JPH10149378A

JPH10149378A - データ処理方法，マスクパターンのデータ処理方法，データ処理装置及びマスクパターンのデータ処理装置

Info

Publication number: JPH10149378A
Application number: JP30777096A
Authority: JP
Inventors: Mayumi Nakajima; 真由美中島; Eiju Onuma; 英寿大沼
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1996-11-19
Filing date: 1996-11-19
Publication date: 1998-06-02

Abstract

(57)【要約】【課題】マスクデータ処理の発展によって膨張するパ
ターンデータの圧縮を図る。【解決手段】パターン群を構成する同一形状パターン
のｘ軸方向の繰り返し間隔ｄｘ及び繰り返し数ｎｘとｙ
軸方向の繰り返し間隔ｄｙ及び繰り返し数ｎｙとからな
るデータ群を抽出する。既に登録されたデータ中にこの
データ群と同一のデータ群が有るか無いかを判断し、無
いと判断された場合には、抽出されたデータ群に新たな
インデックスを与えた後、パターン群の座標データ，新
たなインデックス及びパターン群を構成するパターンの
形状データを第１テーブルに登録し、新たなインデック
ス及びデータ群を第２テーブルに登録する。一方、有る
と判断された場合に、同一のデータ群に付与されている
インデックスを引用し、パターン群の座標データ，引用
したインデックス及びパターン群を構成するパターンの
形状データを第１テーブルに登録する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、データ処理方法，
マスクパターンのデータ処理方法，データ処理装置，お
よびマスクパターンのデータ処理装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造においては、近年のマ
スクデータ処理の発展により、マスクパターンに関する
データ量が巨大化する傾向にある。このため、チップ設
計においては、既に巨大なマスクデータを出力するよう
になっている。例えば、０．３５μｍ未満のデザインル
ールにおいては、光近接効果補正、位相シフト技術等の
パターン変形をともなうプロセス補正技術等により、デ
ータの大きさはさらに増大する可能性が高い。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】以上のような状況か
ら、現実的にマスク製作工程における制約（最大ファイ
ルサイズなど）を越える可能性が非常に高くなってきて
いる。また、マスクデータを、ネットワークで転送して
処理する場合、実際の処理に要する時間が短縮されても
データ転送に掛かる時間が増大し、データ転送時間が全
体の処理時間を律速してしまう。以上のようなことか
ら、効率の良いマスクデータの圧縮が要求されており、
本発明は複数のパターンの形状データと当該各パターン
の座標データとからなるデータを圧縮する方法及び装置
を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明のデータ処理方法及びマスクパターンのデータ
処理方法は、以下のような手順で行う。先ず、同一形状
のパターンが等間隔で配置されてなる繰り返しパターン
群に関して、当該パターン群を構成する各パターンのｘ
軸方向の繰り返し間隔ｄｘ及び繰り返し数ｎｘとｙ軸方
向の繰り返し間隔ｄｙ及び繰り返し数ｎｙとからなるデ
ータ群にインデックスを与える。そして、上記パターン
群の座標データ，上記インデックス及び当該パターン群
を構成するパターンの形状データを第１テーブルに登録
し、当該インデックス及びそのデータ群とを第２テーブ
ルに登録する。

【０００５】この際、上記データ群を抽出されたデータ
群とし、既に処理されて登録されたデータ中に上記抽出
されたデータ群と同一のデータ群が有るか無いかを判断
する。その結果、同一のデータ群が無いと判断された場
合には、上記抽出されたデータ群に新たなインデックス
を与える。そして、上記パターン群の座標データ，新た
なインデックス及び当該パターン群を構成するパターン
の形状データを第１テーブルに登録すると共に、新たな
インデックス及び上記抽出されたデータ群を第２テーブ
ルに登録する。一方、上記判断の結果、同一のデータ群
が有ると判断された場合には、当該同一のデータ群に付
与されているインデックスを引用する。そして、上記パ
ターン群の座標データ，引用したインデックス及び当該
パターン群を構成するパターンの形状データを第１テー
ブルに登録する。

【０００６】上記データ処理方法によれば、同一形状の
パターンが等間隔で配置されてなる繰り返しパターン群
において、上記同一形状のパターンの繰り返し間隔ｄ
ｘ，ｄｙと繰り返し数ｎｘ，ｎｙとからなるデータ群に
インデックスが与えられる。このため、形状が異なるパ
ターンであってもその配置状態が同じであれば、同一の
データ群にインデックスが与えられる。

【０００７】したがって、同一のデータ群が有る場合に
そのインデックスを引用することで、第１テーブルでは
パターンの配置状態に関する情報として同一インデック
スが共有される。また、第２テーブルではデータ群の種
類分だけデータが登録され、同一のデータ群が複数登録
されることはない。

【０００８】また、本発明のデータ処理装置及びマスク
パターンのデータ処理装置は、データ群抽出手段，デー
タ群比較手段，インデックス付与手段，インデックス引
用手段及びテーブル登録手段を備えている。上記データ
抽出手段は、パターン群を構成する同一形状パターンの
ｘ軸方向の繰り返し間隔ｄｘ及び繰り返し数ｎｘとｙ軸
方向の繰り返し間隔ｄｙ及び繰り返し数ｎｙとからなる
データ群を抽出するものである。また、データ群比較手
段は、既に処理されて登録されたデータ中に上記抽出さ
れたデータ群と同一のデータ群が有るか無いかを判断す
るものである。そして、インデックス付与手段は、上記
データ群比較手段で同一のデータ群が無いと判断された
場合に、上記抽出されたデータ群に新たなインデックス
を与えるものである。また、インデックス引用手段は、
上記データ群比較手段で同一のデータ群が有ると判断さ
れた場合に、当該同一のデータ群に付与されているイン
デックスを引用するものである。そして、テーブル登録
手段は、上記パターン群の座標データ，新たなインデッ
クス及びこのパターン群を構成するパターンの形状デー
タを第１テーブルに登録すると共に新たなインデックス
及び上記抽出されたデータ群を第２テーブルに登録する
か、または上記パターン群の座標データ，引用したイン
デックス及びこのパターン群を構成するパターンの形状
データとを第１テーブルに登録するものである。

【０００９】上記データ処理装置によれば、データ群抽
出手段によって抽出されたデータ群が、データ群比較手
段によって既に処理されて登録されたデータ群と比較さ
れる。そして、同一データ群が有る場合には、インデッ
クス引用手段によって同一データ群に既に付与されてい
るインデックスが引用され、登録手段によって第１のテ
ーブルにのみ登録が行われる。このため、形状が異なる
パターンであってもその配置状態が同じであれば、第１
テーブルには同一インデックスを共有するデータが登録
される。そして、第２テーブルには、データ群の種類分
だけのデータが登録されることになる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を用いて説明する。

【００１１】（第１実施形態）図１は、本発明のデータ
処理方法及びマスクパターンのデータ処理方法の実施の
形態を示すフローチャートである。また、図２は、この
実施形態でデータ処理を行うマスクパターン２であり、
例えばリソグラフィーの際の露光パターンを配置してな
る露光マスクのマスクパターン２である。このマスクパ
ターン２は、複数の異なる形状のパターンＡ，Ｂ，Ｃを
配置してなるものである。以下に、これらの図１及び図
２を用いて、マスクパターン２を表すパターンデータを
処理するデータ処理方法を説明する。

【００１２】先ず、ステップＳ１では、入力されたマス
クパターン２またはマスクパターン２を表すパターンデ
ータから、当該マスクパターン２を構成する各パターン
Ａ，Ｂ，Ｃの形状データ（幅ｗ，高さｈ）と座標データ
（ｘ−ｙ座標系における配置位置：ｘｙ）とを検出し、
検出した各データに基づいて各形状のパターンＡ，Ｂ，
Ｃにハッシュインデックスを付与してデータベースを作
成する。

【００１３】次に、ステップＳ２では、上記データベー
スに基づいて、同一形状のパターンが等間隔で配置され
てなる繰り返しパターン群を検出する。ここでは、例え
ば、上記ハッシュインデックスと座標データとを参照す
ることによって、パターンＡが等間隔で配置されてなる
パターン群ｐ１を検出する。尚、検出されるパターン群
としては、ｘ−ｙ座標系において同一形状のパターンを
ｘ軸方向に繰り返し間隔ｄｘでｎｘ回だけ繰り返して配
置されたパターン群を、さらにｙ軸方向に繰り返し間隔
ｄｙでｎｙ回だけ繰り返して配置してなり、ｎｘ＝１ま
たはｎｙ＝１のように一方向にのみ配列されたパターン
群や、ｎｘ＝ｎｙ＝１の単独パターンをも含むこととす
る。ただし、できるだけ繰り返し数ｎｘ，ｎｙが大きい
パターン群を抽出することとする。

【００１４】そして、上記繰り返しパターン群ｐ１に関
して、以下のように圧縮されたパターンデータを得る。パターン群の座標：ｘ，ｙ＝ｘ1 ，ｙ1 ｘ軸方向の繰り返し間隔：ｄｘ＝１０ｙ軸方向の繰り返し間隔：ｄｙ＝２０ｘ軸方向の繰り返し数：ｎｘ＝２ｙ軸方向の繰り返し数：ｎｙ＝４引用図形：Ａ

【００１５】そして、パターン群ｐ１に関して得られた
上記各データのうちから、繰り返し間隔ｄｘ，ｄｙと繰
り返し数ｎｘ，ｎｙとからなるデータ群〔ｄｘ＝１０，
ｄｙ＝２０，ｎｘ＝２，ｎｙ＝４〕を抽出する。

【００１６】尚、例えばＥＴＥＣ社製ＭＥＢＥＳフォー
マットを入力パターンデータとして用いた場合には、既
に上記のように圧縮されたパターンデータが入力され
る。このことから、上記の場合には、入力されたパター
ンデータに基づいてパターン群ｐ１に関する上記データ
群を抽出する工程から処理が開始されることとする。

【００１７】次に、ステップＳ３では、パターン群ｐ１
に関する上記データ群〔ｄｘ＝１０，ｄｙ＝２０，ｎｘ
＝２，ｎｙ＝４〕と、既に処理されて登録されたデータ
とを比較し、同一のデータ群が登録されているか否かを
判断する。ここでは、パターン群ｐ１の処理がマスクパ
ターン２における初めの処理であることから、上記判断
においては同一のデータ群が無いと判断されて、次のス
テップＳ４に進む。

【００１８】そして、ステップＳ４では、パターン群ｐ
１に関する上記データ群〔ｄｘ＝１０，ｄｙ＝２０，ｎ
ｘ＝２，ｎｙ＝４〕に、以下のような新たなインデック
スを与える。〔ｄｘ＝１０，ｄｙ＝２０，ｎｘ＝２，ｎｙ＝４〕→ｉ
ｄ１（インデックス）

【００１９】次に、ステップＳ５では、パターン群ｐ１
の座標データｘ1 ｙ1 ，新たなインデックスｉｄ１，パ
ターン群ｐ１を構成するパターンの形状データＡとを下
記の第１テーブルに登録する。

【表１】

【００２０】また、上記新たなインデックスｉｄ1 とデ
ータ群〔ｄｘ＝１０，ｄｙ＝２０，ｎｘ＝２，ｎｙ＝
４〕とを下記の第２テーブルに登録する。

【表２】

【００２１】そして、ステップＳ８では、これらの第１
テーブル及び第２テーブルを記憶させる。

【００２２】その後、ステップＳ９では、全てのマスク
パターン２を構成する全てのパターン群ｐ１〜ｐ５の処
理が終了したか否かを判断する。そして、終了していな
い場合には、ステップＳ２に戻り、次のパターン群ｐ２
に関して同様の処理を行っていく。

【００２３】この場合、パターン群ｐ２に関して、以下
のような圧縮さたパターンデータが得られた（または入
力された）とする。パターン群の座標：ｘ，ｙ＝ｘ2 ，ｙ2 ｘ軸方向の繰り返し間隔：ｄｘ＝１０ｙ軸方向の繰り返し間隔：ｄｙ＝２０ｘ軸方向の繰り返し数：ｎｘ＝２ｙ軸方向の繰り返し数：ｎｙ＝４引用図形：Ａすると、ステップ２においては、パターン群ｐ２に関し
て得られた上記各データのうちから、データ群〔ｄｘ＝
１０，ｄｙ＝２０，ｎｘ＝２，ｎｙ＝４〕が抽出され
る。

【００２４】次に、ステップＳ３では、パターン群ｐ２
に関して抽出されたデータ群〔ｄｘ＝１０，ｄｙ＝２
０，ｎｘ＝２，ｎｙ＝４〕と、既に処理されて登録され
たパターン群ｐ１のデータとを比較する。その結果、パ
ターン群ｐ１に関するデータ群とパターン群ｐ２に関し
て抽出されたデータ群とは同一であるため、同一データ
群が有ると判断されてステップＳ６に進む。

【００２５】そして、ステップＳ６では、パターン群ｐ
１のデータ群に引用されたインデックスｉｄ１を、パタ
ーン群ｐ２に関して抽出されたデータ群に引用する。

【００２６】その後、ステップＳ７では、パターン群ｐ
２の座標データ，引用したインデックスｉｄ１及びパタ
ーン群ｐ２を構成するパターンの形状データＡとを上記
第１テーブル加えて登録する。したがって、第１テーブ
ルは下記のようになる。

【表３】

【００２７】そして、ステップＳ８では、上記のように
登録が加えられた第１テーブルを記憶させる。

【００２８】以下、ステップＳ９でマスクパターン２を
構成する全てのパターン群ｐ１〜ｐ５に対して上記処理
が終了したと判断されるまで、上記各ステップＳ２〜Ｓ
８を繰り返し行い、上記第１テーブル及び第２テーブル
にデータを登録していく。その結果、データベースに基
づいて検出された各パターン群ｐ１〜ｐ５に関する下記
のパターンデータから、マスクパターン２に関する下記
第１テーブルと第２テーブルとを得る。

【００２９】

【表４】

【００３０】

【表５】

【００３１】

【表６】

【００３２】上記データ処理方法によれば、マスクパタ
ーン２を構成する繰り返しパターン群におけるデータ群
に順次インデックスを付与する際、既に処理されて登録
されたデータ群との比較によって同一データ群が有る場
合には、同一データ群に既に付与されているインデック
スが新たなデータ群に引用され、第１のテーブルにのみ
登録が行われる。このため、形状が異なるパターンであ
ってもその配置状態が同じであれば、同一のインデック
スが与えられ、第１テーブルではパターンの配置状態に
関する情報として同一インデックスが共有され、第２テ
ーブルではデータ群の種類分だけデータが登録され、同
一のデータ群が複数登録されることはない。したがっ
て、マスクパターン２を表すパターンデータが圧縮され
る。

【００３３】具体的には、各データを表すｂｙｔｅ数が
各２ｂｙｔｅであるとすると、上記処理前のパターンデ
ータでは、データの種類６×パターン群数５×ｂｙｔｅ
数２＝６０ｂｙｔｅ必要であった。これに対して、第１
テーブルでは、データの種類３×パターン群数５×ｂｙ
ｔｅ数２＝３０であり、第２テーブルでは、データの種
類５×インデックスの種類２×ｂｙｔｅ数２＝２０ｂｙ
ｔｅであり、合計５０ｂｙｔｅ必要である。したがっ
て、処理前のパターンデータと比較して１０ｂｙｔｅ圧
縮されることになる。

【００３４】さらに、前述のＥＴＥＣ社製ＭＥＢＥＳフ
ォーマットで表現された０．３５μｍ世代のＡＳＩＣラ
ンダムロジックデバイスのマスクパターンのデータを、
上記処理方法によって処理した結果、３７．４５Ｍｂｙ
ｔｅのデータ量を１９．６６Ｍｂｙｔｅに圧縮できた。

【００３５】尚、本発明のデータ処理方法は、上記実施
形態に限定されることはなく、例えば、日本電子社製の
ＪＥＯＬ５３フォーマットに対して適用することも可能
である。さらに、上記実施形態では、マスクパターンの
データ処理を例に取って説明を行ったが、複数のパター
ンの配置状態を表すパターンデータの処理に広く適用可
能である。

【００３６】（第２実施形態）図３は、本発明のデータ
処理装置及びマスクパターンのデータ処理装置の一例を
示す機能ブロック図である。以下に、この図を用いて、
露光マスクのパターンデータを処理するデータ処理装置
の実施形態を説明する。

【００３７】図に示すように、データ処理装置３は、入
力手段３０１，データベース作成手段３０２，データ群
抽出手段３０３，データ群比較手段３０４，インデック
ス付与手段３０５，インデックス引用手段３０６，テー
ブル登録手段３０７，記憶手段３０８を備えている。

【００３８】上記入力手段３０１は、例えばキーボード
やタッチパネルのように、処理を行うマスクパターンや
マスクパターンのパターンデータを入力することができ
るものであれば特に限定されるものではない。また、フ
ロッピーディスク等の記録媒体に記憶されたパターンデ
ータ等を入力する場合や、他のデータ処理装置からパタ
ーンデータを転送入力する場合には、この入力手段３０
１はディスクドライブ等で構成される。

【００３９】また、上記データベース作成手段３０２，
データ群抽出手段３０３，データ群比較手段，インデッ
クス付与手段３０５，インデックス引用手段３０６，テ
ーブル登録手段３０７及び記憶手段３０８の各手段は、
演算回路またはＲＡＭ，ＲＯＭ，光記憶媒体等の記憶手
段内に記憶され、コンピュータのＣＰＵ等で処理される
プログラム情報等で構成される。

【００４０】そして、上記データベース作成手段３０２
は、上記第１実施形態で説明したデータ処理方法におけ
るステップＳ１を実行するための手段である。このデー
タベース作成手段３０２は、上記第１実施形態のステッ
プ２で説明したように入力手段３０１から入力されるパ
ターンデータが、既に圧縮されたデータである場合に
は、必ずしも必要ではない。また、データ群抽出手段３
０３は上記ステップＳ２を実行するための手段であり、
データ群比較手段３０４は上記ステップＳ３を実行する
ための手段である。さらに、インデックス付与手段３０
５は上記ステップＳ４を実行し、インデックス引用手段
３０６は上記ステップＳ６を実行するための手段であ
る。そして、テーブル登録手段３０７は、上記ステップ
Ｓ５及びステップＳ７を実行するための手段であり、記
憶手段３０８は、上記ステップＳ８を実行するための手
段である。

【００４１】上記データ処理装置３には、図示したよう
に出力データ作成手段３０９及び出力手段３１０を設け
てもよい。上記出力データ作成手段３０９は、記憶手段
３０８に記憶された情報に基づいて出力データを作成す
るための手段であり、データ群抽出手段３０３等と同様
の記憶手段内に記憶されプログラム情報等で構成され
る。そして、この出力データ作成手段３０９で作成され
る出力データとしては、例えば上記各手段によって処理
されたパターンデータを再構築してなるパターンデータ
であることとする。

【００４２】また、出力手段３１０は、出力データ作成
手段３０９で再構築されたパターンデータを出力するた
めの手段であり、ＣＲＴ，液晶表示装置やプリンタ等の
パターンデータを表示できるものや、他のデータ処理装
置にパターンデータを出力できるものであれば特に限定
されるものではない。

【００４３】上記構成のデータ処理装置３によれば、上
記第１実施形態で説明したデータ処理方法を実行するこ
とが可能になる。

【００４４】また、上記構成のデータ処理装置３は、図
４に示すようなマスクデータ処理装置４１とＥＢ描画装
置４２とをネットワーク４３でつなげたパターンデータ
の転送システムに設けても良い。すなわち、マスクデー
タ処理装置４１側に上記データ処理装置３を接続させ、
ネットワークを介してＥＢ描画装置４２側に上記出力デ
ータ作成手段３０９を接続させる。

【００４５】このようなシステム構成にした場合には、
マスクデータ処理装置４１からＥＢ描画装置４２にパタ
ーンデータを転送する場合、データ処理装置３で圧縮処
理されたパターンデータがネットワーク上を転送され
る。このため、ＥＢ描画装置４２への転送時間を短縮
し、パターンデータの転送にかかる負荷を軽減すること
が可能になる。

【００４６】また、上記構成のデータ処理装置３は、図
５に示すようにネットワーク化されたクライアントサー
バシステムに設けても良い。このシステムは、パターン
データの転送を制御する転送制御装置（Ｓｅｒｖｅｒ）
５１にパターンデータの補正計算を行う複数の補正装置
（Ｃｌｉｅｎｔ）５２がネットワーク５３によって並列
に接続されている。このシステムにおいては、パターン
データ（１ＣｈｉｐＤｅｔａ）を複数に分割したパター
ンデータが、転送制御装置５１によって各補正装置５２
に分配され、ネットワーク５３によって当該各補正装置
５２に転送される。そして、各補正装置５２に転送され
たパターンデータは、当該各補正装置５２によってそれ
ぞれ補正された後、再びネットワーク５３によって転送
制御装置５１に転送されて統合される。

【００４７】上記構成のクライアントサーバシステムで
は、補正装置５２の処理能力が向上すると、パターンデ
ータの転送に要する時間が全体の処理時間を律速する。
そこで、転送制御装置５１及び補正装置５２に上記デー
タ処理装置をそれぞれ接続させることによって、圧縮さ
れたパターンデータが転送制御装置５１−補正装置５２
間で転送されるようにする。このようなシステム構成に
することによって、パターンデータの転送に要する時間
を短縮することができる。したがって、クライアントサ
ーバシステムにおける全体の処理時間がパターンデータ
の転送時間によって律速されることを防止できる。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のデータ処
理方法及びマスクパターンのデータ処理方法によれば、
同一形状のパターンの繰り返し間隔ｄｘ，ｄｙと繰り返
し数ｎｘ，ｎｙとからなるデータ群にインデックスを与
えることで、形状が異なるパターンであってもこれらの
パターンの配置状態に関する情報を共有することが可能
になる。したがって、パターンデータを圧縮することが
可能になり、パターンデータの転送に要する時間を短縮
することができる。

【００４９】また、同一形状のパターンの配置状態に関
するデータ群を抽出する手段と、このデータ群を既に登
録されたデータ群と比較する手段を設け、未登録のデー
タ群にのみインデックスを与えてテーブルに登録する手
段を設けたことで、形状が異なるパターンであってもそ
れらの配置状態に関する情報を共有したテーブルを作成
することが可能になる。したがって、入力されたパター
ンデータを圧縮することが可能になり、出力されるパタ
ーンデータの転送時間を短縮することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用したデータ処理方法のフローチャ
ートである。

【図２】本発明を適用したデータ処理方法を説明するマ
スクパターンである。

【図３】本発明を適用したデータ処理装置の機能ブロッ
ク図である。

【図４】データ処理装置を設けたパターンデータの転送
システムの構成図である。

【図５】データ処理装置が設けられるクライアントサー
バシステムの構成図である。

【符号の説明】

３データ処理装置３０３データ群抽出手段３０４データ群比較手段３０５インデックス付
与手段３０６インデックス引用手段３０７テーブル登
録手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のパターンの配置状態を表すパター
ンデータを処理するデータ処理方法であって、同一形状のパターンが等間隔で配置されてなる繰り返し
パターン群に関して、当該パターン群を構成する各パタ
ーンのｘ軸方向の繰り返し間隔ｄｘ及び繰り返し数ｎｘ
とｙ軸方向の繰り返し間隔ｄｙ及び繰り返し数ｎｙとか
らなるデータ群にインデックスを与え、前記パターン群の座標データ，前記インデックス及び当
該パターン群を構成するパターンの形状データを第１テ
ーブルに登録し、前記インデックス及び前記データ群を
第２テーブルに登録することを特徴とするデータ処理方
法。
【請求項２】複数のパターンの配置状態を表すパター
ンデータを処理するデータ処理方法であって、同一形状のパターンが等間隔で配置されてなる繰り返し
パターン群に関して、当該パターン群を構成する各パタ
ーンのｘ軸方向の繰り返し間隔ｄｘ及び繰り返し数ｎｘ
とｙ軸方向の繰り返し間隔ｄｙ及び繰り返し数ｎｙとか
らなるデータ群を抽出する工程と、既に処理されて登録されたデータ中に前記抽出されたデ
ータ群と同一のデータ群が有るか無いかを判断する工程
と、前記同一のデータ群が無いと判断された場合に、前記抽
出されたデータ群に新たなインデックスを与えた後、前
記パターン群の座標データ，前記新たなインデックス及
び当該パターン群を構成するパターンの形状データを第
１テーブルに登録すると共に、前記新たなインデックス
及び前記抽出されたデータ群を第２テーブルに登録する
工程と、前記同一のデータ群が有ると判断された場合に、当該同
一のデータ群に付与されているインデックスを引用し、
前記パターン群の座標データ，前記引用したインデック
ス及び当該パターン群を構成するパターンの形状データ
を第１テーブルに登録する工程と、を具備してなることを特徴とするデータ処理方法。
【請求項３】複数のパターンの配置状態を表すパター
ンデータを処理するマスクパターンのデータ処理方法で
あって、同一形状のマスク用のパターンが等間隔で配置されてな
る繰り返しパターン群に関して、当該パターン群を構成
する各パターンのｘ軸方向の繰り返し間隔ｄｘ及び繰り
返し数ｎｘとｙ軸方向の繰り返し間隔ｄｙ及び繰り返し
数ｎｙとからなるデータ群にインデックスを与え、前記パターン群の座標データ，前記インデックス及び当
該パターン群を構成するパターンの形状データを第１テ
ーブルに登録し、前記インデックス及び前記データ群を
第２テーブルに登録することを特徴とするマスクパター
ンのデータ処理方法。
【請求項４】複数のパターンの配置状態を表すパター
ンデータを処理するマスクターンのデータ処理方法であ
って、同一形状のマスク用のパターンが等間隔で配置されてな
る繰り返しパターン群に関して、当該パターン群を構成
する各パターンのｘ軸方向の繰り返し間隔ｄｘ及び繰り
返し数ｎｘとｙ軸方向の繰り返し間隔ｄｙ及び繰り返し
数ｎｙとからなるデータ群を抽出する工程と、既に処理されて登録されたデータ中に前記抽出されたデ
ータ群と同一のデータ群が有るか無いかを判断する工程
と、前記同一のデータ群が無いと判断された場合に、前記抽
出されたデータ群に新たなインデックスを与えた後、前
記パターン群の座標データ，前記新たなインデックス及
び当該パターン群を構成するパターンの形状データを第
１テーブルに登録すると共に、前記新たなインデックス
及び前記抽出されたデータ群を第２テーブルに登録する
工程と、前記同一のデータ群が有ると判断された場合に、当該同
一のデータ群に付与されているインデックスを引用し、
前記パターン群の座標データ，前記引用したインデック
ス及び当該パターン群を構成するパターンの形状データ
を第１テーブルに登録する工程と、を具備してなることを特徴とするマスクパターンのデー
タ処理方法。
【請求項５】複数のパターンの配置状態を表すパター
ンデータを処理するデータ処理装置であって、同一形状のパターンが等間隔で配置されてなる繰り返し
パターン群に関して、当該パターン群を構成する各パタ
ーンのｘ軸方向の繰り返し間隔ｄｘ及び繰り返し数ｎｘ
とｙ軸方向の繰り返し間隔ｄｙ及び繰り返し数ｎｙとか
らなるデータ群を抽出するデータ群抽出手段と、既に処理されて登録されたデータ中に前記抽出されたデ
ータ群と同一のデータ群が有るか無いかを判断するデー
タ群比較手段と、前記同一のデータ群が無いと判断された場合に、前記抽
出されたデータ群に新たなインデックスを与えるインデ
ックス付与手段と、前記同一のデータ群が有ると判断された場合に、当該同
一のデータ群に付与されているインデックスを引用する
インデックス引用手段と、前記パターン群の座標データ，前記新たなインデックス
及び当該パターン群を構成するパターンの形状データを
第１テーブルに登録すると共に当該新たなインデックス
及び前記抽出されたデータ群を第２テーブルに登録する
か、または当該パターン群の座標データ，前記引用した
インデックス及び当該パターン群を構成するパターンの
形状データを第１テーブルに登録するテーブル登録手段
と、を具備してなることを特徴とするデータ処理装置。
【請求項６】複数のパターンの配置状態を表すパター
ンデータを処理するマスクターンのデータ処理装置であ
って、同一形状のマスク用のパターンが等間隔で配置されてな
る繰り返しパターン群に関して、当該パターン群を構成
する各パターンのｘ軸方向の繰り返し間隔ｄｘ及び繰り
返し数ｎｘとｙ軸方向の繰り返し間隔ｄｙ及び繰り返し
数ｎｙとからなるデータ群を抽出するデータ群抽出手段
と、既に処理されて登録されたデータ中に前記抽出されたデ
ータ群と同一のデータ群が有るか無いかを判断するデー
タ群比較手段と、前記同一のデータ群が無いと判断された場合に、前記抽
出されたデータ群に新たなインデックスを与えるインデ
ックス付与手段と、前記同一のデータ群が有ると判断された場合に、当該同
一のデータ群に付与されているインデックスを引用する
インデックス引用手段と、前記パターン群の座標データ，前記新たなインデックス
及び当該パターン群を構成するパターンの形状データを
第１テーブルに登録すると共に当該新たなインデックス
及び前記抽出されたデータ群を第２テーブルに登録する
か、または当該パターン群の座標データ，前記引用した
インデックス及び当該パターン群を構成するパターンの
形状データを第１テーブルに登録するテーブル登録手段
と、を具備してなることを特徴とするマスクパターンのデー
タ処理装置。