JP2006509953A - 真空ポンプ排出装置及びその作動方法 - Google Patents
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Abstract
Description
チャンバを排気する公知の真空ポンプ排出装置は、分子ポンプを含み、この分子ポンプは、分子ドラグポンプ排出手段又はターボ分子ポンプ排出手段、又は分子ドラグポンプ排出手段とターボ分子ポンプ排出手段の両方を有する場合がある。両方のポンプ排出手段が設けられる場合、ターボ分子ポンプ排出手段は、分子ドラグポンプ排出手段と直列に連結される。ポンプ排出装置は、チャンバを約1×10-6ミリバールの非常に低い圧力に排気できる。分子ポンプにより達成される圧縮比は、かかる低い圧力を達成すると同時に大気に排出するには十分ではなく、したがって、分子ポンプの排気部の圧力を減少させ、それにより非常に低い圧力をその入口のところに達成できるようにするためにバッキングポンプが設けられる。
本発明は、チャンバ内の圧力を制御する真空ポンプ排出装置であって、分子ポンプ排出機構及びバッキングポンプ排出機構を有し、上記バッキングポンプ排出機構は、モータにより回転可能であり、上記モータは、上記分子ポンプ排出機構をバッキングポンプ排出機構と同時に回転させるようになっており、上記真空ポンプ排出装置は、バッキングポンプ排出機構及び分子ポンプ排出機構の回転速度を制御する手段を更に有することを特徴とする真空ポンプ排出装置を提供する。
本発明の他の特徴は、添付の特許請求の範囲に記載されている。
本発明をよりよく理解できるようにするために、例示として与えられているに過ぎないその幾つかの実施形態を今、添付の図面を参照して説明する。
部品26は、端ぐり凹部28を備え、この端ぐり凹部は、駆動シャフト32を支持する潤滑式軸受30を受け入れ、この軸受30は、再生ポンプ排出機構14と関連した駆動シャフトの第1の端部のところに位置している。軸受30は、転がり軸受、例えば玉軸受であるのがよく、これを例えばグリースで潤滑するのがよい。というのは、これは、ポンプ排出装置の入口から見て遠くに位置するポンプ排出装置10の一部の中に位置しているからである。ポンプ排出装置の入口は、クリーンな環境が必要である半導体処理チャンバと流体連結関係にある場合がある。
概略的に示されたドラグポンプ排出機構20は、ホルベック型ドラグポンプ排出機構であり、かかるホルベック型では、ステータ部分48は、ハウジング部品24の内面とドラグシリンダ46との間に螺旋の溝を構成している。3つのドラグ段が示されており、これらドラグ段の各々は、ロータとステータとの間にガスの螺旋流路を備えている。ホルベック型ドラグポンプ排出機構の作動及び構造は、周知である。ガスの流れは、直列状態のドラグ段を連続的に通って流れる曲がりくねった経路を辿る。
分子ポンプ排出機構のロータの僅かな量の半径方向運動は、ポンプ排出機構の性能にそれほど悪影響を及ぼさない。しかしながら半径方向運動に更に抵抗することが望ましい場合、能動式磁気軸受を採用するのがよい。能動式磁気軸受では、受動式磁気軸受の永久磁石ではなく、電気磁石が用いられる。さらに、半径方向運動を検出し、半径方向運動に抵抗するよう磁界を制御する検出手段が設けられる。図6〜図8は、能動式磁気軸受を示している。
ポンプ排出装置10を始動前に排気するのがよいが、始動後にポンプ排出装置10を排気することも可能である。というのは、ポンプ排出装置10を始動させることができるが、排気が実施されるまで適当な回転速度に達することがないからである。
次に、本発明の別の3つの実施形態について説明する。簡潔にするために、これら別の実施形態を、第1の実施形態とは異なるその部分に関してのみ説明し、同一部品には同一の符号が用いられる。
図7では、ターボ分子ポンプ排出手段12が2つのターボ分子ポンプ排出段16から成る真空ポンプ排出装置200が示されている。ステータ92が、2つのターボ段16相互間でハウジング部品22から半径方向内方に延びている。
図8では、分子抵抗ポンプ排出機構20が省かれた真空ポンプ排出装置300が示されている。
Claims (10)
- チャンバ内の圧力を制御する真空ポンプ排出装置であって、分子ポンプ排出機構及びバッキングポンプ排出機構を有し、前記バッキングポンプ排出機構は、モータにより回転可能であり、前記モータは、前記分子ポンプ排出機構をバッキングポンプ排出機構と同時に回転させるようになっており、前記真空ポンプ排出装置は、バッキングポンプ排出機構及び分子ポンプ排出機構の回転速度を制御する手段を更に有することを特徴とする真空ポンプ排出装置。
- 分子ポンプ排出機構及びバッキングポンプ排出機構は、前記モータにより駆動されるよう配置された共通の駆動シャフトによって駆動されるよう配置されていることを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ排出装置。
- 前記分子ポンプ排出機構は、分子ドラグポンプ排出手段を含むことを特徴とする請求項1又は2記載の真空ポンプ排出装置。
- 前記分子ドラグポンプ排出手段は、ホルベック(Holweck)ポンプ排出手段から成ることを特徴とする請求項3記載の真空ポンプ排出装置。
- ホルベックポンプ排出手段のホルベックシリンダは、炭素繊維強化材料で作られていることを特徴とする請求項4記載の真空ポンプ排出装置。
- 前記分子ポンプ排出機構は、ターボ分子ポンプ排出手段から成ることを特徴とする請求項1〜5のうちいずれか一に記載の真空ポンプ排出装置。
- バッキングポンプ排出機構は、再生ポンプ排出機構であることを特徴とする請求項1〜6のうちいずれか一に記載の真空ポンプ排出装置。
- 前記制御手段は、チャンバ内の圧力を測定する手段と、測定圧力に依存して前記機構の回転速度を変化させる手段とから成ることを特徴とする請求項1〜7のうちいずれか一に記載の真空ポンプ排出装置。
- バッキングポンプ排出機構及び分子ポンプ排出機構と、前記バッキングポンプ排出機構を駆動するモータとを有する真空ポンプ排出装置の入口に連結されたチャンバ内の圧力を制御する方法であって、前記モータを用いて前記分子ポンプ排出機構の回転を制御し、それにより前記チャンバ内の圧力を制御する段階を有することを特徴とする方法。
- バッキングポンプ排出機構及び分子ポンプ排出機構は、共通の駆動シャフトに結合されており、前記方法は、前記モータを用いて共通駆動シャフトの回転を制御し、それにより前記チャンバ内の圧力を制御する段階を有することを特徴とする請求項9記載の方法。
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US5020969A (en) * | 1988-09-28 | 1991-06-04 | Hitachi, Ltd. | Turbo vacuum pump |
GB9318801D0 (en) * | 1993-09-10 | 1993-10-27 | Boc Group Plc | Improved vacuum pumps |
GB9525337D0 (en) * | 1995-12-12 | 1996-02-14 | Boc Group Plc | Improvements in vacuum pumps |
JPH1182347A (ja) * | 1997-09-02 | 1999-03-26 | Ebara Corp | 真空ポンプの運転方法 |
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GB9725146D0 (en) * | 1997-11-27 | 1998-01-28 | Boc Group Plc | Improvements in vacuum pumps |
GB9810872D0 (en) * | 1998-05-20 | 1998-07-22 | Boc Group Plc | Improved vacuum pump |
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GB9927493D0 (en) * | 1999-11-19 | 2000-01-19 | Boc Group Plc | Improved vacuum pumps |
JP2001241393A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-09-07 | Seiko Seiki Co Ltd | 真空ポンプ |
GB0013491D0 (en) * | 2000-06-02 | 2000-07-26 | Boc Group Plc | Improved vacuum pump |
JP2002138987A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-17 | Seiko Instruments Inc | 真空ポンプ |
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