JPH10321691A5 - - Google Patents
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- JPH10321691A5 JPH10321691A5 JP1997125203A JP12520397A JPH10321691A5 JP H10321691 A5 JPH10321691 A5 JP H10321691A5 JP 1997125203 A JP1997125203 A JP 1997125203A JP 12520397 A JP12520397 A JP 12520397A JP H10321691 A5 JPH10321691 A5 JP H10321691A5
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- Pending
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9125203A JPH10321691A (ja) | 1997-05-15 | 1997-05-15 | 基板搬送方法及び該方法を使用する露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9125203A JPH10321691A (ja) | 1997-05-15 | 1997-05-15 | 基板搬送方法及び該方法を使用する露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10321691A JPH10321691A (ja) | 1998-12-04 |
| JPH10321691A5 true JPH10321691A5 (https=) | 2005-04-07 |
Family
ID=14904462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9125203A Pending JPH10321691A (ja) | 1997-05-15 | 1997-05-15 | 基板搬送方法及び該方法を使用する露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10321691A (https=) |
Families Citing this family (5)
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|---|---|---|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP3193586B2 (ja) * | 1995-04-21 | 2001-07-30 | キヤノン株式会社 | 半導体露光装置 |
-
1997
- 1997-05-15 JP JP9125203A patent/JPH10321691A/ja active Pending
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