SU1281883A1 - Устройство дл измерени толщины покрытий - Google Patents
Устройство дл измерени толщины покрытий Download PDFInfo
- Publication number
- SU1281883A1 SU1281883A1 SU853888830A SU3888830A SU1281883A1 SU 1281883 A1 SU1281883 A1 SU 1281883A1 SU 853888830 A SU853888830 A SU 853888830A SU 3888830 A SU3888830 A SU 3888830A SU 1281883 A1 SU1281883 A1 SU 1281883A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- output
- detector
- input
- detectors
- discriminator
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени толщины покрытий с помощью отраженного излучени . Целью изобретени вл етс повышение точнос ти измерени толщины многокомпонентного покрыти за счет устранени вли ни параметров подложки и геометрии измерени на результат путем введени третьего детектора 7, мишени 8, блока 9 логарифмировани .i Источник 1 и детекторы 2, 5 и 7 пред ставл ют собой измерительный преобразователь . Сигналы с детекторов 2 и 7 поступают на блок 4 делени , откуда через блок 9 логарифмировани -на один из входов блока 10 умножени на второй вход которого поступает сигнал с детектора 5. В цепи детекторов 2 и 5 включены дискриминатора 3 и 6, 1 ил. (Л д X 00 00 со X X /J fi
Description
11
-Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени толщины покрытий с помощью отраженного излучени .
Цель изобретени - повь иение точности измерени толщины многокомпонентного покрыти за счет устранени вли ни параметров подложки и геометрии измерени на результат.
На чертеже приведена блок-схема устройства дл измерени толщины покрытий ,
Устройство содержит источник 1 излучени , первый детектор 2, первый дискриминатор 3, включенный на выходе детектора 2, блок 4 делени , первый вход которого подключен к выходу дискриминатора 3, второй детектор 5, второй дискриминатор 6, включенный на выходе детектора 5, третий детектор 7, выход которого подключен к второму входу блока 4 делени , мишень 8, установленную с возможностью перемещени относительно источника 1 и третьего детектора 7, блок 9 логарифмировани , вход которого подключен к выходу блока делени , блок 10 умножени , первый вход которого подключен к выходу блока 9 логарифмировани , второй вход - к выходу второго дискриминатора 6; и регистратор I I, включенный на выходе блока 10 умножени .
Устройство работает следующим образом .
Измерительный преобразователь в составе жестко закрепленных источника 1, детекторов 2, 5 и 7 устанавливают на поверхность образца из материала подложки 12, Излучение источника 1 с энергией, дл которой минимальна толщина контролируемого покрыти 13 превышает толщину сло насыщени , например рентгеновской трубки БЗ-3 с напр жением на аноде 15 кВ направл ют на поверхность образца. Характеристическое излучение элемента подложки (например, вольфрама в стали) и рассе нное излучение регистрируютс детектором 2, Дискриминатор 3 пропускает импульсы, соответствующие квантам характеристического излучени элемента материала подложки . Детектор 7 регистрирует рассе нное излучение от мишени 8, установленной с возможностью перемещени относительно источника 1 и детектора 7 Перемещают мишень 8 до тех пор, пока
сигнал на выходе блок-а 9 логарифмировани не будет равным нулю. После измерени на образце материала подложки осуществл ют контроль толщины покрыти на контролируемом изделии. Дл этого устройство устанавливают на поверхность издели со стороны покрыти 13, Направл ют излучение источника 1 на контролируемое изделие и мишень 8, регистрируют отраженное излучение детекторами 2, 5 и 7, Электрический сигнал на выходе дискриминатора 3 соответствует квантам характеристического излучени элемента подложки и зависит от состава и толщины контролируемого покрыти , геометрических условий измерени и состава подложки
((,(ПЬ, ,
и, (1)
5
0
0
5
где и - электрический сигнал на выходе дискриминатора 3 при отсутствии покрыти , завис щий от геометрии измерени и состава подложки; h - толщина покрыти ; р - коэффициент поглощени материалом покрыти излучени источника;
f-j - коэффи1щент поглощени материалом покрыти характеристического излучени элемента подложки.
Электрический сигнал на выходе де- 5 тектора 7 равен U, что достигнуто предварительным измерением на образце материала подножки. Электрические сигналы с выхода дискриминатора 3 и детектора 7 поступают на входы блока 4 делени , выход которого подключен к входу блока 9 логарифмировани . Электрический сигнал на выходе блока 9 логарифмировани зависит только от толщины и состава покрыти и не зависит от геометрии измерений и состава ПОДЛО/ КИ
U,(r ,+)Jh .(2)
Электрический сигнал на выходе дискриминатора 6, соединенного с детектором 5, зависит от поглощающих свойств материала покрыти и определ етс интенсивностью обратно рассе нного излучени источника 1, материалом покрыти , вл ющегос слоем насыщени дл излучени источника
,
(3)
где k - коэффициент, определ емый
функцией рассе ни излучени контро,гщруем 1м изделием и преобразованием зарег истри- рованных квантов в элек1ри- ческий сигнал;
коэффидаент поглощени рассе нного излучени материалом покрыти .
Электрические сигналы с выхода блока 9 логарифмировани и дискриминатора 6 поступают на входы блока 10 умножени , на входе которого элект рический сигнал
ь (4)
/
и.
h
+/.3
не зависит от состава материала покрыти , так как отношение ( не зависит от состава покрыти вследствие того, что дл низкоэнергетического излучени отношение / и отношение j/(- , с точностью не хуже 1% посто нно дл всех элементов , примен емых в многокомпонентных покрыти х.
Как видно из анализа электрических сигналов, описываемых сортноше- .ни ми (I) - ( , введение третьего детектора и мишени позвол ет устранить вли ние параметров подложки
281883
(количество элемента, характеристическое излучение которого регистрируетс первым детектором 2) и геометрии измерени на результат контрол многокомпонентного покрыти .
O
5
0
5
0
Claims (1)
- Формула изобретениУстройство дл измерени толщины покрытий, содержащее источник излучени , первый и второй детекторы, первый и второй дискриминаторы, соединенные с выходами детекторов, блок делени , первый вход которого подключен к выходу первого дискриминатора , и регистратор, отличающеес тем, что, с целью повышени точности измерени толщины многокомпонентного покрыти , оно снабжено третьим детектором, подключенным к второму входу блока делени , мишенью, установленной с возможностью перемещени относительно источника и третьего детектора, блоком логарифмировани ,.включенным на выходе блока делени , и блоком умножени , первый вход которого подключен к выходу блока логарифмировани , второй вход г к выходу второго дискриминатора , а выход соединен с входом ре- ристратора.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853888830A SU1281883A1 (ru) | 1985-04-29 | 1985-04-29 | Устройство дл измерени толщины покрытий |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853888830A SU1281883A1 (ru) | 1985-04-29 | 1985-04-29 | Устройство дл измерени толщины покрытий |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1281883A1 true SU1281883A1 (ru) | 1987-01-07 |
Family
ID=21174794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU853888830A SU1281883A1 (ru) | 1985-04-29 | 1985-04-29 | Устройство дл измерени толщины покрытий |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1281883A1 (ru) |
-
1985
- 1985-04-29 SU SU853888830A patent/SU1281883A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Патент US № 3848125, кл. G 01 В 15/02, 1974. Авторское свидетельство СССР № 1010463, кл. G 01 В 15/02, 1983. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3197638A (en) | Backscatter flaw detection system | |
| US3435220A (en) | Dual channel radiation gauge for identifying material components | |
| US3032654A (en) | Emission spectrometer | |
| US3210545A (en) | Method of compensating a radiation gauge for unwanted changes in measured material | |
| US2806957A (en) | Apparatus and method for spectral analysis | |
| US3730627A (en) | Signal processor | |
| US4016419A (en) | Non-dispersive X-ray fluorescence analyzer | |
| US4785401A (en) | Method and device for determining an energy-independent X-ray attenuation factor in a region of an object | |
| US2999937A (en) | X-ray apparatus | |
| US3183351A (en) | Measurement of fluid density by detecting radiating scattered from selected portionsalong the primary beam path | |
| SU1281883A1 (ru) | Устройство дл измерени толщины покрытий | |
| US2939012A (en) | Non-destructive testing | |
| US3452193A (en) | Moisture content measuring method and apparatus | |
| US4037099A (en) | Fluorescent X-ray sulfur analyzer | |
| US2968729A (en) | Apparatus for direct measurement of mass per unit area | |
| US3409774A (en) | Method of determining the thickness of a coating on a metal base and method of calibrating the thickness gauge | |
| US5204889A (en) | Apparatus for measuring thickness of metals on a rolling mill | |
| US3046402A (en) | Multiple thickness times density gamma gauge | |
| US4025788A (en) | Radiometric analyzer | |
| US4180735A (en) | Method and device for measuring the particle size in a slurry or a flow of material | |
| US3848125A (en) | Coating thickness gauge | |
| JPS5582006A (en) | Measuring method for thickness | |
| US4817122A (en) | Apparatus for radiation analysis | |
| SU754274A1 (ru) | Способ рентгеноспёктрального флуоресцентного анализа вещества в легком наполнителе 1 | |
| Mayer et al. | A scintillation counter technique for the X-ray determination of bone mineral content |