TWI491896B - 具複數檢測頭之陳列檢測裝置 - Google Patents

具複數檢測頭之陳列檢測裝置 Download PDF

Info

Publication number
TWI491896B
TWI491896B TW101114492A TW101114492A TWI491896B TW I491896 B TWI491896 B TW I491896B TW 101114492 A TW101114492 A TW 101114492A TW 101114492 A TW101114492 A TW 101114492A TW I491896 B TWI491896 B TW I491896B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
detecting
glass
probe card
display glass
heads
Prior art date
Application number
TW101114492A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201321777A (zh
Inventor
Jong-Moon Kim
Sang-Chan Ryu
Jun-Sic Park
In-Soo Kim
Original Assignee
Yang Electronic Systems Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yang Electronic Systems Co Ltd filed Critical Yang Electronic Systems Co Ltd
Publication of TW201321777A publication Critical patent/TW201321777A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI491896B publication Critical patent/TWI491896B/zh

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2832Specific tests of electronic circuits not provided for elsewhere
    • G01R31/2836Fault-finding or characterising
    • G01R31/2844Fault-finding or characterising using test interfaces, e.g. adapters, test boxes, switches, PIN drivers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2863Contacting devices, e.g. sockets, burn-in boards or mounting fixtures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2887Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Description

具複數檢測頭之陳列檢測裝置
本發明係與陳列檢測裝置有關,特別是指一種具複數檢測頭之陳列檢測裝置,其中,複數檢測頭設於陳列檢測裝置,而於發光二極體製品生產中,一探針卡接觸液晶顯示玻璃板之一圖案時,執行一檢測步驟,因此,在一檢測頭檢測一特定液晶顯示玻璃板時,另一檢測頭能更換探針卡,用以檢測另一具有不同圖案間隙之液晶顯示玻璃板。
如業界所眾知,平板顯示器包括液晶顯示器、電漿顯示器及場發射顯示器。
為了製造此類平板顯示器,必須執行一下基板製造步驟,一上基板製造步驟,及一下基板及上基板貼合步驟。
詳而言之,複數個液晶晶胞成形於一玻璃圓板上,供製作下基板,複數個水平線及垂直線相交成形於每一液晶晶胞,形成一矩陣,及複數個像素單元分別成形於水平線及垂直線交叉口,其中每一像素單元包括一透明像素電極。
一薄膜電晶體,連接至水平線、垂直線及在每一像素單元內之透明像素電極;於施行一檢測步驟後,成形於玻璃圓板上的複數個液晶晶胞,被劃線切割,因而每一液晶晶胞自玻璃圓板被割離,亦即,下基板於上基板製造完成時,貼合於一上基板貼,而一用以驅動像素單元及其它元件之驅動電路,此時相組合,完成一平板顯示器;而於製造述平板顯示器之過程中,檢測成形於玻璃圓板上之複數個液晶晶胞,利用一探針裝置,施予一電測試訊號至一電路圖案,檢測電路之一狀態。
第一圖A及第一圖B為一平面及一前視示意圖,顯示一平板顯示器檢測用之習知檢測夾具裝置。
此檢測夾具裝置包括探針調整塊1及2,一探針塊安裝板3,一底板4,一固定台5,一相機6,用以對正一探針卡7及一玻璃之一圖案,及此一探針卡7。
為施行一平板顯示器檢測步驟,一套或複數個相對於玻璃型號之探針卡7,被安裝於該探針塊安裝板3,而能進行檢測。也就是說,於被驅動往前、往後、往左、往右、往上及往下時,固定有一玻璃之該固定台5觸及該探針卡7,進行檢測。
然而,上述之傳統平板顯示器檢測裝置,於檢測不同玻璃型號具有不同圖案間隙時,必須更換探針卡7,而在更換探針卡7時,測試作業無法繼續執行,因而大大地降低設備運作時間,而且必須安裝複數個不同的探針卡7,以解決上述問題。
另外,固定台5移動方式,需要增加額外空間供固定台5移動,因此增加檢測裝置之體積,而此一體積增加,對於玻璃的測量,其大小往往會增加,因而限制了其應用。
因此,本發明之主要目的乃在於提供一種具複數檢測頭之陳列檢測裝置,其中,複數檢測頭設於此陳列檢測裝置,而於發光二極體製品生產中,在一檢測頭檢測一特定液晶顯示玻璃板時,另一檢測頭能更換探針卡,用以檢測另一具有不同圖案間隙之液晶顯示玻璃板,因而減少檢測裝置於更換探針卡之待機時間。
為達成上述目的,本發明所提供之具複數檢測頭之陳列檢測裝置,該具複數檢測頭之陳列檢測裝置包括一底板,具有一檢測區,位於其一中央部位,用以使一平板顯示玻璃在此檢測區被檢測,及複數個待機區設於檢測區兩相對側;一移動平台,安裝於該底板之該檢測區,供定位一特定顯示玻璃於其上;至少兩個檢測頭安裝於該底板,各該檢測頭設有複數個探針卡,用以藉由電接觸而檢測該顯示玻璃之一電路圖案之特徵;一第一線性馬達,用以進給該移動平台往前及往後;及一第二線性馬達,用以進給該複數個檢測頭往左及往右。
依據本發明,當各種不同型號之平板顯示玻璃經由單一陳列檢測裝置檢測時,複數個檢測頭中之一個檢測頭檢測一特定玻璃型號,而另一檢測頭可更換一探針卡,以便檢測另一具有不同圖案間隙之玻璃型號,檢測裝置由於更換針卡組而造成的待機時間可大幅縮短,因此可增強系統運行效率。
為了詳細說明本發明之結構、特徵及功效所在,茲列舉一較佳實施例並配合下列圖式說明如後,其中各圖式之簡要說明如下:
第二圖係為本發明一較佳實施例,一種具複數檢測頭之陳列檢測裝置之立體圖。第三圖係為本發明一較佳實施例,一種具複數檢測頭之陳列檢測裝置之前視圖。第四圖係為本發明一較佳實施例,一種具複數檢測頭之陳列檢測裝置之平面圖。第五圖係為本發明一較佳實施例之立體圖,顯示該具複數檢測頭之陳列檢測裝置之一移動平台。第六圖係為本發明一較佳實施例之立體圖,顯示該具複數檢測頭之陳列檢測裝置之一檢測頭結構。第七圖係為本發明一較佳實施例之立體圖,顯示該具複數檢測頭之陳列檢測裝置之一更換套件之結構。
首先,本發明具複數檢測頭之陳列檢測裝置設為,該複數檢測頭50安裝於該陳列檢測裝置,使該陳列檢測裝置能利用一檢測頭50量測一特定之平板顯示玻璃100,以及更換一探針卡60後,能利用另一檢測頭50量測另一具有不同圖案間隙之平板顯示玻璃100。
為此,本發明具複數檢測頭之陳列檢測裝置中,一移動平台30及一對檢測頭50安裝於具有一特定結構之一底板10上,因而能藉由一第一線性馬達20及一第二線性馬達40,而被向上、向下、向左、向右、向前及向後移動。
底板10大體呈T形平面狀,具有一檢測區A位於其一中央部位,用以使一平板顯示玻璃100在此檢測區A被檢測,及複數個待機區B設於檢測區A兩相對側。
該移動平台30供安置該平板顯示玻璃100以施行一檢測,乃設於底板10檢測區A,而用以進給該移動平台30前進及後退之第一線性馬達20,乃安裝於該移動平台30下方。
該移動平台30設計為能使相對應的平板顯示玻璃100定位其上,以供檢測。因此,該移動平台30具有一大體呈長方形之平板狀本體38,並包括複數個升降接腳32供該平板顯示玻璃100定位於其上並保持一距離,複數個預對位裝置34供對位該相對應平板顯示玻璃100的位置,及一夾頭36,安裝於本體38一中央部位,用以於進行一吹氣功能時,選擇性地轉該相對應的平板顯示玻璃100。
而用以進給該檢測頭50向左及向右之第二線性馬達40,乃安裝於該底板10一尾端,使該檢測頭50能被該第二線性馬達40選擇性地位移於底板10之檢測區A及待機區B之間。
複數個探針卡60,用以藉由電接觸而檢測定位於移動平台30上相對應平板顯示玻璃100上的電路圖案之特徵,乃安裝於該檢測頭50。在本實施例中,一對檢測頭50設於底板10上。
進一步詳細說明該檢測頭50,該檢測頭50包括一具有一特定形狀之托架52,安裝於第二線性馬達40,及一探針卡組。該探針卡組包括複數個探針卡60,用以於電性接觸平板顯示玻璃100上的電路圖案時,檢測電路圖案的特徵,及複數個相機54,用以攝影探針卡60之複數個接腳及量測區。這些探針卡60及相機54乃安裝於托架52上。
另外,複數個驅動馬達56a、56b、56c、56d、56e,用以施予一預定之驅動力,以便移動該複數個探針卡60向上及向下及移動該複數個相機54向上、向下、向左及向右,乃設於該托架52上。同時,更換組件70,用以選擇性地支撐並保持探針卡組相對於特定平板顯示器之玻璃型號作檢測,乃分別安裝於底板10之複數個待機區B。
也就是說,為了支撐設有複數個探針卡60之探針卡組供檢測平板顯示器之一玻璃及一能對正探針卡60於X、Y、Z、Ry與Rz方向之手動式移動平台30,乃於更換組件70上設有一置物架72。此一置物架72能被沿著一滑軌74前後移動,而於被一壓缸76進給時能選擇性地定位於檢測頭50之下方。
接著,本發明之操作,乃詳述如下;於藉由本發明具複數檢測頭之陳列檢測裝置施行一檢測作業時,首先,在移動平台30位於一裝載位置時,升高升降接腳32。接著,於欲被一特定裝載裝置檢測之相對應平板顯示玻璃100定位於升降接腳32之上端後,下降升降接腳32,使此對應平板顯示玻璃100被定位於本體38之一表面。
於此欲被檢測之相對應平板顯示玻璃100定位於移動平台30後,移動平台30乃被第一線性馬達20位移至底板10之檢測區A。如此,一檢測頭50上,相對於特定型號平板顯示玻璃100之一探針卡組,被進給至移動平台30並接觸平板顯示玻璃100,而為了接觸平板顯示玻璃100之一量測點,該檢測頭50由第二線性馬達40進給向左及向右,而且平板顯示玻璃100和移動平台30被第一線性馬達20向前及向後位移。
也就是說,平板顯示玻璃100之一位置,由一設於移動平台30上之預對位裝置34所確定,而一對位標記被一設於檢測頭50上之相機54所確認,因此平板顯示玻璃100能被安置於左側、右側、前側、及後側。
此平板顯示玻璃100,藉由設於該移動平台30一中央部位之夾頭36之吹氣功能及該移動平台30,而被旋轉-90°、90°及180°。同時,在此特定平板顯示玻璃100被設於底板10檢測區A之檢測頭50上的探針卡組檢測時,位於待機區B之另一檢測頭50,可被選擇性地更換探針卡組,供檢測另一具有不同圖案間隙之平板顯示玻璃100。
也就是說,當一檢測頭50於檢測區A進行一檢測作業時,在待機區B之另一檢測頭50,可依更換組件70所提供之一特定型號之平板顯示玻璃100,而更換一相對應之探針卡組。
為此,更換組件70之置物架72,能藉由手操作,而被沿著一滑軌74前後移動,且當被一壓缸76驅動而向上及向下進給時,能被交換。也就是說,於更換組件70上之一空置物架72被置於待機區B之另一檢測頭50下方,且此檢測頭之探針卡組被置於置物架72之後,此置物架72就被推入。因此,相對於藉由壓缸76向上及向下進給及手動操作而即將被交換之玻璃型號之此探針卡組,於被定位於檢測頭50下方之後,此探針卡組可被更換,例如藉由接頭螺栓固定操作,而可被更換。
因此,在本發明之具複數檢測頭之陳列檢測裝置,由於一特定玻璃型號能被一檢測頭50檢測,且相對於另一具有不同圖案間隙之玻璃型號之探針卡60可由藉另一檢測頭50而更換,由於更換探針卡組而造成的檢測裝置待機時間,可大幅縮短,因此可增強系統運行效率。
綜上所述,僅為本創作之較佳實施例的詳細說明與圖示,凡合於本創作申請專利範圍之精神與其類似變化之實施例,皆包含於本創作的範疇中,任何熟悉該項技藝者在本創作之領域內,可輕易思及之變化或修飾皆可涵蓋在本案之專利範圍。
1...探針調整塊
2...探針調整塊
3...探針塊安裝板
4...底板
5...固定板
6...相機
7...探針卡
10...底板
20...第一線性馬達
30...移動平台
32...升降接腳
34...預對位裝置
36...夾頭
38...本體
40...第二線性馬達
50...檢測頭
52...托架
54...相機
56a、56b、56c...驅動馬達
56d、56e...驅動馬達
60...探針卡
70...更換組件
72...置物架
74...滑軌
76...壓缸
100...平板顯示玻璃
A...檢測區
B...待機區
第一圖A為習知檢測夾具裝置之一平面示意圖。
第一圖B為習知檢測夾具裝置之一前視示意圖。
第二圖係為本發明之具複數檢測頭之陳列檢測裝置之立體圖。
第三圖係為本發明之具複數檢測頭之陳列檢測裝置之前視圖。
第四圖係為本發明之具複數檢測頭之陳列檢測裝置之平面圖。
第五圖係為本發明一較佳實施例之立體圖。
第六圖係為本發明一較佳實施例之立體圖。
第七圖係為本發明一較佳實施例之立體圖。
10...底板
20...第一線性馬達
30...移動平台
40...第二線性馬達
50...檢測頭
60...探針卡
70...更換組件
100...平板顯示玻璃
A...檢測區
B...待機區

Claims (3)

  1. 一種具複數檢測頭之陳列檢測裝置,包括:一底板,具有一檢測區,位於其一中央部位,用以使一平板顯示玻璃在此檢測區被檢測,及複數個待機區設於檢測區兩相對側;一移動平台,安裝於該底板之該檢測區,供定位一特定顯示玻璃於其上;至少兩個檢測頭安裝於該底板,各該檢測頭設有一探針卡組,該探針卡組具有複數個探針卡,用以藉由電接觸而檢測該顯示玻璃之一電路圖案之特徵;一第一線性馬達,用以進給該移動平台往前及往後;及一第二線性馬達,用以進給該複數個檢測頭往左及往右;前述檢測頭係具有托架、複數個探針卡、複數個相機以及複數個驅動馬達,托架設於該第二線性馬達,使檢測頭能被向左及向右移動,探針卡用以藉由電接觸而檢測形成於顯示玻璃上的電路圖案之特徵,相機係用以攝影探針卡之複數個接腳及量測區,而動馬達能使探針卡向上及向下移動,及使相機向上、向下、向左及向右移動。
  2. 如申請專利範圍第1項所述具複數檢測頭之陳列檢測裝置,其中底板之各個待機區安裝有更換組件,用以選擇性地支撐並保持一對應該特定玻璃型號之探針卡組,以及,上述之更換組件設置有置物架,供檢測頭之探針卡組置入,該更換組件之配置,使該置物架能被沿著一滑軌前後移動,且能被一壓缸上下移動。
  3. 如申請專利範圍第1項所述具複數檢測頭之陳列檢測裝 置,其中,該移動平台具有一大體呈長方形之平板狀本體供定位平板顯示玻璃,該移動平台包括複數個升降接腳,用以使該平板顯示玻璃定位於移動平台之一上表面,複數個預對位裝置,用以確定相對應平板顯示玻璃之一位置,及一夾頭,安裝於本體一中央部位,用以於進行一吹氣功能時,選擇性地轉該相對應的平板顯示玻璃。
TW101114492A 2011-11-23 2012-04-24 具複數檢測頭之陳列檢測裝置 TWI491896B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110122749A KR101286250B1 (ko) 2011-11-23 2011-11-23 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201321777A TW201321777A (zh) 2013-06-01
TWI491896B true TWI491896B (zh) 2015-07-11

Family

ID=48496811

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW101114492A TWI491896B (zh) 2011-11-23 2012-04-24 具複數檢測頭之陳列檢測裝置

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR101286250B1 (zh)
CN (1) CN103137048B (zh)
TW (1) TWI491896B (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017096949A (ja) * 2015-11-24 2017-06-01 フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド セル接触プロービングパッドを使用して平面パネル型表示装置を電気的に検査するためのシステムおよび方法
CN108074511A (zh) * 2016-11-09 2018-05-25 永友Dsp有限公司 显示面板检测用探针单元的夹紧装置
CN108732497B (zh) * 2018-05-22 2024-04-26 默拓(苏州)机电科技有限公司 一种直线电机的安装测试设备
CN108831359B (zh) * 2018-06-22 2020-08-11 惠科股份有限公司 显示面板及其显示装置
CN109324253B (zh) * 2018-09-30 2024-03-08 江西合力泰科技有限公司 一种装pin脚后玻璃的检测装置及方法
KR102097456B1 (ko) * 2019-07-01 2020-04-07 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
KR102097455B1 (ko) * 2019-07-01 2020-04-07 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090026638A (ko) * 2007-09-10 2009-03-13 주식회사 프로텍 오토 프로브 유니트
TWI334487B (zh) * 2006-06-08 2010-12-11 Nhk Spring Co Ltd
TWI348026B (en) * 2006-02-08 2011-09-01 Verigy Pte Ltd Singapore Testing devices under test by an automatic test apparatus having a multisite probe card

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100609652B1 (ko) * 2006-02-16 2006-08-08 주식회사 파이컴 공간변형기와 상기 공간변형기의 제조방법 및 상기공간변형기를 갖는 프로브 카드
JP5120017B2 (ja) * 2007-05-15 2013-01-16 東京エレクトロン株式会社 プローブ装置
CN201429965Y (zh) * 2009-07-02 2010-03-24 北京京东方光电科技有限公司 液晶面板的线路检测装置和设备
KR101162912B1 (ko) * 2009-10-27 2012-07-06 주식회사 탑 엔지니어링 어레이기판 검사장치 및 어레이기판 검사방법
KR101036112B1 (ko) * 2009-11-20 2011-05-23 주식회사 탑 엔지니어링 프로브 바 자동교체 유닛을 구비한 어레이 테스트 장치
KR101115874B1 (ko) * 2009-12-31 2012-02-22 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI348026B (en) * 2006-02-08 2011-09-01 Verigy Pte Ltd Singapore Testing devices under test by an automatic test apparatus having a multisite probe card
TWI334487B (zh) * 2006-06-08 2010-12-11 Nhk Spring Co Ltd
KR20090026638A (ko) * 2007-09-10 2009-03-13 주식회사 프로텍 오토 프로브 유니트

Also Published As

Publication number Publication date
CN103137048A (zh) 2013-06-05
CN103137048B (zh) 2015-10-21
TW201321777A (zh) 2013-06-01
KR20130057033A (ko) 2013-05-31
KR101286250B1 (ko) 2013-07-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI491896B (zh) 具複數檢測頭之陳列檢測裝置
JP7085042B2 (ja) プローブシステム
KR101115874B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR101616564B1 (ko) 프로브 이동장치
CN101017256B (zh) 修复设备和修复方法
US20150268298A1 (en) Flexible circuit board inspecting apparatus
CN105445971A (zh) 液晶显示面板的检查装置及其控制方法
JP2006119031A (ja) パネルの検査装置に用いられる電気的接続装置
KR102188565B1 (ko) 디스플레이 패널 검사장치
KR101695283B1 (ko) 박막 트랜지스터 기판 검사 장치
CN105259709A (zh) 阵列基板及液晶显示面板
KR20130056541A (ko) 어레이 테스트 장치
KR20130106194A (ko) 어레이 테스트 장치
US9080865B2 (en) Orthogonality compensation method for length measurement device and length measurement device using same
CN208384287U (zh) 一种蚀刻结构的检测装置
KR20120077291A (ko) 어레이 테스트 장치
KR101248136B1 (ko) 프르브 카드 얼라인용 지그 장치
KR101351250B1 (ko) 기판 검사 장비용 얼라인 스테이지 장치
KR20070118770A (ko) 복합 검사기
TWI730595B (zh) 待測面板的側向檢測裝置及檢測方法
KR20180070337A (ko) 기판 검사 장치 및 이를 이용한 기판 검사 방법
JP2013159540A (ja) スクライブ装置
KR101480369B1 (ko) 패널의 자동 저항 측정장치
KR102266189B1 (ko) 디스플레이 패널의 본딩 장치
KR20160018912A (ko) 인쇄회로기판 폴딩 장치