JPH10206352A - Ｘ線異物検査装置 - Google Patents
Ｘ線異物検査装置Info
- Publication number
- JPH10206352A JPH10206352A JP4455297A JP4455297A JPH10206352A JP H10206352 A JPH10206352 A JP H10206352A JP 4455297 A JP4455297 A JP 4455297A JP 4455297 A JP4455297 A JP 4455297A JP H10206352 A JPH10206352 A JP H10206352A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- image
- inspected
- inspection
- camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 55
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 15
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 206010047571 Visual impairment Diseases 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 235000011194 food seasoning agent Nutrition 0.000 description 1
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構成が簡単で被検査物内に混入する各種の異
物を高速でかつ精度よく検出できるようにする。 【解決手段】 被検査物にＸ線を照射するＸ線源と、こ
の被検査物をＸ線が照射され位置に搬送する搬送手段
と、該被検査物を透過したＸ線を受け透視画像を可視画
像に変換する蛍光板と、該蛍光板に得られた可視画像を
撮像し電気信号に変換する撮像カメラと、この撮像カメ
ラからの電気信号を受け異物検出のための画像処理を行
なう画像処理装置から構成される。また、蛍光板に得ら
れた可視画像を反射させて撮像カメラに与える回転可能
の反射手段と、この反射手段を被検査物の移動と同期し
て回転させる駆動手段とを設け、撮像カメラの露光時間
を長く設定したことを特徴とする。
物を高速でかつ精度よく検出できるようにする。 【解決手段】 被検査物にＸ線を照射するＸ線源と、こ
の被検査物をＸ線が照射され位置に搬送する搬送手段
と、該被検査物を透過したＸ線を受け透視画像を可視画
像に変換する蛍光板と、該蛍光板に得られた可視画像を
撮像し電気信号に変換する撮像カメラと、この撮像カメ
ラからの電気信号を受け異物検出のための画像処理を行
なう画像処理装置から構成される。また、蛍光板に得ら
れた可視画像を反射させて撮像カメラに与える回転可能
の反射手段と、この反射手段を被検査物の移動と同期し
て回転させる駆動手段とを設け、撮像カメラの露光時間
を長く設定したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線を利用して各
種の製品、例えば食料品や薬品等などに混入している異
物を自動的に検出するためのＸ線異物検査装置に関し、
更に詳しくは、被検査物がベルトコンベア等により高速
で搬送される途中において、精度よく異物を検出するこ
とのできるＸ線異物検査装置に関する。。
種の製品、例えば食料品や薬品等などに混入している異
物を自動的に検出するためのＸ線異物検査装置に関し、
更に詳しくは、被検査物がベルトコンベア等により高速
で搬送される途中において、精度よく異物を検出するこ
とのできるＸ線異物検査装置に関する。。
【０００２】
【従来の技術】食品工業や製薬工業において生産される
製品は、飲食されたり人体に投与されるため、製品中に
異物が混入することは許されない。このために、従来よ
り、この種の製品の製造ラインには、非破壊で製品中に
異物が混入しているか否かを検出するための検査装置が
設置されている。これまでの検査装置として、主として
電磁検査方式とＸ線検査方式とがある。
製品は、飲食されたり人体に投与されるため、製品中に
異物が混入することは許されない。このために、従来よ
り、この種の製品の製造ラインには、非破壊で製品中に
異物が混入しているか否かを検出するための検査装置が
設置されている。これまでの検査装置として、主として
電磁検査方式とＸ線検査方式とがある。
【０００３】電磁検査方式によるものは、被検査物中に
存在する異物による電磁変化を検出するものであって、
検査装置全体が安価に構成できる特徴があり、大規模の
製造ラインのみならず中小規模の製造ラインまで広く導
入されている。一方、Ｘ線検出方式による検査装置は、
Ｘ線源からのＸ線を被検査物に照射し、そこを透過した
Ｘ線量をＸ線画像センサにより検出し、画像処理して異
物を検出するような構成となっている。ここで、Ｘ線画
像センサとしては、光増倍菅とＸ線テレビジョンカメラ
を組み合わせたものや、Ｘ線ラインセンサ等が用いられ
る。
存在する異物による電磁変化を検出するものであって、
検査装置全体が安価に構成できる特徴があり、大規模の
製造ラインのみならず中小規模の製造ラインまで広く導
入されている。一方、Ｘ線検出方式による検査装置は、
Ｘ線源からのＸ線を被検査物に照射し、そこを透過した
Ｘ線量をＸ線画像センサにより検出し、画像処理して異
物を検出するような構成となっている。ここで、Ｘ線画
像センサとしては、光増倍菅とＸ線テレビジョンカメラ
を組み合わせたものや、Ｘ線ラインセンサ等が用いられ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、電磁検
査方式は、強磁性体の金属異物が混入されている場合は
検出精度がよいが、異物が非磁性体の金属であったり、
非金属であったりすると、その混入を精度よく検出する
ことができないという問題点がある。また、調味料食品
のように塩分、水分を多量に含んでいると、電界電導に
より食品自体が導体化されているので、異物が混入して
いなくとも異物があるように誤って検出する等の欠点が
あった。また、Ｘ線検出方式による検査装置は、Ｘ線テ
レビジョンカメラやＸ線ラインセンサ等を用いるため
に、鮮明な画像を得るためにはカメラやセンサの露光時
間を長くとらなくてはならず、被検査物がコンベア等に
より高速に搬送されるような場合、高い精度で異物を検
出することができないという問題点がある。また、装置
全体が高価になるために一般の製造ラインに採用される
に至っていない。
査方式は、強磁性体の金属異物が混入されている場合は
検出精度がよいが、異物が非磁性体の金属であったり、
非金属であったりすると、その混入を精度よく検出する
ことができないという問題点がある。また、調味料食品
のように塩分、水分を多量に含んでいると、電界電導に
より食品自体が導体化されているので、異物が混入して
いなくとも異物があるように誤って検出する等の欠点が
あった。また、Ｘ線検出方式による検査装置は、Ｘ線テ
レビジョンカメラやＸ線ラインセンサ等を用いるため
に、鮮明な画像を得るためにはカメラやセンサの露光時
間を長くとらなくてはならず、被検査物がコンベア等に
より高速に搬送されるような場合、高い精度で異物を検
出することができないという問題点がある。また、装置
全体が高価になるために一般の製造ラインに採用される
に至っていない。
【０００５】従って本発明が解決しようとする課題は、
Ｘ線検出方式を採用するものであって、高速で移動する
被検査物についても混入する異物を精度良く検出できる
安価なＸ線異物検査装置を提供することを目的とする。
Ｘ線検出方式を採用するものであって、高速で移動する
被検査物についても混入する異物を精度良く検出できる
安価なＸ線異物検査装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明では、被検査物にＸ線を照射するＸ線
源と、該被検査物をＸ線が照射され位置に搬送する搬送
手段と、該被検査物を透過したＸ線を受け透視画像を可
視画像に変換する蛍光板と、該蛍光板に得られた可視画
像を撮像し電気信号に変換する撮像カメラと、この撮像
カメラからの電気信号を受け異物検出のための画像処理
を行なう画像処理装置からなるＸ線異物検査装置であ
る。また、蛍光板に得られた可視画像を反射させて撮像
カメラに与える回転可能の反射手段と、この反射手段を
被検査物の移動と同期して回転させる駆動手段とを設
け、撮像カメラの露光時間を長く設定したことを特徴と
するＸ線異物検査装置である。
るために、本発明では、被検査物にＸ線を照射するＸ線
源と、該被検査物をＸ線が照射され位置に搬送する搬送
手段と、該被検査物を透過したＸ線を受け透視画像を可
視画像に変換する蛍光板と、該蛍光板に得られた可視画
像を撮像し電気信号に変換する撮像カメラと、この撮像
カメラからの電気信号を受け異物検出のための画像処理
を行なう画像処理装置からなるＸ線異物検査装置であ
る。また、蛍光板に得られた可視画像を反射させて撮像
カメラに与える回転可能の反射手段と、この反射手段を
被検査物の移動と同期して回転させる駆動手段とを設
け、撮像カメラの露光時間を長く設定したことを特徴と
するＸ線異物検査装置である。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図１は、本発明に係るＸ線異物検査装置の一
例を示す構成ブロック図である。図において、１はＸ線
発生源で、例えばクーリッジ管やガスＸ線管等が使用で
き、電気的にＸ線の照射を制御できるようになってい
る。２は被検査物で、ベルトコンベア３上に載置されて
連続的に搬送されている。ベルトコンベア３の途中に
は、Ｘ線発生源１が設置され搬送されてくる被検査物２
にＸ線が照射できるようになっている。４は蛍光板で、
ベルトコンベア３を挟んでＸ線発生源１に対峙するよう
に設置されており、被検査物２を透過したＸ線の像を可
視像に変換する。
説明する。図１は、本発明に係るＸ線異物検査装置の一
例を示す構成ブロック図である。図において、１はＸ線
発生源で、例えばクーリッジ管やガスＸ線管等が使用で
き、電気的にＸ線の照射を制御できるようになってい
る。２は被検査物で、ベルトコンベア３上に載置されて
連続的に搬送されている。ベルトコンベア３の途中に
は、Ｘ線発生源１が設置され搬送されてくる被検査物２
にＸ線が照射できるようになっている。４は蛍光板で、
ベルトコンベア３を挟んでＸ線発生源１に対峙するよう
に設置されており、被検査物２を透過したＸ線の像を可
視像に変換する。
【０００８】５は蛍光板４に表れた可視像を反射させる
回転可能の鏡（反射手段）で、ここではベルトコンベア
３の搬送方向と直交する軸を回転軸とするようなってい
る。鏡５は回転軸を中心としてモータ６のような駆動手
段により、被検査物２の移動速度、すなわち、ベルトコ
ンベア３の搬送速度と同期して回転するように構成され
ている。
回転可能の鏡（反射手段）で、ここではベルトコンベア
３の搬送方向と直交する軸を回転軸とするようなってい
る。鏡５は回転軸を中心としてモータ６のような駆動手
段により、被検査物２の移動速度、すなわち、ベルトコ
ンベア３の搬送速度と同期して回転するように構成され
ている。
【０００９】７は例えばＣＣＤを用いた撮像カメラで、
蛍光板４に表れた可視像を鏡５を介してカメラ内に結像
させ、ビデオ信号に変換する。撮像カメラ７からのビデ
オ信号は、画像処理装置８に送られここで信号処理され
て被検査物２内の異物が検出演算される。この検出演算
としては、例えば被検査物２に異物のない状態で得られ
る蛍光板４の可視像をあらかじめメモリに記憶させてお
き、この時の可視像と検査すべき被検査物が順次搬送さ
れた状態で得られる各可視像とを比較することにより異
物の混入の有無が検出できる。
蛍光板４に表れた可視像を鏡５を介してカメラ内に結像
させ、ビデオ信号に変換する。撮像カメラ７からのビデ
オ信号は、画像処理装置８に送られここで信号処理され
て被検査物２内の異物が検出演算される。この検出演算
としては、例えば被検査物２に異物のない状態で得られ
る蛍光板４の可視像をあらかじめメモリに記憶させてお
き、この時の可視像と検査すべき被検査物が順次搬送さ
れた状態で得られる各可視像とを比較することにより異
物の混入の有無が検出できる。
【００１０】このように構成された装置の動作を次に説
明する。被検査物２は、ベルトコンベア２に載せられて
次々に搬送され、Ｘ線発生源１が設置されている検査位
置部分を通過する。Ｘ線発生源１は、被検査物２が所定
の検査位置部分を通過するタイミングを、図示していな
い例えば光センサ等により検出し、Ｘ線を被検査物２に
向けて照射する。被検査物２に照射されたＸ線は、被検
査物２、ベルトコンベア３をそれぞれ透過し、蛍光板４
に到達する。ここで、被検査物２内に異物が混入してい
る場合、そこを通過するＸ線は減衰することとなり、蛍
光板４に表れるＸ線透視画像中に異物の存在が認められ
る。
明する。被検査物２は、ベルトコンベア２に載せられて
次々に搬送され、Ｘ線発生源１が設置されている検査位
置部分を通過する。Ｘ線発生源１は、被検査物２が所定
の検査位置部分を通過するタイミングを、図示していな
い例えば光センサ等により検出し、Ｘ線を被検査物２に
向けて照射する。被検査物２に照射されたＸ線は、被検
査物２、ベルトコンベア３をそれぞれ透過し、蛍光板４
に到達する。ここで、被検査物２内に異物が混入してい
る場合、そこを通過するＸ線は減衰することとなり、蛍
光板４に表れるＸ線透視画像中に異物の存在が認められ
る。
【００１１】蛍光板４に表れたＸ線透視画像は、鏡５で
反射され撮像カメラ７により捕らえられる。撮像カメラ
やからのビデオ信号は画像処理装置８に送られ、ここで
信号処理され異物検出演算が行われて、異物の混入の有
無が判定される。なお、以上の説明は、Ｘ線の照射時間
を短時間とし蛍光板４に残像時間が長いものを使用した
場合であって、鏡５は静止状態で蛍光板５に表れるＸ線
透視画像を撮像カメラ７に入射させる場合を想定した。
本発明は、以上のような使用においても実現可能である
が、次に、鏡５を被検査物２の移動と同期して回転させ
て、より鮮明な画像を得ることもできる。
反射され撮像カメラ７により捕らえられる。撮像カメラ
やからのビデオ信号は画像処理装置８に送られ、ここで
信号処理され異物検出演算が行われて、異物の混入の有
無が判定される。なお、以上の説明は、Ｘ線の照射時間
を短時間とし蛍光板４に残像時間が長いものを使用した
場合であって、鏡５は静止状態で蛍光板５に表れるＸ線
透視画像を撮像カメラ７に入射させる場合を想定した。
本発明は、以上のような使用においても実現可能である
が、次に、鏡５を被検査物２の移動と同期して回転させ
て、より鮮明な画像を得ることもできる。
【００１２】図２は、鏡５を被検査物２の移動と同期し
て回転させ鮮明な画像を得る場合の鏡の駆動方法を説明
するための図である。ベルトコンベア３により矢印Ｂ方
向に搬送された被検査物２は、検査位置に到達した後、
微小な時間Δｔ経過すると２−１に示す位置から２−２
に示す位置に僅かであるが移動する。ここで、鏡５の回
転中心から位置２−１とを結ぶ線分と、位置２−２を結
ぶ線分のなす角度をＣとし、この間Ｘ線発生源１からＸ
線が連続して被検査物２に照射されるようにしてある。
また、蛍光板４はここでは残像時間の短いものが用いら
れていて、被検査物４が移動するのに合わせて蛍光板に
表れるＸ線透視画像も移動するようになっている。
て回転させ鮮明な画像を得る場合の鏡の駆動方法を説明
するための図である。ベルトコンベア３により矢印Ｂ方
向に搬送された被検査物２は、検査位置に到達した後、
微小な時間Δｔ経過すると２−１に示す位置から２−２
に示す位置に僅かであるが移動する。ここで、鏡５の回
転中心から位置２−１とを結ぶ線分と、位置２−２を結
ぶ線分のなす角度をＣとし、この間Ｘ線発生源１からＸ
線が連続して被検査物２に照射されるようにしてある。
また、蛍光板４はここでは残像時間の短いものが用いら
れていて、被検査物４が移動するのに合わせて蛍光板に
表れるＸ線透視画像も移動するようになっている。
【００１３】鏡５は、被検査物２の移動とともに矢印Ａ
方向に回転しており、微小な時間Δｔだけ経過する間に
変化する鏡５の回転角度Ｄは、前記の各線分がなす角度
Ｃに対して、以下のような関係に設定してある。 Ｄ＝Ｃ／２ ……（１）
方向に回転しており、微小な時間Δｔだけ経過する間に
変化する鏡５の回転角度Ｄは、前記の各線分がなす角度
Ｃに対して、以下のような関係に設定してある。 Ｄ＝Ｃ／２ ……（１）
【００１４】ベルトコンベア３の搬送速度を一定とする
と、角度Ｃの時間変化は一定の値となる。従って、
（１）式の関係を満たしながら鏡５を一定の角速度で回
転させることで、蛍光板４に表れ角度Ｃの間移動する被
検査物２のＸ線透視画像を、撮像カメラ７内の一定の位
置に常に結像させることができる。
と、角度Ｃの時間変化は一定の値となる。従って、
（１）式の関係を満たしながら鏡５を一定の角速度で回
転させることで、蛍光板４に表れ角度Ｃの間移動する被
検査物２のＸ線透視画像を、撮像カメラ７内の一定の位
置に常に結像させることができる。
【００１５】これにより、撮像カメラ７に対する露光時
間を長くすることができ、コントラストの明るい鮮明な
画像を得ることができる。従って、この実施例によれ
ば、被検査物の搬送速度を高速にしても高い精度で被検
査物に混入した異物を検出することができる。
間を長くすることができ、コントラストの明るい鮮明な
画像を得ることができる。従って、この実施例によれ
ば、被検査物の搬送速度を高速にしても高い精度で被検
査物に混入した異物を検出することができる。
【００１６】なお、上記の各実施例では被検査物の搬送
手段としてベルトコンベアを用いたものであるが、他の
搬送手段を用いてもよい。また、Ｘ線発生手段１から照
射されるＸ線の強さを、被検査物の種類や大きさ等によ
り自動的に変更するような構成を付加してもよい。
手段としてベルトコンベアを用いたものであるが、他の
搬送手段を用いてもよい。また、Ｘ線発生手段１から照
射されるＸ線の強さを、被検査物の種類や大きさ等によ
り自動的に変更するような構成を付加してもよい。
【００１７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、被検査物を通過したＸ線を蛍光板に到達させ、そ
こで透過Ｘ線画像を得るようにするとともに、得られた
透過Ｘ線画像を撮像カメラで捕らえるようにしたもの
で、簡単な構成で異物の検出を行なうことができる。ま
た、蛍光板に得られた透過Ｘ線画像を被検査物の移動と
同期して回転する反射手段を介して撮像カメラに結像さ
せることにより、撮像カメラ内での露光時間を長くする
ことができ、より鮮明な画像を得ることができるように
なって、高速で移動する被検査物に対しても混入する異
物を精度良く検出することができる。
れば、被検査物を通過したＸ線を蛍光板に到達させ、そ
こで透過Ｘ線画像を得るようにするとともに、得られた
透過Ｘ線画像を撮像カメラで捕らえるようにしたもの
で、簡単な構成で異物の検出を行なうことができる。ま
た、蛍光板に得られた透過Ｘ線画像を被検査物の移動と
同期して回転する反射手段を介して撮像カメラに結像さ
せることにより、撮像カメラ内での露光時間を長くする
ことができ、より鮮明な画像を得ることができるように
なって、高速で移動する被検査物に対しても混入する異
物を精度良く検出することができる。
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】反射手段である鏡を駆動する場合の駆動方法を
説明するための図である。
説明するための図である。
１ Ｘ線発生源 ２ 被検査物 ３ ベルトコンベア ４ 蛍光板 ５ 反射手段 ６ モータ ７ 撮像カメラ ８ 画像処理装置 ９ モータ制御装置
Claims (2)
- 【請求項１】被検査物にＸ線を照射するＸ線源と、該被
検査物をＸ線が照射され位置に搬送する搬送手段と、該
被検査物を透過したＸ線を受け透視画像を可視画像に変
換する蛍光板と、該蛍光板に得られた可視画像を撮像し
電気信号に変換する撮像カメラと、この撮像カメラから
の電気信号を受け異物検出のための画像処理を行なう画
像処理装置からなるＸ線異物検査装置。 - 【請求項２】蛍光板に得られた可視画像を反射させて撮
像カメラに与える回転可能の反射手段と、この反射手段
を被検査物の移動と同期して回転させる駆動手段とを設
け、撮像カメラの露光時間を長く設定したことを特徴と
する請求項１のＸ線異物検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4455297A JPH10206352A (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | Ｘ線異物検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4455297A JPH10206352A (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | Ｘ線異物検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10206352A true JPH10206352A (ja) | 1998-08-07 |
Family
ID=12694675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4455297A Pending JPH10206352A (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | Ｘ線異物検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10206352A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001077653A1 (en) * | 2000-04-06 | 2001-10-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray inspection system |
| KR100495580B1 (ko) * | 2001-06-04 | 2005-06-16 | 안리츠 산키 시스템 가부시키가이샤 | Ｘ선 이물 검출 장치 및 ｘ선 이물 검출 방법 |
| US7416462B2 (en) * | 1998-09-09 | 2008-08-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Glass substrate processing method and material removal process using x-ray fluorescence |
-
1997
- 1997-01-23 JP JP4455297A patent/JPH10206352A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7416462B2 (en) * | 1998-09-09 | 2008-08-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Glass substrate processing method and material removal process using x-ray fluorescence |
| WO2001077653A1 (en) * | 2000-04-06 | 2001-10-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray inspection system |
| US6876722B2 (en) | 2000-04-06 | 2005-04-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray inspection system |
| US7356117B2 (en) | 2000-04-06 | 2008-04-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray inspection system |
| KR100495580B1 (ko) * | 2001-06-04 | 2005-06-16 | 안리츠 산키 시스템 가부시키가이샤 | Ｘ선 이물 검출 장치 및 ｘ선 이물 검출 방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5136157A (en) | Apparatus for the three-dimensional inspection of hollow bodies with plural mirror for generating plural partial images | |
| JP6266574B2 (ja) | Ｘ線検査方法及びｘ線検査装置 | |
| CA2227815A1 (en) | Apparatus and method for automated visual inspection of objects | |
| JP2000039407A (ja) | Ｘ線異物検査装置 | |
| JP2806415B2 (ja) | 異物検査装置 | |
| WO2022044430A1 (ja) | 異物検査装置 | |
| JP2002168802A (ja) | Ｘ線異物検出装置 | |
| JP2002310946A (ja) | 放射線検査装置 | |
| JPH10206352A (ja) | Ｘ線異物検査装置 | |
| JP2000241368A (ja) | Ｘ線検査装置 | |
| JP2000108316A (ja) | 品質検査装置 | |
| JP2001013261A (ja) | 異物検出方法及びその装置 | |
| JPH03150452A (ja) | びん内容液中の異物検出装置 | |
| JP2008107347A (ja) | ガラス容器を検査する装置 | |
| JP2008107348A (ja) | ガラス容器を検査するための機械 | |
| JP2002048727A (ja) | 海苔の外観検査装置 | |
| JP2004340606A (ja) | Ｘ線異物位置検出装置及び方法 | |
| JPH02113375A (ja) | 傷検出装置 | |
| JP2000111501A (ja) | 透視検査装置 | |
| JP2005010036A (ja) | 外観検査装置 | |
| JPH0587742A (ja) | 立体的対象物の観測装置 | |
| JP5358743B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JPH04297858A (ja) | 欠陥検出器 | |
| JP2002048726A (ja) | 光散乱透過シートの欠点検査装置 | |
| JPS5871442A (ja) | 検びん装置 |