JPS6075965A - ア−トワ−ク・デ−タ処理装置 - Google Patents
ア−トワ−ク・デ−タ処理装置Info
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- JPS6075965A JPS6075965A JP58182774A JP18277483A JPS6075965A JP S6075965 A JPS6075965 A JP S6075965A JP 58182774 A JP58182774 A JP 58182774A JP 18277483 A JP18277483 A JP 18277483A JP S6075965 A JPS6075965 A JP S6075965A
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- Japan
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- data
- artwork
- processing
- trapezoidal
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T1/00—General purpose image data processing
- G06T1/0007—Image acquisition
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は集積回路のアートワーク・データを検食ある
いは加工するために用いられるアートワーク・データ処
理装置に関し、特に集積回路を設＃１−する際の検証あ
るいはフォトマスク作成のためのデータ変換を行なうア
ートワーク・データ処理装置に関する。
いは加工するために用いられるアートワーク・データ処
理装置に関し、特に集積回路を設＃１−する際の検証あ
るいはフォトマスク作成のためのデータ変換を行なうア
ートワーク・データ処理装置に関する。
集積回路（以下ＩＣと称する）の製造］一程では，シリ
コン・ウェーへ上にその回路に応じた・ぞターン全焼き
付け、加工する工程が繰り返されている。そして上記パ
ターンをマスクパター・ンあるいはアートワークｅノ９
ターンと呼び。
コン・ウェーへ上にその回路に応じた・ぞターン全焼き
付け、加工する工程が繰り返されている。そして上記パ
ターンをマスクパター・ンあるいはアートワークｅノ９
ターンと呼び。
ＩＣの設Ｈ１−においてはこれらパターンから自動製図
機で描画するためのデータすなわちマスク・母ターン・
データあるいはアートワーク・データｋ ｉＥ Ｌ ＜
作成し、これを所定の形式に変換することか必妥となる
。このマスクパターン・データあるいはアートワーク・
データに関連する各棟データ処理全アートワーク・デー
タ処理と吋−び、その内容については本発明者が情報処
理ｖｏｌ。２２／ｆ６８Ａｕｇ、１９８１のｇｇ ７８
３ Ｃ１ないし０４７９０ ｊＡで発表した「アートワ
ーク・データとその検証」で詳細にされている。
機で描画するためのデータすなわちマスク・母ターン・
データあるいはアートワーク・データｋ ｉＥ Ｌ ＜
作成し、これを所定の形式に変換することか必妥となる
。このマスクパターン・データあるいはアートワーク・
データに関連する各棟データ処理全アートワーク・デー
タ処理と吋−び、その内容については本発明者が情報処
理ｖｏｌ。２２／ｆ６８Ａｕｇ、１９８１のｇｇ ７８
３ Ｃ１ないし０４７９０ ｊＡで発表した「アートワ
ーク・データとその検証」で詳細にされている。
従来、これらのアートワーク・データの処理はもっばら
汎用の電子計算機を用いたプログラム処理（ソフトウェ
ア処理）により行なわれている。また最近では、専用の
ハードウェア装置を用いてこの処理を行なう試みが行な
われている。この装置についてはたとえは、１９ｔｈＤ
ｅｓｉｇｎ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ Ｃｏｎｆｅｒｅｎ
ｃｅ Ｐａｐｅｒ １ ６ 。
汎用の電子計算機を用いたプログラム処理（ソフトウェ
ア処理）により行なわれている。また最近では、専用の
ハードウェア装置を用いてこの処理を行なう試みが行な
われている。この装置についてはたとえは、１９ｔｈＤ
ｅｓｉｇｎ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ Ｃｏｎｆｅｒｅｎ
ｃｅ Ｐａｐｅｒ １ ６ 。
３の第２３２頁ないし第２３８頁のＬａ ｒ ｒｙ８ｅ
１１ｅｒ による「Ａ Ｈａｒｄｗａ、ｒｅ Ａｓ５
ｉｓｔｅｄ ＤｅｓｉｇｎＲｕｌｅ Ｃｈｅｃｋ Ａｒ
ｃｈｉｔｅｃｔｕｒｅ Ｊに記載されており。
１１ｅｒ による「Ａ Ｈａｒｄｗａ、ｒｅ Ａｓ５
ｉｓｔｅｄ ＤｅｓｉｇｎＲｕｌｅ Ｃｈｅｃｋ Ａｒ
ｃｈｉｔｅｃｔｕｒｅ Ｊに記載されており。
その基本的な考え方はパターンケ正方格子（メツシュ）
に分割して処理するものである。
に分割して処理するものである。
従来のアートワークφデータ処理技術のうちソフトウェ
ア処理によるものでは、ＩＣの回路規模の増大とともに
、計算機処理時間か増大し。
ア処理によるものでは、ＩＣの回路規模の増大とともに
、計算機処理時間か増大し。
ＩＣの開発全タイミング艮く行なうことができないとい
う欠点かある。たとえは、現在の大規模なＩ Ｃ（ＬＳ
Ｉ ）に対する処理はｌ ＭＩＰＳの計算機で数十時間
要することかある。ｉＣの規模が年率１４ないし２倍で
増大して行くと、計算時間もこれに比例して増えて行き
、非現実的な時間がかかることになる。
う欠点かある。たとえは、現在の大規模なＩ Ｃ（ＬＳ
Ｉ ）に対する処理はｌ ＭＩＰＳの計算機で数十時間
要することかある。ｉＣの規模が年率１４ないし２倍で
増大して行くと、計算時間もこれに比例して増えて行き
、非現実的な時間がかかることになる。
他方、・クターンをメツシュに分割して処理する専用の
ハードウェア装置では、ツヤターンの精度（最大座標対
最小座標単位の比）が高くなるとその自乗に比例してメ
ツシュ数が増加し、必要なハードウェア量または処理時
間が増加するという欠点かある。さらにこの従来技術で
は。
ハードウェア装置では、ツヤターンの精度（最大座標対
最小座標単位の比）が高くなるとその自乗に比例してメ
ツシュ数が増加し、必要なハードウェア量または処理時
間が増加するという欠点かある。さらにこの従来技術で
は。
矛［めのパターンもメツシュにＶ」り当てているので、
この場合に斜めのパターンは階段状にして処理すること
になり、精度及びパターンの清らかさの点で問題かある
。
この場合に斜めのパターンは階段状にして処理すること
になり、精度及びパターンの清らかさの点で問題かある
。
この発明は上記のような事情全光″庫してなされたもの
でめり、その１岨」は、高速がっ１冒、精度でアートワ
ーク・データ処０！全行なうことかできるアートワーク
・データ処理装置を提供することにある。
でめり、その１岨」は、高速がっ１冒、精度でアートワ
ーク・データ処０！全行なうことかできるアートワーク
・データ処理装置を提供することにある。
〔発明のａ装置
この発明によるアートワーク・データ処理装置１Ｃは、
処理すべき多角形形状の閉図形の集合からなるアートワ
ークｅデータを、向い合う２辺か座標軸重平行で他の２
辺がこれらの辺に垂直または４５度の角度をなす三角形
？含む読影の集合に変換して分類する前処理部と、この
前処理部で変換１分類された台形データを格納する格納
部と、この格納部で格納される複数の台形データに対し
、拡大、紬少、論理演算、測定などの図形＠葬処理會並
列的に施す図形演算処理部と、この図形演算処理の施さ
れた台形データ全合成しで再び閉図形の集合からなるア
ートワーク・データに変換する後処理部とを具備するこ
とにより、特に座標軸に対して直角または４５度の傾き
の辺を持つアートワーク・データに対して、高速かっ毘
稍曳に必要なアートワーク・データ処理全行なうことが
できる。また。
処理すべき多角形形状の閉図形の集合からなるアートワ
ークｅデータを、向い合う２辺か座標軸重平行で他の２
辺がこれらの辺に垂直または４５度の角度をなす三角形
？含む読影の集合に変換して分類する前処理部と、この
前処理部で変換１分類された台形データを格納する格納
部と、この格納部で格納される複数の台形データに対し
、拡大、紬少、論理演算、測定などの図形＠葬処理會並
列的に施す図形演算処理部と、この図形演算処理の施さ
れた台形データ全合成しで再び閉図形の集合からなるア
ートワーク・データに変換する後処理部とを具備するこ
とにより、特に座標軸に対して直角または４５度の傾き
の辺を持つアートワーク・データに対して、高速かっ毘
稍曳に必要なアートワーク・データ処理全行なうことが
できる。また。
閉図形全台形の集合に分割処理することにより。
図形全メツシュに分割して処理する従来技術に比べて格
段の精度向上が期待できる。
段の精度向上が期待できる。
以下図面會ト照してこの発明の一実施例葡説明する。第
１図はこの発明に係るアートワーク嗜データ処理装置の
一実施例によるブロック用である。第１図において１ｏ
は処理装置本体であり、この本体１０には、たとえはパ
ターン會ディジタイザあるいはタブレットによって読み
収ることにより得られる。多角形形状の閉図形の集合か
らなるアートワーク・データ１ノが入力される。人力さ
れたアートワーク串データ１１は本体１０円の前処理部
１２に供給される。
１図はこの発明に係るアートワーク嗜データ処理装置の
一実施例によるブロック用である。第１図において１ｏ
は処理装置本体であり、この本体１０には、たとえはパ
ターン會ディジタイザあるいはタブレットによって読み
収ることにより得られる。多角形形状の閉図形の集合か
らなるアートワーク・データ１ノが入力される。人力さ
れたアートワーク串データ１１は本体１０円の前処理部
１２に供給される。
この前処理部１２は、このアートワーク−データの閉図
形會１つの座標軸に対して平行する複数の直線全境界と
する頭載（以下スリットと称する）に分割して、各スリ
ットの分割図形を平行する２つの辺に対して斜辺が直角
もしくは４５度の角度全行つ台形データに変換し、各ス
リット毎に分類する機能金持つ。上記前処理部１２で変
換された台形データは格納部１３に供給され、ここで各
台形データが各スリット毎に格納、保持される。上記格
納部１３で格納された台形データは図形演算処理部１４
に供給される。この図形演算処理部１４は、上記格納部
１３で格納されている台形データ金各スリット毎に並列
的に図形演算処理するための複数の同一の処理回路たと
えはマイクロコンピユータラ備えている。この図形演算
処理部１４が行なう図形演算処理とはたとえは図形の拡
大、縮少。
形會１つの座標軸に対して平行する複数の直線全境界と
する頭載（以下スリットと称する）に分割して、各スリ
ットの分割図形を平行する２つの辺に対して斜辺が直角
もしくは４５度の角度全行つ台形データに変換し、各ス
リット毎に分類する機能金持つ。上記前処理部１２で変
換された台形データは格納部１３に供給され、ここで各
台形データが各スリット毎に格納、保持される。上記格
納部１３で格納された台形データは図形演算処理部１４
に供給される。この図形演算処理部１４は、上記格納部
１３で格納されている台形データ金各スリット毎に並列
的に図形演算処理するための複数の同一の処理回路たと
えはマイクロコンピユータラ備えている。この図形演算
処理部１４が行なう図形演算処理とはたとえは図形の拡
大、縮少。
論理演算、測定などであり、これらの処理機能全まとめ
たもの全第２図に示す。そして上記図形演算処理部１４
において、各スリット毎に並列的に第２図中に示すよう
な図形演算処理が施された台形データは再び前記格納部
１３に供給され、ここでまた各スリット毎に格納、保持
される。上記格納部１３で格納されている図形演算処理
の施された台形データは後処理部１５に供給される。こ
の後処理部１５は、各種図形演算処理の施された台形デ
ータ全合成して再び閉図形の集合からなるアートワーク
・データに変換し、さらに他の装置に入力するため、そ
の装置に適合するようなフォーマット変換を必要に応じ
て行なった後１図形データ１６として出力する機能をも
つものである。
たもの全第２図に示す。そして上記図形演算処理部１４
において、各スリット毎に並列的に第２図中に示すよう
な図形演算処理が施された台形データは再び前記格納部
１３に供給され、ここでまた各スリット毎に格納、保持
される。上記格納部１３で格納されている図形演算処理
の施された台形データは後処理部１５に供給される。こ
の後処理部１５は、各種図形演算処理の施された台形デ
ータ全合成して再び閉図形の集合からなるアートワーク
・データに変換し、さらに他の装置に入力するため、そ
の装置に適合するようなフォーマット変換を必要に応じ
て行なった後１図形データ１６として出力する機能をも
つものである。
次に上記のような構成でなる装置の作用全説明する。ま
ず、第３図（ａＪのような閉図形の集合からなるアート
ワーク・データ１１が前処理部１２に供給されたとする
。前処理部１２はこのアートワーク・データ１１全、第
３図（ｂ）に示すように交点（折れ曲り点）を通る挫標
軸たとえばｙ ＋１４１＋に平行な直線ケ境界とするス
リット８１ないしＳ８に分割し、それぞれを台形データ
に便換する。ここで、第３図（ａ）の閉図形から第３図
（ｂ）の台形データへ変換されたデータは次のように表
現される。すなわち、第４図に示すように、Ｘ軸方向の
座標ｘ ｉ 、 ｘ ｉ＋ ｒ で区別されてい６１つ
のスリット内の台形データは、Ｘ軸上の線分の両端のｙ
座標ｙ＋＋ｙ２と、このｙ座標点から右下り方向に延び
る斜辺全一１．右上り方向に延びる斜辺會＋１．垂直方
向に延びる斜辺ｋｏにそれぞれ対応させることにより表
現される。
ず、第３図（ａＪのような閉図形の集合からなるアート
ワーク・データ１１が前処理部１２に供給されたとする
。前処理部１２はこのアートワーク・データ１１全、第
３図（ｂ）に示すように交点（折れ曲り点）を通る挫標
軸たとえばｙ ＋１４１＋に平行な直線ケ境界とするス
リット８１ないしＳ８に分割し、それぞれを台形データ
に便換する。ここで、第３図（ａ）の閉図形から第３図
（ｂ）の台形データへ変換されたデータは次のように表
現される。すなわち、第４図に示すように、Ｘ軸方向の
座標ｘ ｉ 、 ｘ ｉ＋ ｒ で区別されてい６１つ
のスリット内の台形データは、Ｘ軸上の線分の両端のｙ
座標ｙ＋＋ｙ２と、このｙ座標点から右下り方向に延び
る斜辺全一１．右上り方向に延びる斜辺會＋１．垂直方
向に延びる斜辺ｋｏにそれぞれ対応させることにより表
現される。
また１元の閉図形が第５図（ａ）に示すようにその余１
辺が）’ ［１１１１１に対して直角および４５度の周
間全行だない場合には、第５図（ｂ）に示すようにこの
図形全たとえはＳｌないしｓ６のスリットに分割し、そ
れぞれの斜辺がｙ軸に対して４５度の角置會持つように
６個の台形データに変換する。
辺が）’ ［１１１１１に対して直角および４５度の周
間全行だない場合には、第５図（ｂ）に示すようにこの
図形全たとえはＳｌないしｓ６のスリットに分割し、そ
れぞれの斜辺がｙ軸に対して４５度の角置會持つように
６個の台形データに変換する。
第３図（ｂ）および第５図（ｂ）にそれぞれ示すよう（
ユ各スリット毎に変換された台形データは、格納部１３
に各スリット毎に格納される。次に図形演算処理部１４
はこれら各スリットの台形データに対して必要な図形演
算処理全並列的に施す。アートワーク・データ処理で必
要となる図形演算処理は前記第２図に示すようなもので
あり、この中でたとえはＯＲに対応する論理演算は次の
ように行なわれる。まず、第６図（ａ）に示すように１
分類されている台形データか図中右下りの斜線を付した
台形データＡと同じく左下りの斜線ケ付した台形データ
Ｂとが重なり合っているものの場合、このデータにＯＲ
処理ヲ施せは第６図（ｂ）に示すような台形データが得
られる。また、第７図（ａ）の台形データに対し、この
図形演算処理部１４でＯＲ論理演算を施こせは。
ユ各スリット毎に変換された台形データは、格納部１３
に各スリット毎に格納される。次に図形演算処理部１４
はこれら各スリットの台形データに対して必要な図形演
算処理全並列的に施す。アートワーク・データ処理で必
要となる図形演算処理は前記第２図に示すようなもので
あり、この中でたとえはＯＲに対応する論理演算は次の
ように行なわれる。まず、第６図（ａ）に示すように１
分類されている台形データか図中右下りの斜線を付した
台形データＡと同じく左下りの斜線ケ付した台形データ
Ｂとが重なり合っているものの場合、このデータにＯＲ
処理ヲ施せは第６図（ｂ）に示すような台形データが得
られる。また、第７図（ａ）の台形データに対し、この
図形演算処理部１４でＯＲ論理演算を施こせは。
この場合には第７図（ｂ）に示すような新たに３つのス
リットが生成され１元の台形データが細かな台形データ
に変換される。第８１囚（ａ） 、 （ｂＪは格納部１
３内の台形データに対し、固形演算処理ＦＩＳ １４で
拡大処理金施した場合のデータ変化状態全ホす。この場
合にも新しいスリットが化成される。このようにして各
図形演算処理が施された台形ガータは、各スリット毎に
格納部１３に格納される。上記台形データに対する図形
頂し９処理の際に第７図および第８図のように新たなス
リットが生成される場合にば１図形演算処理後の台形デ
ータはＷｂたなスリットは含む各スリット毎に格納部１
３に格納される。
リットが生成され１元の台形データが細かな台形データ
に変換される。第８１囚（ａ） 、 （ｂＪは格納部１
３内の台形データに対し、固形演算処理ＦＩＳ １４で
拡大処理金施した場合のデータ変化状態全ホす。この場
合にも新しいスリットが化成される。このようにして各
図形演算処理が施された台形ガータは、各スリット毎に
格納部１３に格納される。上記台形データに対する図形
頂し９処理の際に第７図および第８図のように新たなス
リットが生成される場合にば１図形演算処理後の台形デ
ータはＷｂたなスリットは含む各スリット毎に格納部１
３に格納される。
次に後処理’、４．Ｓ１５は、各杜図形演算処理の施さ
れた台形データを格納部１３から各スリットｉＩＪに順
次入力し、これら台形データ（二基づいて閉多角形形式
のアートワーク・ｒ−夕を合成し。
れた台形データを格納部１３から各スリットｉＩＪに順
次入力し、これら台形データ（二基づいて閉多角形形式
のアートワーク・ｒ−夕を合成し。
さらにこれに必要に応じてフォーマット変換して出力す
る。この後処理部１５から出方される図形データ１６の
例としては、インタラクティブ設Ｒ１装置のような他の
アートワーク・データ処理装置やペンノロツタ、静電ゾ
ロツタ、電子ビーム露光装置、パターンジェネレータ等
の製図装置のためのものがある。ここで他のアートワー
ク−データ処理装置やペンノロツタに出力する場合には
１台形データ葡合成して閉多角形形式にした後、それぞ
れに適合したフォーマット貧侠金行なう。また、・母タ
ーンジェネレータに対して出力する場合に（ｄ、閉多角
形からさらにｆ矩形分割ｊ行なう。
る。この後処理部１５から出方される図形データ１６の
例としては、インタラクティブ設Ｒ１装置のような他の
アートワーク・データ処理装置やペンノロツタ、静電ゾ
ロツタ、電子ビーム露光装置、パターンジェネレータ等
の製図装置のためのものがある。ここで他のアートワー
ク−データ処理装置やペンノロツタに出力する場合には
１台形データ葡合成して閉多角形形式にした後、それぞ
れに適合したフォーマット貧侠金行なう。また、・母タ
ーンジェネレータに対して出力する場合に（ｄ、閉多角
形からさらにｆ矩形分割ｊ行なう。
さらに静電ゾロツタや露光装部に対して出力する場合は
１台形のままフォーマット変換全行なう。
１台形のままフォーマット変換全行なう。
ここで図形演算処理部１４では、■的とするアートワー
ク・データ処理に応じて、各スリットの台形データ全格
納ｆη１１３から収り出して図形演亥１１処理を行なっ
ている。そしてこの処理は同一の処理回路により並列的
に行なうようにしているので、高速処理ケ達成すること
ができる。
ク・データ処理に応じて、各スリットの台形データ全格
納ｆη１１３から収り出して図形演亥１１処理を行なっ
ている。そしてこの処理は同一の処理回路により並列的
に行なうようにしているので、高速処理ケ達成すること
ができる。
たとえは、１００個の処理回路金膜けることにより、
１．０ （ｌス！１ット分を同時に処理することかでき
る。したがって１個の場合に相当する従来技術の前者、
すなわち汎用計膵機と〆フトワエアによって実現してい
た場合と比較すると。
１．０ （ｌス！１ット分を同時に処理することかでき
る。したがって１個の場合に相当する従来技術の前者、
すなわち汎用計膵機と〆フトワエアによって実現してい
た場合と比較すると。
４１７−用ハードウェア化していること、かつ並列処理
化していることにより、並列化の度合いにより。
化していることにより、並列化の度合いにより。
ｉメ１来の戦士ないし数千倍の両速化か達成できる。
さらに閉図形？台形に変換した後に図形演算処理ケ行な
うようにしているので、従来技術のイブ名、すなわちメ
ツシュを使用する技術に比較して、あ・１線を持つパタ
ーンに対しては格段に槓ｌの良い処理か実現でさる。
うようにしているので、従来技術のイブ名、すなわちメ
ツシュを使用する技術に比較して、あ・１線を持つパタ
ーンに対しては格段に槓ｌの良い処理か実現でさる。
なお、この発明は上記実施例に限定されるものでは７．
ｃ ＜神々の変形か可能でおる。たとえは。
ｃ ＜神々の変形か可能でおる。たとえは。
上記実施例では前処理部１２か閉図形の集合からなるア
ートワーク・データ全、斜辺がｙ軸に灼して直角もしく
は４５度の角度をなす台形データに変換する場合につい
て説明したが、これは台形データ全第９図のように表現
することによってあらゆる角度の斜辺金持つ閉図形全処
理することが可能である。すなわちこの場合には。
ートワーク・データ全、斜辺がｙ軸に灼して直角もしく
は４５度の角度をなす台形データに変換する場合につい
て説明したが、これは台形データ全第９図のように表現
することによってあらゆる角度の斜辺金持つ閉図形全処
理することが可能である。すなわちこの場合には。
第４図のものの斜辺の方向を示すデータ＋１゜０、−１
の代りに−ｙ＋ｔｙｔからの偏差△ｙＩ Ｉ△ｙ２”を
用１．ＮることＣ二より表現される。
の代りに−ｙ＋ｔｙｔからの偏差△ｙＩ Ｉ△ｙ２”を
用１．ＮることＣ二より表現される。
そしてこのような表現方式全採用する場合には。
上記実施例のものＣ−比べて図形９Ｌｕ処理部１４等の
ハードウェア構成がやや複雑となり、処理時間も増える
か、精度は訓くすることかできる。
ハードウェア構成がやや複雑となり、処理時間も増える
か、精度は訓くすることかできる。
なお、実際のＭＯＳ−ＩＣ，特にＭＯＳメモリの分野で
は斜辺か４５Ｉ！ｉの角度を持つＡ？ターンか大部分會
占めている。
は斜辺か４５Ｉ！ｉの角度を持つＡ？ターンか大部分會
占めている。
以上説明したようにこの発明によれは、処理すべき多角
形形状の閉図形の集合からなるアートワーク・データ會
各スリット毎の台形データに変換し、これら複数スリッ
トの台形データに対して図形演算処理全並列的に施すよ
うにしたので、篩速かつ高精度でアートワーク・データ
処理を行なうことかできるアートワーク・データ処理装
置が提供できる。
形形状の閉図形の集合からなるアートワーク・データ會
各スリット毎の台形データに変換し、これら複数スリッ
トの台形データに対して図形演算処理全並列的に施すよ
うにしたので、篩速かつ高精度でアートワーク・データ
処理を行なうことかできるアートワーク・データ処理装
置が提供できる。
夕処理装置白の一実施例によるブロック図、第２区ＣＪ
第］図装置の一部分の機能上まとめて示す１ン］、第３
図ないし第８図はそれぞれ上記実施個装（〔（の作用會
説明するための図、第９図はこの発明の１（Ｌの実ｈｉ
ｌ： １ｙｌＪ ｋ説明するための図である。
第］図装置の一部分の機能上まとめて示す１ン］、第３
図ないし第８図はそれぞれ上記実施個装（〔（の作用會
説明するための図、第９図はこの発明の１（Ｌの実ｈｉ
ｌ： １ｙｌＪ ｋ説明するための図である。
ｌＯ・・・処Ｊ！ｌ！ ＋ｈ置本体、１１・・・アート
ワーク・ブ′−夕、１２・・・ｉｉＪ処理部、１３・・
・格納部、１４・・図ル偵算処Ｊ−！ｌ！用′１．１５
・・・後処理部、１６・・・図）ｉ多データ、Ｓ・・・
スリット。
ワーク・ブ′−夕、１２・・・ｉｉＪ処理部、１３・・
・格納部、１４・・図ル偵算処Ｊ−！ｌ！用′１．１５
・・・後処理部、１６・・・図）ｉ多データ、Ｓ・・・
スリット。
出願人代理人 弁理士 鈴 江 式 落第１図
第２図
（、、） 第３図 （シ）
５１ Ｓｔ ５＊ Ｓ＋ Ｓｖ Ｓｂ
第６図
（α）（ｂ）
Ｉ
（α）（ｂ）
Claims (4)
- （１） 閉ＩＸ形の集合からなるアートワーク・データ
介・台形の集合に変換して分類する前処理部と、この前
処理部で変換１分類された台形データ葡格納する格納部
と、この格納部で格納される台形データに対して図形演
算処理を施す図形演算処理台１３と、上記図形演算処理
の施された台形データ全合成して閉図形の集合からなる
データに変換する後処理８１５とを具備したことを特徴
とするアートワーク・データ処理装置。 - （２） 前記前処理部は、前記アートワーク・データを
、平行する２つの辺に対して斜辺が直角もしくは４５度
の角度を持つ台形データに変換するように（４４成され
ている特許請求の範囲第１項に記載のアートワーク・デ
ータ処理装置。 - （３） 前記図形演算処理部は、前記格納部で格納され
る複数の台形データに対し並列的に図形演算処理を１也
すように構成されている特許請求の範囲第１項に記載の
アートワーク・データ処理装置。 - （４） 前記前処理部は、前記アートワーク・データの
閉図形を１つの座標軸に対して平行する複数の簡保′ｆ
ｆ：境界とする領域に分割した後１台形ｆユ変換するよ
うにｈ４成されている特許請求の範囲第１項に記載のア
ートワーク・データ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58182774A JPS6075965A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | ア−トワ−ク・デ−タ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58182774A JPS6075965A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | ア−トワ−ク・デ−タ処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6075965A true JPS6075965A (ja) | 1985-04-30 |
Family
ID=16124180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58182774A Pending JPS6075965A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | ア−トワ−ク・デ−タ処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6075965A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6056785A (en) * | 1997-05-28 | 2000-05-02 | Mitsubishi Electric Semiconductor Software Co., Ltd. | Electron-beam data generating apparatus |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP58182774A patent/JPS6075965A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6056785A (en) * | 1997-05-28 | 2000-05-02 | Mitsubishi Electric Semiconductor Software Co., Ltd. | Electron-beam data generating apparatus |
| US6189135B1 (en) | 1997-05-28 | 2001-02-13 | Mitsubishi Electric Semiconductor Software Co., Ltd. | Method of generating electron-beam data for creating a mask |
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