JPH10277453A - 塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】レジストコータを構成するマイクロロッドバー
式塗布装置でガラス基板の表面にレジスト液を塗布する
際に、塗布部と非塗布部の境界部分をきれいに塗り分け
るようにし、とくに塗布部の端部においてレジスト液の
塗布量が過剰になるのを防止する。 【解決手段】塗布装置の塗布ローラを構成するマイクロ
ロッドバー２４の両端にそれぞれテーパ部４２を構成
し、両側のテーパ部４２の中間部分間にワイヤ４３を巻
装するようにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は塗布装置に係り、と
くに断面が円形のローラの外周部に巻線を施した塗布ロ
ーラによってワークに対して塗布を行なうようにした塗
布装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばＬＣＤカラーフィルタを製作する
場合には、所定の大きさのガラス基板を用意し、このガ
ラス基板の表面にレジストをコーティングする必要があ
る。ガラス基板に対するレジストのコーティングは、レ
ジストコータによって行なわれるようになっている。搬
送されたガラス基板はピンチローラと下端部が液槽に浸
されたマイクロロッドバーから成る塗布ローラによって
挟着されながら送られ、このときに塗布ローラの巻線の
部分に保持されているレジスト液がガラス基板の下面に
塗布されるようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このようなレジストコ
ータを構成するマイクロロッド式塗布装置において、レ
ジスト液の塗布幅はローラ上に施された巻線部分の長さ
によって決定される。すなわち塗布される領域の端部は
巻線の終端に対応している。従って巻線の終端において
巻線のある部分と巻線のない部分との境界が形成される
ようになる。そして巻線の終端の側方には巻線がない部
分が存在するために、塗布領域の側端側において塗布量
が多くなる。このことからベーキング後のレジスト膜の
膜厚が当該部分において局部的に厚くなり、良好な現像
条件を出すことができないという問題がある。

【０００４】このような巻線の終端における塗布量の増
加に伴う不具合を解決するために、従来はスクレーパや
空気吹付けによって余分のレジスト液を除去するように
していた。しかし塗布ローラの巻線の端部には線自体に
よる端面の段付きがあるために、その部分の過剰なレジ
スト液は固定スクレーパでは除去することができない。
また空気を吹付けて余分のレジスト液を除去する方法
は、微小な部分の液を任意にコントロールすることがで
きないために、塗布端部におけるレジスト液の塗布の理
想的な制御にはほど遠いものであある。このようなこと
から、過剰な膜厚部分が側端に残ってしまい、現像条件
の設定が非常に微妙になっている。

【０００５】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであって、塗布ローラによって塗布する際におけ
る塗布領域の幅方向の端部と非塗布部との間の境界部の
近辺における塗布量が均一になるように塗布が行なわれ
るようにした塗布装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、断面が円形の
ローラの外周部に巻線を施した塗布ローラによってワー
クに対して塗布を行なうようにした塗布装置において、
前記塗布ローラの軸線方向の両端にそれぞれテーパ部を
形成するようにしたことを特徴とする塗布装置に関する
ものである。

【０００７】塗布領域の終端と対応する位置から前記塗
布ローラが外側端に向けてテーパ部になっていてよい。
また前記塗布ローラの一方のテーパ部の中間位置から他
方のテーパ部の中間位置まで巻線を施すようにしてよ
い。あるいはまた前記テーパ部に施された巻線に付着し
た液体をかき落すためのスクレーパを前記塗布ローラの
両側に設けるようにしてよい。

【０００８】巻線を施した塗布ローラの少なくとも下端
部が液槽内に浸されるとともに、前記塗布ローラの上部
にピンチローラが配され、前記巻線を施した塗布ローラ
と前記ピンチローラとによってワークを挟着して前記塗
布ローラの巻線間に付着した液体をワークに塗布するよ
うにしてよい。また前記ワークがガラス基板であって前
記巻線を施した塗布ローラによってレジスト液を前記ガ
ラス基板に塗布するようにしてよい。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施の形態に係
る塗布装置を用いたレジストコータの全体の構成を示す
ものであって、このレジストコータは供給側搬送部１１
と排出側搬送部１２とを備えている。供給側搬送部１１
は図２に示すように両側にフレーム１３を備え、フレー
ム１３によって支軸１４を介してフリーローラ１５が回
転自在に支持されている。排出側搬送部１２についても
同様にフレーム１７を備え、このフレーム１７に支軸１
８を介してフリーローラ１９が回転自在に支持されるよ
うになっている。

【００１０】上記供給側搬送部１１と排出側搬送部１２
との間にはレジスト液の塗布装置が配されている。この
塗布装置は液槽２３を備え、その中にレジスト液が収容
されている。そして液槽２３によって大半が浸漬される
ようにマイクロロッドバーから成る塗布ローラ２４が配
されている。そしてマイクロロッドバー２４の上面との
間に所定のギャップを有するようにピンチローラ２５が
配されており、マイクロロッドバー２４とピンチローラ
２５と液槽２３とによって塗布装置が構成されている。

【００１１】塗布装置の前方側にはストッパ２６が配さ
れている。ストッパ２６はアクチュエータ２７によって
ガラス基板６０の搬送方向に対して出没自在に構成され
ている。

【００１２】図３はとくに塗布装置の構成をより詳細に
示したものであって、ピンチローラ２５は両側の支軸の
部分が軸受３１によって回転自在に支持されている。ま
たピンチローラ２５はサーボモータ３２の出力軸３３に
直結されるようになっている。

【００１３】これに対して下側のマイクロロッドバー２
４は液槽２３の両側に配された軸受３６によって回転自
在に支持されるとともに、マイクロロッドバーから成る
塗布ローラ２４の一方の軸がサーボモータ３７の出力軸
３８に直結されるようになっている。

【００１４】塗布ローラを構成するマイクロロッドバー
２４は図３および図４に示すように、断面が円形のロー
ラの外周部にワイヤ４３を巻回するようにしたものであ
る。とくにこのマイクロロッドバー２４はその幅方向の
両端にそれぞれテーパ部４２を備え、このテーパ部４２
の中間部分から反対側のテーパ部４２の中間部分まで上
記ワイヤ４３が巻回されるようになっている。なお図４
から明らかなように、テーパ部４２の始点はガラス基板
６０に対するレジスト液の塗布端部に対応している。

【００１５】そしてこのようなテーパ部４２上のワイヤ
４３に付着したレジスト液を除去するためにスクレーパ
４７が図５に示すように備えられている。スクレーパ４
７は図６〜図８に示すように、その上面に上記テーパ部
４２のテーパ角度に対応する突条４８を備えている。ま
たその下面には一対の雌ねじ孔４９を備え、これらの雌
ねじ孔４９にねじ込まれるボルト５０によってスクレー
パ４７が固定されるようになっている。

【００１６】このように本実施の形態に係るレジストコ
ータは図１において、レジスト液が塗布されるガラス基
板６０は供給側搬送部１１のフリーローラ１３によって
支持されながら図１中左方より移動され、塗布部の前方
に位置するストッパ２６によって一端停止される。そし
てこの後に所定のタイミングでアクチュエータ２７によ
ってストッパ２６が下降され、ガラス基板６０が塗布部
の塗布ローラ２４とピンチローラ２５とによって挟着さ
れながらレジストコートが行なわれる。そしてこの後に
排出側搬送部１２によって下面にレジスト液が塗布され
たガラス基板６０が排出されるようになっている。

【００１７】ここでレジストコータは、図３に示すよう
に塗布ローラを構成するマイクロロッドバー２４と表面
にゴムライニングを施したピンチローラ３０とを備えて
いる。そして両者の間隔がガラス基板６０の厚さよりも
僅かに小さくしてあり、両者がそれぞれ図１および図３
において矢印で示す方向に回転することによって、ガラ
ス基板６０は図３において紙面に垂直に表側から裏側に
向って搬送されるようになっている。

【００１８】ガラス基板６０はピンチローラ２５によっ
てマイクロロッドバー２４の円筒部上のワイヤ４３に押
付けられている。なおマイクロロッドバー２４は液槽２
３内においてその中間部分よりもやや上の位置まで浸さ
れており、マイクロロッドバー２４のワイヤ４３は回転
によってその表面がレジスト液で濡れており、またワイ
ヤ４３間の凹部にレジスト液が溜るようになっている。

【００１９】ガラス基板６０が送られてマイクロロッド
バー２４が転動すると、マイクロロッドバー２４のガラ
ス基板６０の下面に接している多数の点およびその近傍
のレジスト液はガラス基板６０に転写される。このよう
な機構で塗布されるために、ワイヤ４３の太さや巻き方
および巻芯の直径によって塗布量が変化することにな
る。

【００２０】本実施の形態においては、マイクロロッド
バー２４は上述の如くその両端にテーパ部４２を備え、
このテーパ部４２上に巻かれたワイヤ４３はガラス基板
６０に接触しなくなる。従ってガラス基板６０に対する
転写がなくなる。塗布の端部を詳細に説明すると、ワイ
ヤ４３の太さによる塗布部および非塗布部の境界の乱れ
は当然存在するが、その幅は０．１ｍｍ程度であるため
に、実用上ほとんど問題がない。

【００２１】テーパ部４２に付着しているレジスト液
が、毛細管現象のためにマイクロロッドバー２４とガラ
ス基板６０との接触部に吸寄せられて境界線付近の塗布
量が過剰になる場合がある。そこでこの実施の形態にお
いては、図６〜図８に示すようなスクレーパ４７を設け
るようにし、このスクレーパ４７の上面が傾斜している
突条４８の部分をテーパ部４２の外周部に巻かれたワイ
ヤ４３に接触させ、これによってテーパ部４２の部分に
付着したレジスト液をかき落すようにしている。従って
境界部付近における塗布量が過剰になることが確実に防
止される。

【００２２】このように本実施の形態に係るレジストコ
ータにおいては、塗布部が一様な太さであって、その両
外側をテーパ部にしたマイクロロッドバー２４を用いる
ようにし、このマイクロロッドバー２４上における巻線
を構成するワイヤ４３は、一方のテーパ部４２の中央部
付近を始点にし、マイクロロッドバー２４の塗布部から
反対側のテーパ部４２の中間部付近にまで巻装するよう
にしている。

【００２３】しかも上記マイクロロッドバー２４のテー
パ部４２の外周部に巻かれたワイヤ４３に付着したレジ
スト液をかき落すスクレーパ４７を備えている。

【００２４】このような塗布装置によれば、マイクロロ
ッドバー２４を備える塗布装置において、ガラス基板６
０上における塗布部と非塗布部の境界部分をきれいに塗
り分けることが可能になる。また塗布部の端部において
非塗布部との境界部の近傍の塗布量が一様になり、現像
条件の設定が容易になる。またレジスト液の濃度を乱す
溶剤の蒸発を促進し、調整が難しい非塗布部への空気の
吹付けが不要になる。

【００２５】

【発明の効果】以上のように本発明は、塗布ローラの軸
線方向の両端にそれぞれテーパ部を形成するようにした
ものである。

【００２６】従ってこのようにテーパ部によって、塗布
領域の端部における塗布量の増加が防止されるようにな
り、塗布部と非塗布部の境界部分をきれいに塗り分ける
ことが可能になる。

【００２７】塗布領域の終端と対応する位置から塗布ロ
ーラが外側端に向けてテーパ部になっている構成によれ
ば、テーパ部の始点が塗布領域の終端となって塗布部と
非塗布部の境界部分がきれいに塗り分けられる。

【００２８】塗布ローラの一方のテーパ部の中間位置か
ら他方のテーパ部の中間位置まで巻線を施すようにした
構成によれば、テーパ部の始点に必ずワイヤが存在する
ために、塗布部と非塗布部の境界部をきれいに塗り分け
られるとともに、塗布領域が正しく設定される。

【００２９】テーパ部に施された巻線に付着した液体を
かき落すためのスクレーパを塗布ローラの両側に設ける
ようにした構成によれば、テーパ部の上に施された巻線
に付着した液体がワークに塗布されることがなく、境界
部分の塗布量が過剰になることが防止される。

【００３０】巻線を施した塗布ローラの少なくとも下端
部が液槽内に浸されるとともに、塗布ローラの上部にピ
ンチローラが配され、巻線を施した塗布ローラとピンチ
ローラとによってワークを挟着して塗布ローラの巻線間
に付着した液体をワークに塗布するようにした構成によ
れば、塗布ローラとピンチローラとによってワークを挟
着しながら移動させ、このワークの下面に液槽内の液を
塗布することが可能になる。

【００３１】ワークがガラス基板であって巻線を施した
塗布ローラによってレジスト液をガラス基板に塗布する
ようにした構成によれば、ガラス基板の下面にレジスト
液を塗布するとともに、塗布部と非塗布部との境界部に
おけるレジスト液の塗り分けをきれいに行なうことが可
能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】レジストコータの全体の構成を示す縦断面図で
ある。

【図２】供給側搬送部の縦断面図である。

【図３】塗布部の縦断面図である。

【図４】マイクロロッドバーのテーパ部の構成を示す拡
大正面図である。

【図５】スクレーパとマイクロロッドバーとの関係を示
す平面図である。

【図６】スクレーパの平面図である。

【図７】スクレーパの側面図である。

【図８】スクレーパの斜視図である。

【符号の説明】

１１‥‥供給側搬送部、１２‥‥排出側搬送部、１３‥
‥フレーム、１４‥‥支軸、１５‥‥フリーローラ、１
７‥‥フレーム、１８‥‥支軸、１９‥‥フリーロー
ラ、２３‥‥液槽、２４‥‥マイクロロッドバー（塗布
ローラ）、２５‥‥ピンチローラ、２６‥‥ストッパ、
２７‥‥アクチュエータ、３１‥‥軸受、３２‥‥サー
ボモータ、３３‥‥出力軸、３６‥‥軸受、３７‥‥サ
ーボモータ、３８‥‥出力軸、４２‥‥テーパ部、４３
‥‥ワイヤ、４４‥‥軸部、４７‥‥スクレーパ、４８
‥‥突条、４９‥‥雌ねじ孔、５０‥‥ボルト、６０‥
‥ガラス基板

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】断面が円形のローラの外周部に巻線を施し
   た塗布ローラによってワークに対して塗布を行なうよう
   にした塗布装置において、 前記塗布ローラの軸線方向の両端にそれぞれテーパ部を
   形成するようにしたことを特徴とする塗布装置。
2. 【請求項２】塗布領域の終端と対応する位置から前記塗
   布ローラが外側端に向けてテーパ部になっていることを
   特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
3. 【請求項３】前記塗布ローラの一方のテーパ部の中間位
   置から他方のテーパ部の中間位置まで巻線を施すように
   したことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
4. 【請求項４】前記テーパ部に施された巻線に付着した液
   体をかき落すためのスクレーパを前記塗布ローラの両側
   に設けるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の
   塗布装置。
5. 【請求項５】巻線を施した塗布ローラの少なくとも下端
   部が液槽内に浸されるとともに、前記塗布ローラの上部
   にピンチローラが配され、前記巻線を施した塗布ローラ
   と前記ピンチローラとによってワークを挟着して前記塗
   布ローラの巻線間に付着した液体をワークに塗布するよ
   うにしたことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
6. 【請求項６】前記ワークがガラス基板であって前記巻線
   を施した塗布ローラによってレジスト液を前記ガラス基
   板に塗布するようにしたことを特徴とする請求項５に記
   載の塗布装置。