JPH10274174A - 送液装置及びその制御方法 - Google Patents
送液装置及びその制御方法Info
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- JPH10274174A JPH10274174A JP10023925A JP2392598A JPH10274174A JP H10274174 A JPH10274174 A JP H10274174A JP 10023925 A JP10023925 A JP 10023925A JP 2392598 A JP2392598 A JP 2392598A JP H10274174 A JPH10274174 A JP H10274174A
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- liquid
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- pump rotor
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/04—Shafts or bearings, or assemblies thereof
- F04D29/046—Bearings
- F04D29/048—Bearings magnetic; electromagnetic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D13/00—Pumping installations or systems
- F04D13/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D13/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
- F04D13/0646—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven the hollow pump or motor shaft being the conduit for the working fluid
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D15/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or systems
- F04D15/0066—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or systems by changing the speed, e.g. of the driving engine
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D3/00—Axial-flow pumps
- F04D3/02—Axial-flow pumps of screw type
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- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
- Control Of Non-Positive-Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構造的に比較的簡単で、しかもライン配管内
での移送液体の固化を極力防止できるばかりでなく、パ
ーティクルの発生を抑えることができるようにする。 【解決手段】 液体を移送する液移送ライン１の途中
に、正逆回転自在で回転数制御可能なポンプロータ１２
を有するねじ式ポンプ２を介装したことを特徴とする。
での移送液体の固化を極力防止できるばかりでなく、パ
ーティクルの発生を抑えることができるようにする。 【解決手段】 液体を移送する液移送ライン１の途中
に、正逆回転自在で回転数制御可能なポンプロータ１２
を有するねじ式ポンプ２を介装したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体装置
を製造する際に使用されるレジスト液やウエハ保護膜用
液等の特殊薬液の移送に使用して最適な送液装置及びそ
の制御方法に関する。また、これらの特殊薬液の移送に
好適な送液ポンプに関する。
を製造する際に使用されるレジスト液やウエハ保護膜用
液等の特殊薬液の移送に使用して最適な送液装置及びそ
の制御方法に関する。また、これらの特殊薬液の移送に
好適な送液ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、上記特殊薬液の移送に使用される
送液装置としては、液供給源と液供給先とを結ぶ液移送
ラインの途中にピストン型等の容積式ポンプを設置し
て、このポンプで液体を所定の圧力に圧縮しつつ順次送
り出すようにしたものが一般に知られている。
送液装置としては、液供給源と液供給先とを結ぶ液移送
ラインの途中にピストン型等の容積式ポンプを設置し
て、このポンプで液体を所定の圧力に圧縮しつつ順次送
り出すようにしたものが一般に知られている。
【０００３】ここに、前記送液装置にあっては、容積式
ポンプの吸込口に接続される吸込管（ライン配管）に吸
込弁を、吐出口に接続される吐出管（ライン配管）に吐
出弁をそれぞれ設置して、液体の逆流を防止するととも
に、液体の流量を調節する流量調節弁を別途設ける必要
があった。
ポンプの吸込口に接続される吸込管（ライン配管）に吸
込弁を、吐出口に接続される吐出管（ライン配管）に吐
出弁をそれぞれ設置して、液体の逆流を防止するととも
に、液体の流量を調節する流量調節弁を別途設ける必要
があった。
【０００４】一方、前記液移送ラインの途中に、ポンプ
とモータとを一体となし、配管の途中に簡易に取り付け
られるようにしたインライン型ポンプを設置することも
広く行われている。この種のインライン型ポンプには、
モータの回転に伴い羽根車と一体となって回転する主軸
が備えられ、この主軸は、転がり軸受や滑り軸受によっ
て回転自在に支承されていた。
とモータとを一体となし、配管の途中に簡易に取り付け
られるようにしたインライン型ポンプを設置することも
広く行われている。この種のインライン型ポンプには、
モータの回転に伴い羽根車と一体となって回転する主軸
が備えられ、この主軸は、転がり軸受や滑り軸受によっ
て回転自在に支承されていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の容積式ポンプを使用した前者にあっては、ライン配
管の途中に複数の弁が配置されているため、配管系が構
造的にかなり複雑になるという問題がある。また、溶剤
等を含んだ特殊薬液を移送液体とした場合に、液体を必
要量移送した後にポンプを停止させると、ポンプの吐出
配管内に残留していた液体（薬液）が該配管の出口部で
大気に触れて開放された空間に溶剤が蒸発し、液体が配
管出口部で固化して配管の閉塞に繋がってしまうことが
あるといった問題があった。
来の容積式ポンプを使用した前者にあっては、ライン配
管の途中に複数の弁が配置されているため、配管系が構
造的にかなり複雑になるという問題がある。また、溶剤
等を含んだ特殊薬液を移送液体とした場合に、液体を必
要量移送した後にポンプを停止させると、ポンプの吐出
配管内に残留していた液体（薬液）が該配管の出口部で
大気に触れて開放された空間に溶剤が蒸発し、液体が配
管出口部で固化して配管の閉塞に繋がってしまうことが
あるといった問題があった。
【０００６】一方、インライン型ポンプを使用した後者
にあっては、転がり軸受や滑り軸受での摺動部材同士の
接触が避けられないため、この接触により微細な発塵
（パーティクル）を伴うことになる。そして、このよう
なパーティクルが微細化された半導体装置の製造工程で
発生すると、液体（薬液）が汚染されてウエハ等の品質
の低下に繋がってしまうという問題があった。また、各
部品を組合わせて組立てる際に必然的に形成される狭い
隙間（組立て隙間）内に液体が染み込み、これが時間と
ともに腐敗して汚染された液体が徐々に染み出して、こ
れがウエハなどの品質を阻害したり、経年的に固化・固
着して、メンテナンス性を阻害する要因となっていた。
にあっては、転がり軸受や滑り軸受での摺動部材同士の
接触が避けられないため、この接触により微細な発塵
（パーティクル）を伴うことになる。そして、このよう
なパーティクルが微細化された半導体装置の製造工程で
発生すると、液体（薬液）が汚染されてウエハ等の品質
の低下に繋がってしまうという問題があった。また、各
部品を組合わせて組立てる際に必然的に形成される狭い
隙間（組立て隙間）内に液体が染み込み、これが時間と
ともに腐敗して汚染された液体が徐々に染み出して、こ
れがウエハなどの品質を阻害したり、経年的に固化・固
着して、メンテナンス性を阻害する要因となっていた。
【０００７】本発明は上記事情に鑑みて為されたもの
で、構造的に比較的簡単で、しかもライン配管内での移
送液体の固化を極力防止できるばかりでなく、パーティ
クルの発生を抑えることができ、更に液体の淀み領域や
死水領域を排除した構造とすることができるようにした
送液装置及びその制御方法を提供することを目的とす
る。
で、構造的に比較的簡単で、しかもライン配管内での移
送液体の固化を極力防止できるばかりでなく、パーティ
クルの発生を抑えることができ、更に液体の淀み領域や
死水領域を排除した構造とすることができるようにした
送液装置及びその制御方法を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、液体を移送する液移送ラインの途中に、正逆回転自
在で回転数制御可能なポンプロータを有するねじ式ポン
プを介装したことを特徴とする送液装置である。これに
より、液移送ライン内に介装したねじ式ポンプの回転
（回転数及び回転方向）を制御することで、正方向に移
送していた液体を逆方向にサックバックさせて、吐出管
内に液体が滞留してしまうことをなくしたり、逆止弁を
用いることなく、ポンプ自体でこの流れを停止させるこ
とができる。
は、液体を移送する液移送ラインの途中に、正逆回転自
在で回転数制御可能なポンプロータを有するねじ式ポン
プを介装したことを特徴とする送液装置である。これに
より、液移送ライン内に介装したねじ式ポンプの回転
（回転数及び回転方向）を制御することで、正方向に移
送していた液体を逆方向にサックバックさせて、吐出管
内に液体が滞留してしまうことをなくしたり、逆止弁を
用いることなく、ポンプ自体でこの流れを停止させるこ
とができる。
【０００９】請求項２に記載の発明は、ＤＣブラシレス
モータを前記ねじ式ポンプの内部に一体に組み込むとと
もに、前記ポンプロータを移送流体を潤滑剤に用いた無
軸受としたことを特徴とする請求項１記載の送液装置で
ある。これにより、ＤＣブラシレスモータを用いること
で、ポンプの回転制御を容易とすることができる。更に
自液を用いた無軸受とすることで、移送液体が潤滑剤や
摺動による発塵によって汚染されてしまうことを防止す
ることができる。
モータを前記ねじ式ポンプの内部に一体に組み込むとと
もに、前記ポンプロータを移送流体を潤滑剤に用いた無
軸受としたことを特徴とする請求項１記載の送液装置で
ある。これにより、ＤＣブラシレスモータを用いること
で、ポンプの回転制御を容易とすることができる。更に
自液を用いた無軸受とすることで、移送液体が潤滑剤や
摺動による発塵によって汚染されてしまうことを防止す
ることができる。
【００１０】請求項３に記載の発明は、必要流量の液体
を流した後、前記ねじ式ポンプの回転を該ポンプの吐出
側配管に残留している液体をサックバックするように制
御することを特徴とする請求項１又は２に記載の送液装
置の制御方法である。これにより、吐出管出口付近に液
体（薬液）が残留してしまうことをなくして、薬液が吐
出管内で固化してしまうことを防止することができる。
を流した後、前記ねじ式ポンプの回転を該ポンプの吐出
側配管に残留している液体をサックバックするように制
御することを特徴とする請求項１又は２に記載の送液装
置の制御方法である。これにより、吐出管出口付近に液
体（薬液）が残留してしまうことをなくして、薬液が吐
出管内で固化してしまうことを防止することができる。
【００１１】請求項４に記載の発明は、液体の移送停止
時に、前記ねじ式ポンプの回転を該ポンプが流体の流れ
を停止させるバルブとしての役割を果たすように制御す
ることを特徴とする請求項１又は２に記載の送液装置の
制御方法である。これにより、ストップ弁等を設置する
必要をなくして、送液装置の簡素化を図ることができ
る。
時に、前記ねじ式ポンプの回転を該ポンプが流体の流れ
を停止させるバルブとしての役割を果たすように制御す
ることを特徴とする請求項１又は２に記載の送液装置の
制御方法である。これにより、ストップ弁等を設置する
必要をなくして、送液装置の簡素化を図ることができ
る。
【００１２】請求項５に記載の発明は、液体の移送流量
の調整時に、前記ねじ式ポンプの回転を該ポンプが流体
の流量を調整するバルブとしての役割を果たすように制
御することを特徴とする請求項１又は２に記載の送液装
置の制御方法である。これにより、流量調整弁等を設置
する必要をなくして、送液装置の簡素化を図ることがで
きる。
の調整時に、前記ねじ式ポンプの回転を該ポンプが流体
の流量を調整するバルブとしての役割を果たすように制
御することを特徴とする請求項１又は２に記載の送液装
置の制御方法である。これにより、流量調整弁等を設置
する必要をなくして、送液装置の簡素化を図ることがで
きる。
【００１３】請求項６に記載の発明は、ロータの外周部
に液体を移送するねじ溝を有するねじ式ポンプにおい
て、前記ロータの内部に永久磁石を有し、ステータ側に
配置された電磁石により回転駆動され、前記ロータの軸
の両端がラジアル磁気軸受により支持され、前記ロータ
の軸の片端または両端がアキシャル磁気軸受により支持
されたことを特徴とする送液ポンプである。これによ
り、ポンプロータを磁気浮上させて非接触で支持するこ
とで、ポンプロータの回転を安定させるとともに、回転
側と静止側の接触によってパーティクルが発生して、送
液対象の薬液を汚染することを防止することができる。
に液体を移送するねじ溝を有するねじ式ポンプにおい
て、前記ロータの内部に永久磁石を有し、ステータ側に
配置された電磁石により回転駆動され、前記ロータの軸
の両端がラジアル磁気軸受により支持され、前記ロータ
の軸の片端または両端がアキシャル磁気軸受により支持
されたことを特徴とする送液ポンプである。これによ
り、ポンプロータを磁気浮上させて非接触で支持するこ
とで、ポンプロータの回転を安定させるとともに、回転
側と静止側の接触によってパーティクルが発生して、送
液対象の薬液を汚染することを防止することができる。
【００１４】請求項７に記載の発明は、前記ポンプの可
動側及び固定側の接液部は、撥水性を有する材料、もし
くはその材料の被覆物で構成されたことを特徴とする請
求項６記載の送液ポンプである。これにより、ポンプの
可動側及び固定側の間に延びる流路の接液面や流路面に
配置された材料の撥水作用で、組立て隙間内に液体が染
み込んでしまうことを防止することができると共に、化
学的に安定な撥水性を有する材料により、ポンプを構成
する材料が薬液により浸食されることを防止することが
できる。
動側及び固定側の接液部は、撥水性を有する材料、もし
くはその材料の被覆物で構成されたことを特徴とする請
求項６記載の送液ポンプである。これにより、ポンプの
可動側及び固定側の間に延びる流路の接液面や流路面に
配置された材料の撥水作用で、組立て隙間内に液体が染
み込んでしまうことを防止することができると共に、化
学的に安定な撥水性を有する材料により、ポンプを構成
する材料が薬液により浸食されることを防止することが
できる。
【００１５】請求項８に記載の発明は、前記ポンプの吸
込口と、前記ねじ溝による液体の移送部と、前記ポンプ
の吐出口とは、軸方向に略直線状に配置されたことを特
徴とする請求項７記載の送液ポンプである。これによ
り、液体の淀み領域や死水領域を排除した構造とするこ
とができ、これによる薬液等の汚染を防止することがで
きる。
込口と、前記ねじ溝による液体の移送部と、前記ポンプ
の吐出口とは、軸方向に略直線状に配置されたことを特
徴とする請求項７記載の送液ポンプである。これによ
り、液体の淀み領域や死水領域を排除した構造とするこ
とができ、これによる薬液等の汚染を防止することがで
きる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施の形
態を示すもので、液供給源と液供給先とを結ぶ液移送ラ
イン１の途中にねじ式ポンプ２が該液移送ライン１と直
列に配置されている。即ち、このねじ式ポンプ２の吸込
口２ａにはライン配管としての吸込管３が、吐出口には
ライン配管としての吐出管４がそれぞれ接続され、これ
らの配管３，４によって液移送ライン１が構成されてい
るとともに、これらの配管３，４の中心と前記ねじ式ポ
ンプ２の回転中心とが互いに連続するように接続されて
いる。
を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施の形
態を示すもので、液供給源と液供給先とを結ぶ液移送ラ
イン１の途中にねじ式ポンプ２が該液移送ライン１と直
列に配置されている。即ち、このねじ式ポンプ２の吸込
口２ａにはライン配管としての吸込管３が、吐出口には
ライン配管としての吐出管４がそれぞれ接続され、これ
らの配管３，４によって液移送ライン１が構成されてい
るとともに、これらの配管３，４の中心と前記ねじ式ポ
ンプ２の回転中心とが互いに連続するように接続されて
いる。
【００１７】前記ねじ式ポンプ２は、ケーシング１０
と、キャン１１ａを備えたポンプステータ１１と、内周
面にねじ溝１２ａを刻設した円筒状のポンプロータ１２
とから主に構成されている。そして、前記ケーシング１
０には、前記吸込口２ａと吐出口２ｂの各中心を結ぶ線
を軸心とした円柱状の軸部１０ａが一体に連接され、こ
の連接部の周囲に貫通孔１０ｂが設けられているととも
に、前記軸部１０ａの周囲を取り囲むように前記ポンプ
ロータ１２が、更にこのポンプロータ１２の周囲を取り
囲むように前記キャン１１ａが配置されている。
と、キャン１１ａを備えたポンプステータ１１と、内周
面にねじ溝１２ａを刻設した円筒状のポンプロータ１２
とから主に構成されている。そして、前記ケーシング１
０には、前記吸込口２ａと吐出口２ｂの各中心を結ぶ線
を軸心とした円柱状の軸部１０ａが一体に連接され、こ
の連接部の周囲に貫通孔１０ｂが設けられているととも
に、前記軸部１０ａの周囲を取り囲むように前記ポンプ
ロータ１２が、更にこのポンプロータ１２の周囲を取り
囲むように前記キャン１１ａが配置されている。
【００１８】これによって、ポンプロータ１２の正方向
の回転に伴って、吸込口２ａから吸込まれた液体が貫通
孔１０ｂを通過した後、軸部１０ａとポンプロータ１２
との間の隙間１３を流れて回転しているねじ溝１２ａに
より所定の圧力に圧縮され、しかる後、吐出口２ｂから
送り出されるようになっている。
の回転に伴って、吸込口２ａから吸込まれた液体が貫通
孔１０ｂを通過した後、軸部１０ａとポンプロータ１２
との間の隙間１３を流れて回転しているねじ溝１２ａに
より所定の圧力に圧縮され、しかる後、吐出口２ｂから
送り出されるようになっている。
【００１９】前記ポンプロータ１２を回転させるため、
ねじ式ポンプ２の内部にＤＣブラシレスモータ２０が一
体に組み込まれている。即ち、前記キャン１１ａを挟ん
で、前記ポンプロータ１２の内部には、マグネットから
なるモータロータ２１が埋設され、ポンプステータ１１
には、モータステータ２２が円周方向に沿って所定間隔
離間した状態で装着されている。
ねじ式ポンプ２の内部にＤＣブラシレスモータ２０が一
体に組み込まれている。即ち、前記キャン１１ａを挟ん
で、前記ポンプロータ１２の内部には、マグネットから
なるモータロータ２１が埋設され、ポンプステータ１１
には、モータステータ２２が円周方向に沿って所定間隔
離間した状態で装着されている。
【００２０】このように、ＤＣブラシレスモータ２０を
用いてポンプロータ１２を回転させることにより、この
ポンプロータ１２の正転・逆転及び回転数の制御を、モ
ータステータコイルに電流を供給するドライバーを用い
て容易に行うことができる。また、隙間１３を流れる移
送流体により、ポンプロータ１２を無軸受で支持すると
ともに、この移送流体をポンプロータ１２の周囲を流れ
る潤滑剤として用いることができ、これによって、移送
流体が潤滑剤によって汚染されてしまうことを防止する
ことができる。
用いてポンプロータ１２を回転させることにより、この
ポンプロータ１２の正転・逆転及び回転数の制御を、モ
ータステータコイルに電流を供給するドライバーを用い
て容易に行うことができる。また、隙間１３を流れる移
送流体により、ポンプロータ１２を無軸受で支持すると
ともに、この移送流体をポンプロータ１２の周囲を流れ
る潤滑剤として用いることができ、これによって、移送
流体が潤滑剤によって汚染されてしまうことを防止する
ことができる。
【００２１】次に、上記ねじ式ポンプ２の制御例につい
て説明する。先ず、液体を所定の圧力で順次送り出す時
には、ポンプロータ１２を所定の回転数で正方向、即ち
ねじ溝１２ａが吸込口２ａから吐出口２ｂの方向に向け
て螺旋状に液体を送り出す方向に回転させる。
て説明する。先ず、液体を所定の圧力で順次送り出す時
には、ポンプロータ１２を所定の回転数で正方向、即ち
ねじ溝１２ａが吸込口２ａから吐出口２ｂの方向に向け
て螺旋状に液体を送り出す方向に回転させる。
【００２２】そして、必要流量の液体を送り出した後に
は、ポンプロータ１２の回転方向を変えるか、またはそ
の回転数を減少させて、吐出管４内に残留する液体を吸
込管３内にサックバックさせる。
は、ポンプロータ１２の回転方向を変えるか、またはそ
の回転数を減少させて、吐出管４内に残留する液体を吸
込管３内にサックバックさせる。
【００２３】即ち、ポンプロータ１２を停止させた時
に、ねじ式ポンプ２の吸込側と吐出側との圧力差によっ
て液体が逆流しないような場合には、ポンプロータ１２
の回転方向を変えて圧縮方向を逆転させ、これによっ
て、吐出管４内に残留する液体を吸込管３内にサックバ
ックさせる。逆にポンプロータ１２を停止させた際に、
ねじ式ポンプ１の吸込側と吐出側との圧力差によって液
体が逆流するような吐出口ヘッドが大きい場合には、ポ
ンプロータ１２の回転数を減少させて、吐出管４内に残
留する液体を吸込管３内にサックバックさせる。
に、ねじ式ポンプ２の吸込側と吐出側との圧力差によっ
て液体が逆流しないような場合には、ポンプロータ１２
の回転方向を変えて圧縮方向を逆転させ、これによっ
て、吐出管４内に残留する液体を吸込管３内にサックバ
ックさせる。逆にポンプロータ１２を停止させた際に、
ねじ式ポンプ１の吸込側と吐出側との圧力差によって液
体が逆流するような吐出口ヘッドが大きい場合には、ポ
ンプロータ１２の回転数を減少させて、吐出管４内に残
留する液体を吸込管３内にサックバックさせる。
【００２４】このように、吐出管４内に残留する液体を
吸込管３内にサックバックさせることにより、この液体
が固化しやすい薬液であっても、液体（薬液）が配管出
口部で固化して配管が閉塞してしまうことを防止するこ
とができる。
吸込管３内にサックバックさせることにより、この液体
が固化しやすい薬液であっても、液体（薬液）が配管出
口部で固化して配管が閉塞してしまうことを防止するこ
とができる。
【００２５】そして、吐出管４内に残留する液体をサッ
クバックした後、このサックバックをポンプロータ１２
を回転方向を変えて行った場合にあっては、ポンプの吸
込側の圧力と見合ようにこの回転数を下げ、回転数を減
少させて行った場合にあっては、この逆流を停止させる
ようにこの回転数を上げて、送液停止または流量調整の
バルブとしての機能を持たせる。
クバックした後、このサックバックをポンプロータ１２
を回転方向を変えて行った場合にあっては、ポンプの吸
込側の圧力と見合ようにこの回転数を下げ、回転数を減
少させて行った場合にあっては、この逆流を停止させる
ようにこの回転数を上げて、送液停止または流量調整の
バルブとしての機能を持たせる。
【００２６】これにより、逆止弁、開閉弁、流量調整弁
等を別途設置することなく、液体の流れをねじ式ポンプ
２自体で調整することが可能となり、送液装置の簡素化
を図ることができる。
等を別途設置することなく、液体の流れをねじ式ポンプ
２自体で調整することが可能となり、送液装置の簡素化
を図ることができる。
【００２７】図２は、第２の実施の形態を示すもので、
この実施の形態は、前記図１に示す第１の実施の形態に
おけるねじ式ポンプ２の代わりに、以下の構成のねじ式
ポンプ３０を使用したものである。即ち、この実施の形
態のねじ式ポンプ３０には、図１に示す吸込管３及び吐
出管４にそれぞれ接続される吸込口３０ａ及び吐出口３
０ｂを有するケーシング３１，３２が備えられている。
そして、このケーシング３１にポンプステータ３２が固
定され、内部にポンプロータ（主軸）３３が配置されて
いる。
この実施の形態は、前記図１に示す第１の実施の形態に
おけるねじ式ポンプ２の代わりに、以下の構成のねじ式
ポンプ３０を使用したものである。即ち、この実施の形
態のねじ式ポンプ３０には、図１に示す吸込管３及び吐
出管４にそれぞれ接続される吸込口３０ａ及び吐出口３
０ｂを有するケーシング３１，３２が備えられている。
そして、このケーシング３１にポンプステータ３２が固
定され、内部にポンプロータ（主軸）３３が配置されて
いる。
【００２８】前記ポンプロータ３３は、中央の大径部３
３ａと両端の軸部３３ｂ，３３ｃとから主に構成され、
前記大径部３３ａの外周面にはねじ溝３３ｄが刻設され
ている。そして、前記ポンプロータ３３の大径部３３ａ
の周囲を囲繞して、前記ケーシング３１に取付けられた
薄板状の内筒部３４が配置されている。
３ａと両端の軸部３３ｂ，３３ｃとから主に構成され、
前記大径部３３ａの外周面にはねじ溝３３ｄが刻設され
ている。そして、前記ポンプロータ３３の大径部３３ａ
の周囲を囲繞して、前記ケーシング３１に取付けられた
薄板状の内筒部３４が配置されている。
【００２９】前記ポンプロータ３３を回転させるため、
ねじ式ポンプ３０の内部にＤＣブラシレスモータ３５が
一体に組み込まれている。即ち、前記内筒部３４を挟ん
で、前記ポンプロータ３３の大径部３３ａの内部には、
例えばマグネットからなるモータロータ３６が埋設さ
れ、ポンプステータ３２には、モータロータ３６を回転
駆動する電磁石部３７が円周方向に沿って所定間隔離間
した状態で前記内筒部３４の外周側に装着されている。
従って、ＤＣブラシレスモータ３５によりロータ３３が
回転すると、ねじ溝３３ｄが回転し、ステータ側の内筒
部３４との隙間により液体が螺旋状にねじ溝に沿って送
液される。
ねじ式ポンプ３０の内部にＤＣブラシレスモータ３５が
一体に組み込まれている。即ち、前記内筒部３４を挟ん
で、前記ポンプロータ３３の大径部３３ａの内部には、
例えばマグネットからなるモータロータ３６が埋設さ
れ、ポンプステータ３２には、モータロータ３６を回転
駆動する電磁石部３７が円周方向に沿って所定間隔離間
した状態で前記内筒部３４の外周側に装着されている。
従って、ＤＣブラシレスモータ３５によりロータ３３が
回転すると、ねじ溝３３ｄが回転し、ステータ側の内筒
部３４との隙間により液体が螺旋状にねじ溝に沿って送
液される。
【００３０】この実施の形態のポンプにあっては、その
主要部が撥水性の高い材料であるフッ素樹脂材を用いて
構成されている。少なくとも、ポンプの固定側と可動側
の隙間である送液対象の液体が入る接液部分は、フッ素
樹脂材もしくはフッ素樹脂材でコーティングしたものが
用いられ、接液部に金属材料等が露出しないように構成
されている。
主要部が撥水性の高い材料であるフッ素樹脂材を用いて
構成されている。少なくとも、ポンプの固定側と可動側
の隙間である送液対象の液体が入る接液部分は、フッ素
樹脂材もしくはフッ素樹脂材でコーティングしたものが
用いられ、接液部に金属材料等が露出しないように構成
されている。
【００３１】前記ポンプロータ３３の各軸部３３ｂ，３
３ｃには、ラジアル磁気軸受４０，４１のロータ磁極４
０ａ，４１ａが、前記ケーシング３１の前記各ロータ磁
極４０ａ，４１ａに対向する位置には、ラジアル磁気軸
受４０，４１のステータ磁極４０ｂ，４１ｂがそれぞれ
固着されている。ロータ磁極４０ａ，４１ａ及びステー
タ磁極４０ｂ，４１ｂは、それぞれ永久磁石により構成
され、同極が対向するように配置することで、その反発
力により、ロータを非接触で浮上支持する。また、ロー
タ磁極４０ａ，４１ａ及びステータ磁極４０ｂ，４１ｂ
の接液面はフッ素樹脂によりコーティングされており、
移送流体（薬液）に対して撥水性を持たせ、化学的に安
定な状態になっている。
３ｃには、ラジアル磁気軸受４０，４１のロータ磁極４
０ａ，４１ａが、前記ケーシング３１の前記各ロータ磁
極４０ａ，４１ａに対向する位置には、ラジアル磁気軸
受４０，４１のステータ磁極４０ｂ，４１ｂがそれぞれ
固着されている。ロータ磁極４０ａ，４１ａ及びステー
タ磁極４０ｂ，４１ｂは、それぞれ永久磁石により構成
され、同極が対向するように配置することで、その反発
力により、ロータを非接触で浮上支持する。また、ロー
タ磁極４０ａ，４１ａ及びステータ磁極４０ｂ，４１ｂ
の接液面はフッ素樹脂によりコーティングされており、
移送流体（薬液）に対して撥水性を持たせ、化学的に安
定な状態になっている。
【００３２】また、ポンプロータ３３の一方の軸部３３
ｃには、制御型のアキシャル磁気軸受４４のターゲット
ディスク４４ａが設けられ、このターゲットディスク４
４ａの両面に対向する位置に、アキシャル磁気軸受４４
の電磁石４４ｂ，４４ｃが配置されている。更に、前記
ターゲットディスク４４ａに対面して、アキシャルセン
サ４５が配置されている。ターゲットディスク４４ａ及
び電磁石４４ｂ，４４ｃの接液面も同様にフッ素樹脂に
よりコーティングされており、薬液に対して安定性が確
保されている。
ｃには、制御型のアキシャル磁気軸受４４のターゲット
ディスク４４ａが設けられ、このターゲットディスク４
４ａの両面に対向する位置に、アキシャル磁気軸受４４
の電磁石４４ｂ，４４ｃが配置されている。更に、前記
ターゲットディスク４４ａに対面して、アキシャルセン
サ４５が配置されている。ターゲットディスク４４ａ及
び電磁石４４ｂ，４４ｃの接液面も同様にフッ素樹脂に
よりコーティングされており、薬液に対して安定性が確
保されている。
【００３３】これによって、ポンプロータ３３に作用す
るラジアル力を前記軸両端のラジアル磁気軸受４０，４
１で、軸方向スラスト力をアキシャル磁気軸受４４でそ
れぞれ支持して、ポンプロータ３３を磁気浮上させた状
態で静止側と何ら接触することなく保持するようになっ
ている。
るラジアル力を前記軸両端のラジアル磁気軸受４０，４
１で、軸方向スラスト力をアキシャル磁気軸受４４でそ
れぞれ支持して、ポンプロータ３３を磁気浮上させた状
態で静止側と何ら接触することなく保持するようになっ
ている。
【００３４】このように、ポンプロータ３３をラジアル
磁気軸受４０，４１及びアキシャル磁気軸受４４を介し
て磁気浮上させて非接触で支持することで、ポンプロー
タ３３の回転を安定化するとともに、回転側と静止側の
接触によってパーティクルが発生して、移送流体が汚染
されてしまうことを防止することができる。また、ポン
プ内部の接液面がすべてフッ素樹脂材料を用いて被覆す
るか、フッ素樹脂材料により構成されているので、薬液
に対して撥水性を有し、また薬液による腐蝕等がおこら
ず化学的に安定である。
磁気軸受４０，４１及びアキシャル磁気軸受４４を介し
て磁気浮上させて非接触で支持することで、ポンプロー
タ３３の回転を安定化するとともに、回転側と静止側の
接触によってパーティクルが発生して、移送流体が汚染
されてしまうことを防止することができる。また、ポン
プ内部の接液面がすべてフッ素樹脂材料を用いて被覆す
るか、フッ素樹脂材料により構成されているので、薬液
に対して撥水性を有し、また薬液による腐蝕等がおこら
ず化学的に安定である。
【００３５】この実施の形態のねじ式ポンプ３０は、例
えば前記図１に示す第１の実施の形態のねじポンプ２と
同じように制御されるのであり、これにより、逆止弁、
開閉弁、流量調整弁を別途設置することなく、液体の流
れをねじ式ポンプ３０自体で調整することができる。こ
のことは、下記の第３の実施の形態にあっても同様であ
る。
えば前記図１に示す第１の実施の形態のねじポンプ２と
同じように制御されるのであり、これにより、逆止弁、
開閉弁、流量調整弁を別途設置することなく、液体の流
れをねじ式ポンプ３０自体で調整することができる。こ
のことは、下記の第３の実施の形態にあっても同様であ
る。
【００３６】図３は、図２に示す送液ポンプの変形例を
示すもので、外周面にねじ溝３３ｄを刻設したポンプロ
ータ３３の大径部３３ａの両端に凹状部４６を形成し、
この凹状部４６の内部にラジアル磁気軸受４０，４１を
配置したものである。薄肉のキャン３４をポンプステー
タ３２と一体に形成して、吸込口３０ａ、ねじ溝３３ｄ
による流路、吐出口３０ｂとを略直線状に配置したもの
である。これによりねじ式ポンプ３０の小型コンパクト
化を図ることができると共に、液体の淀み部または死水
部を少なくすることができる。
示すもので、外周面にねじ溝３３ｄを刻設したポンプロ
ータ３３の大径部３３ａの両端に凹状部４６を形成し、
この凹状部４６の内部にラジアル磁気軸受４０，４１を
配置したものである。薄肉のキャン３４をポンプステー
タ３２と一体に形成して、吸込口３０ａ、ねじ溝３３ｄ
による流路、吐出口３０ｂとを略直線状に配置したもの
である。これによりねじ式ポンプ３０の小型コンパクト
化を図ることができると共に、液体の淀み部または死水
部を少なくすることができる。
【００３７】図４は、本発明の第３の実施の形態を示す
もので、この実施の形態は、前記図１に示す第１の実施
の形態におけるねじ式ポンプ２の代わりに、以下の構成
のねじ式ポンプ５０を使用したものである。即ち、この
実施の形態のねじ式ポンプ５０には、図１に示す吸込管
３及び吐出管４にそれぞれ接続される吸込口５０ａ及び
吐出口５０ｂを有する一対のケーシング５１，５１が備
えられている。そして、このケーシング５１，５１間に
ポンプステータ５２が直列に固定され、この内部にポン
プロータ（主軸）５３が配置されている。
もので、この実施の形態は、前記図１に示す第１の実施
の形態におけるねじ式ポンプ２の代わりに、以下の構成
のねじ式ポンプ５０を使用したものである。即ち、この
実施の形態のねじ式ポンプ５０には、図１に示す吸込管
３及び吐出管４にそれぞれ接続される吸込口５０ａ及び
吐出口５０ｂを有する一対のケーシング５１，５１が備
えられている。そして、このケーシング５１，５１間に
ポンプステータ５２が直列に固定され、この内部にポン
プロータ（主軸）５３が配置されている。
【００３８】前記ポンプステータ５２の内周面には、キ
ャン５２ａが一体に設けられ、ポンプロータ５３の前記
キャン５２ａと対面する外周面には、ねじ溝５３ａが設
けられている。ねじ溝５３ａは、ロータ５３がその外周
部分をフッ素樹脂材で構成している。即ち、そのフッ素
樹脂材に直接ねじ溝を設けたものであっても、またロー
タの外周部を金属材料で構成し、その金属材料にねじ溝
を設け、接液部をフッ素樹脂でコーティングしたもので
あってもよい。このようにこの実施形態においてもポン
プを構成する主要部はフッ素樹脂材料で構成され、金属
材料等の接液部分はフッ素樹脂でコーティングされてい
る。
ャン５２ａが一体に設けられ、ポンプロータ５３の前記
キャン５２ａと対面する外周面には、ねじ溝５３ａが設
けられている。ねじ溝５３ａは、ロータ５３がその外周
部分をフッ素樹脂材で構成している。即ち、そのフッ素
樹脂材に直接ねじ溝を設けたものであっても、またロー
タの外周部を金属材料で構成し、その金属材料にねじ溝
を設け、接液部をフッ素樹脂でコーティングしたもので
あってもよい。このようにこの実施形態においてもポン
プを構成する主要部はフッ素樹脂材料で構成され、金属
材料等の接液部分はフッ素樹脂でコーティングされてい
る。
【００３９】前記ポンプロータ５３を回転させるため、
ポンプ５０の内部にＤＣブラシレスモータ５５が一体に
組み込まれている。即ち、前記キャン５２ａを挟んで、
前記ポンプロータ５３の内部には、マグネットを装着し
たモータロータ５６が埋設され、ポンプステータ５２に
は、電磁石部５７が円周方向に沿って所定間隔離間した
状態で装着されている。
ポンプ５０の内部にＤＣブラシレスモータ５５が一体に
組み込まれている。即ち、前記キャン５２ａを挟んで、
前記ポンプロータ５３の内部には、マグネットを装着し
たモータロータ５６が埋設され、ポンプステータ５２に
は、電磁石部５７が円周方向に沿って所定間隔離間した
状態で装着されている。
【００４０】前記モータロータ５３の両端部には、ラジ
アル磁気軸受６０，６１のロータ磁極６０ａ，６１ａ
が、前記各ケーシング５１に固着されたスリーブ６２の
内周面の前記各ロータ磁極６０ａ，６１ａに対向する位
置には、ラジアル磁気軸受６０，６１のステータ磁極６
０ｂ，６１ｂがそれぞれ固着されている。ラジアル磁気
軸受６０，６１は永久磁石の反発力を利用した軸受であ
り、磁極６０ａ，６０ｂ，６１ａ，６１ｂはそれぞれ永
久磁石により構成されている。これらの磁極の接液面は
フッ素樹脂でコーティングされ、薬液に対する安定性が
確保されている。
アル磁気軸受６０，６１のロータ磁極６０ａ，６１ａ
が、前記各ケーシング５１に固着されたスリーブ６２の
内周面の前記各ロータ磁極６０ａ，６１ａに対向する位
置には、ラジアル磁気軸受６０，６１のステータ磁極６
０ｂ，６１ｂがそれぞれ固着されている。ラジアル磁気
軸受６０，６１は永久磁石の反発力を利用した軸受であ
り、磁極６０ａ，６０ｂ，６１ａ，６１ｂはそれぞれ永
久磁石により構成されている。これらの磁極の接液面は
フッ素樹脂でコーティングされ、薬液に対する安定性が
確保されている。
【００４１】一方、前記モータロータ５３の各端面に
は、アキシャル磁気軸受６４，６５のターゲットディス
ク６４ａ，６５ａがそれぞれ設けられ、このターゲット
ディスク６４ａ，６５ａに対面する位置に、アキシャル
磁気軸受６４，６５の電磁石６４ｂ，６５ｂがそれぞれ
配置されている。即ち、前記各ケーシング５１の内部に
は、頭部を球状にして円錐状に後方に延びる案内部材６
６が連結材６７を介して固着され、この案内部材６６に
よって、軸方向に直線状に延びる流路６８が形成されて
いるとともに、各案内部材６６の後端面側に前記電磁石
６４ｂ，６５ｂがそれぞれ固着されている。
は、アキシャル磁気軸受６４，６５のターゲットディス
ク６４ａ，６５ａがそれぞれ設けられ、このターゲット
ディスク６４ａ，６５ａに対面する位置に、アキシャル
磁気軸受６４，６５の電磁石６４ｂ，６５ｂがそれぞれ
配置されている。即ち、前記各ケーシング５１の内部に
は、頭部を球状にして円錐状に後方に延びる案内部材６
６が連結材６７を介して固着され、この案内部材６６に
よって、軸方向に直線状に延びる流路６８が形成されて
いるとともに、各案内部材６６の後端面側に前記電磁石
６４ｂ，６５ｂがそれぞれ固着されている。
【００４２】これによって、ポンプロータ５３に作用す
るラジアル力を前記両ラジアル磁気軸受６０，６１で、
軸方向スラスト力をアキシャル磁気軸受６４，６５でそ
れぞれ支持して、ポンプロータ５３を磁気浮上させた状
態で静止側と何ら接触することなく保持するようになっ
ている。
るラジアル力を前記両ラジアル磁気軸受６０，６１で、
軸方向スラスト力をアキシャル磁気軸受６４，６５でそ
れぞれ支持して、ポンプロータ５３を磁気浮上させた状
態で静止側と何ら接触することなく保持するようになっ
ている。
【００４３】このように、ポンプロータ５３をラジアル
磁気軸受６０，６１及びアキシャル磁気軸受６４，６５
を介して磁気浮上させて非接触で支持することで、ポン
プロータ５３の回転を安定させるとともに、回転側と静
止側の接触によってパーティクルが発生して、移送流体
が汚染されてしまうことを防止することができる。
磁気軸受６０，６１及びアキシャル磁気軸受６４，６５
を介して磁気浮上させて非接触で支持することで、ポン
プロータ５３の回転を安定させるとともに、回転側と静
止側の接触によってパーティクルが発生して、移送流体
が汚染されてしまうことを防止することができる。
【００４４】この実施の形態にあっては、ポンプの吸込
口及び吐出口は、頭部が球形で後方に略円錐状に伸びる
案内部材６６により、液体の流路が滑らかにラジアル磁
気軸受６０間の隙間６０ｃ及びねじ溝５３ａによる流路
に接続されている。そして、例えばフッ素樹脂等の撥水
性を有する材料によって、前記流路が構成されているこ
とは上述の通りである。これにより、移送流体の淀み領
域や死水領域を排除した構造とすることができる。
口及び吐出口は、頭部が球形で後方に略円錐状に伸びる
案内部材６６により、液体の流路が滑らかにラジアル磁
気軸受６０間の隙間６０ｃ及びねじ溝５３ａによる流路
に接続されている。そして、例えばフッ素樹脂等の撥水
性を有する材料によって、前記流路が構成されているこ
とは上述の通りである。これにより、移送流体の淀み領
域や死水領域を排除した構造とすることができる。
【００４５】また、この実施の形態のポンプは、その構
造が吸込側と吐出側でロータの略中央部分に関して対称
となっている。このことは、ロータを逆回転することに
より、吸込側が吐出側に、吐出側が吸込側に変化するこ
とを意味している。即ち、係るポンプ構造によれば液の
流れ方向をロータの回転方向の変更のみにより容易に制
御することが可能である。
造が吸込側と吐出側でロータの略中央部分に関して対称
となっている。このことは、ロータを逆回転することに
より、吸込側が吐出側に、吐出側が吸込側に変化するこ
とを意味している。即ち、係るポンプ構造によれば液の
流れ方向をロータの回転方向の変更のみにより容易に制
御することが可能である。
【００４６】図５は、本発明の第３の実施の形態の送液
ポンプの変形例を示す。ポンプロータ５３の両端面に軸
部５３ｂ，５３ｃを連接し、この軸部５３ｂ，５３ｃの
外周面にラジアル磁気軸受６０，６１のロータ磁極６０
ａ，６１ａを、案内部材６６の内周面の前記各ロータ磁
極６０ａ，６１ａに対向する位置にラジアル磁気軸受６
０，６１のステータ磁極６０ｂ，６１ｂをそれぞれ固着
している。更に、前記軸部５３ｂ，５３ｃの端面にアキ
シャル磁気軸受６４，６５のターゲットディスク６４
ａ，６５ａを、このターゲットディスク６４ａ，６５ａ
に対面する案内部材６６の内部に、アキシャル磁気軸受
６４，６５の電磁石６４ｂ，６５ｂをそれぞれ配置して
いる。
ポンプの変形例を示す。ポンプロータ５３の両端面に軸
部５３ｂ，５３ｃを連接し、この軸部５３ｂ，５３ｃの
外周面にラジアル磁気軸受６０，６１のロータ磁極６０
ａ，６１ａを、案内部材６６の内周面の前記各ロータ磁
極６０ａ，６１ａに対向する位置にラジアル磁気軸受６
０，６１のステータ磁極６０ｂ，６１ｂをそれぞれ固着
している。更に、前記軸部５３ｂ，５３ｃの端面にアキ
シャル磁気軸受６４，６５のターゲットディスク６４
ａ，６５ａを、このターゲットディスク６４ａ，６５ａ
に対面する案内部材６６の内部に、アキシャル磁気軸受
６４，６５の電磁石６４ｂ，６５ｂをそれぞれ配置して
いる。
【００４７】これにより、送液の流路が図４に示すポン
プのように、ラジアル磁気軸受の固定側と可動側の隙間
を通ることなく、直接吸込口からねじ溝部へ、更にねじ
溝部から直接吐出口に接続することができる。これによ
り隘路をなくしてポンプ効率を向上させることができ、
更に液体の淀み部または死水部を少なくすることができ
る。
プのように、ラジアル磁気軸受の固定側と可動側の隙間
を通ることなく、直接吸込口からねじ溝部へ、更にねじ
溝部から直接吐出口に接続することができる。これによ
り隘路をなくしてポンプ効率を向上させることができ、
更に液体の淀み部または死水部を少なくすることができ
る。
【００４８】尚、上述した実施の形態においは、撥水性
を有する材料、例えばフッ素樹脂材料の直接加工、また
はコーティングの例について述べたが、このような樹脂
材料のライニング、またはこのような樹脂塗料による皮
膜を形成するようにしても勿論よい。
を有する材料、例えばフッ素樹脂材料の直接加工、また
はコーティングの例について述べたが、このような樹脂
材料のライニング、またはこのような樹脂塗料による皮
膜を形成するようにしても勿論よい。
【００４９】また、上記実施の形態においては、モータ
としてＤＣブラシレスモータの例について述べたが、リ
ラクタンス型のモータ、または誘導機型のモータを用
い、インバータ装置等により速度制御するようにしても
勿論よい。このように本発明の趣旨を逸脱することな
く、種々の変形実施例が可能である。
としてＤＣブラシレスモータの例について述べたが、リ
ラクタンス型のモータ、または誘導機型のモータを用
い、インバータ装置等により速度制御するようにしても
勿論よい。このように本発明の趣旨を逸脱することな
く、種々の変形実施例が可能である。
【００５０】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、ねじ式ポンプを薬液移送の配管系に接続すること
で、特殊薬液の移送装置の構成を著しく簡素化すること
ができる。更に、ポンプを減速または逆回転させること
により、液体を配管内部にサックバックさせて薬液の固
化を防ぎ、配管の閉塞を防ぐことができる。
ば、ねじ式ポンプを薬液移送の配管系に接続すること
で、特殊薬液の移送装置の構成を著しく簡素化すること
ができる。更に、ポンプを減速または逆回転させること
により、液体を配管内部にサックバックさせて薬液の固
化を防ぎ、配管の閉塞を防ぐことができる。
【００５１】また、サックバックさせた後に吸込圧力と
同等の圧力を生む回転数で逆方向の圧縮運転を続ける
か、または減速させることにより、液体の流れを停止さ
せる、または流量調整バルブとしての機能を持たせるこ
とができ、これによって、別にバルブを用意する必要を
なくして、構成の簡素化を図ることができる。
同等の圧力を生む回転数で逆方向の圧縮運転を続ける
か、または減速させることにより、液体の流れを停止さ
せる、または流量調整バルブとしての機能を持たせるこ
とができ、これによって、別にバルブを用意する必要を
なくして、構成の簡素化を図ることができる。
【００５２】更に、ねじ式ポンプのポンプロータを磁気
浮上等により非接触で保持することにより、ポンプロー
タの回転を安定化させるとともに、回転側と静止側の接
触によってパーティクルが発生することを防止すること
ができる。これにより、例えば半導体装置の製造に使用
される特殊薬液等の移送される液体の汚染を防止して、
ウエハ処理などの品質を向上させることができる。
浮上等により非接触で保持することにより、ポンプロー
タの回転を安定化させるとともに、回転側と静止側の接
触によってパーティクルが発生することを防止すること
ができる。これにより、例えば半導体装置の製造に使用
される特殊薬液等の移送される液体の汚染を防止して、
ウエハ処理などの品質を向上させることができる。
【００５３】また、前記ねじ式ポンプをその流路が軸方
向に直線状に延びるように構成することにより、送液の
淀み領域や死水領域を排除した構造とすることができ
る。これにより、ポンプ内の狭い隙間に閉じ込められた
薬液の固化、固着を防止して、メンテナンス性を向上さ
せることができる。
向に直線状に延びるように構成することにより、送液の
淀み領域や死水領域を排除した構造とすることができ
る。これにより、ポンプ内の狭い隙間に閉じ込められた
薬液の固化、固着を防止して、メンテナンス性を向上さ
せることができる。
【００５４】また、前記流路の接液面や流路面が撥水性
を有するような材料を用いることにより、流路の接液面
や流路面の撥水作用で、組立て隙間内に液体が染み込ん
でしまうことを防止することができると共に、薬液（取
扱液）に対する化学的な安定性を高めることができる。
を有するような材料を用いることにより、流路の接液面
や流路面の撥水作用で、組立て隙間内に液体が染み込ん
でしまうことを防止することができると共に、薬液（取
扱液）に対する化学的な安定性を高めることができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す断面図であ
る。
る。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示すねじ式ポンプ
の断面図である。
の断面図である。
【図３】図２に示す第２の実施の形態のねじ式ポンプの
変形例を示す断面図である。
変形例を示す断面図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態を示すねじ式ポンプ
の断面図である。
の断面図である。
【図５】図４に示す第３の実施の形態のねじ式ポンプの
変形例を示す断面図である。
変形例を示す断面図である。
１ 液移送ライン ２，３０，５０ ねじ式ポンプ ３ 吸込管（ライン配管） ４ 吐出管（ライン配管） １１，３２，５２ ポンプステータ １１ａ，３４，５２ａ キャン １２，３３，５３ ポンプロータ １２ａ，３３ｄ，５３ａ ねじ溝 ２０，３５，５５ ＤＣブラシレスモータ ２１，３６，５６ モータロータ ２２，３７，５７ モータステータ（電磁石部） ４０，４１，６０，６１ ラジアル磁気軸受 ４４，６４，６５ アキシャル磁気軸受 ６６ 案内部材 ６８ 流路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０２Ｋ 7/09 Ｈ０２Ｋ 7/09 29/00 29/00 Ｚ // Ｈ０２Ｋ 7/14 7/14 Ｂ Ｈ０２Ｐ 6/22 Ｈ０２Ｐ 6/02 ３５１Ｍ (72)発明者 曽布川 拓司 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原製作所内 (72)発明者 相吉澤 俊一 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原製作所内 (72)発明者 中澤 敏治 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目１番１号 株 式会社荏原電産内 (72)発明者 小島 善徳 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目１番１号 株 式会社荏原電産内
Claims (8)
- 【請求項１】 液体を移送する液移送ラインの途中に、
正逆回転自在で回転数制御可能なポンプロータを有する
ねじ式ポンプを介装したことを特徴とする送液装置。 - 【請求項２】 ＤＣブラシレスモータを前記ねじ式ポン
プの内部に一体に組み込むとともに、前記ポンプロータ
を移送流体を潤滑剤に用いた無軸受としたことを特徴と
する請求項１記載の送液装置。 - 【請求項３】 必要流量の液体を流した後、前記ねじ式
ポンプの回転を該ポンプの吐出側配管に残留している液
体をサックバックするように制御することを特徴とする
請求項１又は２に記載の送液装置の制御方法。 - 【請求項４】 液体の移送停止時に、前記ねじ式ポンプ
の回転を該ポンプが流体の流れを停止させるバルブとし
ての役割を果たすように制御することを特徴とする請求
項１又は２に記載の送液装置の制御方法。 - 【請求項５】 液体の移送流量の調整時に、前記ねじ式
ポンプの回転を該ポンプが流体の流量を調整するバルブ
としての役割を果たすように制御することを特徴とする
請求項１又は２記載の送液装置の制御方法。 - 【請求項６】 ロータの外周部に液体を移送するねじ溝
を有するねじ式ポンプにおいて、前記ロータの内部に永
久磁石を有し、ステータ側に配置された電磁石により回
転駆動され、前記ロータの軸の両端がラジアル磁気軸受
により支持され、前記ロータの軸の片端または両端がア
キシャル磁気軸受により支持されたことを特徴とする送
液ポンプ。 - 【請求項７】 前記ポンプの可動側及び固定側の接液部
は、撥水性を有する材料、もしくはその材料の被覆物で
構成されたことを特徴とする請求項６記載の送液ポン
プ。 - 【請求項８】 前記ポンプの吸込口と、前記ねじ溝によ
る液体の移送部と、前記ポンプの吐出口とは、軸方向に
略直線状に配置されたことを特徴とする請求項７記載の
送液ポンプ。
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