JPH09248504A - レジスト塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ロールバーの塗布ロール部端部に巻き上がるレ
ジスト溶液を除去して均一な膜厚のレジスト塗膜を形成
する。 【解決手段】ニップローラ２とロールバー３およびレジ
ストの受け皿５と、受け皿内に設置してロールバーをレ
ジスト溶液内で支持するロールバー保持部材６とを少な
くとも有し、ロールバー３のガラス基板１にレジスト溶
液を塗布する塗布ロール部３ａの両端縁の表面および塗
布ロール部の両端縁に形成された凹部３ｄ内壁のレジス
ト溶液をブローして除去するブローノズル１１，１２を
設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、平板状体に流動性
材料を塗布する装置に係り、特に液晶パネル用ガラス基
板にカラーフィルタ等への薄層パターンの形成に好適な
レジスト塗布装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラー液晶表示装置を構成する液晶パネ
ルは、各々透明電極群を形成した２枚の透明ガラス基板
の間に液晶層を注入してなり、上記表示面となる一方の
ガラス基板に複数色のそれぞれに対応する複数のカラー
フィルタを形成してなる構成を基本としている。

【０００３】上記カラーフィルタは、ガラス基板の上に
ゼラチン／重クロメート等の水溶性の光硬化型感光性組
成物を塗布し、これを所定の画素パターンに対応するご
とくパターニングした後、所定の色に染色する工程を所
要回数繰り返して形成する方法が採用されていたが、フ
ィルタ濃度のばらつきや使用溶剤の毒性の問題等があ
り、安定した品質のカラーフィルタを効率よく製造する
ことが困難であり、また環境に悪影響をもたらす等の問
題を有していた。

【０００４】上記の各問題点を解消するものとして、顔
料で着色した感光性組成物をガラス基板に塗布し、所定
のマスクを介して露光し、現像して所定の着色パターン
を形成する工程を所要回数繰り返す方法等が知られてい
る。

【０００５】この顔料着色の感光性組成物（レジスト溶
液）をガラス基板に塗布する方法としては、溝付きゴム
ローラによってレジスト溶液を塗布するロールコート
法、あるいはガラス基板を回転させながらレジスト溶液
を遠心力で引延して塗布するスピンコート法、その他種
々の方法があるが、前者では塗膜の平滑性に限界があ
り、また、後者ではレジスト溶液の利用効率が極めて低
く、多数のガラス基板を効率よく処理することが困難で
あるという問題がある。

【０００６】これに対して、例えば特開平２−２５８０
８１号公報、あるいは特開平４−２７０３４６号公報に
開示されたようなワイヤーを巻き付けたロッド（以下、
ロールバーと称する）を用いて平面搬送されるガラス基
板の下面からレジスト溶液を塗布する、所謂ロッドコー
タ法を用いることで、連続して搬送される多数のガラス
基板に均一なレジストの塗膜を形成することができる。

【０００７】従来、ロッドコート法によるカラーフィル
タの顔料レジスト塗布装置では、レジスト受け皿に溜め
たレジストの溶液をこの中に配置したロールバーにより
汲み上げ、当該ロールバーの上を通過するガラス基板の
上方からニップローラによってロールバーに押圧し、ロ
ールバーで汲み上げたレジスト溶液を接触させ、余剰の
レジスト溶液を掻き取りながら基板に均一に塗布してい
る。

【０００８】このレジスト塗布装置では、ロールバーは
ニップローラによる押圧によって撓まないように当該ニ
ップローラの略々全長にわたって下面から保持するロー
ルバー保持具を備えている。

【０００９】図８は本発明を適用するガラス基板へのレ
ジスト塗布装置の全体構成を説明する模式正面図であっ
て、１はガラス基板、１ａは基板搬入装置、１ｂは搬送
ローラ、１ｃは搬出装置、１ｄは搬送ローラ、２はニッ
プローラ、３はロールバー、４はレジスト溶液、５はレ
ジスト溶液の受け皿、７は塗布部、７ａは回転装置、７
ｂはガイドレール、７ｃは昇降装置、８は架台である。

【００１０】同図において、レジスト溶液を塗布するガ
ラス基板１は図示しない基板供給部から搬送ローラ１ｂ
を備えた基板搬入装置１ａにより塗布部７に搬送され
る。

【００１１】塗布部７は受け皿５に貯留されたレジスト
溶液４に一部を没設して回転するロールバー３とニップ
ローラ２、および回転装置７ａで回転されるロールバー
３をガイドレール７ｂに沿って昇降する昇降装置７ｃか
ら構成され、この塗布部７に搬入されたガラス基板１の
裏面にロールバー３で汲み上げたレジスト溶液を接触さ
せて塗布すると共に、余剰のレジスト溶液を掻き落とし
て所要の膜厚のレジストを塗布する。

【００１２】レジスト溶液が塗布されたガラス基板１は
ニップローラ２の回転で塗布部７から搬出される。この
搬出は搬送ローラ１ｄを備えた基板搬出装置１ｃで行わ
れ、後段の乾燥部（図示せず）に渡される。

【００１３】上記ニップローラ２はガラス基板１へのレ
ジスト塗布時以外は昇降装置７ｃでロールバー３から離
れるように上昇されてロールバー３にレジストが付着し
ないように離脱される。

【００１４】図９は従来のロールバーによるレジスト塗
布装置の塗布メカニズムを説明するための模式図であっ
て、１はレジストを塗布するガラス基板、２はガラス基
板１をロールバー３に押圧するニップローラ、３はレジ
スト溶液をガラス基板１に接触塗布するロールバー、４
はレジスト溶液、４ａはロールバー３で汲み上げられた
レジスト溶液溜まり、４ｂは塗布されたレジストの塗
膜、５は受け皿、６はロールバー保持部材である。

【００１５】図示したように、ガラス基板１は図示しな
い基板搬送装置によりロールバー３とニップローラ２の
対向部に搬入され、矢印Ｂ方向に回転するニップローラ
２の押圧力でロールバー３に押し付けられながら矢印Ａ
方向に進行する。

【００１６】受け皿５に貯留されたレジスト溶液４は矢
印Ｃ方向に回転するロールバー３の回転で汲み上げら
れ、ガラス基板１の搬入側にレジスト溶液溜まり４ａを
形成する。このレジスト溶液溜まり４ａがガラス基板１
に接触して塗布される。

【００１７】ガラス基板１はその裏面にレジスト溶液が
塗布されてロールバー３を通過して搬出されるとき、ロ
ールバー３は塗布されたレジスト溶液の余剰分を掻き落
として所要の厚さの塗膜４ｂを形成する。

【００１８】この塗膜４ｂの厚さは、レジスト溶液の粘
度、ガラス基板１の搬送速度、ロールバー３の直径およ
び周速度等の諸条件で決定される。

【００１９】また、ロールバー保持部材６はレジスト溶
液の受け皿５に固定され、そのロールバー回転受け部分
の形状も使用されるロールバーの形状（直径、巻き付け
たワイヤーのサイズと間隔）に合わせて形成されてお
り、レジストの切替え（カラーフィルタの色切替え、
等）を行なう場合、あるいは塗布するレジストの膜厚を
変更したい場合はロールバー３と共にレジストの受け皿
５も一緒に交換して塗布を行なっている。

【００２０】図１０は図８に示したレジスト塗布装置の
レジスト塗布部をガラス基板の進行方向から見た要部構
成図であって、３ａは塗布ローラ部、３ｂはローラ保持
部、３ｃは径小部、３ｄは凹部、図８と同一符号は同一
部分に対応する。

【００２１】同図において、ニップローラ２とロールバ
ー３の塗布ローラ部３ａの間に挟持されて搬送されるガ
ラス基板１は、その下面（ロールバー３側）にレジスト
が塗布される。ロールバー３の塗布ロール部３ａの幅Ｌ
２はガラス基板１の塗布領域の幅Ｌ２に一致する。

【００２２】ロールバー３の両端には径小部３ｃを介し
てロール保持部３ｂが形成されており、塗布ロール部３
ａの塗布端には軸方向に陥没した凹部３ｄが形成され、
レジストの切れを良くするように構成されている。

【００２３】

【発明が解決しようとする課題】上記したレジスト塗布
装置においては、ロールバー３の塗布ロール部３ａの端
縁で巻き上げられたレジスト溶液がロールバー３の表面
方向に流れる傾向があり、ガラス基板１がロールバー３
を通過しているガラス基板１の搬送方向端部の膜厚を厚
くしてレジスト塗膜の均一性を阻害する結果となってい
た。

【００２４】図１１はロールバーの塗布ロール部端縁で
のレジスト溶液の巻き上げ現象の説明図である。

【００２５】同図（ａ）はロールバー３の塗布ロール部
端縁の要部拡大断面図であって、ロールバー３が回転す
ると、当該ロールバー３の塗布ロール部３ａの端縁に形
成されている凹部３ｄの内壁を伝ってレジスト溶液４が
這い上がり、これがガラス基板１方向に巻き上げられ、
当該ガラス基板１が通過する塗布ロール部３ａの端部表
面に入り込む。

【００２６】同図（ｂ）は（ａ）を矢印Ｘ方向から見た
側面図であって、ロールバー３が矢印Ｃ方向に回転する
ことにより、レジスト溶液４は矢印Ｙに示したようにガ
ラス基板１方向に巻き上げられる。

【００２７】その結果、塗布ロール部３ａの両端部に供
給されるレジスト溶液の量が多くなり、ガラス基板１の
搬送方向両端部のレジスト塗膜が厚くなる。

【００２８】図１２は従来のレジスト塗布装置によりレ
ジスト溶液が塗布されたガラス基板のレジスト塗膜の状
態の一例の説明図である。

【００２９】同図に示したように、ガラス基板１の搬送
方向幅Ｌ１に対してレジスト塗布領域はＬ２となり、こ
のレジスト塗布領域の両端部に前記したレジスト溶液の
巻き上げに起因するレジスト塗膜４ｂの膜厚のスジむら
４ｄとなって現れる。

【００３０】このような膜厚の不均一があると、後段の
露光工程において、ガラス基板と露光マスクとのギャッ
プむらとなり、パターニング不良を招くという問題があ
る。図１３はロールバーの塗布ロール部端縁におけるレ
ジスト巻き上げを防止する従来技術の一例を説明する要
部模式図である。

【００３１】同図に示したように、ロールバー３の塗布
ロール部３ａの端部に掻き落とし爪９を設けてレジスト
溶液の掻き落としを行なうと共に、ブローノズル１１か
らエアーＤを吹き付けて端部レジストを除去していた。

【００３２】しかし、前記図１１に示したように、塗布
ロール部３ａの端縁に形成されている凹部３ｄの内壁を
伝って這い上がるレジスト溶液４を効果的に除去するこ
とは困難であった。

【００３３】本発明の目的は、上記従来技術の問題を解
消して、ロールバーの塗布ロール部の両端に生じるレジ
ストの巻き上げを無くしてガラス基板のレジスト塗膜を
均一な膜厚とすることができる構成を備えたレジスト塗
布装置を提供することにある。

【００３４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ロールバーの塗布ロール部両端の表面お
よび当該塗布ロール部の両端縁に形成された凹部内壁の
レジスト溶液をブローして除去するブローノズルを設け
たことを特徴とする。

【００３５】また、本発明は、ロールバーの塗布ロール
部両端の表面のレジスト溶液を掻き落とす掻き落とし爪
を設けると共に、当該ロールバーの塗布ロール部両端に
形成されている凹部３ｄの内壁のレジストをブローする
ブローノズルを設けたことを特徴とする。

【００３６】さらに、本発明は、ロールバーの塗布ロー
ル部両端に形成された凹部内壁のレジスト溶液を掻き落
とす掻き落とし爪を設けると共に、当該ロールバーの塗
布ロール部両端に形成されている凹部３ｄの内壁のレジ
スト溶液をブローするブローノズルを設けたことを特徴
とする。

【００３７】すなわち、請求項１に記載の第１の発明
は、ニップローラとロールバーおよびレジスト溶液の受
け皿と、前記受け皿内に設置して前記ロールバーをレジ
スト溶液内で支持するロールバー保持部材とを少なくと
も有し、前記ニップローラと前記ロールバーの間にガラ
ス基板を通過させつつ前記受け皿のレジスト溶液を前記
ロールバーで汲み上げることにより、前記ガラス基板に
レジスト溶液を塗布するレジスト塗布装置において、前
記ロールバーの前記ガラス基板にレジスト溶液を塗布す
る塗布ロール部両端縁の表面および当該塗布ロール部の
両端縁に形成された凹部内壁のレジスト溶液をブローし
て除去するブローノズルを設けたことを特徴とするレジ
スト塗布装置。

【００３８】また、請求項２に記載の第２の発明は、前
記ロールバーの前記ガラス基板にレジスト溶液を塗布す
る塗布ロール部両端縁の表面のレジストを除去する掻き
落とし爪を設けたことを特徴とする。

【００３９】さらに、請求項３に記載の第３の発明は、
ニップローラとロールバーおよびレジスト溶液の受け皿
と、前記受け皿内に設置して前記ロールバーをレジスト
溶液内で支持するロールバー保持部材とを少なくとも有
し、前記ニップローラと前記ロールバーの間にガラス基
板を通過させつつ前記受け皿のレジスト溶液を前記ロー
ルバーで汲み上げることにより、前記ガラス基板にレジ
スト溶液を塗布するレジスト塗布装置において、前記ロ
ールバーの前記ガラス基板にレジスト溶液を塗布する塗
布ロール部両端縁に形成された凹部内壁のレジスト溶液
を除去する掻き落とし爪と、前記塗布ロール部両端縁の
表面のレジスト溶液をブローして除去するブローノズル
とを設けたことを特徴とする。

【００４０】さらに、請求項４に記載の第４の発明は、
ニップローラとロールバーおよびレジスト溶液の受け皿
と、前記受け皿内に設置して前記ロールバーをレジスト
溶液内で支持するロールバー保持部材とを少なくとも有
し、前記ニップローラと前記ロールバーの間にガラス基
板を通過させつつ前記受け皿のレジスト溶液を前記ロー
ルバーで汲み上げることにより、前記ガラス基板にレジ
スト溶液を塗布するレジスト塗布装置において、前記ロ
ールバーの前記ガラス基板にレジスト溶液を塗布する塗
布ロール部両端縁に形成された凹部内壁のレジスト溶液
を除去する掻き落とし爪と、前記塗布ロール部両端縁の
表面のレジストをブローして除去するブローノズル、お
よび前記凹部内壁のレジスト溶液をブローして除去する
ブローノズルとを設けたことを特徴とする。

【００４１】なお、本発明は液晶パネルのカラーフィル
タ形成用レジストに限らず、他の同様のレジスト類の塗
布装置に適用できる。

【００４２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、実
施例の図面を参照して詳細に説明する。

【００４３】図１は本発明によるレジスト塗布装置の第
１実施例の構成を説明する要部模式図、図２は図１の矢
印Ｕ方向から見た底面図、図３は図１の矢印Ｓ方向から
見た側面図である。

【００４４】図１〜図３図において、３はロールバー、
３ａは塗布ロール部、３ｂはロール保持部、３ｃは径小
部、３ｄは凹部、９は掻き落とし爪、１１は表面用のブ
ローノズル、１２は内壁用のブローノズル、１３はブラ
ケット、１４はベース、１５ａ，１５ｂは取り付けボル
ト、１６ａ，１６ｂはコネクタである。

【００４５】同図において、ロールバー３はＳＵＳ製で
あり、一体成形の塗布ロール部３ａとロール保持部３ｂ
および径小部３ｃからなり、ロール保持部３ｂの一方に
駆動機構（図示せず）が結合されてレジスト溶液に上部
を残して没した状態で回転駆動される。

【００４６】また、塗布ロール部３ａの両端には凹部３
ｄが形成されており、レジスト溶液の這い上がりを低減
している。

【００４７】上記塗布ロール部３の両端縁の表面に近接
して掻き落とし爪９が設置され、さらに当該塗布ロール
部３の両端縁の表面に近接して表面のレジストをブロー
するブローノズル１１と、上記凹部３ｄに臨んで当該凹
部のレジストをブローするブローノズル１２とが設けて
ある。

【００４８】これらのブローノズル１１および１２は、
ベース１４に固定したブラケット１３に取り付けられ、
当該ベースに設置されたコネクタ１６ａ，１６ｂから高
圧エアー等のガスＤがそれぞれ供給される。

【００４９】なお、ベース１４は取り付けボルト１５
ａ，１５ｂでロールバー保持部材またはレジスト受け皿
等に固定されている。

【００５０】本実施例の構成において、ロールバー３の
塗布ロール部３ａの端縁に巻き上げられるレジスト溶液
は、ブローノズル１１とブローノズル１２により除去さ
れる。特に、ブローノズル１２により塗布ロール部３ａ
の凹部３ｄから這い上がるレジストをブローするため、
塗布ロール部３ａの表面に余剰なレジスト溶液が巻き上
げられるのが防止される。

【００５１】なお、本実施例では、塗布ロール部３の両
端縁の表面に近接して掻き落とし爪９を設置することに
より、より効果的にレジスト除去を行なわせているが、
レジストの粘度が低い場合等ではこの掻き落とし爪９は
必ずしも必要でない。

【００５２】このように、本実施例によれば、ロールバ
ーの塗布ロール部の両端に生じるレジストの巻き上げを
無くしてガラス基板のレジスト塗膜を均一な膜厚とする
ことができる。

【００５３】図４は本発明によるレジスト塗布装置の第
２実施例の構成を説明する要部模式図、図５は図１の矢
印Ｓ方向から見た側面図である。

【００５４】本実施例は、ロールバー３の塗布ロール部
３ａの端縁の表面に巻き上げられるレジスト溶液を除去
するブローノズル１１を設けると共に、ロールバー３の
ガラス基板にレジスト溶液を塗布する塗布ロール部３ａ
両端縁に形成された凹部３ｄの内壁のレジストを除去す
る掻き落とし爪１０を設けたものである。

【００５５】なお、上記掻き落とし爪１０に塗布ロール
部３ａの端縁の表面に巻き上げられるレジスト溶液を除
去する機能を付加することもできる。

【００５６】このように、本実施例によれば、ロールバ
ーの塗布ロール部の両端に生じるレジストの巻き上げを
無くしてガラス基板のレジスト塗膜を均一な膜厚とする
ことができる。

【００５７】図６は本発明によるレジスト塗布装置の第
３実施例の構成を説明する要部模式図、図７は図６の矢
印Ｓ方向から見た側面図である。

【００５８】本実施例では、ロールバー３の塗布ロール
部３ａの端縁の表面に巻き上げられるレジスト溶液を除
去するブローノズル１１と当該塗布ロール部３ａの端縁
に形成された凹部３ｄのレジスト溶液を除去するブロー
ノズル１２を設けると共に、当該塗布ロール部３ａ両端
縁に形成された凹部３ｄの内壁のレジストを除去する掻
き落とし爪１０を設けたものである。

【００５９】なお、上記掻き落とし爪１０に塗布ロール
部３ａの端縁の表面に巻き上げられるレジスト溶液を除
去する機能を付加することもできる。

【００６０】このように、本実施例によっても、ロール
バーの塗布ロール部の両端に生じるレジストの巻き上げ
を無くしてガラス基板のレジスト塗膜を均一な膜厚とす
ることができる。

【００６１】以上の実施例は、液晶パネルのガラス基板
にフィルタ用のレジスト塗膜を形成するレジスト塗布装
置に本発明を適用したものであるが、本発明はこれに限
るものではなく、液晶表示パネルのガラス基板に形成す
る他の薄膜の形成にんも同様に適用でき、さらに、液晶
パネル以外の同様のレジスト塗膜の形成装置に提供でき
る。

【００６２】また、本発明は、ロールバーの塗布ロール
部の両端に凹部を有するものに限るものではなく、当該
両端が単なる段差とした形式のロールバーにも同様に適
用できるものである。

【００６３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ロールバーのガラス基板にレジスト溶液を塗布する塗布
ロール部の端縁で巻き上げられて当該塗布ロール部の表
面方向に流れるレジスト溶液をブローノズルおよび掻き
落とし爪で除去する構成としたことで、特に、上記ロー
ルバーの塗布ロール部の両端に形成された凹部の内壁に
這い上がるレジスト溶液を上記ブローノズルおよび／ま
たは掻き落とし爪で効果的に除去されるしたがって、塗
布ロール部からガラス基板には常に均一な量のレジスト
溶液の供給がなされて、前記した従来技術にような膜厚
むらの発生が防止され、均一なレジスト塗膜を形成する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるレジスト塗布装置の第１実施例の
構成を説明する要部模式図である。

【図２】図１の矢印Ｕ方向から見た底面図である。

【図３】図１の矢印Ｓ方向から見た側面図である。

【図４】本発明によるレジスト塗布装置の第２実施例の
構成を説明する要部模式図である。

【図５】図４の矢印Ｓ方向から見た側面図である。

【図６】本発明によるレジスト塗布装置の第３実施例の
構成を説明する要部模式図である。

【図７】図６の矢印Ｓ方向から見た側面図である。

【図８】本発明を適用するガラス基板へのレジスト塗布
装置の全体構成を説明する模式正面図である。

【図９】従来のロールバーによるレジスト塗布装置の塗
布メカニズムを説明するための模式図である。

【図１０】図８に示したレジスト塗布装置のレジスト塗
布部をガラス基板の進行方向から見た要部構成図であ
る。

【図１１】ロールバーの塗布ロール部端縁でのレジスト
溶液の巻き上げ現象の説明図である。

【図１２】ガラス基板に塗布されたレジスト塗膜の膜厚
むらの一例の説明図である。

【図１３】ロールバーの塗布ロール部端縁におけるレジ
スト巻き上げを防止する従来技術の一例を説明する要部
模式図である。

【符号の説明】

１ ガラス基板 １ａ 基板搬入装置 １ｂ 搬送ローラ １ｃ 搬出装置 １ｄ 搬送ローラ ２ ニップローラ ３ ロールバー ３ａ 塗布ロール部 ３ｂ ロール保持部 ３ｃ 径小部 ３ｄ 凹部 ４ レジスト溶液 ４ａ レジスト溜り ４ｂ レジスト塗膜 ４ｄ すじむら ５ レジスト溶液の受け皿 ６ ロールバー保持部材 ７ 塗布部 ７ａ 回転装置 ７ｂ ガイドレール ７ｃ 昇降装置 ８ 架台 ９，１０ 掻き落とし爪 １１，１２ ブローノズル １３ ブラケット １４ ベース １５ａ，１５ｂ ボルト １６ａ，１６ｂ コネクタ。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成８年１１月２６日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図９

【補正方法】変更

【補正内容】

【図９】

フロントページの続き (72)発明者 水戸部 巧一 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ニップローラとロールバーおよびレジスト
   溶液の受け皿と、前記受け皿内に設置して前記ロールバ
   ーをレジスト溶液内で支持するロールバー保持部材とを
   少なくとも有し、 前記ニップローラと前記ロールバーの間にガラス基板を
   通過させつつ前記受け皿のレジスト溶液を前記ロールバ
   ーで汲み上げることにより、前記ガラス基板にレジスト
   溶液を塗布するレジスト塗布装置において、 前記ロールバーの前記ガラス基板にレジスト溶液を塗布
   する塗布ロール部両端縁の表面および当該塗布ロール部
   の両端縁に形成された凹部内壁のレジスト溶液をブロー
   して除去するブローノズルを設けたことを特徴とするレ
   ジスト塗布装置。
2. 【請求項２】請求項１において、前記ロールバーの前記
   ガラス基板にレジスト溶液を塗布する塗布ロール部両端
   縁の表面のレジスト溶液を除去する掻き落とし爪を設け
   たことを特徴とするレジスト塗布装置。
3. 【請求項３】ニップローラとロールバーおよびレジスト
   溶液の受け皿と、前記受け皿内に設置して前記ロールバ
   ーをレジスト溶液内で支持するロールバー保持部材とを
   少なくとも有し、 前記ニップローラと前記ロールバーの間にガラス基板を
   通過させつつ前記受け皿のレジスト溶液を前記ロールバ
   ーで汲み上げることにより、前記ガラス基板にレジスト
   溶液を塗布するレジスト塗布装置において、 前記ロールバーの前記ガラス基板にレジスト溶液を塗布
   する塗布ロール部両端縁に形成された凹部内壁のレジス
   ト溶液を除去する掻き落とし爪と、前記塗布ロール部両
   端縁の表面のレジスト溶液をブローして除去するブロー
   ノズルとを設けたことを特徴とするレジスト塗布装置。
4. 【請求項４】ニップローラとロールバーおよびレジスト
   溶液の受け皿と、前記受け皿内に設置して前記ロールバ
   ーをレジスト溶液内で支持するロールバー保持部材とを
   少なくとも有し、 前記ニップローラと前記ロールバーの間にガラス基板を
   通過させつつ前記受け皿のレジスト溶液を前記ロールバ
   ーで汲み上げることにより、前記ガラス基板にレジスト
   溶液を塗布するレジスト塗布装置において、 前記ロールバーの前記ガラス基板にレジスト溶液を塗布
   する塗布ロール部両端縁に形成された凹部内壁のレジス
   トを除去する掻き落とし爪と、 前記塗布ロール部両端縁の表面のレジスト溶液をブロー
   して除去するブローノズル、および前記凹部内壁のレジ
   スト溶液をブローして除去するブローノズルとを設けた
   ことを特徴とするレジスト塗布装置。