JPH10318943A - 異物検査装置 - Google Patents
異物検査装置Info
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- JPH10318943A JPH10318943A JP9129540A JP12954097A JPH10318943A JP H10318943 A JPH10318943 A JP H10318943A JP 9129540 A JP9129540 A JP 9129540A JP 12954097 A JP12954097 A JP 12954097A JP H10318943 A JPH10318943 A JP H10318943A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 異物の組成や厚さによらず異物検出が可能な
異物検査装置を提供する。 【解決手段】 被検査物ｓを通過するＸ線エネルギーを
異ならせて得られる２つの透過Ｘ線データを用いて、被
検査物中に含まれる異物を判定し検出する装置であり、
検出器２で検出された透過Ｘ線データを、被検査物ｓと
同等の組成の基準物質の厚さに変換し、２つの変換デー
タを比較するものであり、異物と被検査物で変換される
厚さが異なることを用いて、被検査物と異物との識別を
行う。異物検査装置１は、透過Ｘ線によって被検査物の
異物検出を行う異物検査装置において、異なるＸ線エネ
ルギーによる同一被検査物に対する２つの透過Ｘ線デー
タを検出する検出器２ａ，２ｂと、透過Ｘ線データを基
準物質の厚さに厚さ変換する変換器４と、基準物質の厚
さに変換した２つの変換データを用いて、被検査物と異
物の識別を行う判定器６を備える。
異物検査装置を提供する。 【解決手段】 被検査物ｓを通過するＸ線エネルギーを
異ならせて得られる２つの透過Ｘ線データを用いて、被
検査物中に含まれる異物を判定し検出する装置であり、
検出器２で検出された透過Ｘ線データを、被検査物ｓと
同等の組成の基準物質の厚さに変換し、２つの変換デー
タを比較するものであり、異物と被検査物で変換される
厚さが異なることを用いて、被検査物と異物との識別を
行う。異物検査装置１は、透過Ｘ線によって被検査物の
異物検出を行う異物検査装置において、異なるＸ線エネ
ルギーによる同一被検査物に対する２つの透過Ｘ線デー
タを検出する検出器２ａ，２ｂと、透過Ｘ線データを基
準物質の厚さに厚さ変換する変換器４と、基準物質の厚
さに変換した２つの変換データを用いて、被検査物と異
物の識別を行う判定器６を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線を用いて被検
査物内の異物の検出を行う異物検査装置に関する。
査物内の異物の検出を行う異物検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、食品や医薬品をはじめとし
て、各分野において透過Ｘ線による異物検査が行われて
いる。透過Ｘ線による異物検査は、Ｘ線源から被検査物
にＸ線を照射し、Ｘ線透過データによって被検査物中に
含まれる異物の検出を行うものである。これによって、
食品や医薬品中に含まれる異物の検出を行い、異物を含
んだ被検査物の排除処理を行うことができる。
て、各分野において透過Ｘ線による異物検査が行われて
いる。透過Ｘ線による異物検査は、Ｘ線源から被検査物
にＸ線を照射し、Ｘ線透過データによって被検査物中に
含まれる異物の検出を行うものである。これによって、
食品や医薬品中に含まれる異物の検出を行い、異物を含
んだ被検査物の排除処理を行うことができる。
【０００３】透過Ｘ線データを処理する方法は従来より
種々提案されており、食品のような得られる透過Ｘ線デ
ータが不均一な被検査物中に含まれる金属、石、ガラス
等の金属系異物を検出する方法として、Ｘ線硬化フィル
タリングを行う方法や、２つの異なるＸ線エネルギーで
透過Ｘ線データをとり、スケーリングした後サブトラク
ションを行う方法等が知られてる。
種々提案されており、食品のような得られる透過Ｘ線デ
ータが不均一な被検査物中に含まれる金属、石、ガラス
等の金属系異物を検出する方法として、Ｘ線硬化フィル
タリングを行う方法や、２つの異なるＸ線エネルギーで
透過Ｘ線データをとり、スケーリングした後サブトラク
ションを行う方法等が知られてる。
【０００４】図８〜図１０はＸ線硬化フィルタリングと
サブトラクションを組み合わせた従来の異物検査方法を
説明するための図である。図８において、内部に金属系
異物ａを含む被検査物ｓにＸ線を照射し、検出器２ａと
Ｘ線硬化フィルター２ｃを備えた検出器２ｂで透過Ｘ線
を検出する。フィルターを通過したＸ線は、図９に示す
ようにそのＸ線エネルギーのピーク位置が変化し、実効
エネルギーがシフトする。
サブトラクションを組み合わせた従来の異物検査方法を
説明するための図である。図８において、内部に金属系
異物ａを含む被検査物ｓにＸ線を照射し、検出器２ａと
Ｘ線硬化フィルター２ｃを備えた検出器２ｂで透過Ｘ線
を検出する。フィルターを通過したＸ線は、図９に示す
ようにそのＸ線エネルギーのピーク位置が変化し、実効
エネルギーがシフトする。
【０００５】この２つの検出器２ａ，２ｂで、図１０
（ａ）に示す異物ａを含む被検査物ｓの透過Ｘ線データ
を検出すると、図１０（ｂ）および図１０（ｃ）とな
る。一方の透過Ｘ線データを他方の透過Ｘ線データと同
一となるようにスケーリングし、それらをサブトラクシ
ョンすることにより、図１０（ｄ）に示すように異物を
検出する。
（ａ）に示す異物ａを含む被検査物ｓの透過Ｘ線データ
を検出すると、図１０（ｂ）および図１０（ｃ）とな
る。一方の透過Ｘ線データを他方の透過Ｘ線データと同
一となるようにスケーリングし、それらをサブトラクシ
ョンすることにより、図１０（ｄ）に示すように異物を
検出する。
【０００６】図１１〜図１３はＸ線硬化フィルターを用
いずに透過Ｘ線データをスケーリングした後サブトラク
ションを行う従来の異物検査方法を説明するための図で
ある。図１１において、内部に金属系異物ａを含む被検
査物ｓにエネルギーの異なるＸ線（高エネルギーＥh 、
低エネルギーＥl ）を照射し、検出器２ａ，検出器２ｂ
で透過Ｘ線を検出する。エネルギーの異なるＸ線は、図
１０に示すように実効エネルギーの中心値が異なってい
る。
いずに透過Ｘ線データをスケーリングした後サブトラク
ションを行う従来の異物検査方法を説明するための図で
ある。図１１において、内部に金属系異物ａを含む被検
査物ｓにエネルギーの異なるＸ線（高エネルギーＥh 、
低エネルギーＥl ）を照射し、検出器２ａ，検出器２ｂ
で透過Ｘ線を検出する。エネルギーの異なるＸ線は、図
１０に示すように実効エネルギーの中心値が異なってい
る。
【０００７】この２つの検出器２ａ，２ｂで、図１３
（ａ）に示す異物ｃを含む被検査物ｓの透過Ｘ線データ
を検出すると、図１３（ｂ）および図１３（ｃ）とな
る。照射Ｘ線のエネルギーの相違による検出出力の差を
キャンセルするために、前記Ｘ線硬化フィルタリングで
行ったと同様に、一方の透過Ｘ線データをスケーリング
し、その後サブトラクションによって両透過Ｘ線データ
の差を求め、図１３（ｄ）に示すように異物を検出す
る。
（ａ）に示す異物ｃを含む被検査物ｓの透過Ｘ線データ
を検出すると、図１３（ｂ）および図１３（ｃ）とな
る。照射Ｘ線のエネルギーの相違による検出出力の差を
キャンセルするために、前記Ｘ線硬化フィルタリングで
行ったと同様に、一方の透過Ｘ線データをスケーリング
し、その後サブトラクションによって両透過Ｘ線データ
の差を求め、図１３（ｄ）に示すように異物を検出す
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来の異物検査装置で
は、異物の組成や厚さによって異物検出が困難となると
いう問題点がある。Ｘ線硬化フィルタリングとサブトラ
クションを組み合わせた従来の異物検査方法では、透過
Ｘ線の検出出力と異物の厚さとの関係は、照射Ｘ線のエ
ネルギー強度によって異なる。図１４は透過Ｘ線の信号
強度と透過物の厚さの関係を示す図である。図１４にお
いて、透過Ｘ線の信号強度と透過物の厚さ間の特性は、
照射Ｘ線のエネルギー強度によって異なる。この特性に
おいて、一方の特性をシフトしてスケーリングを行うこ
とによって、ある厚さLaについて透過Ｘ線の信号強度を
一致させることができ、これによって、被検査物の像を
消去し異物のみを表示させることができる。
は、異物の組成や厚さによって異物検出が困難となると
いう問題点がある。Ｘ線硬化フィルタリングとサブトラ
クションを組み合わせた従来の異物検査方法では、透過
Ｘ線の検出出力と異物の厚さとの関係は、照射Ｘ線のエ
ネルギー強度によって異なる。図１４は透過Ｘ線の信号
強度と透過物の厚さの関係を示す図である。図１４にお
いて、透過Ｘ線の信号強度と透過物の厚さ間の特性は、
照射Ｘ線のエネルギー強度によって異なる。この特性に
おいて、一方の特性をシフトしてスケーリングを行うこ
とによって、ある厚さLaについて透過Ｘ線の信号強度を
一致させることができ、これによって、被検査物の像を
消去し異物のみを表示させることができる。
【０００９】しかしながら、ある透過厚さでサブトラク
ション後の出力が零となるようスケーリングを設定した
場合（図１０（ｂ），（ｃ））、被検査物の厚さが設定
した厚さと異なると（図１０（ｅ））、図１０（ｈ）に
示すように被検査物の信号が消えないために異物と被検
査物とを識別することが困難になる。
ション後の出力が零となるようスケーリングを設定した
場合（図１０（ｂ），（ｃ））、被検査物の厚さが設定
した厚さと異なると（図１０（ｅ））、図１０（ｈ）に
示すように被検査物の信号が消えないために異物と被検
査物とを識別することが困難になる。
【００１０】また、Ｘ線硬化フィルターを用いず、透過
Ｘ線データをスケーリングしてサブトラクションを行う
従来の方法（図１３（ｆ），（ｇ））においても同様に
図１３（ｈ）のように被検査物の信号が消えないため
に、異物をと被検査物の識別が困難になる。
Ｘ線データをスケーリングしてサブトラクションを行う
従来の方法（図１３（ｆ），（ｇ））においても同様に
図１３（ｈ）のように被検査物の信号が消えないため
に、異物をと被検査物の識別が困難になる。
【００１１】そこで、本発明は前記した従来の異物検査
装置の問題点を解決し、異物の組成や厚さによらず異物
検出が可能な異物検査装置を提供することを目的とす
る。
装置の問題点を解決し、異物の組成や厚さによらず異物
検出が可能な異物検査装置を提供することを目的とす
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の異物検査装置
は、被検査物を通過するＸ線エネルギーを異ならせて得
られる２つの透過Ｘ線データを用いて、被検査物中に含
まれる異物を判定し検出する装置であり、検出器で検出
された透過Ｘ線データを、被検査物と同等の元素を持つ
基準物質の厚さに変換し、２つの変換データを比較する
ものであり、異物と被検査物で変換される厚さが異なる
ことを用いて、被検査物と異物との識別を行うものであ
る。
は、被検査物を通過するＸ線エネルギーを異ならせて得
られる２つの透過Ｘ線データを用いて、被検査物中に含
まれる異物を判定し検出する装置であり、検出器で検出
された透過Ｘ線データを、被検査物と同等の元素を持つ
基準物質の厚さに変換し、２つの変換データを比較する
ものであり、異物と被検査物で変換される厚さが異なる
ことを用いて、被検査物と異物との識別を行うものであ
る。
【００１３】本発明の異物検査装置は、上記被検査物と
異物との識別を行うために、透過Ｘ線によって被検査物
の異物検出を行う異物検査装置において、異なるＸ線エ
ネルギーによる同一被検査物に対する２つの透過Ｘ線デ
ータを検出する検出器と、透過Ｘ線データを基準物質の
厚さに厚さ変換する変換器と、前記基準物質の厚さに変
換した２つの変換データを用いて、被検査物と異物の識
別を行う判定器を備えた構成とする。
異物との識別を行うために、透過Ｘ線によって被検査物
の異物検出を行う異物検査装置において、異なるＸ線エ
ネルギーによる同一被検査物に対する２つの透過Ｘ線デ
ータを検出する検出器と、透過Ｘ線データを基準物質の
厚さに厚さ変換する変換器と、前記基準物質の厚さに変
換した２つの変換データを用いて、被検査物と異物の識
別を行う判定器を備えた構成とする。
【００１４】本発明の異物検査装置によれば、被検査物
に対してＸ線を照射し、検出器で同一被検査物について
異なるＸ線エネルギーのＸ線が通過したときの２つの透
過Ｘ線データを検出する。この２つの透過Ｘ線データ
は、単一のＸ線源とフィルターとを組み合わせた構成、
あるいはＸ線エネルギーが異なる２つのＸ線源の構成等
により得ることができる。
に対してＸ線を照射し、検出器で同一被検査物について
異なるＸ線エネルギーのＸ線が通過したときの２つの透
過Ｘ線データを検出する。この２つの透過Ｘ線データ
は、単一のＸ線源とフィルターとを組み合わせた構成、
あるいはＸ線エネルギーが異なる２つのＸ線源の構成等
により得ることができる。
【００１５】検出器で検出した２つの透過Ｘ線データ
は、透過した物質の組成と厚さに依存している。変換器
は、被検査物と同等の元素を持つ基準物質について、そ
の厚さと透過Ｘ線データの値との関係を求めておき、検
出器で得られた２つの透過Ｘ線データを基準物質の厚さ
に変換する。２つの変換データは、同一被検査物につい
て基準物質の厚さに変換した値であるため、同様の元素
を持つ場合には同一の値となる。
は、透過した物質の組成と厚さに依存している。変換器
は、被検査物と同等の元素を持つ基準物質について、そ
の厚さと透過Ｘ線データの値との関係を求めておき、検
出器で得られた２つの透過Ｘ線データを基準物質の厚さ
に変換する。２つの変換データは、同一被検査物につい
て基準物質の厚さに変換した値であるため、同様の元素
を持つ場合には同一の値となる。
【００１６】これに対して、異物は基準物質と異なる元
素を持つため、異物の２つの変換データは異なる値とな
る。したがって、２つの変換データを比較することによ
って、被検査物と異物との識別を行うことができる。２
つの変換データの比較は、差を求めるサブトラクション
により行うことができる。
素を持つため、異物の２つの変換データは異なる値とな
る。したがって、２つの変換データを比較することによ
って、被検査物と異物との識別を行うことができる。２
つの変換データの比較は、差を求めるサブトラクション
により行うことができる。
【００１７】本発明の透過Ｘ線データを基準物質の厚さ
に変換する厚さ変換の一実施態様は、基準物質における
透過Ｘ線データと厚さとの関係をあらかじめ求めてお
き、検出器で検出した透過Ｘ線データを入力とし、対応
する厚さを出力するものである。
に変換する厚さ変換の一実施態様は、基準物質における
透過Ｘ線データと厚さとの関係をあらかじめ求めてお
き、検出器で検出した透過Ｘ線データを入力とし、対応
する厚さを出力するものである。
【００１８】本発明の透過Ｘ線データを基準物質の厚さ
に変換する厚さ変換の一実施態様は、基準物質における
透過Ｘ線データと厚さとの関係から、透過Ｘ線データの
対数値と厚さの関係をあらかじめ求めておき、透過Ｘ線
データを対数変換した後、透過Ｘ線データの対数値と厚
さの関係を用いて対応する厚さを出力するものである。
対数変換した透過Ｘ線データと厚さとの関係は、物質を
特定すれば直線関係で表せるため、対数変換した後透過
Ｘ線データを用いることによって、高い精度で厚さを求
めることができる。
に変換する厚さ変換の一実施態様は、基準物質における
透過Ｘ線データと厚さとの関係から、透過Ｘ線データの
対数値と厚さの関係をあらかじめ求めておき、透過Ｘ線
データを対数変換した後、透過Ｘ線データの対数値と厚
さの関係を用いて対応する厚さを出力するものである。
対数変換した透過Ｘ線データと厚さとの関係は、物質を
特定すれば直線関係で表せるため、対数変換した後透過
Ｘ線データを用いることによって、高い精度で厚さを求
めることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照しながら詳細に説明する。本発明の実施の形態の構
成例について、図１の本発明の異物検査装置を説明する
ための概略構成図を用いて説明する。図１において、異
物検査装置１は、Ｘ線を照射するＸ線源２３と、被検査
物ｓを通過したＸ線を検出して透過Ｘ線データを出力す
る検出器２ａ，２ｂと、検出器２ａ，２ｂの検出出力を
信号増幅する増幅器３ａ，３ｂと、増幅した透過Ｘ線デ
ータ信号を厚さデータに変換する変換器４ａ，４ｂと、
２つの厚さデータをサブトラクションして両厚さデータ
の差を求める差分器５と、差分器５の出力を基にして被
検査物内に含まれる異物を識別して、異物の存在を判定
する判定器６とを備え、さらに、被検査物ｓを移動させ
るベルト１０、およびベルト１０の駆動を制御するベル
ト制御部１１と、Ｘ線源２３のＸ線球に印加する電圧を
発生する高圧発生部２２と、高圧発生部２２を制御して
発生するＸ線のエネルギーを制御するＸ線制御部２１
と、判定器６の判定結果の入力やベルト制御部１１およ
びＸ線制御部２１の制御を行うシーケンス制御部３０を
備える。
参照しながら詳細に説明する。本発明の実施の形態の構
成例について、図１の本発明の異物検査装置を説明する
ための概略構成図を用いて説明する。図１において、異
物検査装置１は、Ｘ線を照射するＸ線源２３と、被検査
物ｓを通過したＸ線を検出して透過Ｘ線データを出力す
る検出器２ａ，２ｂと、検出器２ａ，２ｂの検出出力を
信号増幅する増幅器３ａ，３ｂと、増幅した透過Ｘ線デ
ータ信号を厚さデータに変換する変換器４ａ，４ｂと、
２つの厚さデータをサブトラクションして両厚さデータ
の差を求める差分器５と、差分器５の出力を基にして被
検査物内に含まれる異物を識別して、異物の存在を判定
する判定器６とを備え、さらに、被検査物ｓを移動させ
るベルト１０、およびベルト１０の駆動を制御するベル
ト制御部１１と、Ｘ線源２３のＸ線球に印加する電圧を
発生する高圧発生部２２と、高圧発生部２２を制御して
発生するＸ線のエネルギーを制御するＸ線制御部２１
と、判定器６の判定結果の入力やベルト制御部１１およ
びＸ線制御部２１の制御を行うシーケンス制御部３０を
備える。
【００２０】検出器２ａ，２ｂは、同一の被検査物に対
してＸ線エネルギーが異なる２つの透過Ｘ線データを得
る検出器である。この検出器は、図１に示す構成によう
に、スペクトル幅を有するＸ線エネルギーを出力するＸ
線源と、一方の検出器に軟Ｘ線をカットして検出するＸ
線実効エネルギーを高めるＸ線硬化フィルター（図示し
ていない）を備えた２つの検出器によって構成すること
ができる。また、スペクトル幅を有するＸ線エネルギー
を出力するＸ線源と、エネルギー感度が異なる２つの検
出器の構成とすることもできる。また、Ｘ線源を異なる
Ｘ線エネルギーを出力する２つのＸ線球管で構成した
り、検出器をエネルギー弁別が可能な１つの検出器で構
成することもできる。また、異なるＸ線エネルギーを交
互に出力する１つのＸ線源と１つの検出器で構成するこ
ともできる。
してＸ線エネルギーが異なる２つの透過Ｘ線データを得
る検出器である。この検出器は、図１に示す構成によう
に、スペクトル幅を有するＸ線エネルギーを出力するＸ
線源と、一方の検出器に軟Ｘ線をカットして検出するＸ
線実効エネルギーを高めるＸ線硬化フィルター（図示し
ていない）を備えた２つの検出器によって構成すること
ができる。また、スペクトル幅を有するＸ線エネルギー
を出力するＸ線源と、エネルギー感度が異なる２つの検
出器の構成とすることもできる。また、Ｘ線源を異なる
Ｘ線エネルギーを出力する２つのＸ線球管で構成した
り、検出器をエネルギー弁別が可能な１つの検出器で構
成することもできる。また、異なるＸ線エネルギーを交
互に出力する１つのＸ線源と１つの検出器で構成するこ
ともできる。
【００２１】なお、図７はＸ線エネルギーを出力する２
つのＸ線球と、各Ｘ線球から照射され被検査物を通過し
た透過Ｘ線を検出する２つの検出器の構成例を示してい
る。
つのＸ線球と、各Ｘ線球から照射され被検査物を通過し
た透過Ｘ線を検出する２つの検出器の構成例を示してい
る。
【００２２】Ｘ線制御部２１は、Ｘ線源が照射するＸ線
のエネルギーを調節したり、異なるＸ線エネルギーを切
り換えることができる。変換器４ａ，４ｂは透過Ｘ線デ
ータ信号を厚さデータに変換するものであり、あらかじ
め基準物質における透過Ｘ線データと厚さとの関係をあ
らかじめ求めておき、検出した被検査物ｓを通過した異
なるＸ線エネルギーによる２つの透過Ｘ線データを、そ
れぞれ基準物質の厚さにデータ変換する。厚さ変換した
値は、基準物質の厚さを指標とした比較が可能となる。
のエネルギーを調節したり、異なるＸ線エネルギーを切
り換えることができる。変換器４ａ，４ｂは透過Ｘ線デ
ータ信号を厚さデータに変換するものであり、あらかじ
め基準物質における透過Ｘ線データと厚さとの関係をあ
らかじめ求めておき、検出した被検査物ｓを通過した異
なるＸ線エネルギーによる２つの透過Ｘ線データを、そ
れぞれ基準物質の厚さにデータ変換する。厚さ変換した
値は、基準物質の厚さを指標とした比較が可能となる。
【００２３】図２は本発明の異物検査装置の動作を説明
するための図である。図２において、異物ａを含む被検
査物ｓ（図２（ａ））について、低エネルギーのＸ線と
高エネルギーのＸ線を照射して得られる透過信号強度を
検出すると、図２（ｂ）および図２（ｃ）の透過Ｘ線デ
ータが得られる。
するための図である。図２において、異物ａを含む被検
査物ｓ（図２（ａ））について、低エネルギーのＸ線と
高エネルギーのＸ線を照射して得られる透過信号強度を
検出すると、図２（ｂ）および図２（ｃ）の透過Ｘ線デ
ータが得られる。
【００２４】通常Ｘ線が物質を通過する間に減衰する減
衰の程度は、入射Ｘ線Ｉ0 の強度と物質のＸ線吸収係数
μと物質の厚さＬの関数であり、透過Ｘ線の強度Ｉは以
下の式で表される。
衰の程度は、入射Ｘ線Ｉ0 の強度と物質のＸ線吸収係数
μと物質の厚さＬの関数であり、透過Ｘ線の強度Ｉは以
下の式で表される。
【００２５】 Ｉ＝Ｉ0・ｅｘｐ（−μ・Ｌ） …（１） 上記式（１）および前記図１４に示すように、透過Ｘ線
の強度Ｉは入射するＸ線Ｉ0のエネルギーによって異な
る。
の強度Ｉは入射するＸ線Ｉ0のエネルギーによって異な
る。
【００２６】したがって、図２（ｂ）と図２（ｃ）にお
いて、透過Ｘ線データの内で被検査物ｓの同一位置の強
度を比較すると、低エネルギーＸ線の減衰率は高エネル
ギーＸ線の減衰率よりも大きいため、低エネルギーＸ線
の透過信号強度（図２（ｂ））は高エネルギーＸ線の透
過信号強度（図２（ｃ））より小さくなる。
いて、透過Ｘ線データの内で被検査物ｓの同一位置の強
度を比較すると、低エネルギーＸ線の減衰率は高エネル
ギーＸ線の減衰率よりも大きいため、低エネルギーＸ線
の透過信号強度（図２（ｂ））は高エネルギーＸ線の透
過信号強度（図２（ｃ））より小さくなる。
【００２７】これらの信号は図１４のごとくスケーリン
グまたはシフトだけでは特定の厚さの透過信号強度を同
一にするだけであり、全ての厚さに対して低エネルギー
Ｘ線のと高エネルギーＸ線の透過信号を同じ数値に変換
することができず、したがって、サブトラクションで消
し去ることが不可能となる。
グまたはシフトだけでは特定の厚さの透過信号強度を同
一にするだけであり、全ての厚さに対して低エネルギー
Ｘ線のと高エネルギーＸ線の透過信号を同じ数値に変換
することができず、したがって、サブトラクションで消
し去ることが不可能となる。
【００２８】そこで、低エネルギーＸ線による透過信号
強度と高エネルギーＸ線による透過信号強度を同一基準
で比較するために、厚さへの変換を行う。図３は、厚さ
変換を説明するための図である。図３において、高エネ
ルギーＸ線による厚さと透過信号強度の特性と低エネル
ギーＸ線による厚さと透過信号強度の特性を求めてお
き、２つの検出器で検出した透過信号の強度に対する厚
さＬａをそれぞれ求める。異物ａが存在しない被検査物
ｓの同一位置において、高エネルギーＸ線による透過信
号強度と低エネルギーＸ線による透過信号強度をそれぞ
れ厚さに変換すると、同一となる。
強度と高エネルギーＸ線による透過信号強度を同一基準
で比較するために、厚さへの変換を行う。図３は、厚さ
変換を説明するための図である。図３において、高エネ
ルギーＸ線による厚さと透過信号強度の特性と低エネル
ギーＸ線による厚さと透過信号強度の特性を求めてお
き、２つの検出器で検出した透過信号の強度に対する厚
さＬａをそれぞれ求める。異物ａが存在しない被検査物
ｓの同一位置において、高エネルギーＸ線による透過信
号強度と低エネルギーＸ線による透過信号強度をそれぞ
れ厚さに変換すると、同一となる。
【００２９】また、上記式（１）から、透過Ｘ線の強度
Ｉは物質のＸ線吸収係数μと物質の厚さＬに依存するた
め、図４の減衰曲線に示すように、透過Ｘ線の強度Ｉ1
が同一であっても、物質のＸ線吸収係数μが異なると厚
さＬ1，Ｌ2に相違が生じる。
Ｉは物質のＸ線吸収係数μと物質の厚さＬに依存するた
め、図４の減衰曲線に示すように、透過Ｘ線の強度Ｉ1
が同一であっても、物質のＸ線吸収係数μが異なると厚
さＬ1，Ｌ2に相違が生じる。
【００３０】本発明の異物検査装置は、厚さ変換におい
て、物質のＸ線吸収係数μが異なることによる厚さの違
いを利用して、被検査物と異物との識別を行う。
て、物質のＸ線吸収係数μが異なることによる厚さの違
いを利用して、被検査物と異物との識別を行う。
【００３１】そこで、透過信号強度を基準物質（Ｘ線吸
収係数μ0 ）の減衰曲線を用いて厚さに変換し、これに
よって被検査物と異物との識別を行う。例えば、被検査
物中に異物が含まれない場合には、厚さ変換後の厚さ変
換データは、前記図３に示す示すように、高エネルギー
Ｘ線によるものと低エネルギーＸ線によるものは基準物
質に対応した同一厚さに変換されるため、その差分をと
ると零となり、異物を含まないことの判定を行うことが
できる。
収係数μ0 ）の減衰曲線を用いて厚さに変換し、これに
よって被検査物と異物との識別を行う。例えば、被検査
物中に異物が含まれない場合には、厚さ変換後の厚さ変
換データは、前記図３に示す示すように、高エネルギー
Ｘ線によるものと低エネルギーＸ線によるものは基準物
質に対応した同一厚さに変換されるため、その差分をと
ると零となり、異物を含まないことの判定を行うことが
できる。
【００３２】また、被検査物中に異物が含まれている場
合には、厚さ変換後の厚さ変換データは、高エネルギー
Ｘ線および低エネルギーＸ線共に、異物の個所で基準物
質と異なる厚さに変換されるため、その差分をとると非
零となり、異物を含むことの判定を行うことができる。
合には、厚さ変換後の厚さ変換データは、高エネルギー
Ｘ線および低エネルギーＸ線共に、異物の個所で基準物
質と異なる厚さに変換されるため、その差分をとると非
零となり、異物を含むことの判定を行うことができる。
【００３３】なお、基準物質は、被検査物と同様の元
素、組成を持つ物質を用い、被検査物が食品の場合には
アクリル等を用いることができる。また、図４に示すよ
うな基準物質による透過Ｘ線強度と厚さとの関係は、基
準物質の複数の厚さに対して透過Ｘ線強度を測定し、高
次関数で近似した近似式の形態で記憶し、検出器の検出
出力をこの近似式で近似して求めることができる。な
お、薄い物質の場合には、低次の近似式（例えば、一次
関数）で近似することもできる。
素、組成を持つ物質を用い、被検査物が食品の場合には
アクリル等を用いることができる。また、図４に示すよ
うな基準物質による透過Ｘ線強度と厚さとの関係は、基
準物質の複数の厚さに対して透過Ｘ線強度を測定し、高
次関数で近似した近似式の形態で記憶し、検出器の検出
出力をこの近似式で近似して求めることができる。な
お、薄い物質の場合には、低次の近似式（例えば、一次
関数）で近似することもできる。
【００３４】図２（ｄ）および図２（ｅ）は、低エネル
ギーＸ線および高エネルギーＸ線による透過Ｘ線データ
を厚さ変換して得られる厚さを示している。この厚さデ
ータにおいて、被検査物が基準物質と同様のＸ線透過特
性を持つ場合には、同じ厚さとなり、基準物質と異なる
Ｘ線透過特性を持つ異物が存在する場合には、異なる厚
さとなる。
ギーＸ線および高エネルギーＸ線による透過Ｘ線データ
を厚さ変換して得られる厚さを示している。この厚さデ
ータにおいて、被検査物が基準物質と同様のＸ線透過特
性を持つ場合には、同じ厚さとなり、基準物質と異なる
Ｘ線透過特性を持つ異物が存在する場合には、異なる厚
さとなる。
【００３５】そこで、図２（ｄ）と図２（ｅ）の厚さデ
ータについて、サブトラクションによって差分を求める
と、図２（ｆ）に示すように、被検査物の厚さは零とな
り異物部分のみの厚さが検出される。
ータについて、サブトラクションによって差分を求める
と、図２（ｆ）に示すように、被検査物の厚さは零とな
り異物部分のみの厚さが検出される。
【００３６】前記図１で示す変換器４ａ，４ｂの厚さ変
換は、透過Ｘ線強度と厚さとの関係を用いて厚さに変換
する場合である。通常、透過Ｘ線強度と厚さとの間には
前記図４に示すように指数関数の関係がある。そのた
め、低い透過Ｘ線強度では、透過Ｘ線強度の変化に対し
て厚さの変化が小さくなり、正確な厚さ変換が難しくな
る。そこで、図５に示す構成によって、厚さ変換におい
て、透過Ｘ線強度を対数変換し、この対数値に対する厚
さを求め、これによって、低い透過Ｘ線強度においても
高い精度で厚さ変換を可能とする。
換は、透過Ｘ線強度と厚さとの関係を用いて厚さに変換
する場合である。通常、透過Ｘ線強度と厚さとの間には
前記図４に示すように指数関数の関係がある。そのた
め、低い透過Ｘ線強度では、透過Ｘ線強度の変化に対し
て厚さの変化が小さくなり、正確な厚さ変換が難しくな
る。そこで、図５に示す構成によって、厚さ変換におい
て、透過Ｘ線強度を対数変換し、この対数値に対する厚
さを求め、これによって、低い透過Ｘ線強度においても
高い精度で厚さ変換を可能とする。
【００３７】図５に示す構成は、変換器４の構成のみ異
なり、その他の構成は図１に示す構成と同様であるた
め、ここでは相違する構成部分のみを説明する。図５に
おいて、変換器４は、対数変換器４１と厚さ変換器４２
とを含み、対数変換器４１は透過Ｘ線強度Ｉに対して−
In（Ｉ／Ｉ0 ）を求める演算を行う変換器であり、厚さ
変換器４２は−In（Ｉ／Ｉ0 ）に対する厚さＬを求める
変換器である。この対数変換器４１と厚さ変換器４２と
を組み合わせることによって、透過Ｘ線強度Ｉに対して
−In（Ｉ／Ｉ0 ）は演算で求めることができ、−In（Ｉ
／Ｉ0 ）に対する厚さＬの関係はほぼ直線関係で表すこ
とができるため、低い透過Ｘ線強度においても高い精度
で厚さ変換が可能となる。なお、式（１）からは直線関
係になるはずであるが、実際にはＸ線が透過するに従っ
てＸ線実効エネルギーが高くなる現象により、一次直線
とは少し異なる特性を示す。
なり、その他の構成は図１に示す構成と同様であるた
め、ここでは相違する構成部分のみを説明する。図５に
おいて、変換器４は、対数変換器４１と厚さ変換器４２
とを含み、対数変換器４１は透過Ｘ線強度Ｉに対して−
In（Ｉ／Ｉ0 ）を求める演算を行う変換器であり、厚さ
変換器４２は−In（Ｉ／Ｉ0 ）に対する厚さＬを求める
変換器である。この対数変換器４１と厚さ変換器４２と
を組み合わせることによって、透過Ｘ線強度Ｉに対して
−In（Ｉ／Ｉ0 ）は演算で求めることができ、−In（Ｉ
／Ｉ0 ）に対する厚さＬの関係はほぼ直線関係で表すこ
とができるため、低い透過Ｘ線強度においても高い精度
で厚さ変換が可能となる。なお、式（１）からは直線関
係になるはずであるが、実際にはＸ線が透過するに従っ
てＸ線実効エネルギーが高くなる現象により、一次直線
とは少し異なる特性を示す。
【００３８】図６（ａ）は透過Ｘ線強度Ｉに対する−In
（Ｉ／Ｉ0 ）を示し、図６（ｂ）は−In（Ｉ／Ｉ0 ）に
対する厚さＬの関係を示している。例えば、図６におい
て、透過Ｘ線強度Ｉ1 に対しては対数値−In（Ｉ／Ｉ
1 ）を介して厚さＬ1 を得ることができ、透過Ｘ線強度
Ｉ2 に対しては対数値−In（Ｉ／Ｉ2 ）を介して厚さＬ
2 を得ることができる。
（Ｉ／Ｉ0 ）を示し、図６（ｂ）は−In（Ｉ／Ｉ0 ）に
対する厚さＬの関係を示している。例えば、図６におい
て、透過Ｘ線強度Ｉ1 に対しては対数値−In（Ｉ／Ｉ
1 ）を介して厚さＬ1 を得ることができ、透過Ｘ線強度
Ｉ2 に対しては対数値−In（Ｉ／Ｉ2 ）を介して厚さＬ
2 を得ることができる。
【００３９】なお、差分器に代えて、２つのデータの比
を求め、この比によって異物判定を行うことができる。
被検査物の場合の比は１の値となり、異物の場合の比は
１以外の値となる。上記実施形態によれば、レトルトや
冷凍食品等のＸ線透過データの分布が不均一の被検査物
においても、ガラスや石や鉄やアルミ等の金属系の異物
の検出能力を高め、異物判定を容易とすることができ
る。
を求め、この比によって異物判定を行うことができる。
被検査物の場合の比は１の値となり、異物の場合の比は
１以外の値となる。上記実施形態によれば、レトルトや
冷凍食品等のＸ線透過データの分布が不均一の被検査物
においても、ガラスや石や鉄やアルミ等の金属系の異物
の検出能力を高め、異物判定を容易とすることができ
る。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の異物検査
装置によれば、異物の組成や厚さによらず異物検出が可
能な異物検査装置を提供することができる。
装置によれば、異物の組成や厚さによらず異物検出が可
能な異物検査装置を提供することができる。
【図１】本発明の異物検査装置を説明するための概略構
成図である。
成図である。
【図２】本発明の異物検査装置の動作を説明するための
図である。
図である。
【図３】厚さ変換を説明するための図である。
【図４】透過Ｘ線の減衰曲線図である。
【図５】本発明の他の異物検査装置を説明するための概
略構成図である。
略構成図である。
【図６】対数変換を介した透過Ｘ線強度と厚さとの関係
を説明するための図である。
を説明するための図である。
【図７】本発明の他の異物検査装置を説明するための概
略構成図である。
略構成図である。
【図８】従来の異物検査方法を説明するため検出器の概
略構成図である。
略構成図である。
【図９】従来の異物検査方法を説明するためＸ線エネル
ギーの図である。
ギーの図である。
【図１０】従来の異物検査方法を説明するため検出出力
の図である。
の図である。
【図１１】他の従来の異物検査方法を説明するため検出
器の概略構成図である。
器の概略構成図である。
【図１２】他の従来の異物検査方法を説明するためＸ線
エネルギーの図である。
エネルギーの図である。
【図１３】他の従来の異物検査方法を説明するため検出
出力の図である。
出力の図である。
【図１４】透過Ｘ線の信号強度と透過物の厚さの関係を
示す図である。
示す図である。
１…異物検査装置、２…検出器、３…増幅器、４…変換
器、５…差分器、６…判定器、１０…ベルト、１１…ベ
ルト制御部、２１…Ｘ線制御部、２２…高圧発生部、２
３…Ｘ線源、３０…シーケンス制御部、ｓ…被検査物、
ａ，ｂ，ｃ…異物、４１…対数変換器、４２…厚さ変換
器。
器、５…差分器、６…判定器、１０…ベルト、１１…ベ
ルト制御部、２１…Ｘ線制御部、２２…高圧発生部、２
３…Ｘ線源、３０…シーケンス制御部、ｓ…被検査物、
ａ，ｂ，ｃ…異物、４１…対数変換器、４２…厚さ変換
器。
Claims (1)
- 【請求項１】 透過Ｘ線によって被検査物の異物検出を
行う異物検査装置において、異なるＸ線エネルギーによ
る同一被検査物に対する２つの透過Ｘ線データを検出す
る検出器と、前記透過Ｘ線データを基準物質の厚さに変
換する変換器と、前記基準物質の厚さに変換した２つの
変換データを用いて、被検査物と異物の識別を行う判定
器を備えたことを特徴とする異物検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9129540A JPH10318943A (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | 異物検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9129540A JPH10318943A (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | 異物検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10318943A true JPH10318943A (ja) | 1998-12-04 |
Family
ID=15012060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9129540A Pending JPH10318943A (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | 異物検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10318943A (ja) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1265065A2 (en) | 2001-06-04 | 2002-12-11 | Anritsu Corporation | X-ray foreign material detecting apparatus simultaneously detecting a plurality of x-rays having different amounts of energy |
| WO2007134512A1 (fr) * | 2006-05-19 | 2007-11-29 | Tsinghua University | Réseau de détection et dispositif comprenant ledit réseau |
| JP2009080030A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Ishida Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| JP2010091483A (ja) * | 2008-10-09 | 2010-04-22 | Anritsu Sanki System Co Ltd | 異物検出方法および装置 |
| WO2010055727A1 (ja) | 2008-11-11 | 2010-05-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出装置、放射線画像取得システム、放射線検査システム、及び放射線検出方法 |
| WO2010055728A1 (ja) | 2008-11-11 | 2010-05-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出装置、放射線画像取得システム及び放射線の検出方法 |
| JP2010210409A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線異物検出装置 |
| KR101223911B1 (ko) * | 2011-03-09 | 2013-01-25 | 주식회사 엑서스 | 디지털 디텍터를 이용한 ｘ선 검사 장치 및 ｘ선 검사 방법 |
| KR101223913B1 (ko) * | 2011-03-09 | 2013-01-25 | 주식회사 엑서스 | Ｘ선 검사 장치 및 ｘ선 검사 방법 |
| KR101231859B1 (ko) * | 2010-07-16 | 2013-02-08 | 한국원자력연구원 | 스테레오 χ-선 검색장치 |
| KR101228911B1 (ko) * | 2010-08-06 | 2013-02-15 | 라드텍주식회사 | 이중 에너지 ｘ-선 흡광분석을 이용한 ｘ-선 영상장치 |
| JP2013205123A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Rigaku Corp | 異種物質の検査装置及び異種物質の検査方法 |
| JP2013205338A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| US8670522B2 (en) | 2010-07-16 | 2014-03-11 | Korea Atomic Energy Research Institute | Stereo X-ray inspection apparatus and method for forming three-dimensional image through volume reconstruction of image acquired from the same |
| JP2017227541A (ja) * | 2016-06-23 | 2017-12-28 | 株式会社日立製作所 | 放射線撮像装置及び放射線撮像方法 |
| JP2018155754A (ja) * | 2017-03-17 | 2018-10-04 | 株式会社イシダ | Ｘ線検出装置 |
| WO2023277039A1 (ja) * | 2021-06-30 | 2023-01-05 | 株式会社堀場製作所 | 透過ｘ線検査装置、及び透過ｘ線検査方法 |
-
1997
- 1997-05-20 JP JP9129540A patent/JPH10318943A/ja active Pending
Cited By (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1265065A2 (en) | 2001-06-04 | 2002-12-11 | Anritsu Corporation | X-ray foreign material detecting apparatus simultaneously detecting a plurality of x-rays having different amounts of energy |
| EP1265065A3 (en) * | 2001-06-04 | 2005-01-05 | Anritsu Industrial Solutions Co.,Ltd. | X-ray foreign material detecting apparatus simultaneously detecting a plurality of x-rays having different amounts of energy |
| KR100495580B1 (ko) * | 2001-06-04 | 2005-06-16 | 안리츠 산키 시스템 가부시키가이샤 | Ｘ선 이물 검출 장치 및 ｘ선 이물 검출 방법 |
| US6973161B2 (en) | 2001-06-04 | 2005-12-06 | Anritsu Industrial Solutions Co., Ltd. | X-ray foreign material detecting apparatus simultaneously detecting a plurality of X-rays having different amounts of energy |
| WO2007134512A1 (fr) * | 2006-05-19 | 2007-11-29 | Tsinghua University | Réseau de détection et dispositif comprenant ledit réseau |
| JP2009080030A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Ishida Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| JP2010091483A (ja) * | 2008-10-09 | 2010-04-22 | Anritsu Sanki System Co Ltd | 異物検出方法および装置 |
| US8600005B2 (en) | 2008-11-11 | 2013-12-03 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation detection device, radiation image acquiring system, and method for detecting radiation |
| US8964939B2 (en) | 2008-11-11 | 2015-02-24 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation detection device, radiation image acquiring system, radiation inspection system, and radiation detection method |
| US8223922B2 (en) | 2008-11-11 | 2012-07-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation detection device, radiation image acquiring system, radiation inspection system, and radiation detection method |
| US8280005B2 (en) | 2008-11-11 | 2012-10-02 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation detection device, radiation image acquiring system, and method for detecting radiation |
| WO2010055728A1 (ja) | 2008-11-11 | 2010-05-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出装置、放射線画像取得システム及び放射線の検出方法 |
| US10393676B2 (en) | 2008-11-11 | 2019-08-27 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation detection device, radiation image acquiring system, radiation inspection system, and radiation detection method |
| US9594031B2 (en) | 2008-11-11 | 2017-03-14 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation detection device, radiation image acquiring system, radiation inspection system, and radiation detection method |
| EP3128315A1 (en) | 2008-11-11 | 2017-02-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation detection device, radiation image acquisition system, radiation inspection system, and radiation detection method |
| WO2010055727A1 (ja) | 2008-11-11 | 2010-05-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出装置、放射線画像取得システム、放射線検査システム、及び放射線検出方法 |
| JP2010210409A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線異物検出装置 |
| KR101231859B1 (ko) * | 2010-07-16 | 2013-02-08 | 한국원자력연구원 | 스테레오 χ-선 검색장치 |
| US8670522B2 (en) | 2010-07-16 | 2014-03-11 | Korea Atomic Energy Research Institute | Stereo X-ray inspection apparatus and method for forming three-dimensional image through volume reconstruction of image acquired from the same |
| KR101228911B1 (ko) * | 2010-08-06 | 2013-02-15 | 라드텍주식회사 | 이중 에너지 ｘ-선 흡광분석을 이용한 ｘ-선 영상장치 |
| KR101223911B1 (ko) * | 2011-03-09 | 2013-01-25 | 주식회사 엑서스 | 디지털 디텍터를 이용한 ｘ선 검사 장치 및 ｘ선 검사 방법 |
| KR101223913B1 (ko) * | 2011-03-09 | 2013-01-25 | 주식회사 엑서스 | Ｘ선 검사 장치 및 ｘ선 검사 방법 |
| JP2013205123A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Rigaku Corp | 異種物質の検査装置及び異種物質の検査方法 |
| JP2013205338A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| JP2017227541A (ja) * | 2016-06-23 | 2017-12-28 | 株式会社日立製作所 | 放射線撮像装置及び放射線撮像方法 |
| JP2018155754A (ja) * | 2017-03-17 | 2018-10-04 | 株式会社イシダ | Ｘ線検出装置 |
| WO2023277039A1 (ja) * | 2021-06-30 | 2023-01-05 | 株式会社堀場製作所 | 透過ｘ線検査装置、及び透過ｘ線検査方法 |
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