JPH1050922A - グリッドアレイ型リードフレーム及びこれを用いたリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ - Google Patents

グリッドアレイ型リードフレーム及びこれを用いたリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ

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JPH1050922A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 パッケージ面積を半導体チップの大きさに小
型化し、単位面積当たり入出力端子として使用される露
出リードエンドの数を増加させ、露出リードエンドの相
互間の間隔を増大させ、リードの相互間の近接による信
号干渉現象によるノイズ発生を減少させて、円滑な信号
伝送による信号伝送の高速化を成し得るグリッドアレイ
型リードフレーム及びこれを用いたリードエンドグリッ
ドアレイ半導体パッケージを提供することである。 【解決手段】 サイドレールにより支持され、相違した
長さを有する少なくとも二つ以上のグループでなる多数
のリードを有し、前記多数のリードの各々に少なくとも
一つ以上の折曲部による少なくとも一つ以上の他の平面
上への方向転換リード部が形成され、前記多数のリード
の一端をなす多数のリードエンドが半導体チップ実装領
域に対応する一定下部領域内の同一平面上にグリッドア
レイを成す。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、グリッドアレイ型
リードフレーム及びこれを用いたリードエンドグリッド
アレイ(Lead End Grid Array)半
導体パッケージに関するもので、より詳しくは相違した
長さを有する少なくとも二つ以上のリードグループが存
在し、各グループの各リードに折曲部による他の平面上
への方向転換リード部及び/又は同一平面上の方向転換
リード部を形成させることにより、リードエンドが半導
体チップ実装領域の下部の同一平面上にグリッドアレイ
を成すリードフレーム及び、これを用いたリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージに関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体チップ及びその周辺構成部を外部
環境から保護するため、エポキシ樹脂等のプラスチック
で封止させることは比較的安価であるとともに工程効率
性も高いので、リードが側面4方向の同一平面上から延
長されるコードフラット(Quad Flat)半導体
パッケージ及び入出力端子としてソルダボールを用いる
ボールグリッドアレイ(Ball Grid Arra
y)半導体パッケージに広範囲に用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来のコードフラット半導体パッケージにおいては、リー
ドがプラスチック封止部内の同一平面上に位置し、パッ
ケージの4側面からパッケージの外部に延長されるの
で、パッケージの小型化が困難であった。又、近来半導
体チップの高集積化による多ピン化現象により飛躍的に
増大したピン数が要求されることにもかかわらず、同一
平面上のピンとピン間の距離を一定値以下に減らすこと
は技術的に困難であるので、このような増大した数のピ
ンを収容するためにはパッケージの大型化が不可避であ
り、これは半導体パッケージの小型化趨勢に逆行する結
果を来す課題があった。
【0004】このような従来の多ピン化における問題を
解消するための従来の代案として、入出力端子として基
板の底面に融着させた多数のソルダボールを用いるボー
ルグリッドアレイタイプの半導体パッケージが提案され
ており、これによりコードフラット半導体パッケージよ
りずっと多い数の入出力信号を収容し得ることは勿論、
その大きさもコードフラット半導体パッケージより小型
化することが可能になった。しかし、このようなボール
グリッドアレイ半導体パッケージに使用される回路基板
は高価であるので、製品の値段上昇の要因となることは
勿論、半導体チップの大きさに比べて基板の大きさがず
っと大きいため、パッケージの小型化には依然として限
界があった。
【0005】又、米国特許番号第5,363,279号
は、パッケージの面積を減少させるため、半導体チップ
と電気的に接続されたリードをパッケージの側面から延
長させなく、半導体チップが実装される領域下部のパッ
ケージの底面に引き出した、図23(A)、23(B)
のような半導体パッケージを提案している。図23
(A)に示すように、このような従来のリードフレーム
を用いたパッケージ100は2列に配列された同一長さ
の2回折曲された多数のリード102と、リード102
の折曲されなかった部分に接着手段150により付着さ
れる半導体チップ120と、リード102と半導体チッ
プ120を電気的に接続させるボンドワイヤー130及
び、前記構成要素を外部環境から保護するための封止体
140とから構成され、パッケージ100の小型化のた
め、折曲されたリード102の端部104を半導体チッ
プ120の実装領域の下部の封止体140の底面上に突
出されないように2列に露出させている。
【0006】しかし、このような従来の半導体パッケー
ジ100は、図23(B)に示すように、パッケージ1
00の底面に露出されたリード端部104が2列に対称
状態に配列されているので、パッケージ100の小型化
は成しているが、入出力端子として使用されるリードの
数が従来のコードフラット半導体パッケージより却って
減少する課題があった。このような課題を解消するた
め、単位面積当たり2列に配列された露出リード端部1
04の数を増加させると、パッケージ100をソルダリ
ングによりマザーボード(図示せず)に実装する時、相
互隣接したリード端部104間の狭い間隔により相互シ
ョートが発生するか、信号干渉現象によるノイズ発生に
よる信号伝送の高速化が困難になる等のパッケージ不良
をもたらす憂いが高い。従って、このような従来のパッ
ケージ100においては、露出リード端部104の数を
増加させることが現実的に困難であった。
【0007】又、日本国特開平6−53399号は、図
24(A)、24(B)に示すように、U字形に折曲さ
れた多数のリードを半導体チップの4側面方向に延長さ
せ、このU字形リードの底部を樹脂封止部の底面上に露
出させた樹脂封止半導体装置を提案している。しかし、
このような従来の半導体パッケージ200は、図24B
に示すように、パッケージ200の底面上の4側面に露
出されたリード202が半導体チップ実装領域の1列に
正方形に配列される構造であるので、パッケージ200
の小型化を成すことができないとともに、単位面積当た
り露出リード端部202の数を増加させることも前述し
たような諸般問題により現実的に困難な課題があった。
【0008】従って、本発明の第1目的は、パッケージ
面積を半導体チップの大きさに小型化するとともに単位
面積当たり入出力端子として使用される露出リードエン
ドの数の増加を可能にするグリッドアレイ型リードフレ
ーム及びこれを用いたリードエンドグリッドアレイ半導
体パッケージを提供することである。
【0009】本発明の第2目的は、パッケージ面積を半
導体チップの大きさ程度にし、単位面積当たり露出リー
ドエンドの数の増加を可能にするとともに露出リードエ
ンドの相互間の間隔を増大させ得るグリッドアレイ型リ
ードフレーム及びこれを用いたリードエンドグリッドア
レイ半導体パッケージを提供することである。
【0010】本発明の第3目的は、単位面積当たり入出
力端子として使用される露出リードエンドの数を増加さ
せるとともに、リードの相互間の近接による信号干渉現
象によるノイズ発生を減少させることにより、円滑な信
号伝送による信号伝送の高速化を成し得るグリッドアレ
イ型リードフレーム及びこれを用いたリードエンドグリ
ッドアレイ半導体パッケージを提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明に係
るグリッドアレイ型リードフレームは、サイドレールに
より支持され、相違した長さを有する少なくとも二つ以
上のグループでなる多数のリードを有し、前記多数のリ
ードの各々に少なくとも一つ以上の折曲部による少なく
とも一つ以上の他の平面上への方向転換リード部が形成
され、前記多数のリードの一端をなす多数のリードエン
ドが半導体チップ実装領域に対応する一定下部領域内の
同一平面上にグリッドアレイを成すことを特徴とする。
【0012】請求項2記載の発明に係るグリッドアレイ
型リードフレームは、相違した長さを有する少なくとも
二つ以上のグループのうち、少なくとも一つ以上のグル
ープのリードにそれぞれ少なくとも一つ以上の同一平面
上の方向転換リード部が形成されることを特徴とする。
【0013】請求項3記載の発明に係るグリッドアレイ
型リードフレームは、相違した長さを有する少なくとも
二つ以上のリードグループのリードエンドが部分的に又
は全体的に相互交互の少なくとも三つ以上の横列及び縦
列のグリッドアレイを成すことを特徴とする。
【0014】請求項4記載の発明に係るグリッドアレイ
型リードフレームは、相違した長さを有する多数のリー
ドグループの各グループ相互間のリードに形成される折
曲部の数が全部又は部分的に同一であるか、又は全部相
違したことを特徴とする。
【0015】請求項5記載の発明に係るグリッドアレイ
型リードフレームは、各グループ内の多数のリード相互
間のリードに形成される折曲部の数が全部又は部分的に
同一であることを特徴とする。
【0016】請求項6記載の発明に係るグリッドアレイ
型リードフレームは、相違した長さを有する多数のリー
ドグループのうち、同一平面上の方向転換リード部が少
なくとも二つ以上のグループに形成され、各グループ相
互間のリードに形成される同一平面上の方向転換リード
部の数が全部又は部分的に同一であるか、又は全部相違
したことを特徴とする。
【0017】請求項7記載の発明に係るグリッドアレイ
型リードフレームは、各グループ内の多数のリード相互
間のリードに形成される同一平面上の方向転換リード部
の数が全部又は部分的に同一であることを特徴とする。
【0018】請求項8記載の発明に係るグリッドアレイ
型リードフレームは、多数のリードのうち、少なくとも
2以上の隣接するリードを相互連結するリード接続部が
さらに形成されていることを特徴とする。
【0019】請求項9記載の発明に係るグリッドアレイ
型リードフレームは、多数の全てのリードがX軸及びZ
軸の2方向、Y軸及びZ軸の2方向、X軸、Y軸及びZ
軸の3方向のいずれかの選択による位置変形されながら
延長されることを特徴とする。
【0020】請求項10記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、同一平面上の方向転換リード部
がXY軸方向転換、X軸方向転換、Y軸方向転換の少な
くともいずれか一つによる方向転換をなすことを特徴と
する。
【0021】請求項11記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、全てのグループのリードがダム
バーに垂直に連結支持されていることを特徴とする。
【0022】請求項12記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、全てのグループのリードが第1
折曲部により下方に折曲された後、第2折曲部により折
曲前の元の延長方向と同方向に延長されることを特徴と
する。
【0023】請求項13記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、全てのグループのリード上の第
1折曲部の位置がダムバーから隣接した同一距離上にそ
れぞれ形成され、第2折曲部の位置もダムバーから第1
折曲部に隣接した同一距離上にそれぞれ形成されること
を特徴とする。
【0024】請求項14記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、リードエンドがリードの幅より
拡張された正方形に形成されることを特徴とする。
【0025】請求項15記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、リードエンドの底面に入出力端
子として使用される円筒形のリードエンド突出部が形成
されることを特徴とする。
【0026】請求項16記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、リードエンドがリードの進行方
向側の1側面を含んだ少なくとも1側面にリードエンド
チップを有することを特徴とする。
【0027】請求項17記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、リードエンド突出部が少なくと
も3以上の横列及び縦列のグリッドアレイをなすことを
特徴とする。
【0028】請求項18記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、リードフレームが半導体チップ
搭載板を有することを特徴とする。
【0029】請求項19記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、半導体チップ搭載板が支持部材
により一列に連結支持される複数の長方形搭載板及び複
数の正方形搭載板で構成されることを特徴とする。
【0030】請求項20記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、長方形搭載板がタイバーにより
ダムバーに連結され、タイバーが全てのグループのリー
ド上に形成される第1折曲部及び第2折曲部による折曲
形態と同一形態に折曲されることを特徴とする。
【0031】請求項21記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、複数の長方形搭載板及び複数の
正方形搭載板の底面に円筒形の放熱用突出部が形成され
ることを特徴とする。
【0032】請求項22記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、半導体チップ搭載板がリードフ
レームの対向する2側面の中央部に半導体チップより小
さい面積を有する少なくとも二つ以上の半導体チップ搭
載板で構成されることを特徴とする。
【0033】請求項23記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、半導体チップ搭載板がリードフ
レームの中央部にタイバーにより支持され、半導体チッ
プより小さい面積を有する半導体チップ搭載板であるこ
とを特徴とする。
【0034】請求項24記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、リードフレームの少なくとも一
つのコーナーに液状樹脂封止材を案内誘導するためのガ
イドが形成されることを特徴とする。
【0035】請求項25記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、リードフレームの四つのコーナ
ー部に位置するリードエンドにはコーナーをなす2側面
からそれぞれ延長される二つのリードが結合されること
を特徴とする。
【0036】請求項26記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、多数のリードが相違した長さを
有する交互の多数グループでなり、X軸方向に延長され
る交互の多数グループのリードは第1〜第3折曲部によ
り順次Z下向折曲、X軸方向折曲、Z軸下向折曲により
階段状に形成され、Y軸方向に延長される交互の多数グ
ループのリードは第1〜第3折曲部により順次Z軸下向
折曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲により階段状に形成
されることを特徴とする。
【0037】請求項27記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、多数のリードが相違した長さを
有する交互の多数グループでなり、X軸方向に延長され
る交互の多数グループのリードのうち、相対的に長い長
さを有する多数グループのリードには同一平面上のY軸
方向転換リード部が形成され、相対的に短い長さを有す
る多数グループのリードにはY軸方向転換リード部が形
成されなく、同一平面上のY軸方向転換リード部が形成
された多数グループのリードは第1及び第2折曲部によ
り順次Z軸方向折曲、Y軸方向に折曲され、同一平面上
のY軸方向転換リード部が形成されない多数グループの
リードは第1及び第2折曲部により順次Z軸下向折曲、
X軸方向折曲され、Y軸方向に延長される交互の多数グ
ループのリードは第1及び第2折曲部により順次Z軸下
向折曲、Y軸方向折曲されることを特徴とする。
【0038】請求項28記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、全てのリードが第1折曲部によ
りZ軸方向に下向折曲(垂直下向折曲)される代わり
に、X軸方向に延長される交互の多数グループのリード
のうち、同一平面上のY軸方向転換リード部が形成され
なかった多数グループのリードは第1折曲部によりXZ
軸方向に斜めに折曲され、X軸方向に延長される交互の
多数グループのリードのうち、同一平面上のY軸方向転
換リード部が形成された多数グループのリードとY軸方
向に延長される交互の多数グループのリードは第1折曲
部によりYZ軸方向に斜めに折曲されることを特徴とす
る。
【0039】請求項29記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、多数のリードが相違した長さを
有する交互の多数グループでなり、X軸方向に延長され
る交互の多数グループのリードのうち、相対的に長い長
さを有する多数グループのリードは第1〜第3折曲部に
より順次Z軸下向折曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲さ
れて全体的に階段状に形成され、相対的に短い長さを有
する多数グループのリードは第1〜第3折曲部により順
次Z軸下向折曲、X軸方向折曲、Z軸下向き折曲されて
全体的に階段状に形成され、Y軸方向に延長される交互
の多数グループのリードは第1〜第3折曲部により順次
Z軸下向折曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲されて階段
状に形成されることを特徴とする。
【0040】請求項30記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、リードフレームの中央部にタイ
バーにより支持される半導体チップより小さい面積の半
導体チップ搭載板をさらに包含し、半導体チップ搭載板
領域に対応する下部領域を除外した同一平面上の外郭部
に多数のリードエンドがグリッドアレイをなすことを特
徴とする。
【0041】請求項31記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、リードの一端のリードエンドが
リードフレームに平行し、リードより幅が拡張された拡
張板状に形成されることを特徴とする。
【0042】請求項32記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、X軸方向に延長される相違した
長さを有する交互の多数グループのリードのうち、相対
的に長い長さを有する多数グループのリードは第1〜第
5折曲部により順次Z軸下向折曲、Y軸方向折曲、Z軸
上向折曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲されて全体的に
横になったS字形に形成され、相対的に短い長さを有す
る多数グループと相対的に長い長さを有するグループの
リードは第1〜第5折曲部により順次Z軸下向折曲、X
軸方向折曲、Z軸上向折曲、X軸方向折曲、Z軸下向折
曲されて全体的に横になったS字形に形成され、Y軸方
向に延長される交互の多数グループのリードは第1〜第
5折曲部により順次Z軸下向折曲、Y軸方向折曲、Z軸
上向折曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲されて全体的に
横になったS字形に形成されることを特徴とする。
【0043】請求項33記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、X軸方向に延長される多数グル
ープのリードのうち、相対的に最も長いグループのリー
ドと、Y軸方向に延長される多数グループのリードのう
ち、相対的に最も長いグループのリードとはリードフレ
ームの中央下部に延長されることを特徴とする。
【0044】請求項34記載の発明に係るグリッドアレ
イ型リードフレームは、各々のリードにおいて、Z軸下
向折曲及びZ軸上向折曲による二つの他の平面上への方
向転換リード部間に位置するX軸又はY軸方向の他の平
面上への方向転換リード部とリードエンドが半導体チッ
プ実装領域に対応する一定下部領域内の同一平面上に位
置することを特徴とする。
【0045】請求項35記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、半導体チップと、
入出力端子として使用される多数のリードと、半導体チ
ップに形成されたボンドパッドとリードを電気的に接続
させるための電気的接続手段と、半導体チップ、電気的
接続手段及びリードを外部環境から保護するための樹脂
封止材でモルディング形成されたプラスチック封止部と
を含み、前記多数のリードが相違した長さを有する少な
くとも二つ以上のリードグループでなり、各グループの
各リードに少なくとも一つ以上の折曲部による少なくと
も一つ以上の他の平面上への方向転換リード部が形成さ
れて、前記多数のリードの一端ををなすリードエンドが
半導体チップ実装領域に対応する前記プラスチック封止
部の底面領域内で外部に露出されてグリッドアレイをな
すことを特徴とする。
【0046】請求項36記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、相違した長さを有
する少なくとも二つ以上のグループのうち、少なくとも
一つ以上のグループのリードにそれぞれ少なくとも一つ
以上の同一平面上の方向転換リード部が形成されること
を特徴とする。
【0047】請求項37記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、相違した長さを有
する少なくとも二つ以上のリードグループのリードエン
ドが部分的に又は全体的に相互交互の少なくとも三つ以
上の横列及び縦列のグリッドアレイを成すことを特徴と
する。
【0048】請求項38記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、相違した長さを有
する多数のリードグループの各グループ相互間のリード
に形成される折曲部の数が全部又は部分的に同一である
か、又は全部相違したことを特徴とする。
【0049】請求項39記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、各グループ内の多
数のリード相互間のリードに形成される折曲部の数が全
部又は部分的に同一であることを特徴とする。
【0050】請求項40記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、相違した長さを有
する多数のリードグループのうち、同一平面上の方向転
換リード部が少なくとも二つ以上のグループに形成さ
れ、各グループ相互間のリードに形成される同一平面上
の方向転換リード部の数が全部又は部分的に同一である
か、又は全部相違したことを特徴とする。
【0051】請求項41記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、各グループ内の多
数のリード相互間のリードに形成される同一平面上の方
向転換リード部の数が全部又は部分的に同一であること
を特徴とする。
【0052】請求項42記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、多数のリードのう
ち、少なくとも2以上の隣接するリードを相互連結する
リード接続部がさらに形成されていることを特徴とす
る。
【0053】請求項43記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、多数の全てのリー
ドがX軸及びZ軸の2方向、Y軸及びZ軸の2方向、X
軸、Y軸及びZ軸の3方向のいずれかの選択による位置
変形されながら延長されることを特徴とする。
【0054】請求項44記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、同一平面上の方向
転換リード部がXY軸方向転換、X軸方向転換、Y軸方
向転換の少なくともいずれか一つによる方向転換をなす
ことを特徴とする。
【0055】請求項45記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、全てのグループの
リードが第1折曲部により下方に折曲された後、第2折
曲部により折曲前の元の延長方向と同方向に延長される
ことを特徴とする。
【0056】請求項46記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、全てのグループの
リード上の第1折曲部の位置がダムバー側端から隣接し
た同一距離上にそれぞれ形成され、第2折曲部の位置も
ダムバー側端から第1折曲部に隣接した同一距離上にそ
れぞれ形成されることを特徴とする。
【0057】請求項47記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、リードエンドがリ
ードの幅より拡張された正方形に形成されることを特徴
とする。
【0058】請求項48記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、リードエンドの底
面に入出力端子として使用される円筒形のリードエンド
突出部が形成されることを特徴とする。
【0059】請求項49記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、リードエンドがリ
ードの進行方向側の1側面を含んだ少なくとも1側面に
リードエンドチップを有することを特徴とする。
【0060】請求項50記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、リードエンド突出
部が少なくとも3以上の横列及び縦列のグリッドアレイ
をなすことを特徴とする。
【0061】請求項51記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、半導体パッケージ
が半導体チップ搭載板を有することを特徴とする。
【0062】請求項52記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、半導体チップ搭載
板が支持部材により一列に連結支持される複数の長方形
搭載板及び複数の正方形搭載板で構成されることを特徴
とする。
【0063】請求項53記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、長方形搭載板にタ
イバーが連結され、タイバーが相違した長さを有する全
てのリード上に形成される第1折曲部及び第2折曲部に
よる折曲形態と同一形態に折曲されることを特徴とす
る。
【0064】請求項54記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、複数の長方形搭載
板及び複数の正方形搭載板の底面に円筒形の放熱用突出
部が形成されることを特徴とする。
【0065】請求項55記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、半導体チップ搭載
板が半導体パッケージの対向する2側面の中央部に半導
体チップより小さい面積を有する少なくとも二つ以上の
半導体チップ搭載板で構成されることを特徴とする。
【0066】請求項56記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、半導体チップ搭載
板が半導体パッケージの中央部にタイバーにより支持さ
れ、半導体チップより小さい面積を有する半導体チップ
搭載板であることを特徴とする。
【0067】請求項57記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、半導体パッケージ
の四つのコーナー部に位置するリードエンドにはコーナ
ーをなす2側面からそれぞれ延長される二つのリードが
結合されることを特徴とする。
【0068】請求項58記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、リードエンドの露
出面が白金又はパラジウムで鍍金されることを特徴とす
る。
【0069】請求項59記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、プラスチック封止
部が半導体チップの上下部及び4側面の全てを封止する
ことを特徴とする。
【0070】請求項60記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、電気的接続手段が
半導体チップの上面に形成されたボンドパッドとリード
の非折曲部の上面とを上側で接続させるボンドワイヤー
であることを特徴とする。
【0071】請求項61記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、電気的接続手段が
半導体チップの上面に形成されたボンドパッドとリード
の非折曲部の低面とを下側で接続させるボンドワイヤー
であることを特徴とする。
【0072】請求項62記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、電気的接続手段が
半導体チップのボンドパッドとリードの非折曲部の上面
とを接続させるバンプ又はソルダジョイントであること
を特徴とする。
【0073】請求項63記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、電気的接続のため
にボンディングされるリード領域が銀又は白金で鍍金さ
れることを特徴とする。
【0074】請求項64記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、半導体チップの底
面中央部にシグナル引入出用ボンドパッドが整列されて
おり、前記ボンドパッドとリードの非折曲部の底面とが
ボンドワイヤーにより下側で電気的に接続されており、
プラスチック封止部が半導体チップの下部のみを封止し
てパッケージの面積が半導体チップの面積と同一である
ことを特徴とする。
【0075】請求項65記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、リードエンドの露
出面が白金又はパラジウムで鍍金されることを特徴とす
る。
【0076】請求項66記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、電気的接続のため
にボンディングされるリード部位が銀又は白金で鍍金さ
れることを特徴とする。
【0077】請求項67記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、プラスチック封止
部が半導体チップの下部及び4側面のみを封止して半導
体チップの上面が外部に露出されていることを特徴とす
る。
【0078】請求項68記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、電気的接続手段が
半導体チップの底面のボンドパッドとリードの非折曲部
の底面とを下側で接続させるボンドワイヤーであること
を特徴とする。
【0079】請求項69記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、電気的接続手段が
半導体チップの底面のボンドパッドとリードの非折曲部
の上面とを電気的に接続させるバンプ又はソルダジョイ
ントであることを特徴とする。
【0080】請求項70記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、ボンドパッドが底
面に形成される半導体チップの上面に放熱板が付着さ
れ、前記放熱板の上面が外部に露出されていることを特
徴とする。
【0081】請求項71記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、電気的接続手段が
半導体チップの上面に形成されたボンドパッドとリード
の非折曲部の上面とを上側で接続させるボンドワイヤー
であることを特徴とする。
【0082】請求項72記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、電気的接続手段が
半導体チップの底面に形成されたボンドパッドとリード
の非折曲部の底面とを下側で接続させるボンドワイヤー
であることを特徴とする。
【0083】請求項73記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、リード上に実装さ
れる半導体チップのボンドパッドが形成されていない上
面に少なくとも一つの半導体チップが積層され、最上層
の半導体チップの上面のボンドパッドとリードとはボン
ドワイヤーにより電気的に接続され、最下層の半導体チ
ップの底面のボンドパッドとリードはバンプ又はソルダ
ジョイントにより電気的に接続されることを特徴とす
る。
【0084】請求項74記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、リードエンドの露
出面が白金又はパラジウムで鍍金されることを特徴とす
る。
【0085】請求項75記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、リードエンドの反
対側のリード一端がパッケージの外部に延長されて羽形
状又はJ字形に折曲されることを特徴とする。
【0086】請求項76記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、パッケージの外部
に延長されて折曲されたリードの一端の内側にソルダボ
ールが融着されることを特徴とする。
【0087】請求項77記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、リードエンドの反
対側のリードの一端がパッケージの外部に延長されて羽
形状又はJ字形に折曲されることを特徴とする。
【0088】請求項78記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、パッケージの外部
に延長されて折曲されたリードの一端の内側にソルダボ
ールが融着されることを特徴とする。
【0089】請求項79記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、多数のリードが相
違した長さを有する交互の多数グループでなり、X軸方
向に延長される交互の多数グループのリードは第1〜第
3折曲部により順次Z下向折曲、X軸方向折曲、Z軸下
向折曲により階段状に形成され、Y軸方向に延長される
交互の多数グループのリードは第1〜第3折曲部により
順次Z軸下向折曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲により
階段状に形成されることを特徴とする。
【0090】請求項80記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、多数のリードが相
違した長さを有する交互の多数グループでなり、X軸方
向に延長される交互の多数グループのリードのうち、相
対的に長い長さを有する多数グループのリードには同一
平面上のY軸方向転換リード部が形成され、相対的に短
い長さを有する多数グループのリードにはY軸方向転換
リード部が形成されなく、同一平面上のY軸方向転換リ
ード部が形成された多数グループのリードは第1及び第
2折曲部により順次Z軸方向折曲、Y軸方向に折曲さ
れ、同一平面上のY軸方向転換リード部が形成されない
多数グループのリードは第1及び第2折曲部により順次
Z軸下向折曲、X軸方向折曲され、Y軸方向に延長され
る交互の多数グループのリードは第1及び第2折曲部に
より順次Z軸下向折曲、Y軸方向折曲されることを特徴
とする。
【0091】請求項81記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、全てのリードが第
1折曲部によりZ軸方向に下向折曲(垂直下向折曲)さ
れる代わりに、X軸方向に延長される交互の多数グルー
プのリードのうち、同一平面上のY軸方向転換リード部
が形成されなかった多数グループのリードは第1折曲部
によりXZ軸方向に斜めに折曲され、X軸方向に延長さ
れる交互の多数グループのリードのうち、同一平面上の
Y軸方向転換リード部が形成された多数グループのリー
ドとY軸方向に延長される交互の多数グループのリード
は第1折曲部によりYZ軸方向に斜めに折曲されること
を特徴とする。
【0092】請求項82記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、多数のリードが相
違した長さを有する交互の多数グループでなり、X軸方
向に延長される交互の多数グループのリードのうち、相
対的に長い長さを有する多数グループのリードは第1〜
第3折曲部により順次Z軸下向折曲、Y軸方向折曲、Z
軸下向折曲されて全体的に階段状に形成され、相対的に
短い長さを有する多数グループのリードは第1〜第3折
曲部により順次Z軸下向折曲、X軸方向折曲、Z軸下向
き折曲されて全体的に階段状に形成され、Y軸方向に延
長される交互の多数グループのリードは第1〜第3折曲
部により順次Z軸下向折曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折
曲されて階段状に形成されることを特徴とする。
【0093】請求項83記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、リードフレームの
中央部にタイバーにより支持される半導体チップより小
さい面積の半導体チップ搭載板をさらに包含し、半導体
チップ搭載板領域に対応する下部領域を除外した同一平
面上の外郭部に多数のリードエンドがグリッドアレイを
なすことを特徴とする。
【0094】請求項84記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、リードの一端のリ
ードエンドが半導体パッケージに平行し、リードより幅
が拡張された拡張板状に形成されることを特徴とする。
【0095】請求項85記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、X軸方向に延長さ
れる相違した長さを有する交互の多数グループのリード
のうち、相対的に長い長さを有する多数グループのリー
ドは第1〜第5折曲部により順次Z軸下向折曲、Y軸方
向折曲、Z軸上向折曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲さ
れて全体的に横になったS字形に形成され、相対的に短
い長さを有する多数グループと相対的に長い長さを有す
るグループのリードは第1〜第5折曲部により順次Z軸
下向折曲、X軸方向折曲、Z軸上向折曲、X軸方向折
曲、Z軸下向折曲されて全体的に横になったS字形に形
成され、Y軸方向に延長される交互の多数グループのリ
ードは第1〜第5折曲部により順次Z軸下向折曲、Y軸
方向折曲、Z軸上向折曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲
されて全体的に横になったS字形に形成されることを特
徴とする。
【0096】請求項86記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、X軸方向に延長さ
れる多数グループのリードのうち、相対的に最も長いグ
ループのリードと、Y軸方向に延長される多数グループ
のリードのうち、相対的に最も長いグループのリードと
はリードフレームの中央下部に延長されることを特徴と
する。
【0097】請求項87記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、各々のリードにお
いて、Z軸下向折曲及びZ軸上向折曲による二つの他の
平面上への方向転換リード部間に位置するX軸又はY軸
方向の他の平面上への方向転換リード部とリードエンド
が半導体チップ実装領域に対応する一定下部領域内の同
一平面上に位置することを特徴とする。
【0098】請求項88記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、リードエンドの露
出面がプラスチック封止部の底面と同一平面上に位置す
ることを特徴とする。
【0099】請求項89記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、リードエンドの露
出面がリードの厚さだけプラスチック封止部の底面から
突出されていることを特徴とする。
【0100】請求項90記載の発明に係るリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージは、リードエンドの露
出面にソルダボールが融着されたことを特徴とする。
【0101】
【発明の実施の形態】以下、本発明のグリッドアレイ型
リードフレーム及びこれを用いたリードエンドグリッド
アレイ半導体パッケージの一実施の形態を添付図面を参
照して詳しく説明する。なお、図面において、平面図上
でのX軸は図面上の横方向、Y軸は図面上の縦方向、Z
軸は紙面の前後方向を意味し、側断面図上でのX軸は図
面上の横方向、Y軸は紙面の前後方向、Z軸は図面上の
縦方向を意味する。又、本明細書の全般にわたって使用
する“グリッドアレイ(Grid Array)”とい
う用語はリードエンド(Lead End)又はリード
エンド突出部が半導体チップ実装領域に対応する下方の
一定領域内の同一平面(つまり、半導体パッケージの製
造時、モルディング形成されるプラスチック封止部の底
面)上に少なくとも3以上の横列と縦列を成しつつ配列
されているものを意味し、各々の横列と縦列は隣接する
横列及び縦列と相互部分的に又は全体的に交互に配列さ
れたものも包含する意味である。
【0102】図1(A)は本実施の形態の第1具体例で
あるグリッドアレイ型リードフレーム1の平面図であ
り、図1(B)は図1(A)のA−A線についての側断
面図であり、便宜上ともに説明する。サイドレール(図
示せず、ダムバー7’の外側に形成される)及びダムバ
ー7’に垂直に連結支持される多数のリード2は相違し
た長さを有する多数グループでなされ、フレーム1の中
央部に向いてX軸又はY軸方向に延長される全てのリー
ド2には第1及び第2折曲部3、3aのそれぞれによる
二つの他の平面上への方向転換リード部2a、2bがそ
れぞれ形成され、前記多数グループ中の少なくとも一つ
以上のリードグループには少なくとも一つ以上の同一平
面上の方向転換部2’が形成でき、リード2の延長方向
の一端には元のリード幅より幅の拡張された正方形のリ
ードエンド4が形成される。
【0103】より具体的には、フレーム1の中央部に向
いてX軸方向に延長される全てのリード2は第1折曲部
3によるXZ軸方向に斜めに折曲された他の平面上への
方向転換リード部2aと、第2折曲部3aにより折曲前
の元の方向と同一方向であるX軸方向に折曲された他の
平面上への方向転換リード部2bとを有し(図1B参
照)、フレーム1の中央部に向いてY軸方向に延長され
る全てのリード2は第1折曲部3によるYZ軸方向に折
曲された他の平面上への方向転換リード部2aと、第2
折曲部3aにより折曲前の元の方向と同一方向であるX
軸方向に折曲された他の平面上への方向転換リード部2
bとを有する。全てのリード2上に形成される第1折曲
部3の位置はダムバー7’から同一距離を置きプラスチ
ック封止領域(一点鎖線で表示された部分)の内側隣接
部分に形成され、第1折曲部3によりリード2は下方に
斜めに折曲される。次いで、ダムバー7’から第1折曲
部に隣接した同一距離上に位置する第2折曲部3aによ
り折曲前の元の延長方向と同一方向に延長される。結
局、各リード2はX軸及び/又はY軸及びZ軸方向に位
置変更して半導体チップ実装領域(二点鎖線で表示した
領域内)の下部に延長される。
【0104】図1(A)において、X軸方向に延長され
るリード2には同一平面上の方向転換リード部2’が形
成されなく(但し、コーナーに隣接したリードは例外
で、方向転換リード部2’が二つ又は四つ形成されてい
る)、Y軸方向に延長されるリード2には同一平面上の
方向転換リード部2’が形成されなかったものと二つ又
は六つ形成されたものとが交互に位置し、各コーナー部
には二つのリード2が一つのリードエンド4を形成する
ようになっているが、このような折曲及びアレイ形態は
任意的であり、必要によって変形可能であることは勿論
である。
【0105】従って、多数の全てのリードがX軸及びZ
軸の2方向、又はY軸及びZ軸の2方向、又はX軸及び
Y軸とZ軸の3方向のいずれかの選択による位置変更を
成しながら半導体チップ実装領域下部の同一平面上に延
長されてグリッドアレイをなす。このようにして、各々
のリードエンド4は半導体チップ実装領域(二点鎖線で
表示した部分)に対応する一定下部領域内の同一平面上
の予め決定された所定位置に位置し、交互の横列と縦列
のグリッドアレイをなすことになる。図1(A)の場
合、相違した長さを有するリードグループは8グループ
であり(Z軸方向延長2グループ、Y軸方向延長4グル
ープ、コーナーのリードエンドに延長される2グルー
プ)、リードエンド4は8列の交互の横列(但し、4列
と5列は対称である)と11列の交互の縦列のグリッド
アレイを例示している。
【0106】又、リード2が一体に結合されている1側
面を除外したリードエンド4の3側面のうち、リード2
の進行方向側面を含んだ少なくとも1側面にはリードエ
ンドチップ4”が形成される。リードエンドチップ4”
は、グリッドアレイ型リードフレーム1を用いた半導体
パッケージの製造時、モルディング形成されるプラスチ
ック封止部(図示せず)内にリードエンド4を堅固に固
定させる役割をする。リードエンド4の底面には食刻
(Etching)処理により円筒状に突出されたリー
ドエンド突出部4’が形成される(図1Aではリードエ
ンド4内の点線で表示した円形部分)。リードエンド突
出部4’は半導体パッケージの製造後に入出力端子とし
て使用される。
【0107】半導体チップ(図示せず)は図1(A)及
び図1(B)に示した半導体チップ搭載板5上にエポキ
シ樹脂又は接着テープ等のような接着手段により付着さ
れ、点線で表示した部分はプラスチック封止部の形成後
に形成される領域を示す。半導体チップ搭載板5は本発
明のグリッドアレイ型リードフレーム1の左右両側の長
方形搭載板5’及び中央部の三つの正方形搭載板5”が
一列に支持部材6’により支持され、二つの長方形搭載
板5’は第1及び第2折曲部3、3aによりリード2と
同様に折曲されたそれぞれ二つのタイバー6によりダム
バー7’に支持されている。搭載板5’、5”の底面に
は円形突出部5a(図1Aでは搭載板5’、5”上に円
形の点線で表示した部分)がリードエンド突出部4’と
同一平面上に形成されされ、半導体パッケージの製造後
に円形突出部5aがプラスチック封止部(図示せず)の
外部に露出されるので、半導体チップの動作時に発生さ
れる熱が効率的に外部に放出されるようにする。このよ
うな搭載板5の形状及び配列は必要によって変形して選
択し得ることは勿論である。
【0108】又、本実施の形態のグリッドアレイ型リー
ドフレーム1の4コーナー部分には、半導体パッケージ
の製造時にモルディングされてプラスチック封止部を形
成する液状の樹脂封止材を案内誘導するためのガイド8
が形成され、ガイド8には折曲部が形成されていないの
でダムバー7’と同一平面上に位置することになる。こ
のようなガイド8の形状は必要によって任意の形状に変
形できる。
【0109】図2は本実施の形態の第2具体例であるグ
リッドアレイ型リードフレーム1’の平面図で、多数の
リードが相違した長さを有する少なくとも二つ以上のグ
ループでなり、フレーム1’の中央に向いてY軸方向に
延長される各々のリード2には、リードエンド4への延
長線上に少なくとも一つの同一平面上の方向転換リード
部2’及び少なくとも一つの折曲部3、3a〜3cによ
る少なくとも一つの他の平面上への方向転換リード部2
a〜2cが形成され、これらにより各々のリード2はX
軸、Y軸及びZ軸方向に位置変更して中央の半導体チッ
プ実装領域(点線で表示した領域)に対応する下部領域
内の同一平面上にグリッドアレイを成すように延長され
る。
【0110】具体的に、図2の場合には、全てのリード
が基本的にY軸方向に延長され、相違した長さを有する
リードグループは6グループが存在し(このうちの2グ
ループのリードは一つのリードエンドに延長される)、
同一平面上の方向転換リード部2’はXY軸方向転換
(つまり、XY平面上での斜線方向に延長)、X軸方向
転換及びY軸方向転換の少なくとも一方向への転換を
し、同一平面上の方向転換リード部2’の数は2、4又
は6である。従って、図2は多数のリードエンド4が8
列の交互の横列(但し、4列と5列は対称である)と9
列の部分的な交互の縦列グリッドアレイを成すものを例
示している。
【0111】半導体チップ(図示背渦)は図面上の右側
に位置する半導体チップより小さい面積を有する搭載板
5上にエポキシ樹脂又は接着テープ等の接着手段により
付着され、点線で表示した部分はプラスチック封止部の
形成後に切断される領域を示す。
【0112】これまで本実施の形態の第1及び第2具体
例としてグリッドアレイ型リードフレーム1、1’につ
いて説明したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、相違した多数のリードグループの各グループ相互間
のリード2により形成される折曲部3nの数を全部又は
部分的に同一にするか、又は全部相違するようにするこ
ともでき、又、各グループ内の多数のリード2の相互間
のリード2に形成される折曲部3nの数に全部同一にす
るか又は部分的に同一にすることもできるが、このよう
な事項は選択的である。又、相違した長さを有する多数
のリードグループのうち、同一平面上の方向転換リード
部2’が少なくとも2以上のグループに形成される場
合、各グループ相互間のリード2に形成される同一平面
上の方向転換リード部2’の数を全部又は部分的に同一
にするか、又は全部相違するようにすることもでき、ま
た、各グループ内の多数のリード2の相互間のリード2
に形成される同一平面上の方向転換リード部2’の数を
全部又は部分的に同一にすることもできるが、このよう
な事項もやはり選択的である。
【0113】従って、リードフレーム上の多数のリード
2がみんなX軸及びZ軸の2方向、又はY軸及びZ軸の
2方向、又はX軸及びY軸及びZ軸の3方向のどの一つ
の選択による位置変更を続けて延長され、これとは別
に、同一平面上の方向転換リード2’がリード2に形成
される場合には、同一平面上の方向転換リード部2’が
XY軸方向転換、X軸方向転換、又はY軸方向転換中の
少なくともどの一つによる方向転換を1回又は続けて延
長されて、半導体チップ実装領域の下部の同一平面上に
グリッドアレイをなす限り、本発明の範囲内にある。
【0114】以下、本実施の形態の他の好ましい具体例
について説明するが、これは本発明の基本様態を説明す
るためのものであるだけ、本発明を限定するためのもの
ではない。図3は本実施の形態の好ましい第3具体例に
よる6枚のグリッドアレイ型ユニットリードフレーム1
aのストリップ1”についての平面図で、各ユニットフ
レーム1aは中央部の半導体チップより小さい面積を有
する半導体チップ搭載板5とその四方に位置する多数の
リード2及びこれらを支持するサイドレール7で構成さ
れ、このようなストリップ1”はパッケージ1aの製造
工程を効率性よくする。
【0115】図4は図3に示したストリップ1”中のユ
ニットフレーム1aの平面図で、本実施の形態の好まし
い第3具体例を示し、図8(A)、図8(B)について
の説明を参照すると容易に理解できる。この第3具体例
によるグリッドアレイ型リードフレーム1aは、中央の
半導体チップより小さい面積を有する半導体チップ搭載
板5と、これを支持するタイバー6と、相違した長さを
有する少なくとも2以上のグループでなった多数のリー
ド2とを含み、フレーム1aと同一平面上の4方向から
半導体チップ搭載板5に向いて延長される各リード2の
延長線上に第1〜第3折曲部3、3a、3b(3aは図
面上に図示せず)による三つの他の平面上への方向転換
リード部2a、2b(2aは図面上に示さなく、最終的
な他の平面上への方向転換リード部はリードエンドであ
る(図面上に図示せず))によりX軸方向に延長される
リード2はX軸又はZ軸方向に、Y軸方向に延長される
リード2はY軸又はZ軸方向にだけ位置変更して、半導
体チップ搭載板5に対応する下部領域を除いた半導体チ
ップ実装領域下部の同一平面上に延長される。
【0116】具体的に、前記多数のリードが二通りの相
違した長さを有する相互交互の2グループでなり、同一
平面上の方向転換リード部は存在しない。X軸方向に延
長される2グループのリードは第1〜第3折曲部により
順次Z軸下向折曲、X軸方向折曲、Z軸下向折曲により
階段状に形成され、Y軸方向に延長される2グループの
リードは第1〜第3折曲部により順次Z軸下向折曲、Y
軸方向折曲、Z軸下向折曲により階段状に形成される。
【0117】従って、各々のリードエンド(図面上には
示さない)はフレーム1aの下部の予定された同一平面
上の所定位置に位置し、同一平面上に部分的に交互の横
列と縦列のグリッドアレイをなすことになる。図4は多
数のリードエンドが14列の部分的に交互の横列と12
列の部分的に交互の縦列のグリッドアレイをなすものを
例示する。
【0118】図5(A)は本実施の形態の好ましい第4
具体例によるグリッドアレイ型リードフレーム1bにつ
いての概略平面図で、外郭線は半導体パッケージの完成
後に切断される領域を示す。図5(B)は図5(A)の
左側部を示す部分斜視図で、便宜上図5(A)及び図5
(B)を共に説明する。本実施の形態の第4具体例によ
るフレーム1bはタイバー6によりフレーム1bのサイ
ドレール上に支持される半導体チップ搭載板5と、この
搭載板に向いて4側面から延長される相違した長さを有
する6グループの多数のリード2とを含む。半導体チッ
プ搭載板5に向いてY軸方向に延長される予め決定され
た二通りの相互交互の相違したグループの多数のリード
2にはリードエンド4に向く延長線上に第1折曲部3よ
り直角にZ軸方向に下向折曲された他の平面上への方向
転換リード部2aが形成され、他の平面上への方向転換
リード部2aは第2折曲部3aにより再び直角にY軸方
向に折曲されてリードエンド4を形成し、リードエンド
4はリードフレームに平行であり、マザーボード(図示
せず)への接続を容易にするために広い面積を有する拡
張部に形成される(図5B参照)。半導体チップ搭載板
5に向いてX軸方向に延長される予め決定された四通り
の相違した長さを有する相互交互のグループでなった多
数のリード2のうち、相対的に長い2グループのリード
には同一平面上の方向転換リード部2’が形成されてい
るが、相対的に短い2グループのリードには形成されて
いなく、これらは相互交互にアレイされる。同一平面上
の方向転換リード部2’が形成されていない2グループ
のリード2は、第1折曲部3により直角にZ軸方向に下
向に折曲された他の平面上への方向転換リード部2aが
第2折曲部3aにより再び直角にX軸方向に折曲されて
リードエンド4を形成する点を除き、図5(A)上の縦
方向に延長されるリード2の場合と同一である(図5B
参照)。同一平面上の方向転換リード部2’が形成され
ている残りの2グループのリード2は同一平面上の方向
転換リード部2’により同一平面上で直角方向に方向転
換された後、第1折曲部3により直角にZ軸方向に折曲
されて他の平面上への方向転換リード部2aを形成し、
他の平面上への方向転換リード部2aは再び第2折曲部
3aにより直角にY方向に折曲されてリードエンド4を
形成する(図5B参照)。
【0119】従って、各リードエンド4は半導体チップ
実装領域の下部のうち、半導体チップ搭載板5の下部領
域を除外した領域内の予め決定された所定の位置に位置
し、同一平面上で交互の9列の横列と交互の10列の縦
列(但し、4列と7列は対称である)でなったグリッド
アレイをなすことになる。
【0120】一方、図6は前記第4具体例の変形例につ
いての部分概略斜視図で、リード2の相互間を接続させ
るリード接続部9が形成されている点を除き、図4具体
例と同一構成であり、このようなリード接続部9による
接続リード2の数及び位置は必要によって任意に選択で
き、これにより、パワーシグナル又はグラウンドを一つ
のワイヤーボンディング又はバンプ接続により効率的に
所望数のリード2が共有し得ることになる。又、この変
形例ではタイバーにより支持される半導体チップ搭載板
は存在しないので、半導体チップは適宜選択された多数
のリード2上に直接実装され、このような変形は任意的
である。
【0121】図7(A)は本実施の形態の好ましい第5
具体例によるグリッドアレイ型リードフレーム1cにつ
いての概略平面図で、外郭線はパッケージの完成後に切
断される領域を示す。図7(B)は図7(A)の左側部
を示す部分概略斜視図である。示したように、この好ま
しい第5具体例によるリードフレーム1cにおいては、
他の平面上への方向転換リード部2aが第1折曲部3に
よりZ軸方向に直角に下向折曲される代わりに、YZ軸
方向又はXZ軸方向に斜めに下向に延長される点を除
き、その基本構成が図5(A)、図5(B)に示した第
4具体例と実質的に同一である。具体的に、図5
(A)、図5(B)の場合と同様に、全てのリード2が
第1折曲部3によりZ軸方向に下向折曲(垂直下向折
曲)される代わりに、X軸方向に延長される相互交互の
4グループのリード2のうち、同一平面上のY軸方向転
換リード2’が形成されなかった2グループのリード2
は第1折曲部3によりXZ軸方向に斜めに折曲され、X
軸方向に延長される相互交互の4グループのリードのう
ち、同一平面上のY軸方向転換リード部2’が形成され
た2グループのリード2とY軸方向に延長される相互交
互の2グループのリード2とは第1折曲部3によりYZ
軸方向に斜めに折曲される。
【0122】図8(A)、図8(B)はそれぞれ本実施
の形態の好ましい第6具体例によるグリッドアレイ型リ
ードフレーム1dについての概略平面図と、この概略平
面図の左側部を示す部分概略斜視図である。同図に示し
たように、この好ましい第6具体例によるリードフレー
ム1dの基本構成は第3、第4具体例と実質的に同一で
あるので、その相違点についてだけ説明する。半導体チ
ップ搭載板5に向いてY軸方向に延長される予め決定さ
れた相違した長さを有する2グループの交互に配列され
たリード2にはリードエンド4に向く延長線上に第1折
曲部3により直角にZ軸方向に下向折曲された他の平面
上への方向転換リード部2a(図8A上には示されない
ので、図8B参照)が形成され、他の平面上への方向転
換リード部2aは第2折曲部(図8A上では折曲部3の
垂直下部に重畳されて見えないので、図8B参照)によ
り再び直角にY軸方向に折曲されて他の平面上への方向
転換リード部2bが形成され、他の平面上への方向転換
リード部2bは第3折曲部3bにより再び直角にZ軸方
向に下向折曲されてリードエンド4(図9A上には示さ
れないので、図9B参照)が形成される。
【0123】従って、各々のリード2は全体的に階段状
に形成される。本実施の形態の好ましい第6具体例にお
けるリードエンド4は拡張部の形成なしに元のリード2
の幅と同一に形成される。半導体チップ搭載板5に向い
てX軸方向に延長される予め決定された四通りの相違し
た長さを有するグループのリード2のうち、相対的に短
い長さを有する2グループのリード2はX軸及びZ軸方
向にだけ延長され、相対的に長い長さを2グループのリ
ード2はX軸とY軸及びZ軸方向に延長される。このよ
うに延長パターン及び長さの相違したグループのリード
2は相互交互に配列される。
【0124】図8(B)から分かるように、X軸及びZ
軸方向にだけ延長されるリード2は、第2折曲部3aに
より形成される他の平面上への方向転換リード部2bが
リード2の延長方向であるX軸方向に延長される点を除
き、半導体チップ搭載板5に向いてY軸方向(図8A上
での縦方向)に延長されるリード2の場合と同一方式で
ある階段形状に折曲される。
【0125】一方、X軸とY軸及びZ軸方向の全方向に
延長されるリード2にも同一平面上の方向転換リード部
は形成されていない。しかし、リード2の先端部側面に
は第1折曲部3により直角にZ軸方向に下向折曲されて
延長される他の平面上への方向転換リード部2aが形成
され、他の平面上への方向転換リード部2aは第2折曲
部3aにより直角にY軸方向に折曲されて他の平面上へ
の方向転換リード部2bを形成し、再び第3折曲部3b
によりZ軸方向に直角に下向折曲されて延長されるリー
ドエンド4を形成する。従って、各々のリード2の全体
的な形状は階段状に形成される。結局、各リードエンド
4は半導体チップ実装領域の下部のうち、半導体チップ
搭載板5を除外した領域内の予め決定された所定の位置
に位置し、同一平面上でそれぞれ14列の横列と縦列で
なった交互の(但し、縦列中の4列と7列は対称であ
る)グリッドアレイを成すことになる。
【0126】図9(A)、図9(B)はそれぞれ本実施
の形態の好ましい第7具体例によるグリッドアレイ型リ
ードフレーム1eについての概略平面図と、この概略平
面図の左側部を示す部分概略斜視図である。同図に示す
ように、この好ましい第7具体例によるリードフレーム
1eの基本構成は、リード2の折曲形状が異なる点と半
導体チップ搭載板が存在しない点を除き、第6具体例に
実質的に類似する。リードフレーム1eの中央部に向い
てY軸方向(図9A上での縦方向)に延長される相違し
た長さを有する3グループの交互に配列されたリード2
(最も長いグループのリード2は中央に位置)にはリー
ドエンド4に向く延長線上に第1折曲部3により直角に
Z軸方向に下向折曲された他の平面上への方向転換リー
ド部2a(図9A上には示されないので、前記9B参
照)が形成され、他の平面上への方向転換リード部2a
は第2折曲部3a(図9A上には折曲部3の垂直下部に
重畳されるので、図9B参照)により再び直角にY軸方
向に折曲されて他の平面上への方向転換リード部2bが
形成され、他の平面上への方向転換リード部2bは第3
折曲部3b(図9A上には折曲部3cの垂直下部に重畳
されるので、図9B参照)により再び直角にZ軸方向に
上向折曲されて他の平面上への方向転換リード部2c
(図9A上には示されないので、前記9B参照)が形成
される。他の平面上への方向転換リード部2cは第4折
曲部3cにより直角にY軸方向に折曲されて他の平面上
への方向転換リード部2dを形成し、第5折曲部3dに
より再びZ軸方向に直角に下向折曲されてリードエンド
4を形成する。従って、各々のリード2は全体的に横に
なったS字形状に形成され、リードエンド4は拡張部の
形成なしに元のリード2の幅と同一に形成される。
【0127】リードフレーム1eの中央部分に向いてX
軸方向(図9A上での横方向)に延長される予め決定さ
れた五通りの相違した長さを有するグループのリード2
のうち、相対的に最も長いリードグループのリード2は
X軸及びZ軸方向にだけ延長され、残りの2グループは
X軸とY軸及びZ軸方向に延長される。このように延長
パターン及び長さの相違したグループのリード2は相互
交互に配列される。図9(B)から分かるように、X軸
及びZ軸方向にだけ延長されるリード2は、第2及び第
4折曲部3a、3cによりそれぞれ形成される他の平面
上への方向転換リード部2b及び2dがリード2の延長
方向であるX軸方向に延長される点を除き、リードフレ
ーム1eの中央部に向いてY軸方向(図9A上での縦方
向)に延長されるグループのリード2の場合と同様な方
式に折曲される。
【0128】一方、X軸とY軸及びZ軸方向の全方向に
延長される残りのグループのリード2にも同一平面上の
方向転換リード部は形成されていない。しかし、リード
2の先端部側面に第1折曲部3により直角にZ軸方向に
下向折曲されて延長される他の平面上への方向転換リー
ド部2aが形成され、他の平面上への方向転換リード部
2aは第2折曲部3aにより直角にY軸方向に折曲され
て他の平面上への方向転換リードb2bを形成し、再び
第3折曲部3bによりZ軸方向に直角に上向折曲されて
他の平面上への方向転換リード2cを形成する。他の平
面上への方向転換転換リード部2cは第4折曲部3cに
より再び直角にY軸方向に折曲されて他の平面上への方
向転換リード部2dを形成し、第5折曲部3dによりZ
軸方向に直角に下向折曲されてリードエンド4を形成す
る。結局、各々のリード2の全体的な形状は横になった
S字形状であり、リードエンド4は拡張部の形成なしに
元のリード2の幅と同一に形成される。
【0129】各リード2において、第1折曲部3による
Z軸下向折曲及び第3折曲部3bによるZ軸上向折曲に
よる二つの他の平面上への方向転換リード部2aと2c
の間に位置するX軸又はY軸方向の他の平面上への方向
転換リード部2bとリードエンド4が半導体チップ実装
領域に対応する一定下部領域内の同一平面上に位置する
ので、これを用いて半導体パッケージを製造する時、一
つのリード2に2又はそれ以上の入出力端子を形成し得
るとともに、他の平面上への方向転換リード部2bが放
熱ピンとしての機能をなす長所がある。従って、各々の
リードエンド4と他の平面上への方向転換リード部2b
は半導体チップ実装領域下部の予め決定された所定位置
に位置し、同一平面上で28列の横列と23列の縦列で
なった交互のグリッドアレイをなす。
【0130】本実施の形態による多様な類型のグリッド
アレイ型リードフレームは、多数のユニットフレームで
構成されるストリップ原材をカッターでカッティングし
て所望形状の平面状になったフレーム原形を製造した
後、所望の折曲されたリード形状を付与するため、これ
にマッチする形状のプレスダイ上に平面状のプレス原形
を位置させた後、このプレスダイにマッチする形状のプ
レスでプレシングすることにより容易に製造し得る。
【0131】以上、グリッドアレイ型リードフレームに
ついての好ましい具体例について詳細に説明したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、予め設定された
相違した長さを有するリード折曲部による他の平面上へ
の方向転換リード部及び/又は同一平面上の方向転換リ
ード部をリードフレームが有し、これによりリードエン
ドが半導体チップ実装領域に対応するパッケージの底面
上にグリッドアレイをなす限り、本発明の領域内に包含
されるものであり、相違した長さを有するリードタイプ
の数、配列、長さ、リードの総数、折曲部による他の平
面上への方向転換リード部の数、その形態、傾斜角度、
グリッドアレイの形態等においての多様な変化又は修
正、又は同一平面上の方向転換リード部の存在有無又は
形態、又はその角度、半導体チップ実装パッドの存在有
無等によって本発明の領域を外れることではない。
【0132】図10(A)及び図10(B)はそれぞれ
本実施の形態のグリッドアレイ型リードフレーム上に半
導体チップを実装した後、半導体チップとリードフレー
ムを電気的に接続させ、モルディングしてプラスチック
封止部を形成させた本実施の形態によるリードエンドグ
リッドアレイ半導体パッケージにおいて、パッケージの
底面上に露出されたリードエンド4のアレイを例示した
底面図である。
【0133】図10(A)は半導体チップ搭載板が中央
部に形成されているグリッドアレイ型リードフレームを
用いたリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージの
一例についての底面で、プラスチック封止部40の底面
上に露出されたリードエンド4が半導体チップ(図示せ
ず)実装領域に対応するパッケージ底面上の領域内にグ
リッドアレイ形状に位置し、パッケージ底面の半導体チ
ップ搭載板(搭載板の面積は半導体チップの大きさに比
べてかなり小さい)位置領域に対応するパッケージ底面
上の領域にはリードエンド4が存在しないように形成さ
れている。しかし、パッケージ内部の半導体チップ搭載
板(図示せず)の位置領域に対応するパッケージ底面上
の領域にリードエンド4が存在するように形成すること
もでき、これは選択的な事項に過ぎない。又、横列と縦
列をなす露出されたリードエンド4の各々を隣接する横
列と縦列のリードエンド4と相互交互に位置させること
が、単位面積当たり入出力端子として使用される露出リ
ードエンドの数を増加させるとともに露出リードエンド
相互間の間隔を増大させ得るので好ましい。
【0134】図10(B)は半導体チップ搭載板が中央
部に形成されていないグリッドアレイ型リードフレーム
を用いたリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ
の他の一例についての底面図で、半導体チップの面積と
同一面積を有するプラスチック封止部40の底面全体に
リードエンド4が均一に分布されて交互のグリッドアレ
イをなしている。しかし、半導体チップ搭載板5の存
在、又はプラスチック封止部40の底面上に露出される
リードエンド4のグリッドアレイの形態は任意的であ
り、必要によって多様な変化が可能であることは勿論で
ある。
【0135】次いで、グリッドアレイ型リードフレーム
を用いた本実施の形態のリードエンドグリッドアレイ半
導体パッケージを添付図面を参照してより詳細に説明す
る。図11(A)及び図11(B)はそれぞれ図1
(A)及び図1(B)のグリッドアレイ型リードフレー
ム1を用いた本実施の形態の好ましい第1具体例による
リードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ10α及
び10βの側断面図で、図11(B)は図11(A)の
変形例に過ぎないので、図11(A)について先ず説明
する。
【0136】図11(A)に示した本実施の形態のリー
ドエンドグリッドアレイ半導体パッケージ10αは、相
違した長さを有する多数グループでなり、リードエンド
4の底面にリードエンド突出部4’が形成された多数の
リード2と、半導体チップ搭載板5’、5”上に接着テ
ープ又はエポキシ樹脂等のような接着手段50により実
装される半導体チップ20と、半導体チップ20の上面
の所定箇所に位置するボンドパッド(図示せず)とリー
ド2を電気的に接続させる電気的接続手段であるボンド
ワイヤー30と、半導体チップ20、ボンドワイヤー3
0及びリード2を外部環境から保護するための樹脂封止
材をモルディングしてなり、入出力端子として使用され
るリードエンド突出部4’が半導体チップ実装領域下部
の同一平面所に交互のグリッドアレイをなして外部に露
出されるように形成されるプラスチック封止部40とか
ら構成される。
【0137】相違した長さを有する多数グループでなっ
た多数のリード2と半導体チップ搭載板5’、5”は本
実施の形態の好ましい第1具体例によるグリッドアレイ
型リードフレーム1を用いたもので(図1Aに点線で表
示した部分を切断)、リード2は相違した長さを有する
6グループでなる。全て8グループのリード2はパッケ
ージ10αの4側端に隣接する部分に形成される第1折
曲部3により下向に傾いた他の平面上への方向転換リー
ド部2aを形成し、再び第2折曲部3aにより他の平面
上への方向転換リード部2bを形成する。他の平面上へ
の方向転換リード部2bは半導体パッケージ10αの底
面に平行した平面上に位置する。又、多数のリード2に
は同一平面上の方向転換リード部(図11Aには示され
ないので、図1A参照)が形成されなかったものと、二
つ、四つ又は六つが形成されたものが相互交互に配列さ
れる(図1A参照)。
【0138】他の平面上への方向転換リード2bの端部
には正方形に拡張されたリードエンド4が形成され、リ
ードエンド4の底面には食刻処理により円筒形のリード
エンド突出部4’が形成されて入出力端子として機能す
る。リード2に対する同一平面上の方向転換リード部の
形成、数(つまり、XY平面上での位置変換状態)、又
は他の平面上への方向転換リード部2aの下向折曲角
度、リード2の数等は任意的であり、必要によって適宜
選択できる。又、リード2が一体に結合されている1側
面を除外したリードエンド4の3側面のうち、リード2
の進行方向側面を含んだ少なくとも1側面にはリードエ
ンドチップ4”が形成され(図1A参照)、これは半導
体パッケージの製造時にモルディング形成されるプラス
チック封止部40内にリードエンド4を堅固に固定する
役割をする。
【0139】点線で示した半導体チップ搭載板5’、
5”は半導体パッケージ10αの両側の長方形搭載板
5’及び中央部の三つの正方形搭載板5”が中央部を横
切って一列に形成され(図1A参照)、搭載板5’、
5”は支持部材6’により相互連結支持され、長方形搭
載板5’はその一端部に第1及び第2折曲部3、3aと
同様に折曲された二つのタイバー6(図1Aの点線部で
切断された状態)により他の平面上への方向転換リード
部2b及びリードエンド4と同一平面上に位置する。搭
載板5’、5”の底面にはリードエンド4の場合と同様
に食刻処理による円筒形の放熱突出部5aが形成され、
この放熱突出部5aはプラスチック封止部40の底面に
露出されているので、半導体チップ20の作動時に発生
される熱が効率的に放出されるようにする。このような
半導体チップ搭載板5’、5”の形状又は配列形態は任
意的であり、必要によって多様な変化が可能であること
は勿論である。
【0140】半導体チップ20は搭載板5’、5”上に
熱伝導性エポキシ又は接着テープ等のような接着手段5
0により付着されるが、この場合、必要によっては搭載
板5’、5”だけでなく、各々の全てのリードエンド4
又は予め選択された位置のリードエンド4の上面にも接
着手段50を用いて半導体チップ20を付着させること
ができる。
【0141】この好ましい第1具体例によるリードエン
ドグリッドアレイ半導体パッケージ10αにおいては、
全てのリード2が半導体パッケージ10αの4側面に隣
接した同一距離の位置で第1折曲部3により同一形さ角
度に折曲され、第2折曲部3aもやはり4側面に隣接し
た同一距離の位置で折曲されて、半導体パッケージ10
αの底面に平行した平面上に方向転換リード部2bが位
置する。従って、8グループの全てのリード2とタイバ
ー6の折曲形態は均等であるが、他の平面上への方向転
換リード部2bの長さ及びXY平面上での位置変換状態
はグループ別に相違する。従って、全てのリード2のリ
ードエンド突出部4’は半導体チップ20の実装領域に
対応する下部のプラスチック封止部40の底面領域内に
8列の交互の横列(但し、4列と5列は対称である)と
11列の交互の縦列のグリッドアレイを表し(図1A参
照)、これにより半導体パッケージの半導体チップの寸
法化、つまり半導体パッケージの半導体チップのスケー
ル化が可能になる。リードエンド突出部4’はプラスチ
ック封止部40の底面と同一平面上に位置するが、これ
に限定されるものではなく、必要によっては突出される
か又はソルダボール(図示せず)を融着させることもで
きる。
【0142】図11(B)の半導体パッケージ10βは
図11(A)の半導体パッケージ10αの変形例で、半
導体チップ20の上面のボンドパッド(図示せず)とリ
ード2を電気的に接続させるための接続手段としてワイ
ヤー30を使用する代わりに、半導体チップ20の底面
に形成されたボンドパッド(図示せず)とリード2をバ
ンプ(Bump)又はソルダジョイント31により電気
的に接続させたものである。その外にも、必要によって
は半導体チップ20の底面に形成させたボンドパッド
(図示せず)とリード2の底面を下側でワイヤーで連結
させることもできる。その外にも、示さなかったが、半
導体チップの上面が半導体パッケージの外部に露出され
るようにプラスチック封止部を形成させることにより、
半導体パッケージの作動時に発生される熱を効率的に放
出させ得るようにするとともに、半導体パッケージの軽
薄短小化を図り得、又は半導体パッケージの上面に放熱
板を付着させた構成、又は半導体チップを2枚以上積層
させた構成にすることもできる。
【0143】図12(A)、図12(B)及び図12
(C)はそれぞれ図5(A)、図5(B)のグリッドア
レイ型リードフレーム1bを用いた本実施の形態の好ま
しい第2具体例によるリードエンドグリッドアレイ半導
体パッケージ10、10’、10”の概略側断面図で、
図12(B)及び図12(C)は図12(A)の変形例
に過ぎないので、図12(A)についてまず説明する。
図12(A)に示した本実施の形態のリードエンドグリ
ッドアレイ半導体パッケージ10は、相違した長さを有
する多数グループでなる多数のリード2と、半導体チッ
プ搭載板5上に接着テープ又はエポキシ樹脂等のような
接着手段50により実装される半導体チップ20と、半
導体チップ20の上面の所定箇所に位置するボンドパッ
ド(図示せず)とリード2の非折曲部の上面を上側で電
気的に接続させる電気的接続手段であるボンドワイヤー
30と、半導体チップ20、ボンドワイヤー30及びリ
ード2を外部環境から保護するための樹脂封止材をモル
ディングしてなり、入出力端子として使用されるリード
エンド4が半導体チップ実装領域下部の同一平面所に交
互のグリッドアレイをなして外部に露出されるように形
成されるプラスチック封止部40とから構成される。
【0144】ここで、同一平面上の方向転換リード部を
有するリード2(図12A上ではリードの前面が前方に
向いている)とこれを有しないリード2(図10Aでは
リード側面が前方に向いている)は相互交互にアレイさ
れる(図5A及び図5B参照)。又、本実施の形態のリ
ードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ10におい
ては、図5(A)に示すように、タイバー6により支持
される半導体チップ搭載板5を形成させることもできる
が、これは選択的である。一方、図12(A)で点線で
表示したリードは切断面に隣接した後方のリード2を示
したものである。
【0145】多数のリード2と半導体チップ搭載板5は
第4具体例によるグリッドアレイ型リードフレーム1b
を用いたもので、多数のリード2は相違した長さを有す
る6グループでなり、それぞれ第1折曲部3により下方
に直角折曲されて他の平面上への方向転換リード部2a
を形成し、この方向転換リード部2aは再び折曲部3a
により直角に折曲されて、半導体パッケージ10の底面
と同一平面上に延長されるリードエンド4を形成し、同
一平面上の方向転換リード部(図面上には図示せず)は
選択されたリード2にだけ形成される。このような本実
施の形態の好ましい第2具体例によるリードエンドグリ
ッドアレイ半導体パッケージ10においては、6グルー
プの多数のリード2に形成される第1折曲部3及び第2
折曲部3aの位置がグループ相互間に異なり、その具体
的な折曲及び配列形態については図5(A)及び図5
(B)を参照する。
【0146】リード2の数と同数の入出力端子として使
用されるリードエンド4は本実施の形態による半導体パ
ッケージ10の底面、つまりプラスチック封止部40の
底面に露出された状態で全体的又は部分的に交互のグリ
ッドアレイをなし、このようなグリッドアレイは半導体
チップ20の実装領域に対応するパッケージの底面領域
内に位置する。従って、パッケージ寸法の半導体チップ
の寸法化、つまりパッケージのチップのスケール化が可
能になる。図12(A)においては、プラスチックパッ
ケージ10の寸法が半導体チップ20の寸法よりかなり
大きく示されているが、これは作図上の便宜のためのも
のだけ、通常のコードフラット半導体パッケージ又はボ
ールグリッドアレイタイプの半導体パッケージにおける
パッケージと半導体チップ間のかなりの寸法差に比べ
て、その寸法差は非常に小さいことを注目する必要があ
る。
【0147】図12(B)及び図12(C)に示したリ
ードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ10’及び
10”の基本構成は図12(A)の半導体パッケージ1
0の構成と実質的に同一であり、図12(B)の場合に
おいては、半導体チップ搭載板が存在しなく、ボンドパ
ッド(図示せず)が半導体チップ20の底面に位置し、
このボンドパッドとリード2の非折曲部の底面を下側で
電気的に接続させるボンドワイヤー30がリード2の底
面にボンディングされる点についてだけ図12(A)と
異なり、図12の場合においては、ボンドパッド(図示
せず)が半導体チップ20の底面に位置し、このボンド
パッドとリード2がバンプ又はソルダジョイント31に
より電気的に接続される点についてだけ図12(A)と
異なる。
【0148】本実施の形態の好ましい第2具体例による
リードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ10、1
0’、10”においては、パッケージ10、10’、1
0”をマザーボード(図示せず)に実装するとき、入出
力端子として使用されるリードエンド4の容易な接続及
び半導体チップ20の作動時に発生する熱の効率的な放
出のため、リードエンド4を広い面積を有する平面上の
拡張部に形成している。
【0149】図13は図7(A)、図7(B)のグリッ
ドアレイ型リードフレーム1cを用いた本実施の形態の
好ましい第3具体例によるリードエンドグリッドアレイ
半導体パッケージ10aの概略側断面図で、リード2の
延長線上に形成される第1折曲部3により他の平面上へ
の方向転換リード部2aがZ軸方向に直角に下向折曲さ
れる図12(A)に示した第2具体例の場合とは異な
り、他の平面上への方向転換リード部2aが下向に斜め
に延長される点を除きその基本構成が第2具体例による
リードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ10と実
質的に同一である。又、図12(A)及び図12(C)
に示したような半導体チップ20とリード2間の電気的
接続のための接続位置の変形又はバンプのような接続手
段の選択が同様に適用できることは勿論である。
【0150】図14は図5(A)、図5(B)の変形さ
れたグリッドアレイ型リードフレームを用いた本実施の
形態の好ましい第4具体例によるリードエンドグリッド
アレイ半導体パッケージ10bの概略側断面図で、その
基本構成はリード2の折曲形状での少しの差を除き図1
2(A)及び図13の場合と実質的に同一であるので、
その差についてだけ説明する。図14において、同一平
面上の方向転換リード部(図面上には示されないので、
図5A及び図5B参照)を有するリード2(図面上でリ
ード前面が前方に向いている)と同一平面上の方向転換
リード部を有するリード2(図面上でリード側面が前方
に向いている)は相互交互にアレイされる。同一平面上
の方向転換リード部を有しないリード2は、第1折曲部
3により直角のZ軸方向(図面上の上下方向)に下向折
曲された他の平面上への方向転換リード部2aと、第2
折曲部3aにより直角にX軸方向(図面上の左右方向)
に折曲された他の平面上への方向転換リード部2bと、
第3折曲部3bにより再び直角にZ軸方向に折曲された
他の平面上への方向転換リード部2cと、第4折曲部3
cにより再び直角にX軸方向に折曲されたリードエンド
4とを有し、リードエンド4は幅の拡張された平板上に
形成される。従って、リード2の全体的な形状は階段状
に形成される。
【0151】一方、Y軸方向(図面上で紙面の前後方
向)に直角に方向転換された同一平面上の方向転換リー
ド部を有するリード2(図5A及び図5B参照)は、第
1折曲部3により直角にZ軸方向に下向折曲された他の
平面上への方向転換リード部2aと、第2折曲部3aに
より直角にY軸方向に折曲された他の平面上への方向転
換リード部2bと、第3折曲部3bにより再び直角にZ
軸方向に折曲された他の平面上への方向転換リード部2
cと、第4折曲部3cにより再び直角にY軸方向に折曲
されて拡張されたリードエンド4とを有し、リード2の
全体的な形状は階段状に形成される。
【0152】図15は図8(A)、図8(B)の変形さ
れたグリッドアレイ型リードフレームを用いた本発明の
好ましい第5具体例によるリードエンドグリッドアレイ
半導体パッケージ10cの概略側断面図で、ぞの基本構
成はリード2の折曲形状での少しの差を除き図14の場
合と実質的に同一であるので、その相違点についてだけ
説明する。図15においても、同一平面上の方向転換リ
ード部(図面上では示されないので、図8A及び図8B
参照)を有するリード2(図面上でリードの前面が前方
に向いている)とこれを有しないリード2(図面上でリ
ード側面が前方に向いている)とは相互交互にアレイさ
れる。同一平面上の方向転換リード部を有しないリード
2は、図14の場合に比べて、第4折曲部3cが存在し
ないので、第3折曲部3bによりリードエンド4が形成
され、リードエンド4が元のリードの幅を有する点を除
き同一である。又、同一平面上の方向転換リード部を有
するリード2は、図14の場合とは、もう一度折曲され
ている点が相違する。即ち、Y軸方向(図面で紙面の前
後方向)に直角に方向転換された同一平面上の方向転換
リード部(図面上には示されないので、図8A及び図8
Bを参照)を有するリード2は、第1折曲部3により直
角にZ軸方向(図面の上下方向)に下向折曲された他の
平面上への方向転換リード部2aと、第2折曲部3aに
より直角にY軸方向に折曲された他の平面上への方向転
換リード部2bと、第3折曲部3bにより再び直角にZ
軸方向に下向折曲された他の平面上への方向転換リード
部2cと、第4折曲部3c(図面上には示されない)に
より再び直角にY軸方向に折曲された他の平面上への方
向転換リード部2d(図面上では示されない)と、第5
折曲部3dにより再びZ軸方向に直角に下向折曲されて
元のリードの幅を有するリードエンド4とを有する。従
って、交互にアレイされる同一平面上の方向転換リード
部を有するか有しないリード2の相互間の折曲回数は相
違する。
【0153】又、図15に示すような本実施の形態の好
ましい第5具体例によるリードエンドグリッドアレイ半
導体パッケージ10cにおいては、全体的又は部分的に
交互のグリッドアレイを成す多数のリードエンド4がプ
ラスチック封止部40の底面から外部に突出されてい
る。
【0154】図16は本実施の形態の好ましい第6具体
例によるリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ
10dの概略側断面図で、その基本構成は図14の半導
体パッケージ10bと実質的に同一な構成であり、リー
ドエンド4がリード2の厚さだけパッケージ10dの底
面から突出されてグリッドアレイを成す点だけが唯一の
相違点であるので、それ以上の説明は省略する。
【0155】図17は本実施の形態の好ましい第7具体
例によるリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ
10eの概略側断面図で、その基本構成は図14の半導
体パッケージ10bと実質的に同一な構成であり、パッ
ケージ10dの底面にグリッドアレイを成しつつ露出さ
れている多数のリードエンド4の露出面にソルダボール
60を融着させて入出力端子として使用する点のみが唯
一の相違点であるので、それ以上の説明は省略する。
【0156】図18は図9(A)、図9(B)のグリッ
ドアレイ型リードフレーム1fを用いた本実施の形態の
好ましい第8具体例によるリードエンドグリッドアレイ
半導体パッケージ10fの概略側断面図で、その基本構
成はリード2の折曲形状での差を除き、先に説明した本
実施の形態の具体例と実質的に同一であるのでその相違
点についてだけ説明する。X軸及びZ軸方向にだけ折曲
されるリード2(図面上で左右両側部の全体が実線で示
されたリード)は、リード2の延長線上の第1折曲部3
により直角にZ軸方向に下向折曲された他の平面上への
方向転換リード部2aと、第2折曲部3aによりX軸方
向に直角に折曲された他の平面上への方向転換リード部
2bと、第3折曲部3bによりZ軸方向に直角に上向折
曲された他の平面上への方向転換リード部2cと、第4
折曲部3cによりX軸方向に直角に折曲された他の平面
上への方向転換リード部2dと、第5折曲部3dにより
Z軸方向に下向折曲されたリードエンド4とを有する。
従って、全体的なリード2の形状は横になったS字形状
である。
【0157】一方、X軸、Y軸及びZ軸方向の全方向に
折曲されるリード2(図面上で点線で一部のみが示され
たリード)は、他の平面上への方向転換リード部2aが
リード2の初期延長線上に直角方向に形成される第1折
曲部3(図9B参照)により直角にZ軸方向に下向折曲
され、他の平面上への方向転換リード部2b及び2dが
Y軸方向(図面上では紙面の前後方向)に位置する点を
除き、X軸及びZ軸方向にだけ折曲されるリード2の場
合と同一である(図9A及び図9B参照)。
【0158】本実施の形態の第8具体例による半導体パ
ッケージ10fのリード2においては、リードエンド4
だけでなく他の平面上への方向転換リード部2bもプラ
スチック封止部40の底面に露出されてグリッドアレイ
を成すので、一つのシグナル伝達用、又はパワー又はグ
ラウンド用リード2を2ピン又はそれ以上の多ピン化さ
せることも可能であり、又は、これとは異なり、プラス
チック封止部40の底面に露出されている他の平面上へ
の方向転換リード部2b及びリードエンド4の一方はシ
グナル伝達用として、他方は熱放出用として使用するこ
ともできる。前述した二通りの相違した長さを有する相
違したタイプのリード2は相互間に全体的又は部分的に
交互にグリッドアレイをなす。その外、より具体的な事
項は前述した図9A、図9Bについての説明を参照す
る。
【0159】図14〜図18に示す本実施の形態のパッ
ケージ10b〜10fにおいても、図12(B)及び図
12(C)に示すように、半導体チップ20とリード2
間の電気的接続のための接続位置の変形又はバンプのよ
うな接続手段の選択が同様に適用できることは勿論であ
る。図19は半導体チップ搭載板を省略して変形された
図5(A)、図5(B)のグリッドアレイ型リードフレ
ーム1bを用いた本実施の形態の好ましい第9具体例に
よるリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ10
gの概略側断面図で、その基本構成は前述した本実施の
形態の好ましい具体例と実質的に同一であるので、相違
した部分についてだけ説明する。半導体チップ20の底
面中央部分には信号入出力用ボンドパッド25が整列さ
れており、このボンドパッド25とリード2はボンドワ
イヤー30により電気的に接続されている。本実施の形
態の好ましい第9具体例によるリードエンドグリッドア
レイ半導体パッケージ10gに用いられるグリッドアレ
イ型リードフレームは図5(B)のリードフレーム1b
に概して類似するが、タイバー6とこれにより支持され
る半導体チップ搭載板5は存在しなく、同一平面上の方
向転換リード部が存在しないリード2(図面上でリード
の側面のみが示されたリード)は半導体パッケージ10
fの下部中央部に位置し、同一平面上の方向転換リード
部が存在するリード2(図面上でリードの前面が示され
たリード)は半導体パッケージ10fの下部外郭部に位
置し4回折曲されて階段状に形成される点で図5(B)
のリードフレーム1bとの差はない。
【0160】本実施の形態の第9具体例によるリードエ
ンドグリッドアレイ半導体パッケージ10gにおいて注
目すべき点は、図19に示すように、プラスチック封止
部40が半導体チップ20の上部及び側部には形成され
なくその下部にだけ形成され、よって半導体パッケージ
10gの面積は半導体チップ20の面積と全く同じにな
って半導体パッケージの面積が最小化できる。
【0161】この第9具体例による半導体チップと同面
積のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ10
gに対して、前述した第1〜第8具体例を含んだ本発明
の領域に包含される多様な類型のグリッドアレイ型リー
ドフレームを適用し得ることは勿論であり、電気的接続
手段としてのボンドワイヤー30を使用する代わりにバ
ンプ又はソルダジョイントを使用することもでき、これ
もやはり本発明の領域に包含されるものである。
【0162】図20は半導体チップ搭載板を省略した変
形された図5(A)、図5(B)のグリッドアレイ型リ
ードフレーム1bを用いた本実施の形態の好ましい第1
0具体例によるリードエンドグリッドアレイ半導体パッ
ケージ10hの概略側断面図で、その基本構成は図11
Cと実質的に同一であるが、ただプラスチック封止部4
0が半導体チップ20の上面を除外した側部と下部のみ
を封止させて半導体チップ20の上面が外部に露出され
ている点でだけ相違し、このような構成の採択により半
導体チップ20の作動時に発生される熱の放出を効率化
し得る。
【0163】このように半導体パッケージ20の上面を
パッケージの上面に露出させたリードエンドグリッドア
レイ半導体パッケージ10hに対して、前述した本発明
の第1〜第8具体例を含んだ本発明の領域に包含される
多様な類型のグリッドアレイ型リードフレームを適用し
得ることは勿論であり、電気的接続手段としてのバンプ
又はソルダジョイント31を使用する代わりにボンドワ
イヤーを使用することもでき、これもやはり本発明の領
域に包含されるものである。又、半導体チップ搭載板5
を形成させるか形成させなかった多様な類型のグリッド
アレイ型リードフレームを用いることは必要による選択
的事項に過ぎない。
【0164】図21は半導体チップ搭載板を省略して変
形された図5A、図5Bのグリッドアレイ型リードフレ
ーム1bを用いた本実施の形態の好ましい第11具体例
によるリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ1
0iの概略側断面図で、その基本構成は図12(A)、
図12(B)及び図12(C)の半導体パッケージ1
0、10’、10”と実質的に同一であるので、その相
違点についてだけ説明する。
【0165】この第11具体例による半導体パッケージ
10iにおいては、グリッドアレイ型リードフレーム上
に半導体チップ20が実装され、実装された半導体チッ
プ20上に第2半導体チップ21が実装される。半導体
チップ20の底面に形成されるボンドパッド(図示せ
ず)はバンプ又はソルダジョイント31により所定のリ
ード2と電気的に接続され、第2半導体チップ21の上
面に形成されるボンドパッド(図示せず)は所定のリー
ド2とボンドワイヤー30により電気的に接続されるの
で、半導体パッケージ10iの性能を倍加させることが
できる。必要によっては、少なくとも二つ以上の半導体
チップ20を順次積層させた構成のパッケージに形成さ
せることもでき、これもやはり本発明の領域に包含され
るものである。
【0166】又、半導体パッケージ10iをマザーボー
ド(図示せず)上に実装する時の堅固性及び安定性を向
上させ、半導体チップ20、21の作動時の熱放出効率
を向上させるため、リードエンド4の反対側のリード2
の他端はプラスチック封止部40の領域の外部に延長さ
れ、折曲されて羽形状に形成できる。又、このような羽
形状の外にJ字形にリード2の端部を折曲することも可
能であり、このような折曲部の内側に大きいか小さい直
径のソルダボールを融着させて置くことも可能である。
その外にも、プラスチック封止部40の外部に延長され
るリード2の他端の折曲形状を必要によって多様な形状
に形成し得ることは勿論であり、これは選択的事項に過
ぎない。
【0167】この第11具体例による半導体パッケージ
10iにおいても、前述した第1〜第8具体例を含んだ
本発明の領域に包含される多様な類型のグリッドアレイ
型リードフレームを適用し得ることは勿論であり、これ
もやはり本発明の領域に包含されるものである。
【0168】図22は半導体チップ搭載板を省略して変
形された図5(A)、図5(B)のグリッドアレイ型リ
ードフレーム1bを用いた本実施の形態の好ましい第1
2具体例によるリードエンドグリッドアレイ半導体パッ
ケージ10jの概略側断面図で、その基本構成は図12
(A)の半導体パッケージ10と実施的に同様であるの
で、その相違点についてだけ説明する。この第12具体
例によるリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ
10jにおいては、半導体チップ20の底面のシグナル
引入出用ボンドパッド(図示せず)がバンプ又はソルダ
ジョイント31によりリード2と電気的に接続され、半
導体チップ20の上面には放熱板70が装着され、放熱
板70の上面は高い放熱効率を有するように半導体パッ
ケージ10jの外部に露出されている。本実施の形態の
第12具体例による半導体パッケージ10iにおいて
も、前述した第1〜第8具体例を含んだ本発明の領域に
包含される多様な類型のグリッドアレイ型リードフレー
ムを適用することができ、これもやはり本発明の領域内
に包含されることは勿論である。
【0169】本実施の形態の第1〜第12具体例のリー
ドエンドグリッドアレイ半導体パッケージ10α、10
β、10、10’、10”、10a〜10jにおいて、
ボンドワイヤー又はバンプ等のような電気的接続手段に
より半導体チップのシグナル引入出用ボンドパッドとボ
ンディングされるリード部分には銀又は白金で鍍金して
電気抵抗を最小化することが好ましく、マザーボードに
実装する時、信号引入出用ピンとして使用されるリード
エンドの表面は白金又はパラジウムで鍍金することが前
記のような理由のため、かつ高い接続強度を発揮し得る
ので好ましい。
【0170】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の好ましい
第1〜第7具体例及びこれらに類似した多様な変形例に
よる、少なくとも一つ以上の折曲部による他の平面上へ
の方向転換部及び/又は同一平面上への方向転換部が形
成された予め設定された数の相違した長さを有するリー
ドを有し、リードエンドが半導体チップ実装領域に対応
する一定下部領域内の同一平面上にグリッドアレイを成
すグリッドアレイ型リードフレームを用いた、本発明の
好ましい第1〜第12具体例及びこれらに類似した類型
のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージは、リ
ードエンドが半導体チップ実装領域下部のプラスチック
封止部の底面に露出されるようにグリッドアレイをなす
ので、パッケージ面積を半導体チップの面積と同一にす
るか、又はそれに準する程度に小型化し得ると共に、単
位面積当たり入出力端子として使用される露出リードエ
ンドの数を増加させ隣接した露出リードエンド相互間の
間隔を増大させることができ、リードエンドが部分的に
又は全体的に交互の形態のグリッドアレイ型リードフレ
ームを用いることにより隣接露出リードエンド相互間の
間隔をさらに増加させることができ、これにより、リー
ド相互間の近接による信号干渉現象によるノイズ発生を
減少させることができるので、円滑な信号伝送による信
号伝送速度の高速化を達成することができ、また、ボー
ルグリッドアレイ半導体パッケージに使用される高価の
回路基板の使用を避けることができるとともに、本発明
によるグリッドアレイ型リードフレームの製造は比較的
簡単に成されるので、経済性とともにパッケージの製造
時の工程効率性を向上させ得る効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A),(B)は、本発明の一実施の形態にお
ける好ましい第1具体例によるグリッドアレイ型リード
フレームの平面図およびA−A線についての側断面図で
ある。
【図2】本発明の一実施の形態における好ましい第2具
体例によるグリッドアレイ型リードフレームの平面図で
ある。
【図3】本発明の一実施の形態における好ましい第3具
体例によるグリッドアレイ型リードフレームストリップ
の平面図である。
【図4】図3のストリップ中のユニットフレームの平面
図である。
【図5】(A),(B)は、本発明の一実施の形態にお
ける好ましい第4具体例によるグリッドアレイ型リード
フレームの部分概略平面図および部分概略斜視図であ
る。
【図6】本発明の一実施の形態における第4具体例の変
形例についての部分概略斜視図である。
【図7】(A),(B)は、本発明の一実施の形態にお
ける好ましい第5具体例によるグリッドアレイ型リード
フレームの部分概略平面図および部分概略斜視図であ
る。
【図8】(A),(B)は、本発明の一実施の形態にお
ける好ましい第6具体例によるグリッドアレイ型リード
フレームについての概略平面図と、この概略平面図の左
側部を示す部分概略斜視図である。
【図9】(A),(B)は、本発明の好ましい第7具体
例によるグリッドアレイ型リードフレームの部分概略平
面図である。
【図10】(A),(B)は、本発明の一実施の形態に
おけるグリッドアレイ型リードフレームを用いたリード
エンドグリッドアレイ半導体パッケージにおける露出さ
れたリードエンドのアレイを例示する底面図である。
【図11】(A),(B)は、図1に示すグリッドアレ
イ型リードフレームを用いた本発明の一実施の形態にお
ける好ましい第1具体例によるリードエンドグリッドア
レイ半導体パッケージの側断面図である。
【図12】(A)〜(C)は、図5に示すグリッドアレ
イ型リードフレームを用いた本発明の一実施の形態にお
ける好ましい第2具体例によるリードエンドグリッドア
レイ半導体パッケージの概略側断面図である。
【図13】図7のグリッドアレイ型リードフレームを用
いた本発明の一実施の形態における好ましい第3具体例
によるリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージの
概略側断面図である。
【図14】変形された図5のグリッドアレイ型リードフ
レームを用いた本発明の一実施の形態における好ましい
第4具体例によるリードエンドグリッドアレイ半導体パ
ッケージの概略側断面図である。
【図15】変形された図8のグリッドアレイ型リードフ
レームを用いた本発明の一実施の形態における好ましい
第5具体例によるリードエンドグリッドアレイ半導体パ
ッケージの概略側断面図である。
【図16】図14のパッケージにおいて、リードエンド
を底面上に突出させた本発明の一実施の形態における好
ましい第6具体例によるリードエンドグリッドアレイ半
導体パッケージの概略側断面図である。
【図17】図14のパッケージにおいて、露出されたリ
ードエンドにソルダボールを融着させた本発明の一実施
の形態における好ましい第7具体例によるリードエンド
グリッドアレイ半導体パッケージの概略側断面図であ
る。
【図18】図9のグリッドアレイ型リードフレームを用
いた本発明の一実施の形態における好ましい第8具体例
によるリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージの
概略側断面図である。
【図19】変形された図5のグリッドアレイ型リードフ
レームを用いた本発明の一実施の形態における好ましい
第9具体例によるリードエンドグリッドアレイ半導体パ
ッケージの概略側断面図である。
【図20】変形された図5のグリッドアレイ型リードフ
レームを用いた本発明の一実施の形態における好ましい
第10具体例によるリードエンドグリッドアレイ半導体
パッケージの概略側断面図である。
【図21】変形された図5のグリッドアレイ型リードフ
レームを用いた本発明の一実施の形態における好ましい
第1具体例によるリードエンドグリッドアレイ半導体パ
ッケージの概略側断面図である。
【図22】図5の変形されたグリッドアレイ型リードフ
レームを用いた本発明の一実施の形態における好ましい
第12具体例によるリードエンドグリッドアレイ半導体
パッケージの概略側断面図である。
【図23】(A),(B)は、従来のボトムリード型プ
ラスチックパッケージの側断面図及びパッケージの底面
上に露出されたリードのアレイを示す底面図である。
【図24】(A),(B)は、従来のリード底面露出型
コードフラット半導体パッケージの側断面図及びパッケ
ージの底面上に露出されたリードのアレイを示す底面図
である。
【符号の説明】
1、1’、1a〜1e グリッドアレイ型リードフレー
ム 2 リード 2’ 同一平面上の方向転換リード部 2a〜2e 他の平面上への方向転換リード部 3、3a〜3d 第1〜第5折曲部 4 リードエンド 4’ リードエンド突出部 4” リードエンドチップ 5 半導体チップ搭載板 5a 放熱突出部 5’ 長方形搭載板 5” 正方形搭載板 6 タイバー(Tie Bar) 6’ 支持部材 7 サイドレール 7’ ダムバー(Dambar) 8 樹脂封止材ガイド 9 リード接続部 10α、10β、10、10’、10”、10a〜10
j リードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ 20 半導体チップ 21 第2半導体チップ 25 チップパッド 30 ボンドワイヤー 31 バンプ 40 プラスチック封止部 50 接着手段 60 ソルダボール 70 放熱板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 韓 丙 濬 大韓民國 ソウル特別市 松坡区 バンイ ドン 89 オリムピクアパート125−502 (72)発明者 尹 柱 ▲フン▼ 大韓民國 ソウル特別市 蘆原区 月溪洞 13 美隆 アパート20−1303 (72)発明者 郭 性 範 大韓民國 京畿道 南楊州市 瓦阜邑 陶 谷里 1024−16 徳沼田園 ビラ103

Claims (90)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 サイドレール(Side Rail)に
    より支持され、相違した長さを有する少なくとも二つ以
    上のグループでなる多数のリードを有し、前記多数のリ
    ードの各々に少なくとも一つ以上の折曲部による少なく
    とも一つ以上の他の平面上への方向転換リード部が形成
    され、前記多数のリードの一端をなす多数のリードエン
    ドが半導体チップ実装領域に対応する一定下部領域内の
    同一平面上にグリッドアレイを成すことを特徴とするグ
    リッドアレイ型リードフレーム。
  2. 【請求項2】 前記相違した長さを有する少なくとも二
    つ以上のグループのうち、少なくとも一つ以上のグルー
    プのリードにそれぞれ少なくとも一つ以上の同一平面上
    の方向転換リード部が形成されることを特徴とする請求
    項1記載のグリッドアレイ型リードフレーム。
  3. 【請求項3】 相違した長さを有する少なくとも二つ以
    上のリードグループのリードエンドが部分的に又は全体
    的に相互交互の少なくとも三つ以上の横列及び縦列のグ
    リッドアレイを成すことを特徴とする請求項1又は2記
    載のグリッドアレイ型リードフレーム。
  4. 【請求項4】 相違した長さを有する多数のリードグル
    ープの各グループ相互間のリードに形成される折曲部の
    数が全部又は部分的に同一であるか、又は全部相違した
    ことを特徴とする請求項1又は2記載のグリッドアレイ
    型リードフレーム。
  5. 【請求項5】 各グループ内の多数のリード相互間のリ
    ードに形成される折曲部の数が全部又は部分的に同一で
    あることを特徴とする請求項4記載のグリッドアレイ型
    リードフレーム。
  6. 【請求項6】 相違した長さを有する多数のリードグル
    ープのうち、同一平面上の方向転換リード部が少なくと
    も二つ以上のグループに形成され、各グループ相互間の
    リードに形成される同一平面上の方向転換リード部の数
    が全部又は部分的に同一であるか、又は全部相違したこ
    とを特徴とする請求項2記載のグリッドアレイ型リード
    フレーム。
  7. 【請求項7】 各グループ内の多数のリード相互間のリ
    ードに形成される同一平面上の方向転換リード部の数が
    全部又は部分的に同一であることを特徴とする請求項6
    記載のグリッドアレイ型リードフレーム。
  8. 【請求項8】 前記多数のリードのうち、少なくとも2
    以上の隣接するリードを相互連結するリード接続部がさ
    らに形成されていることを特徴とする請求項1又は2記
    載のグリッドアレイ型リードフレーム。
  9. 【請求項9】 前記多数の全てのリードがX軸及びZ軸
    の2方向、Y軸及びZ軸の2方向、X軸、Y軸及びZ軸
    の3方向のいずれかの選択による位置変形されながら延
    長されることを特徴とする請求項1又は2記載のグリッ
    ドアレイ型リードフレーム。
  10. 【請求項10】 同一平面上の方向転換リード部がXY
    軸方向転換、X軸方向転換、Y軸方向転換の少なくとも
    いずれか一つによる方向転換をなすことを特徴とする請
    求項2記載のグリッドアレイ型リードフレーム。
  11. 【請求項11】 前記全てのグループのリードがダムバ
    ーに垂直に連結支持されていることを特徴とする請求項
    1又は2記載のグリッドアレイ型リードフレーム。
  12. 【請求項12】 前記全てのグループのリードが第1折
    曲部により下方に折曲された後、第2折曲部により折曲
    前の元の延長方向と同方向に延長されることを特徴とす
    る請求項1又は2記載のグリッドアレイ型リードフレー
    ム。
  13. 【請求項13】 前記全てのグループのリード上の第1
    折曲部の位置がダムバーから隣接した同一距離上にそれ
    ぞれ形成され、第2折曲部の位置もダムバーから第1折
    曲部に隣接した同一距離上にそれぞれ形成されることを
    特徴とする請求項12記載のグリッドアレイ型リードフ
    レーム。
  14. 【請求項14】 前記リードエンドがリードの幅より拡
    張された正方形に形成されることを特徴とする請求項1
    又は2記載のグリッドアレイ型リードフレーム。
  15. 【請求項15】 前記リードエンドの底面に入出力端子
    として使用される円筒形のリードエンド突出部が形成さ
    れることを特徴とする請求項14記載のグリッドアレイ
    型リードフレーム。
  16. 【請求項16】 前記リードエンドがリードの進行方向
    側の1側面を含んだ少なくとも1側面にリードエンドチ
    ップを有することを特徴とする請求項15記載のグリッ
    ドアレイ型リードフレーム。
  17. 【請求項17】 前記リードエンド突出部が少なくとも
    3以上の横列及び縦列のグリッドアレイをなすことを特
    徴とする請求項15記載のグリッドアレイ型リードフレ
    ーム。
  18. 【請求項18】 前記リードフレームが半導体チップ搭
    載板を有することを特徴とする請求項1又は2記載のグ
    リッドアレイ型リードフレーム。
  19. 【請求項19】 半導体チップ搭載板が支持部材により
    一列に連結支持される複数の長方形搭載板及び複数の正
    方形搭載板で構成されることを特徴とする請求項18記
    載のグリッドアレイ型リードフレーム。
  20. 【請求項20】 長方形搭載板がタイバーによりダムバ
    ーに連結され、タイバーが全てのグループのリード上に
    形成される第1折曲部及び第2折曲部による折曲形態と
    同一形態に折曲されることを特徴とする請求項19記載
    のグリッドアレイ型リードフレーム。
  21. 【請求項21】 前記複数の長方形搭載板及び複数の正
    方形搭載板の底面に円筒形の放熱用突出部が形成される
    ことを特徴とする請求項19記載のグリッドアレイ型リ
    ードフレーム。
  22. 【請求項22】 前記半導体チップ搭載板がリードフレ
    ームの対向する2側面の中央部に半導体チップより小さ
    い面積を有する少なくとも二つ以上の半導体チップ搭載
    板で構成されることを特徴とする請求項18記載のグリ
    ッドアレイ型リードフレーム。
  23. 【請求項23】 前記半導体チップ搭載板がリードフレ
    ームの中央部にタイバーにより支持され、半導体チップ
    より小さい面積を有する半導体チップ搭載板であること
    を特徴とする請求項18記載のグリッドアレイ型リード
    フレーム。
  24. 【請求項24】 リードフレームの少なくとも一つのコ
    ーナーに液状樹脂封止材を案内誘導するためのガイドが
    形成されることを特徴とする請求項1又は2記載のグリ
    ッドアレイ型リードフレーム。
  25. 【請求項25】 前記リードフレームの四つのコーナー
    部に位置するリードエンドにはコーナーをなす2側面か
    らそれぞれ延長される二つのリードが結合されることを
    特徴とする請求項24記載のグリッドアレイ型リードフ
    レーム。
  26. 【請求項26】 前記多数のリードが相違した長さを有
    する交互の多数グループでなり、X軸方向に延長される
    交互の多数グループのリードは第1〜第3折曲部により
    順次Z下向折曲、X軸方向折曲、Z軸下向折曲により階
    段状に形成され、Y軸方向に延長される交互の多数グル
    ープのリードは第1〜第3折曲部により順次Z軸下向折
    曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲により階段状に形成さ
    れることを特徴とする請求項1記載のグリッドアレイ型
    リードフレーム。
  27. 【請求項27】 前記多数のリードが相違した長さを有
    する交互の多数グループでなり、X軸方向に延長される
    交互の多数グループのリードのうち、相対的に長い長さ
    を有する多数グループのリードには同一平面上のY軸方
    向転換リード部が形成され、相対的に短い長さを有する
    多数グループのリードにはY軸方向転換リード部が形成
    されなく、同一平面上のY軸方向転換リード部が形成さ
    れた多数グループのリードは第1及び第2折曲部により
    順次Z軸方向折曲、Y軸方向に折曲され、同一平面上の
    Y軸方向転換リード部が形成されない多数グループのリ
    ードは第1及び第2折曲部により順次Z軸下向折曲、X
    軸方向折曲され、Y軸方向に延長される交互の多数グル
    ープのリードは第1及び第2折曲部により順次Z軸下向
    折曲、Y軸方向折曲されることを特徴とする請求項2記
    載のグリッドアレイ型リードフレーム。
  28. 【請求項28】 全てのリードが第1折曲部によりZ軸
    方向に下向折曲(垂直下向折曲)される代わりに、X軸
    方向に延長される交互の多数グループのリードのうち、
    同一平面上のY軸方向転換リード部が形成されなかった
    多数グループのリードは第1折曲部によりXZ軸方向に
    斜めに折曲され、X軸方向に延長される交互の多数グル
    ープのリードのうち、同一平面上のY軸方向転換リード
    部が形成された多数グループのリードとY軸方向に延長
    される交互の多数グループのリードは第1折曲部により
    YZ軸方向に斜めに折曲されることを特徴とする請求項
    27記載のグリッドアレイ型リードフレーム。
  29. 【請求項29】 前記多数のリードが相違した長さを有
    する交互の多数グループでなり、X軸方向に延長される
    交互の多数グループのリードのうち、相対的に長い長さ
    を有する多数グループのリードは第1〜第3折曲部によ
    り順次Z軸下向折曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲され
    て全体的に階段状に形成され、相対的に短い長さを有す
    る多数グループのリードは第1〜第3折曲部により順次
    Z軸下向折曲、X軸方向折曲、Z軸下向き折曲されて全
    体的に階段状に形成され、Y軸方向に延長される交互の
    多数グループのリードは第1〜第3折曲部により順次Z
    軸下向折曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲されて階段状
    に形成されることを特徴とする請求項1記載のグリッド
    アレイ型リードフレーム。
  30. 【請求項30】 前記リードフレームの中央部にタイバ
    ーにより支持される半導体チップより小さい面積の半導
    体チップ搭載板をさらに包含し、半導体チップ搭載板領
    域に対応する下部領域を除外した同一平面上の外郭部に
    多数のリードエンドがグリッドアレイをなすことを特徴
    とする請求項26乃至29のいずれか一項記載のグリッ
    ドアレイ型リードフレーム。
  31. 【請求項31】 前記リードの一端のリードエンドがリ
    ードフレームに平行し、リードより幅が拡張された拡張
    板状に形成されることを特徴とする請求項27又は28
    記載のグリッドアレイ型リードフレーム。
  32. 【請求項32】 X軸方向に延長される相違した長さを
    有する交互の多数グループのリードのうち、相対的に長
    い長さを有する多数グループのリードは第1〜第5折曲
    部により順次Z軸下向折曲、Y軸方向折曲、Z軸上向折
    曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲されて全体的に横にな
    ったS字形に形成され、相対的に短い長さを有する多数
    グループと相対的に長い長さを有するグループのリード
    は第1〜第5折曲部により順次Z軸下向折曲、X軸方向
    折曲、Z軸上向折曲、X軸方向折曲、Z軸下向折曲され
    て全体的に横になったS字形に形成され、Y軸方向に延
    長される交互の多数グループのリードは第1〜第5折曲
    部により順次Z軸下向折曲、Y軸方向折曲、Z軸上向折
    曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲されて全体的に横にな
    ったS字形に形成されることを特徴とする請求項1記載
    のグリッドアレイ型リードフレーム。
  33. 【請求項33】 X軸方向に延長される多数グループの
    リードのうち、相対的に最も長いグループのリードと、
    Y軸方向に延長される多数グループのリードのうち、相
    対的に最も長いグループのリードとはリードフレームの
    中央下部に延長されることを特徴とする請求項32記載
    のグリッドアレイ型リードフレーム。
  34. 【請求項34】 各々のリードにおいて、Z軸下向折曲
    及びZ軸上向折曲による二つの他の平面上への方向転換
    リード部間に位置するX軸又はY軸方向の他の平面上へ
    の方向転換リード部とリードエンドが半導体チップ実装
    領域に対応する一定下部領域内の同一平面上に位置する
    ことを特徴とする請求項32又は33記載のグリッドア
    レイ型リードフレーム。
  35. 【請求項35】 半導体チップと、 入出力端子として使用される多数のリードと、 半導体チップに形成されたボンドパッドとリードを電気
    的に接続させるための電気的接続手段と、 半導体チップ、電気的接続手段及びリードを外部環境か
    ら保護するための樹脂封止材でモルディング形成された
    プラスチック封止部とを含み、 前記多数のリードが相違した長さを有する少なくとも二
    つ以上のリードグループでなり、各グループの各リード
    に少なくとも一つ以上の折曲部による少なくとも一つ以
    上の他の平面上への方向転換リード部が形成されて、前
    記多数のリードの一端ををなすリードエンドが半導体チ
    ップ実装領域に対応する前記プラスチック封止部の底面
    領域内で外部に露出されてグリッドアレイをなすことを
    特徴とするリードエンドグリッドアレイ半導体パッケー
    ジ。
  36. 【請求項36】 前記相違した長さを有する少なくとも
    二つ以上のグループのうち、少なくとも一つ以上のグル
    ープのリードにそれぞれ少なくとも一つ以上の同一平面
    上の方向転換リード部が形成されることを特徴とする請
    求項35記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッ
    ケージ。
  37. 【請求項37】 相違した長さを有する少なくとも二つ
    以上のリードグループのリードエンドが部分的に又は全
    体的に相互交互の少なくとも三つ以上の横列及び縦列の
    グリッドアレイを成すことを特徴とする請求項35又は
    36記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケー
    ジ。
  38. 【請求項38】 相違した長さを有する多数のリードグ
    ループの各グループ相互間のリードに形成される折曲部
    の数が全部又は部分的に同一であるか、又は全部相違し
    たことを特徴とする請求項35又は36記載のリードエ
    ンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  39. 【請求項39】 各グループ内の多数のリード相互間の
    リードに形成される折曲部の数が全部又は部分的に同一
    であることを特徴とする請求項38記載のリードエンド
    グリッドアレイ半導体パッケージ。
  40. 【請求項40】 相違した長さを有する多数のリードグ
    ループのうち、同一平面上の方向転換リード部が少なく
    とも二つ以上のグループに形成され、各グループ相互間
    のリードに形成される同一平面上の方向転換リード部の
    数が全部又は部分的に同一であるか、又は全部相違した
    ことを特徴とする請求項36記載のリードエンドグリッ
    ドアレイ半導体パッケージ。
  41. 【請求項41】 各グループ内の多数のリード相互間の
    リードに形成される同一平面上の方向転換リード部の数
    が全部又は部分的に同一であることを特徴とする請求項
    40記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケー
    ジ。
  42. 【請求項42】 前記多数のリードのうち、少なくとも
    2以上の隣接するリードを相互連結するリード接続部が
    さらに形成されていることを特徴とする請求項35又は
    36記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケー
    ジ。
  43. 【請求項43】 前記多数の全てのリードがX軸及びZ
    軸の2方向、Y軸及びZ軸の2方向、X軸、Y軸及びZ
    軸の3方向のいずれかの選択による位置変形されながら
    延長されることを特徴とする請求項35又は36記載の
    リードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  44. 【請求項44】 同一平面上の方向転換リード部がXY
    軸方向転換、X軸方向転換、Y軸方向転換の少なくとも
    いずれか一つによる方向転換をなすことを特徴とする請
    求項36記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッ
    ケージ。
  45. 【請求項45】 前記全てのグループのリードが第1折
    曲部により下方に折曲された後、第2折曲部により折曲
    前の元の延長方向と同方向に延長されることを特徴とす
    る請求項35又は36記載のリードエンドグリッドアレ
    イ半導体パッケージ。
  46. 【請求項46】 前記全てのグループのリード上の第1
    折曲部の位置がダムバー側端から隣接した同一距離上に
    それぞれ形成され、第2折曲部の位置もダムバー側端か
    ら第1折曲部に隣接した同一距離上にそれぞれ形成され
    ることを特徴とする請求項45記載のリードエンドグリ
    ッドアレイ半導体パッケージ。
  47. 【請求項47】 前記リードエンドがリードの幅より拡
    張された正方形に形成されることを特徴とする請求項3
    5又は36記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パ
    ッケージ。
  48. 【請求項48】 前記リードエンドの底面に入出力端子
    として使用される円筒形のリードエンド突出部が形成さ
    れることを特徴とする請求項47記載のリードエンドグ
    リッドアレイ半導体パッケージ。
  49. 【請求項49】 前記リードエンドがリードの進行方向
    側の1側面を含んだ少なくとも1側面にリードエンドチ
    ップを有することを特徴とする請求項48記載のリード
    エンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  50. 【請求項50】 前記リードエンド突出部が少なくとも
    3以上の横列及び縦列のグリッドアレイをなすことを特
    徴とする請求項48記載のリードエンドグリッドアレイ
    半導体パッケージ。
  51. 【請求項51】 前記半導体パッケージが半導体チップ
    搭載板を有することを特徴とする請求項35又は36記
    載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  52. 【請求項52】 半導体チップ搭載板が支持部材により
    一列に連結支持される複数の長方形搭載板及び複数の正
    方形搭載板で構成されることを特徴とする請求項51記
    載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  53. 【請求項53】 長方形搭載板にタイバーが連結され、
    タイバーが相違した長さを有する全てのリード上に形成
    される第1折曲部及び第2折曲部による折曲形態と同一
    形態に折曲されることを特徴とする請求項52記載のリ
    ードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  54. 【請求項54】 前記複数の長方形搭載板及び複数の正
    方形搭載板の底面に円筒形の放熱用突出部が形成される
    ことを特徴とする請求項52記載のリードエンドグリッ
    ドアレイ半導体パッケージ。
  55. 【請求項55】 前記半導体チップ搭載板が半導体パッ
    ケージの対向する2側面の中央部に半導体チップより小
    さい面積を有する少なくとも二つ以上の半導体チップ搭
    載板で構成されることを特徴とする請求項51記載のリ
    ードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  56. 【請求項56】 前記半導体チップ搭載板が半導体パッ
    ケージの中央部にタイバーにより支持され、半導体チッ
    プより小さい面積を有する半導体チップ搭載板であるこ
    とを特徴とする請求項51記載のリードエンドグリッド
    アレイ半導体パッケージ。
  57. 【請求項57】 半導体パッケージの四つのコーナー部
    に位置するリードエンドにはコーナーをなす2側面から
    それぞれ延長される二つのリードが結合されることを特
    徴とする請求項35記載のリードエンドグリッドアレイ
    半導体パッケージ。
  58. 【請求項58】 リードエンドの露出面が白金又はパラ
    ジウムで鍍金されることを特徴とする請求項35又は3
    6記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケー
    ジ。
  59. 【請求項59】 プラスチック封止部が半導体チップの
    上下部及び4側面の全てを封止することを特徴とする請
    求項35又は36記載のリードエンドグリッドアレイ半
    導体パッケージ。
  60. 【請求項60】 電気的接続手段が半導体チップの上面
    に形成されたボンドパッドとリードの非折曲部の上面と
    を上側で接続させるボンドワイヤーであることを特徴と
    する請求項59記載のリードエンドグリッドアレイ半導
    体パッケージ。
  61. 【請求項61】 電気的接続手段が半導体チップの上面
    に形成されたボンドパッドとリードの非折曲部の低面と
    を下側で接続させるボンドワイヤーであることを特徴と
    する請求項59記載のリードエンドグリッドアレイ半導
    体パッケージ。
  62. 【請求項62】 電気的接続手段が半導体チップのボン
    ドパッドとリードの非折曲部の上面とを接続させるバン
    プ又はソルダジョイントであることを特徴とする請求項
    59記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケー
    ジ。
  63. 【請求項63】 電気的接続のためにボンディングされ
    るリード領域が銀又は白金で鍍金されることを特徴とす
    る請求項60乃至62のいずれか一項記載のリードエン
    ドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  64. 【請求項64】 半導体チップの底面中央部にシグナル
    引入出用ボンドパッドが整列されており、前記ボンドパ
    ッドとリードの非折曲部の底面とがボンドワイヤーによ
    り下側で電気的に接続されており、プラスチック封止部
    が半導体チップの下部のみを封止してパッケージの面積
    が半導体チップの面積と同一であることを特徴とする請
    求項35又は36記載のリードエンドグリッドアレイ半
    導体パッケージ。
  65. 【請求項65】 リードエンドの露出面が白金又はパラ
    ジウムで鍍金されることを特徴とする請求項64記載の
    リードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  66. 【請求項66】 電気的接続のためにボンディングされ
    るリード部位が銀又は白金で鍍金されることを特徴とす
    る請求項64記載のリードエンドグリッドアレイ半導体
    パッケージ。
  67. 【請求項67】 プラスチック封止部が半導体チップの
    下部及び4側面のみを封止して半導体チップの上面が外
    部に露出されていることを特徴とする請求項35又は3
    6記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケー
    ジ。
  68. 【請求項68】 電気的接続手段が半導体チップの底面
    のボンドパッドとリードの非折曲部の底面とを下側で接
    続させるボンドワイヤーであることを特徴とする請求項
    67記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケー
    ジ。
  69. 【請求項69】 電気的接続手段が半導体チップの底面
    のボンドパッドとリードの非折曲部の上面とを電気的に
    接続させるバンプ又はソルダジョイントであることを特
    徴とする請求項67記載のリードエンドグリッドアレイ
    半導体パッケージ。
  70. 【請求項70】 ボンドパッドが底面に形成される半導
    体チップの上面に放熱板が付着され、前記放熱板の上面
    が外部に露出されていることを特徴とする請求項35又
    は36記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケ
    ージ。
  71. 【請求項71】 電気的接続手段が半導体チップの上面
    に形成されたボンドパッドとリードの非折曲部の上面と
    を上側で接続させるボンドワイヤーであることを特徴と
    する請求項70記載のリードエンドグリッドアレイ半導
    体パッケージ。
  72. 【請求項72】 電気的接続手段が半導体チップの底面
    に形成されたボンドパッドとリードの非折曲部の底面と
    を下側で接続させるボンドワイヤーであることを特徴と
    する請求項70記載のリードエンドグリッドアレイ半導
    体パッケージ。
  73. 【請求項73】 リード上に実装される半導体チップの
    ボンドパッドが形成されていない上面に少なくとも一つ
    の半導体チップが積層され、最上層の半導体チップの上
    面のボンドパッドとリードとはボンドワイヤーにより電
    気的に接続され、最下層の半導体チップの底面のボンド
    パッドとリードはバンプ又はソルダジョイントにより電
    気的に接続されることを特徴とする請求項35又は36
    記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  74. 【請求項74】 リードエンドの露出面が白金又はパラ
    ジウムで鍍金されることを特徴とする請求項73記載の
    リードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  75. 【請求項75】 リードエンドの反対側のリード一端が
    パッケージの外部に延長されて羽形状又はJ字形に折曲
    されることを特徴とする請求項73記載のリードエンド
    グリッドアレイ半導体パッケージ。
  76. 【請求項76】 パッケージの外部に延長されて折曲さ
    れたリードの一端の内側にソルダボールが融着されるこ
    とを特徴とする請求項75記載のリードエンドグリッド
    アレイ半導体パッケージ。
  77. 【請求項77】 リードエンドの反対側のリードの一端
    がパッケージの外部に延長されて羽形状又はJ字形に折
    曲されることを特徴とする請求項35又は36記載のリ
    ードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  78. 【請求項78】 パッケージの外部に延長されて折曲さ
    れたリードの一端の内側にソルダボールが融着されるこ
    とを特徴とする請求項77記載のリードエンドグリッド
    アレイ半導体パッケージ。
  79. 【請求項79】 前記多数のリードが相違した長さを有
    する交互の多数グループでなり、X軸方向に延長される
    交互の多数グループのリードは第1〜第3折曲部により
    順次Z下向折曲、X軸方向折曲、Z軸下向折曲により階
    段状に形成され、Y軸方向に延長される交互の多数グル
    ープのリードは第1〜第3折曲部により順次Z軸下向折
    曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲により階段状に形成さ
    れることを特徴とする請求項35記載のリードエンドグ
    リッドアレイ半導体パッケージ。
  80. 【請求項80】 前記多数のリードが相違した長さを有
    する交互の多数グループでなり、X軸方向に延長される
    交互の多数グループのリードのうち、相対的に長い長さ
    を有する多数グループのリードには同一平面上のY軸方
    向転換リード部が形成され、相対的に短い長さを有する
    多数グループのリードにはY軸方向転換リード部が形成
    されなく、同一平面上のY軸方向転換リード部が形成さ
    れた多数グループのリードは第1及び第2折曲部により
    順次Z軸方向折曲、Y軸方向に折曲され、同一平面上の
    Y軸方向転換リード部が形成されない多数グループのリ
    ードは第1及び第2折曲部により順次Z軸下向折曲、X
    軸方向折曲され、Y軸方向に延長される交互の多数グル
    ープのリードは第1及び第2折曲部により順次Z軸下向
    折曲、Y軸方向折曲されることを特徴とする請求項36
    記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  81. 【請求項81】 全てのリードが第1折曲部によりZ軸
    方向に下向折曲(垂直下向折曲)される代わりに、X軸
    方向に延長される交互の多数グループのリードのうち、
    同一平面上のY軸方向転換リード部が形成されなかった
    多数グループのリードは第1折曲部によりXZ軸方向に
    斜めに折曲され、X軸方向に延長される交互の多数グル
    ープのリードのうち、同一平面上のY軸方向転換リード
    部が形成された多数グループのリードとY軸方向に延長
    される交互の多数グループのリードは第1折曲部により
    YZ軸方向に斜めに折曲されることを特徴とする請求項
    80記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケー
    ジ。
  82. 【請求項82】 前記多数のリードが相違した長さを有
    する交互の多数グループでなり、X軸方向に延長される
    交互の多数グループのリードのうち、相対的に長い長さ
    を有する多数グループのリードは第1〜第3折曲部によ
    り順次Z軸下向折曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲され
    て全体的に階段状に形成され、相対的に短い長さを有す
    る多数グループのリードは第1〜第3折曲部により順次
    Z軸下向折曲、X軸方向折曲、Z軸下向き折曲されて全
    体的に階段状に形成され、Y軸方向に延長される交互の
    多数グループのリードは第1〜第3折曲部により順次Z
    軸下向折曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲されて階段状
    に形成されることを特徴とする請求項35記載のリード
    エンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  83. 【請求項83】 前記リードフレームの中央部にタイバ
    ーにより支持される半導体チップより小さい面積の半導
    体チップ搭載板をさらに包含し、半導体チップ搭載板領
    域に対応する下部領域を除外した同一平面上の外郭部に
    多数のリードエンドがグリッドアレイをなすことを特徴
    とする請求項79乃至82のいずれか一項記載のリード
    エンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  84. 【請求項84】 前記リードの一端のリードエンドが半
    導体パッケージに平行し、リードより幅が拡張された拡
    張板状に形成されることを特徴とする請求項80又は8
    1記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケー
    ジ。
  85. 【請求項85】 X軸方向に延長される相違した長さを
    有する交互の多数グループのリードのうち、相対的に長
    い長さを有する多数グループのリードは第1〜第5折曲
    部により順次Z軸下向折曲、Y軸方向折曲、Z軸上向折
    曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲されて全体的に横にな
    ったS字形に形成され、相対的に短い長さを有する多数
    グループと相対的に長い長さを有するグループのリード
    は第1〜第5折曲部により順次Z軸下向折曲、X軸方向
    折曲、Z軸上向折曲、X軸方向折曲、Z軸下向折曲され
    て全体的に横になったS字形に形成され、Y軸方向に延
    長される交互の多数グループのリードは第1〜第5折曲
    部により順次Z軸下向折曲、Y軸方向折曲、Z軸上向折
    曲、Y軸方向折曲、Z軸下向折曲されて全体的に横にな
    ったS字形に形成されることを特徴とする請求項35記
    載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  86. 【請求項86】 X軸方向に延長される多数グループの
    リードのうち、相対的に最も長いグループのリードと、
    Y軸方向に延長される多数グループのリードのうち、相
    対的に最も長いグループのリードとはリードフレームの
    中央下部に延長されることを特徴とする請求項85記載
    のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  87. 【請求項87】 各々のリードにおいて、Z軸下向折曲
    及びZ軸上向折曲による二つの他の平面上への方向転換
    リード部間に位置するX軸又はY軸方向の他の平面上へ
    の方向転換リード部とリードエンドが半導体チップ実装
    領域に対応する一定下部領域内の同一平面上に位置する
    ことを特徴とする請求項85又は86記載のリードエン
    ドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  88. 【請求項88】 前記リードエンドの露出面がプラスチ
    ック封止部の底面と同一平面上に位置することを特徴と
    する請求項79乃至82のいずれか一項又は請求項85
    記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッケージ。
  89. 【請求項89】 リードエンドの露出面がリードの厚さ
    だけプラスチック封止部の底面から突出されていること
    を特徴とする請求項79乃至82のいずれか一項又は請
    求項85記載のリードエンドグリッドアレイ半導体パッ
    ケージ。
  90. 【請求項90】 リードエンドの露出面にソルダボール
    が融着されたことを特徴とするリードエンドグリッドア
    レイ半導体パッケージ。
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