JPH039097A - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空ポンプに係り、特に、損気１−１を大気
圧とし、例えば半湛体製造装置等において清浄な真空環
境を作り出すのに好適な真空ポンプに関するものである
。

〔従来の技術〕

従来、排気１１圧力が大気圧近傍にある真空ポンプにつ
いて、例えば特開昭６１−２４７８９３号公報記載の技
術が開示されている。

この真空ポンプの構造を第２図を参照して説明する。

第２図は、従来のターボ形真空ポンプの縦断面図である
。

第２図に示す真空ポンプは、吸気口１．１　Ａおよび排
気口１１Ｂを有するハウジング１１内に、ステータおよ
びロータによりポンプ流路を形成するポンプ機構部と、
前記ロータを駆動する電動機部とを有している。

より詳しく述へれば、ハウジング１１内に、軸受２を介
して回転自在に支持された回転軸３と、吸気Ｄ　１１　
Ａ側から排気口１１Ｂ側に至る間のハウジング１１内に
順次配設された遠心圧縮ポンプ段４および円周流圧縮ポ
ンプ段５を備えている。

回転軸３は、こりに連結したモータ６により駆動される
ようになっている。

前記遠心圧縮ポンプ段４の最−に部付近の吸気１−１１
１Δから流入した空気は、各ポンプ段により一１分圧縮
され、前記排気ｒ−１１１ｔ１Ｂから大気圧力１・に排
気される。

〔発明が解決しようとする課題〕

」二記従来技術の真空ポンプにおいて、真空ポンプが定
常運転状態に達したとき、遠心圧縮ポンプ段は主として
分子流、中間流で働き、円周流圧縮ポンプ段は粘性流中
で働くため、損気（−１圧力な人気圧に保ち、吸気口圧
力を十分に低い圧力にすることができる。

しかし、さらに低い圧力を得ようとすると、ターボ分子
ポンプ等の高真空ポンプを使用する必要がある。たとえ
は、高真空ポンプにターボ分子ポンプ、補助ポンプにこ
の従来技術の真空ポンプを用い、同一床面」−に配置し
たとすると、ターボ分子ポンプとこの真空ポンプとの接
続にあたって、ターボ分子ポンプの排気【−１は一般に
本体の下部で、この真空ポンプの吸気口は本体の上部に
あるため、接続配管が長くなり、外観を損ねる、ポンプ
の性能を損ねる、使い勝手か悪いなどの問題があった。

本発明は、上記従来技術における問題点を解決するため
になされたもので、ポンプ性能をおとすことなく、配管
作業が容易で使い勝手が良く、軸方向長さを短くしたコ
ンパクトな真空ポンプを提供することを、その目的とす
るものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明に係る真空ポンプの
構成は、吸気口および排気口を有するハウジング内に、
少なくとも、ステータおよびロータによりポンプ流路を
形成するポンプ機構部と、前記ロータを駆動する電動機
部とを有し、前記吸気１コかＪ２＋吸込んだ気体を前記
排気口から直接大気に排出することのできる真空ポンプ
において、ハウジング内径と前記ポンプ機構部のステー
タとの間に空間領域を設け、この空間領域を形成するハ
ウシング壁に、半径方向を向いた吸気口を設けたもので
ある。

〔作用〕

」二記技術的手段によれば、真空ポンプで吸引される気
体が、ハウジング内径とポンプ機構部のステータとの間
に形成された空間領域を通り、遠心圧縮ポンプ段２円周
流圧縮ポンプ段等のポンプ段に吸引され、ポンプ段のポ
ンプ流路髪経て圧縮され排気口から大気へ耕出される。

これによって、ポンプ性能を低下させることなく、ポン
プの軸方向長さを短くすることができる。

また、本ポンプをターボ分子ポンプの補助ポンプとして
使用した場合、吸気「１が上側にあるときよりも接続配
管を短くでき、配管作業もやりやすく使い勝手が良くな
る。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係るターボ形真空ポンプ
の縦断面図である。図中、第２図と同一・符号のものは
従来技術と同等部分を示している。

第１図に示すターボ形真空ポンプは、吸気口１Ａおよび
排気口１Ｂを有するハウジング４内に、ステータおよび
ロータによりポンプ流路を形成するポンプ機構部と、前
記ロータを駆動する電動機部とを有している。

より詳しく述べれば、ハイラング１内、軸受２を介して
回転自在に支持された回転軸３と、ハウジング１内に順
次配設された遠心圧縮ポンプ段４および円周流圧縮ポン
プ段５を備えている。回転軸３は、これに連結したモー
タ６によって駆動されるようになっている。

前記遠心圧縮ポンプ段４は、表面に複数の後退羽根を有
し、かつ回転軸３に取付けられたロータに係るオーブン
形の羽根車４Ａと、ハウジング１内に取付けられ、かつ
前記羽根車４Ａの裏面と対向する面に回転方向に対して
内向きの羽根を複数個設けたステータに係る固定円板４
　Ｂとを交互に直列に配置して構成されている。

前記円周流圧縮ポンプ段５は、回転軸３に取付けられ、
かつ外周面に複数個の羽根に放射状に設けたロータに係
る羽根車５Ａと、ハウジング１内に取付けられ、かつ前
記羽根車５Ａの表面と対向する面にＵ字状の溝を有する
ステータに係る固定円板５Ｂとを交互に直列に配置して
構成されている。各段の固定円板５ＢのＵ字状の溝は直
列につながっている。固定円板５１３の外径側には冷却
用の水冷ジャケラ１〜７が装備されている。

前記吸気口１−　Ａは、ハウジンク］の半径方向に位置
しハウジング壁に設けられている。そして、ハウジング
壁の内径とポンプ機構部のステータである固定円板４．
、Ｂ、５Ｂとの間に空間領域に係る気体流通路８を形成
している。

次に、本実施例の作用について説明する１、通常の運転
状態では、吸気口Ｌ　Ａから吸込まれた気体は、ハウジ
ング１と遠心圧縮ポンプ段４および円周流圧縮ポンプ段
５の固定円板４−１３　、５１３との間で形成される気
体流通路８を通り、遠心圧縮ポンプ段４と円周流圧縮ポ
ンプ段５のロータ。

ステータ間ポンプ流路で順次圧縮され、１Ｊ］′気１」
］−Ｂから大気に排出される。

特に、ハウジング１の内壁と遠心圧縮ポンプ段４の固定
円板４１３との間のずきまの気体流通路８は、遠心圧縮
ポンプ段４の全周にわたるので小さなすきまでも大きい
コンダクタンスを確保でき、ポンプ性能が損なわれるこ
とはない。

本実施例では、吸気Ｄ　］ハの圧力を１０−４〜］　０
−５１’ｏｒｒ台にすることかできる。この圧力よりも
低い圧力が必要な場合は、ターボ分子ポンプ等の高真空
ポンプを使用しなければいけないターボ分子ポンプの補
助ポンプに本実施例のターボ形真空ポンプを使用すると
、本実施例の真空ポンプの吸気口］Ａは、ハウジング１
の半径方向に位置し、ターボ分子ポンプ（図示せず）の
排気口は、ポンプ本体下部にあるため、ターボ分子ポン
プとの接続配管か短くて済み、配管の接続がやりやすく
使い勝手が良い。また、吸気口が第２図に示した従来技
術のようにポンプの−１一部にあるときよりも、軸方向
長さが短くなり、真空ポンプのコンパクト化にもつなが
る。

なお、本実施例では、ポンプ機構部に遠心圧縮ポンプ段
、円周流圧縮ポンプ段を配設したターボ形真空ポンプに
ついて説明したが、本発明はこれに限らず、ハウジング
内に軸流分子ポンプ段、ねじ溝分子ポンプ段、螺旋溝分
子ポンプ段等を備えた真空ポンプついても適用されるも
のである。

〔発明の効果〕

以−］二詳細に説明したように、本発明によれは、ポン
プ性能をおとすことなく、配管作業が容易で使い勝手か
よく、軸方向長さを短くしたコンバク１〜な真空ポンプ
を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係るターボ形真空ポンプ
の縦断面図、第２図は、従来のターボ形真空ポンプの縦
断面図である。 １　ハウジング、ＩＡ・吸気１］、ｉ　Ｂ　　４１１気
【−１，３回転軸、４　遠心圧縮ポンプ段、５　円周流
圧縮ポンプ段、４Ａ、５Ａ　　羽根車、４Ａ、４Ｂ第　
１　図 ４Ａ ４Ｂ、 特開平 ９０９７　（４）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、吸気口および排気口を有するハウジング内に、少な
   くとも、ステータおよびロータによりポンプ流路を形成
   するポンプ機構部と、前記ロータを駆動する電動機部と
   を有し、前記吸気口から吸込んだ気体を前記排気口から
   直接大気に排出することのできる真空ポンプにおいて、
   ハウジング内径と前記ポンプ機構部のステータとの間に
   空間領域を設け、この空間領域を形成するハウジング壁
   に、半径方向を向いた吸気口を設けことを特徴とする真
   空ポンプ。