KR20130057033A - 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치 - Google Patents

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KR20130057033A
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Abstract

본 발명은 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치에 관한 것으로, 어레이 테스트 장치에 다수 개의 헤드 유니트를 설치하여 일측 헤드 유니트를 이용한 소정 글라스 모델에 대한 검사 진행과 동시에 패턴 피치가 다른 엘시디 글라스의 검사를 위한 프로브 카드 교체를 타측 헤드 유니트에서 수행할 수 있도록 하므로서 프로브 카드의 교체에 따른 장비의 대기시간을 줄일 수 있도록 한 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
이를 위해, 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치는, 중앙에 평판디스플레이 글라스의 검사가 수행되는 검사영역이 구비되고, 그 양측으로는 대기영역 구비된 베이스플레이트와; 상기 베이스플레이트의 검사영역에 설치되어 소정 글라스가 안착되는 스테이지와; 상기 글라스에 형성된 회로패턴에 전기적으로 접촉하면서 회로패턴의 특성을 검사하는 다수 개의 프르브 카드가 장착되되, 상기 베이스플레이트 상측에 적어도 2개 이상이 설치되는 헤드 유니트와; 상기 스테이지를 전.후 방향으로 이송시키는 제 1리니어 모터 및; 상기 다수 개의 헤드 유니트를 좌.우 방향으로 이송시키는 제 2리니어 모터;를 포함하여 구성된다.

Description

다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치{ARRAY TEST APPARATUS HAVING MULTIPLE HEAD UNIT}
본 발명은 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 엘시디 제품 제조 시 엘시디 글라스의 패턴에 프르브 카드를 콘텍하여 검사공정을 수행하는 어레이 테스트 장치에 다수 개의 헤드 유니트를 설치하여, 일측 헤드 유니트를 이용한 소정 엘시디 글라스에 대한 검사 진행과 동시에 패턴 피치가 다른 엘시디 글라스의 검사를 위한 프로브 카드 교체를 타측 헤드 유니트에서 수행할 수 있도록 한 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display)에는 액정표시소자(Liquid Crystal Display: LCD)와, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP), 전계 방출 디스플레이 소자(Field Emission Display: FED) 등이 포함된다.
이러한 평판디스플레이의 제조에 있어서는 하부 기판의 제조공정과, 상부 기판의 제조공정, 그리고 하부 기판과 상부 기판의 합착공정 등의 공정이 진행되게 된다.
이에 대해 보다 상세히 설명하면, 하부 기판을 제조하기 위한 글래스 원판 상에 다수의 셀들을 형성하고, 이 셀에 다수의 수평 라인과 수직 라인들을 매트릭스 형태로 서로 교차하도록 형성하며, 수평 라인과 수직 라인의 교차부마다 투명한 화소 전극을 포함하는 화소 셀들을 형성한다.
그리고, 화소 셀들에는 수평 라인과 수직 라인 및 화소 전극에 접속되는 박막 트랜지스터를 형성한다.
또, 상기 글래스 원판에 형성된 다수의 셀들은 검사공정을 거친 후 스크라이빙 공정에 의해 절단이 되며, 이렇게 글래스 원판에서 절단된 다수의 셀, 즉 하부 기판 각각은 상부 기판의 제조공정에서 완성된 상부 기판과 합착되고, 화소 셀들을 구동하기 위한 구동회로 및 여러 가지 요소들이 조립됨으로써 하나의 평판디스플레이가 완성되게 된다.
이때, 상술한 바와 같은 평판디스플레이의 제조공정 중, 상기 글래스 원판에 형성된 다수의 셀에 대한 검사공정에서는 프로브 장치를 이용하여 회로패턴에 전기적인 테스트 신호를 인가함으로써 회로의 상태를 검사하게 된다.
도 1a 및 도 1b는 종래의 평판디스플레이 검사 장비로 사용되는 프르빙 지그 장치를 개략적으로 나타내는 평면도 및 정면도로서, 상기 프르빙 지그 장치는 프르브 조정 블록(1,2)과, 프르브 블록 마운팅 플레이트(3)와, 베이스 플레이트(4)와, 고정 스테이지(5)와, 프르브 카드 및 글라스의 패턴을 얼라인 하는 카메라(6) 및, 프르브 카드(7)를 포함하여 구성된다.
이에, 해당 평판디스플레이의 검사공정을 수행하기 위해서는 상기 프르브 블록 마운팅 플레이트 측에 해당 글라스 모델과 대응되는 1세트 또는 복수의 프르브 카드를 장착하여 검사작업을 진행하게 된다.
즉, 상기 프르브 카드에 대해 글라스가 고정된 스테이지가 전.후.좌.우 방향 및 상.하 방향으로 구동되면서 상기 프르브 카드와 글라스를 컨텍하여 테스트를 진행하게 된다.
그러나, 상술한 바와 같은 종래의 평판디스플레이 검사장치에 있어서는 다양한 모델의 평판디스플레이 글라스에 적용하여 각각 상이한 피치의 패턴 검사를 수행하기 위하여, 글라스의 모델 변경 시 마다 프르브 카드를 교체하여야만 하며, 이에 프르브 카드의 교체 작업 시에는 테스트 동작을 진행할 수가 없게 되므로 장비의 운영시간이 크게 줄어들게 되는 문제점이 발생하게 되었으며, 또한 이러한 문제점을 해소하기 위하여 상이한 프르브 카드를 다수 설치하여야만 한다.
또, 스테이지 이동 타입은 검사진행 시 스테이지의 이동을 위한 필요 면적이 증대되어 장비의 부피가 증대되게 되므로, 대형화 추세에 있는 글라스의 측정에 적용시키는데 한계가 있는 문제점이 발생하게 되었다.
따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 어레이 테스트 장치에 다수 개의 헤드 유니트를 설치하여 일측 헤드 유니트를 이용한 소정 글라스 모델에 대한 검사 진행과 동시에 패턴 피치가 다른 엘시디 글라스의 검사를 위한 프로브 카드 교체를 타측 헤드 유니트에서 수행할 수 있도록 하므로서 프로브 카드의 교체에 따른 장비의 대기시간을 줄일 수 있도록 한 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치를 제공하고자 하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치는, 중앙에 평판디스플레이 글라스의 검사가 수행되는 검사영역이 구비되고, 그 양측으로는 대기영역 구비된 베이스플레이트와; 상기 베이스플레이트의 검사영역에 설치되어 소정 글라스가 안착되는 스테이지와; 상기 글라스에 형성된 회로패턴에 전기적으로 접촉하면서 회로패턴의 특성을 검사하는 다수 개의 프르브 카드가 장착되되, 상기 베이스플레이트 상측에 적어도 2개 이상이 설치되는 헤드 유니트와; 상기 스테이지를 전.후 방향으로 이송시키는 제 1리니어 모터 및; 상기 다수 개의 헤드 유니트를 좌.우 방향으로 이송시키는 제 2리니어 모터를 포함하여 구성된 것;을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 베이스플레이트의 대기영역에는 소정 글라스 모델과 대응되는 프르브 카드 세트가 선택적으로 거치되는 체인지 키트가 설치되되, 상기 체인지 키트는 상기 프르브 카드 세트가 거치되는 복층구조의 선반이 구비되고, 상기 선반은 슬라이딩 레일을 따라 전.후진이 가능함과 아울러, 실린더를 매개로 상.하 이송 가능하도록 구성된 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 헤드 유니트는, 상기 제 2리니어 모터에 장착되어 유니트가 좌.우 이송 가능하도록 하는 브라켓트와, 상기 글라스에 형성된 회로패턴에 전기적으로 접촉하여 회로패턴의 특성을 검사하는 다수 개의 프르브 카드와, 상기 프르브 카드의 핀 및 측정 영역을 촬영하는 다수 개의 카메라 및, 상기 프르브 카드의 상.하 이동 및 상기 카메라의 상.하 및 좌.우 이동이 가능하도록 하는 다수 개의 구동모터를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 스테이지는, 그 상측에 글라스가 안착되는 사각판 형상의 몸체로 이루어지되, 그 몸체 상면에는 글라스를 안착시키기 위한 다수 개의 리프트 핀과, 해당 글라스의 위치 결정을 위한 다수 개의 프리 얼라이너 및, 에어 블로잉 기능과 더불어 상기 글라스를 선택적으로 회전시키도록 몸체 중앙에 구비되는 척을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
상기에서 설명한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따르면, 한 개의 어레이 테스트 장치를 통한 다양한 모델의 평판디스플레이 글라스 검사 시, 복수 개로 구비된 헤드 유니트를 이용하여 일측 헤드 유니트를 통한 소정 글라스 모델에 대한 검사와 동시에 타측 헤드 유니트에서는 패턴 피치가 다른 글라스의 검사를 위한 프로브 카드 교체 작업을 수행할 수가 있게 되므로, 프로브 카드 세트의 교체에 따른 장비의 대기시간을 줄여 시스템의 런타임 비율을 향상시킬 수 있는 효과가 있게 된다.
도 1a 및 도 1b는 종래의 평판디스플레이 검사 장비로 사용되는 프르빙 지그 장치를 개략적으로 나타내는 평면도 및 정면도,
도 2는 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치의 구성을 나타내는 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치의 구성을 나타내는 정면도,
도 4는 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치의 구성을 나타내는 평면도,
도 5는 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치에 구비된 스테이지의 구성을 나타내는 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치에 구비된 헤드 유니트의 구성을 나타내는 사시도,
도 7은 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치에 구비된 체인지 키트의 구성을 나타내는 사시도이다.
이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치의 구성을 나타내는 사시도, 도 3은 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치의 구성을 나타내는 정면도, 도 4는 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치의 구성을 나타내는 평면도, 도 5는 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치에 구비된 스테이지의 구성을 나타내는 사시도, 도 6은 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치에 구비된 헤드 유니트의 구성을 나타내는 사시도, 도 7은 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치에 구비된 체인지 키트의 구성을 나타내는 사시도이다.
먼저, 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치는, 어레이 테스트 장치에 헤드 유니트(50)를 복수 개 설치하여 일측 헤드 유니트(50)를 이용한 소정 평판디스플레이 글라스(100)에 대한 측정 작업과 동시에 패턴 피치가 다른 글라스의 검사를 위한 프로브 카드 교체를 타측 헤드 유니트(50)에서 수행할 수 있도록 구현된다.
이를 위해, 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치는, 특정 구조의 베이스플레이트(10)에 제 1리니어 모터(20) 및 제 2리니어 모터(40)를 매개로 상.하 또는 전.후 방향으로의 이동이 가능한 상태로 스테이지(30) 및 한 쌍의 헤드 유니트(50)가 설치되어 구성된다.
상기 베이스플레이트(10)는, 그 평면의 형상이 대략 "
Figure pat00001
"
Figure pat00002
형상으로 이루어져 그 중앙에 평판디스플레이 글라스(100)의 검사가 수행되는 검사영역(A)이 구비됨과 아울러, 상기 검사영역(A)의 양측으로는 각각 대기영역(B) 배치된 형태로 구성된다.
그리고, 상기 베이스플레이트(10)의 검사영역(A)에는 소정 글라스(100)가 안착되는 검사공정이 진행되는 스테이지(30)가 설치되되, 상기 스테이지(30)의 하부에는 상기 스테이지(30)를 전.후 방향으로 이송시키기 위한 제 1리니어 모터(20)가 설치되어 구성된다.
상기 스테이지(30)는 그 상면에 해당 글라스(100)가 안착되어 검사가 진행되도록 구성되는데, 이를 위해 상기 스테이지(30)는 대략 사각판 형상의 몸체(38)를 갖으며, 그 상면에 글라스(100)의 안착 및 이탈을 위한 다수 개의 리프트 핀(32), 해당 글라스(100)의 위치 결정을 위한 다수 개의 프리 얼라이너(34), 상기 몸체(38) 중앙에 구비되어 에어 블로잉 기능과 함께 해당 글라스(100)를 선택적으로 회전시키는 척(36) 등을 포함하여 구성된다.
또, 상기 베이스플레이트(10)의 후단부 측 상부에는 상기 헤드 유니트(50)를 좌.우 방향으로 이송시키기 위한 제 2리니어 모터(40)가 구비되며, 이에 상기 헤드 유니트(50)는 상기 제 2리니어 모터(40)를 매개로 상기 베이스플레이트(10)의 검사영역(A) 및 대기영역(B) 사이를 선택적으로 이동할 수 있도록 설치된다.
상기 헤드 유니트(50)는 상기 스테이지(30)에 안착된 해당 글라스(100)에 형성된 회로패턴에 전기적으로 접촉하면서 회로패턴의 특성을 검사하는 다수 개의 프르브 카드(60)가 장착되어 구성되는데, 본 발명의 실시예에서는 상기 베이스플레이트(10) 상부에 한 쌍의 헤드 유니트(50)가 설치되어 구성된다.
상기 헤드 유니트(50)에 대하여 보다 상세히 설명하면, 상기 헤드 유니트(50)는 상기 제 2리니어 모터(40)에 장착되는 소정 형상의 브라켓트(52)가 구비되고, 상기 브라켓트(52)에는 상기 글라스(100)에 형성된 회로패턴에 전기적으로 접촉하여 회로패턴의 특성을 검사하는 다수 개의 프르브 카드(60)를 포함하는 프로브 카드 세트와, 상기 프르브 카드의 핀 및 측정 영역을 촬영하기 위한 다수 개의 카메라(54)가 설치되어 구성된다.
또, 상기 브라켓트(52)에는 상기 다수 개의 프르브 카드(60)의 상.하 이동 및 상기 카메라(54)의 상.하 및 좌.우 이동이 이루어질 수 있도록 소정 구동력을 인가하는 다수 개의 구동모터(56a 내지 56e)가 구비되어 구성된다.
한편, 상기 베이스플레이트(10)의 대기영역(B)에는 검사를 진행하고자 하는 소정 평판디스플레이의 글라스 모델과 대응되는 프르브 카드 세트를 선택적으로 거치하여 보관하는 체인지 키트(70)가 각각 설치되어 구성된다.
즉, 상기 평판디스플레이의 글라스 검사를 수행하는 프르브 카드 및 각각의 프르브 카드를 X,Y,Z,Ry,Rz 방향 얼라인을 할 수 있는 메뉴얼 스테이지로 구성된 소정 프르브 카드 세트를 거치하기 위하여, 상기 체인지 키트(70)에는 복층 구조를 갖는 선반(72)이 구비되어 구성되며, 상기 선반(72)은 슬라이딩 레일(74)을 따라 전.후진이 가능하도록 설치되고, 또한 실린더(76)를 매개로 상.하 이송되면서 상기 헤드 유니트(50) 하부에 선택적으로 위치될 수 있도록 구성된다.
이어, 상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 작용에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치를 통해 검사 공정이 진행되는데 있어서는, 먼저 상기 스테이지(30)가 로딩 위치에 대기한 상태에서 리프트 핀(32)이 상승하게 되며, 이에 소정 로더(도시안됨)에 의해 검사 진행을 위한 해당 글라스(100)가 상기 리프트 핀(32) 상단에 안착된 후, 상기 리프트 핀(32)의 하강에 따라 해당 글라스(100)가 상기 스테이지(30)의 몸체(38) 상면에 안착되게 된다.
또, 검사 진행을 위한 해당 글라스(100)가 상기 스테이지(30)에 안착된 후에는 상기 제 1리니어 모터(20)의 구동을 통해 상기 스테이지(30)가 상기 베이스플레이트(10)의 검사영역(A)으로 이동하게 된다.
이에, 해당 글라스(100)의 모델에 대응하는 프로브 카드 세트가 설치된 일측 헤드 유니트(50)가 스테이지(30) 측으로 이송되어 해당 글라스(100)를 컨텍하게 되는데, 이때 해당 글라스(100)의 측정 포인트 컨텍을 위해 상기 헤드 유니트(50)는 제 2리니어 모터(40)를 통해 좌.우 이송됨과 아울러 상기 글라스(100)는 제 1리니어 모터(20)를 통해 전.후 이송되는 스테이지(30)와 연동하게 된다.
즉, 상기 글라스(100)는 스테이지(30)에 구비된 프리 얼라이너(34)에 의해 위치 결정이 되고 헤드 유니트(50)에 구비된 카메라(54)로 얼라인 마크를 확인하여 좌.우 및 전.후 회전 정렬이 이루어지게 된다.
또, 글라스(100)의 모델에 따라, 상기 스테이지(30)의 중앙에 구비된 척(36) 및 스테이지(30)의 에어 블로잉 기능에 의해 글라스(100)를 -90°, 90°. 180°회전시키게 된다.
한편, 상기 베이스플레이트(10)의 검사영역(A)에서 일측 헤드 유니트(50)에 구비된 프르브 카드 세트를 통한 소정 평판디스플레이 글라스(100)에 대한 검사 진행 시, 상기 대기영역(B)에 위치한 타측 헤드 유니트(50)는 패턴 피치가 다른 글라스의 검사를 위한 프로브 카드 세트의 교체 작업이 선택적으로 행해질 수 있게 된다.
즉, 일측 헤드 유니트(50)를 통한 검사영역(A)에서의 검사 진행과 동시에 대기영역(B)의 타측 헤드 유니트(50)는 상기 체인지 키트(70)에 구비된 특정 글라스 모델에 대한 프르브 카드 세트로 교체할 수가 있다.
이를 위해, 상기 체인지 키트(70)의 선반(72)을 메뉴얼 동작으로 슬라이딩 레일(74)을 따라 전.후 이동시킴과 아울러 실린더(76) 구동에 의해 상.하 이송시키면서 교체 작업을 수행할 수가 있는데, 즉 복층으로 이루어진 체인지 키트(70)의 선반(72) 중 비어 있는 선반을 대기영역(B)에 있는 타측 헤드 유니트(50)의 하부에 위치시키고 그 헤드 유니트(50)에 장착된 프르브 카드 세트를 선반에 안착시킨 후 해당 선반을 밀어 넣고, 상기 실린더(76)의 상.하 이송 및 메뉴얼 동작을 통해 교체하고자 하는 글라스 모델에 대응하는 프르브 카드 세트를 상기 헤드 유니트(50)의 하부에 위치시킨 후 조인트 볼트 고정 작업 등을 통해 프르브 카드 세트의 교체를 실시할 수가 있게 된다.
이에, 본 발명에 따른 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치를 통해서는 일측 헤드 유니트를 통한 소정 글라스 모델에 대한 검사와 동시에 타측 헤드 유니트에서는 패턴 피치가 다른 글라스 모델과 대응하는 프로브 카드 교체 작업을 수행할 수가 있게 되므로, 프로브 카드 세트의 교체에 따른 장비의 대기시간을 줄여 시스템의 런타임을 높일 수 있게 되는 것이다.
한편, 본 발명에서 기재된 내용과 다른 변형된 실시예들이 돌출 된다고 하더라도 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 본 발명에 첨부된 청구범위 내에 속하게 됨은 물론이다.
10: 베이스플레이트, 20: 제 1리니어 모터,
30: 스테이지, 32: 리프트 핀,
34: 프리 얼라이너, 36: 척,
38: 몸체, 40: 제 2리니어 모터,
50: 헤드 유니트, 52: 브라켓트,
54: 카메라, 56a,56b,56c,56d,56e: 구동모터,
60: 프르브 카드, 70: 체인지 키트,
72: 선반, 74: 슬라이딩 레일,
76: 실린더, 100: 글라스,
A: 검사영역, B: 대기영역.

Claims (4)

  1. 중앙에 평판디스플레이 글라스의 검사가 수행되는 검사영역이 구비되고, 그 양측으로는 대기영역 구비된 베이스플레이트와;
    상기 베이스플레이트의 검사영역에 설치되어 소정 글라스가 안착되는 스테이지와;
    상기 글라스에 형성된 회로패턴에 전기적으로 접촉하면서 회로패턴의 특성을 검사하는 다수 개의 프르브 카드가 장착되되, 상기 베이스플레이트 상측에 적어도 2개 이상이 설치되는 헤드 유니트와;
    상기 스테이지를 전.후 방향으로 이송시키는 제 1리니어 모터 및;
    상기 다수 개의 헤드 유니트를 좌.우 방향으로 이송시키는 제 2리니어 모터를 포함하여 구성된 것;을 특징으로 하는 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 베이스플레이트의 대기영역에는 소정 글라스 모델과 대응되는 프르브 카드 세트가 선택적으로 거치되는 체인지 키트가 설치되되,
    상기 체인지 키트는 상기 프르브 카드 세트가 거치되는 복층구조의 선반이 구비되고, 상기 선반은 슬라이딩 레일을 따라 전.후진이 가능함과 아울러, 실린더를 매개로 상.하 이송 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 헤드 유니트는,
    상기 제 2리니어 모터에 장착되어 유니트가 좌.우 이송 가능하도록 하는 브라켓트와,
    상기 글라스에 형성된 회로패턴에 전기적으로 접촉하여 회로패턴의 특성을 검사하는 다수 개의 프르브 카드와,
    상기 프르브 카드의 핀 및 측정 영역을 촬영하는 다수 개의 카메라 및,
    상기 프르브 카드의 상.하 이동 및 상기 카메라의 상.하 및 좌.우 이동이 가능하도록 하는 다수 개의 구동모터를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 스테이지는,
    그 상측에 글라스가 안착되는 사각판 형상의 몸체로 이루어지되,
    그 몸체 상면에는 글라스를 안착시키기 위한 다수 개의 리프트 핀과,
    해당 글라스의 위치 결정을 위한 다수 개의 프리 얼라이너 및,
    에어 블로잉 기능과 더불어 상기 글라스를 선택적으로 회전시키도록 몸체 중앙에 구비되는 척을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치.
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