磨テープ８が装着されたコンタクトロッド
１０の先端部を当接させたとき、センサ３ａ、３ｂが校
正テーブル１５の表面を検出できる高さにセンサ３ａ、
３ｂの高さが設定される。
磨動作に先立って、図１（ｂ）に示すように、校正テー
ブル１５に研磨テープ８が装着されたコンタクトロッド
１０の先端部を当接させたとき、センサ３ａ、３ｂが校
正テーブル１５の表面を検出できる高さにセンサ３ａ、
３ｂの高さが設定される。
【００１５】センサ３ａ、３ｂの高さ設定がなされた
後、図１（ａ）に示すように、研磨ヘッド６を微小突起
９を研磨除去する所定高さに設定して研磨動作が開始さ
れ、図３に示すように、センサ３ａ、３ｂが微小突起９
を検出すると、コンタクトロッド１０に装着された研磨
テープ８は微小突起９を研磨し、センサ３ａ、３ｂによ
り微小突起９が検出されなくなる所定高さで頭頂部９ａ
を研磨除去する。
後、図１（ａ）に示すように、研磨ヘッド６を微小突起
９を研磨除去する所定高さに設定して研磨動作が開始さ
れ、図３に示すように、センサ３ａ、３ｂが微小突起９
を検出すると、コンタクトロッド１０に装着された研磨
テープ８は微小突起９を研磨し、センサ３ａ、３ｂによ
り微小突起９が検出されなくなる所定高さで頭頂部９ａ
を研磨除去する。
【００１６】前記校正テーブル１５は、図１に示すよう
に、剛性体からなるテーブル１６をスプリング等の弾性
支持体１４により支持して構成されている。この弾性支
持体１４によるテーブル１６の支持は、研磨ヘッド６の
下降による前記コンタクトロッド１０の押しつけ圧力で
容易に沈み込む程度の柔支持構造である。従って、研磨
テープ８が装着されたコンタクトロッド１０が図１
（ａ）に示す状態から図１（ｂ）に示すように校正テー
ブル１５上に下降して当接し加圧を受けたときには沈み
込むので、コンタクトロッド１０の降下速度や加圧が大
きくても、コンタクトロッド１０に損傷を与えたり、研
磨テープ８の変形による設定高さに誤差を生じさせるこ
とがない。また、従来構成では必要とした押しつけ停止
機能センサを設ける必要もなく構造を簡易化することが
できる。
に、剛性体からなるテーブル１６をスプリング等の弾性
支持体１４により支持して構成されている。この弾性支
持体１４によるテーブル１６の支持は、研磨ヘッド６の
下降による前記コンタクトロッド１０の押しつけ圧力で
容易に沈み込む程度の柔支持構造である。従って、研磨
テープ８が装着されたコンタクトロッド１０が図１
（ａ）に示す状態から図１（ｂ）に示すように校正テー
ブル１５上に下降して当接し加圧を受けたときには沈み
込むので、コンタクトロッド１０の降下速度や加圧が大
きくても、コンタクトロッド１０に損傷を与えたり、研
磨テープ８の変形による設定高さに誤差を生じさせるこ
とがない。また、従来構成では必要とした押しつけ停止
機能センサを設ける必要もなく構造を簡易化することが
できる。
【００１７】上記構成になる校正テーブル１５により、
センサ３ａ、３ｂの高さ原点の設定時に、コンタクトロ
ッド１０の先端部に装着された研磨テープ８と校正テー
ブル１５とは、点接触の状態で当接するので、正確且つ
迅速にセンサ３ａ、３ｂの高さ原点の設定を行うことが
できる。
センサ３ａ、３ｂの高さ原点の設定時に、コンタクトロ
ッド１０の先端部に装着された研磨テープ８と校正テー
ブル１５とは、点接触の状態で当接するので、正確且つ
迅速にセンサ３ａ、３ｂの高さ原点の設定を行うことが
できる。
【００１８】
【発明の効果】以上の説明の通り本発明によれば、校正
テーブルは弾性支持されているので、研磨ヘッドが押し
つけられたとき、押しつけ加圧に応じて沈み込む。従っ
て、研磨ヘッドの降下速度や加圧が大きくても、研磨ヘ
ッドに損傷を与えたり、研磨テープの変形による設定高
さに誤差を生じさせることがない。また、従来構成では
必要とした押しつけ停止機能センサを設ける必要もなく
構造を簡易化することができ、センサの高さ原点の設定
時に、研磨ヘッドの先端部に装着された研磨テープと校
正テーブルとは点接触の状態で当接するので、正確且つ
迅速にセンサの高さ原点の設定を行うことができる。
テーブルは弾性支持されているので、研磨ヘッドが押し
つけられたとき、押しつけ加圧に応じて沈み込む。従っ
て、研磨ヘッドの降下速度や加圧が大きくても、研磨ヘ
ッドに損傷を与えたり、研磨テープの変形による設定高
さに誤差を生じさせることがない。また、従来構成では
必要とした押しつけ停止機能センサを設ける必要もなく
構造を簡易化することができ、センサの高さ原点の設定
時に、研磨ヘッドの先端部に装着された研磨テープと校
正テーブルとは点接触の状態で当接するので、正確且つ
迅速にセンサの高さ原点の設定を行うことができる。
【図１】本発明に係るセンサの高さ原点の設定方法を
（ａ）、（ｂ）に説明する正面図。
（ａ）、（ｂ）に説明する正面図。
【図２】研磨装置の構成を示す斜視図。
【図３】研磨ヘッドの先端部の構成を示す正面図。
【図４】従来構成に係るセンサの高さ原点の設定方法を
説明する正面図。
説明する正面図。
１ 研磨装置 ２ 液晶カラーフィルタ（研磨対象物） ３ａ、３ｂ センサ ６ 研磨ヘッド ８ 研磨テープ ９ 微小突起 １０ コンタクトロッド １４ 弾性支持体 １５ 校正テーブル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 内田 治人 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 河西 研二 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 研磨テープが装着された研磨ヘッドと、
この研磨ヘッドの近傍に研磨ヘッドの先端から所定距離
だけ後退した位置に配設されたセンサとを備え、研磨対
象物の平面から突出する微小突起を前記センサにより検
出して、前記研磨ヘッドの前記研磨対象物の平面に平行
した往復移動により前記微小突起を研磨除去する研磨装
置における研磨高さ位置設定方法において、 研磨開始に先立って、前記研磨ヘッドの押しつけ方向に
弾性支持されてなる校正テーブルに前記研磨ヘッドを当
接させ、このときの前記センサが検出する前記校正テー
ブルからの高さ位置を前記研磨ヘッドによる研磨高さと
することを特徴とする研磨装置における研磨高さ位置設
定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1693797A JP3845165B2 (ja) | 1997-01-30 | 1997-01-30 | 研磨装置における研磨高さ位置設定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1693797A JP3845165B2 (ja) | 1997-01-30 | 1997-01-30 | 研磨装置における研磨高さ位置設定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10217089A true JPH10217089A (ja) | 1998-08-18 |
| JP3845165B2 JP3845165B2 (ja) | 2006-11-15 |
Family
ID=11930047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1693797A Expired - Fee Related JP3845165B2 (ja) | 1997-01-30 | 1997-01-30 | 研磨装置における研磨高さ位置設定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3845165B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005319576A (ja) * | 2004-04-06 | 2005-11-17 | Opto One Kk | 研磨装置 |
| JP2006231493A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Toyo Knife Co Ltd | 丸刃刃先仕上げ装置 |
| JP2007326212A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Snu Precision Co Ltd | 基板のリペア装置及びその方法 |
| KR100930571B1 (ko) * | 2002-03-13 | 2009-12-09 | (주) 액트 브레인 | 기판결함의 리페어 장치 및 방법 |
| WO2012011346A1 (ja) * | 2010-07-20 | 2012-01-26 | 株式会社ブイ・テクノロジー | カラーフィルタの突起欠陥高さ測定器及びリペア装置 |
| KR101405226B1 (ko) * | 2012-12-17 | 2014-06-13 | 현대자동차 주식회사 | 자동차 용접 품질 검사 시스템용 표면 처리 장치 및 그 제어 방법 |
-
1997
- 1997-01-30 JP JP1693797A patent/JP3845165B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100930571B1 (ko) * | 2002-03-13 | 2009-12-09 | (주) 액트 브레인 | 기판결함의 리페어 장치 및 방법 |
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| JP2006231493A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Toyo Knife Co Ltd | 丸刃刃先仕上げ装置 |
| JP4566785B2 (ja) * | 2005-02-28 | 2010-10-20 | 東洋刃物株式会社 | 丸刃刃先仕上げ装置 |
| JP2007326212A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Snu Precision Co Ltd | 基板のリペア装置及びその方法 |
| WO2012011346A1 (ja) * | 2010-07-20 | 2012-01-26 | 株式会社ブイ・テクノロジー | カラーフィルタの突起欠陥高さ測定器及びリペア装置 |
| JP2012026766A (ja) * | 2010-07-20 | 2012-02-09 | V Technology Co Ltd | カラーフィルタの突起欠陥高さ測定器及びリペア装置 |
| CN103003659A (zh) * | 2010-07-20 | 2013-03-27 | 株式会社V技术 | 滤色片的突起缺陷高度测量仪器以及修复装置 |
| KR101405226B1 (ko) * | 2012-12-17 | 2014-06-13 | 현대자동차 주식회사 | 자동차 용접 품질 검사 시스템용 표면 처리 장치 및 그 제어 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3845165B2 (ja) | 2006-11-15 |
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