JPH1040584A - 光ディスク等のディスク体の製造方法 - Google Patents

光ディスク等のディスク体の製造方法

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JPH1040584A
JPH1040584A JP19172696A JP19172696A JPH1040584A JP H1040584 A JPH1040584 A JP H1040584A JP 19172696 A JP19172696 A JP 19172696A JP 19172696 A JP19172696 A JP 19172696A JP H1040584 A JPH1040584 A JP H1040584A
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disk
substrate
thin film
forming
disk substrate
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Mikio Takebayashi
幹男 竹林
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 膜剥がれによる不良発生を抑えることができ
る光ディスクの製造方法の提供。 【解決手段】 外径が光ディスクより大きいディスク基
板1を型成形した後、所要の薄膜2〜5の形成を順次行
い、その後不要部を除去して光ディスク形状に加工す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は情報記録、AV記録
等に用いられる光ディスクの製造方法に主として適用さ
れるものである。
【0002】
【従来の技術】従来の光ディスクの製造工程の一部を図
6に示す。図6の各図において、51はディスク基板、
52は第1の誘電体層(以下第1層と記す)、53は記
録層(以下第2層と記す)、54は第2の誘電体層(以
下第3層と記す)、55は反射層(以下第4層と記
す)、56は外周押さえ、57は内周押さえ、58は基
板台である。
【0003】図6に示すとおり、(a)に示す射出成形
されたディスク基板51を、(b)に示すように、基板
台58上に装着し、外周押さえ56と内周押さえ57に
よって固定し、薄膜を形成する。すなわち、第1層5
2、第2層53、第3層54、第4層55を順次連続し
て形成する。この時、(c)に示すように、薄膜は、基
板51の表面上では外周押さえ56、内周押さえ57に
よりマスクされていない部分に形成され、(d)に示す
ように、基板51を基板台58から取り外した後、外周
押さえ56、内周押さえ57を除き、その後、張り合わ
せ、あるいはオーバーコート層形成を経て光ディスクと
して完成する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の方法で
は、図6の(c)に示すように、外周押さえ56、内周
押さえ57の面上にも膜52〜55が形成され、しかも
光ディスクを製造するごとに、外周押さえ56、内周押
さえ57上の膜厚は大きくなる。膜厚が大きくなるとそ
れ自体の内部応力や、内外周押さえ57、56の着脱時
のショック等で膜剥がれを起こしやすく、剥がれた膜の
ダストがディスク基板51に付着すると、ディスク基板
51が不良品となる。また、成膜前後にディスク基板5
1に内外周押さえ57、56を着脱するための手段が必
要となるため、製造装置が複雑で高価となり、光ディス
クのコストアップにつながる。
【0005】一方、光ディスクは益々高歩留り、低コス
トが要求されつつある。
【0006】本発明はコスト低減可能な光ディスク等の
ディスク体の製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本願第1発明は、ディスク基板に薄膜形成を行い光
ディスク等のディスク体を製造する方法において、型成
形によりディスク体より外径の大きなディスク基板を形
成し、次いでこのディスク基板に薄膜を形成した後、薄
膜が形成されたディスク基板の外縁部分を除去してディ
スク体を得ることを特徴とするものである。
【0008】これにより、外周押さえ等のディスク体以
外の部材からの膜剥がれを無くすことができ、また光デ
ィスク等のディスク体になる部分以外を移載時の掴みし
ろにすることができる。また、ディスク基板の外周押さ
えを脱着する構造も必要なくなり、薄膜形成装置の構造
を簡単化することができる。
【0009】上記目的を達成するため、本願第2発明
は、ディスク基板に薄膜形成を行い光ディスク等のディ
スク体を製造する方法において、型成形により中心孔の
ないディスク基板を形成し、次いでこのディスク基板に
薄膜を形成した後、薄膜が形成されたディスク基板の中
心部分を除去してディスク体を得ることを特徴とするも
のである。
【0010】これにより、薄膜形成の際の基板の内周押
さえを無くすことができ、従ってそこから発生する膜剥
がれによる基板の不良発生をなくすことができ、また内
周押さえを脱着する構造も必要無くなる。
【0011】上記目的を達成するため、本願第3発明
は、ディスク基板に薄膜形成を行い光ディスク等のディ
スク体を製造する方法において、型成形によりディスク
体より外径が大で中心孔のないディスク基板を形成し、
次いでこのディスク基板に薄膜を形成した後、薄膜が形
成されたディスク基板の外縁部分及び中心部分を除去し
てディスク体を得ることを特徴とするものである。
【0012】これにより、第1発明及び第2発明の作用
を併せ有することになる。
【0013】本願第2発明又は第3発明において、型成
形時に型成形時に、ディスク基板の薄膜を形成する面と
反対側の面の中心部分に掴みしろ用の突部を一体形成す
ることを特徴とするように構成すれば、掴みしろ用の突
部をもってディスク基板を移載でき、基板台を一緒に移
載する必要が無くなる。またディスク基板の端部もしく
は薄膜形成する面に触れずに前記移載を行うことができ
る。さらに基板台に対する脱着構造を必要としない。
【0014】上記各発明において、型成形時に、ディス
ク基板の薄膜を形成する面と反対側の面に円周溝を形成
し、不要部除去時に前記円周溝を利用してプレス打ち抜
きにより薄膜が形成されたディスク基板の不要部を除去
することを特徴とするように構成すれば、上記各作用を
有しながら、光ディスク等のディスク体の形成を円滑に
行うことができる。
【0015】さらに上記各発明において、ディスク基板
に誘電体膜及び金属膜が積層状に形成されるものであっ
て、誘電体膜をディスク基板の一面のほぼ全体にわたっ
て形成し、金属膜をディスク体に要求される範囲にのみ
形成することを特徴とするように構成すれば、金属膜を
誘電体膜等によって被覆保護することが容易となる。
【0016】しかも金属膜を所定形状に形成するための
マスクを用いた際にこのマスクに金属膜が堆積される
が、金属膜は膜厚が大きくなっても剥がれにくいため、
膜剥がれによる不都合がほとんど生じない。
【0017】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施形態について図
1〜図5を参照しながら説明する。
【0018】図1は本発明の光ディスク製造方法による
製造工程(a)〜(e)を示す。
【0019】先ず図1の(a)に示すように、ディスク
基板1を射出成形等の型成形によって形成する。ディス
ク基板1は、完成時の光ディスクの全面を含み、その直
径D1に対し相当大きい直径D2を有すると共に中心孔
のない円板に形成されている。基板の裏面、即ち薄膜を
形成する面と反対側の面には、薄膜形成後、プレス打ち
抜きで光ディスクの形状に加工する際の打ち抜きが容易
にできるように、光ディスクの外径に相当する位置及び
中心孔の径に相当する位置に、それぞれ直径D1、dの
外周溝(円周溝)6A及び内周溝(円周溝)6Bを、基
板1の中心の回りに同心円上に形成している。これら内
外周溝6B、6Aを有することにより、ディスク基板1
の外縁(つば)部分1A、中心部分1Bをプレス打ち抜
きで容易に除去することができる。内外周溝6B、6A
の断面は、外周溝6Aの内周側及び円周溝6Bの外周側
がそれぞれ基板面に垂直であるように形成することが好
ましい。またディスク基板1の裏面の中心部には、ディ
スク基板1を移載する際の掴みしろ(つまみ部)7が成
形時に設けられる。掴みしろ7は、例えば基板面に垂直
な円柱部で構成される。
【0020】次に薄膜形成装置により、図1の(b)の
ように、ディスク基板1の表面上全体に誘電体よりなる
第1層(誘電体層)2を薄膜形成する。図2に第1層2
を薄膜形成するディスク基板1の状態を示す。ディスク
基板1の裏面に設けた掴みしろ7を基板掴み9で掴み保
持して、薄膜形成室側に基板1の表面を向けて、基板台
10上に固定する。基板台10は、例えば光ディスク相
当部分と同じ大きさの円板に、中心部を開口しフランジ
部10Aを設けて構成され、フランジ部10Aを通して
掴みしろ7を基板掴み9で把持できるように構成されて
いる。
【0021】ディスク基板1は、上記のように固定さ
れ、かつ薄膜形成室側の部材である基板押さえ18と突
き合わせた状態で成膜される。基板押さえ18は、基板
1の外縁部分1Aの外端部付近を押圧しており、基板1
の外周溝6Aからは十分外側に離れた状態でディスク基
板1を保持している。なお、ディスク基板1がそらない
場合には、基板押さえ18は必ずしも必要ではない。
【0022】第1層2は、膜厚が大きくなった時に膜剥
がれを起こしやすい性質を有しているが、ディスク基板
1の形状が穴のない形状であるため及び、外径が光ディ
スクより大きい形状であり、ディスク基板1のなかで薄
膜形成され光ディスクになる部分の近くには、従来の外
周押さえ56、内周押さえ57のような膜が繰り返し形
成される部材が存在しないので、これらの部材からの膜
剥がれにより基板の不良を引き起こすおそれはない。
【0023】次に、図1の(c)のように、金属膜であ
る第2層(記録層)3を成膜する。
【0024】図3に第2層3を薄膜形成するディスク基
板1の状態を示す。図2と異なる点は、反応室に固定さ
れた固定内周押さえ(マスク)17と固定外周押さえ
(マスク)16に対してディスク基板1を圧接させて固
定している点である。これにより、固定内周押さえ17
と固定外周押さえ16により、第2層3は丁度光ディス
クの形状に相当する部分にのみドーナツ状に形成され
る。
【0025】第2層3は金属膜であって膜厚が大きくな
っても剥がれにくいため、これらの部材16、17から
の膜剥がれは起こらない。また、固定外周押さえ16と
固定内周押さえ17とは、ディスク基板1の上面に突き
合わせているのみであるので、これらをディスク基板1
から外す際のショックは殆ど無く、膜剥がれが生じない
ことになる。
【0026】なお、金属膜は腐食されやすいため、オー
バーコート層や接触層に保護される必要があり、固定内
周押さえ17、固定外周押さえ16でカバーされていな
い場所にのみ成膜する必要がある。従って図2に示す第
1層2の成膜状態とは異なる状態で成膜を行う。
【0027】次に誘電体膜である第3層(誘電体層)
4、金属膜である第4層(反射層)5を、図1の(d)
に示すように順次成膜するが、第3層4は第1層2と同
じ方法、第4層5は第2層3と同じ方法により、それぞ
れ成膜を行う。
【0028】以上、薄膜形成を終えたディスク基板1
を、外周溝6A及び内周溝6Bに沿ってプレス打ち抜き
し、前記外縁部分1A及び中心部分1Bを除去すること
によって、図1の(e)に示すような光ディスク11を
得る。なお、薄膜層が4層でない場合でも、金属膜につ
いては図3の方法で、金属膜以外で膜剥がれの起こりや
すい膜については図2の方法で各々成膜すればよい。
【0029】その後は、張り合わせタイプであれば図4
に示すように、接着層22を介して2枚の基板を張り合
わせたり、単板ディスクであれば図5に示すように、オ
ーバーコート層23を形成したりして光ディスクを完成
させる。このとき第1層2、第3層4(それぞれ誘電体
層)はディスク端部付近で大気に触れるが、腐食し易い
金属層である第2層(記録層)3、第4層(反射層)5
は、図4における接着層22もしくは図5におけるオー
バーコート層23によりシールされ、大気から保護され
る構造となっている。
【0030】以上のように、本発明によれば、不良品が
少なくコストの安い光ディスクを製造する方法を実現す
ることができる。
【0031】なお、以上の説明では、光ディスクの製造
方法について述べたが、ディスク基板に薄膜を形成して
所定の機能を有する類似のディスク体を形成する製造方
法についても、本発明を適用することができる。
【0032】
【発明の効果】本発明によれば、光ディスク等の薄膜を
有するディスク体を、簡単な構造の装置で、膜剥がれに
よる不良発生を抑え、殆ど不良品無く高い歩留りで製造
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態による光ディスクの製造方
法を示す図。
【図2】膜剥がれを生じ易い膜を成膜する際のディスク
基板の状態を示す図。
【図3】金属膜を成膜する際のディスク基板の状態を示
す図。
【図4】張り合わせタイプの光ディスクの断面構成を示
す図。
【図5】単板タイプの光ディスクの断面構成を示す図。
【図6】従来の光ディスクの製造方法を示す図。
【符号の説明】
1 ディスク基板 1A 外縁部分 1B 中心部分 2 第1層(誘電体膜) 3 第2層(金属膜) 4 第3層(誘電体膜) 5 第4層(金属膜) 6A、6B 円周溝 7 掴みしろ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ディスク基板に薄膜形成を行い光ディス
    ク等のディスク体を製造する方法において、型成形によ
    りディスク体より外径の大きなディスク基板を形成し、
    次いでこのディスク基板に薄膜を形成した後、薄膜が形
    成されたディスク基板の外縁部分を除去してディスク体
    を得ることを特徴とする光ディスク等のディスク体の製
    造方法。
  2. 【請求項2】 ディスク基板に薄膜形成を行い光ディス
    ク等のディスク体を製造する方法において、型成形によ
    り中心孔のないディスク基板を形成し、次いでこのディ
    スク基板に薄膜を形成した後、薄膜が形成されたディス
    ク基板の中心部分を除去してディスク体を得ることを特
    徴とする光ディスク等のディスク体の製造方法。
  3. 【請求項3】 ディスク基板に薄膜形成を行い光ディス
    ク等のディスク体を製造する方法において、型成形によ
    りディスク体より外径が大で中心孔のないディスク基板
    を形成し、次いでこのディスク基板に薄膜を形成した
    後、薄膜が形成されたディスク基板の外縁部分及び中心
    部分を除去してディスク体を得ることを特徴とする光デ
    ィスク等のディスク体の製造方法。
  4. 【請求項4】 型成形時に、ディスク基板の薄膜を形成
    する面と反対側の面の中心部分に掴みしろ用の突部を一
    体形成することを特徴とする請求項2又は3記載の光デ
    ィスク等のディスク体の製造方法。
  5. 【請求項5】 型成形時に、ディスク基板の薄膜を形成
    する面と反対側の面に円周溝を形成し、不要部除去時に
    前記円周溝を利用してプレス打ち抜きにより薄膜が形成
    されたディスク基板の不要部を除去することを特徴とす
    る請求項1〜4のいずれかに記載の光ディスク等のディ
    スク体の製造方法。
  6. 【請求項6】 ディスク基板に誘電体膜及び金属膜が積
    層状に形成されるものであって、誘電体膜をディスク基
    板の一面のほぼ全体にわたって形成し、金属膜をディス
    ク体に要求される範囲にのみ形成することを特徴とする
    請求項1〜5のいずれかに記載の光ディスク等のディス
    ク体の製造方法。
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