JPH0729218A - 光ディスク用マスク - Google Patents
光ディスク用マスクInfo
- Publication number
- JPH0729218A JPH0729218A JP17503193A JP17503193A JPH0729218A JP H0729218 A JPH0729218 A JP H0729218A JP 17503193 A JP17503193 A JP 17503193A JP 17503193 A JP17503193 A JP 17503193A JP H0729218 A JPH0729218 A JP H0729218A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- substrate
- chucking
- chuck
- optical disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ディスクの製造工程を簡素化し、容易に基
板ハンドリングやマスクセットを行う。 【構成】 内マスク６を通して真空チャッキングをす
る。該内マスク６には穴が開けられ、該穴を通して基板
１をチャキングするための真空チャックが基板搬送時に
は取付られる。また内マスク６は、基板チャック２をリ
ークした場合、内マスク６を落さないために真空チャッ
ク、又はメカチャックにてチャッキングされる。内マス
ク６を中心に、マスクチャック３により真空マスクチャ
ックを行い、その周方向に数箇所空いた穴から基板チャ
ック２により基板１をチャックする。
板ハンドリングやマスクセットを行う。 【構成】 内マスク６を通して真空チャッキングをす
る。該内マスク６には穴が開けられ、該穴を通して基板
１をチャキングするための真空チャックが基板搬送時に
は取付られる。また内マスク６は、基板チャック２をリ
ークした場合、内マスク６を落さないために真空チャッ
ク、又はメカチャックにてチャッキングされる。内マス
ク６を中心に、マスクチャック３により真空マスクチャ
ックを行い、その周方向に数箇所空いた穴から基板チャ
ック２により基板１をチャックする。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、光ディスク用マスクに関し、よ
り詳細には、基板の取り扱いを容易にし基板の交換を簡
素化するようにした光ディスク用マスクに関する。
り詳細には、基板の取り扱いを容易にし基板の交換を簡
素化するようにした光ディスク用マスクに関する。
【０００２】
【従来技術】図６〜図９は、従来の光ディスク用マスク
の構成図で、図中、１１はディスク、１２は外マスク、
１３はスパッタ面、１４は内マスク、１５は裏板、１６
はマグネット、１７はプッシャー、１８は成膜面、１９
はアーム、２０は吸着口である。内マスク１４と外マス
ク１２によってマスキングされている部分以外が成膜面
で、記録層や反射層、保護層などが成膜されている。
の構成図で、図中、１１はディスク、１２は外マスク、
１３はスパッタ面、１４は内マスク、１５は裏板、１６
はマグネット、１７はプッシャー、１８は成膜面、１９
はアーム、２０は吸着口である。内マスク１４と外マス
ク１２によってマスキングされている部分以外が成膜面
で、記録層や反射層、保護層などが成膜されている。
【０００３】基板のハンドリングには、図９に示すよう
なエアーチェックが用いられることが多い。その場合に
は、成膜面１８を汚染しないように、内周部分をチャッ
キングする。すなわち、ディスク１１の内周部分に吸着
口２０をアーム１９を移動させて接着させ、吸着口２０
内の空気をバキュームポンプで吸引して、ディスク１１
をチャキングする。このように、成膜装置で搬送された
基板は、図６においては、まず、外マスク１２と内マス
ク１４にセットされ、その後、マスク／基板／裏板とセ
ットされて成膜が行われる。この時、最終セットされる
前には、基板が外れないように傾けたり、外周を機械的
に押えたりする工夫が必要となる。図７においては、基
板はまず裏板１５にセットされ、図６と同様に最終セッ
トされる。図８においては、基板はプッシャー１７にセ
ットされ、図６と同様に最終セットされる。このよう
に、従来の基板の取扱については、基板交換が煩雑であ
った。
なエアーチェックが用いられることが多い。その場合に
は、成膜面１８を汚染しないように、内周部分をチャッ
キングする。すなわち、ディスク１１の内周部分に吸着
口２０をアーム１９を移動させて接着させ、吸着口２０
内の空気をバキュームポンプで吸引して、ディスク１１
をチャキングする。このように、成膜装置で搬送された
基板は、図６においては、まず、外マスク１２と内マス
ク１４にセットされ、その後、マスク／基板／裏板とセ
ットされて成膜が行われる。この時、最終セットされる
前には、基板が外れないように傾けたり、外周を機械的
に押えたりする工夫が必要となる。図７においては、基
板はまず裏板１５にセットされ、図６と同様に最終セッ
トされる。図８においては、基板はプッシャー１７にセ
ットされ、図６と同様に最終セットされる。このよう
に、従来の基板の取扱については、基板交換が煩雑であ
った。
【０００４】
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、光ディスクの製造工程を簡素化し、容易に基板
ハンドリング及びマスクセットを伝えるようにし、ま
た、内マスクのマスキング部分からの脱ガスを容易に行
うようにした光ディスク用マスクを提供することを目的
としてなされたものである。
もので、光ディスクの製造工程を簡素化し、容易に基板
ハンドリング及びマスクセットを伝えるようにし、ま
た、内マスクのマスキング部分からの脱ガスを容易に行
うようにした光ディスク用マスクを提供することを目的
としてなされたものである。
【０００５】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、（１）
ディスクの内周部分をチャックするために用いられる内
マスクと、該内マスクに設けられた穴を通して基板をチ
ャックする基板チャックとを有すること、更には、
（２）スパッタ中に、スパッタ物質が基板に付着しない
ように防着手段を設けたこと、更には、（３）前記スパ
ッタ物質を基板上に付けてマークやロゴなどの文字を入
れるようにしたことを特徴としたものである。以下、本
発明の実施例に基づいて説明する。
ディスクの内周部分をチャックするために用いられる内
マスクと、該内マスクに設けられた穴を通して基板をチ
ャックする基板チャックとを有すること、更には、
（２）スパッタ中に、スパッタ物質が基板に付着しない
ように防着手段を設けたこと、更には、（３）前記スパ
ッタ物質を基板上に付けてマークやロゴなどの文字を入
れるようにしたことを特徴としたものである。以下、本
発明の実施例に基づいて説明する。
【０００６】図１は、本発明による光ディスク用マスク
の一実施例を説明するための構成図で、図中、１はディ
スク基板、２は基板チャック、３はマスクチャック、４
はマグネット、５は裏板、６は内マスクである。内マス
ク６を通して、真空チャッキングをする。該内マスク６
には穴が開けられ、該穴を通して基板１をチャッキング
するための真空チャックが、基板搬送時には取付けられ
る。また、内マスク６は、基板チャック２をリークした
場合、内マスク６を落さないために真空チャック又はメ
カチャックにてチャッキングされる。
の一実施例を説明するための構成図で、図中、１はディ
スク基板、２は基板チャック、３はマスクチャック、４
はマグネット、５は裏板、６は内マスクである。内マス
ク６を通して、真空チャッキングをする。該内マスク６
には穴が開けられ、該穴を通して基板１をチャッキング
するための真空チャックが、基板搬送時には取付けられ
る。また、内マスク６は、基板チャック２をリークした
場合、内マスク６を落さないために真空チャック又はメ
カチャックにてチャッキングされる。
【０００７】図１において、裏板５に設けられた凹部に
マグネット４が設けられている。該マグネット４の収納
位置を中心にディスク基板１がセットされる。内マスク
６を中心にマスクチャック３により真空マスクチャック
を行い、その周方向に数箇所空いた穴から基板チャック
２により、基板１をチャックする。図２において、マス
クチャック３としてメカチャックを用い、基板チャック
として、真空チャックを用いている例を示している。図
３においては、図１と同様に、内マスク６を中心にマス
クチャック３により真空チャックを行い、その周方向に
数箇所空いた穴から基板チャック２により基板１をチャ
ックするものである。
マグネット４が設けられている。該マグネット４の収納
位置を中心にディスク基板１がセットされる。内マスク
６を中心にマスクチャック３により真空マスクチャック
を行い、その周方向に数箇所空いた穴から基板チャック
２により、基板１をチャックする。図２において、マス
クチャック３としてメカチャックを用い、基板チャック
として、真空チャックを用いている例を示している。図
３においては、図１と同様に、内マスク６を中心にマス
クチャック３により真空チャックを行い、その周方向に
数箇所空いた穴から基板チャック２により基板１をチャ
ックするものである。
【０００８】上記はいずれも基板表面を真空チャックす
る方法を示したが、図４のように、基板１の内穴内周部
をチャックする方法は加工上もやり易い。この図ではマ
スクチャックは省略した。これらのうち、図１及び図３
においては、成膜物質が穴を通して基板上に付着してし
まうが、図５のようにスパッタ物質を基板上に付けて、
マークやロゴなどの文字を入れることも可能である。
る方法を示したが、図４のように、基板１の内穴内周部
をチャックする方法は加工上もやり易い。この図ではマ
スクチャックは省略した。これらのうち、図１及び図３
においては、成膜物質が穴を通して基板上に付着してし
まうが、図５のようにスパッタ物質を基板上に付けて、
マークやロゴなどの文字を入れることも可能である。
【０００９】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、少なくとも内マスクを必要とする情報記録媒体の製
造時において、内マスクを通して基板チャッキングを行
うようにしたので、基板の取扱が容易になり、基板交換
が簡素化され、生産コストが向上する。
と、少なくとも内マスクを必要とする情報記録媒体の製
造時において、内マスクを通して基板チャッキングを行
うようにしたので、基板の取扱が容易になり、基板交換
が簡素化され、生産コストが向上する。
【図１】 本発明による光ディスク用マスクの一実施例
を説明するための構成図である。
を説明するための構成図である。
【図２】 本発明による光ディスク用マスクの他の実施
例を示す図である。
例を示す図である。
【図３】 本発明による光ディスク用マスクの更に他の
実施例を示す図である。
実施例を示す図である。
【図４】 本発明による光ディスク用マスクの更に他の
実施例を示す図である。
実施例を示す図である。
【図５】 本発明における基板上にマークやロゴを付し
た様子を示す図である。
た様子を示す図である。
【図６】 従来の光ディスク用マスクの構成図である。
【図７】 従来の光ディスク用マスクの他の構成図であ
る。
る。
【図８】 従来の光ディスク用マスクの更に他の構成図
である。
である。
【図９】 従来の基板をハンドリングするためのエアー
チャックを示す図である。
チャックを示す図である。
１…ディスク基板、２…基板チャック、３…マスクチャ
ック、４…マグネット、５…裏板、６…内マスク。
ック、４…マグネット、５…裏板、６…内マスク。
Claims (3)
- 【請求項１】 ディスクの内周部分をチャックするため
に用いられる内マスクと、該内マスクに設けられた穴を
通して基板をチャックする基板チャックとを有すること
を特徴とする光ディスク用マスク。 - 【請求項２】 スパッタ中に、スパッタ物質が基板に付
着しないように防着手段を設けたことを特徴とする請求
項１記載の光ディスク用マスク。 - 【請求項３】 前記スパッタ物質を基板上に付けてマー
クやロゴなどの文字を入れるようにしたことを特徴とす
る請求項１記載の光ディスク用マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17503193A JPH0729218A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 光ディスク用マスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17503193A JPH0729218A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 光ディスク用マスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0729218A true JPH0729218A (ja) | 1995-01-31 |
Family
ID=15989014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17503193A Pending JPH0729218A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 光ディスク用マスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0729218A (ja) |
-
1993
- 1993-07-15 JP JP17503193A patent/JPH0729218A/ja active Pending
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