JP2001174414A - 基準板，表面検査装置の調整方法及び表面検査装置用調整装置 - Google Patents
基準板，表面検査装置の調整方法及び表面検査装置用調整装置Info
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- JP2001174414A JP2001174414A JP36118099A JP36118099A JP2001174414A JP 2001174414 A JP2001174414 A JP 2001174414A JP 36118099 A JP36118099 A JP 36118099A JP 36118099 A JP36118099 A JP 36118099A JP 2001174414 A JP2001174414 A JP 2001174414A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】表面検査装置のカメラの視野の回転ズレ及び長
手方向ズレを確認する。 【解決手段】表面に前記カメラの視野範囲以上の長さの
基準線を中心にして上下に互い違いに三角形が描かれた
パターン３１を具備してなる。
手方向ズレを確認する。 【解決手段】表面に前記カメラの視野範囲以上の長さの
基準線を中心にして上下に互い違いに三角形が描かれた
パターン３１を具備してなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば薄鋼板等の
被検査体の表面疵を光学的に検出する表面疵検出装置に
おいて表面検査装置の調整に用いる基準板に関する。
被検査体の表面疵を光学的に検出する表面疵検出装置に
おいて表面検査装置の調整に用いる基準板に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄鋼板等の表面検査では、被検査体に光
を照射してこの被検査面から反射光をカメラで受光し、
受光した光を解析する事によって、被検査面に存在する
表面疵を光学的に検出する表面検査装置が提案されてい
る。
を照射してこの被検査面から反射光をカメラで受光し、
受光した光を解析する事によって、被検査面に存在する
表面疵を光学的に検出する表面検査装置が提案されてい
る。
【０００３】このような表面検査装置では、装置の設置
時に光を照射する照明系及び反射光を受光するカメラ等
の受光采の調整を最適になるように調整している。また
経時変化等により照明系、受光系にズレが生じていない
かを定期的に検査、調整を行っている。
時に光を照射する照明系及び反射光を受光するカメラ等
の受光采の調整を最適になるように調整している。また
経時変化等により照明系、受光系にズレが生じていない
かを定期的に検査、調整を行っている。
【０００４】調整方法の従来技術としては特開平０８−
１３６４７３号公報に開示されている技術が存在する。
この技術は、離れた位置に第１及び第２の線Ｍ，Ｎがあ
りさらにその間に幅の異なる少なくとも２本の線ａ，
ｂ，ｃを平行に引いた基準板４０（図１１）を使い、カ
メラのピント確認、視野幅確認、カメラからの電気信号
が幅方向で一定になるように、出力の調整、確認を行
う。
１３６４７３号公報に開示されている技術が存在する。
この技術は、離れた位置に第１及び第２の線Ｍ，Ｎがあ
りさらにその間に幅の異なる少なくとも２本の線ａ，
ｂ，ｃを平行に引いた基準板４０（図１１）を使い、カ
メラのピント確認、視野幅確認、カメラからの電気信号
が幅方向で一定になるように、出力の調整、確認を行
う。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術では
受光系のピント、視野幅、出力調整の確認はできるが、
受光カメラの回転ズレや、被検査体を検査する長手方向
へのズレ量を確認することができないという課題があっ
た。
受光系のピント、視野幅、出力調整の確認はできるが、
受光カメラの回転ズレや、被検査体を検査する長手方向
へのズレ量を確認することができないという課題があっ
た。
【０００６】回転ズレや長手方向ズレは薄鋼板のような
シート状の被検査体を連続的に検査する場合に使われる
ラインセンサカメラ等を使った場合に必要な調整項目で
あり特に複数台のカメラを横に並べて使用した場合には
重要な調整項目である。
シート状の被検査体を連続的に検査する場合に使われる
ラインセンサカメラ等を使った場合に必要な調整項目で
あり特に複数台のカメラを横に並べて使用した場合には
重要な調整項目である。
【０００７】本発明の目的は、表面検査装置の受光カメ
ラの回転ズレ及び長手方向ズレの確認し得る基準板、及
びこの基準板を用いた表面検査装置の調整方法及び表面
検査装置用調整装置を提供することにある。
ラの回転ズレ及び長手方向ズレの確認し得る基準板、及
びこの基準板を用いた表面検査装置の調整方法及び表面
検査装置用調整装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】［構成］本発明は、上記
目的を達成するために以下のように構成されている。
目的を達成するために以下のように構成されている。
【０００９】（１）本発明（請求項１）は、被検査体に
対して光を照射し、該被検査体からの反射光をカメラで
受光し、受光した光を解析して該被検査体の表面に存在
する表面疵を検出する表面検査装置の調整に用いられる
基準板であって、表面に前記カメラの視野範囲以上の長
さの基準線を中心にして上下に互い違いに三角形が描か
れたパターンを具備してなることを特徴とする。
対して光を照射し、該被検査体からの反射光をカメラで
受光し、受光した光を解析して該被検査体の表面に存在
する表面疵を検出する表面検査装置の調整に用いられる
基準板であって、表面に前記カメラの視野範囲以上の長
さの基準線を中心にして上下に互い違いに三角形が描か
れたパターンを具備してなることを特徴とする。
【００１０】（２）本発明（請求項２）は、被検査体に
対して光源から光を照射し、該被検査体からの反射光を
カメラで受光し、受光した光を解析して被検査体の表面
に存在する表面疵を検出する表面検査装置の前記カメラ
のズレを調整する表面検査装置用調整装置であって、表
面に前記カメラの視野範囲以上の長さの基準線を中心に
して上下に互い違いに三角形が描かれたパターンを具備
する基準板と、この基準板を前記被検査体の検査が行わ
れる位置に設置する取り付け治具と、前記光源から前記
基準板表面のパターンに対して照明光を照射し、前記カ
メラが撮影した前記基準板面からの反射光像から輝度分
布を得る手段と、前記輝度分布から任意のしきい値に対
する明暗パターンのエッジ位置を複数求めるエッジ位置
算出手段と、前記基準線と三角形のエッジとの距離が前
記カメラの各画素に対応して登録されたデータベース
と、前記エッジ位置算出手段で求められたエッジ位置
と、前記データベースに格納された該エッジ位置におけ
る前記基準線から三角形のエッジの距離とから前記カメ
ラの回転ズレ及び長手方向ズレを検出する検出部とを具
備してなることを特徴とする。
対して光源から光を照射し、該被検査体からの反射光を
カメラで受光し、受光した光を解析して被検査体の表面
に存在する表面疵を検出する表面検査装置の前記カメラ
のズレを調整する表面検査装置用調整装置であって、表
面に前記カメラの視野範囲以上の長さの基準線を中心に
して上下に互い違いに三角形が描かれたパターンを具備
する基準板と、この基準板を前記被検査体の検査が行わ
れる位置に設置する取り付け治具と、前記光源から前記
基準板表面のパターンに対して照明光を照射し、前記カ
メラが撮影した前記基準板面からの反射光像から輝度分
布を得る手段と、前記輝度分布から任意のしきい値に対
する明暗パターンのエッジ位置を複数求めるエッジ位置
算出手段と、前記基準線と三角形のエッジとの距離が前
記カメラの各画素に対応して登録されたデータベース
と、前記エッジ位置算出手段で求められたエッジ位置
と、前記データベースに格納された該エッジ位置におけ
る前記基準線から三角形のエッジの距離とから前記カメ
ラの回転ズレ及び長手方向ズレを検出する検出部とを具
備してなることを特徴とする。
【００１１】（３）本発明（請求項３）は、表面にカメ
ラの視野範囲以上の長さの基準線を中心にして上下に互
い違いに三角形が描かれたパターンを具備する基準板を
被検査体が測定を行う位置に設置するステップと、前記
基準板表面のパターンに対して照明光を照射するステッ
プと、照明光が照射された前記基準板面の光学画像をカ
メラで撮影し、該光学画像を電気的信号に変換するステ
ップと、前記カメラで変換された電気的信号から輝度分
布を得るステップと、前記輝度分布から任意のしきい値
に対する明暗パターンのエッジ位置を複数求めるステッ
プと、求められた複数のエッジ位置と、それぞれのエッ
ジ位置における前記基準線から三角形のエッジの距離と
から前記カメラの回転ズレ及び長手方向ズレを検出する
ステップとを含むことを特徴とする。
ラの視野範囲以上の長さの基準線を中心にして上下に互
い違いに三角形が描かれたパターンを具備する基準板を
被検査体が測定を行う位置に設置するステップと、前記
基準板表面のパターンに対して照明光を照射するステッ
プと、照明光が照射された前記基準板面の光学画像をカ
メラで撮影し、該光学画像を電気的信号に変換するステ
ップと、前記カメラで変換された電気的信号から輝度分
布を得るステップと、前記輝度分布から任意のしきい値
に対する明暗パターンのエッジ位置を複数求めるステッ
プと、求められた複数のエッジ位置と、それぞれのエッ
ジ位置における前記基準線から三角形のエッジの距離と
から前記カメラの回転ズレ及び長手方向ズレを検出する
ステップとを含むことを特徴とする。
【００１２】［作用］本発明は、上記構成によって以下
の作用・効果を有する。
の作用・効果を有する。
【００１３】基準線を中心にして上下に互い違いに三角
形が描かれたパターンを具備して基準板を用いることに
よって、表面検査装置の受光系であるカメラの回転ズレ
及び長手方向ズレを簡単に求めることが可能になる。
形が描かれたパターンを具備して基準板を用いることに
よって、表面検査装置の受光系であるカメラの回転ズレ
及び長手方向ズレを簡単に求めることが可能になる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図を用いて説明する。
て図を用いて説明する。
【００１５】［第１の実施形態］図１は本発明の第１の
実施形態に係わる表面検査装置及び表面検査装置用調整
装置の概略構成を示す図である。
実施形態に係わる表面検査装置及び表面検査装置用調整
装置の概略構成を示す図である。
【００１６】表面検査装置の一部である表面検査ヘッド
１０に通常被検査体が流れる位置に基準板３０が設置さ
れている。表面検査ヘッド１０は、例えば図に示すよう
に光を照射する光源１１と被検査体からの反射光を受光
するラインセンサカメラ１２から構成されている。な
お、光源１１からの照明光１３は基準板３０に入射し、
その反射光１４はミラー１５を介してラインセンサカメ
ラ１２に入射する。基準板３０は、設計上のラインセン
サカメラ１２の視野位置に移動できるように基準板移動
ステージ１６上に設置されている。基準板移動ステージ
１６はステージコントローラ１７で移動が制御される。
基準板３０が載置される基準板移動ステージ１６は、基
準板取り付け治具１８を介して、表面検査ヘッド１０に
取り付けられ、表面検査ヘッド１０の調整確認を行うと
きに付けられるようになっている。
１０に通常被検査体が流れる位置に基準板３０が設置さ
れている。表面検査ヘッド１０は、例えば図に示すよう
に光を照射する光源１１と被検査体からの反射光を受光
するラインセンサカメラ１２から構成されている。な
お、光源１１からの照明光１３は基準板３０に入射し、
その反射光１４はミラー１５を介してラインセンサカメ
ラ１２に入射する。基準板３０は、設計上のラインセン
サカメラ１２の視野位置に移動できるように基準板移動
ステージ１６上に設置されている。基準板移動ステージ
１６はステージコントローラ１７で移動が制御される。
基準板３０が載置される基準板移動ステージ１６は、基
準板取り付け治具１８を介して、表面検査ヘッド１０に
取り付けられ、表面検査ヘッド１０の調整確認を行うと
きに付けられるようになっている。
【００１７】ラインセンサカメラ１２で受光した基準板
３０の画像は画像処理部１９を通してズレ検出部２０に
送られる。ズレ検出部２０には後述するデータが登録さ
れたデータベース２１が接続されている。ズレ検出部２
０でラインセンサカメラの回転ズレ及び長手方向ズレを
検出する。
３０の画像は画像処理部１９を通してズレ検出部２０に
送られる。ズレ検出部２０には後述するデータが登録さ
れたデータベース２１が接続されている。ズレ検出部２
０でラインセンサカメラの回転ズレ及び長手方向ズレを
検出する。
【００１８】表面検査装置は、基準板移動ステージ１
６，ステージコントローラ１７，基準板取り付け治具１
８，画像処理部１９，ズレ検出部２０，データベース２
１とから構成されている。
６，ステージコントローラ１７，基準板取り付け治具１
８，画像処理部１９，ズレ検出部２０，データベース２
１とから構成されている。
【００１９】図２は、本発明の第１の実施形態に係わる
基準板に描かれたパターンを示す平面図である。図２に
示すように、基準板３０に描かれたパターン３１は、基
準線を中心にして上下に互い違いに三角形が描かれたも
のである。この基準板に描かれたパターンは、あらかじ
めカメラの視野中心にどの位置が来るかを決められてあ
りカメラのｎ番目の画素に対応した基準線からの距離ｂ
n がズレ検出装置のデータベース２１に登録されている
（図３）。
基準板に描かれたパターンを示す平面図である。図２に
示すように、基準板３０に描かれたパターン３１は、基
準線を中心にして上下に互い違いに三角形が描かれたも
のである。この基準板に描かれたパターンは、あらかじ
めカメラの視野中心にどの位置が来るかを決められてあ
りカメラのｎ番目の画素に対応した基準線からの距離ｂ
n がズレ検出装置のデータベース２１に登録されている
（図３）。
【００２０】図４（ａ）に示すような状態で測定を行っ
た場合を考える。この時、画像処理部１９で得られるカ
メラ輝度分布データは、図４（ｂ）に示すようなものに
なる。この輝度分布データをズレ検出部２１に送り、設
定されたしきい値に対する輝度の明暗パターンのエッジ
位置（図中Ａ1 〜Ａ6 ）を求める。明暗パターンのエッ
ジ位置に対応する画素位置から先に説明したデータベー
ス２１を参照し、エッジ位置と基準線との距離Ｂn を求
める（図５）。そして、エッジ位置と基準線との距離か
ら最小自乗法によりラインセンサカメラ視野の直線の式
を求める。
た場合を考える。この時、画像処理部１９で得られるカ
メラ輝度分布データは、図４（ｂ）に示すようなものに
なる。この輝度分布データをズレ検出部２１に送り、設
定されたしきい値に対する輝度の明暗パターンのエッジ
位置（図中Ａ1 〜Ａ6 ）を求める。明暗パターンのエッ
ジ位置に対応する画素位置から先に説明したデータベー
ス２１を参照し、エッジ位置と基準線との距離Ｂn を求
める（図５）。そして、エッジ位置と基準線との距離か
ら最小自乗法によりラインセンサカメラ視野の直線の式
を求める。
【００２１】ｔ×(エッジ位置)＋Ｃ＝基準線距離 ｔ：最小自乗法で求めた直線の傾き Ｃ：最小自乗法で求めた接片 ここでカメラが回転ズレが生じている場合を考える。図
６に示すように、基準線とカメラ視野とが交わることが
ある。そこで各データからそのまま量小自乗法で求めた
場合と、得られたエッジ位置Ａ1 〜Ａn のうち１点だけ
を順次基準線からの距離を０として最小自乗法で演算し
直した場合とで、これらのうちから自乗誤差が最も小さ
い直線をラインセンサカメラ視野位置とする。
６に示すように、基準線とカメラ視野とが交わることが
ある。そこで各データからそのまま量小自乗法で求めた
場合と、得られたエッジ位置Ａ1 〜Ａn のうち１点だけ
を順次基準線からの距離を０として最小自乗法で演算し
直した場合とで、これらのうちから自乗誤差が最も小さ
い直線をラインセンサカメラ視野位置とする。
【００２２】自乗誤差＝Σ{Ｂn −(ｔ×Ａn ＋ｃ)}2 ｎ ：各暗部のエッジＮｏ． Ａn ：エッジ位置 Ｂn ：エッジ位置Ａn に対する基準データ（クロスする
位置は１点だけ０に置き換える） ｔ ：最小自乗法で求めた直線の傾き Ｃ ：最小自乗法で求めた接片 カメラが全くずれておらず、カメラの視野と基準線とが
重なった場合、図７に示す様に輝度のパターンが見られ
ないこともある。この場合にはステージを動かしてライ
ンセンサカメラに対する基準板の位置を少しずらし、パ
ターンが見られることを確認する事でカメラが全くずれ
ていないことを確認できる。
位置は１点だけ０に置き換える） ｔ ：最小自乗法で求めた直線の傾き Ｃ ：最小自乗法で求めた接片 カメラが全くずれておらず、カメラの視野と基準線とが
重なった場合、図７に示す様に輝度のパターンが見られ
ないこともある。この場合にはステージを動かしてライ
ンセンサカメラに対する基準板の位置を少しずらし、パ
ターンが見られることを確認する事でカメラが全くずれ
ていないことを確認できる。
【００２３】視野位置の直線を求めた後、視野両端での
基準線からのズレ量は最小自乗法で求めた直線の式に視
野両端位置を代入しＬ1 ，Ｌ2 を求める（図８）。この
値から長手方向ズレ及び回転ズレは以下の式で求まる。
基準線からのズレ量は最小自乗法で求めた直線の式に視
野両端位置を代入しＬ1 ，Ｌ2 を求める（図８）。この
値から長手方向ズレ及び回転ズレは以下の式で求まる。
【００２４】長手方向ズレ＝（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）／２ 回転ズレ(回転角)＝sin-1{(｜Ｌ1 ｜＋｜Ｌ2 ｜)／カメ
ラ視野サイズ} この値があらかじめ設定されている許容値内に入ってい
るかを判断し許容値以内の場合にはＯＫとし、許容値以
上の場合には回転ズレ及び長手方向ズレを調整する。
ラ視野サイズ} この値があらかじめ設定されている許容値内に入ってい
るかを判断し許容値以内の場合にはＯＫとし、許容値以
上の場合には回転ズレ及び長手方向ズレを調整する。
【００２５】［第２の実施形態］次に、実際の調整につ
いて説明する。
いて説明する。
【００２６】図１に示した構成の測定例について説明す
る。図１に示したラインセンサカメラの構成は図９に示
すように３台ずつの組み合わせが基本となり、ラインセ
ンサカメラａ1 ，ａ2 ，ａ3 でほぼ同一視野を見てい
る。この時、カメラの前には、それぞれ偏光角が異なっ
たフィルターを付けて３つの条件で反射光量を受光して
いる。ラインセンサカメラｂ1 〜ｂ3 ，ｃ1 〜ｃ3 ，ｄ
1 〜ｄ3 も同様である。
る。図１に示したラインセンサカメラの構成は図９に示
すように３台ずつの組み合わせが基本となり、ラインセ
ンサカメラａ1 ，ａ2 ，ａ3 でほぼ同一視野を見てい
る。この時、カメラの前には、それぞれ偏光角が異なっ
たフィルターを付けて３つの条件で反射光量を受光して
いる。ラインセンサカメラｂ1 〜ｂ3 ，ｃ1 〜ｃ3 ，ｄ
1 〜ｄ3 も同様である。
【００２７】このように複数台のラインセンサカメラａ
1 〜ａ3 ，ｂ1 〜ｂ3 ，ｃ1 〜ｃ3，ｄ1 〜ｄ3 が横に
並んでいる場合にはカメラ回転ズレ及び長手方向ズレ調
整が非常に重要である。今回製作した基準板は検査装置
半幅分の大きさで製作してあるため右側半分を測定する
場合には基準板取り付け位置を変更する必要がある。
1 〜ａ3 ，ｂ1 〜ｂ3 ，ｃ1 〜ｃ3，ｄ1 〜ｄ3 が横に
並んでいる場合にはカメラ回転ズレ及び長手方向ズレ調
整が非常に重要である。今回製作した基準板は検査装置
半幅分の大きさで製作してあるため右側半分を測定する
場合には基準板取り付け位置を変更する必要がある。
【００２８】ラインセンサカメラａ1 ，ａ2 ，ａ3 につ
いて測定した例を図１０に示す。先にも示したように各
カメラの視野位置はあらかじめ決められているので、基
準距離データベースから各エッジ位置での基準線距離を
求める。
いて測定した例を図１０に示す。先にも示したように各
カメラの視野位置はあらかじめ決められているので、基
準距離データベースから各エッジ位置での基準線距離を
求める。
【００２９】この時ラインセンサカメラａ1 ，ａ2 はあ
るしきい値を決めて求めることが出来るが、ラインセン
サカメラａ3 は輝度のパターンが得られない。この場
合、ラインセンサカメラがずれていない可能性があるた
めステージを使って基準板を１ｍｍ移動させたところ輝
度パターンが得られた。またマイナス方向に基準板を移
動させてみると輝度パターンが得られた。以上からライ
ンセンサカメラａ3 についてはズレが生じていないこと
が確認できる。
るしきい値を決めて求めることが出来るが、ラインセン
サカメラａ3 は輝度のパターンが得られない。この場
合、ラインセンサカメラがずれていない可能性があるた
めステージを使って基準板を１ｍｍ移動させたところ輝
度パターンが得られた。またマイナス方向に基準板を移
動させてみると輝度パターンが得られた。以上からライ
ンセンサカメラａ3 についてはズレが生じていないこと
が確認できる。
【００３０】また、ラインセンサカメラａ1 ，ａ2 につ
いては基準線距離データとエッジ位置から最小自乗法で
直線を求め。また各エッジ位置の基準線距離を順次０に
した時の各直線を求めてその自乗誤差を比較し一番小さ
い値を使ってラインセンサカメラａ1 ，ａ2 それぞれの
視野両端位置Ｌ1 ，Ｌ2 を求めた結果を以下に示す。
いては基準線距離データとエッジ位置から最小自乗法で
直線を求め。また各エッジ位置の基準線距離を順次０に
した時の各直線を求めてその自乗誤差を比較し一番小さ
い値を使ってラインセンサカメラａ1 ，ａ2 それぞれの
視野両端位置Ｌ1 ，Ｌ2 を求めた結果を以下に示す。
【００３１】
【表１】
【００３２】表１から判るように、長手方向ズレはライ
ンセンサカメラａ1 の視野が０．２５ｍｍずれているだ
けであった。今回確認した装置では装置の長手方向分解
能を３ｍｍで設計をしているため長手方向ズレに関して
はラインセンサカメラａ1 からラインセンサカメラａ3
全て許容内であることが確認できた。また回転ズレに関
しても｜Ｌ1 ｜＋｜Ｌ2 ｜で見てみると、最もズレが大
きいラインセンサカメラａ1 でも２．５であり、長手方
向ズレを考慮してもズレ量は２．７５ｍｍで分解能３ｍ
ｍの許容内に入っており、カメラａ2 ，ａ3 は長手方向
分解能以内のため問題ないことが確認できた。
ンセンサカメラａ1 の視野が０．２５ｍｍずれているだ
けであった。今回確認した装置では装置の長手方向分解
能を３ｍｍで設計をしているため長手方向ズレに関して
はラインセンサカメラａ1 からラインセンサカメラａ3
全て許容内であることが確認できた。また回転ズレに関
しても｜Ｌ1 ｜＋｜Ｌ2 ｜で見てみると、最もズレが大
きいラインセンサカメラａ1 でも２．５であり、長手方
向ズレを考慮してもズレ量は２．７５ｍｍで分解能３ｍ
ｍの許容内に入っており、カメラａ2 ，ａ3 は長手方向
分解能以内のため問題ないことが確認できた。
【００３３】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、種々変
形して実施することが可能である。
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、種々変
形して実施することが可能である。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、基
準線を中心にして上下に互い違いに三角形が描かれたパ
ターンを具備して基準板を用いることによって、表面検
査装置の受光系であるカメラの回転ズレ及び長手方向ズ
レを簡単に求めることが可能になる。
準線を中心にして上下に互い違いに三角形が描かれたパ
ターンを具備して基準板を用いることによって、表面検
査装置の受光系であるカメラの回転ズレ及び長手方向ズ
レを簡単に求めることが可能になる。
【図１】第１の実施形態に係わる表面検査装置及び表面
検査装置用調整装置の概略構成を示す図。
検査装置用調整装置の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施形態に係わる基準板に描かれたパタ
ーンを示す平面図。
ーンを示す平面図。
【図３】ラインセンサカメラのｎ番目の画素に対応した
基準線からの距離ｂn が登録されたデータベースの概念
を示す図。
基準線からの距離ｂn が登録されたデータベースの概念
を示す図。
【図４】図４（ａ）は測定状態の概要を示す図、図４
（ｂ）は画像処理部で得られるラインセンサカメラ輝度
分布データを示す図。
（ｂ）は画像処理部で得られるラインセンサカメラ輝度
分布データを示す図。
【図５】暗部エッジ位置からの基準板距離の参照例を示
す図。
す図。
【図６】基準板の基準線とラインセンサカメラ視野とが
交わった状態を示す図。
交わった状態を示す図。
【図７】ラインセンサカメラの視野と基準板の基準線と
が重なって輝度のパターンが見られない状態を示す図。
が重なって輝度のパターンが見られない状態を示す図。
【図８】回転ズレ、長手方向ズレが生じている例を示す
図。
図。
【図９】第２の実施形態に係わるカメラの配置構成を示
す図。
す図。
【図１０】ラインセンサカメラａ1 ，ａ2 ，ａ3 を用い
た基準板を測定した例を示す図。
た基準板を測定した例を示す図。
【図１１】従来の基準板の概略構成を示す図。
【符号の説明】 １０…表面検査ヘッド １１…光源 １２…ラインセンサカメラ １３…照明光 １４…反射光 １５…ミラー １６…基準板移動ステージ １７…ステージコントローラ １８…基準板取り付け治具 １９…画像処理部 ２０…ズレ検出部 ２１…データベース ３０…基準板 ３１…パターン
フロントページの続き (72)発明者 河村 努 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内 (72)発明者 大重 貴彦 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA12 AA31 AA39 BB13 BB28 CC06 EE00 EE03 EE09 FF42 FF49 FF61 HH12 JJ02 JJ05 JJ08 JJ25 LL12 LL21 LL32 NN20 PP12 QQ05 QQ17 QQ18 QQ23 QQ25 QQ28 QQ30 2G051 AA37 AA90 AB07 AB20 CA03 DA06 EA11 EA14 EA16 EB01 EC02 5H303 AA20 BB01 BB06 BB11 DD01 EE03 EE07 FF13 GG12 HH02
Claims (3)
- 【請求項１】被検査体に対して光を照射し、該被検査体
からの反射光をカメラで受光し、受光した光を解析して
該被検査体の表面に存在する表面疵を検出する表面検査
装置の調整に用いられる基準板であって、 表面に前記カメラの視野範囲以上の長さの基準線を中心
にして上下に互い違いに三角形が描かれたパターンを具
備してなることを特徴とする基準板。 - 【請求項２】表面にカメラの視野範囲以上の長さの基準
線を中心にして上下に互い違いに三角形が描かれたパタ
ーンを具備する基準板を被検査体が測定を行う位置に設
置するステップと、 前記基準板表面のパターンに対して照明光を照射するス
テップと、 照明光が照射された前記基準板面の光学画像をカメラで
撮影し、該光学画像を電気的信号に変換するステップ
と、 前記カメラで変換された電気的信号から輝度分布を得る
ステップと、 前記輝度分布から任意のしきい値に対する明暗パターン
のエッジ位置を複数求めるステップと、 求められた複数のエッジ位置と、それぞれのエッジ位置
における前記基準線から三角形のエッジの距離とから前
記カメラの回転ズレ及び長手方向ズレを検出するステッ
プとを含むことを特徴とする表面検査装置の調整方法。 - 【請求項３】被検査体に対して光源から光を照射し、該
被検査体からの反射光をカメラで受光し、受光した光を
解析して被検査体の表面に存在する表面疵を検出する表
面検査装置の前記カメラのズレを調整する表面検査装置
用調整装置であって、 表面に前記カメラの視野範囲以上の長さの基準線を中心
にして上下に互い違いに三角形が描かれたパターンを具
備する基準板と、 この基準板を前記被検査体の検査が行われる位置に設置
する取り付け治具と、 前記光源から前記基準板表面のパターンに対して照明光
を照射し、前記カメラが撮影した前記基準板面からの反
射光像から輝度分布を得る手段と、 前記輝度分布から任意のしきい値に対する明暗パターン
のエッジ位置を複数求めるエッジ位置算出手段と、 前記基準線と三角形のエッジとの距離が前記カメラの各
画素に対応して登録されたデータベースと、 前記エッジ位置算出手段で求められたエッジ位置と、前
記データベースに格納された該エッジ位置における前記
基準線から三角形のエッジの距離とから前記カメラの回
転ズレ及び長手方向ズレを検出する検出部とを具備して
なることを特徴とする表面検査装置用調整装置。
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