JP2012026766A - カラーフィルタの突起欠陥高さ測定器及びリペア装置 - Google Patents

Abstract

【課題】着色層の境界部分に、隣接する着色層の端縁部分を相互に積層した隔壁などの突起状構造物を有するカラーフィルタにおいて、触針の走査によって、突起状構造物を越える高さの突起欠陥を高精度に測定できるようにする。
【解決手段】触針３０４ａ，５０４ａの稜線３０４ｂ，５０４ｂを走査方向に対して４５度に交差する方向に設定し、かつ、稜線３０４ｂ，５０４ｂの長さを、走査方向において離間する２本の隔壁１０５（突起状構造物）に稜線３０４ｂ，５０４ｂが同時に乗り上げる長さＬに設定する。これにより、触針３０４ａ，５０４ａは、走査中に隔壁１０５の間の着色層１０１〜１０３上に落ち込むことがなく、隔壁１０５の頂点に接触しつつ走査され、隔壁１０５の頂点を基準高さとして、この基準高さＨ２を越える高さの突起欠陥ＦＡを測定する。
【選択図】図４

Description

本発明は、カラーフィルタ上の突起欠陥の高さを、触針によるカラーフィルタ表面の走査によって測定する突起欠陥高さ測定器、及び、当該突起欠陥高さ測定器を備えたカラーフィルタのリペア装置に関する。

従来、触針の走査によって基板上の突起欠陥（異物やバリなど）の高さを測定する測定器としては、例えば特許文献１に開示されるように、触針の先端形状を、走査方向に直交する平坦な直線部分を有する形状とした測定器があった。

特開平１０−０６８６１８号公報

ところで、液晶パネルのカラーフィルタにおいては、着色層の端縁が隣接するブラックマトリクス上に積層されたり、着色層と隣接する別の着色層とが互いに端縁部で積層されたり、着色層よりも高いブラックマトリクスが着色層間に設けられたりして、着色層の境界部分に当該着色層よりも高い突起状構造物が形成される場合がある。
このような突起状構造物を有するカラーフィルタ上の突起欠陥の高さを測定し、突起欠陥を研磨する場合、突起状構造物を超える高さの突起欠陥が研磨対象となり、突起欠陥の高さ測定においては、突起状構造物の高さを基準としてこれを超える高さの突起欠陥を測定対象とすることが望まれる。

しかし、従来の突起欠陥高さ測定器では、触針の先端が、走査中に突起状構造物よりも低い着色層上、即ち、突起状構造物の間に落ち込み、突起状構造物についても、着色層の表面を基準とした高さ測定を行ってしまい、突起欠陥の高さの測定精度を低下させる要因になっていた。
また、突起欠陥を研磨するリペア装置においては、研磨前の突起欠陥の高さを測定する手段と、研磨後の突起欠陥の高さを測定する手段とを、研磨ヘッドを挟んで両側に配置する場合があるが、係るリペア装置において、一方の測定手段の触針が突起状構造物に乗り上げ、他方の測定手段の触針が突起状構造物の間に落ち込むと、実際にはカラーフィルタが水平であるのに、触針が突起状構造物の間に落ち込んだ側が見かけ上低くなり、その結果、研磨ヘッドを過度に降下させて過研磨を生じさせる可能性があった。

そこで、本発明は、このような問題点に対処し、着色層の境界部分に突起状構造物を有するカラーフィルタにおいて、突起状構造物を越える高さの突起欠陥を高精度に測定できる突起欠陥高さ測定器、及び、過研磨の発生を防止できるリペア装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係るカラーフィルタの突起欠陥高さ測定器は、カラーフィルタが、着色層の境界部分に当該着色層の高さよりも高い突起状構造物を有し、前記カラーフィルタ上の突起欠陥の高さを、触針によるカラーフィルタ表面の走査によって測定する突起欠陥高さ測定器であって、前記触針の先端形状を、当該触針の走査方向において離間する２つの前記突起状構造物に同時に乗り上げる形状とした。
このような構成では、カラーフィルタ上に突起状構造物を越える高さの突起欠陥が存在しない状態で、触針は、突起状構造物に少なくとも１点で接触する状態を保持して走査されることになり、触針が突起状構造物よりも低い着色層上に落ち込むことがなく、触針が突起状構造物上を走査し、突起欠陥の高さを、突起状構造物の高さを基準に測定することになる。

また、本発明に係るカラーフィルタの突起欠陥高さ測定器は、カラーフィルタが、着色層の境界部分に当該着色層の高さよりも高い突起状構造物を有し、前記カラーフィルタ上の突起欠陥の高さを、触針によるカラーフィルタ表面の走査によって測定する突起欠陥高さ測定器であって、前記触針の先端形状を、前記カラーフィルタに対して平行な稜線を有し、かつ、前記稜線が、前記触針の走査方向に対して斜めに交差すると共に、前記触針の走査方向において離間する２つの前記突起状構造物に同時に乗り上げる長さを有する形状とした。
このような構成では、走査方向に対して斜めに交差する触針の稜線が、走査方向において離間する２つの突起状構造物に同時に乗り上げる長さを有することで、カラーフィルタ上に突起状構造物を越える高さの突起欠陥が存在しない状態で、触針は、突起状構造物に少なくとも１点で接触する状態を保持して走査されることになり、触針が突起状構造物よりも低い着色層上に落ち込むことがなく、触針が突起状構造物上を走査し、突起欠陥の高さを、突起状構造物の高さを基準に測定することになる。

ここで、前記稜線の走査方向に対する交差角度を４５度近傍に設定することができる。
このような構成では、走査方向に対して４５度で交差する方向において、稜線が、走査方向において離間する２つの突起状構造物に同時に乗り上げる。

更に、前記触針を、前記カラーフィルタに平行で、かつ直交するX軸方向及びY軸方向に走査することができる。
このような構成では、稜線が走査方向に対して斜めに交差するから、直交するX軸方向及びY軸方向のいずれの方向に走査した場合でも、走査軌跡が幅を有することになり、特に稜線の走査方向に対する交差角度を４５度とすれば、X軸方向及びY軸方向のいずれの方向に走査しても同じ幅の走査軌跡となり、X軸方向及びY軸方向の双方向において同様の高さ測定機能を得られる。

また、前記突起状構造物を、隣接する２つの着色層を積層した隔壁、又は、着色層とブラックマトリクスとを積層した隔壁とすることができる。
このような構成では、着色層の端縁部分が隣接する別の着色層の端縁部分に重ねられて着色層よりも高い隔壁（突起状構造物）を形成する場合、又は、着色層の端縁部分が、着色層と着色層との間に設けたブラックマトリクスの端縁部分に重ねられ、着色層よりも高い隔壁（突起状構造物）を形成する場合に、これらの隔壁（突起状構造物）の高さを基準に、突起欠陥の高さを計測する。

また、前記突起状構造物を、ブラックマトリクス、又は、ブラックマトリクス上に設けたスペーサとすることができる。
このような構成では、着色層と着色層との間に、着色層よりも高いブラックマトリクスを有する場合、又は、着色層と着色層との間に設けたブラックマトリクス上に、着色層よりも高いスペーサを設けた場合に、これらのブラックマトリクス部分を基準にブラックマトリクス部分を越える突起欠陥の高さを計測する。

また、本発明に係るリペア装置は、着色層の境界部分に当該着色層の高さよりも高い突起状構造物を有するカラーフィルタ上の突起欠陥を研磨するカラーフィルタのリペア装置であって、本願発明に係るカラーフィルタの突起欠陥高さ測定器を、研磨前高さ測定手段及び研磨後高さ測定手段として備える。
このような構成では、着色層の境界部分に着色層の高さよりも高い突起状構造物を有したカラーフィルタにおいて、前記突起状構造物の高さを越える突起欠陥を研磨する場合、研磨前の突起欠陥の高さ及び研磨後の突起欠陥の高さを、突起状構造物の高さを基準に計測し、この計測結果に基づき研磨高さを設定し、突起欠陥を研磨する。

本発明に係るカラーフィルタの突起欠陥高さ測定器及びリペア装置によると、着色層の境界部分に着色層の高さよりも高い突起状構造物を有したカラーフィルタにおいて、突起状構造物の高さを基準に突起欠陥の高さを計測するので、突起欠陥の高さを高精度に測定でき、突起欠陥の研磨を高精度に行えるという効果がある。

本発明に係るリペア装置の実施形態を示す正面図である。 実施形態のリペア装置が備える高さ測定手段（突起欠陥高さ測定器）の触針の形状を示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は断面図である。 実施形態の高さ測定手段における触針の取り付け角度を説明するための図である。 実施形態におけるカラーフィルタ及び当該カラーフィルタの突起欠陥の高さ測定に用いる触針を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。 実施形態の高さ測定手段の測定出力の特性を説明するための図である。 実施形態において触針の走査方向とカラーフィルタとの相関を示す図であり、（ａ）はＹ軸方向を走査方向とした場合、（ｂ）はＸ軸方向を走査方向とした場合を示す図である。 実施形態におけるカラーフィルタ及び当該カラーフィルタの突起欠陥の高さ測定に用いる触針を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。 実施形態におけるカラーフィルタ及び当該カラーフィルタの突起欠陥の高さ測定に用いる触針を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。 実施形態におけるカラーフィルタ及び当該カラーフィルタの突起欠陥の高さ測定に用いる触針を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。

以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、液晶パネルのカラーフィルタ１００上の突起欠陥を、表面に研磨層を備えたテープ部材（研磨テープ）Ｔの走行によって研磨するリペア装置２００を示す。
このリペア装置２００は、突起欠陥の高さを測定する第１及び第２の高さ測定手段３００，５００（突起欠陥高さ測定器）と、前記テープ部材Ｔの研磨層を突起欠陥に押し当てて突起欠陥を研磨する押圧手段４００と、カラーフィルタ１００に対して相対移動する本体（図示省略）に備えられ、図１で上下方向に移動するベースプレート６００とを備え、第１高さ測定手段３００，押圧手段４００及び第２高さ測定手段５００はベースプレート６００上に配置される。

押圧手段４００は、ベースプレート６００に対して図１における上下方向に移動可能に取り付けたガイドブロック４０１、該ガイドブロック４０１に固定したヘッド部材４０２、ガイドローラ４０３ａ〜４０３ｄを備えると共に、図示を省略した、使用前のテープ部材Ｔを巻いたリール、使用後のテープ部材Ｔを巻き取る巻き取りリール、該巻き取りリールを回転駆動するモータなどを備える。
そして、リールから繰り出されたテープ部材Ｔは、ガイドローラ４０３ａ，４０３ｂによって案内され、ヘッド部材４０２の先端部で折り返され、ガイドローラ４０３ｃ，４０３ｄにより案内されて巻き取りリールに巻き付けられ、ヘッド部材４０２の先端部によってテープ部材Ｔの裏面を押圧して、テープ部材Ｔの表面（図１の下側面）に形成された研磨層をカラーフィルタ１００上の突起欠陥に押し付け、この状態でテープ部材Ｔを走行させることで突起欠陥を研磨する。

第１及び第２の高さ測定手段３００，５００は、ヘッド部材４０２の先端部を挟んで走査方向の両側に配置され、ベースプレート６００に対してゴニオステージ３０１，５０１を介して取り付けられるセンサ本体部３０２，５０２をそれぞれ備えている。
センサ本体部３０２，５０２それぞれからは、ヘッド部材４０２に近づく方向に、アーム部３０３，５０３が延設され、アーム部３０３，５０３の先端にはセンシング部３０４，５０４が取り付けられていて、センサ本体部３０２，５０２には、アーム部３０３，５０３の揺動量からセンシング部３０４，５０４の上下変位を計測する差動トランスなどの精密計測手段が内蔵されている。

そして、カラーフィルタ１００の表面をセンシング部３０４，５０４で走査し、カラーフィルタ１００表面の突起欠陥にセンシング部３０４，５０４が乗り上げることで、アーム部３０３，５０３が揺動し、この揺動量を精密計測手段が計測することで突起欠陥の高さを計測する。
センシング部３０４，５０４の先端の触針３０４ａ，５０４ａは、例えばサファイヤガラスやステンレス鋼などの耐磨耗性や耐腐食性を有した材料で形成され、図２に示すように、先端が先鋭でかつ所定の幅を有する稜線３０４ｂ，５０４ｂを備えた略楔型の形状を有している。

稜線３０４ｂ，５０４ｂの長さ、詳細には、カラーフィルタ１００の表面に平行な方向に直線的に延びる部分の長さＬは、例えば６００μｍ程度とし、かつ、稜線３０４ｂ，５０４ｂの延設方向に直交する平面で断面したときの先端形状が、例えば半径２５０μｍ程度の半球状をなすように形成することができる。
更に、センシング部３０４，５０４において、図３に示すように、走査方向（Ｙ軸方向）に対して、稜線３０４ｂ，５０４ｂの延設方向が４５度の角度で斜めに交差するように、触針３０４ａ，５０４ａのアーム部３０３，５０３に対する取り付け角度を設定してある。

次に、上記のリペア装置２００によるカラーフィルタ１００のリペア（突起欠陥の研磨）作業の手順を説明する。
まず、テープ部材Ｔを、ヘッド部材４０２及びガイドローラ４０３ａ〜４０３ｄに掛け渡して準備し、前工程で研磨対象として特定された突起欠陥（高さが目標高さよりも高い突起欠陥）に向けてセンサ本体部３０２，５０２及びヘッド部材４０２を一体的に走行させる。

そして、センサ本体部３０２又はセンサ本体部５０２が突起欠陥の近傍にまで来ると、ベースプレート６００を下降させてセンシング部３０４，５０４（触針３０４ａ，５０４ａ）がカラーフィルタ１００に接触するようにし、その後、極めて低速でセンサ本体部３０２，５０２及びヘッド部材４０２を走行させることで、触針３０４ａ，５０４ａによってカラーフィルタ１００表面を走査する。
これによって、センサ本体部３０２の触針３０４ａ又はセンサ本体部５０２の触針５０４ａが突起欠陥に乗り上げ、突起欠陥の高さがアーム部３０３又はアーム部５０３の揺動量として検出される。

突起欠陥の研磨前高さを測定すると、次に研磨作業に入る。突起欠陥の高さの測定結果をフィードバックしてベースプレート６００を下げ、研磨高さを設定し、ヘッド部材４０２の先端面が突起欠陥の頂点よりも低くなるようにする。
そして、突起欠陥に接触させたテープ部材Ｔを走行させて突起欠陥を研磨しながら、ヘッド部材４０２を更に走行させ、ヘッド部材４０２が突起欠陥の部分を通過した後も走行を継続させるようにする。
これにより、例えば、センサ本体部３０２（第１高さ測定手段３００）が、研磨前の突起欠陥の高さを測定する研磨前高さ測定手段として機能し、触針３０４ａが突起欠陥に乗り上げて高さ測定を行った後、突起欠陥がヘッド部材４０２の直下に位置するようになって研磨が行われ、研磨後に走行を継続することで、研磨後の突起欠陥にセンサ本体部５０２の触針５０４ａが乗り上げることで、研磨後の突起欠陥の高さが、研磨後高さ測定手段としてのセンサ本体部５０２（第２高さ測定手段５００）で計測されることになる。

尚、上記とは逆に、センサ本体部５０２（第２高さ測定手段５００）が、研磨前高さ測定手段として機能し、センサ本体部３０２（第１高さ測定手段３００）が、研磨後高さ測定手段として機能する場合もある。

研磨後に測定した突起欠陥の高さが、目標高さ（許容できる高さの最大値）になっていれば、ベースプレート６００を上げた後、センサ本体部３０２，５０２及びヘッド部材４０２を他の突起欠陥に向けて走行させる。
一方、研磨後に測定した突起欠陥の高さが、依然として目標高さよりも高い場合には、研磨後の高さの測定結果をフィードバックさせてベースプレート６００を更に降下させて研磨高さを修正した上で、逆方向に走行させ、上記と同様な工程で再度研磨を行い、最終的には、突起欠陥の高さを目標高さにまで研磨する。

このように、ヘッド部材４０２に対して走査方向手前側で研磨前の突起欠陥の高さを測定し、突起欠陥がヘッド部材４０２を通り過ぎた後で研磨後の突起欠陥の高さを測定するので、一方向への走行（走査）によって研磨前測定，研磨，研磨後測定の一連の動作を行え、処理時間を短縮できる。
更に、カラーフィルタ１００が、着色層の境界部分に着色層の高さよりも高い突起状構造物を有する場合に、突起状構造物の頂点を基準に、突起状構造物を越える突起欠陥の高さを測定できるように、前述のように、触針３０４ａ，５０４ａの稜線３０４ｂ，５０４ｂを走査方向に対して斜めに交差する方向に設定すると共に、後で詳細に説明するように、触針３０４ａ，５０４ａが、走査方向において離間する２つの突起状構造物に同時に乗り上げる長さに、稜線３０４ｂ，５０４ｂの長さを設定してある。

カラーフィルタ１００として、例えば図４に示すように、帯状の第１着色層１０１，第２着色層１０２及び第３着色層１０３が相互に隣接して幅方向に並べられ、かつ、各着色層１０１〜１０３の幅方向両端縁において、隣接する着色層相互が積層されて各着色層１０１〜１０３の高さＨ１よりも高い高さＨ２の隔壁１０５を形成し、各着色層１０１〜１０３の境界部分の隔壁（積層部分）１０５が、連続する突起状構造物を形成する場合がある。
上記のようなカラーフィルタ１００において、触針３０４ａ，５０４ａの稜線３０４ｂ，５０４ｂを、図４の右側に参考例として記したように、走査方向（Ｙ軸方向）に対して直交する方向（Ｘ軸方向）に一致させると、隔壁１０５の間に触針３０４ａ，５０４ａが落ち込み、欠陥ではない隔壁１０５（突起状構造物）の高さを、着色層１０１〜１０３の表面（高さＨ１）を基準に測定することになってしまい、隔壁１０５（突起状構造物）の高さＨ２よりも高い高さＨ３の突起欠陥ＦＡの測定精度を低下させてしまう。

更に、前述のように研磨前の高さと研磨後の高さを検出するために一対の高さ測定手段３００，５００を、ヘッド部材４０２を挟んで配置する場合、一方の触針３０４ａ（５０４ａ）が隔壁１０５の間に落ち込み、他方の触針５０４ａ(３０４ａ)が隔壁１０５に乗り上げていると、実際には、カラーフィルタ１００は水平であるのに、触針３０４ａ（５０４ａ）が隔壁１０５の間に落ち込んだ側が低いことになってしまい、ヘッド部材４０２を過剰に降下させて過研磨を行ってしまう可能性がある。

これに対して、本実施形態では、図４の左側に示すように、触針３０４ａ，５０４ａの稜線３０４ｂ，５０４ｂを走査方向に対して斜めに交差する方向に設定すると共に、稜線３０４ｂ，５０４ｂの長さＬを、稜線３０４ｂ，５０４ｂの延設方向における着色層１０１〜１０３の最大長さＬmaxを超える長さであって、稜線３０４ｂ，５０４ｂが走査方向において離間する２本の隔壁１０５に同時に乗り上げる長さに設定することで、カラーフィルタ１００上に隔壁１０５の高さＨ２よりも高い突起欠陥ＦＡが存在しない状態で、稜線３０４ｂ，５０４ｂが隔壁１０５に少なくとも１点で接触する状態を保持するようにした。

図４において、各着色層１０１〜１０３の幅をＷ１とし、稜線３０４ｂ，５０４ｂを走査方向に対して４５度に交差する方向に設定した場合、稜線３０４ｂ，５０４ｂの延設方向における着色層１０１〜１０３の最大長さＬmaxは、Ｌmax＝Ｗ１／sin45°になり、稜線３０４ｂ，５０４ｂの長さＬをＬmax＝Ｗ１／sin45°以上にすれば、稜線３０４ｂ，５０４ｂは、走査方向において離間する２本の隔壁１０５に触針３０４ａ，５０４ａが同時に乗り上げる長さＬを有することになり、走査中において隔壁１０５（突起状構造物）に少なくとも１点で接触する状態を保持することになる。

換言すれば、図４の右側に示すように、触針３０４ａ，５０４ａの稜線３０４ｂ，５０４ｂを、走査方向に対して直交する方向（Ｘ軸方向）に一致させると、触針３０４ａ，５０４ａが隔壁１０５の間の着色層１０１〜１０３上に落ち込む場合であっても、同じ形状・大きさの触針３０４ａ，５０４ａを、稜線３０４ｂ，５０４ｂを走査方向に対して斜めに交差するように取り付ければ、走査幅（走査軌跡の幅）は減るものの、触針３０４ａ，５０４ａの先端が走査方向に幅を有することになって、走査中において隔壁１０５（突起状構造物）に少なくとも１点で接触する状態を保持するようになる。尚、前述の稜線３０４ｂ，５０４ｂの長さＬ＝６００μｍは、上記の条件を満たしているものとする。

これにより、本実施形態の触針３０４ａ，５０４ａは、走査中に隔壁１０５の間の着色層１０１〜１０３上に落ち込むことがなく、隔壁１０５の頂点に接触しつつ走査され、図５に示すように、隔壁１０５と着色層１０１〜１０３との高さの違いに測定出力が応答せずに、隔壁１０５（突起状構造物）の高さＨ２を超える突起欠陥ＦＡが存在しない場合には一定の出力を保ち、隔壁１０５（突起状構造物）の高さＨ２を超える突起欠陥ＦＡに乗り上げると出力が応答変化し、突起欠陥ＦＡの高さを測定する。即ち、隔壁１０５（突起状構造物）の頂点を基準高さとし、この基準高さを越える高さを測定する。

従って、隔壁１０５の高さＨ２を超える突起欠陥ＦＡの高さＨ３を精度良く検出することができ、また、研磨前の高さと研磨後の高さを検出するために一対の高さ測定手段３００，５００を備える場合に、一方の触針が隔壁１０５の間に落ち込み、他方の触針が隔壁１０５に乗り上げることがなく、突起欠陥が存在しなければ、双方の触針３０４ａ，５０４ａは隔壁１０５に乗り上げ、同じ高さを示すことになるので、双方の検出高さの違いに基づき過研磨してしまうことを回避できる。

尚、触針３０４ａ，５０４ａの稜線３０４ｂ，５０４ｂを走査方向に対し直交する方向に設定し、かつ、触針３０４ａ，５０４ａ先端の走査方向における幅を、隔壁１０５の間に落ち込むことがない幅に拡大すれば、隔壁１０５の頂点を基準とする突起欠陥ＦＡの検出が可能になるが、この場合、カラーフィルタ１００と触針３０４ａ，５０４ａとの接触面積が大きくなり、カラーフィルタ１００を傷つけてしまう可能性がある。
これに対し、本実施形態のように、稜線３０４ｂ，５０４ｂを走査方向に対して斜めに設定すれば、触針３０４ａ，５０４ａ先端の曲率を大きくすることなく、換言すれば、接触面積の増大によるカラーフィルタ１００の損傷を抑制しつつ、隔壁１０５の間に触針３０４ａ，５０４ａが落ち込むことを防ぐことができる。

稜線３０４ｂ，５０４ｂを走査方向に対して斜めに設定する場合の角度は４５度に限定されないが、４５度とすれば、Ｙ軸方向の走査時とＸ軸方向の走査時との双方で、隔壁１０５（突起状構造物）間に触針３０４ａ，５０４ａが落ち込むことを回避しつつ、同等の高さ測定機能を発揮できる。

図６は、各着色層１０１〜１０３が折れ曲がってジグザグに延設されるカラーフィルタ１００を示し、図４に示したカラーフィルタ１００と同様に、各着色層１０１〜１０３の境界部分で隣接する着色層相互が積層されて突起状構造物としての隔壁１０５を形成しているものとする。
図６に示す例でも、触針３０４ａ，５０４ａの稜線３０４ｂ，５０４ｂを走査方向に対して斜め４５度で交差するように設定し、かつ、稜線３０４ｂ，５０４ｂの長さを稜線３０４ｂ，５０４ｂの延設方向における着色層１０１〜１０３の最大長さＬmax以上に設定することで、走査方向において離間する２つの隔壁１０５に同時に乗り上げる形状とし、触針３０４ａ，５０４ａが、隔壁１０５（突起状構造物）に少なくとも１点で接触する状態を保持して走査されるようにしてある。

ここで、図６（ａ）は、前述の着色層１０１〜１０３がジグザグに延設されるカラーフィルタ１００において走査方向をＹ軸方向（着色層１０１〜１０３の延設方向）とした場合を示し、図６（ｂ）は、（ａ）と同じカラーフィルタ１００に対して走査方向をＸ軸方向（着色層１０１〜１０３の延設方向と直交する方向）とした場合を示し、いずれの場合も、触針３０４ａ，５０４ａは、隔壁１０５の間に落ち込むことはなく、隔壁１０５の頂点を基準として突起欠陥ＦＡの高さを測定することになり、しかも、走査方向が異なっても走査幅ＳＷは同じ値になるから、走査方向をＹ軸方向とＸ軸方向とのいずれに設定しても同等の測定機能を発揮でき、効率良く突起欠陥の高さ測定及び研磨を行える。
尚、着色層１０１〜１０３が直線的に延設される図４に示したカラーフィルタ１００においても、走査方向をＹ軸方向とＸ軸方向とのいずれに設定しても同等の測定機能を発揮できることは明らかである。

ところで、上記実施形態では、着色層１０１〜１０３の高さＨ１よりも高い、着色層１０１〜１０３の境界部分における突起状構造物を、隣接する着色層相互を積層した隔壁１０５としたが、突起状構造物を、係る隔壁１０５に限定するものではない。
図７は、各着色層１０１〜１０３の間に、ブラックマトリクス１０６が配置され、かつ、このブラックマトリクス１０６の高さＨ４が、各着色層１０１〜１０３の高さＨ１よりも高く設定され、ブラックマトリクス１０６が、着色層１０１〜１０３の境界部分に設けられた、着色層１０１〜１０３の高さＨ１よりも高い突起状構造物を形成するカラーフィルタ１００の例を示す。

このようなカラーフィルタ１００においても、触針３０４ａ，５０４ａの稜線３０４ｂ，５０４ｂを走査方向に対して斜め（例えば４５度）に交差する方向に設定し、かつ、稜線３０４ｂ，５０４ｂの長さＬを、稜線の延設方向における着色層の最大長さＬmaxを超える長さであって、走査方向に離間する２本のブラックマトリクス１０６に同時に乗り上げる長さに設定することで、カラーフィルタ１００上にブラックマトリクス１０６（突起状構造物）を越える高さ（＞Ｈ４）の突起欠陥ＦＡが存在しない状態で、ブラックマトリクス１０６（突起状構造物）に少なくとも１点で接触する状態を保持する形状とする。

これにより、触針３０４ａ，５０４ａは、ブラックマトリクス１０６の間の着色層１０１〜１０３上に落ち込むことがなく、ブラックマトリクス１０６の頂点に接触しつつ走査され、基準高さをブラックマトリクス１０６（突起状構造物）の頂点とし、この頂点の高さＨ４を超える突起欠陥ＦＡの高さを測定する。
従って、ブラックマトリクス１０６の高さＨ４を超える突起欠陥ＦＡの高さを精度良く検出することができ、また、研磨前の高さと研磨後の高さを検出するために一対の高さ測定手段３００，５００を備える場合に、一方の触針がブラックマトリクス１０６の間に落ち込み、他方の触針がブラックマトリクス１０６に乗り上げることがなく、突起欠陥ＦＡが存在しなければ、双方の触針３０４ａ，５０４ａはブラックマトリクス１０６に乗り上げて同じ高さを示すことになるので、双方の検出高さの違いに基づき過研磨してしまうことを回避できる。

また、図８に示すように、各着色層１０１〜１０３の間に配置したブラックマトリクス１０６の幅方向端縁部上に、着色層１０１〜１０３の幅方向端縁部を積層させた隔壁（積層部分）１０７を備え、かつ、前記隔壁１０７が各着色層１０１〜１０３の高さＨ１を超える高さＨ５を有し、隔壁１０７が、着色層１０１〜１０３の境界部分における突起状構造物を形成するカラーフィルタ１００にも、本願発明に係る突起欠陥高さ測定器を適用できる。

図８に示したカラーフィルタ１００では、触針３０４ａ，５０４ａの稜線３０４ｂ，５０４ｂを走査方向に対して斜め(例えば４５度)に交差する方向に設定し、かつ、稜線３０４ｂ，５０４ｂの長さＬを、稜線３０４ｂ，５０４ｂの延設方向における着色層１０１〜１０３及びブラックマトリクス１０６の最大長さＬmaxを超える長さであって、走査方向に離間する２本の隔壁１０７に同時に乗り上げる長さに設定することで、カラーフィルタ１００上に隔壁１０７（突起状構造物）を越える高さ（＞Ｈ５）の突起欠陥ＦＡが存在しない状態で、隔壁１０７（突起状構造物）に少なくとも１点で接触する状態を保持する形状とする。

これにより、触針３０４ａ，５０４ａは、隔壁１０７の間の着色層１０１〜１０３又はブラックマトリクス１０６上に落ち込むことがなく、隔壁１０７の頂点に接触しつつ走査され、基準高さを隔壁１０７（突起状構造物）の頂点とし、この頂点の高さＨ５を超える突起欠陥ＦＡの高さを測定する。

更に、図９に示すように、各着色層１０１〜１０３の間に配置したブラックマトリクス１０６の上に、柱状のスペーサ１０８がブラックマトリクス１０６の延設方向に沿って一定間隔で配置され、スペーサ１０８が各着色層１０１〜１０３の高さＨ１を超える高さＨ６を有し、スペーサ１０８が、着色層１０１〜１０３の境界部分における突起状構造物を形成するカラーフィルタ１００にも、本願発明に係る突起欠陥高さ測定器を適用できる。

図９に示したカラーフィルタ１００では、触針３０４ａ，５０４ａの稜線３０４ｂ，５０４ｂを走査方向に対して斜め（例えば４５度）に交差する方向に設定し、かつ、稜線３０４ｂ，５０４ｂの長さＬを、稜線３０４ｂ，５０４ｂの延設方向における着色層１０１〜１０３の最大長さＬmaxを超える長さであって、走査方向に離間する２つスペーサ１０８に同時に乗り上げる長さに設定することで、カラーフィルタ１００上にスペーサ１０８（突起状構造物）を越える高さ（＞Ｈ６）の突起欠陥ＦＡが存在しない状態で、スペーサ１０８（突起状構造物）に少なくとも１点で接触する状態を保持する形状とする。

尚、図９に示すカラーフィルタ１００において、ブラックマトリクス１０６の延設方向におけるスペーサ１０８の間隔は、走査方向に対して斜めに交差するようにした触針３０４ａ，５０４ａが、スペーサ１０８の間に落ち込むことがない距離に設定されているものとする。
これにより、触針３０４ａ，５０４ａは、スペーサ１０８の列（突起状構造物）で挟まれる着色層１０１〜１０３上に落ち込むことがなく、スペーサ１０８の頂点に接触しつつ走査され、基準高さをスペーサ１０８（突起状構造物）の頂点とし、この頂点の高さＨ６を超える突起欠陥ＦＡの高さを測定する。

尚、実施形態のリペア装置２００は、本願発明に係る突起欠陥高さ測定器を、研磨前測定用と研磨後測定用として２組備えるが、１組の突起欠陥高さ測定器を備えるリペア装置であってもよい。
また、本願発明に係る突起欠陥高さ測定器は、リペア装置以外の装置への適用が可能であって、更に、突起欠陥高さ測定器を単独で用いてもよい。
また、カラーフィルタ１００の着色層の形状を限定するものではなく、また、着色層には、原色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）フィルタの他、黄色などの補色フィルタが含まれる。

１００…カラーフィルタ
１０１〜１０３…着色層
１０５…隔壁
１０６…ブラックマトリクス
１０７…隔壁
１０８…スペーサ
２００…リペア装置
３００…第１高さ測定手段（突起欠陥高さ測定器）
３０４ａ…触針
３０４ｂ…稜線
４００…押圧手段４００
４０２…ヘッド部材
５００…第２高さ測定手段（突起欠陥高さ測定器）
５０４ａ…触針
５０４ｂ…稜線
６００…ベースプレート
Ｔ…テープ部材
ＦＡ…突起欠陥

Claims (7)

1. カラーフィルタが、着色層の境界部分に当該着色層の高さよりも高い突起状構造物を有し、前記カラーフィルタ上の突起欠陥の高さを、触針によるカラーフィルタ表面の走査によって測定する突起欠陥高さ測定器であって、
   前記触針の先端形状を、当該触針の走査方向において離間する２つの前記突起状構造物に同時に乗り上げる形状としたカラーフィルタの突起欠陥高さ測定器。
2. カラーフィルタが、着色層の境界部分に当該着色層の高さよりも高い突起状構造物を有し、前記カラーフィルタ上の突起欠陥の高さを、触針によるカラーフィルタ表面の走査によって測定する突起欠陥高さ測定器であって、
   前記触針の先端形状を、前記カラーフィルタに対して平行な稜線を有し、かつ、前記稜線が、前記触針の走査方向に対して斜めに交差すると共に、前記触針の走査方向において離間する２つの前記突起状構造物に同時に乗り上げる長さを有する形状としたカラーフィルタの突起欠陥高さ測定器。
3. 前記稜線の走査方向に対する交差角度を４５度近傍に設定した請求項２記載のカラーフィルタの突起欠陥高さ測定器。
4. 前記触針を、前記カラーフィルタに平行で、かつ直交するX軸方向及びY軸方向に走査する請求項２又は３記載のカラーフィルタの突起欠陥高さ測定器。
5. 前記突起状構造物が、隣接する２つの着色層を積層した隔壁、又は、着色層とブラックマトリクスとを積層した隔壁である請求項１〜４のいずれか１つに記載のカラーフィルタの突起欠陥高さ測定器。
6. 前記突起状構造物が、ブラックマトリクス、又は、ブラックマトリクス上に設けたスペーサである請求項１〜４のいずれか１つに記載のカラーフィルタの突起欠陥高さ測定器。
7. 着色層の境界部分に当該着色層の高さよりも高い突起状構造物を有するカラーフィルタ上の突起欠陥を研磨するカラーフィルタのリペア装置であって、
   請求項１〜６のいずれか１つに記載のカラーフィルタの突起欠陥高さ測定器を、研磨前高さ測定手段及び研磨後高さ測定手段として備えたカラーフィルタのリペア装置。