CN103003659B - 滤色片的突起缺陷高度测量仪器以及修复装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种滤色片的突起缺陷高度测量仪器以及修复装置。具体地，对于在着色层的边界部分具有将相邻的着色层的端缘部分相互层叠的隔壁等的突起状构造物的滤色片，可以通过触头的扫描，来对超越突起状构造物高度的突起缺陷进行高精度地测量。因此，将触头（304a）、（504a）的棱线（304b）、（504b）设定成相对于扫描方向呈45度交叉的方向，且将棱线（304b）、（504b）的长度设定成棱线（304b）、（504b）同时搁于在扫描方向上相间隔的两个隔壁（105）（突起状构造物）上的长度（L）。由此，触头（304a）、（504a）在扫描中不会落入隔壁（105）之间的着色层（101）～（103）上，一边与隔壁（105）的顶点接触一边扫描，将隔壁（105）的顶点作为基准高度，对超过该基准高度（H2）的高度突起缺陷（FA）进行测量。

Description

滤色片的突起缺陷高度测量仪器以及修复装置

技术领域

本发明涉及一种通过利用触头对滤色片表面进行扫描来对滤色片上的突起缺陷的高度进行测量的突起缺陷高度测量仪器、以及具备该突起缺陷高度测量仪器的滤色片的修复装置。

背景技术

以往，作为利用触头进行扫描来对基板上的突起缺陷（异物和毛刺等）的高度进行测量的测量仪器，例如有专利文献1所公开那样的、将触头的顶端形状设为具有与扫描方向正交的平坦的直线部分的形状的测量仪器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本特开平10－068618号公报

发明内容

发明要解决的课题

不过，在液晶面板的滤色片上，或者在相邻的黑色矩阵上层叠有着色层的端缘，或者在端缘部上相互层叠有着色层和相邻的別的着色层，或者在着色层之间设有比着色层更高的黑色矩阵，从而存在在着色层的边界部分形成比该着色层更高的突起状构造物。

在对具有这种突起状构造物的滤色片上的突起缺陷的高度进行测量，对突起缺陷进行研磨的情况下，超过突起状构造物的高度的突起缺陷成为研磨对象，对于突起缺陷的高度测量，希望以突起状构造物的高度为基准，将超过它的高度的突起缺陷作为测量对象。

但是，在现有的突起缺陷高度测量仪器中，触头的顶端在扫描过程中落入比突起状构造物更低的着色层上、即突起状构造物之间，对突起状构造物也是以着色层的表面为基准来进行高度测量的，其成为使突起缺陷的高度的测量精度下降的主要原因。

另外，在对突起缺陷进行研磨的修复装置中，存在有夹着研磨头将对研磨前的突起缺陷的高度进行测量的机构和对研磨后的突起缺陷的高度进行测量的机构配置在两侧的情况，但在这样的修复装置中，一侧的测量机构的触头搁在突起状构造物上，另一侧的测量机构的触头落入突起状构造物之间的话，实际上滤色片是水平的，而触头落入突起状构造物之间一侧外观上却变低，其结果，有可能使研磨头过度下降并产生过度研磨。

所以，本发明以应对这种问题，提供一种对于在着色层的边界部分具有突起状构造物的滤色片，能够对超过突起状构造物的高度的突起缺陷高精度地进行测量的突起缺陷高度测量仪器，以及可以防止产生过度研磨的修复装置为目的。

用于解决课题的手段

为了实现上述目的，本发明所涉及的滤色片的突起缺陷高度测量仪器为，滤色片在着色层的边界部分具有比该着色层的高度更高的突起状构造物，通过利用触头对滤色片表面进行扫描来对所述滤色片上的突起缺陷的高度进行测量，所述触头的顶端形状设为同时搁于在该触头的扫描方向上相间隔的两个所述突起状构造物上的形状。

在这种结构中，在滤色片上不存在超过突起状构造物的高度的突起缺陷的状态下，触头将会保持至少1点与突起状构造物接触的状态进行扫描，且触头不会落入比突起状构造物更低的着色层上，触头将会在突起状构造物上进行扫描，且以突起状构造物的高度为基准对突起缺陷的高度进行测量。

在此，所述触头的顶端形状可以设为,具有相对于所述滤色片平行的棱线，且所述棱线相对于所述触头的扫描方向倾斜交叉的同时，具有同时搁于在所述触头的扫描方向上相间隔的两个所述突起状构造物上的长度的形状。

在这种结构中，通由于相对于扫描方向倾斜交叉的触头的棱线具有同时搁在在扫描方向上相间隔的两个突起状构造物上的长度，所以在滤色片上不存在超过突起状构造物的高度的突起缺陷的状态下，触头将会保持至少1点与突起状构造物接触的状态进行扫描，且触头不会落入比突起状构造物更低的着色层上，触头将会在突起状构造物上进行扫描，且以突起状构造物的高度为基准对突起缺陷的高度进行测量。

又，所述棱线的相对于扫描方向的交叉角度可以设定在45度附近。

在这种结构中，在相对于扫描方向以45度交叉的方向上，棱线同时搁在在扫描方向上相间隔的两个突起状构造物上。

进一步地，可以使所述触头在与所述滤色片平行且正交的X轴方向以及Y轴方向上进行扫描。

在这种结构中，因为棱线相对于扫描方向倾斜交叉，所以即使在正交的X轴方向以及Y轴方向中的任一方向上进行扫描的情况下，扫描轨迹都将具有宽度，尤其假设相对于棱线的扫描方向的交叉角度为45度的话，在X轴方向以及Y轴方向中的任一方向上扫描，都将为相同宽度的扫描轨迹，在X轴方向以及Y轴方向这两个方向上能够得到同样的高度测量功能。

又，所述突起状构造物可以设为将相邻的两个着色层进行层叠的隔壁、或设为将着色层与黑色矩阵进行层叠的隔壁。

在这种结构中，在着色层的端缘部分与相邻的別的着色层的端缘部分重叠而形成比着色层更高的隔壁（突起状构造物）的情况下、或者着色层的端缘部分与设在着色层和着色层之间的黑色矩阵的端缘部分重叠而形成比着色层更高的隔壁（突起状构造物）的情况下，以这些隔壁（突起状构造物）的高度为基准对突起缺陷的高度进行测量。

另外，可以将所述突起状构造物设为黑色矩阵、或为设在黑色矩阵上的衬垫。

在这种结构中，在着色层和着色层之间有比着色层更高的黑色矩阵的情况下、或在设于着色层和着色层之间的黑色矩阵上设有比着色层更高的衬垫的情况下，以这些黑色矩阵部分为基准对超过黑色矩阵部分的突起缺陷的高度进行测量。

另外，本发明所涉及的滤色片的修复装置为，对在着色层的边界部分具有比该着色层的高度更高的突起状构造物的滤色片上的突起缺陷进行研磨的滤色片的修复装置，具有突起缺陷高度测量仪器作为研磨前高度测量机构以及研磨后高度测量机构，该突起缺陷高度测量仪器具有触头，该触头的形状设为同时搁于在扫描方向上相间隔的两个所述突起状构造物上的形状，该突起缺陷高度测量仪器通过利用该触头对所述滤色片表面进行扫描，对所述滤色片上的突起缺陷的高度进行测量。

在这种结构中，对于在着色层的边界部分具有比着色层的高度更高的突起状构造物的滤色片，在对超过所述突起状构造物的高度的突起缺陷进行研磨的情况下，以突起状构造物的高度为基准对研磨前的突起缺陷的高度以及研磨后的突起缺陷的高度，进行测量，基于该测量结果来设定研磨高度，并对突起缺陷进行研磨。

发明的效果

根据本发明的滤色片的突起缺陷高度测量仪器以及修复装置，对于在着色层的边界部分具有比着色层的高度更高的突起状构造物的滤色片，以突起状构造物的高度为基准来测量突起缺陷的高度，所以具有能够高精度地测量突起缺陷的高度，可以对突起缺陷进行高精度地研磨这样的效果。

附图说明

图1是表示本发明的修复装置的实施方式的主视图。

图2是实施方式的修复装置所具备的高度测量机构（突起缺陷高度测量仪器）的触头的形状的示意图；（a）为主视图，（b）为截面图。

图3是用于对实施方式的高度测量机构中的触头的安装角度进行说明的图。

图4是实施方式中的滤色片以及用于该滤色片的突起缺陷的高度测量的触头的示意图；（a）为侧视图，（b）为俯视图。

图5是用来对实施方式的高度测量机构的测量输出的特性进行说明的图。

图6是示出实施方式中触头的扫描方向与滤色片的相关的图；（a）是以Y轴方向为扫描方向时的示意图，（b）是以X轴方向为扫描方向时的示意图。

图7是实施方式中的滤色片以及用于该滤色片的突起缺陷的高度测量的触头的示意图；（a）是侧视图，（b）是俯视图。

图8是实施方式中的滤色片以及用于该滤色片的突起缺陷的高度测量的触头的示意图；（a）是侧视图，（b）是俯视图。

图9是实施方式中的滤色片以及用于该滤色片的突起缺陷的高度测量的触头的示意图；（a）是侧视图，（b）是俯视图。

具体实施方式

以下，根据附图对本发明的实施方式进行详细地说明。

图1表示通过表面上具备研磨层的带构件（研磨带）T的移行，来对液晶面板的滤色片100上的突起缺陷进行研磨的修复装置200。

该修复装置200具备：对突起缺陷的高度进行测量的第1以及第2高度测量机构300、500（突起缺陷高度测量仪器），将所述带构件T的研磨层按压在突起缺陷上并对突起缺陷进行研磨的按压机构400，以及相对于滤色片100作相对移动的主体（图示省略）；和在图1上下方向移动的底板600，第1高度测量机构300，按压机构400以及第2高度测量机构500配置在底板600上。

按压机构400包括：相对于底板600能在图1的上下方向移动地安装的导块401，以及固定在该导块401上的头部构件402、导辊403a～403ｄ的同时，还包括：省略图示的、卷绕了使用前的带构件T的卷筒、将使用后的带构件T进行卷绕的卷筒、以及将该卷筒进行旋转驱动的马达等。

并且，从卷筒上放出的带构件T由导辊403a、403b引导，在头部构件402的顶端部折返，且由导辊403ｃ、403ｄ引导并缠绕在卷筒上，利用头部构件402的顶端部对带构件T的背面进行按压，将形成在带构件T的表面（图1的下侧面）上的研磨层按压在滤色片100上的突起缺陷上，在此状态下，通过使带构件T移行来对突起缺陷进行研磨。

第1以及第2高度测量机构300、500夹着头部构件402的顶端部地配置在扫描方向的两侧，分别设有通过旋转滑台（ゴニオステージ）301、501安装于底板600上的传感器主体部302、502。

分别从传感器主体部302、502朝靠近头部构件402的方向延伸设置有臂部303、503，在臂部303、503的顶端安装有传感检测部304、504，在传感器主体部302、502中内置有根据臂部303、503的摆动量对传感检测部304、504的上下位移进行测量的差动变压器等的精密测量机构。

并且，通过用传感检测部304、504对滤色片100的表面进行扫描，并使传感检测部304、504搁在滤色片100表面的突起缺陷上，臂部303、503摆动，通过由精密测量机构对该摆动量进行测量来对突起缺陷的高度进行测量。

传感检测部304、504的顶端的触头304a、504a由例如蓝宝石玻璃、不锈钢等具有耐磨性及耐腐蚀性的材料形成，如图2所示，具有设有顶端尖锐且有规定宽度的棱线304b、504b的大致楔型的形状。

棱线304b、504b的长度、详细地，在与滤色片100的表面平行方向上直线延伸部分的长度L可以形成为，例如假设为600μm左右且在以与棱线304b、504b的延伸设置方向正交的平面进行截面时的顶端形状呈例如半径为250μm左右的半球状。

而且，关于传感检测部304、504，如图3所示，设定有触头304a、504a的相对于臂部303、503的安装角度，以使棱线304b、504b的延伸设置方向以45度的角度倾斜地与扫描方向（Y轴方向）交叉。

其次，利用上述修复装置200对滤色片100进行修复（突起缺陷的研磨）操作的工序进行说明。

首先，将带构件T架搭在头部构件402以及导辊403a～403ｄ上进行准备，使传感器主体部302、502以及头部构件402向由前道工序确定为研磨对象的突起缺陷（高度比目标高度更高的突起缺陷）一体地移行。

并且，一旦传感器主体部302或传感器主体部502来到突起缺陷的附近时，就使底板600下降并使传感检测部304、504（触头304a、504a）与滤色片100接触，其后，通过以极其低的速度使传感器主体部302、502以及头部构件402移行，利用触头304a、504a对滤色片100表面进行扫描。

由此，传感器主体部302的触头304a或传感器主体部502的触头504a便搁在突起缺陷上，检测出突起缺陷的高度作为臂部303或臂部503的摆动量。

一旦对突起缺陷的研磨前高度进行测量，就进入下一道研磨作业。将突起缺陷的高度的测量结果进行反馈并降低底板600，设定研磨高度，使头部构件402的顶端面变得比突起缺陷的顶点要低。

并且，一边使与突起缺陷接触的带构件T移行来对突起缺陷进行研磨，一边使头部构件402进一步移行，让头部构件402在经过突起缺陷的部分之后也继续移行。

由此，例如，通过使传感器主体部302（第1高度测量机构300）起到对研磨前的突起缺陷的高度进行测量的研磨前高度测量机构的作用，在触头304a搁在突起缺陷上并进行高度测量之后，使得突起缺陷位于头部构件402的正下方位置并进行研磨，研磨后继续移行，由此传感器主体部502的触头504a搁在研磨后的突起缺陷上，研磨后的突起缺陷的高度便可以由作为研磨后高度测量机构的传感器主体部502（第2高度测量机构500）来进行测量了。

再者，与上述相反，传感器主体部502（第2高度测量机构500）起到研磨前高度测量机构的作用，而传感器主体部302（第1高度测量机构300）则起到研磨后高度测量机构的作用这样的情况也是有的。

如果研磨后测量的突起缺陷的高度变成目标高度（能够允许的高度的最大值）的话，就将底板600升起，然后使传感器主体部302、502以及头部构件402向别的突起缺陷移行。

另一方面，若研磨后测得的突起缺陷的高度仍然比目标高度还要高的话，则将研磨后的高度的测量结果进行反馈并使底板600进一步下降，在对研磨高度进行了修正的基础上，朝相反方向移行，以上述相同的工序再次进行研磨，最终研磨到突起缺陷的高度达到目标高度为止。

这样，由于相对于头部构件402在扫描方向跟前侧对研磨前的突起缺陷的高度进行测量，在突起缺陷通过了头部构件402之后对研磨后的突起缺陷的高度进行测量，因而利用朝一个方向的移行（扫描）便能够进行研磨前测量、研磨、研磨后测量这一系列的动作，可以缩短处理的时间。

进一步地，在滤色片100在着色层的边界部分具有比着色层的高度更高的突起状构造物的情况下，为了能够以突起状构造物的顶点为基准，对超过突起状构造物的突起缺陷的高度进行测量，如前所述，将触头304a、504a的棱线304b、504b设定为与扫描方向倾斜交叉的方向，且如后面详细说明的那样，将棱线304b、504b的长度设定为，触头304a、504a同时搁在在扫描方向上离开的两个突起状构造物上的长度。

作为滤色片100，存在有例如如图4所示那样的情况：即，带状的第1着色层101、第2着色层102以及第3着色层103相互相邻地排列在宽度方向上，且在各着色层101～103的宽度方向两端缘，相邻的着色层相互层叠而形成比各着色层101～103的高度H1更高的高度H2的隔壁105，各着色层101～103的边界部分的隔壁（层叠部分）105形成连续的突起状构造物的情形。

对于上述那样的滤色片100，如果使触头304a、504a的棱线304b、504b如图4的右侧作为参考例记述的那样，与相对于扫描方向（Y轴方向）正交的方向（X轴方向）一致的话，触头304a、504a就将落入隔壁105之间，就会以着色层101～103的表面（高度H1）为基准对并非缺陷的隔壁105（突起状构造物）的高度进行测量，从而致使比隔壁105（突起状构造物）的高度H2更高的高度H3的突起缺陷FA的测量精度降低。

进一步地，在为了如前所述检测出研磨前的高度和研磨后的高度，而夹着头部构件402配置一对高度测量机构300、500的情况下，如果一侧的触头304a（504a）落入隔壁105之间、另一侧的触头504a(304a)搁在隔壁105上的话，实际上，滤色片100是水平的，但触头304a（504a）落入隔壁105之间的一侧却较低，从而就有可能致使头部构件402过度下降而造成过度研磨。

对此，在本实施方式中，如图4的左侧所示，将触头304a、504a的棱线304b、504b设定在相对于扫描方向倾斜交叉的方向上，且将棱线304b、504b的长度L设定为超过棱线304b、504b的延伸设置方向上的着色层101～103的最大长度Lmax的长度，且设定成棱线304b、504b同时搁于在扫描方向上相间隔的两个隔壁105上的长度，由此在滤色片100上不存在比隔壁105的高度H2更高的突起缺陷FA的状态下，棱线304b、504b保持至少1点与隔壁105接触的状态。

在图4中，在假设各着色层101～103的宽度为W1，将棱线304b、504b设定成相对于扫描方向为45度交叉的方向的情况下，在棱线304b、504b的延伸设置方向上的着色层101～103的最大长度Lmax则为Lmax＝W1／sin45°，如果假设棱线304b、504b的长度L为Lmax＝W1／sin45°以上的话，棱线304b、504b具有触头304a，504a同时搁在在扫描方向上相间隔的两个隔壁105上的长度L，扫描过程中将会保持至少1点与隔壁105（突起状构造物）接触的状态。

换言之，如图4的右侧所示，如果使触头304a、504a的棱线304b、504b与相对于扫描方向正交的方向（X轴方向）一致的话，则即使是在触头304a、504a落入隔壁105之间的着色层101～103上的情况下，只要将相同形状·大小的触头304a、504a安装成棱线304b、504b相对于扫描方向倾斜交叉的话，则扫描宽度（扫描轨迹的宽度）虽然减小，但触头304a、504a的顶端将会在扫描方向上具有宽度，扫描过程中保持至少1点与隔壁105（突起状构造物）接触的状态。另外，假设前述的棱线304b、504b的长度L＝600μm满足上述条件。

由此，本实施方式的触头304a、504a在扫描过程中将不会落入隔壁105之间的着色层101～103上，一边与隔壁105的顶点接触一边进行扫描，如图5所示，对于隔壁105和着色层101～103的高度的差异，测量输出不作应答，在不存在超过隔壁105（突起状构造物）的高度H2的突起缺陷FA的情况下，就保持一定的输出，如果搁在超过隔壁105（突起状构造物）的高度H2的突起缺陷FA上的话，则输出产生应答变化，对突起缺陷FA的高度进行测量。即，将隔壁105（突起状构造物）的顶点作为基准高度，对超过该基准高度的高度进行测量。

因此，能够高精度地检测出超过隔壁105的高度H2的突起缺陷FA的高度H3，另外，在为了检测出研磨前的高度和研磨后的高度而具备一对高度测量机构300、500的情况下，不会一方的触头落入隔壁105之间，而另一方的触头却搁在隔壁105上，如果不存在突起缺陷的话，因为双方的触头304a、504a搁在隔壁105上，且示出相同的高度，所以能够避免基于双方的检测高度不同而进行过度的研磨。

另外，如果将触头304a、504a的棱线304b、504b设定在相对于扫描方向正交的方向上，且将触头304a、504a顶端在扫描方向上的宽度扩大至不会落入隔壁105之间的宽度的话，虽然能够以隔壁105的顶点为基准检测出突起缺陷FA，但在这种情况下，滤色片100与触头304a、504a的接触面积将变大，有可能损伤滤色片100。

对此，如本实施方式那样地，将棱线304b、504b设定为相对于扫描方向倾斜的话，则触头304a、504a顶端的曲率就不会增大，换言之，在能够抑制因接触面积的増大而造成的滤色片100的损伤的同时，可以防止触头304a、504a落入隔壁105之间。

虽然在将棱线304b、504b设定为相对于扫描方向倾斜的情况下的角度不限于45度，但如果是45度的话，则当进行Y轴方向的扫描时以及X轴方向的扫描时，在可以避免触头304a、504a落入隔壁105（突起状构造物）之间的同时，能够发挥同样的高度测量的功能。

图6表示各着色层101～103折弯并呈Z字形延伸设置的滤色片100，与图4所示的滤色片100同样地，假定在各着色层101～103的边界部分相邻的着色层相互层叠而形成作为突起状构造物的隔壁105。

在图6所示的例子中，也将触头304a、504a的棱线304b、504b设定成相对于扫描方向倾斜45度而交叉，且将棱线304b、504b的长度设定为在棱线304b、504b的延伸设置方向上的着色层101～103的最大长度Lmax以上，由此做成同时搁在在扫描方向上相间隔的两个隔壁105上的形状，触头304a、504a保持以至少1点与隔壁105（突起状构造物）接触的状态并进行扫描。

在此，图6的（a）表示对于前述的着色层101～103呈Z字形延伸设置的滤色片100，将扫描方向作为Y轴方向（着色层101～103的延伸设置方向）的情形，图6的（b）表示相对于与（a）相同的滤色片100将扫描方向作为X轴方向（与着色层101～103的延伸设置方向正交的方向）的情形，无论是哪一种情形，触头304a、504a都不会落入隔壁105之间，将隔壁105的顶点作为基准，对突起缺陷FA的高度进行测量，而且，因为即使扫描方向不同扫描宽度SW也将是相同的值，因此无论将扫描方向设定成Y轴方向和X轴方向的任何一个都能够发挥同等的测量功能，可以高效率地进行突起缺陷的高度测量以及研磨。

另外，对于着色层101～103为直线地延伸设置的图4所示的滤色片100，将扫描方向设定成Y轴方向和X轴方向的任何一个都能够发挥同等的测量功能是显而易见的。

不过，在上述实施方式中，虽然将比着色层101～103的高度H1更高的、着色层101～103的边界部分上的突起状构造物设为相邻的着色层相互层叠的隔壁105，但突起状构造物并不限于所涉及到的隔壁105。

图7示出在各着色层101～103之间配置有黑色矩阵106，且该黑色矩阵106的高度H4设定成比各着色层101～103的高度H1更高，黑色矩阵106设在着色层101～103的边界部分的、形成比着色层101～103的高度H1更高的突起状构造物的滤色片100的例子。

对于这种滤色片100，通过将触头304a、504a的棱线304b、504b设定为相对于扫描方向倾斜（例如45度）交叉的方向，且将棱线304b、504b的长度L设定为超过在棱线的延伸设置方向上的着色层的最大长度Lmax的长度，且设定为同时搁在在扫描方向上相间隔的两个黑色矩阵106上的长度，由此做成在滤色片100上不存在超过黑色矩阵106（突起状构造物）的高度（＞H4）的突起缺陷FA的状态下，保持至少1点与黑色矩阵106（突起状构造物）接触状态的形状。

由此，触头304a、504a不会落入黑色矩阵106之间的着色层101～103上，一边与黑色矩阵106的顶点接触一边进行扫描，把基准高度设为黑色矩阵106（突起状构造物）的顶点，对超过该顶点的高度H4的突起缺陷FA的高度进行测量。

因此，可以高精度地检测出超过黑色矩阵106的高度H4的突起缺陷FA的高度，另外，在为了检测出研磨前的高度和研磨后的高度而具有一对高度测量机构300、500的情况下，不会出现一侧的触头落入黑色矩阵106之间，而另一侧的触头搁在黑色矩阵106上的情形，如果不存在突起缺陷FA的话，因为双方的触头304a、504a搁在黑色矩阵106上并将示出相同的高度，所以可以避免基于双方的检测高度的不同而进行过度研磨。

另外，如图8所示，在各着色层101～103之间配置的黑色矩阵106的宽度方向端缘部上，具备使着色层101～103的宽度方向端缘部层叠的隔壁（层叠部分）107，且所述隔壁107具有超过各着色层101～103的高度H1的高度H5，对于隔壁107形成着色层101～103的边界部分上的突起状构造物的滤色片100，也能够适用本申请发明所涉及的突起缺陷高度测量仪器。

在图8所示的滤色片100中，通过将触头304a、504a的棱线304b、504b设定在相对于扫描方向倾斜(例如45度)交叉的方向，且将棱线304b、504b的长度L设定为超过棱线304b、504b的延伸设置方向上的着色层101～103以及黑色矩阵106的最大长度Lmax的长度，且设定为同时搁在在扫描方向上相间隔的两个隔壁107上的长度，由此做成在滤色片100上不存在超过隔壁107（突起状构造物）的高度（＞H5）的突起缺陷FA的状态下，保持至少1点与隔壁107（突起状构造物）接触状态的形状。

由此，触头304a、504a不会落入隔壁107之间的着色层101～103或黑色矩阵106上，一边与隔壁107的顶点接触一边进行扫描，把基准高度设为隔壁107（突起状构造物）的顶点，对超过该顶点的高度H5的突起缺陷FA的高度进行测量。

而且，如图9所示，在各着色层101～103之间配置的黑色矩阵106上，沿黑色矩阵106的延伸设置方向以一定的间隔配置有柱状的衬垫108，衬垫108具有超过各着色层101～103的高度H1的高度H6，本申请发明所涉及的突起缺陷高度测量仪器也可以适用于衬垫108形成着色层101～103的边界部分上的突起状构造物的滤色片100。

在图9所示的滤色片100中，通过将触头304a、504a的棱线304b、504b设定在相对于扫描方向倾斜（例如45度）交叉的方向，且将棱线304b、504b的长度L设定为超过棱线304b、504b的延伸设置方向上的着色层101～103的最大长度Lmax的长度，且设为同时搁于在扫描方向上相间隔的两个衬垫108上的长度，由此做成在滤色片100上不存在超过衬垫108（突起状构造物）的高度（＞H6）的突起缺陷FA的状态下，保持至少1点与衬垫108（突起状构造物）接触状态的形状。

另外，对于图9所示的滤色片100，将黑色矩阵106的延伸设置方向上的衬垫108的间隔设定为相对于扫描方向倾斜交叉的触头304a、504a不会落入衬垫108之间的距离。

由此，触头304a、504a不会落入到由衬垫108的列（突起状构造物）所夹持的着色层101～103上，一边与衬垫108的顶点接触一边进行扫描，把基准高度设为衬垫108（突起状构造物）的顶点，对超过该顶点的高度H6的突起缺陷FA的高度进行测量。

另外，实施方式的修复装置200虽然具备2组本申请发明所涉及的突起缺陷高度测量仪器用作研磨前测量用和研磨后测量用，但也可以是具备1组突起缺陷高度测量仪器的修复装置。

又，本申请发明所涉及的突起缺陷高度测量仪器可以适用于修复装置以外的装置，而且，也可以单独地使用突起缺陷高度测量仪器。

又，滤色片100的着色层的形状并无限定，又，着色层中除基色（R、G、B）滤色片以外，还可以包含黄色等补色滤色片。

符号说明

100…滤色片

101～…103着色层

105…隔壁

106…黑色矩阵

107…隔壁

108…衬垫

200…修复装置

300…第1高度测量机构（突起缺陷高度测量仪器）

304a…触头

304b…棱线

400…按压机构400

402…头部构件

500…第2高度测量机构（突起缺陷高度测量仪器）

504a…触头

504b…棱线

600…底板

T…带构件

FA…突起缺陷。

Claims (6)

1.一种滤色片的突起缺陷高度测量仪器，所述滤色片在着色层的边界部分具有比该着色层的高度更高的突起状构造物，利用触头对滤色片表面进行扫描来对所述滤色片上的突起缺陷的高度进行测量，其特征在于，

所述触头的顶端形状设为同时搁于在该触头的扫描方向上相间隔的两个所述突起状构造物上的形状，

以所述突起状构造物的高度为基准对具有超过所述突起状构造物的高度的所述突起缺陷的高度进行测量,将所述触头的顶端形状形成为顶端尖锐且设有具有规定宽度的棱线的楔型，所述棱线相对于所述滤色片平行且相对于所述触头的扫描方向倾斜交叉的同时，具有同时搁于在所述触头的扫描方向上相间隔的两个所述突起状构造物上的长度的形状。

2.根据权利要求1所述的滤色片的突起缺陷高度测量仪器，其特征在于，相对于所述棱线的扫描方向的交叉角度设定为45度。

3.根据权利要求2所述的滤色片的突起缺陷高度测量仪器，其特征在于，所述触头在与所述滤色片平行且相正交的X轴方向以及Y轴方向上进行扫描。

4.根据权利要求1所述的滤色片的突起缺陷高度测量仪器，其特征在于，所述突起状构造物为将相邻的两个着色层进行层叠的隔壁或为着色层与黑色矩阵层叠的隔壁。

5.根据权利要求1所述的滤色片的突起缺陷高度测量仪器，其特征在于，所述突起状构造物为黑色矩阵或设在黑色矩阵上的衬垫。

6.一种滤色片的修复装置，其对在着色层的边界部分具有比该着色层的高度更高的突起状构造物的滤色片上的突起缺陷进行研磨，其特征在于，

设有权利要求1所述的突起缺陷高度测量仪器作为研磨前高度测量机构以及研磨后高度测量机构。