JPH10335202A - 電子ビームデータ生成装置 - Google Patents

電子ビームデータ生成装置

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JPH10335202A
JPH10335202A JP13898097A JP13898097A JPH10335202A JP H10335202 A JPH10335202 A JP H10335202A JP 13898097 A JP13898097 A JP 13898097A JP 13898097 A JP13898097 A JP 13898097A JP H10335202 A JPH10335202 A JP H10335202A
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data
unit
processing
electron beam
trapezoidal
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JP13898097A
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Kaneichiro Chisaka
兼一郎 千坂
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Mitsubishi Electric Corp
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Renesas Design Corp
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 データ処理に時間がかかった。 【解決手段】 並列的に動作する複数の演算回路を有
し、半導体集積回路のレイアウトパターンのマスク作成
のための電子ビームデータを生成する電子ビームデータ
生成装置において、レイアウトパターンのデータ処理を
設計レイヤ、マスク作成の処理工程、および電子ビーム
照射領域であるセグメントのうちの少なくとも１つに基
づいて複数の演算回路に分割して割り当てて並列に実行
するデータ処理部と、データ処理部によってデータ処理
されたデータを電子ビームデータのフォーマットに変換
して出力するフォーマット変換部とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、レイアウトパタ
ーンデータを半導体製造のマスク作成のためのＥＢ（Ｅ
ｌｅｃｔｒｏｎ Ｂｅａｍ）データに変換する電子ビー
ムデータ生成装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に半導体集積回路（ＬＳＩ）の製造
を行うには、ＬＳＩの設計が完了した後、ＬＳＩの回路
パターンをガラス基板上に金属薄膜で形成したもの（マ
スク）を作成する。このマスクを用いてシリコンウエハ
上に回路パターンを次々に転写することによってデバイ
スを形成して行く。マスク作成を行うには、通常、レイ
アウト設計が完了した回路パターンを入力とし、マスク
描画装置に読み込むことのできるデータ形式（マスクデ
ータ）に変換して出力する。以下、入力となる回路パタ
ーンをレイアウトパターンデータ（ＧＤＳＩＩ ＳＴＲ
ＥＡＭフォーマット）、出力されるマスクデータをＥＢ
データと称する。
【０００３】設計者がレイアウトパターンデータを作成
する時は、処理工程毎に回路パターンを入力する。この
際、図形データは、階層を持たせて入力する必要があ
る。この階層が設計レイヤである。また、マスク描画装
置の描画領域の単位としてセグメントというものがあ
り、セグメント領域毎にマスクパターンが分割されてマ
スク描画が実行される。
【０００４】図８は、設計レイヤが２つ、処理工程が２
つ、セグメントが２つに分かれる場合における、従来の
電子ビームデータ生成装置の構成を示すブロック図であ
る。図９はレイアウトパターンデータのイメージ図の例
を示している。この例では処理工程と設計レイヤが一致
することになるが、１処理工程内に複数の設計レイヤが
ある場合もある。
【０００５】図８において、１はレイアウトパターンデ
ータ、２はＳＴＲＥＡＭ解析部、３はリファレンスソー
ト部、４は階層展開部、５は台形分割部、６は台形ファ
イルソート部、７はデータ圧縮部、８はフォーマット変
換部、９ａ、９ｂはＥＢデータを示している。
【０００６】なお、階層展開部４はレイヤＬ１、レイヤ
Ｌ２毎に階層展開をする階層展開Ｌ１部１０と階層展開
Ｌ２部１１とを具備している。また、台形分割部５は、
処理工程Ｐ１、Ｐ２毎に展開されたデータの台形分割を
行う台形分割Ｐ１部１２と台形分割Ｐ２部１３とを具備
している。さらに、台形ファイルソート部６は処理工程
Ｐ１、Ｐ２、マスクパターンの形成の単位であるセグメ
ントＳ１、Ｓ２の組み合わせごとに台形ファイルソート
を行う台形ファイルソートＰ１Ｓ１部１４、台形ファイ
ルソートＰ１Ｓ２部１５、台形ファイルソートＰ２Ｓ１
部１６、台形ファイルソートＰ２Ｓ２部１７を具備して
いる。また、データ圧縮部７は処理工程Ｐ１、Ｐ２、セ
グメントＳ１、Ｓ２の組み合わせごとにデータの圧縮を
行うデータ圧縮部Ｐ１Ｓ１部１８、データ圧縮Ｐ１Ｓ２
部１９、データ圧縮Ｐ２Ｓ１部２０、データ圧縮Ｐ２Ｓ
２部２１を具備している。さらに、フォーマット変換部
８は処理工程Ｐ１、Ｐ２毎にＥＢデータ９ａ、９ｂにフ
ォーマット変換をするフォーマット変換Ｐ１部２２、フ
ォーマット変換Ｐ２部２３とを具備している。
【０００７】次に動作について説明する。まず、設計者
が作成したレイアウトパターンデータ１（ＧＤＳＩＩ
ＳＴＲＥＡＭフォーマット）はＳＴＲＥＡＭ解析部２で
ＳＴＲＥＡＭデータの図形データをセル別に読み込む。
この際、パラメータ入力により指定されたレイヤのデー
タのみ読み込まれる。さらに、ＳＴＲＥＡＭフォーマッ
トのチェックやセル名あるいはリファレンス情報等の解
析が行われる。
【０００８】リファレンスソート部３は解析されたＳＴ
ＲＥＡＭからリファレンスファイルのソートを行う。階
層展開部４はセル階層構造の展開を設計レイヤ毎に行っ
て処理工程上にフラットな図形を作成する。台形分割部
５は階層展開された図形を処理工程毎に台形分割処理を
行う部分である。台形ファイルソート部６では、台形分
割部５で処理した台形データのファイルソートを処理工
程、セグメント毎に行う。データ圧縮部７では、処理工
程、セグメント毎にデータの圧縮を行う。フォーマット
変換部８では、処理工程毎にＭＥＢＥＳデータフォーマ
ットへの変換を行う。これらの処理によってＥＢデータ
９ａ、９ｂが生成される。
【０００９】階層展開部４では階層展開Ｌ１部１０によ
って設計レイヤＬ１が処理され、その処理が完了してか
ら階層展開Ｌ２部１１によって設計レイヤＬ２が処理さ
れる。階層展開部４によって展開された図形は、台形分
割部５で、台形分割Ｐ１部１２によって処理工程Ｐ１の
処理が完了したのち台形分割Ｐ２部１３によって処理工
程Ｐ２が処理される。台形ファイルソート部６では、台
形分割された図形のファイルがセグメント、ストライ
プ、台形の形状をコード化したデータコード、Ｘ方向の
座標等をキーとしてソートされる。まず、台形ファイル
ソートＰ１Ｓ１部１４によって処理工程Ｐ１、セグメン
トＳ１の処理が行われ、この処理が完了してから台形フ
ァイルソートＰ１Ｓ２部１５によって処理工程Ｐ１、セ
グメントＳ２の処理が行われる。そして、この処理が完
了してから台形ファイルソートＰ２Ｓ１部１６によって
処理工程Ｐ２、セグメントＳ１の処理が実行される。そ
して、この処理が完了してから台形ファイルソートＰ２
Ｓ２部１７によって処理工程Ｐ２、セグメントＳ２の処
理が実行される。データ圧縮部７ではデータ圧縮Ｐ１Ｓ
１部１８によって処理工程Ｐ１、セグメントＳ１が処理
され、その処理が完了してからデータ圧縮Ｐ１Ｓ２部１
９によって処理工程Ｐ１、セグメントＳ２が処理され
る。その処理が完了してからデータ圧縮Ｐ２Ｓ１部２０
によって処理工程Ｐ２、セグメントＳ１の処理が実行さ
れる。その処理が完了してからデータ圧縮Ｐ２Ｓ２部２
１によって処理工程Ｐ２、セグメントＳ２が処理され
る。フォーマット変換部８ではフォーマット変換Ｐ１部
２２によって処理工程Ｐ１が処理される。その処理が完
了してからフォーマット変換Ｐ２部２３によって処理工
程Ｐ２が処理される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】従来の電子ビームデー
タ生成装置は以上のように構成されているので、ＥＢデ
ータの変換に処理時間がかかるという課題があった。
【００１１】この発明は、以上の課題を解決するために
なされたもので、データ処理を高速に行うことができる
電子ビームデータ生成装置を提供することを目的とす
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明に係
る電子ビームデータ生成装置は、レイアウトパターンの
データ処理を設計レイヤ、マスク作成の処理工程、およ
び電子ビーム照射領域であるセグメントのうちの少なく
とも１つに基づいて複数の演算回路に分割して割り当て
て並列に実行するデータ処理部と、データ処理部によっ
てデータ処理されたデータを電子ビームデータのフォー
マットに変換して出力するフォーマット変換部とを有す
るものである。
【００１３】請求項２記載の発明に係る電子ビームデー
タ生成装置のデータ処理部は設計レイヤ毎にレイアウト
パターンの階層展開を複数の演算回路に割り当てて並列
に実行する階層展開部を有するものである。
【００１４】請求項３記載の発明に係る電子ビームデー
タ生成装置のデータ処理部は処理工程毎にレイアウトパ
ターンの図形の台形分割を複数の演算回路に割り当てて
並列に実行し複数の台形ファイルを出力する台形分割部
を有するものである。
【００１５】請求項４記載の発明に係る電子ビームデー
タ生成装置のデータ処理部は前記台形分割部から出力さ
れた台形ファイルの所定のキーによるソート処理を処理
工程と電子ビーム照射領域であるセグメントとの組み合
わせ毎に前記複数の演算回路に割り当てて並列に実行す
る台形ファイルソート部を有するものである。
【００１６】請求項５記載の発明に係る電子ビームデー
タ生成装置のデータ処理部はレイアウトパターンのデー
タの圧縮を処理工程と電子ビーム照射領域であるセグメ
ントとの組み合わせ毎に複数の演算回路に割り当てて並
列に実行するデータ圧縮部を有するものである。
【００１７】請求項６記載の発明に係る電子ビームデー
タ装置のフォーマット変換部はレイアウトパターンのデ
ータのフォーマット変換を処理工程毎に複数の演算処理
回路に割り当てて並列に実行するものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態１．図１は、本発明の実施の形態のＥＢデー
タ生成装置の構成を示すブロック図である。図に示すよ
うに本発明の実施の形態のＥＢデータ生成装置は４つの
ＣＰＵ（演算回路）１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１
０１ｄ、ＲＯＭ１０２、ＲＡＭ１０３、キーボード、Ｃ
ＲＴ等を含む入出力インターフェイス１０４、および、
これらの間のデータ転送をするためのデータバス１０５
とを有している。すなわち、このＥＢデータ生成装置で
はマルチＣＰＵによる並列処理ができる構成となってい
る。
【００１９】図２は本実施の形態１のＥＢデータ生成装
置の機能ブロック図を示すものである。実際には、図１
に示すハードウエア上で動作するソフトウエアによって
動作する。
【００２０】図２に示す本実施の形態のＥＢデータ生成
装置は、設計レイヤが２つ、処理工程が２つ、セグメン
トが２つに分かれる場合における構成を示す機能ブロッ
ク図である。なお、従来のＥＢデータ生成装置を説明す
る際に使用した図９に示すレイアウトパターンデータの
イメージ図は本実施の形態でも使用するものとする。
【００２１】図２において、２０１はレイアウトパター
ンデータ、２０２はＳＴＲＥＡＭ解析部、２０３はリフ
ァレンスソート部、２０４は階層展開部（データ処理
部）、２０５は台形分割部、２０６は台形ファイルソー
ト部、２０７はデータ圧縮部、２０８はフォーマット変
換部、２０９ａ、２０９ｂはＥＢデータを示している。
【００２２】なお、階層展開部２０４は設計レイヤＬ
１、レイヤＬ２について並列に階層展開をする階層展開
Ｌ１部２１０と階層展開Ｌ２部２１１とを具備してい
る。この場合に設計レイヤＬ１、Ｌ２のついての処理を
図１に示すＣＰＵ１０１ａからＣＰＵ１０１ｄのうちの
いずれか２つに割り当てるようにする。このようにして
高速に階層展開を行うことが可能である。
【００２３】また、台形分割部２０５は、処理工程Ｐ
１、Ｐ２毎に展開されたデータの台形分割を行う台形分
割Ｐ１部２１２と台形分割Ｐ２部２１３とを具備してい
る。さらに、台形ファイルソート部２０６は処理工程Ｐ
１、Ｐ２、マスクパターンの形成の単位であるセグメン
トＳ１、Ｓ２の組み合わせごとに台形ファイルソートを
行う台形ファイルソートＰ１Ｓ１部２１４、台形ファイ
ルソートＰ１Ｓ２部２１５、台形ファイルソートＰ２Ｓ
１部２１６、台形ファイルソートＰ２Ｓ２部２１７を具
備している。また、データ圧縮部２０７は処理工程Ｐ
１、Ｐ２、セグメントＳ１、Ｓ２の組み合わせごとにデ
ータの圧縮を行うデータ圧縮部Ｐ１Ｓ１部２１８、デー
タ圧縮Ｐ１Ｓ２部２１９、データ圧縮Ｐ２Ｓ１部２２
０、データ圧縮Ｐ２Ｓ２部２２１を具備している。さら
に、フォーマット変換部２０８は処理工程Ｐ１、Ｐ２毎
にＥＢデータ２０９ａ、２０９ｂにフォーマット変換を
するフォーマット変換Ｐ１部２２２、フォーマット変換
Ｐ２部２２３とを具備している。
【００２４】次に動作について説明する。まず、設計者
が作成したレイアウトパターンデータ２０１（ＧＤＳＩ
Ｉ ＳＴＲＥＡＭフォーマット）はＳＴＲＥＡＭ解析部
２０２でＳＴＲＥＡＭデータの図形データをセル別に読
み込む。この際、パラメータ入力により指定されたレイ
ヤのデータのみ読み込まれる。さらに、ＳＴＲＥＡＭフ
ォーマットのチェックやセル名あるいはリファレンス情
報等の解析が行われる。
【００２５】リファレンスソート部２０３は解析された
ＳＴＲＥＡＭからリファレンスファイルのソートを行
い、階層展開部２０４はセル階層構造の展開を設計レイ
ヤ毎に行って処理工程上にリファレンスデータを取り出
し、そのセルのデータをポリゴンデータにしてフラット
な図形を作成する。
【００２６】台形分割部２０５は階層展開された図形を
処理工程毎に台形分割処理を行う部分である。台形分割
はポリゴンデータを、まず、指定された描画領域で分割
し、その後セグメント領域で分割し、さらにＥＢフォー
マット上での縦方向の分割領域であるストライプ領域で
分割する。そして、このように分割した図形をさらに台
形に分割する。
【００２７】台形ファイルソート部２０６では、台形分
割部２０５で処理した台形データのファイルソートをセ
グメント、ストライプ、台形の形状をコード化したデー
タコード、Ｘ方向の座標をキーとして処理工程、セグメ
ント毎に行う。データ圧縮部２０７では、処理工程、セ
グメント毎にデータの圧縮を行う。フォーマット変換部
２０８では、処理工程毎にＭＥＢＥＳデータフォーマッ
トへの変換を行う。これらの処理によってＥＢデータ２
０９ａ、２０９ｂが生成される。
【００２８】階層展開部２０４では階層展開Ｌ１部２１
０および階層展開Ｌ２部２１１によって設計レイヤＬ１
と設計レイヤＬ２が別々のＣＰＵで並列に処理される。
階層展開部２０４によって展開された図形は、台形分割
部２０５で、台形分割Ｐ１部２１２によって処理工程Ｐ
１の処理が完了したのち台形分割Ｐ２部２１３によって
処理工程Ｐ２が処理される。
【００２９】台形ファイルソート部２０６では、台形分
割された図形のファイルがセグメント、ストライプ、台
形の形状をコード化したデータコード、Ｘ方向の座標等
をキーとしてソートされる。まず、台形ファイルソート
Ｐ１Ｓ１部２１４によって処理工程Ｐ１、セグメントＳ
１の処理が行われ、この処理が完了してから台形ファイ
ルソートＰ１Ｓ２部２１５によって処理工程Ｐ１、セグ
メントＳ２の処理が行われる。そして、この処理が完了
してから台形ファイルソートＰ２Ｓ１部２１６によって
処理工程Ｐ２、セグメントＳ１の処理が実行される。そ
して、この処理が完了してから台形ファイルソートＰ２
Ｓ２部２１７によって処理工程Ｐ２、セグメントＳ２の
処理が実行される。
【００３０】データ圧縮部２０７ではデータ圧縮Ｐ１Ｓ
１部２１８によって処理工程Ｐ１、セグメントＳ１が処
理され、その処理が完了してからデータ圧縮Ｐ１Ｓ２部
２１９によって処理工程Ｐ１、セグメントＳ２が処理さ
れる。その処理が完了してからデータ圧縮Ｐ２Ｓ１部２
２０によって処理工程Ｐ２、セグメントＳ１の処理が実
行される。その処理が完了してからデータ圧縮Ｐ２Ｓ２
部２２１によって処理工程Ｐ２、セグメントＳ２が処理
される。なお、データ圧縮としてはＸ、Ｙそれぞれの方
向の同一種類のデータで、同一間隔で配置されているデ
ータを検索し、繰り返しデータとしてまとめるようにし
ている。
【００３１】フォーマット変換部２０８ではフォーマッ
ト変換Ｐ１部２２２によって処理工程Ｐ１が処理され
る。その処理が完了してからフォーマット変換Ｐ２部２
２３によって処理工程Ｐ２が処理される。そして、フォ
ーマット変換Ｐ１部２２２、フォーマット変換Ｐ２部２
２３からＥＢデータ２０９ａ、２０９ｂが出力される。
【００３２】以上説明したように本実施の形態１によれ
ば階層展開部２０４において設計レイヤの数だけ同時に
並列的に処理できるため、ＥＢデータ変換処理の処理時
間短縮による工期の短縮を実現できる。
【００３３】実施の形態２．図３は本発明の実施の形態
２におけるＥＢデータ生成装置の機能ブロック図であ
る。図において、実施の形態１で説明した部分と同一あ
るいは同等の部分には同一の符号を付し、重複する説明
を省略する。なお、この実施の形態でも図１に示す構成
上で動作するソフトウエアによって実現されるものであ
る。
【００３４】本実施の形態の構成は以下の点で実施の形
態１と異なる。すなわち、階層展開部２０４の代わりに
階層展開部３０４が設けられ、さらに、台形分割部２０
５の代わりに台形分割部（データ処理部）３０５が設け
られている。
【００３５】階層展開部３０４は階層展開Ｌ１部３１０
によって設計レイヤＬ１が処理され、その処理が完了し
てから階層展開Ｌ２部３１１によって設計レイヤＬ２が
処理されるように構成されている。
【００３６】次に動作について説明する。台形分割部３
０５は階層展開部３０４から出力された展開された図形
の台形分割を台形分割Ｐ１部３１２で、処理工程Ｐ１の
台形分割を台形分割Ｐ２部３１３で処理工程Ｐ２の台形
分割を異なるＣＰＵで並列に処理する。台形分割はポリ
ゴンデータを、まず、指定された描画領域で分割し、そ
の後セグメント領域で分割し、さらにＥＢフォーマット
上での縦方向の分割領域であるストライプ領域で分割す
る。そして、このように分割した図形をさらに台形に分
割する。すなわち、図１に示すＣＰＵ１０１ａからＣＰ
Ｕ１０１ｄのうちの異なる２つのＣＰＵに処理工程Ｐ１
の台形分割処理と処理工程Ｐ２の台形分割処理とを割り
付けて並列に実行できるようにしている。従って、並列
実行によりデータの高速処理が実現できる。
【００３７】台形分割以降の処理は実施の形態１と同様
であるので説明を省略する。以上のように、本実施の形
態２によれば、台形分割部３０５で処理工程の数だけ同
時に並列にデータの処理ができるためＥＢデータ変換処
理の処理時間短縮による工期の短縮を実現できるものが
得られる効果がある。
【００３８】実施の形態３．図４は本発明の実施の形態
３におけるＥＢデータ生成装置の機能ブロック図であ
る。図において、実施の形態１および実施の形態２で説
明した部分と同一あるいは同等の部分には同一の符号を
付し、重複する説明を省略する。なお、この実施の形態
でも図１に示す構成上で動作するソフトウエアによって
実現されるものである。
【００３９】本実施の形態の構成は以下の点で実施の形
態１と異なる。すなわち、階層展開部２０４の代わりに
階層展開部３０４が設けられ、台形ファイルソート部２
０６の代わりに台形ファイルソート部（データ処理部）
４０６が設けられている。階層展開部３０４は実施の形
態２で説明しているので重複する説明は省略する。
【００４０】台形ファイルソート部４０６は、台形分割
部２０５で処理した台形データのファイルソートをセグ
メント、ストライプ、台形の形状をコード化したデータ
コード、Ｘ方向の座標をキーとして処理工程、セグメン
ト毎に行う。この台形ファイルソート部４０６は台形フ
ァイルのソートを処理工程Ｐ１、Ｐ２、セグメントＳ
１、Ｓ２の組み合わせ毎に図１に示す別々のＣＰＵに割
り当て並列にデータ処理が行われるようになっている。
【００４１】次に動作について説明する。台形ファイル
ソート部４０６以外の部分の動作は実施の形態１又は実
施の形態２ですでに説明しているので重複する説明を省
略し、以下に台形ファイルソート部４０６の動作につい
て説明する。
【００４２】台形分割部２０５から出力された台形分割
された台形ファイルは台形ファイルソートＰ１Ｓ１部４
１４で処理工程Ｐ１、セグメントＳ１の台形ファイルソ
ートを、台形ファイルソートＰ１Ｓ２部４１５にて、処
理工程Ｐ１、セグメントＳ２の台形ファイルソートを、
台形ファイルソートＰ２Ｓ１部４１６にて、処理工程Ｐ
２、セグメントＳ１の台形ファイルソートを、台形ファ
イルソートＰ２Ｓ２部４１７にて、処理工程Ｐ２、セグ
メントＳ２の台形ファイルソートを並列に処理する。こ
の場合にこれらの台形ファイルソートＰ１Ｓ１部４１
４、台形ファイルソートＰ１Ｓ２部４１５、台形ファイ
ルソートＰ２Ｓ１部４１６、台形ファイルソートＰ２Ｓ
２部４１７の処理は図１に示すＣＰＵ１０１ａからＣＰ
Ｕ１０１ｄの４つのＣＰＵに別々に割り当てられて処理
される。このため、高速なデータ処理を行うことができ
る。
【００４３】以上のように、本実施の形態３によれば、
台形ファイルソート部４０６で処理工程、セグメントの
数だけ同時に処理できるため、ＥＢデータ変換処理の処
理時間短縮による工期の短縮を実現できるものが得られ
る効果がある。
【００４４】実施の形態４．図５は本発明の実施の形態
４におけるＥＢデータ生成装置の機能ブロック図であ
る。図において、実施の形態１および実施の形態２で説
明した部分と同一あるいは同等の部分には同一の符号を
付し、重複する説明を省略する。なお、この実施の形態
でも図１に示す構成上で動作するソフトウエアによって
実現されるものである。
【００４５】本実施の形態の構成は以下の点で実施の形
態１と異なる。すなわち、階層展開部２０４の代わりに
階層展開部３０４が設けられ、データ圧縮部２０７の代
わりにデータ圧縮部（データ処理部）５０７が設けられ
ている。階層展開部３０４は実施の形態２で説明してい
るので重複する説明は省略する。
【００４６】データ圧縮部５０７は台形ファイルソート
部２０６からの図形ファイルデータの圧縮を行うもので
あり、データ圧縮としてはＸ、Ｙそれぞれの方向の同一
種類のデータで、同一間隔で配置されているデータを検
索し、繰り返しデータとしてまとめるようにしている。
さらにデータ圧縮部５０７ではソートされた台形ファイ
ルの圧縮を処理工程Ｐ１、Ｐ２、セグメントＳ１、Ｓ２
の組み合わせ毎に図１に示す別々のＣＰＵに割り当て、
並列にデータ処理が行われるようになっている。
【００４７】次に動作について説明する。データ圧縮部
５０７において、データ圧縮Ｐ１Ｓ１部５１８で処理工
程Ｐ１、セグメントＳ１のデータ圧縮を、データ圧縮Ｐ
１Ｓ２部５１９にて、処理工程Ｐ１、セグメントＳ２の
データ圧縮を、データ圧縮Ｐ２Ｓ１部５２０にて、処理
工程Ｐ２、セグメントＳ１のデータ圧縮を、データ圧縮
Ｐ２Ｓ２部５２１にて、処理工程Ｐ２、セグメントＳ２
のデータ圧縮を別々のＣＰＵで並列に処理する。すなわ
ち、データ圧縮Ｐ１Ｓ１部５１８、データ圧縮Ｐ１Ｓ２
部５１９、データ圧縮Ｐ２Ｓ１部５２０、データ圧縮Ｐ
２Ｓ２部５２１のそれぞれの処理は図１に示すＣＰＵ１
０１ａからＣＰＵ１０１ｄに割り当てられて並列に実行
される。
【００４８】以上のように、本実施の形態によれば、デ
ータ圧縮部５０７において、処理工程、セグメントの組
み合わせの数だけ同時に処理できるため、ＥＢデータ変
換処理の処理時間短縮による工期の短縮を実現できる。
【００４９】実施の形態５．図６は本発明の実施の形態
５におけるＥＢデータ生成装置の機能ブロック図であ
る。図において、実施の形態１および実施の形態２で説
明した部分と同一あるいは同等の部分には同一の符号を
付し、重複する説明を省略する。なお、この実施の形態
でも図１に示す構成上で動作するソフトウエアによって
実現されるものである。
【００５０】本実施の形態の構成は以下の点で実施の形
態１と異なる。すなわち、階層展開部２０４の代わりに
階層展開部３０４が設けられ、フォーマット変換部２０
８の代わりにフォーマット変換部（データ処理部）６０
８が設けられている。階層展開部３０４は実施の形態２
で説明しているので重複する説明は省略する。
【００５１】フォーマット変換部６０８は処理工程Ｐ
１、Ｐ２毎にＥＢデータ２０９ａ、２０９ｂにフォーマ
ット変換をするフォーマット変換Ｐ１部６２２、フォー
マット変換Ｐ２部６２３とを具備している。そして、フ
ォーマット変換Ｐ１部６２２、フォーマット変換Ｐ２部
６２３の処理は図１に示すＣＰＵ１０１ａからＣＰＵ１
０１ｄのうちのいずれか２つのＣＰＵに割り当てられて
並列に実行される。
【００５２】以上のように、本実施の形態５によれば、
フォーマット変換部６０８において処理工程の数だけ別
のＣＰＵに処理を割り当て同時に処理できるため、ＥＢ
データ変換処理の処理時間短縮による工期の短縮を実現
できる。
【００５３】実施の形態６．図７は本発明の実施の形態
６におけるＥＢデータ生成装置の機能ブロック図であ
る。図において、実施の形態１から実施の形態５で説明
した部分と同一あるいは同等の部分には同一の符号を付
して重複する説明を省略する。なお、この実施の形態で
も図１に示す構成上で動作するソフトウエアによって実
現されるものである。
【００５４】本実施の形態のＥＢデータ生成装置では、
レイアウトパターン２０１から階層展開部２０４によっ
て階層展開をするまでは実施の形態１と同様である。従
って、階層展開の処理はレイヤ毎に図１の４つのＣＰＵ
１０１ａからＣＰＵ１０１ｄのうちの２つに割り当てら
れ並列に実行される。
【００５５】階層展開部２０４の処理が終了すると実施
の形態２で説明した台形分割部３０５によって台形分割
の処理は処理工程ごとに図１のＣＰＵ１０１ａからＣＰ
Ｕ１０１ｄのうちの２つのＣＰＵに割り当てられ並列に
実行される。
【００５６】台形分割部３０５の処理が終了すると実施
の形態３で説明した台形ファイルソート部４０６によっ
て、台形ファイルソートの処理は処理工程、セグメント
の組み合わせ毎に図１のＣＰＵ１０１ａからＣＰＵ１０
１ｄの４つのＣＰＵに割り当てられて並列に実行され
る。
【００５７】台形ファイルソート部４０６の処理が終了
すると実施の形態４で説明したデータ圧縮部５０７によ
って、データの圧縮が処理工程、セグメントの組み合わ
せ毎に図１のＣＰＵ１０１ａからＣＰＵ１０１ｄの４つ
のＣＰＵに割り当てられて並列に実行される。
【００５８】データ圧縮部５０７の処理が終了すると実
施の形態５で説明したフォーマット変換部６０８によっ
て、処理工程ごとに図１のＣＰＵ１０１ａからＣＰＵ１
０１ｄのうちの２つのＣＰＵに割り当てられて並列に実
行される。
【００５９】以上説明したように、階層展開部２０４、
台形分割部３０５、台形ファイルソート部４０６、デー
タ圧縮部５０７、およびフォーマット変換部６０８にお
いて、複数のＣＰＵを用いた並列処理がなされるのでよ
り高速なデータ処理を実現できる。なお、実施の形態６
においては、実施の形態１から５の全てを組み合わせる
ものを示しているが、実施の形態１と３、２と４など、
任意の組み合わせによっても、高速なデータ処理を実行
できる効果がある。さらに、セグメント、設計レイヤ、
処理工程の数によってはＣＰＵの数は４つに限られずに
５個以上又は２から３個のＣＰＵを用いた構成とするこ
ともできる。
【００６０】
【発明の効果】以上のように、請求項１記載の発明によ
れば、レイアウトパターンのデータ処理を設計レイヤ、
マスク作成の処理工程、および電子ビーム照射領域であ
るセグメントのうちの少なくとも１つに基づいて複数の
演算回路に分割して割り当てて並列に実行するように構
成されているので、高速にデータ処理を実行できる効果
がある。
【００６１】請求項２記載の発明によれば、設計レイヤ
毎にレイアウトパターンの階層展開を前記複数の演算回
路に割り当てて並列に実行するように構成されているの
で、高速にデータ処理を実行できる効果がある。
【００６２】請求項３記載の発明によれば、処理工程毎
にレイアウトパターンの図形の台形分割を複数の演算回
路に割り当てて並列に実行し複数の台形ファイルを出力
するように構成されているので、高速にデータ処理を実
行できる効果がある。
【００６３】請求項４記載の発明によれば、台形分割部
から出力された台形ファイルを所定のキーによるソート
処理を処理工程と電子ビーム照射領域であるセグメント
との組み合わせ毎に複数の演算回路に割り当てて並列に
実行するように構成されているので、高速にデータ処理
を実行できる効果がある。
【００６４】請求項５記載の発明によれば、レイアウト
パターンのデータの圧縮を処理工程と電子ビーム照射領
域であるセグメントとの組み合わせ毎に複数の演算回路
に割り当てて並列に実行するように構成されているの
で、高速にデータ処理を実行できる効果がある。
【００６５】請求項６記載の発明によれば、レイアウト
パターンのデータのフォーマット変換を処理工程毎に複
数の演算処理回路に割り当てて並列に実行するように構
成されているので、高速にデータ処理を実行できる効果
がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施の形態のＥＢデータ生成装置の
構成を示すブロック図である。
【図２】 本発明の実施の形態１のＥＢデータ生成装置
の機能ブロック図を示すものである。
【図３】 本発明の実施の形態２のＥＢデータ生成装置
の機能ブロック図である。
【図４】 本発明の実施の形態３のＥＢデータ生成装置
の機能ブロック図である。
【図５】 本発明の実施の形態４のＥＢデータ生成装置
の機能ブロック図である。
【図６】 本発明の実施の形態５のＥＢデータ生成装置
の機能ブロック図である。
【図７】 本発明の実施の形態６のＥＢデータ生成装置
の機能ブロック図である。
【図８】 従来の電子ビームデータ生成装置の構成を示
すブロック図である。
【図９】 レイアウトパターンデータのイメージの例を
示す図である。
【符号の説明】
１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃ，１０１ｄ ＣＰＵ（演
算回路）、２０４ 階層展開部（データ処理部）、３０
５ 台形分割部（データ処理部）、４０６ 台形ファイ
ルソート部（データ処理部）、５０７ データ圧縮部
（データ処理部）、６０８ ファーマット変換部（デー
タ処理部）、Ｌ１，Ｌ２ 設計レイヤ、Ｐ１，Ｐ２ 処
理工程、Ｓ１，Ｓ２ セグメント。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 並列的に動作する複数の演算回路を有
    し、半導体集積回路のレイアウトパターンのマスク作成
    のための電子ビームデータを生成する電子ビームデータ
    生成装置において、前記レイアウトパターンのデータ処
    理を設計レイヤ、マスク作成の処理工程、および電子ビ
    ーム照射領域であるセグメントのうちの少なくとも１つ
    に基づいて前記複数の演算回路に分割して割り当てて並
    列に実行するデータ処理部と、前記データ処理部によっ
    てデータ処理されたデータを電子ビームデータのフォー
    マットに変換して出力するフォーマット変換部とを具備
    することを特徴とする電子ビームデータ生成装置。
  2. 【請求項２】 データ処理部は設計レイヤ毎にレイアウ
    トパターンの階層展開を複数の演算回路に割り当てて並
    列に実行する階層展開部を具備することを特徴とする請
    求項１記載の電子ビームデータ生成装置。
  3. 【請求項３】 データ処理部は処理工程毎にレイアウト
    パターンの図形の台形分割を複数の演算回路に割り当て
    て並列に実行し複数の台形ファイルを出力する台形分割
    部を具備することを特徴とする請求項１または請求項２
    記載の電子ビームデータ生成装置。
  4. 【請求項４】 データ処理部は台形分割部から出力され
    た台形ファイルの所定のキーによるソート処理を処理工
    程と電子ビーム照射領域であるセグメントとの組み合わ
    せ毎に複数の演算回路に割り当てて並列に実行する台形
    ファイルソート部を具備する請求項３記載の電子ビーム
    データ生成装置。
  5. 【請求項５】 データ処理部はレイアウトパターンのデ
    ータの圧縮を処理工程と電子ビーム照射領域であるセグ
    メントとの組み合わせ毎に複数の演算回路に割り当てて
    並列に実行するデータ圧縮部を具備する請求項１から請
    求項４のうちのいずれか１項記載の電子ビームデータ生
    成装置。
  6. 【請求項６】 フォーマット変換部はレイアウトパター
    ンのデータのフォーマット変換を処理工程毎に前記複数
    の演算処理回路に割り当てて並列に実行する請求項１か
    ら請求項５のうちのいずれか１項記載の電子ビームデー
    タ生成装置。
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