KR100495580B1 - X선 이물 검출 장치 및 x선 이물 검출 방법 - Google Patents
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Claims (10)
- 단일의 조사 시기에 소정의 X선 에너지량으로 X선을 조사하는 X선 발생부와,상기 X선 발생부로부터 단일의 조사 시기에 소정의 X선 에너지량으로 조사된 X선을 교차하도록 피검사물- 상기 피검사물은 순차로 제조되어 반송 중에 형상이 변동될 수 있는 피검사물을 포함함-을 소정의 속도로 순차로 반송하는 반송부와,상기 반송부에 의해서 상기 소정의 속도로 순차로 반송되는 상기 피검사물을 투과하는 상기 X선의 투과 방향을 따라 배치되고, 상기 반송부에 의해서 소정의 속도로 순차로 반송되는 상기 피검사물에 대해서 상기 X선 발생부로부터 상기 단일의 조사 시기에 소정의 X선 에너지량으로 조사된, 상기 피검사물을 투과한 투과 X선의 일부를 수신하며 또한, 상기 피검사물을 투과한 상기 투과 X선의 상기 일부를 이용해서 상기 투과 X선의 상기 일부가 갖는 제 1X선 에너지량에 대응한 제 1 전기 신호를 출력하는 제 1 센서 모듈과,상기 반송부에 의해서 상기 소정의 속도로 순차로 반송되는 상기 피검사물을 투과하는 상기 X선의 투과 방향에 따라서 상기 제 1 모듈의 하단에 배치되고, 상기 반송부에 의해서 소정의 속도로 순차로 반송되는 상기 피검사물에 대해서 상기 X선 발생부로부터 상기 단일의 조사 시기에 소정의 X선 에너지량으로 조사된, 상기 피검사물을 투과한 상기 투과 X선의 상기 일부를 제외한 잔여분의 투과 X선을 수신하고 또한, 상기 피검사물을 투과한 상기 X선의 상기 잔여분을 상기 제 1X선 에너지량과는 소정의 크기 만큼 다른 제 2X선 에너지량을 갖는 X선으로 변환하는 X선 에너지량 변환 수단과,상기 반송부에 의해서 상기 소정의 속도로 순차로 반송되는 상기 피검사물을 투과하는 상기 X선의 투과 방향에 따라서 상기 X선 에너지량 변환 수단의 하단에 배치되며, 상기 X선 에너지량 변환 수단에 의해서 변환된 상기 제 2X선 에너지량을 갖는 X선을 수신하고 또한, 상기 제 2X선 에너지량을 갖는 상기 X선을 이용하여 제 1 에너지량과는 다른 상기 제 2X선 에너지량에 대응한 제 2 전기 신호를 상기 제 1 센서 모듈로부터의 상기 제 1 전기 신호의 출력과 실질적으로 동시에 출력하는 제 2 센서 모듈을 구비하되,상기 제 1 및 제 2 센서 모듈로부터 동일한 피검사물의 동일 개소에 대해서 실질적으로 동일한 검출 시기에 출력되는 상기 제 1X선 에너지량 및 상기 제 1X선 에너지량과는 다른 제 2X선 에너지량에 각각 대응한 상기 제 1 전기 신호 및 제 2 전기 신호에 따라, 상기 반송부에 의해서 소정의 속도로 순차로 반송되는 상기 피검사물 중에 혼입된 이물의 유무를 반송 중에 상기 피검사물의 형상의 변동에 관계없이 고속이며 고정밀도로 검출 가능한X선 이물 검출 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 센서 모듈 및 상기 제 2 센서 모듈중의 적어도 하나의 센서 모듈은, 상기 피검사물을 투과한 상기 투과 X선의 상기 일부 또는 상기 일부를 제외한 상기 잔여분을 이용함으로써 상기 제 1X선 에너지량 및 상기 제 2X선 에너지량이 소정의 크기만큼 서로 상이하도록 만드는 X선 필터를 상기 X선 에너지량 변환 수단으로 갖는 X선 이물 검출 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 센서 모듈은,상기 반송부에 의한 상기 피검사물의 반송 방향에 직교하는 소정의 위치에 배치되며, 상기 피검사물을 투과한 상기 투과 X선의 상기 일부를 사용함으로써 상기 투과 X선의 상기 일부가 갖는 상기 제 1X선 에너지량에 대응하는 상기 제 1 전기 신호를 출력하는 제 1 센서 디바이스와,상기 제 1 센서 디바이스에 의해 수신된 상기 일부를 제외하고, 상기 피검사물을 투과한 상기 X선의 상기 잔여분을, 상기 X선의 투과 방향을 따라 상기 제 2 센서 모듈로 향하게 하는 수단을 갖는X선 이물 검출 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 제 2 센서 모듈은,상기 제 1 센서 모듈이 배치된 상기 소정의 위치에 대응하는 하단에 위치에 배치되며, 상기 제 1 센서 모듈에 의해 수신된 상기 일부를 제외하고, 상기 피검사물을 투과한 상기 X선의 상기 잔여분-상기 잔여분은 상기 제 1 센서 모듈로부터 상기 제 2 센서 모듈로 향함-을 상기 제 1X선 에너지량과 소정 크기만큼 상이한 상기 제 2X선 에너지량을 갖는 상기 X선으로 변환시키는 X선 필터를 상기 X선 에너지량 변환 수단으로 가지며,상기 X선 에너지량 변환 수단으로의 상기 X선 필터에 의해 변환된 상기 제 2X선 에너지량을 갖는 상기 X선을 수신하고, 상기 제 2X선 에너지량을 갖는 상기 X선을 이용하여 상기 제 2X선 에너지량에 대응하는 상기 제 2 전기 신호를, 상기 제 1 센서 모듈로부터의 상기 제 1 전기 신호 출력과 실질적으로 동시에 출력하는 제 2 센서 디바이스를 갖는X선 이물 검출 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 센서 모듈은,상기 피검사물을 투과한 상기 투과 X선의 상기 일부를 제 1 광으로 변환시키는 제 1 신틸레이터(a first scintillator)와, 상기 제 1 신틸레이터에 의해 변환된 상기 제 1 광을 수신하고 상기 제 1X선 에너지량에 대응하는 상기 제 1 전기 신호를 출력하는 제 1 수광 소자를 가지며,상기 제 1 센서 모듈에 의해 수신된 상기 일부를 제외하고 상기 피검사물을 투과한 상기 X선의 상기 잔여분을 상기 X선의 상기 투과 방향을 따라 상기 제 2 센서 모듈로 향하게 하는 수단을 갖는X선 이물 검출 장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 제 1 센서 모듈은 상기 제 1 신틸레이터와 상기 제 1 수광 소자 사이에 위치하며, 상기 제 1 신틸레이터에 의해 변환된 상기 제 1 광을 상기 수광 소자로 향하게 하는 광 반사기를 갖는 X선 이물 검출 장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 제 2 센서 모듈은,상기 제 1 센서 모듈에 의해 수신된 상기 일부를 제외하고, 상기 피검사물을 투과한 상기 X선의 상기 잔여분-상기 잔여분은 제 1 센서 모듈로부터 상기 제 2 센서 모듈로 향함-을 상기 제 1X선 에너지량과 소정 크기만큼 상이한 상기 제 2X선 에너지량을 갖는 상기 X선으로 변환시키는 X선 필터를 상기 X선 에너지량 변환 수단으로 가지며,상기 X선 필터에 의해 변환된, 상기 제 2X선 에너지량을 갖는 상기 제 2X선을 제 2 광으로 변환시키는 제 2 신틸레이터와,상기 제 2 신틸레이터에 의해 변환된 상기 제 2 광을 수신하고, 상기 제 2X선 에너지량에 대응하는 상기 제 2 전기 신호를 상기 제 1 수광 소자로부터의 상기 제 1 전기 신호 출력과 실질적으로 동시에 출력하는 제 2 수광 소자를 갖는X선 이물 검출 장치.
- X선 이물을 검출하는 방법에 있어서,단일의 조사 시기에 소정의 X선 에너지량으로 X선을 조사하는 단계와,단일의 조사 시기에 소정의 X선 에너지 량으로 조사된 X선을 교차하도록 피검사물- 상기 피검사물은 순차로 제조되어 반송 중에 형상이 변동될 수 있는 피검사물을 포함함-을 소정의 속도로 순차로 반송하는 단계와,소정의 속도로 순차로 반송되는 상기 피검사물에 대해서 상기 X선 발생부로부터 상기 단일의 조사 시기에 소정의 X선 에너지 양으로 조사된, 상기 피검사물을 투과한 투과 X선의 일부를 수신하며 또한, 상기 피검사물을 투과하는 상기 X선의 투과 방향을 따라 배치된 제 1 센서 모듈에 의해, 상기 피검사물을 투과한 상기 투과 X선의 상기 일부를 이용해서 상기 투과 X선의 상기 일부가 갖는 제 1X선 에너지량에 대응한 제 1 전기 신호를 출력하는 단계와,상기 소정의 속도로 순차로 반송되는 상기 피검사물을 투과하는 상기 X선의 투과 방향에 따라서 상기 제 1 센서 모듈의 하단에 배치되는 X선 에너지량 변환 수단에 의하여, 상기 반송부에 의하여 소정 속도로 순차로 반송되는 상기 피검사물에 대해 단일 조사 시기에 소정의 X선 에너지량으로 조사된, 상기 피검사물을 투과한 상기 투과 X선의 상기 일부를 제외한 상기 투과 X선 상기 잔여분을 수신하며, 상기 피검사물을 투과한 상기 X선의 상기 잔여분을 상기 제 1X선 에너지량과 소정 크기만큼 다른 제 2X선 에너지량을 갖는 X선으로 변환하는 단계와,상기 소정의 속도로 순차로 반송되는 상기 피검사물을 투과하는 상기 X선의 투과 방향에 따라서 상기 X선 에너지량 변환 수단의 하단에 배치되는 제 2 센서 모듈에 의하여, 상기 X선 에너지량 변환 수단에 의해서 변환된 상기 제 2X선 에너지량을 갖는 상기 X선을 수신하고 또한, 상기 제 2X선 에너지량을 갖는 상기 X선을 이용하여 제 2X선 에너지량에 대응하는 제 2 전기 신호를 상기 제 1 센서 모듈로부터의 상기 제 1 전기 신호 출력과 실질적으로 동시에 출력하는 단계와,상기 제 1 및 제 2 센서 모듈로부터 동일한 피검사물의 동일 개소에 대해서 실질적으로 동일한 검출 시기에 출력되는, 상기 제 1X선 에너지량 및 상기 제 1X선 에너지량과는 다른 제 2X선 에너지량에 각각 대응한 상기 제 1 전기 신호 및 제 2 전기 신호에 따라, 소정의 속도로 순차로 반송되는 상기 피검사물 중에 혼입된 이물의 유무를 반송 중에 상기 피검사물의 형상의 변동에 관계없이 고속이며 고정밀도로 검출 가능한X선 이물 검출 방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 센서 모듈중의 적어도 하나의 센서 모듈에 상기 X선 에너지 변환 수단으로 제공되는 X선 필터에 의해, 상기 피검사물을 투과하는 상기 X선의 상기 일부를 제외한 잔여분 또는 상기 일부를 이용함으로써 상기 제 1X선 에너지량과 상기 제 2X선 에너지량을 소정 크기만큼 서로 상이하게 하는 단계를 더 구비하는 X선 이물 검출 방법.
- X선 이물을 검출하는 방법에 있어서,단일의 조사 시기에 소정의 X선 에너지량으로 X선을 조사하는 단계와,단일의 조사 시기에 소정의 X선 에너지 량으로 조사된 상기 X선을 교차하도록 피검사물- 상기 피검사물은 순차로 제조되어 반송 중에 형상이 변동될 수 있는 피검사물을 포함함-을 소정의 속도로 순차로 반송하는 단계와,소정의 속도로 순차로 반송되는 상기 피검사물에 대해서 상기 단일의 조사 시기에 소정의 X선 에너지 양으로 조사되는, 상기 피검사물을 투과한 상기 투과 X선의 일부를 제 1 광으로 변환시키는 단계와,상기 제 1 광을 수신하고, 상기 투과 X선의 상기 일부가 갖는 제 1X선 에너지량에 대응하는 제 1 전기 신호를 출력하는 단계와,소정의 속도로 순차로 반송되는 상기 피검사물에 대해서 상기 단일의 조사 시기에 소정의 X선 에너지 양으로 조사되는 상기 피검사물을 투과한 상기 투과 X선의 잔여분을 상기 제 1X선 에너지량과 소정 크기만큼 상이한 제 2X선 에너지량을 갖는 X선으로 변환하는 단계와,상기 제 2X선 에너지량을 갖는 상기 X선을 제 2 광으로 변환하는 단계와,상기 제 2 광을 수신하고, 상기 제 2X선 에너지량에 대응하는 제 2 전기 신호를 상기 제 1 전기 신호와 실질적으로 동시에 출력하는 단계를 구비하며,실질적으로 동일한 검출 시간에 상기 동일한 피검사물의 동일 개소에 대하여 출력되는, 상기 제 1X선 에너지량, 및 상기 제 1X선 에너지량과 상이한 상기 제 2X선 에너지량에 각각 대응하는 상기 제 1 전기 신호 및 상기 제 2 전기 신호에 따라, 소정의 속도로 순차로 반송되는 상기 피검사물에 혼합된 이물의 존재 여부를 반송 중에 상기 피검사물의 형상의 변동에 관계없이 고속이며 고정밀도로 검출 가능한X선 이물 검출 방법.
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