JP2004251693A - 検知装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】対象物確認手段と対象物高さ検知部における先端部の間隔を略同一に保つことができ、対象物高さ検知手段による対象物の高さの検知を適切に行うことができる。
【解決手段】液晶カラーフィルタ基板に沿って移動して、液晶カラーフィルタ基板における異物を確認するＣＣＤカメラと、異物と接触して異物の高さを検知する異物高さ検知部２を有し、ＣＣＤカメラにより確認された異物の位置へ移動して、異物高さ検知部２により異物の高さを検知する異物高さ検知手段３３と、を備え、異物高さ検知手段３３は、測定子３における先端部４又は先端部４近傍を回転中心として、回動した状態で固定される。
【選択図】 図１０
【解決手段】液晶カラーフィルタ基板に沿って移動して、液晶カラーフィルタ基板における異物を確認するＣＣＤカメラと、異物と接触して異物の高さを検知する異物高さ検知部２を有し、ＣＣＤカメラにより確認された異物の位置へ移動して、異物高さ検知部２により異物の高さを検知する異物高さ検知手段３３と、を備え、異物高さ検知手段３３は、測定子３における先端部４又は先端部４近傍を回転中心として、回動した状態で固定される。
【選択図】 図１０
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶カラーフィルタ基板等の平板状の被検知部材に沿って移動して、被検知部材における、溶剤、ゴミ、手垢等の異物等である対象物を確認する対象物確認手段と、対象物確認手段により確認された対象物の位置へ移動して、対象物の高さを検知する対象物高さ検知手段と、を備えた検知装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＣＣＤカメラ等により照明し、基板表面上の異物を検知する装置が知られている。
【０００３】
更に、従来から、異物高さ検知手段として、接触式の表面粗さ計が用いられている（例えば、特許文献１参照。）。または、非接触式のエアマイクロセンサー等が使用されている（例えば、特許文献２参照）。
異物確認手段（図示せず）により異物が確認された後、異物高さ検知手段によって異物の高さが検知される。検知された異物の高さ情報は、例えば、表示部（図示せず）に伝達されて操作者が異物の高さを確認したり、異物除去部（図示せず）に伝達されて、異物除去部が異物の高さ情報に基づき異物の除去を行ったりする。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−２５３８１８号公報（第３頁、図１）
【特許文献２】
特開平１０−２１７０８９号公報（第２−３頁、図１）
【特許文献３】
特開平１０−６８６１８号公報（第１−３頁、図５）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、接触式の表面粗さ計の測定子は一般に被測定物と点接触するものであり、また、エアマイクロセンサーの場合は、被測定物に対する噴射エアーの背圧を基に異物の高さを検知しようとするものであるため、測定子が異物のどこの部分に接触するかによって、又は、異物の形状によっては、その異物の最高部の高さを正確に測定できない場合があった。
【０００６】
そこで、これらの不具合を解消するために、図１５におけるような、異物の水平方向の幅より充分に長い直線部分を有する先端部４のような形状の先端部を有する異物高さ検知手段５１を備えた異物検知装置５２が考えられる。この異物高さ検知部２により異物の高さを検知する異物検知装置５２において、異物高さ検知部２における先端部４が被検査物と線接触する形状とすることにより、図１６（ａ）におけるように傾斜している場合は異物の高さ検知が不正確となる問題があり、そのため、２本の調整ネジ５５により調整することで異物高さ検知部２を回動した後に固定することで、図１６（ｂ）に示すように異物高さ検知部２における先端部４を水平状態とする必要があるが、この場合、異物高さ検知部２が回動する回転中心は、異物高さ検知部２の上方に位置する硬球５６が設けられている部分であるため、異物高さ検知部２の回動により、異物高さ検知部２における先端部４が長さａだけ位置変更した状態で固定されてしまい、異物確認手段により異物が確認された後、予め決められた距離だけ異物高さ検知部２が移動しても、その位置に異物がなかったり、異物の端部を検知したりして、異物の高さを正確に検知できなかった。また、この際、異物の高さを再検知するため、再度、２本の調整ネジ５５を調整することにより異物高さ検知部２を回動した後に固定し、異物を検知し直すという動作を行わねばならない問題があり、それでも、正確に異物を検知できない場合、予め、記憶されている異物確認手段と異物高さ検知部２間の間隔に関する情報を記憶し直す問題がある。
尚、この問題点は、図１５におけるように、支持部３１と先端部４とで逆Ｔ字状を形成しているものの他にも、異物等の高さを触針により測定する測定器において、触針用の針の先端部形状を走査方向に一定の平坦な直線部分の幅を有する形状とした技術においても、同様に存在する（例えば、前記特許文献３参照）。
【０００７】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、対象物高さ検知手段の位置を変更しても、対象物高さ検知部における先端部の位置は変更せず、対象物確認手段と対象物高さ検知部における先端部の間隔を略同一に保つことができ、対象物高さ検知手段による対象物の高さの検知を適切に行うことができる検知装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
以上の目的のため、本発明は、被検知部材に沿って相対移動して、被検知部材における対象物を確認する対象物確認手段と、対象物と接触して対象物の高さを検知する対象物高さ検知部を有し、前記対象物確認手段により確認された対象物の位置へ相対移動して、前記対象物高さ検知部により対象物の高さを検知する対象物高さ検知手段と、を備え、前記対象物高さ検知部は、該対象物高さ検知部における先端部又は該先端部近傍を回転中心として回動可能としたことを特徴とする検知装置である。
【０００９】
本発明によれば、対象物高さ検知部は、対象物高さ検知部における先端部又は先端部近傍を回転中心として、回動可能であるので、対象物と対象物高さ検知部における先端部の角度を適切にするため対象物高さ検知部の位置を回動させても、対象物高さ検知部における先端部の位置は変更せず、対象物確認手段と対象物高さ検知部における先端部の間隔を略同一に保つことができ、対象物高さ検知部による対象物の高さの検知を適切に行うことができる。
【００１０】
更に、本発明は、前記対象物高さ検知部における前記先端部が対象物と線接触するので、従来の先端部が対象物と点接触するものに比べ、対象物の形状に拘らず、対象物の高さを正確に測定することができる。
【００１１】
更に、本発明は、前記対象物確認手段と前記対象物高さ検知手段とは、一体として被検知部材に沿って移動するので、対象物を確認した後で、対象物の高さを検知する際、複雑な制御を行うことなしに、対象物高さ検知手段の移動量にずれが生じることを防止でき、適切に対象物の高さを検知できる。
【００１２】
更に、本発明は、前記対象物高さ検知手段により高さを検知された対象物を除去する対象物除去手段を備え、該対象物除去手段は、前記対象物確認手段及び前記対象物高さ検知手段と一体として被検知部材に沿って移動するので、対象物の高さを検知した後で、対象物を除去する際、複雑な制御を行うことなしに、対象物除去手段の移動量にずれが生じることを防止でき、適切に対象物を除去できる。
【００１３】
更に、本発明は、前記対象物高さ検知手段は、前記先端部又は前記先端部近傍を回転中心として回動する回動部を有するゴニオステージを備え、前記回動部に対し前記対象物高さ検知部を固定したので、簡単な構成により、対象物確認手段と対象物高さ検知部における先端部の間隔を略同一に保つことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態による検知装置１を、図面にそって説明する。
まず始めに、図１〜図３を参照して、異物の高さを検知すると共に、検知した異物の高さ情報を出力する機能を有する異物（対象物）高さ検知部（電気マイクロ）２において、測定子３における先端部４が異物との接触する先端部４の下面５を角度調整する方法につき、説明する。
【００１５】
図１〜図３は、異物との接触する先端部４の下面５の角度と異物高さ測定結果との関係を示す図である。この測定は、ガラス板６の表面にエッチングにより高さ３μｍの半球状の突起７を形成した基準突起プレート８を使用し、突起７の高さを、測定子３を備えた異物高さ検知部２で検知することにより実施している。
【００１６】
図１（ａ）におけるように、測定子３の先端部４の下面５の左側が上方へ向いて傾斜している場合、検知部２を矢印Ａの方向に一定間隔ずつ移動させて、その位置での突起高さを測定し、順次、測定を繰り返すと、図１（ｂ）におけるように、左方の計測位置において突起高さの測定結果が大きくなるという歪んだ測定結果となる。
図２（ａ）におけるように、上記と同様の測定を行うと、測定子３の先端部４の下面５の右側が上方へ向いて傾斜している場合、図２（ｂ）におけるように、右方の計測位置において突起高さの測定結果が大きくなるという歪んだ測定結果となる。
【００１７】
これに対し、図３（ａ）におけるように、測定子３の先端部４の下面５が水平である適切な状態の場合、上記と同様の測定を行うと、図３（ｂ）におけるように、左右対称で中央部が平坦な測定結果となる。
【００１８】
そこで、測定子３の先端部分５を水平にして、図３（ｂ）におけるような測定結果を得るためには、図１（ａ）における場合は、図４におけるように、異物高さ検知部２を左方へ回動して固定する必要があり、図２（ａ）における場合は、図５におけるように、異物高さ検知部２を右方へ回動して固定する必要がある。
そのため、図１（ａ）における場合や図２（ａ）における場合は、図３（ｂ）におけるような測定結果を得るまで、異物高さ検知部２を回動して測定するという動作を繰り返す必要があった。
【００１９】
尚、測定子３の先端部４の下面５を水平にしなければならない理由は、以下の通りである。
即ち、図６におけるように、異物高さ検知部２における測定子３の先端部４は、液晶カラーフィルタ基板２４上をＹ軸方向の一方向へ移動し、それから、測定子３の先端部４の幅の長さ部だけＸ軸方向へ位置移動し、それから、Ｙ軸方向の一方向とは逆方向へ移動し、それから又、測定子３の先端部４の幅の長さ部だけＸ軸方向へ位置移動し、それから又、Ｙ軸方向の一方向へ移動する、との動作を繰返すことにより、液晶カラーフィルタ基板２４上の異物高さを検知する。
【００２０】
この際、異物高さ検知部２がＹ軸方向に移動している際、測定子３の先端部４が異物に接触すると、先端部４は異物の乗り越えつつＹ軸方向へ移動するが、先端部４が異物を乗り越えた際の先端部４の移動量を計測することにより、異物の高さを測定している。
【００２１】
もし、図７におけるように、測定子３の先端部４が水平状態にあれば、先端部４の下面５の何れの部分が異物に接触しても正確な測定結果を得られる。しかし、図８おけるように、測定子３の先端部４が傾斜している場合、液晶カラーフィルタ基板２４上には測定子３の先端部４の一端部のみ接触することとなり、先端部４の一端部に対し反対側の端部は、液晶カラーフィルタ基板２４から浮いた状態となる。この反対側の端部が異物に接触すると、元々、この反対側の端部は浮いた状態であるため、液晶カラーフィルタ基板２４と接触している部分が異物を乗り越えるより、少ない先端部４の移動量により異物を乗り越えることができてしまう。
【００２２】
このように、測定子３の先端部４が傾斜している場合、先端部４の何れの部分が異物と接触するかによって、現実の異物の高さよりも小さい異物の高さと計測してしまうこととなる。
以上の理由により、測定子３の先端部４の下面５を水平にしなければならないものである。
【００２３】
図９を参照として、本発明の実施の形態による検知装置１を説明する。
床面には、架台９が載置されており、架台９には、定盤１０が固定されている。
定盤１０の両端部の各々には、Ｙ軸方向（図６における紙面に対して直交する方向）に平行に延びる２本のＹ軸ガイド１１が固定されている。２本のＹ軸ガイド１１の各々には、２本のＹ軸スライダー１２がＹ軸リニアモータ６０によりＹ軸摺動面１４に沿ってスライド可能に設けられている。
【００２４】
２本のＹ軸スライダー１２上に亘って、Ｘ軸方向に延びる長方形状のＸ軸ビーム１５が固定されている。Ｘ軸ビーム１５には、Ｘ軸スライダー１６がＸ軸リニアモータ（図示せず）によりスライド可能に設けられている。
【００２５】
Ｘ軸スライダー１６には、異物確認手段３２としのＣＣＤカメラ１７と、異物高さ検知部２における測定子３を備えた異物高さ検知手段３３と、異物除去手段としての研磨ヘッド１８と、が一体として取り付けられており、それぞれは図示しない移動手段によってｚ軸方向に移動する。
また、ＣＣＤカメラ１７、異物高さ検知手段３３、及び研磨ヘッド１８は、一体として、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動する。
【００２６】
定盤１０には、長方形状のテーブル２３が固定されており、テーブル２３には、ワーク（被検知部材）としての液晶カラーフィルタ基板２４が載置されている。
ＣＣＤカメラ１７は、該カメラ１７の近傍に取付けられた投光照明部１９Ａと、Ｘ軸スライダー１６と同期して移動する透過照明部１９Ｂからの光線がフィルタ基板２４を透過して顕微鏡２０を介して入力されることにより、異物を確認する。
【００２７】
異物高さ検知手段３３については、後述する。
研磨ヘッド１８は、研磨フィルムの送り出しリール１８Ａと巻取りリール１８Ｂとを備え、巻取りリール１８Ｂは図示しないモーターによって回動される。また、移動しつつ異物を研磨して除去する研磨フィルム２１と、直線運動をする駆動手段２２Ｂによって研磨フィルム２１を異物に押し当てる押し当て部２２Ａと、送り出しリール１８Ａと押し当て部２２Ａとの間および押し当て部２２Ａと巻取りリール１８Ｂとの間に設けられており、研磨フィルム２１を掛け渡すアイドラー２２Ｃ、２２Ｄと、を備えている。
【００２８】
次に、図１０、図１１を参照にして、本発明の実施の形態による検知装置１における異物高さ検知手段３３について説明する。
この異物高さ検知手段３３は、ゴニオステージ２５と異物高さ検知部（電気マイクロ）２を備えており、異物高さ検知部２は測定子３を備えている。
【００２９】
ゴニオステージ２５とは、ステージの幅方向中央に対して法線ｓ上にある一点ｈを回転中心として、弧を描くような方向ｊへ回動するステージ（支持台）である。ゴニオステージ２５は、下方に固定面２７としての曲面を有し、基台となる固定部２８と、固定部２８における固定面２７に対して回動する回動面２９としての曲面を有する回動部３０と、を備えている。
ゴニオステージ２５の固定部２８の下方の固定面２７は、測定子３における先端部４の中心位置ｈを回転中心として、先端部４の長手方向の傾きを是正するように、液晶カラーフィルタ基板２４に対し直交し、かつ先端部４の長手方向を含む面で、弧を描くような曲面形状とされている。
【００３０】
ゴニオステージ２５の固定部２８に対する回動部３０の位置変更は、手動により、又は、スイッチ（図示せず）の操作により電動で、行われる。
ゴニオステージ２５の回動部３０には、異物高さ検知部２が一体として固定されている。
【００３１】
異物高さ検知部２の下端中央部には、測定子３が存在している。測定子３は、下方に延びる支持部３１と、支持部３１の下端部に一体として固定され異物と接触する、下面５が被検知部材と線接触するように、一定の長さを持ち、且つ下方に突出する略かまぼこ状の先端部４と、を備えている。
【００３２】
図１０におけるように、下面５は、正面から見て、水平であることが望ましい。しかしながら、実際には、図１１（ａ）におけるように、下面５が水平方向に対し傾斜していることがある。この場合、図１１（ｂ）におけるように、ゴニオステージ２５の固定部２８の固定面２７に対して回動部３０の回動面２９を回動させた状態で固定することにより、測定子３の先端部４の下面５を水平にすることができる。しかも、測定子３の先端部４内における支持部３１の延長線上に、ゴニオステージ２５の回動部３０が回動する回転中心ｈを設けたため、回動に際して先端部４の中心の位置が移動することを防止できる。
【００３３】
図１２は、本発明の実施の形態による測定子３を示す他の実施例である。
図１２（ａ）は測定子３を示す側面図であり、図１２（ｂ）は測定子３の下端部分を示す正面図である。
図１０における測定子３が支持部３１に対し先端部４が水平方向に延びて、支持部３１と先端部４とで逆Ｔ字状を形成しているのに対し、この実施例では、支持部３１が太い棒状となっており、先端部４は支持部３１よりも水平方向の面積が小さくなっている。尚、この実施例においても、先端部４の下面５がかまぼこ状となっている点は、図１０におけるものと同様である。
【００３４】
図１３は、本発明の実施の形態による異物高さ検知手段３３の他の実施例である。
この実施例において、ステージの幅方向中央から幅方向に対して離れた位置にゴニオステージ２５の固定部２８と回動部３０を設け、ゴニオステージ２５の固定部２８の固定面２７に対して回動部３０の回動面２９を回動させている。
このため、ゴニオステージ２５の固定部２８と回動部３０をステージの幅方向中央に設けた場合に比べ、異物高さ検知手段３３の法線ｓ方向の長さを短くでき、異物高さ検知手段３３の小型化、省スペース化を図ることができる。
【００３５】
図１４は、本発明の実施の形態による異物高さ検知手段３３において、固定部２８に対する回動部３０の位置変更を、手動により行なうための操作を示す図である。
図１４において、まず、固定ネジ６１を回転させることにより、固定ネジ６１が回動部３０を固定部２８に対して固定する状態から、回動部３０を固定部２８に対して回動可能な状態に変更する。
それから、調整ネジ６２を回転させることにより、回動部３０の固定部２８に対する位置を変更する。調整ネジ６２を時計周りに回転させることにより、回動部３０は向かって右方向へ移動し、調整ネジ６２を反時計周りに回転させることにより、回動部３０は向かって左方向へ移動する。
回動部３０の位置を変更した後、固定ネジ６１を前記回転方向と逆方向へ回転させることにより、固定ネジ６１が回動部３０を固定部２８に対して固定する状態となる。
以上により、固定部２８に対する回動部３０の位置変更が終了する。
【００３６】
次に、本発明の実施の形態による検知装置１の動作につき、説明する。
図１〜図３におけるように、テーブル２３上に、基準突起プレート８を載せ、この基準突起プレート８における突起７に対し、異物高さ検知部２における測定子３を接触させることにより突起高さを測定し、その結果により、測定子３における先端部４の下面５が水平か否かを確認する。
【００３７】
もし、測定子３における先端部４の下面５が水平でない場合、図１１（ｂ）におけるように、ゴニオステージ２５の固定部２８の固定面２７に対して回動部３０の回動面２９を回動させた状態で固定し、再度、突起高さを測定して、測定子３における先端部４の下面５が水平か否かを確認する。この動作を、測定子３における先端部４の下面５が水平であると確認できるまで繰り返す。
【００３８】
この際、測定子３における先端部４を回転中心として、ゴニオステージ２５の回動部３０の回動面２９が固定部２８の固定面２７に沿って回動しているため、測定子３における先端部４の位置に変動はない。
この状態で、基準突起プレート８を取り去り、被検知部材としてのフィルタ基板２４をテーブル２３に載置する。
【００３９】
それから、操作部（図示せず）におけるスタートボタンを押す。すると、前工程（図示せず）で確認された突起位置のデータ−に基づいて、異物確認手段３２が下方の検知位置に移動すると共に、投光照明部１９Ａ、透過照明部１９Ｂによる照明が行われる。
そして、Ｘ軸ビーム１５に沿ってＸ軸スライダー１６が、図示されないＸ軸リニアモータによって移動し始めると共に、Ｙ軸ガイド１１に沿ってＹ軸スライダー１２もＹ軸リニアモータ６０によって移動し始め、異物を確認する。これにより、異物確認手段３２は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動して、異物を確認できる。異物高さ検知手段３３及び研磨ヘッド１８も、異物確認手段３２と一体に移動する。
【００４０】
異物確認手段３２により異物が確認されると、異物高さ検知手段３３が異物の位置の上方に移動する。この際、例えば、異物確認手段３２と異物高さ検知手段３３における先端部４との間隔はＸ軸方向に対し３００ｍｍと定められていれば、異物高さ検知手段３３がＸ軸方向へ３００ｍｍ移動することとなる。
異物高さ検知手段３３は、図示しない移動手段によって、測定子３の先端部４の下面５が異物に接触するまで下方に移動し、カラーフィルタ基板２４に当接した後、リニアモータ６０によってＹ軸方向に移動することにより、異物の高さを測定し、その情報を、研磨ヘッド１８へ伝達する。
【００４１】
研磨ヘッド１８は、図示しないＸ軸リニアモータ及びＹ軸リニアモータ６０によって、異物の上方に移動し、伝達された異物の高さ情報により所定の高さまで、押し当て部２２により研磨部２１を異物に押し当てつつ、研磨部２１を下方に移動して異物を除去する。
異物の除去が終了した場合、研磨ヘッド１８における押し当て部２２は初期位置へ戻ると共に、研磨部２１の移動は停止する。
それから、再度、異物の個数分、上記動作を繰返す。
【００４２】
本発明の実施の形態による検知装置１によれば、フィルタ基板２４に沿って移動して、フィルタ基板２４における異物を確認するＣＣＤカメラ１７と、異物と接触して異物の高さを検知する異物高さ検知部２を有し、ＣＣＤカメラ１７により確認された異物の位置へ移動して、異物高さ検知部２により異物の高さを検知する異物高さ検知手段３３と、を備え、異物高さ検知部２は、測定子３の先端部４又は先端部４近傍を回転中心として、回動可能とされる。
【００４３】
これにより、異物高さ検知部２は、測定子３の先端部４又は先端部４近傍を回転中心として、所定の回動した状態で固定されるので、異物と先端部４の下面５の角度を適切にするため異物高さ検知部２の位置を変更しても、測定子３の先端部４の中心位置は変化せず、ＣＣＤカメラ１７と測定子３の先端部４の中心部の間隔を略同一に保つことができ、異物高さ検知部２による異物の高さの検知を適切に行うことができる。
【００４４】
更に、本発明は、ＣＣＤカメラ１７と異物高さ検知手段３３とは、一体としてフィルタ基板２４に沿って移動するので、異物を確認した後で、異物の高さを検知する際、複雑な制御を行うことなしに、異物高さ検知手段３３の移動量にずれが生じることを防止でき、適切に異物の高さを検知できる。
【００４５】
更に、本発明は、異物高さ検知手段３３により高さを検知された異物を除去する研磨ヘッド１８を備え、研磨ヘッド１８は、ＣＣＤカメラ１７及び異物高さ検知手段３３と一体としてフィルタ基板２４に沿って移動するので、異物の高さを検知した後で、異物を除去する際、複雑な制御を行うことなしに、研磨ヘッド１８の移動量にずれが生じることを防止でき、適切に異物を除去できる。
【００４６】
更に、本発明は、異物高さ検知手段３３が、先端部４の中心を回転中心として回動する回動部３０を有するゴニオステージ２５を備え、回動部３０に対し異物高さ検知部２を固定したので、簡単な構成により、ＣＣＤカメラ１７と測定子３における先端部４の中心との間隔を略同一に保つことができる。
【００４７】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、対象物高さ検知部は、対象物高さ検知部における先端部又は該先端部近傍を回転中心として、回動可能としたので、対象物と対象物高さ検知部における先端部の角度を適切にするため対象物高さ検知部の位置を変更しても、対象物高さ検知部における先端部の位置は変更せず、対象物確認手段と対象物高さ検知部における先端部の間隔を略同一に保つことができ、対象物高さ検知部による対象物の高さの検知を適切に行うことができる。
【００４８】
更に、本発明は、前記対象物高さ検知部における前記先端部が対象物と線接触するので、従来の先端部が対象物と点接触するものに比べ、対象物の形状に拘らず、対象物の高さを正確に測定することができる。
【００４９】
更に、本発明は、前記対象物確認手段と前記対象物高さ検知手段とは、一体として被検知部材に沿って移動するので、対象物を確認した後で、対象物の高さを検知する際、複雑な制御を行うことなしに、対象物高さ検知手段の移動量にずれが生じることを防止でき、適切に対象物の高さを検知できる。
【００５０】
更に、本発明は、前記対象物高さ検知手段により高さを検知された対象物を除去する対象物除去手段を備え、該対象物除去手段は、前記対象物確認手段及び前記対象物高さ検知手段と一体として被検知部材に沿って移動するので、対象物の高さを検知した後で、対象物を除去する際、複雑な制御を行うことなしに、対象物除去手段の移動量にずれが生じることを防止でき、適切に対象物を除去できる。
【００５１】
更に、本発明は、前記対象物高さ検知手段は、前記先端部の中心又は前記先端部の中心の近傍を回転中心として回動する回動部を有するゴニオステージを備え、前記回動部に対し前記対象物高さ検知部を固定したので、簡単な構成により、対象物確認手段と対象物高さ検知部における先端部の間隔を略同一に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による測定子の先端部の角度と異物との関係を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態による測定子の先端部の角度と異物との関係を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態による測定子の先端部の移動方向を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態による測定子の下面の角度と突起高さの計測結果との関係である。
【図５】本発明の実施の形態による測定子の下面の角度と突起高さの計測結果との関係である。
【図６】本発明の実施の形態による測定子の下面の角度と突起高さの計測結果との関係である。
【図７】本発明の実施の形態による測定子の下面の角度を調整した状態の正面図である。
【図８】本発明の実施の形態による測定子の下面の角度を調整した状態の正面図である。
【図９】本発明の実施の形態による検知装置を示す全体図である。
【図１０】本発明の実施の形態による異物高さ検知手段を示す正面図である。
【図１１】本発明の実施の形態による異物高さ検知手段を示す正面図である。
【図１２】本発明の実施の形態による測定子の他の実施例を示す図である。
【図１３】本発明の実施の形態による異物高さ検知手段の他の実施例を示す正面図である。
【図１４】本発明の実施の形態において、異物高さ検知部の位置変更を行なうための構成を示す図である。
【図１５】従来技術による異物高さ検知手段を示す図である。
【図１６】従来技術による異物高さ検知手段を示す図である。
【符号の説明】
１ 検知装置
２ 異物高さ検知部（対象物高さ検知部）
３ 測定子
４ 先端部
５ 下面
１７ ＣＣＤカメラ
１８ 研磨ヘッド
１９Ｂ 透過照明部
２０ 顕微鏡
２４ 液晶カラーフィルタ基板
２５ ゴニオステージ
２７ 固定面
２８ 固定部
２９ 回動面
３０ 回動部
３２ 異物確認手段（対象物確認手段）
３３ 異物高さ検知手段（対象物高さ検知手段）
ｈ 回転中心
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶カラーフィルタ基板等の平板状の被検知部材に沿って移動して、被検知部材における、溶剤、ゴミ、手垢等の異物等である対象物を確認する対象物確認手段と、対象物確認手段により確認された対象物の位置へ移動して、対象物の高さを検知する対象物高さ検知手段と、を備えた検知装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＣＣＤカメラ等により照明し、基板表面上の異物を検知する装置が知られている。
【０００３】
更に、従来から、異物高さ検知手段として、接触式の表面粗さ計が用いられている（例えば、特許文献１参照。）。または、非接触式のエアマイクロセンサー等が使用されている（例えば、特許文献２参照）。
異物確認手段（図示せず）により異物が確認された後、異物高さ検知手段によって異物の高さが検知される。検知された異物の高さ情報は、例えば、表示部（図示せず）に伝達されて操作者が異物の高さを確認したり、異物除去部（図示せず）に伝達されて、異物除去部が異物の高さ情報に基づき異物の除去を行ったりする。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−２５３８１８号公報（第３頁、図１）
【特許文献２】
特開平１０−２１７０８９号公報（第２−３頁、図１）
【特許文献３】
特開平１０−６８６１８号公報（第１−３頁、図５）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、接触式の表面粗さ計の測定子は一般に被測定物と点接触するものであり、また、エアマイクロセンサーの場合は、被測定物に対する噴射エアーの背圧を基に異物の高さを検知しようとするものであるため、測定子が異物のどこの部分に接触するかによって、又は、異物の形状によっては、その異物の最高部の高さを正確に測定できない場合があった。
【０００６】
そこで、これらの不具合を解消するために、図１５におけるような、異物の水平方向の幅より充分に長い直線部分を有する先端部４のような形状の先端部を有する異物高さ検知手段５１を備えた異物検知装置５２が考えられる。この異物高さ検知部２により異物の高さを検知する異物検知装置５２において、異物高さ検知部２における先端部４が被検査物と線接触する形状とすることにより、図１６（ａ）におけるように傾斜している場合は異物の高さ検知が不正確となる問題があり、そのため、２本の調整ネジ５５により調整することで異物高さ検知部２を回動した後に固定することで、図１６（ｂ）に示すように異物高さ検知部２における先端部４を水平状態とする必要があるが、この場合、異物高さ検知部２が回動する回転中心は、異物高さ検知部２の上方に位置する硬球５６が設けられている部分であるため、異物高さ検知部２の回動により、異物高さ検知部２における先端部４が長さａだけ位置変更した状態で固定されてしまい、異物確認手段により異物が確認された後、予め決められた距離だけ異物高さ検知部２が移動しても、その位置に異物がなかったり、異物の端部を検知したりして、異物の高さを正確に検知できなかった。また、この際、異物の高さを再検知するため、再度、２本の調整ネジ５５を調整することにより異物高さ検知部２を回動した後に固定し、異物を検知し直すという動作を行わねばならない問題があり、それでも、正確に異物を検知できない場合、予め、記憶されている異物確認手段と異物高さ検知部２間の間隔に関する情報を記憶し直す問題がある。
尚、この問題点は、図１５におけるように、支持部３１と先端部４とで逆Ｔ字状を形成しているものの他にも、異物等の高さを触針により測定する測定器において、触針用の針の先端部形状を走査方向に一定の平坦な直線部分の幅を有する形状とした技術においても、同様に存在する（例えば、前記特許文献３参照）。
【０００７】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、対象物高さ検知手段の位置を変更しても、対象物高さ検知部における先端部の位置は変更せず、対象物確認手段と対象物高さ検知部における先端部の間隔を略同一に保つことができ、対象物高さ検知手段による対象物の高さの検知を適切に行うことができる検知装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
以上の目的のため、本発明は、被検知部材に沿って相対移動して、被検知部材における対象物を確認する対象物確認手段と、対象物と接触して対象物の高さを検知する対象物高さ検知部を有し、前記対象物確認手段により確認された対象物の位置へ相対移動して、前記対象物高さ検知部により対象物の高さを検知する対象物高さ検知手段と、を備え、前記対象物高さ検知部は、該対象物高さ検知部における先端部又は該先端部近傍を回転中心として回動可能としたことを特徴とする検知装置である。
【０００９】
本発明によれば、対象物高さ検知部は、対象物高さ検知部における先端部又は先端部近傍を回転中心として、回動可能であるので、対象物と対象物高さ検知部における先端部の角度を適切にするため対象物高さ検知部の位置を回動させても、対象物高さ検知部における先端部の位置は変更せず、対象物確認手段と対象物高さ検知部における先端部の間隔を略同一に保つことができ、対象物高さ検知部による対象物の高さの検知を適切に行うことができる。
【００１０】
更に、本発明は、前記対象物高さ検知部における前記先端部が対象物と線接触するので、従来の先端部が対象物と点接触するものに比べ、対象物の形状に拘らず、対象物の高さを正確に測定することができる。
【００１１】
更に、本発明は、前記対象物確認手段と前記対象物高さ検知手段とは、一体として被検知部材に沿って移動するので、対象物を確認した後で、対象物の高さを検知する際、複雑な制御を行うことなしに、対象物高さ検知手段の移動量にずれが生じることを防止でき、適切に対象物の高さを検知できる。
【００１２】
更に、本発明は、前記対象物高さ検知手段により高さを検知された対象物を除去する対象物除去手段を備え、該対象物除去手段は、前記対象物確認手段及び前記対象物高さ検知手段と一体として被検知部材に沿って移動するので、対象物の高さを検知した後で、対象物を除去する際、複雑な制御を行うことなしに、対象物除去手段の移動量にずれが生じることを防止でき、適切に対象物を除去できる。
【００１３】
更に、本発明は、前記対象物高さ検知手段は、前記先端部又は前記先端部近傍を回転中心として回動する回動部を有するゴニオステージを備え、前記回動部に対し前記対象物高さ検知部を固定したので、簡単な構成により、対象物確認手段と対象物高さ検知部における先端部の間隔を略同一に保つことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態による検知装置１を、図面にそって説明する。
まず始めに、図１〜図３を参照して、異物の高さを検知すると共に、検知した異物の高さ情報を出力する機能を有する異物（対象物）高さ検知部（電気マイクロ）２において、測定子３における先端部４が異物との接触する先端部４の下面５を角度調整する方法につき、説明する。
【００１５】
図１〜図３は、異物との接触する先端部４の下面５の角度と異物高さ測定結果との関係を示す図である。この測定は、ガラス板６の表面にエッチングにより高さ３μｍの半球状の突起７を形成した基準突起プレート８を使用し、突起７の高さを、測定子３を備えた異物高さ検知部２で検知することにより実施している。
【００１６】
図１（ａ）におけるように、測定子３の先端部４の下面５の左側が上方へ向いて傾斜している場合、検知部２を矢印Ａの方向に一定間隔ずつ移動させて、その位置での突起高さを測定し、順次、測定を繰り返すと、図１（ｂ）におけるように、左方の計測位置において突起高さの測定結果が大きくなるという歪んだ測定結果となる。
図２（ａ）におけるように、上記と同様の測定を行うと、測定子３の先端部４の下面５の右側が上方へ向いて傾斜している場合、図２（ｂ）におけるように、右方の計測位置において突起高さの測定結果が大きくなるという歪んだ測定結果となる。
【００１７】
これに対し、図３（ａ）におけるように、測定子３の先端部４の下面５が水平である適切な状態の場合、上記と同様の測定を行うと、図３（ｂ）におけるように、左右対称で中央部が平坦な測定結果となる。
【００１８】
そこで、測定子３の先端部分５を水平にして、図３（ｂ）におけるような測定結果を得るためには、図１（ａ）における場合は、図４におけるように、異物高さ検知部２を左方へ回動して固定する必要があり、図２（ａ）における場合は、図５におけるように、異物高さ検知部２を右方へ回動して固定する必要がある。
そのため、図１（ａ）における場合や図２（ａ）における場合は、図３（ｂ）におけるような測定結果を得るまで、異物高さ検知部２を回動して測定するという動作を繰り返す必要があった。
【００１９】
尚、測定子３の先端部４の下面５を水平にしなければならない理由は、以下の通りである。
即ち、図６におけるように、異物高さ検知部２における測定子３の先端部４は、液晶カラーフィルタ基板２４上をＹ軸方向の一方向へ移動し、それから、測定子３の先端部４の幅の長さ部だけＸ軸方向へ位置移動し、それから、Ｙ軸方向の一方向とは逆方向へ移動し、それから又、測定子３の先端部４の幅の長さ部だけＸ軸方向へ位置移動し、それから又、Ｙ軸方向の一方向へ移動する、との動作を繰返すことにより、液晶カラーフィルタ基板２４上の異物高さを検知する。
【００２０】
この際、異物高さ検知部２がＹ軸方向に移動している際、測定子３の先端部４が異物に接触すると、先端部４は異物の乗り越えつつＹ軸方向へ移動するが、先端部４が異物を乗り越えた際の先端部４の移動量を計測することにより、異物の高さを測定している。
【００２１】
もし、図７におけるように、測定子３の先端部４が水平状態にあれば、先端部４の下面５の何れの部分が異物に接触しても正確な測定結果を得られる。しかし、図８おけるように、測定子３の先端部４が傾斜している場合、液晶カラーフィルタ基板２４上には測定子３の先端部４の一端部のみ接触することとなり、先端部４の一端部に対し反対側の端部は、液晶カラーフィルタ基板２４から浮いた状態となる。この反対側の端部が異物に接触すると、元々、この反対側の端部は浮いた状態であるため、液晶カラーフィルタ基板２４と接触している部分が異物を乗り越えるより、少ない先端部４の移動量により異物を乗り越えることができてしまう。
【００２２】
このように、測定子３の先端部４が傾斜している場合、先端部４の何れの部分が異物と接触するかによって、現実の異物の高さよりも小さい異物の高さと計測してしまうこととなる。
以上の理由により、測定子３の先端部４の下面５を水平にしなければならないものである。
【００２３】
図９を参照として、本発明の実施の形態による検知装置１を説明する。
床面には、架台９が載置されており、架台９には、定盤１０が固定されている。
定盤１０の両端部の各々には、Ｙ軸方向（図６における紙面に対して直交する方向）に平行に延びる２本のＹ軸ガイド１１が固定されている。２本のＹ軸ガイド１１の各々には、２本のＹ軸スライダー１２がＹ軸リニアモータ６０によりＹ軸摺動面１４に沿ってスライド可能に設けられている。
【００２４】
２本のＹ軸スライダー１２上に亘って、Ｘ軸方向に延びる長方形状のＸ軸ビーム１５が固定されている。Ｘ軸ビーム１５には、Ｘ軸スライダー１６がＸ軸リニアモータ（図示せず）によりスライド可能に設けられている。
【００２５】
Ｘ軸スライダー１６には、異物確認手段３２としのＣＣＤカメラ１７と、異物高さ検知部２における測定子３を備えた異物高さ検知手段３３と、異物除去手段としての研磨ヘッド１８と、が一体として取り付けられており、それぞれは図示しない移動手段によってｚ軸方向に移動する。
また、ＣＣＤカメラ１７、異物高さ検知手段３３、及び研磨ヘッド１８は、一体として、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動する。
【００２６】
定盤１０には、長方形状のテーブル２３が固定されており、テーブル２３には、ワーク（被検知部材）としての液晶カラーフィルタ基板２４が載置されている。
ＣＣＤカメラ１７は、該カメラ１７の近傍に取付けられた投光照明部１９Ａと、Ｘ軸スライダー１６と同期して移動する透過照明部１９Ｂからの光線がフィルタ基板２４を透過して顕微鏡２０を介して入力されることにより、異物を確認する。
【００２７】
異物高さ検知手段３３については、後述する。
研磨ヘッド１８は、研磨フィルムの送り出しリール１８Ａと巻取りリール１８Ｂとを備え、巻取りリール１８Ｂは図示しないモーターによって回動される。また、移動しつつ異物を研磨して除去する研磨フィルム２１と、直線運動をする駆動手段２２Ｂによって研磨フィルム２１を異物に押し当てる押し当て部２２Ａと、送り出しリール１８Ａと押し当て部２２Ａとの間および押し当て部２２Ａと巻取りリール１８Ｂとの間に設けられており、研磨フィルム２１を掛け渡すアイドラー２２Ｃ、２２Ｄと、を備えている。
【００２８】
次に、図１０、図１１を参照にして、本発明の実施の形態による検知装置１における異物高さ検知手段３３について説明する。
この異物高さ検知手段３３は、ゴニオステージ２５と異物高さ検知部（電気マイクロ）２を備えており、異物高さ検知部２は測定子３を備えている。
【００２９】
ゴニオステージ２５とは、ステージの幅方向中央に対して法線ｓ上にある一点ｈを回転中心として、弧を描くような方向ｊへ回動するステージ（支持台）である。ゴニオステージ２５は、下方に固定面２７としての曲面を有し、基台となる固定部２８と、固定部２８における固定面２７に対して回動する回動面２９としての曲面を有する回動部３０と、を備えている。
ゴニオステージ２５の固定部２８の下方の固定面２７は、測定子３における先端部４の中心位置ｈを回転中心として、先端部４の長手方向の傾きを是正するように、液晶カラーフィルタ基板２４に対し直交し、かつ先端部４の長手方向を含む面で、弧を描くような曲面形状とされている。
【００３０】
ゴニオステージ２５の固定部２８に対する回動部３０の位置変更は、手動により、又は、スイッチ（図示せず）の操作により電動で、行われる。
ゴニオステージ２５の回動部３０には、異物高さ検知部２が一体として固定されている。
【００３１】
異物高さ検知部２の下端中央部には、測定子３が存在している。測定子３は、下方に延びる支持部３１と、支持部３１の下端部に一体として固定され異物と接触する、下面５が被検知部材と線接触するように、一定の長さを持ち、且つ下方に突出する略かまぼこ状の先端部４と、を備えている。
【００３２】
図１０におけるように、下面５は、正面から見て、水平であることが望ましい。しかしながら、実際には、図１１（ａ）におけるように、下面５が水平方向に対し傾斜していることがある。この場合、図１１（ｂ）におけるように、ゴニオステージ２５の固定部２８の固定面２７に対して回動部３０の回動面２９を回動させた状態で固定することにより、測定子３の先端部４の下面５を水平にすることができる。しかも、測定子３の先端部４内における支持部３１の延長線上に、ゴニオステージ２５の回動部３０が回動する回転中心ｈを設けたため、回動に際して先端部４の中心の位置が移動することを防止できる。
【００３３】
図１２は、本発明の実施の形態による測定子３を示す他の実施例である。
図１２（ａ）は測定子３を示す側面図であり、図１２（ｂ）は測定子３の下端部分を示す正面図である。
図１０における測定子３が支持部３１に対し先端部４が水平方向に延びて、支持部３１と先端部４とで逆Ｔ字状を形成しているのに対し、この実施例では、支持部３１が太い棒状となっており、先端部４は支持部３１よりも水平方向の面積が小さくなっている。尚、この実施例においても、先端部４の下面５がかまぼこ状となっている点は、図１０におけるものと同様である。
【００３４】
図１３は、本発明の実施の形態による異物高さ検知手段３３の他の実施例である。
この実施例において、ステージの幅方向中央から幅方向に対して離れた位置にゴニオステージ２５の固定部２８と回動部３０を設け、ゴニオステージ２５の固定部２８の固定面２７に対して回動部３０の回動面２９を回動させている。
このため、ゴニオステージ２５の固定部２８と回動部３０をステージの幅方向中央に設けた場合に比べ、異物高さ検知手段３３の法線ｓ方向の長さを短くでき、異物高さ検知手段３３の小型化、省スペース化を図ることができる。
【００３５】
図１４は、本発明の実施の形態による異物高さ検知手段３３において、固定部２８に対する回動部３０の位置変更を、手動により行なうための操作を示す図である。
図１４において、まず、固定ネジ６１を回転させることにより、固定ネジ６１が回動部３０を固定部２８に対して固定する状態から、回動部３０を固定部２８に対して回動可能な状態に変更する。
それから、調整ネジ６２を回転させることにより、回動部３０の固定部２８に対する位置を変更する。調整ネジ６２を時計周りに回転させることにより、回動部３０は向かって右方向へ移動し、調整ネジ６２を反時計周りに回転させることにより、回動部３０は向かって左方向へ移動する。
回動部３０の位置を変更した後、固定ネジ６１を前記回転方向と逆方向へ回転させることにより、固定ネジ６１が回動部３０を固定部２８に対して固定する状態となる。
以上により、固定部２８に対する回動部３０の位置変更が終了する。
【００３６】
次に、本発明の実施の形態による検知装置１の動作につき、説明する。
図１〜図３におけるように、テーブル２３上に、基準突起プレート８を載せ、この基準突起プレート８における突起７に対し、異物高さ検知部２における測定子３を接触させることにより突起高さを測定し、その結果により、測定子３における先端部４の下面５が水平か否かを確認する。
【００３７】
もし、測定子３における先端部４の下面５が水平でない場合、図１１（ｂ）におけるように、ゴニオステージ２５の固定部２８の固定面２７に対して回動部３０の回動面２９を回動させた状態で固定し、再度、突起高さを測定して、測定子３における先端部４の下面５が水平か否かを確認する。この動作を、測定子３における先端部４の下面５が水平であると確認できるまで繰り返す。
【００３８】
この際、測定子３における先端部４を回転中心として、ゴニオステージ２５の回動部３０の回動面２９が固定部２８の固定面２７に沿って回動しているため、測定子３における先端部４の位置に変動はない。
この状態で、基準突起プレート８を取り去り、被検知部材としてのフィルタ基板２４をテーブル２３に載置する。
【００３９】
それから、操作部（図示せず）におけるスタートボタンを押す。すると、前工程（図示せず）で確認された突起位置のデータ−に基づいて、異物確認手段３２が下方の検知位置に移動すると共に、投光照明部１９Ａ、透過照明部１９Ｂによる照明が行われる。
そして、Ｘ軸ビーム１５に沿ってＸ軸スライダー１６が、図示されないＸ軸リニアモータによって移動し始めると共に、Ｙ軸ガイド１１に沿ってＹ軸スライダー１２もＹ軸リニアモータ６０によって移動し始め、異物を確認する。これにより、異物確認手段３２は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動して、異物を確認できる。異物高さ検知手段３３及び研磨ヘッド１８も、異物確認手段３２と一体に移動する。
【００４０】
異物確認手段３２により異物が確認されると、異物高さ検知手段３３が異物の位置の上方に移動する。この際、例えば、異物確認手段３２と異物高さ検知手段３３における先端部４との間隔はＸ軸方向に対し３００ｍｍと定められていれば、異物高さ検知手段３３がＸ軸方向へ３００ｍｍ移動することとなる。
異物高さ検知手段３３は、図示しない移動手段によって、測定子３の先端部４の下面５が異物に接触するまで下方に移動し、カラーフィルタ基板２４に当接した後、リニアモータ６０によってＹ軸方向に移動することにより、異物の高さを測定し、その情報を、研磨ヘッド１８へ伝達する。
【００４１】
研磨ヘッド１８は、図示しないＸ軸リニアモータ及びＹ軸リニアモータ６０によって、異物の上方に移動し、伝達された異物の高さ情報により所定の高さまで、押し当て部２２により研磨部２１を異物に押し当てつつ、研磨部２１を下方に移動して異物を除去する。
異物の除去が終了した場合、研磨ヘッド１８における押し当て部２２は初期位置へ戻ると共に、研磨部２１の移動は停止する。
それから、再度、異物の個数分、上記動作を繰返す。
【００４２】
本発明の実施の形態による検知装置１によれば、フィルタ基板２４に沿って移動して、フィルタ基板２４における異物を確認するＣＣＤカメラ１７と、異物と接触して異物の高さを検知する異物高さ検知部２を有し、ＣＣＤカメラ１７により確認された異物の位置へ移動して、異物高さ検知部２により異物の高さを検知する異物高さ検知手段３３と、を備え、異物高さ検知部２は、測定子３の先端部４又は先端部４近傍を回転中心として、回動可能とされる。
【００４３】
これにより、異物高さ検知部２は、測定子３の先端部４又は先端部４近傍を回転中心として、所定の回動した状態で固定されるので、異物と先端部４の下面５の角度を適切にするため異物高さ検知部２の位置を変更しても、測定子３の先端部４の中心位置は変化せず、ＣＣＤカメラ１７と測定子３の先端部４の中心部の間隔を略同一に保つことができ、異物高さ検知部２による異物の高さの検知を適切に行うことができる。
【００４４】
更に、本発明は、ＣＣＤカメラ１７と異物高さ検知手段３３とは、一体としてフィルタ基板２４に沿って移動するので、異物を確認した後で、異物の高さを検知する際、複雑な制御を行うことなしに、異物高さ検知手段３３の移動量にずれが生じることを防止でき、適切に異物の高さを検知できる。
【００４５】
更に、本発明は、異物高さ検知手段３３により高さを検知された異物を除去する研磨ヘッド１８を備え、研磨ヘッド１８は、ＣＣＤカメラ１７及び異物高さ検知手段３３と一体としてフィルタ基板２４に沿って移動するので、異物の高さを検知した後で、異物を除去する際、複雑な制御を行うことなしに、研磨ヘッド１８の移動量にずれが生じることを防止でき、適切に異物を除去できる。
【００４６】
更に、本発明は、異物高さ検知手段３３が、先端部４の中心を回転中心として回動する回動部３０を有するゴニオステージ２５を備え、回動部３０に対し異物高さ検知部２を固定したので、簡単な構成により、ＣＣＤカメラ１７と測定子３における先端部４の中心との間隔を略同一に保つことができる。
【００４７】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、対象物高さ検知部は、対象物高さ検知部における先端部又は該先端部近傍を回転中心として、回動可能としたので、対象物と対象物高さ検知部における先端部の角度を適切にするため対象物高さ検知部の位置を変更しても、対象物高さ検知部における先端部の位置は変更せず、対象物確認手段と対象物高さ検知部における先端部の間隔を略同一に保つことができ、対象物高さ検知部による対象物の高さの検知を適切に行うことができる。
【００４８】
更に、本発明は、前記対象物高さ検知部における前記先端部が対象物と線接触するので、従来の先端部が対象物と点接触するものに比べ、対象物の形状に拘らず、対象物の高さを正確に測定することができる。
【００４９】
更に、本発明は、前記対象物確認手段と前記対象物高さ検知手段とは、一体として被検知部材に沿って移動するので、対象物を確認した後で、対象物の高さを検知する際、複雑な制御を行うことなしに、対象物高さ検知手段の移動量にずれが生じることを防止でき、適切に対象物の高さを検知できる。
【００５０】
更に、本発明は、前記対象物高さ検知手段により高さを検知された対象物を除去する対象物除去手段を備え、該対象物除去手段は、前記対象物確認手段及び前記対象物高さ検知手段と一体として被検知部材に沿って移動するので、対象物の高さを検知した後で、対象物を除去する際、複雑な制御を行うことなしに、対象物除去手段の移動量にずれが生じることを防止でき、適切に対象物を除去できる。
【００５１】
更に、本発明は、前記対象物高さ検知手段は、前記先端部の中心又は前記先端部の中心の近傍を回転中心として回動する回動部を有するゴニオステージを備え、前記回動部に対し前記対象物高さ検知部を固定したので、簡単な構成により、対象物確認手段と対象物高さ検知部における先端部の間隔を略同一に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による測定子の先端部の角度と異物との関係を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態による測定子の先端部の角度と異物との関係を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態による測定子の先端部の移動方向を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態による測定子の下面の角度と突起高さの計測結果との関係である。
【図５】本発明の実施の形態による測定子の下面の角度と突起高さの計測結果との関係である。
【図６】本発明の実施の形態による測定子の下面の角度と突起高さの計測結果との関係である。
【図７】本発明の実施の形態による測定子の下面の角度を調整した状態の正面図である。
【図８】本発明の実施の形態による測定子の下面の角度を調整した状態の正面図である。
【図９】本発明の実施の形態による検知装置を示す全体図である。
【図１０】本発明の実施の形態による異物高さ検知手段を示す正面図である。
【図１１】本発明の実施の形態による異物高さ検知手段を示す正面図である。
【図１２】本発明の実施の形態による測定子の他の実施例を示す図である。
【図１３】本発明の実施の形態による異物高さ検知手段の他の実施例を示す正面図である。
【図１４】本発明の実施の形態において、異物高さ検知部の位置変更を行なうための構成を示す図である。
【図１５】従来技術による異物高さ検知手段を示す図である。
【図１６】従来技術による異物高さ検知手段を示す図である。
【符号の説明】
１ 検知装置
２ 異物高さ検知部（対象物高さ検知部）
３ 測定子
４ 先端部
５ 下面
１７ ＣＣＤカメラ
１８ 研磨ヘッド
１９Ｂ 透過照明部
２０ 顕微鏡
２４ 液晶カラーフィルタ基板
２５ ゴニオステージ
２７ 固定面
２８ 固定部
２９ 回動面
３０ 回動部
３２ 異物確認手段（対象物確認手段）
３３ 異物高さ検知手段（対象物高さ検知手段）
ｈ 回転中心
Claims (5)
- 被検知部材に沿って相対移動して、被検知部材における対象物を確認する対象物確認手段と、
対象物と接触して対象物の高さを検知する対象物高さ検知部を有し、前記対象物確認手段により確認された対象物の位置へ相対移動して、前記対象物高さ検知部により対象物の高さを検知する対象物高さ検知手段と、を備え、
前記対象物高さ検知部は、該対象物高さ検知部における先端部又は該先端部近傍を回転中心として回動可能としたことを特徴とする検知装置。 - 前記対象物高さ検知部における前記先端部が対象物と線接触することを特徴とする請求項１に記載の検知装置。
- 前記対象物確認手段と前記対象物高さ検知手段とは、一体として被検知部材に沿って移動することを特徴とする請求項１又は２に記載の検知装置。
- 前記対象物高さ検知手段により高さを検知された対象物を除去する対象物除去手段を備え、該対象物除去手段は、前記対象物確認手段及び前記対象物高さ検知手段と一体として被検知部材に沿って移動することを特徴とする請求項３に記載の検知装置。
- 前記対象物高さ検知手段は、前記先端部又は前記先端部近傍を回転中心として回動する回動部を有するゴニオステージを備え、前記回動部に対し前記対象物高さ検知部を固定したことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の検知装置。
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