JPH11151459A - 液体塗布用ロールおよび液体塗布方法 - Google Patents
液体塗布用ロールおよび液体塗布方法Info
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- JPH11151459A JPH11151459A JP31852797A JP31852797A JPH11151459A JP H11151459 A JPH11151459 A JP H11151459A JP 31852797 A JP31852797 A JP 31852797A JP 31852797 A JP31852797 A JP 31852797A JP H11151459 A JPH11151459 A JP H11151459A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被塗布材に塗布液を均一に塗布することので
きる液体塗布用ロール及び液体塗布方法を提供する。 【解決手段】 被塗布材の表面に、塗布液を塗布する液
体塗布用ロール５において、ロール９の外周に、そのロ
ール９の幅方向中心を境に対称に螺旋状の溝１１を形成
したものである。
きる液体塗布用ロール及び液体塗布方法を提供する。 【解決手段】 被塗布材の表面に、塗布液を塗布する液
体塗布用ロール５において、ロール９の外周に、そのロ
ール９の幅方向中心を境に対称に螺旋状の溝１１を形成
したものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被塗布材に塗布液
を塗布する液体塗布用ロールに関するものである。
を塗布する液体塗布用ロールに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フィルム、基板、紙などの被塗布材にフ
ォトレジスト等の液体を塗布する塗布装置には、ロール
群の中に被塗布材を走行させ、ロール群中の液体塗布用
ロールで、被塗布材に液体を塗り付けるものがある。
ォトレジスト等の液体を塗布する塗布装置には、ロール
群の中に被塗布材を走行させ、ロール群中の液体塗布用
ロールで、被塗布材に液体を塗り付けるものがある。
【０００３】この塗布装置は、少なくとも塗布液である
液体を汲み上げる汲上げロールと、被塗布材に塗布液を
塗り付ける液体塗布用ロールと、被塗布材をガイドする
ガイドロールとを有し、塗布液を汲上げロールで汲み上
げて液体塗布用ロールに供給し、その液体塗布用ロール
を被塗布材にこすり付けて塗布を行うようになってい
る。
液体を汲み上げる汲上げロールと、被塗布材に塗布液を
塗り付ける液体塗布用ロールと、被塗布材をガイドする
ガイドロールとを有し、塗布液を汲上げロールで汲み上
げて液体塗布用ロールに供給し、その液体塗布用ロール
を被塗布材にこすり付けて塗布を行うようになってい
る。
【０００４】図５に示すように、その液体塗布用ロール
２０は、ロール面（外周面）２１に複数の並行な溝２２
を有し、溝２２中に塗布液を含ませるようになってい
る。
２０は、ロール面（外周面）２１に複数の並行な溝２２
を有し、溝２２中に塗布液を含ませるようになってい
る。
【０００５】この液体塗布用ロール２０は、ロール２３
の回転数、回転方向及びロール２３と被塗布材との間隔
などの調節により塗布膜の厚さを比較的簡単に変えるこ
とができ、また、液体塗布用ロール２０で塗布液を塗布
する塗布装置は、構造が簡単であるためメンテナンス性
に優れている。
の回転数、回転方向及びロール２３と被塗布材との間隔
などの調節により塗布膜の厚さを比較的簡単に変えるこ
とができ、また、液体塗布用ロール２０で塗布液を塗布
する塗布装置は、構造が簡単であるためメンテナンス性
に優れている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】汲上げロールは液体塗
布用ロール２０に充分に塗布液を供給するために、ロー
ル２３の幅を液体塗布用ロール２０よりも広く形成され
ているのが一般的である。そのため、塗布液は、液体塗
布用ロール２０のロール２３端部に過剰に、かつ、不安
定に供給される傾向にあり、ロール面２１に形成される
塗布膜の厚さにばらつきが生じてしまうという課題があ
る。
布用ロール２０に充分に塗布液を供給するために、ロー
ル２３の幅を液体塗布用ロール２０よりも広く形成され
ているのが一般的である。そのため、塗布液は、液体塗
布用ロール２０のロール２３端部に過剰に、かつ、不安
定に供給される傾向にあり、ロール面２１に形成される
塗布膜の厚さにばらつきが生じてしまうという課題があ
る。
【０００７】例えば塗布液として感光材（フォトレジス
ト）を塗布するときに塗布膜の厚さにばらつきがある
と、露光量（時間）は感光材が塗布された部分全体で略
一定であるため、感光材の膜厚の変動がそのままマスク
パターンの直線性に影響を及ぼしてしまう。
ト）を塗布するときに塗布膜の厚さにばらつきがある
と、露光量（時間）は感光材が塗布された部分全体で略
一定であるため、感光材の膜厚の変動がそのままマスク
パターンの直線性に影響を及ぼしてしまう。
【０００８】また、電子部品等の回路パターンをエッチ
ング技術を用いて形成する場合にもパターンの狭ピッチ
化を進める上で大きな問題となる。
ング技術を用いて形成する場合にもパターンの狭ピッチ
化を進める上で大きな問題となる。
【０００９】そこで、本発明の目的は、被塗布材に塗布
液を均一に塗布することのできる液体塗布用ロール及び
液体塗布方法を提供することにある。
液を均一に塗布することのできる液体塗布用ロール及び
液体塗布方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、被塗布材の表面に、塗布液を塗布する液体
塗布用ロールにおいて、ロールの外周に、そのロールの
幅方向中心を境に対称に螺旋状の溝を形成したものであ
る。
に本発明は、被塗布材の表面に、塗布液を塗布する液体
塗布用ロールにおいて、ロールの外周に、そのロールの
幅方向中心を境に対称に螺旋状の溝を形成したものであ
る。
【００１１】また、上記被塗布材をガイドするガイドロ
ールに上記被塗布材を挟んで向かい合わせに螺旋状の溝
が形成されたロールが配置され、そのロールに塗布液供
給手段から塗布液が供給されるものとするとよく、さら
に、その塗布液供給手段が、塗布液の液溜めと、下部が
液溜め内の塗布液に浸ると共に上部が上記液体塗布ロー
ルに接触される汲上げロールとからなるものとするとよ
い。
ールに上記被塗布材を挟んで向かい合わせに螺旋状の溝
が形成されたロールが配置され、そのロールに塗布液供
給手段から塗布液が供給されるものとするとよく、さら
に、その塗布液供給手段が、塗布液の液溜めと、下部が
液溜め内の塗布液に浸ると共に上部が上記液体塗布ロー
ルに接触される汲上げロールとからなるものとするとよ
い。
【００１２】そして、被塗布材の表面に、塗布液を塗布
する液体塗布方法において、ロールの外周に、そのロー
ルの幅方向中心を境に対称な螺旋状の溝を形成した液体
塗布用ロールを形成し、該液体塗布用ロールに塗布液を
供給しつつ回転させて塗布液を上記螺旋状の溝で中央に
寄せつつその液体塗布用ロールに供給される被塗布材の
表面に塗布液を塗布するとよく、さらに、液体塗布用ロ
ールに接触させて塗布液の汲上げロールを配置し、その
汲上げロールの下方に塗布液の液溜めを配置し、汲上げ
ロールを回転させることにより液溜め内の塗布液を汲み
上げて上記液体塗布用ロールに供給するものとするとよ
い。
する液体塗布方法において、ロールの外周に、そのロー
ルの幅方向中心を境に対称な螺旋状の溝を形成した液体
塗布用ロールを形成し、該液体塗布用ロールに塗布液を
供給しつつ回転させて塗布液を上記螺旋状の溝で中央に
寄せつつその液体塗布用ロールに供給される被塗布材の
表面に塗布液を塗布するとよく、さらに、液体塗布用ロ
ールに接触させて塗布液の汲上げロールを配置し、その
汲上げロールの下方に塗布液の液溜めを配置し、汲上げ
ロールを回転させることにより液溜め内の塗布液を汲み
上げて上記液体塗布用ロールに供給するものとするとよ
い。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の好適実施の形態を添付図
面に基づいて詳述する。
面に基づいて詳述する。
【００１４】図２に示すように、塗布装置１は、被塗布
材である３５ｍｍワイド型のＴＡＢ（ｔａｐｅ ａｕｔ
ｏｍａｔｅｄ ｂｏｎｄｉｎｎｇ）テープ２にフォトレ
ジスト（塗布液）３を塗布するための装置であり、ＴＡ
Ｂテープ２をガイドするガイドロール４と、ＴＡＢテー
プ２にフォトレジスト３を塗布する液体塗布用ロール５
と、液体塗布用ロール５にフォトレジスト３を供給する
塗布液供給手段６とからなる。
材である３５ｍｍワイド型のＴＡＢ（ｔａｐｅ ａｕｔ
ｏｍａｔｅｄ ｂｏｎｄｉｎｎｇ）テープ２にフォトレ
ジスト（塗布液）３を塗布するための装置であり、ＴＡ
Ｂテープ２をガイドするガイドロール４と、ＴＡＢテー
プ２にフォトレジスト３を塗布する液体塗布用ロール５
と、液体塗布用ロール５にフォトレジスト３を供給する
塗布液供給手段６とからなる。
【００１５】ガイドロール４は、回転自在に支持された
回転軸（図示せず）に比較的大きな径のロール７を設け
てなるものであり、ほぼ水平に配置されている。ＴＡＢ
テープ２は、ガイドロール４下端に水平に供給されるよ
うになっており、ガイドロール４を１／４周巻回して上
方へ送るようになっている。また、ガイドロール４には
図示しない駆動装置が接続されており、ガイドロール４
は、駆動装置の駆動力で回転するようになっている。
回転軸（図示せず）に比較的大きな径のロール７を設け
てなるものであり、ほぼ水平に配置されている。ＴＡＢ
テープ２は、ガイドロール４下端に水平に供給されるよ
うになっており、ガイドロール４を１／４周巻回して上
方へ送るようになっている。また、ガイドロール４には
図示しない駆動装置が接続されており、ガイドロール４
は、駆動装置の駆動力で回転するようになっている。
【００１６】図１及び図２に示すように、液体塗布用ロ
ール５は、回転自在に支持された回転軸８に比較的小径
のロール９を設けてなるものであり、送られてくるＴＡ
Ｂテープ２を押し挟むようにしてガイドロール４の下方
に配置されている。
ール５は、回転自在に支持された回転軸８に比較的小径
のロール９を設けてなるものであり、送られてくるＴＡ
Ｂテープ２を押し挟むようにしてガイドロール４の下方
に配置されている。
【００１７】また、ロール９のロール面（外周面）１０
には、ロール９の幅方向中心を境に対称な螺旋状の溝１
１、すなわち、ロール９の幅方向中心で巻方向が逆転す
る螺旋状の溝１１が形成されており、ロール９が回転す
ることにより塗布液供給手段６から供給されるフォトレ
ジスト３をロール９の幅方向中心に寄せ集めるようにな
っている。
には、ロール９の幅方向中心を境に対称な螺旋状の溝１
１、すなわち、ロール９の幅方向中心で巻方向が逆転す
る螺旋状の溝１１が形成されており、ロール９が回転す
ることにより塗布液供給手段６から供給されるフォトレ
ジスト３をロール９の幅方向中心に寄せ集めるようにな
っている。
【００１８】溝１１の深さ、幅及び螺旋の捩りピッチ
は、主にフォトレジスト３の流動性と液体塗布用ロール
５の外径及び周速等に応じて決定される。そして、螺旋
状の溝１１は、液体塗布用ロール５を回転させたとき、
フォトレジスト３が、適度な速さでロール９の幅方向中
心に移動し、ＴＡＢテープ２に均一な厚さで塗布される
ように形成される。
は、主にフォトレジスト３の流動性と液体塗布用ロール
５の外径及び周速等に応じて決定される。そして、螺旋
状の溝１１は、液体塗布用ロール５を回転させたとき、
フォトレジスト３が、適度な速さでロール９の幅方向中
心に移動し、ＴＡＢテープ２に均一な厚さで塗布される
ように形成される。
【００１９】図２に示すように、塗布液供給手段６は、
フォトレジスト３を溜め置くための液溜め１２と、下部
が液溜め１２内のフォトレジスト３に浸ると共に上部が
液体塗布用ロール５に接触される汲上げロール１３とか
らなる。
フォトレジスト３を溜め置くための液溜め１２と、下部
が液溜め１２内のフォトレジスト３に浸ると共に上部が
液体塗布用ロール５に接触される汲上げロール１３とか
らなる。
【００２０】汲上げロール１３は、液溜め１２に回転自
在に支持される回転軸（図示せず）と、回転軸に固定さ
れたロール１４とからなり、ロール１４は、液体塗布用
ロール５に充分フォトレジスト３を供給できるように液
体塗布用ロール５よりもロール幅を幅広に形成されてい
る。
在に支持される回転軸（図示せず）と、回転軸に固定さ
れたロール１４とからなり、ロール１４は、液体塗布用
ロール５に充分フォトレジスト３を供給できるように液
体塗布用ロール５よりもロール幅を幅広に形成されてい
る。
【００２１】液溜め１２は、汲上げロール１３の下方に
配置されており、液溜め１２内にはＴＡＢテープ２に塗
布するためのフォトレジスト３が汲上げロール１３の下
部を浸すように十分に満たされている。
配置されており、液溜め１２内にはＴＡＢテープ２に塗
布するためのフォトレジスト３が汲上げロール１３の下
部を浸すように十分に満たされている。
【００２２】次に作用を述べる。
【００２３】図示しない駆動装置を駆動させてガイドロ
ール４を回転させると、ガイドロール４に巻回されてガ
イドされるＴＡＢテープ２が移動を始める。これにより
ＴＡＢテープ２に接触する液体塗布用ロール５も回転さ
れ、液体塗布用ロール５に接触される汲上げロール１３
も回転される。
ール４を回転させると、ガイドロール４に巻回されてガ
イドされるＴＡＢテープ２が移動を始める。これにより
ＴＡＢテープ２に接触する液体塗布用ロール５も回転さ
れ、液体塗布用ロール５に接触される汲上げロール１３
も回転される。
【００２４】汲上げロール１３は、回転することにより
液溜め１２内のフォトレジスト３をそのロール面（図示
せず）に付着させて上方へ汲み上げ、液体塗布用ロール
５のロール面９へ移して供給する。このとき、液体塗布
用ロール５に接触されない汲上げロール１３の両端部に
は多量のフォトレジスト３が付着しており、その一部は
常に液体塗布用ロール５の両端部に向けて染み込んでい
る。
液溜め１２内のフォトレジスト３をそのロール面（図示
せず）に付着させて上方へ汲み上げ、液体塗布用ロール
５のロール面９へ移して供給する。このとき、液体塗布
用ロール５に接触されない汲上げロール１３の両端部に
は多量のフォトレジスト３が付着しており、その一部は
常に液体塗布用ロール５の両端部に向けて染み込んでい
る。
【００２５】液体塗布用ロール５に供給されたフォトレ
ジスト３は、螺旋状の溝１１内に染み込みながらロール
面１０に延ばされ、ＴＡＢテープ２に塗布される。
ジスト３は、螺旋状の溝１１内に染み込みながらロール
面１０に延ばされ、ＴＡＢテープ２に塗布される。
【００２６】このとき、溝１１内のフォトレジスト３
は、溝１１に沿って螺旋状に流れ、ロール９の中心に向
けて移動するため、特にロール９の端部に多く供給され
るフォトレジスト３も円滑にロール９中心に向けて移動
し、ロール９端部にフォトレジスト３が溜まることはな
く、ロール面１０に付着しているフォトレジスト３を均
一な厚さに保つことができ、ＴＡＢテープ２にも略均一
な厚さで塗布することができる。
は、溝１１に沿って螺旋状に流れ、ロール９の中心に向
けて移動するため、特にロール９の端部に多く供給され
るフォトレジスト３も円滑にロール９中心に向けて移動
し、ロール９端部にフォトレジスト３が溜まることはな
く、ロール面１０に付着しているフォトレジスト３を均
一な厚さに保つことができ、ＴＡＢテープ２にも略均一
な厚さで塗布することができる。
【００２７】そして、ＴＡＢテープ２は、図示しないベ
ーク部を経て巻き取られることとなる。
ーク部を経て巻き取られることとなる。
【００２８】このように、ロール９の外周に、そのロー
ル９の幅方向中心を境に対称な螺旋状の溝１１を形成し
た液体塗布用ロール５を形成し、液体塗布用ロール５に
接触させてフォトレジスト３の汲上げロール１３を配置
し、汲上げロール１３の下方にフォトレジスト３の液溜
め１２を配置し、汲上げロール１３を回転させて液溜め
１２内のフォトレジスト３を汲み上げ、そのフォトレジ
スト３を液体塗布用ロール５に供給し、液体塗布用ロー
ル５を回転させることにより、フォトレジスト３を螺旋
状の溝１１で中央に寄せつつＴＡＢテープ２の表面にフ
ォトレジスト３を塗布するため、ＴＡＢテープ２に容易
に均一な厚さの塗膜を形成することができる。
ル９の幅方向中心を境に対称な螺旋状の溝１１を形成し
た液体塗布用ロール５を形成し、液体塗布用ロール５に
接触させてフォトレジスト３の汲上げロール１３を配置
し、汲上げロール１３の下方にフォトレジスト３の液溜
め１２を配置し、汲上げロール１３を回転させて液溜め
１２内のフォトレジスト３を汲み上げ、そのフォトレジ
スト３を液体塗布用ロール５に供給し、液体塗布用ロー
ル５を回転させることにより、フォトレジスト３を螺旋
状の溝１１で中央に寄せつつＴＡＢテープ２の表面にフ
ォトレジスト３を塗布するため、ＴＡＢテープ２に容易
に均一な厚さの塗膜を形成することができる。
【００２９】また、螺旋状の溝１１でフォトレジスト３
にＴＡＢテープ２の幅方向中心への方向性を与えるた
め、液体塗布用ロール５端部のフォトレジスト３の溜ま
りを防止することができ、塗布の不安定を是正し、均一
な塗布膜厚を確保することができる。
にＴＡＢテープ２の幅方向中心への方向性を与えるた
め、液体塗布用ロール５端部のフォトレジスト３の溜ま
りを防止することができ、塗布の不安定を是正し、均一
な塗布膜厚を確保することができる。
【００３０】なお、塗布液はフォトレジスト３に限るも
のではなく、他の液体であってもよい。このとき、溝１
１の深さ、幅及び螺旋の捩りピッチは、上述のように塗
布する液体の流動性等に合わせて変えるとよい。
のではなく、他の液体であってもよい。このとき、溝１
１の深さ、幅及び螺旋の捩りピッチは、上述のように塗
布する液体の流動性等に合わせて変えるとよい。
【００３１】また、被塗布材もＴＡＢテープ２に限るも
のではなく、フィルム、基板、紙などロールで塗布可能
なものであれば他のものであってもよい。
のではなく、フィルム、基板、紙などロールで塗布可能
なものであれば他のものであってもよい。
【００３２】
【実施例】上述の図１に示す液体塗布用ロール５を用い
た場合と、図５に示す従来の液体塗布用ロール２０を用
いた場合とで被塗布材に形成される塗膜を比較する実験
を行った。
た場合と、図５に示す従来の液体塗布用ロール２０を用
いた場合とで被塗布材に形成される塗膜を比較する実験
を行った。
【００３３】実験に用いる被塗布材としては、３５ｍｍ
ワイド型のＴＡＢテープ２を用い、塗布液としては、フ
ォトレジスト３を用いた。
ワイド型のＴＡＢテープ２を用い、塗布液としては、フ
ォトレジスト３を用いた。
【００３４】溝１１，２２の幅、ピッチ及び深さは両ロ
ール９，２３で同一とした。また、塗布装置のガイドロ
ール４、汲上げロール１３及び液溜め１２等について
は、図１に示す上述のものを双方共に用い、液体塗布用
ロール５，２０のみが異なる状態で塗布を行った。
ール９，２３で同一とした。また、塗布装置のガイドロ
ール４、汲上げロール１３及び液溜め１２等について
は、図１に示す上述のものを双方共に用い、液体塗布用
ロール５，２０のみが異なる状態で塗布を行った。
【００３５】液体塗布用ロール５は、塗布液が螺旋状の
溝１１で中央に寄せられるように回転させた。従来の液
体塗布用ロール２０についても本発明の液体塗布用ロー
ル５と同様の回転方向、回転数とした。
溝１１で中央に寄せられるように回転させた。従来の液
体塗布用ロール２０についても本発明の液体塗布用ロー
ル５と同様の回転方向、回転数とした。
【００３６】塗膜の比較は、ＴＡＢテープ２の異なる位
置の塗膜（コート）の厚さを測定し、その最大値と最小
値の幅（ばらつき）を比較することにより行った。
置の塗膜（コート）の厚さを測定し、その最大値と最小
値の幅（ばらつき）を比較することにより行った。
【００３７】測定位置は、図３に示すように、ＴＡＢテ
ープ２の幅方向中央部のＡ点と、両端部（Ｃｕ箔１５端
から約２ｍｍ中央寄りの位置）の点Ｂ及び点Ｃの３点と
した。
ープ２の幅方向中央部のＡ点と、両端部（Ｃｕ箔１５端
から約２ｍｍ中央寄りの位置）の点Ｂ及び点Ｃの３点と
した。
【００３８】図４は、塗布厚さの測定結果を示したもの
である。
である。
【００３９】従来の液体塗布用ロール（従来品）２０と
本発明の液体塗布用ロール（対向螺旋品）５で塗布厚さ
（コート厚さ）の平均値Ｘは共に約３．５μｍであり、
ほぼ同一であった。塗膜厚さの最大値（ＭＡＸ）と最小
値（ＭＩＮ）の幅（ばらつき）は、本発明の液体塗布用
ロール５が約３．７μｍ〜３．３μｍの幅に収まってい
るのに対し、従来の液体塗布用ロール２０は約３．９μ
ｍ〜３．１μｍの幅であった。すなわち、本発明の液体
塗布用ロール５で形成した塗膜は、従来の液体塗布用ロ
ール２０で形成した塗膜の約１／２のばらつきに減少し
ていた。
本発明の液体塗布用ロール（対向螺旋品）５で塗布厚さ
（コート厚さ）の平均値Ｘは共に約３．５μｍであり、
ほぼ同一であった。塗膜厚さの最大値（ＭＡＸ）と最小
値（ＭＩＮ）の幅（ばらつき）は、本発明の液体塗布用
ロール５が約３．７μｍ〜３．３μｍの幅に収まってい
るのに対し、従来の液体塗布用ロール２０は約３．９μ
ｍ〜３．１μｍの幅であった。すなわち、本発明の液体
塗布用ロール５で形成した塗膜は、従来の液体塗布用ロ
ール２０で形成した塗膜の約１／２のばらつきに減少し
ていた。
【００４０】よって、この実験結果からも塗布時に塗布
液に方向性を与えることにより安定した厚さの塗布膜を
得ることができることがわかる。
液に方向性を与えることにより安定した厚さの塗布膜を
得ることができることがわかる。
【００４１】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、被塗布材
に塗布液を容易に均一に塗布することができる。
に塗布液を容易に均一に塗布することができる。
【図１】本発明の好適実施の形態を示す液体塗布用ロー
ルの正面図である。
ルの正面図である。
【図２】塗布装置の概略要部側面図である。
【図３】塗膜の測定位置を示すＴＡＢテープの平面図で
ある。
ある。
【図４】塗膜厚のばらつきを示すグラフである。
【図５】従来の液体塗布用ロールの正面図である。
２ ＴＡＢテープ（被塗布材） ３ フォトレジスト（塗布液） ４ ガイドロール ５ 液体塗布用ロール ６ 塗布液供給手段 ９ ロール １１ 螺旋状の溝 １２ 液溜め １３ 汲上げロール
Claims (5)
- 【請求項１】 被塗布材の表面に、塗布液を塗布する液
体塗布用ロールにおいて、ロールの外周に、そのロール
の幅方向中心を境に対称に螺旋状の溝を形成したことを
特徴とする液体塗布用ロール。 - 【請求項２】 上記被塗布材をガイドするガイドロール
に上記被塗布材を挟んで向かい合わせに螺旋状の溝が形
成されたロールが配置され、そのロールに塗布液供給手
段から塗布液が供給される請求項１に記載の液体塗布用
ロール。 - 【請求項３】 上記塗布液供給手段が、塗布液の液溜め
と、下部が液溜め内の塗布液に浸ると共に上部が上記液
体塗布ロールに接触される汲上げロールとからなる請求
項２に記載の液体塗布用ロール。 - 【請求項４】 被塗布材の表面に、塗布液を塗布する液
体塗布方法において、ロールの外周に、そのロールの幅
方向中心を境に対称な螺旋状の溝を形成した液体塗布用
ロールを形成し、該液体塗布用ロールに塗布液を供給し
つつ回転させて塗布液を上記螺旋状の溝で中央に寄せつ
つその液体塗布用ロールに供給される被塗布材の表面に
塗布液を塗布することを特徴とする液体塗布方法。 - 【請求項５】 上記液体塗布用ロールに接触させて塗布
液の汲上げロールを配置し、該汲上げロールの下方に塗
布液の液溜めを配置し、上記汲上げロールを回転させる
ことにより液溜め内の塗布液を汲み上げて上記液体塗布
用ロールに供給する請求項４に記載の液体塗布方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31852797A JPH11151459A (ja) | 1997-11-19 | 1997-11-19 | 液体塗布用ロールおよび液体塗布方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31852797A JPH11151459A (ja) | 1997-11-19 | 1997-11-19 | 液体塗布用ロールおよび液体塗布方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11151459A true JPH11151459A (ja) | 1999-06-08 |
Family
ID=18100119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31852797A Pending JPH11151459A (ja) | 1997-11-19 | 1997-11-19 | 液体塗布用ロールおよび液体塗布方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11151459A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013098095A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Toyota Motor Corp | 塗工装置及び電極製造方法 |
| CN107744912A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-02 | 浦林成山（山东）轮胎有限公司 | 一种胶片隔离剂涂附装置 |
| JP2019007033A (ja) * | 2017-06-21 | 2019-01-17 | 昭和電工株式会社 | 金属−炭素粒子複合材の製造方法 |
-
1997
- 1997-11-19 JP JP31852797A patent/JPH11151459A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013098095A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Toyota Motor Corp | 塗工装置及び電極製造方法 |
| JP2019007033A (ja) * | 2017-06-21 | 2019-01-17 | 昭和電工株式会社 | 金属−炭素粒子複合材の製造方法 |
| CN107744912A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-02 | 浦林成山（山东）轮胎有限公司 | 一种胶片隔离剂涂附装置 |
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