CN101642745B - 带有以镜像构形的方式布置的头单元的涂布机 - Google Patents

Abstract

一种带有以镜像构形的方式布置的涂布头单元的涂布机。该涂布机包括一对并排放置的头支承件。在每个头支承件上安装有多个涂布头单元，并且将设置在头支承件上的涂布头单元布置成关于头支承件之间的中心线对称，从而使涂布头单元处于镜像构形中。该涂布机在涂布头单元移动时防止出现不必要的行程，从而增大了基板上的密封胶图案的有效面积，并使得能够更容易地控制这些头单元。

Description

带有以镜像构形的方式布置的头单元的涂布机

技术领域

本发明主要涉及一种用于将液晶或密封胶施加至基板以形成平板显示器的涂布机，更具体而言，涉及形成密封胶图案或滴注液晶的涂布头单元在相对于基板移动时的构形。 

背景技术

涂布机是通常用来在制造平板显示器或半导体的工艺中，将密封胶(密封剂)或液晶施加(或滴注)到基板上的设备。将涂布机构造成利用涂布头单元将密封胶施加或将液晶滴注到已经放置在托台上的基板上。 

下面将说明涂布机的重要组成部分。 

托台安装在框架上，且用于支承涂布头单元的头支承件安装至框架。此处，定位在基板上方的涂布头单元在沿X轴方向、Y轴方向或Z轴方向相对于基板移动时，将密封胶或液晶施加至基板。为此，将托台、头支承件和涂布头单元构造成以使它们沿至少一个方向相对于支承它们的结构移动。 

随着基板的尺寸增加，涂布机设置有多个涂布头单元，以便在大基板上同时形成多个密封胶图案，并由此提高生产率。 

此外，为了增加将要安装的涂布头单元的数目，可在涂布机上设置多个头支承件。 

同样，在将多个头支承件安装在托台上方的情况下，当由头支承件支承的涂布头单元移动时，可能出现不必要的行程。为了防止这种不必要的行程，需要更有效地布置涂布头单元。 

发明内容

因此，考虑到现有技术中出现的上述问题已经作出本发明，且本发 明的目的是提供一种带有以镜像构形的方式布置的涂布头单元的涂布机，其中涂布头单元布置在两个头支承件上以具有镜像构形，从而在涂布头单元移动时防止出现不必要的行程，因此使得图案能够适当形成，使得能够更容易地控制头单元，并增大了基板上的密封胶图案的有效面积。 

为了实现上述目的，本发明提供一种带有以镜像构形的方式布置的涂布头单元的涂布机，包括一对并排放置在其上安装有基板的托台上方的头支承件，每个涂布头单元都包括：喷嘴，其用于排出密封胶；激光位移传感器，其包括设置在喷嘴的一侧上的发射部和设置在喷嘴的相对侧上的接收部，从而测量喷嘴的出口与基板之间的间隙；以及位置测量相机，其设置在激光位移传感器的第一侧，并且某些涂布头单元包括设置在激光位移传感器的第二侧的截面积传感器，以测量施加至基板的密封胶图案，其中在这对头支承件中的每个上安装有多个涂布头单元，且将设置在这对头支承件上的涂布头单元布置成关于这对头支承件之间的中心线对称，从而使涂布头单元处于镜像构形中。 

为了实现上述目的，本发明提供一种带有以镜像构形的方式布置的涂布头单元的涂布机，包括一对并排放置在其上安装有基板的托台上方的头支承件，其中在这对头支承件中的每个上安装有多个涂布头单元，并且每个涂布头单元都包括用于排出密封胶的喷嘴；激光位移传感器，其包括设置在喷嘴的一侧上的发射部和设置在喷嘴的相对侧上的接收部，从而测量喷嘴的出口和基板之间的间隙；以及布置在激光位移传感器的第一侧的位置测量传感器，并且喷嘴、激光位移传感器和位置测量传感器中的至少一个以关于这对头支承件之间的中心线对称。 

设置在每个头支承件上的涂布头单元中的至少一个可包括位于激光位移传感器的第二侧的截面积传感器，以便测量施加至基板的密封胶图案，并且可将截面积传感器布置成具有关于这对头支承件之间的中心线对称。 

涂布头单元可以以彼此面对的方式布置在这对头支承件上，或者可布置在这对头支承件的外表面上。 

附图说明

通过以下参考附图进行的详细说明，将更清楚地理解本发明的上述和其它的目的、特征和优点，附图中： 

图1是示出根据本发明的第一实施方式的涂布机的立体图； 

图2是示出根据本发明的第一实施方式的涂布机所包括的涂布头单元的立体图； 

图3是示出根据本发明的第一实施方式的涂布机所包括的涂布头单元的主视图； 

图4是示出根据本发明的第一实施方式的涂布机中，涂布头单元以镜像构形的方式布置的状态的平面图； 

图5是示出涂布头单元未以镜像构形的方式布置的状态的平面图； 

图6是示出根据本发明的第二实施方式的涂布机的立体图； 

图7是示出根据本发明的第二实施方式的涂布机中，涂布头单元以镜像构形的方式布置的状态的平面图。 

具体实施方式

在下文中，将参照附图说明根据本发明的优选实施方式的涂布机。 

图1至图4是示出根据本发明的第一实施方式的涂布机的视图，其中，图1是示出整个涂布机的立体图，图2是示出涂布头单元的立体图，图3是示出涂布头单元的主视图，以及图4是示出以镜像构形的方式布置的涂布头单元的平面图。 

此外，图5是示出涂布头单元未以镜像构形的方式布置的状态的平面图。 

根据本发明的第一实施方式的带有以镜像构形的方式布置的涂布头单元的涂布机设置有设置在框架10上的托台15，以便在托台15上安装基板S。可将托台15构造成相对于框架10沿X轴方向、Y轴方向或Z轴方向移动。 

在托台15的上方设置有一对头支承件20(20A和20B)，以便将在下面进行说明的多个涂布头单元30(30A和30B)安装至头支承件20，从而在具有大面积的基板上同时密封胶图案。在图中示出具有两个头支承件20A和20B的结构。然而，本发明并不限于该结构，并且可安装三个或多个头支承件20A和20B。 

将每个头支承件20A或20B构造成在其两端支承在框架10上的同时，它沿Y轴方向移动。 

具体而言，多个涂布头单元30A和30B安装至每个头支承件20A和20B。在说明涂布头单元30A和30B的构形之前，将说明每个涂布头单元30A或30B的结构。为了便于说明，将参照图2和图3说明安装至一个头支承件20A的涂布头单元30A。 

将每个涂布头单元30(30A)安装成沿X轴方向移动，即沿头支承件20(20A)的纵向移动。此外，涂布头单元30可通过Z轴驱动单元32沿Z轴方向移动。 

此类涂布头单元30A包括由头支承件20A支承的本体31，以及竖直地安装在本体31前面的顶板33。 

Z轴驱动单元32联接至本体31，以相对于头支承件20A沿Z轴方向移动涂布头单元30A。 

用于排出密封胶的喷嘴34、激光位移传感器36、位置测量相机37和截面积传感器38安装至顶板33。激光位移传感器36放置在喷嘴34的两侧，从而测量喷嘴34的出口和基板S之间的间隙。位置测量相机37设置在激光位移传感器36的一侧。截面积传感器38设置在激光位移传感器36的另一侧，以测量施加至基板S的密封胶图案。 

此处，喷嘴34设置在存有密封胶的注射器35的一端。注射器35竖直地安装在顶板33的前面。 

激光位移传感器36测量喷嘴34的出口和基板之间的距离，从而在保持出口和基板之间的距离恒定的同时，将密封胶施加至基板。激光位移传感器36包括朝向喷嘴34附近的基板发射激光的发射部36a，以及接收从基板S反射的激光的接收部36b，从而测量基板S和出口之间的 距离。 

位置测量相机37是测量施加至基板S的密封胶所处位置的相机，而截面积传感器38是检测包括施加至基板S的图案的截面积的施加状态的传感器。截面积传感器38并不安装至所有的涂布头单元30，而是仅安装至某些涂布头单元30。 

这样，涂布头单元30A包括带有喷嘴34的注射器35、激光位移传感器36、位置测量相机37和截面积传感器38。如图1和图4中所示，多个涂布头单元安装至每个头支承件20A或20B。将安装至一对头支承件20A和20B的涂布头单元30A和30B布置成彼此面对。 

具体而言，将安装至这对头支承件20A和20B的涂布头单元30A和30B布置成关于这对头支承件20A和20B之间的中心线C对称，以使涂布头单元30A和30B具有镜像构形。 

即，如图4中所示，将喷嘴34、激光位移传感器36、位置测量相机37和截面积传感器38布置成具有关于头支承件20A和20B之间的中心线C成镜像构形。 

这样，头单元以镜像构形的方式布置，从而减少了设置在这对头支承件20A和20B上的涂布头单元30A和30B的不必要的行程，因此增加了密封胶施加操作的效率。 

当设置在这对头支承件20A和20B上的涂布头单元30A和30B未以对称的镜像构形的方式布置，而是如图5中所示沿反向布置时，安装至一个头支承件20A或20B的涂布头单元30A或30B与安装至另一个头支承件20A或20B的涂布头单元30A或30B在有效移动行程方面是不同的。 

即，如果沿反向布置涂布头单元30A和30B的喷嘴34、激光位移传感器36和位置测量相机37，则不可避免地沿-X或+X方向改变移动行程。安装至一个头支承件20A的每个涂布头单元30A的位置测量相机37位于右侧，而安装至另一个头支承件20B的每个涂布头单元30B的位置测量相机37位于左侧。因此，当涂布头单元30A和30B移动到基板S的端部时，在移动行程方面产生差异，这种差异对应于两个涂布 头单元30A和30B的位置测量相机37之间在位置方面的差异St。 

同样，如果改变移动行程，则涂布头单元30A和30B中的任一个具有较大的移动行程，以致涂布头单元30A和30B之间在移动行程方面出现差异。因此，缩小了形成在基板的边缘上的密封胶图案的面积。 

然而，由于在本发明中，当涂布头单元30A和30B以镜像构形的方式对称布置时，涂布头单元30A和30B具有相同的移动行程，因此由于行程的缩短，使得易于控制涂布头单元30A和30B，并使基板S上的密封胶的有效面积最大化。 

图6是示出根据本发明的第二实施方式的涂布机的立体图，且图7是示出以镜像构形的方式布置的涂布头单元30A和30B的平面图。 

在已经在上面说明的本发明的第一实施方式中，涂布头单元30A和30B以彼此面对的方式布置在这对头支承件20A和20B上。此时，根据本发明的第二实施方式，涂布头单元30A和30B以定位在头支承件20A和20B的外表面上的方式安装至头支承件20A和20B。 

将设置在外表面上的涂布头单元30A和30B安装成关于这对头支承件20A和20B之间的中心线C对称，以使涂布头单元30A和30B具有镜像构形。 

此时，在本发明的实施方式中，带有喷嘴34的注射器35、激光位移传感器36、位置测量相机37和截面积传感器38全部布置在头支承件20A和20B上以具有镜像构形。但是，取决于实施条件，仅一个或多个构件可以以镜像构形的方式布置。 

即，头单元30A和30B的位置测量相机37和截面积传感器38可沿反向布置，并且只有每个都具有发射部和接收部的激光位移传感器36可以以镜像构形的方式布置。此外，激光位移传感器36可沿反向布置，并且只有位置测量相机37和截面积传感器38可以以镜像构形的方式布置。 

此时，位置测量相机37、截面积传感器38和激光位移传感器36是在每个涂布头单元30A或30B中都需要的构件。但是，对于涂布头单元30A或30B而言，并不必包括所有的上述构件。如果有必要，可省 略一个或多个构件。尽管省略了某些构件，但是位置测量相机37、截面积传感器38和激光位移传感器36中的至少一个或全部可以以镜像构形的方式布置在相应的头支承件20A和20B上。 

如上所述，本发明提供一种带有以镜像构形的方式布置的涂布头单元的涂布机，其中涂布头单元设置在一对头支承件上以具有镜像构形，从而防止设置在这对头支承件上的涂布头单元之间出现不必要的行程，因此当形成密封胶图案时，显著增加了基板上的密封胶图案的有效截面积，并使得能够更容易地控制设置在两侧的头单元。 

于此所述的本发明的实施方式可单独实施或互相结合。尽管已出于说明性的目的公开了本发明的优选实施方式，但是本领域的技术人员将会理解，在不背离于所附权利要求中所公开的本发明的范围和精神的前提下，多种改变、增加和替代是可能的。 

Claims (5)

1.一种带有以镜像构形的方式布置的涂布头单元的涂布机，包括：

一对头支承件，所述一对头支承件并排设置在其上安装有基板的托台上方，每个所述涂布头单元都包括：

喷嘴，所述喷嘴用于排出密封胶；

激光位移传感器，所述激光位移传感器包括设置在所述喷嘴的一侧上的发射部和设置在所述喷嘴的相对侧上的接收部，从而测量所述喷嘴的出口与所述基板之间的间隙；以及

位置测量相机，所述位置测量相机设置在所述激光位移传感器的第一侧，并且

某些所述涂布头单元包括设置在所述激光位移传感器的第二侧的截面积传感器，以测量施加至所述基板的密封胶图案，

其中，在所述一对头支承件中的每个上安装有多个涂布头单元，并且将设置在所述一对头支承件上的所述涂布头单元布置成关于所述一对头支承件之间的中心线对称，从而使所述涂布头单元处于所述镜像构形中。

2.一种带有以镜像构形的方式布置的涂布头单元的涂布机，包括：

一对头支承件，所述一对头支承件并排设置在其上安装有基板的托台上方，

其中，在所述一对头支承件中的每个上安装有多个涂布头单元，每个所述涂布头单元都包括：

喷嘴，所述喷嘴用于排出密封胶；

激光位移传感器，所述激光位移传感器包括设置在所述喷嘴的一侧上的发射部和设置在所述喷嘴的相对侧上的接收部，从而测量所述喷嘴的出口与所述基板之间的间隙；以及

位置测量相机，所述位置测量相机设置在所述激光位移传感器的第一侧，并且

所述激光位移传感器和所述喷嘴布置成关于所述一对头支承件之间的中心线对称。

3.如权利要求2所述的涂布机，其中

设置在每个所述头支承件上的至少一个所述涂布头单元包括位于所述激光位移传感器的第二侧的截面积传感器，以便测量施加至所述基板的密封胶图案，并且

所述截面积传感器被布置成关于所述一对头支承件之间的所述中心线对称。

4.如权利要求1至3中的任一项所述的涂布机，其中，所述涂布头单元以彼此面对的方式布置在所述一对头支承件上。

5.如权利要求1至3中的任一项所述的涂布机，其中，所述涂布头单元布置在所述一对头支承件的外表面上。

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