JP2011053134A - 塗膜形成ムラ検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 塗膜形成ムラ検出装置100は、表面に膜を塗布した基板Wを保持し回転する回転テーブル5と、基板Wに光を照射する光照射手段2と、光照射手段2による基板W表面からの正反射光を受光し、撮像画像の信号出力する光電変換手段4と、を備える。そして、回転テーブル5上には調整用画像50が描かれている。調整工程において画像処理装置6の調整処理部62は、調整用画像50の反射光量の電気信号を出力し表示する。よって、その信号から調整内容を簡単に判断することができ、調整作業が可能になる効果を奏する。
【選択図】図1
Description
100 塗膜形成ムラ検査装置
2 光照射手段
21 光源
3 光学系
4 光電変換手段
5 回転テーブル
50 調整用画像
6 画像処理装置
61 変換処理部
62 調整処理部
10 制御部
L、L100、L200、L300 撮像領域
W 基板
Claims (2)
- 表面に膜を塗布した被塗布物を保持し回転する回転手段と、
前記被塗布物に光を照射する光照射手段と、
前記光照射手段による被塗布物表面の撮像領域からの反射光を受光し、被塗布物の表面を撮像し、撮像画像の信号を出力する光電変換手段と、
前記光電変換手段で撮像した反射光をその光量に応じた電気信号に変換し、塗布膜形成ムラを判断する画像処理部と、を具備し、
更に、前記光電変換手段による撮像領域に配置された調整用画像と、
前記調整用画像を撮像した反射光を、その光量に応じた電気信号に変換し、変換された電気信号を調整用信号として出力する調整処理部と、を具備することを特徴とする塗膜形成ムラ検査装置。 - 請求項1記載の塗膜形成ムラ検査装置において、前記調整用画像は前記回転手段の表面に描かれている幾何学図形であることを特徴とする塗膜形成ムラ検査装置。
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