JP2906606B2 - 薄膜試料の定性分析法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明は、薄膜試料の定性分析法に関する。

【従来の技術】

通常、EPMA等のＸ線分析装置では、電子の照射によっ
て試料から放射されるＸ線の波長を測定し、そのＸ線が
どの元素の特性Ｘ線であるかを調べることにより、定性
分析を行っていた。しかし、薄膜の場合には、特性Ｘ線
が発生する深さ即ち層が問題となる。しかし、Ｘ線の発
生深さを測定する方法は、従来は無かった。このことは
特に薄膜多層膜試料の定性分析を行う場合には、各層の
定性分析はできないと云うことになる。

【発明が解決しようとする課題】

本発明は、薄膜試料の定性分析ができるようにするこ
とを目的とする。

【課題を解決するための手段】

電子線マイクロアナライザにおいて、加速電圧を変化
させて電子ビームを試料に照射し、試料から放射される
Ｘ線の中で、加速電圧を上げた時にＸ線強度比が低くな
る特性Ｘ線を検出し、検出した特性Ｘ線に対応する元素
を、薄膜試料の薄膜構成元素として判定することで定性
分析を行うようにした。

【作 用】

薄膜試料に電子を照射させて、特性Ｘ線を検出する場
合に、照射電子の入射速度が速い程、薄膜元素の特性Ｘ
線強度比（＝薄膜試料の特性Ｘ線強度／標準試料の特性
Ｘ線強度）は弱くなることが判明してきた。これは照射
電子の入射速度が速くなると、照射電子の数に対して薄
膜層を透過する電子の数が増加するので、相対的に薄膜
層から発生する特性Ｘ線強度が弱くなるためであると考
えられる。 本発明は、上記の発想により、各元素の特性Ｘ線強度
を測定して、照射電子の加速電圧を上昇させた時に、検
出強度が低下するＸ線の波長を調べ、その波長のＸ線に
対応する元素を、薄膜元素とみなすことで、薄膜試料の
定性分析を行おうとするものである。 また、Ｘ線強度が変化する時の電子の加速電圧を調べ
ることで、薄膜層の厚さをある程度推測することもでき
る。

【実施例】

図に本発明の一実施例のフローチャートを示す。まず
最初に、薄膜試料の薄膜と基板を含めた成分元素の定性
分析を、電子の加速電圧E₁で行い、成分元素を判明させ
る（ア）。次に、判明した成分元素ｉの標準試料を、上
記と同じ加速電圧E₁でＸ線分析を行い、各元素ｉのＸ線
強度比Ｋ（i,E₁）を算出する（イ）。加速電圧を上記Ｘ
線分析のときのE₁より高いE₂に設定し、薄膜試料と標準
試料のＸ線分析を行い、各元素ｉのＸ線強度比Ｋ（i,
E₂）を算出する（ウ）。Ｘ線強度比Ｋ（i,E₁）とＸ線強
度比Ｋ（i,E₂）を比較し、Ｋ（i,E₁）＞Ｋ（i,E₂）かど
うか判定する（エ）。Ｋ（i,E₁）＞Ｋ（i,E₂）であれ
ば、元素ｉを、薄膜の構成元素と判定する（オ）。Ｋ
（i,E₁）＞Ｋ（i,E₂）でないならば、元素ｉを、基板の
構成元素と判定する（カ）。判定結果を表示する
（キ）。上記実施例は、単層膜における定性分析の説明
であるが、多層膜の定性分析では、各元素毎に、加速電
圧を変化させてＸ線強度比を測定し、Ｘ線強度比が変化
する加速電圧値を測定し、加速電圧値によって、元素が
存在する層を判定する。

【効 果】

本発明によれば、Ｘ線強度比が、加速電圧の変化によ
ってどのように変化するかを測定することにより、元素
が薄膜層か基板層のどちらに含まれるかを判定すること
ができるようになったことで、薄膜試料の定性分析が可
能になった。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例のフローチャートである。

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Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電子線照射によるＸ線分光分析において、
   加速電圧を変化させて電子ビームを試料に照射し、試料
   から放射されるＸ線の中で、加速電圧を上げた時にＸ線
   強度比（＝測定試料によるＸ線強度／標準試料によるＸ
   線強度）が低くなる特性Ｘ線を検出し、検出した特性Ｘ
   線に対応する元素を、薄膜試料の薄膜構成元素として判
   定することを特徴とした薄膜試料の定性分析法。