JPH09107047A - 半導体装置およびその製造方法ならびに電子装置 - Google Patents

半導体装置およびその製造方法ならびに電子装置

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JPH09107047A
JPH09107047A JP7265134A JP26513495A JPH09107047A JP H09107047 A JPH09107047 A JP H09107047A JP 7265134 A JP7265134 A JP 7265134A JP 26513495 A JP26513495 A JP 26513495A JP H09107047 A JPH09107047 A JP H09107047A
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body portion
lead
overlapping
semiconductor device
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JP7265134A
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Toshiyuki Takahashi
敏幸 高橋
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Hitachi Ltd
Akita Electronics Systems Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Akita Electronics Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49171Fan-out arrangements
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/306Lead-in-hole components, e.g. affixing or retention before soldering, spacing means
    • H05K3/308Adaptations of leads

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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型で実装面積の縮小化が図れる縦実装型の
半導体装置の提供。 【解決手段】 上下に亘って偏平となる本体部と、前記
本体部の偏平面に直接的または間接的に重ねられる複数
の重畳部と、前記本体部の底面から突出するリードと、
前記重畳部に絶縁的に支持されかつ重畳部の下方から突
出する複数のリードと、前記本体部の内部から各重畳部
に亘って配設されかつ重畳部に絶縁的に支持される複数
のリードと、前記本体部内に封止された少なくとも一つ
の半導体チップと、前記半導体チップの電極と前記本体
部内のリードの内端を電気的に接続する接続手段とから
なり、前記本体部から重畳部に延在するリードは重畳部
でそのまま延在して重畳部の下方に突出するリードに連
なっている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置およびそ
の製造方法ならびに電子装置に関する。
【0002】
【従来の技術】IC,LSI等半導体装置の封止(パッ
ケージ)形態として、気密封止,非気密封止等がある。
また、半導体装置の実装形態の違いにより、リード挿入
型,表面実装型がある。たとえば、SIP(Single Inl
ine Package),ZIP (ZigzagInline Package),PG
A(Pin Grid Array) 等は基板の挿入孔にリードを挿入
するリード挿入型パッケージであり、SOP (Small Ou
tline L-Leaded Package) ,SOJ(Small Outline J-
Leaded Package) ,QFP(Quad Flat Package),QF
J(Quad Flat J-Leaded Package) ,BGA(Ball Gri
d Array)は表面実装型パッケージである。前記SOP,
SOJは、ICチップを封止したパッケージの2方向に
リードピン(リード)を出す構造であり、前記QFP,
QFJはパッケージの4方向にリードピンを出す構造で
ある。
【0003】これらのパッケージ技術については、日経
BP社発行「VLSIパッケージング技術(上)」1993
年5月15日発行、P76〜P84に記載されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のSOP,SO
J,QFP,QFJ,BGA等の表面実装型半導体装置
やPGA型半導体装置は、パッケージの全体が実装基板
に対面するように実装することから、チップサイズより
も基板実装面積を小さくすることができない。このた
め、チップサイズの大型化,多ピン化によりパッケージ
が大型化し、基板実装面積が増大する。前記多ピン化に
おいては、リードピンピッチ確保等のためにインナーリ
ード部が増大し、パッケージが大きくなる。
【0005】一方、パッケージの一辺のみからリードを
突出させる従来のSIP,ZIPは、リード挿入型半導
体装置であり、基板実装面積を小さくできる特長があ
る。しかし、リード挿入型半導体装置のように縦実装型
半導体装置は、パッケージの基板搭載方向にリードを集
めるため、多ピン化を図ると、リードを引き回すインナ
ーリード部が大きくなり、チップサイズに比べてパッケ
ージサイズが格段に大きくなる。多ピン化することで、
パッケージの長さが著しく長くなるため、パッケージ形
態のもつ基板実装面積を小さくできる有効性がなくな
る。したがって、従来では、たとえば、40ピン程度の
ものしか実用化されていない。
【0006】本発明の目的は、小型の縦実装型の半導体
装置およびその製造方法を提供することにある。
【0007】本発明の他の目的は、基板実装面積の縮小
化が図れる縦実装型の半導体装置およびその製造方法を
提供することにある。
【0008】本発明の他の目的は、半導体装置の実装面
積の縮小化が達成できる電子装置を提供することにあ
る。
【0009】本発明の前記ならびにそのほかの目的と新
規な特徴は、本明細書の記述および添付図面からあきら
かになるであろう。
【0010】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
【0011】(半導体装置) (1)上下に亘って偏平となる本体部と、前記本体部の
底面から突出する複数のリードと、前記本体部内に組み
込まれる少なくとも一つの半導体チップと、前記半導体
チップの電極と前記本体部内のリードの先端を電気的に
接続する接続手段とを有する半導体装置であって、前記
リードの一部は前記本体部の底面および偏平面以外の少
なくとも一面から本体部外に突出するとともに折り返さ
れて前記本体部の偏平面に沿って延在し、先端は前記本
体部底面から突出するリードと並んで配列されている。
【0012】(2)上下に亘って偏平となる本体部と、
前記本体部の偏平面に直接的または間接的に固定される
複数の重畳部と、前記本体部の内部から各重畳部に亘っ
て配設される複数のリードと、前記本体部の底面から突
出するリードと、前記重畳部に絶縁的に支持されかつ重
畳部の下方から突出する複数のリードと、前記本体部内
に封止された少なくとも一つの半導体チップと、前記半
導体チップの電極と前記本体部内のリードの先端を電気
的に接続する接続手段とからなり、前記本体部から重畳
部に延在するリードは重畳部でそのまま延在して重畳部
の下方に突出するリードに連なっている。
【0013】(3)前記手段(2)において、前記本体
部および前記重畳部ならびに前記本体部と重畳部との間
のリードは、1枚のフレキシブル配線基板に固定されて
いる。
【0014】(4)前記手段(2)において、前記本体
部の下面から熱伝導性の良好な材質からなる板状の放熱
板を突出させ、かつ少なくとも前記放熱板の一部は前記
本体部の他の面から本体部外に突出させている。
【0015】(5)前記手段(2)において、前記重畳
部の少なくとも1つは熱伝導性の良好な材質からなる放
熱板となり、少なくとも一端は本体部の一縁より外側に
突出している。
【0016】(6)前記手段(2)において、前記本体
部または重畳部の偏平面には実装基板に挿入固定される
固定ピンを有する補強板が固定されている。
【0017】(7)前記手段(2)において、前記本体
部および重畳部の下方に突出するリードは、一部がリー
ド挿入型構造となり他部が表面実装型構造となってい
る。
【0018】(8)上下に亘って偏平となる本体部と、
前記本体部の偏平面に直接的または間接的に固定される
複数の重畳部と、前記本体部の内部から各重畳部に亘っ
て配設される複数のリードと、前記本体部の底面から突
出するリードと、前記重畳部に絶縁的に支持されかつ重
畳部の下方から突出する複数のリードと、前記本体部内
に封止された少なくとも一つの半導体チップと、前記半
導体チップの電極と前記本体部内のリードの先端を電気
的に接続する接続手段とからなり、前記重畳部のうちの
少なくとも一部の重畳部では少なくとも1つの半導体チ
ップが組み込まれ、重畳部に延在するリード先端と前記
半導体チップの電極は電気的接続手段によって接続さ
れ、半導体チップ等電子部品が組み込まれない重畳部で
は前記本体部から重畳部に延在するリードは重畳部でそ
のまま延在して重畳部の下方に突出するリードに連なっ
ている。
【0019】(9)前記手段(8)において、前記本体
部および重畳部ならびに前記本体部と重畳部との間のリ
ード等は1枚のフレキシブル配線基板に固定されてい
る。
【0020】(半導体装置の製造方法) (10)上下に亘って偏平となる本体部と、前記本体部
の偏平面に直接的または間接的に固定される複数の重畳
部と、前記本体部の内部から各重畳部に亘って配設され
る複数のリードと、前記本体部の底面から突出するリー
ドと、前記重畳部に絶縁的に支持されかつ重畳部の下方
から突出する複数のリードと、前記本体部内に封止され
た少なくとも一つの半導体チップと、前記半導体チップ
の電極と前記本体部内のリードの先端を電気的に接続す
る接続手段とからなり、前記本体部から重畳部に延在す
るリードは重畳部でそのまま延在して重畳部の下方に突
出するリードに連なる半導体装置の製造方法であって、
前記本体部部分を形成するリードパターンおよび前記重
畳部部分を形成するリードパターンならびに前記本体部
と重畳部との間のリードパターンを有するリードフレー
ムを用意する工程と、前記本体部および重畳部を形成す
る工程と、不要リードフレーム部分を切断除去する工程
と、前記本体部と重畳部との間のリード部分で折り返
し、各重畳部を本体部に直接的または間接的に重ね、か
つ固定する。
【0021】(11)上下に亘って偏平となる本体部
と、前記本体部の偏平面に直接的または間接的に固定さ
れる複数の重畳部と、前記本体部の内部から各重畳部に
亘って配設される複数のリードと、前記本体部の底面か
ら突出するリードと、前記重畳部に絶縁的に支持されか
つ重畳部の下方から突出する複数のリードと、前記本体
部内に封止された少なくとも一つの半導体チップと、前
記半導体チップの電極と前記本体部内のリードの先端を
電気的に接続する接続手段とからなり、前記重畳部のう
ちの少なくとも一部の重畳部では少なくとも1つの半導
体チップが組み込まれ、重畳部に延在するリード先端と
前記半導体チップの電極は電気的接続手段によって接続
され、半導体チップ等電子部品が組み込まれない重畳部
では前記本体部から重畳部に延在するリードは重畳部で
そのまま延在して重畳部の下方に突出するリードに連な
る半導体装置の製造方法であって、前記本体部部分を形
成するリードパターンおよび前記重畳部部分を形成する
リードパターンならびに前記本体部と重畳部との間のリ
ードパターン有するリードフレームを用意する工程と、
前記本体部および重畳部を形成する工程と、不要リード
フレーム部分を切断除去する工程と、前記本体部と重畳
部との間のリード部分で折り返し、各重畳部を本体部に
直接的または間接的に重ね、かつ固定する。
【0022】(12)上下に亘って偏平となる本体部
と、前記本体部の偏平面に直接的または間接的に固定さ
れる複数の重畳部と、前記本体部の内部から各重畳部に
亘って配設される複数のリードと、前記本体部の底面か
ら突出するリードと、前記重畳部に絶縁的に支持されか
つ重畳部の下方から突出する複数のリードと、前記本体
部内に封止された少なくとも一つの半導体チップと、前
記半導体チップの電極と前記本体部内のリードの先端を
電気的に接続する接続手段とからなり、前記重畳部のう
ちの少なくとも一部の重畳部では少なくとも1つの半導
体チップが組み込まれ、重畳部に延在するリード先端と
前記半導体チップの電極は電気的接続手段によって接続
され、半導体チップ等電子部品が組み込まれない重畳部
では前記本体部から重畳部に延在するリードは重畳部で
そのまま延在して重畳部の下方に突出するリードに連な
り、前記本体部および重畳部ならびに前記本体部と重畳
部との間のリードは1枚のフレキシブル配線基板に支持
されてなる半導体装置の製造方法であって、前記本体部
部分を形成するリードパターンおよび前記重畳部部分を
形成するリードパターンならびに前記本体部と重畳部と
の間のリードパターンを有するフレキシブル配線基板を
用意する工程と、前記本体部および重畳部を形成する工
程と、不要フレキシブル配線基板部分を切断除去する工
程と、前記本体部と重畳部との間のフレキシブル配線基
板部分で折り返し、各重畳部を本体部に直接的または間
接的に重ね、かつ固定する。
【0023】(電子装置) (13)実装基板と、前記実装基板に実装される半導体
装置とを有する電子装置であって、前記半導体装置は上
下に亘って偏平となる本体部と、前記本体部の底面から
突出する複数のリードと、前記本体部内に組み込まれる
少なくとも一つの半導体チップと、前記半導体チップの
電極と前記本体部内のリードの先端を電気的に接続する
接続手段とを有し、前記リードの一部は前記本体部の底
面および偏平面以外の少なくとも一面から本体部外に突
出するとともに折り返されて前記本体部の偏平面に沿っ
て延在し、先端は前記本体部底面から突出するリードと
並んで配列されている。
【0024】(14)前記手段(13)において、前記
本体部の偏平面に沿って延在するリード部分は前記本体
部に直接的または間接的に重なりかつ固定される重畳部
で支持されている。
【0025】(15)前記手段(14)において、前記
重畳部の少なくとも1つには、半導体チップが組み込ま
れ、所定のリードと前記半導体チップの電極は接続手段
によって接続されている。
【0026】
【発明の実施の形態】
(半導体装置)前記(1)の手段によれば、本体部の底
面から突出したリードはそのまま実装用リードとして使
用されるとともに、本体部の底面および偏平面を除く他
の面から突出したリードも折り返されて前記本体部の底
面側に延在させられて実装用リードとして使用される構
造となっていることから、リード数が多くても本体部の
小型化が図れる。
【0027】また、実装基板に取り付けられる実装用リ
ードは、本体部底面から突出するリードと、本体部の偏
平面に沿って延在するリードとからなるため、リード数
が多くても実装面積の縮小化が図れる。
【0028】前記(2)の手段によれば、本体部の底面
から突出したリードはそのまま実装用リードとして使用
されるとともに、本体部の底面および偏平面を除く他の
面から突出したリードも折り返されて前記本体部の底面
側に延在させられて実装用リードとして使用される構造
となっていることから、リード数が多くても本体部と重
畳部とからなる半導体装置本体の小型化が図れる。ま
た、実装面積の縮小化が図れる。
【0029】また、本体部の偏平面に沿って延在するリ
ード部分は重畳部で支持され、かつ前記重畳部は本体部
に固定されているため、実装用リードはそれぞれ強固に
支持されることになる。
【0030】前記(3)の手段によれば、フレキシブル
配線基板を使うことで配線数を増やせ、リード部分の折
り返しが容易となる。
【0031】前記(4)の手段によれば、前記本体部の
下面から板状の放熱板を突出させ、かつ少なくとも前記
放熱板の一部は前記本体部の他の面から本体部外に突出
させていることから、本体部内の半導体チップから放出
される熱の放散が可能となり、半導体装置の安定動作が
達成できる。
【0032】前記(5)の手段によれば、前記重畳部の
少なくとも1つは熱伝導性の良好な材質からなる放熱板
となっているため、リードを介して前記本体部内の半導
体チップから放出される熱の放散が可能となり、半導体
装置の安定動作が達成できる。
【0033】前記(6)の手段によれば、前記本体部ま
たは重畳部の偏平面には実装基板に挿入固定される固定
ピンを有する補強板が固定されていることから、半導体
装置の実装の機械的強度が高くなる。
【0034】前記(7)の手段によれば、半導体装置の
実装時、リード挿入型構造のリードで実装用の位置決め
ができるため、他の表面実装型構造のリードの実装の位
置決めが自動的に行える。
【0035】前記(8)の手段によれば、本体部の底面
から突出したリードはそのまま実装用リードとして使用
されるとともに、本体部の底面および偏平面を除く他の
面から突出したリードも折り返されて前記本体部の底面
側に延在させられて実装用リードとして使用される構造
となっていることから、リード数が多くても本体部と重
畳部とからなる半導体装置本体の小型化が図れる。ま
た、実装面積の縮小化が図れる。
【0036】また、本体部の偏平面に沿って延在するリ
ード部分は重畳部で支持され、かつ前記重畳部は本体部
に固定されているため、実装用リードはそれぞれ強固に
支持されることになる。
【0037】また、前記重畳部のうちの少なくとも一部
の重畳部では少なくとも1つの半導体チップが組み込ま
れていることから、半導体チップの組み込み数の増大が
図れ、より高集積化が達成できる。
【0038】前記(9)の手段によれば、フレキシブル
配線基板を使うことで配線数を増やせ、リード部分の折
り返しが容易となり、組立作業が用意となる。
【0039】(半導体装置の製造方法)前記(10)の
手段によれば、リードフレームを使用して前記本体部お
よび重畳部を形成した後、前記リードフレームの不要部
分を切断除去し、かつ前記本体部と重畳部との間のリー
ド部分を折り返して各重畳部を本体部に直接的または間
接的に重ねて固定して半導体装置を製造するため、小型
でかつ実装面積を小さくできる半導体装置を容易に製造
することができる。
【0040】前記(11)の手段によれば、リードフレ
ームを使用して前記本体部および重畳部を形成した後、
前記リードフレームの不要部分を切断除去し、かつ前記
本体部と重畳部との間のリード部分を折り返して各重畳
部を本体部に直接的または間接的に重ねて固定して半導
体装置を製造するため、小型でかつ実装面積を小さくで
きる半導体装置を容易に製造することができる。
【0041】前記(12)の手段によれば、1枚のフレ
キシブル配線基板を使用して前記本体部および重畳部を
形成した後、前記フレキシブル配線基板の不要部分を切
断除去し、かつ前記本体部と重畳部との間のフレキシブ
ル配線基板部分を折り返して各重畳部を本体部に直接的
または間接的に重ねて固定して半導体装置を製造するた
め、小型でかつ実装面積を小さくできる半導体装置を容
易に製造することができる。
【0042】(電子装置)前記(13)の手段によれ
ば、半導体装置の本体部の底面から突出したリードはそ
のまま実装用リードとして使用されるとともに、本体部
の底面および偏平面を除く他の面から突出したリードも
折り返されて前記本体部の底面側に延在させられて実装
用リードとして使用される構造となっていることから、
リード数が多くても実装面積の縮小化を図ることができ
る。
【0043】前記(14)の手段によれば、前記本体部
の偏平面に沿って延在するリード部分は前記本体部に直
接的または間接的に重なりかつ固定される重畳部で支持
されていることから実装用リードの機械的強度が高く、
実装の信頼性が高い。
【0044】前記(15)の手段によれば、前記本体部
以外の重畳部の少なくとも1つには、半導体チップが組
み込まれていることから、半導体装置はより高集積とな
り、電子装置の高集積化が達成される。
【0045】以下、図面を参照して本発明の実施の形態
を詳細に説明する。なお、発明の実施の形態を説明する
ための全図において、同一機能を有するものは同一符号
を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【0046】
【発明の実施の形態】
(実施形態1)図1は本発明の一実施形態(実施形態
1)である半導体装置と実装基板を示す斜視図、図2は
本実施形態1の半導体装置の実装状態を示す斜視図、図
3は本実施形態1の半導体装置の外観を示す図、図4は
本実施形態1の半導体装置のリード例を示す説明図、図
5は本実施形態1における本体部と重畳部との相関を示
す概念的な展開図、図6は本実施形態1における本体部
と重畳部との相関を示す展開図である。
【0047】(半導体装置)本実施形態1の半導体装置
1は縦実装型の半導体装置となり、外観的には、図1お
よび図3(a:正面図,b:左側面図,c:平面図)に
示すように、矩形板状の本体部2と、この本体部2の前
面および後面にそれぞれ直接的または間接的に重ねて固
定された3つの重畳部3b,3c,3dと、前記本体部
2の上面および両側面から突出しかつ途中で折り返され
て各重畳部3b,3c,3dの周面内に進入するリード
(連結用リード)4b,4c,4dと、前記本体部2お
よび重畳部3b,3c,3dの各底面から下方に突出す
るリード(実装用リード)5a,5b,5c,5dとか
らなっている。
【0048】前記重畳部3b,3c,3dは、リードを
支持補強する役割と、各リード間隔を一定に保つ役割を
果たす。重畳部3b,3c,3dは、前記本体部2の各
面から突出するリードを、その面ごとそれぞれ封止支持
する。
【0049】また、前記重畳部3b,3c,3dは前記
本体部2と同じ大きさとなっている。したがって、本実
施形態1の半導体装置1は、本体部2とこの本体部2に
重なった重畳部3b,3c,3dによって半導体装置本
体6が構成され、この上下に亘って偏平となる半導体装
置本体6の底面からリード5a,5b,5c,5dを4
列に並んで突出させた縦実装型半導体装置となる。
【0050】前記本体部2および重畳部3b,3c,3
dは、後述するが、トランスファモールドによる封止体
によって形成されている。図5に示すように、前記本体
部2は通常のレジンパッケージ型半導体装置のパッケー
ジと同様に内部に半導体チップを組み込む構造となって
いるが、前記重畳部3b,3c,3dは、単にリード5
を両面側から封止するだけの構造となっている。したが
って、重畳部3b,3c,3dの厚さは本体部2に比較
して薄くなっている。
【0051】そこで、リード列間のピッチを一定とする
ため、リード5dは、図1に示すように、途中で1段外
側に階段状に屈曲させてある。
【0052】本実施形態1の半導体装置1では、リード
5a,5b,5c,5dはリード挿入型となり、リード
5a,5b,5c,5dの先端形状は、図4(a)〜
(c)に示すような形状になっている。すなわち、リー
ド5は、図4(a)に示すように両側から細くなるも
の、図4(b)に示すように片側から細くなるもの、図
4(c)に示すように途中で1段屈曲したものとなって
いる。前記屈曲部分や細くくびれた部分から幅が太くな
る部分は、実装基板の挿入孔の縁にぶつかり、必要以上
にリードが挿入されないようになる。
【0053】前記重畳部3b,3c,3dは、図示しな
い接着剤や接着テープを介して直接的または間接的に本
体部2の広い偏平面(前面および後面)に固定されてい
る。本体部2および重畳部3b,3c,3dは、図6に
示すように、たとえば、トランスファモールドによって
平面的に形成される。その後、中央の本体部2の左側の
重畳部3bをリード4bの途中で折り返して本体部2の
前面に重ねて接着した後、右側の重畳部3cをリード4
cの途中で折り返して前記重畳部3b上に接着固定し、
その後上側の重畳部3dをリード4dの途中で背面側に
折り返して前記本体部2の後面に接着固定する。
【0054】図5および図6は、本実施形態1の半導体
装置1の製造において、リードフレームの各部をトラン
スファモールドによって封止して本体部2および重畳部
3b,3c,3dを形成した後、不要なリードフレーム
部分を切断除去した状態を示す図であり、図5は本体部
2および重畳部3b,3c,3dに封止されたものが分
かる状態とした模式的展開図である。
【0055】図5で分かるように、前記本体部2の内部
中央には、4隅をタブ吊りリード15で支持された矩形
のタブ16が位置している。そして、このタブ16上に
は、半導体チップ(ICチップ)17が固定されてい
る。また、本体部2の4辺から本体部2の内部に延在す
るリード5aおよびリード4b,4c,4dの先端は、
前記タブ16の周囲に臨んでいる。前記リード5aおよ
びリード4b,4c,4dの先端と、前記半導体チップ
17の図示しない電極は導電性のワイヤ18で接続され
ている。
【0056】また、前記重畳部3b,3c,3dにおい
て、各リード5は、重畳部3b,3c,3dが連結用リ
ード4b,4c,4dの中間で折り返された際、重畳部
3b,3c,3dから突出する5b,5c,5dが、本
体部2のリード5aと並列となるように、重畳部3b,
3cでは屈曲し、重畳部3dでは直進するパターンとな
っている。
【0057】なお、重畳部でのリードの屈曲パターンを
適当に選択すれば、図28に示すように、本体部2に直
接的または間接的に重なる重畳部を4つ(重畳部3b,
3c,3d,3e)とすることもできる。図28の半導
体装置の場合は、前記重畳部3b,3c,3d,3eの
一端からそれぞれ実装用リード5a,5b,5c,5
d,5eが出る構造となるため、より一層の多リード化
が実現できる。図28の半導体装置1の場合では、重畳
部3b,3c,3d,3eのうちの幾つかあるいは全部
に半導体チップを組み込めば、さらなる高機能化,高集
積化が実現できる。また、本発明の半導体装置はさらに
重畳部を多くしてもよい。
【0058】本実施形態1の半導体装置1は、従来のQ
FPパッケージのように、矩形パッケージとなる本体部
2の4辺からそれぞれリードを突出させる構造を採用し
ていることから、多リード化が達成できる。また、本体
部2の3辺から突出したリードを折り返しかつ屈曲させ
て本体部2の偏平面に沿って延在させて実装用リードと
して使用するため、従来の縦実装型半導体装置構成とす
ることができる。これによって、小型でかつ多リードの
半導体装置1を提供できることになる。また、半導体装
置1は縦実装型構造となることから、実装面積の縮小化
も達成できる。
【0059】本実施形態1の場合は、前記本体部2はレ
ジンパッケージ構成となっているが、半導体チップを内
蔵したセラミックパッケージ構成や金属のケースからな
るキャンパッケージ構成でもよい。また、他の実施形態
として後述するように、前記重畳部3b,3c,3dの
内の全部または幾つかは、半導体チップを組み込むもの
でもよい。
【0060】また、本実施形態1では、本体部2に半導
体チップを組み込む構造となっているが、本発明では、
前記本体部2においてリードのみを支持(封止)する構
造であっても何ら支障を来さない。
【0061】また、前記連結用リード4b,4c,4d
は封止体から露出し、ショートのおそれがあることか
ら、樹脂やエナメル等絶縁物質をリード表面に塗布また
は再封止しても良い。
【0062】(電子装置)ここで、本実施形態1の半導
体装置1の製造方法を説明する前に、本実施形態1の半
導体装置1を実装した電子装置について説明する。
【0063】図1において、半導体装置1の下方に示す
ものは、実装基板7である。この実装基板7には、前記
半導体装置1のリード5a,5b,5c,5dを挿入す
るための挿入孔9が設けられている。また、図示はしな
いが、各挿入孔9の縁は導体で形成されるとともに、配
線に繋がっている。
【0064】図2は半導体装置1が実装基板7に実装さ
れた状態、すなわち、電子装置の一部を示すものであ
る。実装基板7の各挿入孔9に挿入されたリード5a,
5b,5c,5dは、図示しない半田等の接合材によっ
て固定されている。
【0065】本実施形態1の電子装置においては、半導
体装置1の本体部2の底面から突出したリード5aはそ
のまま実装用リードとして使用されるとともに、本体部
2の底面および偏平面を除く他の面から突出したリード
5b,5c,5dも折り返されて前記本体部2の底面側
に延在させられて実装用リードとして使用される構造と
なっていることから、リード数が多くても実装面積の縮
小化を図ることができる。
【0066】また、本実施形態1の電子装置において
は、前記本体部2の偏平面に沿って延在するリード部分
は、前記本体部2に固定される重畳部3b,3c,3d
で支持されていることから実装用の各リード5a,5
b,5c,5dの機械的強度が高く、実装の信頼性が高
くなる。
【0067】また、本実施形態1の半導体装置1におい
て、重畳部3b,3c,3dの少なくとも一つに半導体
チップを組み込む構造とすれば、半導体装置はより高集
積なものとなり、電子装置の高集積化が達成できる。
【0068】(半導体装置の製造方法)つぎに、本実施
形態1の半導体装置1の製造方法について説明する。図
5乃至図8は本実施形態1の半導体装置の製造方法に係
わる図であって、図5は本体部と重畳部との相関を示す
概念的な展開図、図6は本体部と重畳部との相関を示す
展開図、図7は半導体装置の製造の各工程を示す平面
図、図8は半導体装置の製造の各工程を示す平面図であ
る。
【0069】本実施形態1の半導体装置の製造方法は、
要約すると、上下に亘って偏平となる本体部2と、前記
本体部2の偏平面に直接的または間接的に固定される複
数の重畳部3b,3c,3dと、前記本体部2の内部か
ら各重畳部3b,3c,3dに亘って配設される複数の
リード(連結用リード4b,4c,4d)と、前記本体
部2の底面から突出するリード(実装用リード5a)
と、前記重畳部3b,3c,3dに絶縁的に支持されか
つ重畳部の下方から突出する複数のリード(実装用リー
ド5b,5c,5d)と、前記本体部2内に封止された
少なくとも一つの半導体チップ17と、前記半導体チッ
プ17の電極と前記本体部2内のリード5の先端を電気
的に接続する接続手段(ワイヤ18によるワイヤボンデ
ィング)とからなり、前記本体部2から重畳部3b,3
c,3dに延在するリード(連結用リード4b,4c,
4d)は重畳部3b,3c,3dでそのまま延在して重
畳部3b,3c,3dの下方に突出するリード(実装用
リード5b,5c,5d)に連なる半導体装置1の製造
方法であって、前記本体部部分を形成するリードパター
ン(本体部リードパターン22)および前記重畳部部分
を形成するリードパターン(重畳部リードパターン23
b,23c,23d)ならびに前記本体部2と重畳部3
b,3c,3dとの間のリードパターン(連結用リード
4b,4c,4d)を有するリードフレーム20を用意
する工程と、前記本体部2および重畳部3b,3c,3
dを形成する工程と、不要リードフレーム部分を切断除
去する工程と、前記本体部2と重畳部3b,3c,3d
との間のリード部分(連結用リード4b,4c,4d)
で折り返し、各重畳部3b,3c,3dを本体部2に直
接的または間接的に重ね、かつ固定する方法である。
【0070】つぎに、具体的に本実施形態1の半導体装
置の製造方法について説明する。
【0071】最初に、図7(a)に示すように、リード
フレーム20を用意する。リードフレーム20は、0.
15〜0.2mm程度の厚さの金属板をエッチングや精
密プレスによってパターニングされたものとなってい
る。金属としては、42アロイやコバール等のFe−N
i系合金や銅合金が使用される。
【0072】リードフレーム20は、図7(a)に示す
ように所定部分を打ち抜いた枠構成の矩形枠板21とな
り、矩形枠板21の下部中央に前記本体部2を形成する
本体部リードパターン22が設けられている。また、前
記本体部リードパターン22の両側には重畳部リードパ
ターン23b,23cが設けられている。また、前記本
体部リードパターン22の上方には重畳部リードパター
ン23dが設けられている。この説明部分では、上方,
下方は図面を記載した用紙の上縁側または下縁側を示す
ことにする。また、両側とは用紙の両側縁側を示すこと
にする。
【0073】前記本体部リードパターン22は、図5に
も示すように矩形のタブ16と、このタブ16の4隅を
支持する4本のタブ吊りリード15と、前記タブ16の
4辺にそれぞれに先端を臨ませ、他端を前記重畳部リー
ドパターン23b,23c,23d内に延在させる複数
のリード5とからなっている。
【0074】前記タブ吊りリード15は矩形枠板21に
連結されている。
【0075】前記本体部リードパターン22から4方向
に延在するリード5において、本体部リードパターン2
2の下側に延在するリード5は平行に延在してそれぞれ
矩形枠板21に連なっている。この部分のリード5は本
体部2の実装用リード5aとなる。
【0076】前記本体部リードパターン22の上側に突
出する複数のリード5は相互に平行に上方に直進して重
畳部リードパターン23d内を通り矩形枠板21に連な
る。矩形枠板21に連なるリード5部分は、重畳部3d
の実装用リード5dとなる。各実装用リード5dは、直
交して延在する細いダム24dに支持されている。
【0077】前記本体部リードパターン22の両側に延
在するリード5は、重畳部リードパターン23b,23
c内に進んだ後、斜め下方にそれぞれ45度屈曲し、そ
の後再び屈曲して下方に延在する。この先端部分は、重
畳部3b,3cの実装用リード5b,5cとなる。前記
実装用リード5a,5b,5cはともに平行となる。そ
して、これら実装用リード5a,5b,5cは、直交す
る細いダム24a,24b,24cに途中を支持される
構造となっている。
【0078】前記リード5において、本体部リードパタ
ーン22と重畳部リードパターン23b,23c,23
dとの間の部分を、特に連結用リード(リード4b,4
c,4d)と呼称する。連結用リード4b,4c,4d
の内、連結用リード4b,4cは同じ長さとなるが、連
結用リード4dは、前述のように本体部2に対する重ね
合わせ状態が異なることから、すなわち、重畳部3b,
3cは本体部2に直接的に重なるが、重畳部3dは本体
部2に重ねられた重畳部3cに重なることから、図6お
よび図7(d)に示すように長くなっている。
【0079】前記リードフレーム20は、必要に応じて
各所がメッキ処理されている。
【0080】つぎに、前記リードフレーム20に対し
て、図7(b)に示すようにタブ16上に半導体チップ
17が固定される。半導体チップ17の固定は、通常取
られる方法、たとえば、金とシリコンの共晶合金による
もの、銀ペースト等の導電性樹脂(接着剤)によるも
の、接着テープによるものが採用される。
【0081】つぎに、図7(c)および図5に示すよう
に、前記半導体チップ17の図示しない電極と、半導体
チップ17の周辺に先端を臨ませるリード5の先端部分
が導電性のワイヤ18で接続される。この電気的接続手
段は、バンプを利用したフェイスダウン構造,ビームリ
ード構造等としても良い。
【0082】つぎに、図7(d)および図6に示すよう
に、本体部リードパターン22部分と3つの重畳部リー
ドパターン23b,23c,23d部分に対して、トラ
ンスファモールドによって封止を行い封止体25(本体
部2および重畳部3b,3c,3d)を形成する。
【0083】つぎに、図8(a)に示すように、不要な
リードフレーム部分、すなわち、ダム24a,24b,
24c,24dが切断除去されるとともに、実装用リー
ド5a,5b,5c,5dが矩形枠板21から切り離さ
れる。しかし、タブ16はタブ吊りリード15を介して
矩形枠板21に支持されている。この際、モールド時に
発生したレジンバリも除去する。この時必要ならば、図
3(b)5cのようにリードを成形して折り曲げる。
【0084】なお、本実施形態1では、その後の作業性
を良くするために、前記タブ16をタブ吊りリード15
で矩形枠板21に固定した状態としてあるが、この時点
でタブ16の付け根でタブ吊りリード15を切断し、本
体部2や重畳部3b,3c,3dをリードフレーム20
から完全に分離させ、図6の状態としても良い。
【0085】つぎに、図8(b)に示すように、重畳部
3b,3c,3dの偏平面において、重畳部3b,3c
にあっては前面に接着剤や接着テープ等の接着剤26を
付け、重畳部3dにあっては後面に接着剤26を付け
る。接着剤の代わりに接着テープを付けても良い。接着
剤26の場合は、必要に応じて加熱炉で硬化を促進させ
ても良い。
【0086】つぎに、図8(c)に示すように、重畳部
3b,3c,3dを本体部2に対して折り返して重ねて
接着する。すなわち、最初に前記連結用リード4bを前
面側に折り返して重畳部3bを本体部2に重ねて接着す
る。その後、連結用リード4cを前面側に折り返して重
畳部3cを本体部2に固定された重畳部3bに重ねて接
着する。また、連結用リード4dを後面側に折り返して
重畳部3dを本体部2の後面に重ねて接着する。重畳部
3b,3c,3dの本体部2に対する直接的または間接
的な固定によって、図8(d)に示すように本体部2と
重畳部3b,3c,3dからなる半導体装置本体6が形
成される。
【0087】つぎに、図8(e)に示すように、タブ吊
りリード15を本体部2の付け根から切断することによ
って半導体装置1が製造されることになる。
【0088】本実施形態1によればつぎのような効果が
得られる。
【0089】(1)本実施形態1の半導体装置1は、本
体部2の底面から突出したリード5aはそのまま実装用
リードとして使用されるとともに、本体部2の底面およ
び偏平面を除く他の面から突出したリードも折り返され
て前記本体部の底面側に延在させられて実装用リード5
b,5c,5dとして使用される構造となっていること
から、リード数が多くても本体部の小型化が図れる。
【0090】(2)本実施形態1の半導体装置1は、本
体部2の両側面および上面から突出させたリードを本体
部2の偏平面となる前面および後面に沿って延在させる
が、これらのリードは薄い重畳部3b,3c,3dで支
持されていることから、本体部2と重畳部3b,3c,
3dからなる半導体装置本体6の厚さは薄くできる。
【0091】(3)前記(1)および(2)により、半
導体装置1は実装面積の小さい半導体装置となる。
【0092】(4)本実施形態1の半導体装置1は、実
装用リード5aは本体部2に支持され、実装用リード5
b,5c,5dは重畳部3b,3c,3dに支持されて
いることから、実装用リードはそれぞれ強固に支持され
ることになる。
【0093】(5)本実施形態1の半導体装置の製造方
法によれば、リードフレーム20を使用して前記本体部
2および重畳部3b,3c,3dを形成した後、前記リ
ードフレーム20の不要部分を切断除去し、かつ前記本
体部2と重畳部3b,3c,3dとの間のリード部分
(連結用リード4b,4c,4d)を折り返して各重畳
部3b,3c,3dを本体部2に直接的または間接的に
重ねて固定して半導体装置1を製造するため、小型でか
つ実装面積を小さくできる半導体装置を容易に製造する
ことができる。
【0094】つぎに、本実施形態1において下記のよう
な手法を採用しても良い。
【0095】たとえば、リードの変形を防ぐため、所定
部分を絶縁性の樹脂テープやフィルムを張り付けても良
い。
【0096】また、連結用リード等の各リード間を切断
成形時に切り離す補強用のフレームで固定しても良い。
【0097】また、半導体チップの搭載方法として、一
度配線基板に取り付けてワイヤボンディングし、その配
線基板とリードフレームを再度ボンディングして取り付
ける構造も考えられる。この場合、リードフレームには
タブを設けなくとも良い場合もある。
【0098】図9は本実施形態1の第1変形例による半
導体装置の側面図である。この半導体装置1では、実装
用実装用リード5a,5b,5cをそれぞれジグザクに
配置した構造となっている。リード配列をジグザグとす
ることによって、リードピッチをより小さくでき、実装
の効率化を高めることができる。
【0099】図10(a),(b)は本実施形態1の第
2変形例による半導体装置を示す図である。この実施形
態の半導体装置1は実装用リード5a,5b,5c,5
dを表面実装型としたものである。この方法ではスルー
ホールが無いため、基板裏面を有効に使用できる。
【0100】図11(a),(b)は本実施形態1の第
3変形例による半導体装置を示す図である。この実施形
態の半導体装置1は、実装用リードのうちの一部をリー
ド挿入型リード30となり、他部が表面実装型リード3
1となっていることから、半導体装置1の実装時、リー
ド挿入型リード30で実装用の位置決めができるため、
他の表面実装型リード31の実装の位置決めが自動的に
行え、基板実装時の装置ズレが防げ、実装用スルーホー
ルが少ないため基板裏面を有効に使用できる。
【0101】(実施形態2)図12は本発明の他の実施
形態(実施形態2)である半導体装置を示す図、図13
は本実施形態2の半導体装置の製造における本体部とリ
ードとの相関を示す平面図である。
【0102】本実施形態2の半導体装置1は、最もシン
プルな構造の縦実装型半導体装置である。
【0103】本実施形態2の半導体装置1は、要約する
と、図12および図13に示すように、上下に亘って偏
平となる本体部2と、前記本体部2の底面から突出する
複数のリード5(実装用リード5a)と、前記本体部2
内に組み込まれる少なくとも一つの半導体チップと、前
記半導体チップの電極と前記本体部内のリードの先端を
電気的に接続する接続手段とを有する半導体装置であっ
て、前記リード5の一部は前記本体部2の底面および偏
平面以外の少なくとも一面から本体部2外に突出すると
ともに折り返されて前記本体部2の偏平面35に沿って
延在し、先端のリード5(実装用リード5d)は前記本
体部2底面から突出するリード(実装用リード5a)と
並んで配列されている構造となっている。
【0104】つぎに、本実施形態2の半導体装置1につ
いて具体的に説明する。
【0105】半導体装置1は、図12および図13に示
すように、上下に偏平となり、内部に半導体チップを組
み込んだ矩形状の本体部2と、前記本体部2の底面から
突出する複数の実装用リード5aと、前記本体部2の上
面から突出した複数のリード5とからなっている。前記
本体部2の上面から突出した複数のリード5は、本体部
2の付け根近傍で本体部2の前面側に折り返されて本体
部2の偏平面35に重ねられている。
【0106】本体部2の前面の偏平面35には、図13
に示すように、上下に延びる溝36が平行に設けられ、
折り返されたリード5は、各溝36に嵌まり込んでい
る。また、嵌まり込んだリード5は図示しない接合材に
よって本体部2に固定されている。
【0107】前記溝36から下に延在するリード5は実
装用リード5dとして使用される。実装用リード5aお
よび実装用リード5dは平行に並ぶ。
【0108】本実施形態2の半導体装置1は、本体部2
の底面から突出したリードはそのまま実装用リード5a
として使用されるとともに、本体部2の底面および偏平
面35を除く他の面から突出したリード5も折り返され
て前記本体部2の底面側に延在させられて実装用リード
5dとして使用される構造となっていることから、リー
ド数が多くても本体部2の小型化が図れる。
【0109】また、実装基板に取り付けられる実装用リ
ード5a,5dは、本体部2の底面から突出するリード
と、本体部の偏平面に沿って延在するリードとからなる
ため、リード数が多くても実装面積の縮小化が図れる。
【0110】本実施形態2の半導体装置1においては、
たとえば、前記溝36に嵌め込んだリード5は、必ずし
も固定する必要はない。また、前記溝36を設けること
なく、折り返したリード5を本体部2の偏平面35側に
沿わせるようにするだけでも良い。
【0111】(実施形態3)図14は本発明の他の実施
形態(実施形態3)である半導体装置を示す図、図15
は本実施形態3の半導体装置の製造における本体部と重
畳部の相関を示す展開図である。
【0112】本実施形態3の半導体装置1は、本実施形
態2の半導体装置1において、本体部2の前面側に折り
返したリードをレジンパッケージからなる重畳部3dで
封止支持した構造となるものである。
【0113】本実施形態3では、本体部2と重畳部3d
との重ね合わせ精度を上げるため、図15に示すよう
に、本体部2の前面の偏平面35に位置決め用の突子3
7を2つ設けるとともに、重畳部3dの対応する面に、
前面および後面突子37に対応して凹部38を2つ設け
た構造となっている。
【0114】これによって、本体部2に重畳部3dを重
ね合わせる際、凹部38に突子37を押し込み嵌合させ
ることによって、本体部2に対して重畳部3dを高精度
に重ね合わせることができる。
【0115】図16乃至図18は本実施形態3の第1変
形例による半導体装置に係わる図であり、図16は半導
体装置を示す図、図17は半導体装置の製造において本
体部と重畳部が展開された状態を示す展開図、図18は
半導体装置における位置決め爪を示す説明図である。
【0116】本変形例の半導体装置1は、図14および
図15で示す本実施形態3の半導体装置1における本体
部2と重畳部3dの固定構造例を示すものである。本変
形例では、本体部2の両端側に、図18に示すような突
出した位置決め爪39を設けるとともに、重畳部3dの
対応する位置に前記位置決め爪39が通過できる位置決
め溝40を設けてなるものである。
【0117】本体部2に重畳部3dを重ね合わせる際、
前記位置決め爪39は位置決め溝40を通過して重畳部
3dの反対面の縁に弾力的に引っ掛かり、本体部2と重
畳部3dが一体化される。
【0118】本変形例の半導体装置1では、位置決め用
の位置決め爪39および位置決め溝40を設けること
で、本体部2と重畳部3dの重ね合わせ精度が高くなる
とともに、半導体装置本体6の固定も確実になる。
【0119】図19は本実施形態3の第2変形例による
半導体装置を示す図、図20は本実施形態3の第2変形
例による半導体装置の製造において本体部と重畳部の相
関を示す展開図である。
【0120】本変形例は本実施形態3の第1変形例と同
様に、半導体装置1における本体部2と重畳部3dの固
定構造に関するものである。本変形例では、図20に示
すように、重畳部3dの両側面からリードを幅広い状態
で一枚突出させて固定用リード41とする。そして、こ
の固定用リード41を、図19に示すように、本体部2
の両端部分に折り曲げて引っ掛ける。この場合、図20
に示すように、前記固定用リード41を受け入れる受け
溝42を本体部2に設けておいても良い。
【0121】(実施形態4)図21は本発明の他の実施
形態(実施形態4)である半導体装置を示す図、図22
は本実施形態4の半導体装置の製造において本体部と重
畳部が展開された状態を示す概念的平面図である。
【0122】本実施形態4の半導体装置1は、本体部2
内のタブ16(すなわち、リード5を形成する板材)を
そのまま本体部2の上下面から突出させて幅広い一枚と
し、放熱板45として使用したものである。すなわち、
リードやタブ16を構成する材料は前述のように、熱伝
導性の良好な金属板で形成されるため、放熱板として使
用できる。
【0123】そこで、本実施形態4では、本体部2の底
面から突出するリード部分を実装用放熱板46として使
用する。本実施形態4の半導体装置1においては、実装
用リードは表面実装型となっていることから,前記実装
用放熱板46も表面実装型構造となっている。本体部2
の上面から突出する放熱板45は、放熱のためにそのま
ま真っ直ぐ上方に延在している。
【0124】また、本実施形態1の半導体装置1では、
前記重畳部3b,3cは平行に延在する複数のリード5
の一面に張り付けた板で形成されている。重畳部3b,
3c,3dは、金属板,セラミック板,樹脂板からな
り、絶縁性の接着剤や接着テープを介してリード5に接
着されている。この重畳部3b,3c,3dは、リード
補強の役割を果たす。
【0125】本実施形態4の半導体装置1は、本体部2
から板状の放熱板45が外に向かって突出する構造とな
っていることから、本体部2内の半導体チップ17から
放出される熱の放散が可能となり、半導体装置1の安定
動作が達成できる。
【0126】また、本実施形態4の半導体装置1におい
ては、重畳部3b,3cは板体となり、トランスファモ
ールドによる封止体構造と比較して薄くなるため、半導
体装置本体6の厚さをさらに薄くでき、半導体装置1の
薄型化や実装面積の縮小化が達成できる。
【0127】(実施形態5)図23は本発明の他の実施
形態(実施形態5)である半導体装置を示す図、図24
は本実施形態5の半導体装置の製造において本体部と重
畳部が展開された状態を示す概念的平面図である。
【0128】本実施形態5の半導体装置1は、本体部2
から左右側方および上方に延在するリード5を、前記本
実施形態4の場合と同様に金属板,セラミック板,樹脂
板からなる重畳部3b,3c,3dで支持補強した構造
となっている。本体部2の各面から突出するリードは、
その面ごとのリードずつ各重畳部3b,3c,3dに絶
縁性の接着剤や接着テープで固定される。
【0129】また、前記重畳部3b,3c,3dの内、
本体部2の両側の重畳部3b,3cは、その上端が本体
部2の1縁(1辺)よりも外側に長く突出している。
【0130】本実施形態5の半導体装置1においては、
重畳部3b,3cが放熱板となっているため、リード5
を介して前記本体部2内の半導体チップ17から放出さ
れる熱の外部への放散が可能となり、半導体装置1の安
定動作が達成できる。
【0131】また、本実施形態5の半導体装置1は、重
畳部3b,3c,3dは板体となり、トランスファモー
ルドによる封止体構造と比較して薄くなるため、半導体
装置本体6の厚さをさらに薄くでき、半導体装置1の薄
型化や実装面積の縮小化が達成できる。
【0132】本実施形態5では、前記重畳部3b,3
c,3dの少なくとも1つは熱伝導性の良好な材質から
なる放熱板となっていれば良い。また、前記放熱板は、
放熱効果を保つためにも、放熱板の一端が本体部2の一
縁(1辺)より外側に突出している必要がある。
【0133】(実施形態6)図25は本発明の他の実施
形態(実施形態6)である半導体装置を示す図であり、
図25(a)は半導体装置1の正面図、図25(a)は
左側面図である。
【0134】本実施形態6の半導体装置1は、実装用リ
ード5a,5b,5c,5dが表面実装型となる半導体
装置1において、前記重畳部3dの偏平面に、実装基板
に挿入される固定ピン50を有する補強板51が固定さ
れている。前記固定ピン50は両側に2本設けられてい
る。
【0135】本実施形態6の半導体装置1は、重畳部3
dの偏平面には実装基板に固定される固定ピン50を有
する補強板51が固定されていることから、半導体装置
の実装の機械的強度が高くなる。すなわち、固定ピン5
0を実装基板に挿入固定することによって、高さのある
表面実装型半導体装置の実装時の倒れや位置ずれを防止
することができ、実装の作業性が向上する。
【0136】本実施形態6では、固定ピン50を有する
補強板51は重畳部が少ない場合は、本体部2に直接設
けても良い。
【0137】(実施形態7)図26は本発明の他の実施
形態(実施形態7)である半導体装置の製造において本
体部とリード補強部が展開された状態を示す概念的平面
図である。
【0138】本実施形態7の半導体装置1は、リードフ
レームの代わりにフレキシブル配線基板52を使用した
もので、本体部リードパターン22部分に矩形枠からな
る樹脂流れ止め枠53を使用してポッティングで樹脂封
止して本体部2を形成する。
【0139】また、重畳部リードパターン23b,23
c,23d部分では、リード5およびフレキシブル配線
基板52に補強板としての重畳部3b,3c,3dを張
り付ける。
【0140】本実施形態7の場合も、重畳部3b,3
c,3dを本体部2に直接的または間接的に重ねて固定
して、半導体装置1を製造する。
【0141】本実施形態7の半導体装置1は、フレキシ
ブル配線基板52を使うことで配線数を増やせる。ま
た、フレキシブル配線基板52を使うことでリード部分
(連結用リード)の折り返しが容易となり、組立の作業
性が向上する。
【0142】本実施形態7において、半導体チップ(I
Cチップ)17の搭載方法として、図のように半導体チ
ップ17をフレキシブル配線基板52に直付けで搭載
し、ワイヤボンディングで配線接続する場合、一度他の
配線基板に取り付けてワイヤボンディングし、フレキシ
ブル配線基板52を再度ボンディングして取り付ける場
合、バンプを付けた配線を半導体チップ17の電極パッ
ド部にギャングボンディングで一括して取り付ける方法
等が考えられる。フレキシブル基板は折り返し部(4
b,4c,4d)のみフレキシブルで他部は通常の基板
でできたものでもよい。
【0143】また、実装基板に実装するリード先端部
は、金属ピンをフレキシブル配線基板52に取り付けた
ものとしてもよい。
【0144】(実施形態8)図27は本発明の他の実施
形態(実施形態8)である半導体装置の製造において本
体部と重畳部が展開された状態を示す概念的平面図であ
る。
【0145】本実施形態8の半導体装置1は、半導体チ
ップ等電子部品を本体部以外の重畳部に組み込む例であ
る。また、この場合、半導体装置1を製造するためにリ
ードフレームを使用してもよいが、この例の場合は本実
施形態7の場合同様にフレキシブル配線基板を使用した
ものである。
【0146】本実施形態8の半導体装置1の構造につい
て、その製造を説明することによって説明する。
【0147】本実施形態8の半導体装置1は、図27に
示すように、その製造において、フレキシブル配線基板
60が用意される。このフレキシブル配線基板60は、
本体部2と3つの重畳部3b,3c,3dを形成する部
分および連結用リード4b,4c,4dを配置する部分
を有する。
【0148】そして、前記本体部2および重畳部3b,
3c,3dを形成する部分には、前記本実施形態7の場
合と同様に、樹脂流れ止め枠53が設けられている。
【0149】本体部2の形成部分では、半導体チップ1
7はフレキシブル配線基板60に直に取り付けられる。
【0150】重畳部3b,3c,3dの形成部分では、
樹脂流れ止め枠53の内側にマルチチップモジュール板
61が取り付けらる。そして、このマルチチップモジュ
ール板61に半導体チップ17やチップコンデンサやチ
ップ抵抗等からなるチップ型電子部品62が固定され
る。
【0151】マルチチップモジュール板61の配線(パ
ッド)と、半導体チップ17の電極はワイヤ18で接続
される。また、マルチチップモジュール板61の配線
(パッド)と、所定のリード5(実装用リード5b,5
c,5dや連結用リード4b,4c,4d)の先端はワ
イヤ18で接続される。
【0152】四か所の樹脂流れ止め枠53内には、樹脂
が封止されて、本体部2,重畳部3b,3c,3dが形
成される。四か所の樹脂流れ止め枠53内には、たとえ
ば、ポッティングによって樹脂が流し込まれる。
【0153】図27に示すフレキシブル配線基板60
は、図示はしてないが、本体部2に対して直接的または
間接的に重畳部3b,3c,3dを重ねて、半導体装置
を製造する。
【0154】これによって、マルチチップ構造の半導体
装置(マルチチップモジュールが製造されることにな
る。
【0155】本実施形態8の半導体装置の場合、前記半
導体チップ17の電極の接続手段としては、半導体チッ
プ17にバンプを形成しておき、一括して半導体チップ
17を配線(パッド)に固定するようにしても良い。
【0156】また、完成品のICパッケージをフレキシ
ブル配線基板60に半田付けや導電性接着剤を使用して
搭載することも可能である。フレキシブル基板は折り返
し部(4b,4c,4d)のみフレキシブルで他部は通
常の基板でもよい。
【0157】また、基板に実装するリード先端部は金属
ピンをフレキシブル配線基板に取り付けたものも考えら
れる。
【0158】本実施形態8の半導体装置は、本体部2以
外の重畳部3b,3c,3dに半導体チップ17やチッ
プ型電子部品61を搭載することから、集積度は格段に
高くなり、半導体装置の実装面積の縮小化が達成でき
る。
【0159】また、本実施形態8の半導体装置1は、フ
レキシブル配線基板60を使うことで配線数を増やせ
る。また、フレキシブル配線基板60を使うことで、リ
ード部分の折り返しが容易となり、組立の作業性が良好
となる。
【0160】本実施形態8の半導体装置は、本体部2の
底面から突出したリードはそのまま実装用リード5aと
して使用されるとともに、本体部2の底面および偏平面
を除く他の面から突出したリードも折り返されて前記本
体部2の底面側に延在させられて実装用リード5b,5
c,5dとして使用される構造となっていることから、
リード数が多くても本体部の小型化が図れる。また、実
装面積の縮小化が図れる。
【0161】本実施形態8では、一部の重畳部には電子
部品を組み込まない構造としても良い。この場合、半導
体チップ等の電子部品を組み込まない重畳部において
は、前記本体部から重畳部に延在するリードは重畳部で
そのまま延在して重畳部の下方に突出するリード(実装
用リード)に連なる構造とする。
【0162】(実施形態9)図28は本発明の他の実施
形態(実施形態9)である半導体装置の製造において本
体部と重畳部が展開された状態を示す平面図である。
【0163】本実施形態9の半導体装置は、図28に示
すように、本体部2に対して、4つの重畳部3b,3
c,3d,3eを有するものであり、本体部2に対して
直接的または間接的に重畳部3b,3c,3d,3eを
重ねることによって半導体装置が製造できる。本体部2
や重畳部3d,3eの形状は、重ね具合によって適宜選
択すれば良い。
【0164】本実施形態9の半導体装置1では、たとえ
ば、本体部2以外の全ての重畳部3b,3c,3d,3
eに半導体チップやチップ型電子部品等を組み込むよう
にすることでさらに高集積化が可能となり、実装面積の
縮小化が達成できることになる。
【0165】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0166】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
【0167】(1)半導体装置は、従来のQFPパッケ
ージのように、矩形パッケージとなる本体部2の4辺か
らそれぞれリードを突出させる構造を採用していること
から、多リード化が達成できる。
【0168】(2)半導体装置は、本体部の3辺から突
出したリードを折り返しかつ屈曲させて本体部の偏平面
に沿って延在させて実装用リードとして使用するため、
従来の縦実装型半導体装置構成とすることができ、小型
化および実装面積の縮小化が達成できる。
【0169】(3)前記(1)および(3)により、小
型,多リードでかつ実装面積の縮小化が図れる半導体装
置を提供することができる。
【0170】(4)半導体装置は、本体部とこの本体部
に重ねられる複数の重畳部を有するが、前記重畳部にも
半導体チップ等電子部品を組み込むことによって、一層
の高集積化が達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態(実施形態1)である半導
体装置と実装基板を示す斜視図である。
【図2】本実施形態1の半導体装置の実装状態を示す斜
視図である。
【図3】本実施形態1の半導体装置の外観を示す図であ
る。
【図4】本実施形態1の半導体装置のリード例を示す説
明図である。
【図5】本実施形態1の半導体装置の製造における本体
部と重畳部との相関を示す概念的な展開図である。
【図6】本実施形態1の半導体装置の製造における本体
部と重畳部との相関を示す展開図である。
【図7】本実施形態1の半導体装置の製造の各工程を示
す平面図である。
【図8】本実施形態1の半導体装置の製造の各工程を示
す平面図である。
【図9】本実施形態1の第1変形例による半導体装置の
側面図である。
【図10】本実施形態1の第2変形例による半導体装置
を示す図である。
【図11】本実施形態1の第3変形例による半導体装置
を示す図である。
【図12】本発明の他の実施形態(実施形態2)である
半導体装置を示す図である。
【図13】本実施形態2の半導体装置の製造における本
体部とリードとの相関を示す平面図である。
【図14】本発明の他の実施形態(実施形態3)である
半導体装置を示す図である。
【図15】本実施形態3の半導体装置の製造における本
体部と重畳部の相関を示す展開図である。
【図16】本実施形態3の第1変形例による半導体装置
を示す図である。
【図17】本実施形態3の第1変形例による半導体装置
の製造における本体部と重畳部の相関を示す展開図であ
る。
【図18】本実施形態3の第1変形例による半導体装置
における位置決め爪を示す説明図である。
【図19】本実施形態3の第2変形例による半導体装置
を示す図である。
【図20】本実施形態3の第2変形例による半導体装置
の製造において本体部と重畳部の相関を示す展開図であ
る。
【図21】本発明の他の実施形態(実施形態4)である
半導体装置を示す図である。
【図22】本実施形態4の半導体装置の製造において本
体部と重畳部が展開された状態を示す概念的平面図であ
る。
【図23】本発明の他の実施形態(実施形態5)である
半導体装置を示す図である。
【図24】本実施形態5の半導体装置の製造において本
体部と重畳部が展開された状態を示す概念的平面図であ
る。
【図25】本発明の他の実施形態(実施形態6)である
半導体装置を示す図である。
【図26】本発明の他の実施形態(実施形態7)である
半導体装置の製造において本体部とリード補強部が展開
された状態を示す概念的平面図である。
【図27】本発明の他の実施形態(実施形態8)である
半導体装置の製造において本体部と重畳部が展開された
状態を示す概念的平面図である。
【図28】本発明の他の実施形態(実施形態9)である
半導体装置の製造において本体部と重畳部が展開された
状態を示す平面図である。
【符号の説明】
1…半導体装置、2…本体部、3b,3c,3d,3e
…重畳部、4b,4c,4d,4e…リード(連結用リ
ード)、5a,5b,5c,5d,5e…リード(実装
用リード)、6…半導体装置本体、7…実装基板、9…
挿入孔、15…タブ吊りリード、16…タブ、17…半
導体チップ、18…ワイヤ、20…リードフレーム、2
1…矩形枠板、22…本体部リードパターン、23b,
23c,23d…重畳部リードパターン、24a,24
b,24c,24d…ダム、25…封止体、26…接着
剤、30…リード挿入型リード、31…表面実装型リー
ド、35…偏平面、36…溝、37…突子、38…凹
部、39…位置決め爪、40…位置決め溝、41…固定
用リード、42…受け溝、45…放熱板、46…実装用
放熱板、50…固定ピン、51…補強板、52…フレキ
シブル配線基板、53…樹脂流れ止め枠、60…フレキ
シブル配線基板、61…マルチチップモジュール板、6
2…チップ型電子部品。

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 上下に亘って偏平となる本体部と、前記
    本体部の底面から突出する複数のリードと、前記本体部
    内に組み込まれる少なくとも一つの半導体チップと、前
    記半導体チップの電極と前記本体部内のリードの先端を
    電気的に接続する接続手段とを有する半導体装置であっ
    て、前記リードの一部は前記本体部の底面および偏平面
    以外の少なくとも一面から本体部外に突出するとともに
    折り返されて前記本体部の偏平面に沿って延在し、先端
    は前記本体部底面から突出するリードと並んで配列され
    ていることを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 上下に亘って偏平となる本体部と、前記
    本体部の偏平面に直接的または間接的に固定される複数
    の重畳部と、前記本体部の内部から各重畳部に亘って配
    設される複数のリードと、前記本体部の底面から突出す
    るリードと、前記重畳部に絶縁的に支持されかつ重畳部
    の下方から突出する複数のリードと、前記本体部内に封
    止された少なくとも一つの半導体チップと、前記半導体
    チップの電極と前記本体部内のリードの先端を電気的に
    接続する接続手段とからなり、前記本体部から重畳部に
    延在するリードは重畳部でそのまま延在して重畳部の下
    方に突出するリードに連なっていることを特徴とする半
    導体装置。
  3. 【請求項3】 前記本体部および前記重畳部ならびに前
    記本体部と重畳部との間のリードは1枚のフレキシブル
    配線基板に固定されていることを特徴とする請求項2記
    載の半導体装置。
  4. 【請求項4】 上下に亘って偏平となる本体部と、前記
    本体部の偏平面に直接的または間接的に固定される複数
    の重畳部と、前記本体部の内部から各重畳部に亘って配
    設される複数のリードと、前記本体部の底面から突出す
    るリードと、前記重畳部に絶縁的に支持されかつ重畳部
    の下方から突出する複数のリードと、前記本体部内に封
    止された少なくとも一つの半導体チップと、前記半導体
    チップの電極と前記本体部内のリードの先端を電気的に
    接続する接続手段とからなり、前記重畳部のうちの少な
    くとも一部の重畳部では少なくとも1つの半導体チップ
    が組み込まれ、重畳部に延在するリード先端と前記半導
    体チップの電極は電気的接続手段によって接続され、半
    導体チップ等電子部品が組み込まれない重畳部では前記
    本体部から重畳部に延在するリードは重畳部でそのまま
    延在して重畳部の下方に突出するリードに連なっている
    ことを特徴とする半導体装置。
  5. 【請求項5】 前記本体部および重畳部ならびに前記本
    体部と重畳部との間のリード等は1枚のフレキシブル配
    線基板に固定されていることを特徴とする請求項4記載
    の半導体装置。
  6. 【請求項6】 前記本体部の下面から熱伝導性の良好な
    材質からなる板状の放熱板を突出させ、かつ少なくとも
    前記放熱板の一部は前記本体部の他の面から本体部外に
    突出させていることを特徴とする請求項2または請求項
    4記載の半導体装置。
  7. 【請求項7】 前記重畳部の少なくとも1つは熱伝導性
    の良好な材質からなる放熱板となり、少なくとも一端は
    本体部の一縁より外側に突出していることを特徴とする
    請求項2または請求項4記載の半導体装置。
  8. 【請求項8】 前記本体部または重畳部の偏平面には実
    装基板に挿入固定される固定ピンを有する補強板が固定
    されていることを特徴とする請求項2または請求項4記
    載の半導体装置。
  9. 【請求項9】 前記本体部および重畳部の下方に突出す
    るリードは一部がリード挿入型構造となり、他部が表面
    実装型構造となっていることを特徴とする請求項1乃至
    請求項8のいずれか1項記載の半導体装置。
  10. 【請求項10】 上下に亘って偏平となる本体部と、前
    記本体部の偏平面に直接的または間接的に固定される複
    数の重畳部と、前記本体部の内部から各重畳部に亘って
    配設される複数のリードと、前記本体部の底面から突出
    するリードと、前記重畳部に絶縁的に支持されかつ重畳
    部の下方から突出する複数のリードと、前記本体部内に
    封止された少なくとも一つの半導体チップと、前記半導
    体チップの電極と前記本体部内のリードの先端を電気的
    に接続する接続手段とからなり、前記本体部から重畳部
    に延在するリードは重畳部でそのまま延在して重畳部の
    下方に突出するリードに連なる半導体装置の製造方法で
    あって、前記本体部部分を形成するリードパターンおよ
    び前記重畳部部分を形成するリードパターンならびに前
    記本体部と重畳部との間のリードパターンを有するリー
    ドフレームを用意する工程と、前記本体部および重畳部
    を形成する工程と、不要リードフレーム部分を切断除去
    する工程と、前記本体部と重畳部との間のリード部分で
    折り返し、各重畳部を本体部に直接的または間接的に重
    ねることを特徴とする半導体装置の製造方法。
  11. 【請求項11】 上下に亘って偏平となる本体部と、前
    記本体部の偏平面に直接的または間接的に固定される複
    数の重畳部と、前記本体部の内部から各重畳部に亘って
    配設される複数のリードと、前記本体部の底面から突出
    するリードと、前記重畳部に絶縁的に支持されかつ重畳
    部の下方から突出する複数のリードと、前記本体部内に
    封止された少なくとも一つの半導体チップと、前記半導
    体チップの電極と前記本体部内のリードの先端を電気的
    に接続する接続手段とからなり、前記重畳部のうちの少
    なくとも一部の重畳部では少なくとも1つの半導体チッ
    プが組み込まれ、重畳部に延在するリード先端と前記半
    導体チップの電極は電気的接続手段によって接続され、
    半導体チップ等電子部品が組み込まれない重畳部では前
    記本体部から重畳部に延在するリードは重畳部でそのま
    ま延在して重畳部の下方に突出するリードに連なる半導
    体装置の製造方法であって、前記本体部部分を形成する
    リードパターンおよび前記重畳部部分を形成するリード
    パターンならびに前記本体部と重畳部との間のリードパ
    ターンを有するリードフレームを用意する工程と、前記
    本体部および重畳部を形成する工程と、不要リードフレ
    ーム部分を切断除去する工程と、前記本体部と重畳部と
    の間のリード部分で折り返し、各重畳部を本体部に直接
    的または間接的に重ねることを特徴とする半導体装置の
    製造方法。
  12. 【請求項12】 上下に亘って偏平となる本体部と、前
    記本体部の偏平面に直接的または間接的に固定される複
    数の重畳部と、前記本体部の内部から各重畳部に亘って
    配設される複数のリードと、前記本体部の底面から突出
    するリードと、前記重畳部に絶縁的に支持されかつ重畳
    部の下方から突出する複数のリードと、前記本体部内に
    封止された少なくとも一つの半導体チップと、前記半導
    体チップの電極と前記本体部内のリードの先端を電気的
    に接続する接続手段とからなり、前記重畳部のうちの少
    なくとも一部の重畳部では少なくとも1つの半導体チッ
    プが組み込まれ、重畳部に延在するリード先端と前記半
    導体チップの電極は電気的接続手段によって接続され、
    半導体チップ等電子部品が組み込まれない重畳部では前
    記本体部から重畳部に延在するリードは重畳部でそのま
    ま延在して重畳部の下方に突出するリードに連なり、前
    記本体部および重畳部ならびに前記本体部と重畳部との
    間のリードは1枚のフレキシブル配線基板に支持されて
    なる半導体装置の製造方法であって、前記本体部部分を
    形成するリードパターンおよび前記重畳部部分を形成す
    るリードパターンならびに前記本体部と重畳部との間の
    リードパターンを有するフレキシブル配線基板を用意す
    る工程と、前記本体部および重畳部を形成する工程と、
    不要フレキシブル配線基板部分を切断除去する工程と、
    前記本体部と重畳部との間のフレキシブル配線基板部分
    で折り返し、各重畳部を本体部に直接的または間接的に
    重ねることを特徴とする半導体装置の製造方法。
  13. 【請求項13】 実装基板と、前記実装基板に実装され
    る半導体装置とを有する電子装置であって、前記半導体
    装置は上下に亘って偏平となる本体部と、前記本体部の
    底面から突出する複数のリードと、前記本体部内に組み
    込まれる少なくとも一つの半導体チップと、前記半導体
    チップの電極と前記本体部内のリードの先端を電気的に
    接続する接続手段とを有し、前記リードの一部は前記本
    体部の底面および偏平面以外の少なくとも一面から本体
    部外に突出するとともに折り返されて前記本体部の偏平
    面に沿って延在し、先端は前記本体部底面から突出する
    リードと並んで配列されていることを特徴とする電子装
    置。
  14. 【請求項14】 前記本体部の偏平面に沿って延在する
    リード部分は前記本体部に直接的または間接的に重なり
    かつ固定される重畳部で支持されていることを特徴とす
    る請求項13記載の電子装置。
  15. 【請求項15】 前記重畳部の少なくとも1つには、半
    導体チップが組み込まれ、所定のリードと前記半導体チ
    ップの電極は接続手段によって接続されていることを特
    徴とする請求項14記載の電子装置。
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