JPH1065034A - 電子部品用配線基板及び電子部品パッケージ - Google Patents

電子部品用配線基板及び電子部品パッケージ

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JPH1065034A
JPH1065034A JP8239718A JP23971896A JPH1065034A JP H1065034 A JPH1065034 A JP H1065034A JP 8239718 A JP8239718 A JP 8239718A JP 23971896 A JP23971896 A JP 23971896A JP H1065034 A JPH1065034 A JP H1065034A
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lid
wiring board
wiring layers
layers
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JP8239718A
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Takaharu Imai
隆治 今井
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NGK Spark Plug Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板の表面に、複数の導体配線層がポリイミ
ド樹脂層を介して形成された複数配線層部を有し、その
複数配線層部にリッドが接合されるように構成されたＬ
ＧＡ型配線基板で、ボードに実装する際の圧力によるリ
ッド接合面のポリイミドの圧縮変形を防ぎ、内部の導体
配線層の断線を防ぐ。 【解決手段】 リッド２２が接する領域の複数配線層部
３に、複数配線層部３に銅製の金属柱８，８を無数立設
する。銅はポリイミドよりヤング率がはるかに大である
から、実装時の圧力はほとんど金属柱（群）８にかか
り、複数配線層部３をなすポリイミドの圧縮変形を防
ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品用配線基
板及び電子部品パッケージに関し、特に集積回路チップ
の実装用のランドグリッドアレイ（ＬＧＡ）型の配線基
板及びこの配線基板に集積回路チップを実装しリッドで
封止した電子部品パッケージに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＬＧＡ型の電子部品用配線基板
（以下、ＬＧＡ型配線基板若しくは単に配線基板ともい
う）は、一般に内部の導体配線層やビアを同時焼成した
アルミナ等の高強度のセラミックから形成されている。
図８はこの配線基板１０１の一例を示すもので、同図に
示したようにこれに集積回路チップ、トランジスタ、コ
ンデンサ等の電子部品（以下、単に集積回路チップとい
う）１２１を搭載、接続し、リッド（キャップ）１２２
をハンダ付けなどにより固着することで電子部品パッケ
ージ１３１として完成する。
【０００３】ところで、このような電子部品パッケージ
１３１を配線ボード（外部回路基板）へ実装する場合に
は、一般に次のようにして行われている。すなわち、配
線基板１０１の下面に形成された多数のパッド（接続用
端子）１０５を、例えば図９に示したように、スプリン
グコネクタといわれるバネ性のある中間接続部材（以
下、スプリングコネクタという）１４１を介して配線ボ
ード１４２の各パッド１４３に当接させ、その下で、リ
ッド１２２の上にあてがわれた押え部材１４４を介して
ねじ部材１４５を配線ボード１４２の裏面に配置された
裏板（金属板）１４６に所定のトルクで螺締する。この
ように実装することで、配線基板１０１の裏面の多数の
パッド１０５と配線ボード１４２の多数のパッド１４３
間を常時弾性的に圧接し、その間の電気的接続を確保し
ていた。
【０００４】なお、図９に例示したスプリングコネクタ
１４１は、ゴムないし柔軟なプラスチックなどの板状の
絶縁材中に、「く」の字形などをなす金属製バネ片がパ
ッドに対面するように縦横に多数配置されており、これ
が上記の圧力で弾性変形（圧縮）され、配線基板１０１
と配線ボード１４２の各パッド１０５，１４３に弾性的
に圧接するよう形成されている。このような接続構造か
ら理解されるが、スプリングコネクタ１４１を介して、
こうした多数のパッド間の電気的接続を確保するために
は、両パッド間がかなりの荷重で常時加圧されていなけ
ればならない。因みにそのための圧力（以下、単に圧力
若しくは押圧力ともいう）は、一般に約５０〜１００ｇ
／パッド（１接点）が必要とされ、したがって、例えば
１０００パッドの配線基板においては、その実装におい
て５０〜１００Ｋｇの圧力が常時かけられることにな
る。
【０００５】一方、集積回路チップの高速化により、従
来のアルミナセラミック製の配線基板では必要とされる
電気的特性、例えばインダクタンス、キャパシタンス、
或いはクロストーク等を満足できない場合がある。そこ
で、図１０に示した配線基板２０１のように、アルミナ
等のセラミック基板（単板又は積層板）２０２をベース
に、アルミナに比較して低誘電率であるポリイミド樹脂
（以下、単にポリイミドという）等の樹脂を絶縁層とし
てその基板２０２の表面に導体配線層とこの樹脂とを交
互に積層して複数配線層部（多層配線部）２０３を形成
して配線基板とし、集積回路チップの高速化の要請に応
えようとする試みがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ポリイミド
等の樹脂は、セラミックに比較すると機械的（圧縮）強
度が弱く、しかもヤング率が著しく小さいために圧縮変
形しやすく、前記のように形成したＬＧＡ型配線基板２
０１では、配線ボードへの実装において上記のような大
きさの圧力をかけると次のような問題があった。すなわ
ち、図１１に示したように、このような配線基板２０１
に集積回路素子１２１を搭載してリッド１２２を接合
（接着）し、配線ボードへの実装においてリッド１２２
を介して圧力をかけると、その全圧力がリッド１２２を
介して配線基板２０１の複数配線層部２０３の外周寄り
部位（リッド接合面）にかかることになる。
【０００７】このため、同図に示したように、その圧力
Ｐによってリッド１２２が接合されている面（図中幅
Ｗ）におけるポリイミドが大きく圧縮変形を起こし、そ
の接合面の部位が内方の部位（配線基板内部側）より、
その変形量Ｓ分相対的に沈み込んでしまう。このような
沈み込みすなわち圧縮変形Ｓがあるということは、リッ
ド１２２が接合されている領域（幅Ｗのエリア）とリッ
ド１２２が接していない領域との境界（図中ｋ−ｋ線に
沿う部位）近傍でその複数配線層部２０３にせん断力が
常時作用していることを意味する。したがって、この配
線基板２０１では、その内部の導体配線層２０６に断線
等の不具合が発生する危険性があるなど長期的信頼性に
劣るといった問題があった。
【０００８】こうした問題は、複数配線層部をなす絶縁
樹脂層にポリイミドに代わる樹脂が用いられても、それ
がポリイミドと同様に上記したような実装による圧力で
圧縮変形してしまうようなものであれば同様に存在す
る。また、ベースをなす基板については、セラミック基
板に代えてガラスエポキシ樹脂等を用いることも考えら
れるが、この場合でも上記の問題はまったく同様に存在
する。本発明は、スプリングコネクタを介して配線ボー
ドに実装するＬＧＡ型配線基板などのように、セラミッ
ク等の基板の表面に、複数の導体配線層が樹脂絶縁層を
介して形成された複数配線層部を有し、その複数配線層
部に上記のようにしてリッドが接合され、リッドによっ
て複数配線層部が押圧されるように構成された電子部品
用配線基板における前記の問題点を解消し、さらには信
頼性の高い電子部品パッケージを提供することをその目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解消する
ために本発明は、基板の表面に、複数の導体配線層が樹
脂絶縁層を介して形成された複数配線層部を有し、その
複数配線層部にリッドが接合されるように構成された電
子部品用配線基板において、少なくとも前記リッドが接
合される領域（エリア）の前記複数配線層部に、該リッ
ドを介して該複数配線層部にかかる圧力を支持するよう
に形成された圧力支持手段（圧力支持体）が設けられて
いることを特徴とする。
【００１０】前記手段においては、少なくとも前記リッ
ドが接合される領域の前記複数配線層部に、リッドを介
して該複数配線層部にかかる圧力を支持するように形成
された圧力支持手段が設けられているため、配線ボード
への実装時に、配線基板と配線ボードの各パッド間にス
プリングコネクタを介在させ、リッドを介してその両者
間を加圧してもその圧力は前記複数配線層部において圧
力支持手段で受圧される。したがって、その分、実装時
における圧力によってその受圧領域にある複数配線層部
を形成する樹脂絶縁層が圧縮変形することが防止され
る。この結果、内部の導体配線層が過大なせん断力を受
けることが防止され、断線の発生を防ぐことができる。
【００１１】前記圧力支持手段（圧力支持体）として
は、前記複数配線層部をその厚さ方向に貫通状に形成さ
れた複数（多数）の金属柱（棒）若しくは金属壁などの
金属体（樹脂絶縁層に比べてヤング率が高いもの）とす
るのが好ましい。樹脂絶縁層に比べてヤング率が高く、
変形しにくいので効率よく圧力を受けられるからであ
る。とくに、前記金属体を、前記複数の導体配線層およ
び前記樹脂絶縁層を貫通するビアの有する高さ方向の材
質及び構成と同じ材質及び構成で形成した場合には、導
体配線層やビアを形成する工程で同時に金属体を形成で
きるので、付加的な工程が不要でコストアップを招くこ
ともなく効率的に製造できる。
【００１２】また、前記金属体を、前記複数の導体配線
層および前記樹脂絶縁層を貫通するビアと同時に形成し
たものでは、導体配線層やビアと同じ構成の金属体を付
加的な工程を要することなく効率的に製造できる。さら
に、基板の表面に、複数の導体配線層が樹脂絶縁層を介
して形成された複数配線層部を有する電子部品用配線基
板と、該電子部品用配線基板の該複数配線層部の表面に
搭載された電子部品と、前記電子部品用配線基板の前記
複数配線層部の表面に接合されて該電子部品を封止し、
かつ、該接合領域において、該複数配線層部をその厚さ
方向に押圧するためのリッドとを有し、前記複数配線層
部のうち該リッドが接合される領域に、該リッドによっ
てかけられる前記押圧力を支持するように形成された圧
力支持手段が設けられていることを特徴とする電子部品
パッケージにおいては、リッドによって複数配線層部が
押圧されても、圧力支持手段によって押圧力が支持され
るので、樹脂絶縁層が圧縮変形することが防止される。
したがって、内部の導体配線層が過大なせん断力を受け
て断線することを防止できる。
【００１３】もっとも、本発明においてこの圧力支持手
段は、配線基板の配線ボードへの実装時に複数配線層部
が上記のような圧力を受けた際、その圧力（荷重）の多
くを受圧し、それによって複数配線層部の樹脂絶縁層が
導体配線層の断線を招かない程度の変形量にとめること
ができるように形成されていれば良く、その材質は金属
に限定されるものではない。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明に係る電子部品用配線基板
の一実施形態例について、図１ないし図３を参照して詳
細に説明する。図中１は、本例の配線基板であって、平
面視略正方形の薄板状をなし、下層部分の厚さ１ｍｍ程
度のセラミック基板２と上層部分の複数配線層部３とを
主体として形成されており、セラミック基板２の中には
多数の電気的導通用のビア４，４がその厚さ方向に貫通
するように同時焼成により形成されている。なお、この
各ビア４の下端部にはそれぞれパッド５，５が形成され
ている。
【００１５】一方、複数配線層部３は、図３に示したよ
うに導体配線層６及びポリイミド樹脂等の樹脂絶縁層３
ａ〜３ｄが交互に複数層、積層形成され、全体で８０μ
ｍ程度の厚さとされている。なお、図３中、７，７は層
間接続用のビアである。そして、この導体配線層６は、
図１に示したように平面視、不規則放射状に形成され、
その平面視における配線基板１の外周寄り部位、すなわ
ち後述するリッドの接合領域（図１中の２点鎖線で挟ま
れた幅Ｗの四角枠状領域）内には、縦横斜めに０．５ｍ
ｍ程度のピッチで、導体配線層６と絶縁間隔をおいて圧
力支持手段として本例では、複数配線層部３の厚さ（全
厚さ約８０μｍ）方向に貫通して銅製の柱状の金属体
（以下、金属柱ともいう）８，８が無数、立設形成され
ている（図１ないし図３参照）。
【００１６】ただし、本例の金属柱８は横断面が略正方
形であり図３に示したように、上方向に拡がったテーパ
状の柱状部分と正方形板状部分を繰り返し積み上げた
形、すなわち拡径縮径を繰り返した形をなしており、ま
た同図中に示した導体配線層６及びビア７と間隔を保持
して形成されている。そして、複数配線層部３の表面の
うち、リッドの接合領域（図３中幅Ｗ）はハンダ付けの
ためにメタライズ層（銅メッキ層）９が形成されてい
る。また、詳しくは説明しないが複数配線層部３の中央
部寄り上面には、本例ではフリップチップ接続方式で集
積回路素子を接続するように、導体配線層６，６に連な
る多数の接続用端子（群）１１が縦横に所定のピッチで
形成されている。
【００１７】さて、このような配線基板１には、図４に
示したようにその上面の接続用端子に集積回路チップ２
１がその接続用端子を対面させて接続され、これを封止
するようにリッド２２が被せられ、配線基板１の複数配
線層部３の上面の周囲（幅Ｗの接合領域）にハンダ付け
される。そして、このように組み立てられた電子部品パ
ッケージ３１は従来と同様にして配線ボードに実装され
る。すなわち、図５に示したように配線基板１の下面の
各パッド５を、スプリングコネクタ４１を介して例えば
ガラスエポキシ樹脂製の配線ボード（プリント基板）４
２の各パッド４３に合わせ、別設の押え板４４をリッド
２２の上面にあてがい、その挿通孔４４ａにねじ部材４
５を通して配線ボード４２の裏側に固着された裏板４６
のねじ孔（ナット）に所定のトルクでねじ込む。こうし
て電子部品パッケージ３１を配線ボード４２に所定の力
で常時押さえ付けることにより、スプリングコネクタ４
１を介して配線基板１と配線ボード４２のパッド５，４
３間の電気的導通が確保される。
【００１８】この際、リッド２２の接合領域をなす複数
配線層部３の上面には、セラミック製配線基板の場合と
同様に大きな圧力Ｐがかかることになるが、図６に示し
たようにその圧力Ｐはその領域に設けられ、複数配線層
部３をその厚さ方向に貫通状に形成された無数の金属柱
（群）８，８で受けられる。すなわち、複数配線層部３
は、リッド２２とベースをなすセラミック基板２に挟ま
れて圧縮荷重Ｐを受けることになるが、金属柱（群）
８，８は樹脂絶縁層（ポリイミド）３ａ〜３ｄよりはる
かにヤング率が大きいので、その圧縮荷重のほとんどは
金属柱（群）８，８で受けられる。したがって、配線ボ
ード４２への実装時にかかる圧力による複数配線層部
（樹脂絶縁層）３の圧縮変形は実質上生じず、したがっ
て、導体配線層６は断線に至らない。なお、本例では圧
力支持手段を銅製の金属柱８としたことから、信号配線
やグランド配線などを兼ねることもできる。
【００１９】ところで、セラミック基板上のポリイミド
等の複数配線層部（Ｃｕ−ＰＩ）中に圧力支持手段とし
て上記のような金属柱８，８を形成するには、その複数
配線層部３の成形とともに、つまりその導体配線層６及
び層間接続用のビア７の成形と同一工程で製造すること
ができる。詳しくは次記するが、このように製造する場
合には、複数配線層部３を形成する工程において、フォ
トマスクのパターンを変更するだけでよく、別途独立の
工程を要しないことからコストアップを招くこともな
い。なお、上記のように基板２をセラミック基板とする
場合には、例えばアルミナ粉体などのセラミック粉末に
有機溶剤等を加えてドクターブレード法により成形した
グリーンシートに、モリブテンやタングステン等の高融
点金属ペーストをスクリーン印刷したり、シートに穿孔
して金属ペーストを充填する等した後に焼成すればよ
い。また、積層構造の場合にはこれを所定枚数積層、圧
着して同時焼成することで形成される。
【００２０】さて次に、こうして焼成され、表面が研磨
仕上げされたセラミック基板の一主面に複数配線層部３
を形成する際に同時に上記の金属柱８を形成する好適な
製法について説明する。すなわち、図７−Ａに示したよ
うに、セラミック基板２の一主面である複数配線層部の
形成面（上面）に、金属薄膜（例えば、Ｔｉ−Ｃｕ）８
ａをスパッタリングし、その上にレジスト５１を塗布し
て金属柱の部位を図示しない導体配線層及びビアのカバ
ーパッド部位と同様に露光・現像し（図７−Ｂ）、これ
らの部位に電解メッキ法によりＣｕメッキをし、金属柱
の一部をなすカバーパッド８ｂを図示しないビアのカバ
ーパッド及び導体配線層と同時に形成する（図７−
Ｃ）。なお、ここでＣｕメッキに続いて薄くＮｉメッキ
を施してもよい。後述するエッチング工程（図７−Ｆ）
において、金属薄膜８ａのうちＣｕを除去する際にカバ
ーパッド８ｂや導体配線層の表面がエッチングされるの
を防ぐためである。
【００２１】次いでレジスト５１を除去し、再度レジス
ト５２を塗布し、カバーパッド８ｂの略中央上面を図示
しない層間導通用のビア形成部位と同様に露光・現像に
より開口させ（図７−Ｄ）、その部位に前と同様にＣｕ
メッキをして柱状部位８ｃを図示しないビアと同時に形
成する（図７−Ｅ）。なお、ここで再度レジスト５２を
塗布・露光・現像してＣｕメッキをするのは、層間導通
用のビアの形成と同一工程で金属柱を形成するためであ
る。この工程においても、Ｃｕメッキに続いて薄くＮｉ
メッキを施しておくとよい。柱状部８ｃの上面やビアの
上面を次記するエッチング工程（図７−Ｆ）において保
護するためである。そして、再度レジスト５２を除去
し、スパッタによる金属薄膜８ａの不要部位をエッチン
グにより除去する（図７−Ｆ）。その後、ポリイミド層
３ａを塗布形成してキュアし（図７−Ｇ）、その表面を
研磨して平坦にする（図７−Ｈ）。かくして第１層目の
配線層部が形成されると同時に、その部位の金属柱部分
１８が形成される。なお、図７−Ｅに示す柱状部８ｃの
メッキ工程において、Ｃｕメッキに続いてＮｉメッキを
した場合にはこの研磨によってＮｉメッキ部分は除去さ
れる。
【００２２】以後は第１層目のポリイミド層３ａの表面
にＴｉ−Ｃｕをスパッタすることから始めて、図７−Ａ
〜Ｆの工程を繰り返し、その金属柱部分の上に第２層目
の金属柱部分２８を積み上げ形成し（図７−Ｉ）、そし
て図７−Ｇ、Ｈの工程を繰り返して第２層目の配線層部
を形成し、さらに、これらの工程を所定回数繰り返し、
最後のポリイミド層３ｄの表面に金属薄膜（Ｔｉ−Ｃ
ｕ）８ａをスパッタしてエッチングにより所定領域（リ
ッドの接合領域）にのみ金属層を形成し、その上にＣｕ
メッキ層９を形成する（図７−Ｊ）。そして、パッドな
どの表面に腐食防止のため等のＮｉメッキ及びＡｕメッ
キすることで、図示しない導体配線層及びビアを備え、
さらに無数の金属柱８，８を備えた配線基板１が完成す
る。かくして、本製法によれば、従来の複数配線層部３
の形成と同じ工程で、フォトマスクのパターンを金属柱
分のみ変更するだけで、圧力支持手段としての金属柱
８，８が形成できるのでコストアップを招くこともな
い。
【００２３】ところで、図３等に示した金属柱８は、柱
状部分が上に拡がったテーパ状となっているが、これ
は、フォトレジストの露光・現像条件によって、図７に
示すような垂直状にも、或いは逆テーパ状にも形成で
き、製造条件等から適当な形状を選択すればよい。な
お、このような金属柱８とする場合も含め、複数配線層
部３に設けられる圧力支持手段は、導体配線層６を配置
する上で支障がなく、かつ実装時における圧力により複
数配線層部３をなす絶縁樹脂層３ａ〜３ｄの圧縮変形が
防止されるように、正方形や円形など適宜の横断面形状
や断面積で適数、適宜のピッチで、少なくともリッドが
接する領域内の適所に配置するよう設計すればよい。
【００２４】ただし、上記手法により金属体を形成する
ときは導体配線層と同じ材質となるが、本発明における
圧力支持手段はこれに限定されるものではない。すなわ
ち、本発明における圧力支持手段は、少なくともリッド
が接合される領域の複数配線層部に配置されており、そ
の複数配線層部の厚さが導体配線層に断線等の欠陥を招
くような圧縮変形とならないものであればよく、本発明
の要旨を逸脱しない範囲でその材質等は種々設計変更し
て具体化することができる。また、上記においては、リ
ッド２２を複数配線層部３に半田付けにより接合した例
を示したが、エポキシ樹脂等の接着剤によって接合して
もよい。なお接着剤によって接合する場合には、ポリイ
ミド層３ｄの表面のリッド接合領域に金属薄膜やＣｕメ
ッキ層９等を設けないようにすることもできる。Ｃｕメ
ッキ層がなくても接着できるからである。
【００２５】なお、上記したようにこのような金属柱等
の金属体からなる圧力支持手段は、圧力支持（耐荷重）
のみを目的として設けても良いが、信号配線、グランド
配線の電気的接続を兼ねることも可能である。また、複
数配線層部の絶縁層をなす樹脂がポリイミドでなく、こ
れに代わる樹脂で圧縮変形されやすいものが使用される
場合でも同様の効果があることは明らかである。さら
に、上記において配線基板の基板（ベース）はセラミッ
クとしたが、本発明はこれがガラスエポキシ樹脂のよう
な樹脂製のものであっても同様に具体化できる。また、
上記のＬＧＡ型配線基板は、集積回路チップをフリップ
チップ接続方式で搭載したもので説明したが、ワイヤボ
ンディング方式のものでも適用できることはいうまでも
ない。
【００２６】
【実施例】本発明に係る配線基板の実施例サンプルを上
記製法で次の仕様の下で２０個製造し、これにリッドを
接合して電子部品パッケージとし、これを従来と同様に
して配線ボードへ試験的に実装し、その際の導体配線層
の断線発生率を確認した。なお、このサンプルは、ベー
スをなす基板がセラミックで、その平面外形が□４０ｍ
ｍ、厚さ１．０ｍｍ、裏面のパッドはピッチが１．０ｍ
ｍで数は約１４００パッドである。そして、これに形成
された複数配線層部は、導体配線層５層／ポリイミド５
層、配線幅２５μｍ、導体配線層の厚さ５μｍ、複数配
線層部の総厚さが約１５０μｍのものであり、リッド接
合エリアは外径が□４０ｍｍ、内径□２０ｍｍの幅１０
ｍｍの正方形枠状である。なお、金属柱は、平均横断面
寸法が□５０μｍ、ピッチ０．５ｍｍで、その数は約４
０００である。そして、実装時の圧力Ｐは１００Ｋｇ
（１金属柱が受ける圧力は約２５ｇ）である。本実施例
による実装試験の結果は断線発生率０％であった。因み
に、このような金属柱を設けない比較例では断線発生率
２０％であった。
【００２７】
【発明の効果】本発明のＬＧＡ型配線基板によれば、リ
ッドが接する領域、つまり配線ボードへの実装時にかか
る圧力を受ける領域の複数配線層部に圧力支持手段が形
成されているため、スプリングコネクタを介して配線基
板と配線ボードとの各パッド間の圧力は、樹脂絶縁層で
なく主としてその圧力支持手段で受けられる。したがっ
て、その圧力の受圧領域の複数配線層部が圧縮変形する
ことが防止される結果、せん断力により複数配線層部中
の導体配線層の断線等の致命的な欠陥の発生が防止さ
れ、信頼性の向上が図られる。
【００２８】そして、圧力支持手段を、前記複数配線層
部をその厚さ方向に貫通状に形成された複数の金属体と
したものでは、樹脂絶縁層に比して変形しにくいので効
率よく圧力を受けることができ、さらに信号配線、グラ
ンド配線の電気的配線を兼ねることもできる。さらに、
この金属体を、前記複数の導体配線層および前記樹脂絶
縁層を貫通するビアの有する高さ方向の材質及び構成と
同じ材質及び構成で形成したものでは、導体配線層やビ
アを形成する工程で同時に成形できるので、別途独立の
工程を要せず、したがってコストアップを招くことなく
本発明を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるＬＧＡ型配線基板を説明する平
断面概念図であり、図２のＢ−Ｂ線断面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図。
【図３】図２のＣ部拡大図。
【図４】図１の配線基板に集積回路チップを搭載してリ
ッドを固着した集積回路パッケージの断面図。
【図５】図４のパッケージを配線ボードに実装した状態
の断面図。
【図６】図５において、複数配線層部に設けた圧力支持
手段が圧力を受けている状態の説明用部分拡大図。
【図７】図１の配線基板及び金属柱を製造する工程の説
明図。
【図８】従来のＬＧＡ型配線基板に集積回路チップを搭
載してリッドを固着した集積回路パッケージの断面図。
【図９】図８のパッケージを配線ボードに実装した状態
の断面図。
【図１０】アルミナ等のセラミック基板に、ポリイミド
樹脂等を絶縁層として導体配線層とこの樹脂を交互に積
層して複数配線層部を形成してなる配線基板の断面図。
【図１１】セラミック基板の表面に、導体配線層とポリ
イミド等の樹脂絶縁層とが交互に積層された複数配線層
部を形成した配線基板にリッドを固着した集積回路パッ
ケージを配線ボードに実装した場合の複数配線層部の圧
縮変形状態を説明する図。
【符号の説明】
１ 集積回路用配線基板 ２ 基板 ２ａ 基板の表面 ３ 複数配線層部 ３ａ〜３ｄ 樹脂絶縁層 ６ 導体配線層 ８ 金属体（圧力支持手段） ２２ リッド Ｗ リッドが接する領域をなす幅

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基板の表面に、複数の導体配線層が樹脂
    絶縁層を介して形成された複数配線層部を有し、その複
    数配線層部にリッドが接合されるように構成された電子
    部品用配線基板において、少なくとも前記リッドが接合
    される領域の前記複数配線層部に、該リッドを介して該
    複数配線層部にかかる圧力を支持するように形成された
    圧力支持手段が設けられていることを特徴とする電子部
    品用配線基板。
  2. 【請求項２】 前記圧力支持手段が、前記複数配線層部
    をその厚さ方向に貫通状に形成された複数の金属体であ
    ることを特徴とする請求項１記載の電子部品用配線基
    板。
  3. 【請求項３】 前記金属体が、前記複数の導体配線層お
    よび前記樹脂絶縁層を貫通するビアの有する高さ方向の
    材質及び構成と同じ材質及び構成で形成されていること
    を特徴とする請求項２記載の電子部品用配線基板。
  4. 【請求項４】 前記金属体が、前記複数の導体配線層お
    よび前記樹脂絶縁層を貫通するビアと同時に形成された
    ものであることを特徴とする請求項２記載の電子部品用
    配線基板。
  5. 【請求項５】 基板の表面に、複数の導体配線層が樹脂
    絶縁層を介して形成された複数配線層部を有する電子部
    品用配線基板と、該電子部品用配線基板の該複数配線層
    部の表面に搭載された電子部品と、前記電子部品用配線
    基板の前記複数配線層部の表面に接合されて該電子部品
    を封止し、かつ、該接合領域において、該複数配線層部
    をその厚さ方向に押圧するためのリッドとを有し、前記
    複数配線層部のうち該リッドが接合される領域に、該リ
    ッドによってかけられる前記圧力を支持するように形成
    された圧力支持手段が設けられていることを特徴とする
    電子部品パッケージ。
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JP2016032097A (ja) * 2014-07-25 2016-03-07 京セラサーキットソリューションズ株式会社 配線基板

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