JPH1027356A - 光ピックアップ用信号処理装置及び光ピックアップ用半導体装置 - Google Patents

光ピックアップ用信号処理装置及び光ピックアップ用半導体装置

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JPH1027356A
JPH1027356A JP8341373A JP34137396A JPH1027356A JP H1027356 A JPH1027356 A JP H1027356A JP 8341373 A JP8341373 A JP 8341373A JP 34137396 A JP34137396 A JP 34137396A JP H1027356 A JPH1027356 A JP H1027356A
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JP
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spd
region
group
electrode
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Tatsuya Norimoto
竜也 法本
Fumihide Murao
文秀 村尾
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Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 入射されるレーザ光が微弱な場合でもノイズ
の小さい精度の高い情報信号が得られる光ピックアップ
用信号処理装置を提供する。 【解決手段】 一方の電極が共通接続されるとともに、
他方の電極が所定電位点に接続される複数のシリコン・
フォト・ダイオードを有する情報信号用SPD群と、こ
の情報信号用SPD群の複数のシリコン・フォト・ダイ
オードの一方の電極が共通接続される共通接続点に接続
された情報信号用アンプと、一方の電極が共通接続され
て前記情報信号用アンプの入力ノードに接続される複数
のシリコン・フォト・ダイオードを有するフォーカス信
号用SPD群と、このフォーカス信号用SPD群の複数
のシリコン・フォト・ダイオードに対応して接続される
フォーカス信号用アンプを備えた光ピックアップ用信号
処理装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスクからの
レーザ光によるレーザ反射光を受け、受けたレーザ反射
光に基づいた情報信号を出力する光ピックアップ用信号
処理装置及び光ピックアップ用半導体装置に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】図12は光ディスク装置における光ピッ
クアップシステムの概要を示す図である。図12におい
て、70は光検出に用いられる4つのシリコン・フォト
・ダイオード(以下、SPDと称す)A,B,C,Dを
有するSPD群、100はSPD群70を有する光ピッ
クアップ用信号処理装置、110はレーザ光、120は
情報が記録された光ディスク、130は光ディスク12
0から反射されたレーザ反射光である。図12におい
て、レーザ光110が光ディスク120上に照射され、
光ディスク120に記録された情報パターンによって異
なる値を持つレーザ反射光130が反射され、光ピック
アップ用信号処理装置100のSPD群70を構成する
SPD(A,B,C,D)に照射される。SPD群70
は図示されるように上下左右に隣接して設けられるA,
B,C,Dの4つのSPDにて構成され、その中心部に
レーザ反射光130がSPD(A,B,C,D)に等し
く照射されるように焦点合わせが行われる。SPD群7
0の各SPD(A,B,C,D)はレーザ反射光130
の、例えば、明暗の光に応じて光電流が流れる。光ピッ
クアップ用信号処理装置100はこの光電流を電圧に変
換し、情報信号またはフォーカス用信号として出力す
る。
【0003】図13は、従来の光ピックアップ用信号処
理装置100を示す例である。図において、10はI−
V変換アンプからなる情報信号用アンプ(以下RFアン
プと略す)、20はI−V変換アンプからなるフォーカ
ス信号用アンプ、50はRFアンプ10の非反転入力端
に第1の基準電圧Vref1を印加するための基準電圧源、
60はフォーカス信号用アンプ20の非反転入力端に第
2の基準電圧Vref2を印加するための第2の基準電圧
源、70は4つのSPD(A,B,C,D)を含むSP
D群である。RFアンプ10は、オペアンプ11及び抵
抗素子r11から構成される。抵抗素子r11はオペア
ンプ11の出力端とその反転入力端との間に接続され
る。RFアンプ10の出力ノードは情報信号出力端子1
6に接続され、情報信号RFoutが出力される。フォー
カス信号用アンプ20は、オペアンプ21〜24と抵抗
素子r21〜r24から構成される。抵抗素子r21〜
r24はそれぞれ対応するオペアンプ21〜24の出力
端と反転入力端との間に接続される。フォーカス信号用
アンプ20の出力ノードはフォーカス信号用出力端子2
6〜29に接続され、フォーカス用信号Aout〜Doutが
出力される。SPD群70の各SPD(A,B,C,
D)は、各カソード電極がフォーカス信号用アンプ20
の対応するオペアンプ21〜24の反転入力端に、アノ
ード電極が接地電位点(アース(GND))に接続され
る。80はフォーカス信号用アンプ20のオペアンプ2
1〜24の出力端に現れた電圧信号を加算してRFアン
プ10に出力するための抵抗素子群である。
【0004】図14は図13に示した光ピックアップ用
信号処理装置を半導体基体に組み込んだ光ピックアップ
用半導体装置におけるSPD群70のSPD(A,B,
C,D)を示す図である。各SPD(A,B,C,D)
70A〜70Dは、P型の半導体基板1及びこの半導体
基板1の表面上に半導体基板1とPN接合をなして形成
されるN型のエピタキシャル成長層34を有する半導体
基体に形成される。各SPD(A,B,C,D)70A
〜70Dはエピタキシャル成長層34の表面から半導体
基板1の表面に達するP型の分離領域33にて電気的に
分離される上下左右に隣接して配置される4つのSPD
形成領域に形成される。各SPD(A,B,C,D)7
0A〜70Dのアノード領域は、各SPD形成領域にお
いて、半導体基板1によって形成され、カソード領域は
分離領域33にて囲われたエピタキシャル成長層34に
よって形成される。
【0005】図において、ダイオードのマークが描かれ
ているが、これは、半導体基板1とエピタキシャル成長
層34とのPN接合部にSPDが形成され、そのダイオ
ードのアノード領域が半導体基板1になり、カソード領
域がエピタキシャル成長層34になることを示してい
る。このような構造そのものは、公知の技術によって製
造できるので、その詳細な説明は省略する。
【0006】次に、従来の光ピックアップシステムの動
作について説明する。図12の示すように、光ピックア
ップ用信号処理装置100にはフォーカス信号Aout〜
Dout及び情報信号RFoutを得るために、4つのSPD
(A,B,C,D)を有するSPD群70が設けられて
いる。この4つのSPD(A,B,C,D)はレーザ反
射光130を受光し、光電流を発生する。このSPD
(A,B,C,D)で発生した光電流Iは、図13に示
すように、抵抗素子r21〜r24を流れることにな
り、その抵抗素子r21〜r24によって電流/電圧
(I−V)変換が行われ、フォーカス信号用アンプ20
の各々のオペアンプ21〜24の出力端に光電流に基づ
いた電圧信号が現れ、フォーカス信号用出力端子26〜
29からフォーカス用信号Aout〜Doutとして出力され
る。
【0007】これらフォーカス信号Aout〜Doutはレー
ザ反射光130がSPD群70の中心に焦点を合わすた
めの制御に使用される信号である。
【0008】さらに、オペアンプ21〜24の出力端に
現れた電圧信号それぞれは抵抗素子群80を介して加算
され、RFアンプ10に入力される。このRFアンプ1
0に入力された加算電圧信号は、増幅されてRFアンプ
10の出力ノードより情報信号出力端子16ヘ情報信号
RFoutとして出力される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】従来の光ピックアップ
用信号処理装置は、以上のように構成されているため、
次に示すような問題があった。すなわち、情報信号RF
outは、レーザ反射光130が正確な位置に収束するよ
うにレーザ反射光の焦点(フォーカス)合わせを行なう
ためのフォーカス信号Aout〜Doutを用いて得ていた。
そのため、フォーカス信号Aout〜Doutを得るためのフ
ォーカス信号用アンプ20で発生するノイズも抵抗素子
群80にて同時に加算されてRFアンプ10にて増幅さ
れるため、RFアンプ10のS/N比が悪くなる。RF
アンプ10に入力されるノイズは大半がフォーカス信号
用アンプ20を構成する抵抗r21〜r24の抵抗値に
依存し、抵抗値が高ければ高いほどノイズのRFアンプ
10への入力量が増加する。
【0010】また、このノイズによって信号の読み取り
がさらに困難になると共に、ジッタ値を悪くすることに
もなる。ところで、光ピックアップ用信号処理装置にお
いて、SPD群70に入力されるレーザ反射光は、半導
体レーザから発光されたレーザ光が、照射されたディス
クの表面により反射された光である。従って、DVD等
の光ディスクにおいては、光ディスク120における記
録密度の高密度化により、各ビットの面積が小さくな
り、反射率が小さくなるため、SPD群70に入力され
るレーザ反射光、すなわち、光ピックアップにおけるR
FレベルはCD−ROMの場合に比べかなり小さくなっ
ている。そのため、上記に示した光ピックアップ用信号
処理装置を、高密度記録される例えばDVD等の光ピッ
クアップシステムに用いた場合、上記したノイズの影響
はさらに増大するものである。
【0011】本発明は、上記した点に鑑みてなされたも
のであり、入射されるレーザ光が小さくとも精度高く情
報信号が得られる光ピックアップ用信号処理装置及び光
ピックアップ用半導体装置を得ることを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】この発明の第1の発明に
係る光ピックアップ用信号処理装置は、一方の電極が共
通接続されるとともに、他方の電極が所定電位点に接続
される複数のシリコン・フォト・ダイオードを有する情
報信号用SPD群と、この情報信号用SPD群の複数の
シリコン・フォト・ダイオードの一方の電極が共通接続
される共通接続点に入力ノードが接続され、出力ノード
から情報信号を出力する情報信号用アンプとを設けたも
のである。
【0013】この発明の第2の発明に係る光ピックアッ
プ用信号処理装置は、第1の発明にさらに、一方の電極
が共通接続されて前記情報信号用アンプの入力ノードに
接続される複数のシリコン・フォト・ダイオードを有す
るフォーカス信号用SPD群と、このフォーカス信号用
SPD群の複数のシリコン・フォト・ダイオードに対応
して設けられ、それぞれが対応するシリコン・フォト・
ダイオードの他方の電極に接続される複数の入力ノード
を有し、出力ノードからフォーカス用信号を出力するフ
ォーカス信号用アンプとを設けたものである。
【0014】この発明の第3の発明に係る光ピックアッ
プ用信号処理装置は、第1の発明にさらに、一方の電極
が上記所定電位点に接続される複数のシリコン・フォト
・ダイオードを有するフォーカス信号用SPD群と、こ
のフォーカス信号用SPD群の複数のシリコン・フォト
・ダイオードに対応して設けられ、それぞれが対応する
シリコン・フォト・ダイオードの他方の電極に接続され
る複数の入力ノードを有し、出力ノードからフォーカス
用信号を出力するフォーカス信号用アンプとを設けたも
のである。
【0015】この発明の第4の発明に係る光ピックアッ
プ用信号処理装置は、一方の電極が共通接続されるとと
もに、他方の電極が所定電位点に接続される複数のシリ
コン・フォト・ダイオードを有する情報信号用SPD群
と、この情報信号用SPD群の複数のシリコン・フォト
・ダイオードの一方の電極が共通接続される共通接続点
に接続される入力ノードに反転入力端が接続され、非反
転入力端に第1の基準電位が印加され、出力端が情報信
号を出力する出力ノードに接続されるオペアンプ、及び
このオペアンプの反転入力端と出力端との間に接続され
る抵抗素子を有する情報信号用アンプと、一方の電極が
共通接続されて情報信号用アンプの入力ノードに接続さ
れる複数のシリコン・フォト・ダイオードを有するフォ
ーカス信号用SPD群と、このフォーカス信号用SPD
群の複数のシリコン・フォト・ダイオードに対応して設
けられ、それぞれが対応するシリコン・フォト・ダイオ
ードの他方の電極に接続される入力ノードに反転入力端
が接続され、非反転入力端に第2の基準電位が印加さ
れ、フォーカス用信号を出力する対応の出力ノードに出
力端が接続される複数のオペアンプ、及びれら複数のオ
ペアンプに対応して設けられ、それぞれが対応するオペ
アンプの反転入力端と出力端との間に接続される複数の
抵抗素子を有するフォーカス信号用アンプとを設けたも
のである。
【0016】この発明の第5の発明に係る光ピックアッ
プ用半導体装置は、一方の電極が共通接続されて情報信
号用アンプの入力ノードに接続され、他方の電極が所定
電位点に接続される4つのシリコン・フォト・ダイオー
ドを有する情報信号用SPD群と、一方の電極が共通接
続されて情報信号用アンプの入力ノードに接続され、そ
れぞれの他方の電極がフォーカス信号用アンプにおける
対応の入力ノードに接続される4つのシリコン・フォト
・ダイオードを有するフォーカス信号用SPD群とを備
え、第1導電型の半導体基板、及びこの半導体基板の表
面上に半導体基板とPN接合をなして形成される第2導
電型のエピタキシャル成長層を有し、このエピタキシャ
ル成長層の表面から半導体基板の表面に達する第1導電
型の分離領域にて電気的に分離される上下左右に隣接し
て配置され、それぞれが情報信号用SPD群及びフォー
カス信号用SPD群のそれぞれのシリコン・フォト・ダ
イオードに対応する4つのSPD形成領域を有し、各S
PD形成領域において、半導体基板が情報信号用SPD
群の対応のシリコン・フォト・ダイオードの一方の電極
領域をなすとともに、分離領域にて囲われたエピタキシ
ャル成長層が情報信号用SPD群の対応のシリコン・フ
ォト・ダイオードの他方の電極領域及び前記フォーカス
信号用SPD群の対応のシリコン・フォト・ダイオード
の他方の電極領域をなす半導体基体と、それぞれがこの
半導体基体の各SPD形成領域における分離領域にて囲
われたエピタキシャル成長層の表面に形成され、前記フ
ォーカス信号用SPD群の対応のシリコン・フォト・ダ
イオードの一方の電極領域となる第1導電型の4つの第
1の半導体領域とを設けたものである。
【0017】この発明の第6の発明に係る光ピックアッ
プ用半導体装置は、第5の発明にさらに、情報信号用ア
ンプ及びフォーカス信号用アンプともに半導体基板の表
面に形成され、情報信号用アンプ及びフォーカス信号用
アンプを構成する少なくとも一つの抵抗素子は、エピタ
キシャル成長層の表面から半導体基板の表面に達する第
1導電型の分離領域にて囲われたエピタキシャル成長層
の表面に形成される第2の半導体領域にて形成され、4
つの第1の半導体領域の拡散深さ及び不純物濃度が第2
の半導体領域の拡散深さ及び不純物濃度と同じである。
【0018】この発明の第7の発明に係る光ピックアッ
プ用半導体装置は、第5の発明にさらに、情報信号用ア
ンプ及びフォーカス信号用アンプともに半導体基板の表
面に形成され、情報信号用アンプ及びフォーカス信号用
アンプを構成する少なくとも一つのトランジスタ素子
は、エピタキシャル成長層の表面から半導体基板の表0
面に達する第1導電型の分離領域にて囲われたエピタキ
シャル成長層をコレクタ領域となし、このコレクタ領域
の表面に形成される第1導電型の第2の半導体領域をベ
ース領域となし、このベース領域の表面に形成される第
2導電型の第3の半導体領域をエミッタ領域となして形
成され、4つの第1の半導体領域の不純物、拡散深さ及
び不純物濃度が第2の半導体領域の不純物、拡散深さ及
び不純物濃度と同じである。
【0019】この発明の第8の発明に係る光ピックアッ
プ用半導体装置は、それぞれが並列接続される第1及び
第2のシリコン・フォト・ダイオードからなり、一方の
電極が共通接続されて情報信号用アンプの入力ノードに
接続され、他方の電極が所定電位点に接続される4つの
シリコン・フォト・ダイオードを有する情報信号用SP
D群と、一方の電極が共通接続されて情報信号用アンプ
の入力ノードに接続され、それぞれの他方の電極がフォ
ーカス信号用アンプにおける対応の入力ノードに接続さ
れる4つのシリコン・フォト・ダイオードを有するフォ
ーカス信号用SPD群とを備え、第1導電型の半導体基
板、及びこの半導体基板の表面上に半導体基板とPN接
合をなして形成される第2導電型のエピタキシャル成長
層を有し、このエピタキシャル成長層の表面から半導体
基板の表面に達する第1導電型の分離領域にて電気的に
分離される上下左右に隣接して配置され、それぞれが情
報信号用SPD群及びフォーカス信号用SPD群のそれ
ぞれのシリコン・フォト・ダイオードに対応する4つの
SPD形成領域を有し、各SPD形成領域において、半
導体基板が情報信号用SPD群の対応のシリコン・フォ
ト・ダイオードの第1のシリコン・フォト・ダイオード
の一方の電極領域をなすとともに、分離領域にて囲われ
たエピタキシャル成長層がフォーカス信号用SPD群の
対応のシリコン・フォト・ダイオードの他方の電極領域
をなす半導体基体と、それぞれがこの半導体基体の各S
PD形成領域における分離領域にて囲われた前記半導体
基体とエピタキシャル成長層とのPN接合部に埋め込ま
れて形成され、情報信号用SPD群の対応のシリコン・
フォト・ダイオードの第1及び第2のシリコン・フォト
・ダイオードの他方の電極領域をなす第2導電型の4つ
の第1の埋め込み領域と、それぞれが各第1の埋め込み
領域の表面に形成され、情報信号用SPD群の対応のシ
リコン・フォト・ダイオードの第2のシリコン・フォト
・ダイオードの一方の電極領域及びフォーカス信号用S
PD群の対応のシリコン・フォト・ダイオードの一方の
電極領域をなす第1導電型の4つの第2の埋め込み領域
とを設けたものである。
【0020】この発明の第9の発明に係る光ピックアッ
プ用半導体装置は、第8の発明にさらに、情報信号用ア
ンプ及びフォーカス信号用アンプともに半導体基板の表
面に形成され、情報信号用アンプ及びフォーカス信号用
アンプを構成する少なくとも一つのトランジスタ素子
は、エピタキシャル成長層の表面から半導体基板の表面
に達する第1導電型の分離領域にて囲われた半導体基体
とエピタキシャル成長層とのPN接合部に埋め込まれた
第2導電型の第3の埋め込み領域の表面に形成された第
1導電型の第4の埋め込み領域をコレクタ領域となし、
このコレクタ領域とPN接合するエピタキシャル成長層
をベース領域となし、このベース領域の表面に形成され
る第1導電型の半導体領域をエミッタ領域となして形成
され、4つの第1の埋め込み領域の不純物及び不純物濃
度が第3の埋め込み領域の不純物及び不純物濃度と同じ
であり、4つの第2の埋め込み領域の不純物及び不純物
濃度が第4の埋め込み領域の不純物及び不純物濃度と同
じである。
【0021】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.図1は、本発明の実施の形態1を示す光
ピックアップ用信号処理装置のブロック図である。図1
において、10は情報信号用出力端子16に接続される
出力ノードから情報信号RFoutを出力する情報信号用
アンプ(以下、RFアンプと称す。)で、図1に示すよ
うに、入力ノードに反転入力端+が接続され、非反転入
力端−に第1の基準電位Vref1が印加され、出力端が出
力ノードに接続されるオペアンプ11と、このオペアン
プ11の反転入力端−と出力端との間に接続される抵抗
素子r11とを有する。
【0022】20は、複数の入力ノード(この例におい
ては4つ)を有するとともに、複数のフォーカス信号用
出力端子26〜29(この例においては4つ)にそれぞ
れ接続されるフォーカス信号用アンプである。その出力
ノードからはフォーカス用信号Aout〜Doutを出力す
る。このフォーカス信号用アンプは、各入力ノード及び
出力ノードに対応して設けられ、それぞれが対応の入力
ノードに反転入力端−が接続され、非反転入力端+に第
2の基準電位Vref2が印加される。複数のオペアン
プ21〜24の出力端は対応の出力ノードに接続され
る。複数の抵抗素子r21〜r24は、これら複数のオ
ペアンプ21〜24に対応して設けられ、それぞれが対
応のオペアンプ21〜24の反転入力端−と出力端との
間に接続される。
【0023】30は一方の電極、この例においてはカソ
ード電極が共通接続されて情報信号用アンプ10の入力
ノードに接続される複数(この例では4つ)のシリコン
・フォト・ダイオード(以下、SPD・A1、SPD・
B1、SPD・C1、SPD・D1と称す)を有するフ
ォーカス信号用SPD群である。ここで、SPD・A1
はシリコン・フォト・ダイオードパッドAの部分(SP
D形成領域A)に形成されるSPDであり、SPD・B
1はシリコン・フォト・ダイオードパッドBの部分(S
PD形成領域B)に形成されるSPDであり、SPD・
C1はシリコン・フォト・ダイオードパッドCの部分
(SPD形成領域C)に形成されるSPDであり、SP
D・D1はシリコン・フォト・ダイオードパッドDの部
分(SPD形成領域D)に形成されるSPDである。ま
た、フォーカス信号用SPD群30においては、各SP
D・A1〜D1の他方の電極、この例ではアノード電極
がフォーカス信号用アンプ20の対応の入力ノードに接
続される。
【0024】40は一方の電極、この例においてはカソ
ード電極が共通接続されるとともに、他方の電極、この
例ではアノード電極が所定電位点、この例では接地電位
が印加される接地電位点に接続される複数のシリコン・
フォト・ダイオード(以下、SPD・A2、SPD・B
2、SPD・C2、SPD・D2と称す)を有する情報
信号用SPD群である。ここで、SPD・A2はシリコ
ン・フォト・ダイオードパッドAの部分(SPD形成領
域A)に形成されるSPDであり、SPD・B2はシリ
コン・フォト・ダイオードパッドBの部分(SPD形成
領域B)に形成されるSPDであり、SPD・C2はシ
リコン・フォト・ダイオードパッドCの部分(SPD形
成領域C)に形成されるSPDであり、SPD・D2は
シリコン・フォト・ダイオードパッドDの部分(SPD
形成領域D)に形成されるSPDである。また、情報信
号用SPD群40においては、各SPD・A2〜D2の
共通接続された一方の電極であるカソード電極がRFア
ンプ10の入力ノードに接続される。
【0025】50はRFアンプ10を構成するオペアン
プ11の非反転入力端+に接続された第1の基準電圧源
で、オペアンプ11の非反転入力端+に第1の基準電圧
Vref1を印加する。60はフォーカス信号用アンプ20
を構成するオペアンプ21〜24の非反転入力端+に接
続された第2の基準電圧源で、オペアンプ21〜24の
非反転入力端+に第2の基準電圧Vref2を印加する。こ
の場合、フォーカス信号用SPD群30中の各SPD・
A1〜D1に逆バイアスをかけるために、第1の基準電
圧Vref1と第2の基準電圧との関係は、Vref1>Vref2
の関係に設定される。なお、情報信号用出力端子16
は、図示されない次段のA/D変換器に接続される。フ
ォーカス信号用出力端子26〜29は次段の焦点合わせ
制御回路に接続される。
【0026】図5は、図1に示した光ピックアップ用信
号処理装置を1つの半導体基体に組み込んだ光ピックア
ップ用半導体装置の主要部、具体的には情報信号用SP
D群40のSPD・C2、D2及びフォーカス信号用S
PD群30のSPD・C1、D1が形成された部分の断
面図である。なお、情報信号用SPD群40のSPD・
A2、B2及びフォーカス信号用SPD群30のSPD
・A1、B1も情報信号用SPD群40のSPD・C
2、D2及びフォーカス信号用SPD群30のSPD・
C1、D1と同様に形成されている。
【0027】図5において、P型の半導体基板1及びこ
の半導体基板1の表面上に半導体基板1とPN接合をな
して形成されるN型のエピタキシャル成長層34とによ
って半導体基体を構成している。この半導体基体は、図
5の上部に平面パターンを示すように、エピタキシャル
成長層34の表面から半導体基板1の表面に達するP型
の分離領域33にて電気的に分離される上下左右に隣接
して配置されるSPD形成領域A〜Dを有している。各
SPD形成領域A〜Dには、情報信号用SPD群40の
SPD・A2〜D2及びフォーカス信号用SPD群のS
PD・A1〜D1が形成される。各SPD形成領域A〜
Dにおいて、半導体基板1が、図5にダイオードのマー
クで示しているように、情報信号用SPD群40の対応
のSPD・A2〜D2のアノード領域をなすとともに、
分離領域33にて囲われたエピタキシャル成長層34が
情報信号用SPD群40の対応のSPD・A2〜D2の
カソード領域及びフォーカス信号用SPD群30の対応
のSPD・A1〜D1のカソード領域をなしている。
【0028】また、半導体基体の各SPD形成領域A〜
Dにおける分離領域33にて囲われたエピタキシャル成
長層34の表面にP型の第1の半導体領域38が形成さ
れる。各第1の半導体領域38は、フォーカス信号用S
PD群30の対応のSPD・A1〜D1のアノード領域
となる。半導体基板1は、図5に示されるように、分離
領域33を介して接地電位点に接続され、接地される。
その結果、情報信号用SPD群40の対応のSPD・A
2〜D2のアノード領域は接地されることになる。
【0029】半導体基体の各SPD形成領域A〜Dにお
ける分離領域33にて囲われたエピタキシャル成長層3
4は、図5に示されるように、RFアンプ10の入力ノ
ードに、表面に形成されたN+領域(カソード取出領
域)34aを介して共通に接続される。その結果、情報
信号用SPD群40のSPD・A2〜D2のカソード領
域及びフォーカス信号用SPD群30のSPD・A1〜
D1のカソード領域はRFアンプ10の入力ノードに接
続される。各第1の半導体領域38は表面に形成された
P+領域(アノード取出領域)38aを介してフォーカ
ス信号用アンプ20の対応の入力ノードに接続される。
その結果、フォーカス信号用SPD群30の各SPD・
A1〜D1のアノード領域はフォーカス信号用アンプ2
0の対応の入力ノードに接続される。
【0030】次に動作について説明する。光ディスク1
20から反射されたレーザ反射光130は、光ピックア
ップ用半導体装置における4つのSPD形成領域A〜D
を照射する。各SPD形成領域A〜Dに形成された情報
信号用SPD群40のSPD・A2〜D2及びフォーカ
ス信号用SPD群30のSPD・A1〜D1は、このレ
ーザ反射光130を受光し、それぞれが受けたレーザ反
射光に基づいた光電流を発生する。フォーカス信号用S
PD群30の各SPD・A1〜D1のアノード電極から
は光電流に応じた電流が流れ出る。この流れ出る電流
は、フォーカス信号用アンプ20の対応の抵抗素子r2
1〜r24を流れる。したがって、流れる電流に基づく
抵抗素子r21〜r24の電圧降下によって、フォーカ
ス信号用アンプ20の各オペアンプ21〜24の出力
端、つまり、フォーカス信号用出力端子26〜29には
第2の基準電圧Vref2より対応の抵抗素子r21〜r2
4による電圧降下分だけ低い電圧が現れ、この電圧がフ
ォーカス用信号Aout〜Doutとして出力される。このフ
ォーカス用信号Aout〜Doutによって、レーザ反射光1
30の焦点合わせが行われる。
【0031】一方、情報信号用SPD群40のSPD・
A2〜D2のアノード電極からも光電流に応じた電流が
流れ出る。言い換えれば、情報信号用SPD群40のS
PD・A2〜D2のカソード電極に光電流に応じた電流
が流れ込む。この流れ込む電流は、フォーカス信号用S
PD群30の各SPD・A1〜D1のカソード電極に流
れ込む電流と加算されてRFアンプ10の抵抗素子r1
1に流れる。従って、流れる電流に基づく抵抗素子r1
1の電圧降下によって、RFアンプ10の出力ノード、
つまり、情報信号出力端子16には第1の基準電圧Vre
f1より抵抗r11による電圧降下分だけ高い電圧が現
れ、この電圧が情報信号RFoutとして出力される。
【0032】このように構成された光ピックアップ用信
号処理装置及び光ピックアップ用半導体装置の特徴は、
上記したように、レーザ反射光の焦点合わせを行なうた
めのフォーカス用信号Aout〜Doutは、フォーカス信号
用SPD群30のSPD・A1〜D1を用いて行い、情
報信号RFoutは、フォーカス信号用SPD群30のS
PD・A1〜D1及び情報信号用SPD群40のSPD
・A2〜D2を用いて行なう、つまり、フォーカス信号
用SPD群30及び情報信号用SPD群40を構成する
全てのSPD・A1〜D1及びSPD・A2〜D2で発
生される光電流を直接加算して、その加算した値に基づ
いてRFアンプ10から出力される点にある。したがっ
て、レーザ反射光130が微弱な場合でも十分な値の情
報信号RFoutが得られることになる。さらに、従来の
技術で述べたもののように、フォーカス信号用アンプ2
0を通した後の信号を用いて情報信号を得ていないの
で、フォーカス信号用アンプ20で発生するノイズによ
って発生されるノイズが情報信号に重畳されることがな
く、誤りの小さい情報信号が得られる。
【0033】実施の形態2.図2及び図6は、本発明の
実施の形態2を示す光ピックアップ用信号処理装置のブ
ロック図及び図2に示した光ピックアップ用信号処理装
置を1つの半導体基体に組み込んだ光ピックアップ用半
導体装置の主要部、具体的には情報信号用SPD群40
のSPD・C2、D2及びフォーカス信号用SPD群3
0のSPD・C1、D1が形成された部分の断面図であ
る。この実施の形態2における光ピックアップ用信号処
理装置及び光ピックアップ用半導体装置は上記した実施
の形態1における光ピックアップ用信号処理装置及び光
ピックアップ用半導体装置に対して、半導体基板とし
て、P型の半導体基板1及びN型のエピタキシャル成長
層34を用いたものの変わりに、N型の半導体基板及び
P型のエピタキシャル成長層を用いて構成したものであ
り、その他の点においては同じである。
【0034】この実施の形態2において、フォーカス信
号用SPD群30を構成するSPD・A1、SPD・B
1、SPD・C1、SPD・D1のアノード領域及び情
報信号用SPD群40を構成するSPD・A2、SPD
・B2、SPD・C2、SPD・D2のアノード領域
は、図2に示すように、共通に接続されてRFアンプ1
0の入力ノードに接続される。これらアノード領域は、
図6に示すように、各SPD形成領域A〜Dにおいて、
N型の半導体基板1の表面に形成されたP型のエピタキ
シャル成長層における、N型の分離領域43によって囲
まれたP型のエピタキシャル成長層44によって形成さ
れる。情報信号用SPD群40を構成するSPD・A
2、SPD・B2、SPD・C2、SPD・D2のカソ
ード領域は、図2に示すように、所定電位点、この例で
は電源電位が印加される電源電位点に接続される。これ
らカソード領域は、図6に示すように、各SPD形成領
域A〜Dにおいて、半導体基板1によって形成される。
【0035】フォーカス信号用SPD群30を構成する
SPD・A1、SPD・B1、SPD・C1、SPD・
D1のカソード領域は、図2に示すように、フォーカス
信号用アンプ20の対応の入力ノードに接続される。こ
れらカソード領域は、図6に示すように、各SPD形成
領域A〜Dにおいて、分離領域43にて囲われたエピタ
キシャル成長層44の表面に形成されたN型の第1の半
導体領域48によって形成される。
【0036】また、RFアンプ10を構成するオペアン
プ11の非反転入力端+に接続された第1の基準電圧源
50からの第1の基準電圧Vref1と、フォーカス信号用
アンプ20を構成するオぺアンプ21〜24の非反転入
力端+に接続された第2の基準電圧源60からの第2の
基準電圧Vref2との関係は、フォーカス信号用SPD群
30の各SPD・A1〜D1に逆バイアスをかけるため
に、Vref1<Vref2の関係に設定される。
【0037】次に動作について説明する。この実施の形
態2においても、上記した実施の形態1と同様に、各S
PD形成領域A〜Dに形成された情報信号用SPD群4
0のSPD・A2〜D2及びフォーカス信号用SPD群
30のSPD・A1〜D1は、このレーザ反射光130
を受光し、それぞれが受けたレーザ反射光に基づいた光
電流を発生する。
【0038】フォーカス信号用アンプ20の各抵抗素子
r21〜r24には、フォーカス信号用SPD群30の
対応のSPD・A1〜D1のカソード電極に流れ込む電
流が流れる。したがって、流れる電流に基づく抵抗素子
r21〜r24の電圧降下によって、フォーカス信号用
アンプ20の各オペアンプ21〜24の出力端、つま
り、フォーカス信号用出力端子26〜29には第2の基
準電圧Vref2より対応の抵抗素子r21〜r24による
電圧降下分だけ高い電圧が現れ、この電圧がフォーカス
信号Aout〜Doutとして出力される。このフォーカス信
号Aout〜Doutによって、レーザ反射光130の焦点合
わせが行われる。
【0039】一方、RFアンプ10の抵抗素子r11に
は、フォーカス信号用SPD群30のSPD・A1〜D
1のアノード電極から流れ出る電流と、情報信号用SP
D群40のSPD・A2〜D2のアノード電極から流れ
出る電流の加算された電流が流れる。従って、流れる電
流に基づく抵抗素子r11の電圧降下によって、RFア
ンプ10のオペアンプ11の出力端、つまり情報信号用
出力端子16には第1の基準電圧Vref1より抵抗素子r
11による電圧降下分だけ低い電圧が現れ、この電圧が
情報信号RFoutとして出力される。
【0040】このように構成された光ピックアップ用信
号処理装置及び光ピックアップ用半導体装置の特徴は、
上記したように、上記した実施の形態1と同様に、レー
ザ反射光の焦点合わせを行なうためのフォーカス用信号
Aout〜Doutは、フォーカス信号用SPD群30のSP
D・A1〜D1を用いて行い、情報信号RFoutは、フ
ォーカス信号用SPD群30及び情報信号用SPD群4
0を構成する全てのSPD・A1〜D1及びSPD・A
2〜D2で発生される光電流を直接加算して、その加算
した値に基づいてRFアンプ10から出力される点にあ
る。
【0041】したがって、レーザ反射光130が微弱な
場合でも十分な値の情報信号RFoutが得られることに
なる。さらに、従来の技術で述べたもののように、フォ
ーカス信号用アンプ20によって発生されるノイズが情
報信号に重畳されることがなく、誤りの小さい情報信号
が得られる。
【0042】実施の形態3.図3は、本発明の実施の形
態3を示す光ピックアップ用信号処理装置のブロック図
である。図3において、10及び20は上記実施の形態
1と同じRFアンプ及びフォーカス信号用アンプであ
る。
【0043】30は、一方の電極、この例においてはカ
ソード電極がフォーカス信号用アンプ20の対応の入力
ノードに接続され、他方の電極、この例においてはアノ
ード電極が所定電位点、この例においては接地電位が印
加される接地電位点に接続される複数、この例では4つ
のシリコン・フォト・ダイオード(以下、SPD・A
1、SPD・B1、SPD・C1、SPD・D1と称
す)を有するフォーカス信号用SPD群である。ここ
で、SPD・A1はシリコン・フォト・ダイオードパッ
ドAの部分(SPD形成領域A)に形成されるSPDで
あり、SPD・B1はシリコン・フォト・ダイオードパ
ッドBの部分(SPD形成領域B)に形成されるSPD
であり、SPD・C1はシリコン・フォト・ダイオード
パッドCの部分(SPD形成領域C)に形成されるSP
Dであり、SPD・D1はシリコン・フォト・ダイオー
ドパッドDの部分(SPD形成領域D)に形成されるS
PDである。
【0044】40はそれぞれが並列接続される第1及び
第2のシリコン・フォト・ダイオードからなり、一方の
電極、この例においてはカソード電極が共通接続されて
RFアンプ10の入力ノードに接続されるとともに、他
方の電極、この例ではアノード電極が所定電位点、この
例では接地電位が印加される接地電位点に接続される複
数、この例では4つ(4対)のシリコン・フォト・ダイ
オード(以下、SPD・A2、SPD・B2、SPD・
C2、SPD・D2と称す)を有する情報信号用SPD
群である。ここで、SPD・A2はシリコン・フォト・
ダイオードパッドAの部分(SPD形成領域A)に形成
される1対のSPDであり、SPD・B2はシリコン・
フォト・ダイオードパッドBの部分(SPD形成領域
B)に形成される1対のSPDであり、SPD・C2は
シリコン・フォト・ダイオードパッドCの部分(SPD
形成領域C)に形成される1対のSPDであり、SPD
・D2はシリコン・フォト・ダイオードパッドDの部分
(SPD形成領域D)に形成される1対のSPDであ
る。
【0045】50はRFアンプ10を構成するオペアン
プ11の非反転入力端+及びフォーカス信号用アンプ2
0を構成するオペアンプ21〜24の非反転入力端+に
それぞれ接続された基準電圧源で、オペアンプ11の非
反転入力端+及びオペアンプ21〜24の非反転入力端
+にそれぞれ基準電圧Vref1を印加する。なお、情報信
号用出力端子16は、図示されない次段のA/D変換器
に接続される。フォーカス信号用出力端子26〜29は
次段の焦点合わせ制御回路に接続される。
【0046】図7は、図3に示した光ピックアップ用信
号処理装置を1つの半導体基体に組み込んだ光ピックア
ップ用半導体装置の主要部、具体的には情報信号用SP
D群40のSPD・C2、D2及びフォーカス信号用S
PD群30のSPD・C1、D1が形成された部分の断
面図である。なお、情報信号用SPD群40のSPD・
A2、B2及びフォーカス信号用SPD群30のSPD
・A1、B1も情報信号用SPD群40のSPD・C
2、D2及びフォーカス信号用SPD群30のSPD・
C1、D1と同様に形成されている。
【0047】図7において、P型の半導体基板1及びこ
の半導体基板1の表面上に半導体基板1とPN接合をな
して形成されるN型のエピタキシャル成長層34とによ
って半導体基体を構成している。この半導体基体は、図
7の上部に平面パターンを示すように、エピタキシャル
成長層34の表面から半導体基板1の表面に達するP型
の分離領域33にて電気的に分離される上下左右に隣接
して配置されるSPD形成領域A〜Dを有している。各
SPD形成領域A〜Dには、情報信号用SPD群40の
SPD・A2〜D2及びフォーカス信号用SPD群のS
PD・A1〜D1が形成される。各SPD形成領域A〜
Dにおいて、半導体基板1が、図7にダイオードのマー
クで示しているように、情報信号用SPD群40の対応
のSPD・A2〜D2の第1のSPDのアノード領域を
なしている。
【0048】また、半導体基体の各SPD形成領域A〜
Dにおける分離領域33にて囲われた半導体基板1とエ
ピタキシャル成長層34とのPN接合部にN型の第1の
埋め込み領域31が埋め込まれて形成される。各第1の
埋め込み領域31は、情報信号用SPD群40の対応の
SPD・A2〜D2の第1のSPDのカソード領域及び
情報信号用SPD群40の対応のSPD・A2〜D2の
第2のSPDのカソード領域をなしている。各第1の埋
め込み領域31の表面にP型の第2の埋め込み領域32
が埋め込まれて形成される。各第2の埋め込み領域32
は、情報信号用SPD群40の対応のSPD・A2〜D
2の第2のSPDのアノード領域及びフォーカス信号用
SPD群30の対応のSPD・A1〜D1のアノード領
域をなしている。
【0049】各SPD形成領域A〜Dにおいて、分離領
域33にて囲われたエピタキシャル成長層34の表面か
ら第2の埋め込み領域32の表面に達し、各SPD形成
領域A〜Dにおけるエピタキシャル成長層を内側と外側
とで電気的に分離するP型の引出領域39が環状に形成
されている。各引出領域39は、対応の第2の埋め込み
領域32の電極引き出しを行なうための領域をなしてい
る。各SPD形成領域A〜Dにおいて、引出領域39に
て電気的に分離された外側のエピタキシャル成長層34
は、対応の第1の埋め込み領域31の電極を引き出すた
めの領域をなしており、内側のエピタキシャル成長層3
5がフォーカス信号用SPD群30の対応のSPD・A
1〜D1のカソード領域をなしている。
【0050】半導体基板1は、図7に示されるように、
分離領域33を介して接地電位点に接続され、接地され
る。その結果、情報信号用SPD群40の対応のSPD
・A2〜D2の第1のSPDのアノード領域は接地され
ることになる。各第1の埋め込み領域31は、図7に示
されるように、分離領域33にて囲われたエピタキシャ
ル成長層における引出領域39の外側のエピタキシャル
成長層34を介してRFアンプ10の入力ノードに接続
される。その結果、情報信号用SPD群40の対応のS
PD・A2〜D2の第1のSPDのカソード領域及び情
報信号用SPD群40の対応のSPD・A2〜D2の第
2のSPDのカソード領域は共通接続されて情報信号用
アンプ10の入力ノードに接続されることになる。
【0051】各第2の埋め込み領域32は、図7に示さ
れるように、引出領域39を介して接地電位点に接続さ
れ、接地される。その結果、情報信号用SPD群40の
対応のSPD・A2〜D2の第2のSPDのアノード領
域及びフォーカス信号用SPD群30の対応のSPD・
A1〜D1のアノード領域は接地されることになる。半
導体基体の各SPD形成領域A〜Dにおける分離領域3
3にて囲われたエピタキシャル成長層における引出領域
39に囲われた内側のエピタキシャル成長層35は、図
7に示されるように、フォーカス信号用アンプ20の対
応の入力ノードに、表面に形成されたN+領域を介して
接続される。その結果、フォーカス信号用SPD群30
のSPD・A1〜D1のアノード領域はフォーカス信号
用アンプ20の対応の入力ノードに接続されることにな
る。
【0052】次に動作について説明する。光ディスク1
20から反射されたレーザ反射光130は、光ピックア
ップ用半導体装置における4つのSPD形成領域A〜D
を照射する。各SPD形成領域A〜Dに形成された情報
信号用SPD群40のSPD・A2〜D2の第1及び第
2のSPD並びにフォーカス信号用SPD群30のSP
D・A1〜D1は、このレーザ反射光130を受光し、
それぞれが受けたレーザ反射光に基づいた光電流を発生
する。
【0053】フォーカス信号用SPD群30の各SPD
・A1〜D1のカソード電極に光電流に応じた電流が流
れ込む。この流れ込む電流は、フォーカス信号用アンプ
20の対応の抵抗素子r21〜r24を流れる。したが
って、流れる電流に基づく抵抗素子r21〜r24の電
圧降下によって、フォーカス信号用アンプ20の各オペ
アンプ21〜24の出力端、つまり、フォーカス信号用
出力端子26〜29には基準電圧Vref1より対応の抵抗
素子r21〜r24による電圧降下分だけ高い電圧が現
れ、この電圧がフォーカス用信号Aout〜Doutとして出
力される。このフォーカス用信号Aout〜Doutによっ
て、レーザ反射光130の焦点合わせが行われる。
【0054】一方、情報信号用SPD群40のSPD・
A2〜D2の第1及び第2のSPDのカソード電極にも
光電流に応じた電流が流れ込む。これら流れ込む電流は
すべて加算されてRFアンプ10の抵抗素子r11に流
れる。従って、流れる電流に基づく抵抗素子r11の電
圧降下によって、RFアンプ10の出力ノード、つま
り、情報信号出力端子16には基準電圧Vref1より抵抗
r11による電圧降下分だけ高い電圧が現れ、この電圧
が情報信号RFoutとして出力される。
【0055】このように構成された光ピックアップ用信
号処理装置及び光ピックアップ用半導体装置の特徴は、
上記したように、レーザ反射光の焦点合わせを行なうた
めのフォーカス用信号Aout〜Doutは、フォーカス信号
用SPD群30のSPD・A1〜D1を用いて行い、情
報信号RFoutは、情報信号用SPD群40のSPD・
A2〜D2の第1及び第2のSPDを用いて行なう、つ
まり、情報信号用SPD群40を構成する全てのSPD
で発生される光電流を直接加算して、その加算した値に
基づいてRFアンプ10から出力される点にある。した
がって、レーザ反射光130が微弱な場合でも十分な値
の情報信号RFoutが得られることになる。さらに、従
来の技術で述べたもののように、フォーカス信号用アン
プ20を通した後の信号を用いて情報信号を得ていない
ので、フォーカス信号用アンプ20で発生するノイズに
よって発生されるノイズが情報信号に重畳されることが
なく、誤りの小さい情報信号が得られる。
【0056】実施の形態4.図4及び図8は、本発明の
実施の形態4を示す光ピックアップ用信号処理装置のブ
ロック図及び図4に示した光ピックアップ用信号処理装
置を1つの半導体基体に組み込んだ光ピックアップ用半
導体装置の主要部、具体的には情報信号用SPD群40
のSPD・C2、D2及びフォーカス信号用SPD群3
0のSPD・C1、D1が形成された部分の断面図であ
る。この実施の形態4における光ピックアップ用信号処
理装置及び光ピックアップ用半導体装置は上記した実施
の形態3における光ピックアップ用信号処理装置及び光
ピックアップ用半導体装置に対して、半導体基板とし
て、P型の半導体基板1及びN型のエピタキシャル成長
層34を用いたものの変わりに、N型の半導体基板及び
P型のエピタキシャル成長層を用いて構成したものであ
り、その他の点においては同じである。
【0057】この実施の形態4において、情報信号用S
PD群40を構成するSPD・A2、SPD・B2、S
PD・C2、SPD・D2の第1のSPDのカソード領
域は、図4に示すように、所定電位点、この例では電源
電位が印加される電源電位点に接続される。これらカソ
ード領域は、図8に示すように、各SPD形成領域A〜
Dにおいて、半導体基板1によって形成される。
【0058】情報信号用SPD群40を構成するSPD
・A2、SPD・B2、SPD・C2、SPD・D2の
第1及び第2のSPDのアノード領域は、図4に示すよ
うに、共通に接続されてRFアンプ10の入力ノードに
接続される。これらアノード領域は、図8に示すよう
に、各SPD形成領域A〜Dにおいて、N型の半導体基
板1の表面に形成されたP型のエピタキシャル成長層に
おける、N型の分離領域63によって囲まれた半導体基
板1とエピタキシャル成長層64とのPN接合部に形成
されたP型の第1の埋め込み領域61によって形成され
る。
【0059】情報信号用SPD群40を構成するSPD
・A2、SPD・B2、SPD・C2、SPD・D2の
第2のSPDのカソード領域は、図4に示すように、所
定電位点に接続される。これらカソード領域は、図8に
示すように、各SPD形成領域A〜Dにおいて、第1の
埋め込み領域61の表面に埋め込み、形成されたN型の
第2の埋め込み領域62によって形成される。フォーカ
ス信号用SPD群30を構成するSPD・A1、SPD
・B1、SPD・C1、SPD・D1のカソード領域
は、図4に示すように、所定電位点に接続される。これ
らカソード領域は、図8に示すように、各SPD形成領
域A〜Dにおいて、第2の埋め込み領域62によって形
成される。
【0060】フォーカス信号用SPD群30を構成する
SPD・A1、SPD・B1、SPD・C1、SPD・
D1のアノード領域は、図4に示すように、フォーカス
信号用アンプ20の対応の入力ノードに接続される。こ
れらアノード領域は、図8に示すように、各SPD形成
領域A〜Dにおいて、分離領域63にて囲われたエピタ
キシャル成長層における引出領域69に囲われた内側の
エピタキシャル成長層65によって形成される。なお、
半導体基板1は、図8に示すように、分離領域63を介
して所定電位点に接続される。
【0061】各SPD形成領域A〜Dにおける第1の埋
め込み領域61は、図8に示すように、分離領域63に
て囲われたエピタキシャル成長層における引出領域69
の外側のエピタキシャル成長層64を介してRFアンプ
10の入力ノードに接続される。各SPD形成領域A〜
Dにおける第2の埋め込み領域62は、図8に示すよう
に、引出領域39を介して所定電位点に接続される。
【0062】次に動作について説明する。この実施の形
態4においても、上記した実施の形態3と同様に、各S
PD形成領域A〜Dに形成された情報信号用SPD群4
0のSPD・A2〜D2の第1及び第2のSPD並びに
フォーカス信号用SPD群30のSPD・A1〜D1
は、このレーザ反射光130を受光し、それぞれが受け
たレーザ反射光に基づいた光電流を発生する。
【0063】フォーカス信号用アンプ20の各抵抗素子
r21〜r24には、フォーカス信号用SPD群30の
対応のSPD・A1〜D1のアノード電極から流れ出す
電流が流れる。したがって、流れる電流に基づく抵抗素
子r21〜r24の電圧降下によって、フォーカス信号
用アンプ20の各オペアンプ21〜24の出力端、つま
り、フォーカス信号用出力端子26〜29には基準電圧
Vref1より対応の抵抗素子r21〜r24による電圧降
下分だけ低い電圧が現れ、この電圧がフォーカス信号A
out〜Doutとして出力される。このフォーカス信号Aou
t〜Doutによって、レーザ反射光130の焦点合わせが
行われる。
【0064】一方、RFアンプ10の抵抗素子r11に
は、情報信号用SPD群40のSPD・A2〜D2の第
1及び第2のSPDのアノード電極から流れ出る全ての
電流の加算された電流が流れる。従って、流れる電流に
基づく抵抗素子r11の電圧降下によって、RFアンプ
10のオペアンプ11の出力端、つまり情報信号用出力
端子16には基準電圧Vref1より抵抗素子r11による
電圧降下分だけ低い電圧が現れ、この電圧が情報信号R
FOUTとして出力される。
【0065】このように構成された光ピックアップ用信
号処理装置及び光ピックアップ用半導体装置の特徴は、
上記したように、上記した実施の形態3と同様に、レー
ザ反射光の焦点合わせを行なうためのフォーカス用信号
Aout〜Doutは、フォーカス信号用SPD群30のSP
D・A1〜D1を用いて行い、情報信号RFoutは、情
報信号用SPD群40を構成する全てのSPDで発生さ
れる光電流を直接加算して、その加算した値に基づいて
RFアンプ10から出力される点にある。したがって、
レーザ反射光130が微弱な場合でも十分な値の情報信
号RFoutが得られることになる。さらに、従来の技術
で述べたもののように、フォーカス信号用アンプ20に
よって発生されるノイズが情報信号に重畳されることが
なく、誤りの小さい情報信号が得られる。
【0066】実施の形態5.図9は、本発明の実施の形
態5を示す光ピックアップ用半導体装置を示す。この実
施の形態5に示す光ピックアップ用半導体装置は、図1
に示される光ピックアップ用処理装置におけるRFアン
プ10及びフォーカス信号用アンプ20ともに、情報信
号用SPD群40のSPD・A2〜D2及びフォーカス
信号用SPD群30のSPD・A1〜D1と一緒に半導
体基体の表面に形成したものである。
【0067】そして、図9は光ピックアップ用半導体装
置の主要部、具体的には情報信号用SPD群40のSP
D・C2、D2及びフォーカス信号用SPD群30のS
PD・C1、D1が形成された部分、及びRFアンプ1
0及びフォーカス信号用アンプ20を構成する抵抗素子
r11、r21〜r24のうちの一つを代表的に示す抵
抗素子が形成された部分の断面図である。情報信号用S
PD群40のSPD・A2〜D2及びフォーカス信号用
SPD群30のSPD・A1〜D1の構成は図5にて示
した実施の形態1と同じであるので説明を省略し、主と
してRFアンプ10及びフォーカス信号用アンプ20を
構成する抵抗素子r11、r21〜r24の構成につい
て主として以下に説明する。
【0068】図9において、200はN型のエピタキシ
ャル成長層34の表面からP型の半導体基板1の表面に
達するP型の分離領域33にて電気的に分離される抵抗
素子形成領域、70はこの抵抗素子形成領域200にお
ける分離領域33にて囲われたエピタキシャル成長層3
4の表面に形成されたP型の半導体領域からなる抵抗素
子部である。なお、図9において図5に示した符号と同
一符号は同一又は相当部分を示している。そして、この
ように構成された光ピックアップ用半導体装置は、情報
信号用SPD群40のSPD・A2〜D2及びフォーカ
ス信号用SPD群30のSPD・A1〜D1が、上記し
たRFアンプ10及びフォーカス信号用アンプ20を構
成する抵抗素子r11、r21〜r24と同じプロセス
で形成される。
【0069】すなわち、情報信号用SPD群40のSP
D・A2〜D2のアノード領域となる第1の半導体領域
38の形成を、抵抗素子r11、r21〜r24となる
抵抗素子部70を形成するためのプロセスと同じプロセ
スにて行なうものである。なお、第1の半導体領域38
の表面に形成されたP+型のアノード取出領域38aは
抵抗素子部70の表面に形成されたP+型の抵抗端取出
領域71、72と同じプロセスで形成される。このよう
に製造することによって、何等製造プロセスを増やすこ
となく、抵抗素子の形成プロセスによって情報信号用S
PD群40のSPD・A2〜D2及びフォーカス信号用
SPD群30のSPD・A1〜D1を形成できる。
【0070】なお、情報信号用SPD群40のSPD・
A2〜D2のアノード領域となる第1の半導体領域38
は抵抗素子r11、r21〜r24となる抵抗素子部7
0と同じプロセスで形成されるため、抵抗素子r11、
r21〜r24となる抵抗素子部70と不純物が同じで
あるとともに、拡散深さ及び不純物濃度が同じに形成さ
れている。
【0071】このように構成された光ピックアップ用半
導体装置においても、上記した実施の形態1と同様の効
果を奏する他、何等プロセスを増加させることなく、情
報信号用SPD群40のSPD・A2〜D2及びフォー
カス信号用SPD群30のSPD・A1〜D1を形成で
きるという効果も有する。なお、この実施の形態5で
は、半導体基板として、P型の半導体基板1及びN型の
エピタキシャル成長層34を用いたものであるが、N型
の半導体基板及びP型のエピタキシャル成長層を用いた
ものであってもよい。この場合、情報信号用SPD群4
0のSPD・A2〜D2及びフォーカス信号用SPD群
30のSPD・A1〜D1の構成は図6にて示した実施
の形態2と同じであり、抵抗素子部70は、抵抗素子形
成領域200におけるN型の分離領域33にて囲われた
P型のエピタキシャル成長層34の表面に形成されたN
型の半導体領域となる。
【0072】実施の形態6.図10は本発明の実施の形
態6を示す光ピックアップ用半導体装置を示す。この実
施の形態6に示す光ピックアップ用半導体装置は、図1
に示される光ピックアップ用処理装置におけるRFアン
プ10及びフォーカス信号用アンプ20ともに、情報信
号用SPD群40のSPD・A2〜D2及びフォーカス
信号用SPD群30のSPD・A1〜D1と一緒に半導
体基体の表面に形成したものである。
【0073】そして、図10は光ピックアップ用半導体
装置の主要部、具体的には情報信号用SPD群40のS
PD・C2、D2及びフォーカス信号用SPD群30の
SPD・C1、D1が形成された部分、及びRFアンプ
10及びフォーカス信号用アンプ20におけるオペアン
プ11、21〜24を構成するNPNバイポーラトラン
ジスタ素子のうちの一つを代表的に示すNPNバイポー
ラトランジスタ素子が形成された部分の断面図である。
【0074】情報信号用SPD群40のSPD・A2〜
D2及びフォーカス信号用SPD群30のSPD・A1
〜D1の構成は図5にて示した実施の形態1と同じであ
るので説明を省略し、主としてRFアンプ10及びフォ
ーカス信号用アンプ20におけるオペアンプ11、21
〜24を構成するNPNバイポーラトランジスタ素子の
構成について主として以下に説明する。
【0075】図10において、300はN型のエピタキ
シャル成長層34の表面からP型の半導体基板1の表面
に達するP型の分離領域33にて電気的に分離されるト
ランジスタ素子形成領域、81はこのトランジスタ素子
形成領域300における分離領域33にて囲われたエピ
タキシャル成長層34にて構成されるコレクタ領域に対
するN+型のコレクタ取出領域、82は抵抗素子形成領
域200における分離領域33にて囲われたエピタキシ
ャル成長層34の表面に形成されたP型の半導体領域か
らなるベース領域、83はこのベース領域の表面に形成
されたP+型のベース取出領域、84はベース領域82
の表面に形成されたN型のエミッタ領域、85はこのエ
ミッタ領域の表面に形成されたN+型のエミッタ取出領
域である。なお、図10において図5に示した符号と同
一符号は同一又は相当部分を示している。
【0076】そして、このように構成された光ピックア
ップ用半導体装置は、情報信号用SPD群40のSPD
・A2〜D2及びフォーカス信号用SPD群30のSP
D・A1〜D1が、上記したRFアンプ10及びフォー
カス信号用アンプ20におけるオペアンプ11、21〜
24を構成するNPNバイポーラトランジスタ素子と同
じプロセスで形成される。
【0077】すなわち、情報信号用SPD群40のSP
D・A2〜D2のアノード領域となる第1の半導体領域
38の形成を、NPNバイポーラトランジスタ素子のベ
ース領域82を形成するためのプロセスと同じプロセス
にて行なうものである。なお、第1の半導体領域38の
表面に形成されたP+型のアノード取出領域38aはN
PNバイポーラトランジスタ素子のP+型のベース取出
領域と同じプロセスで形成される。このように製造する
ことによって、何等製造プロセスを増やすことなく、N
PNバイポーラトランジスタ素子の形成プロセスによっ
て情報信号用SPD群40のSPD・A2〜D2及びフ
ォーカス信号用SPD群30のSPD・A1〜D1を形
成できる。なお、情報信号用SPD群40のSPD・A
2〜D2のアノード領域となる第1の半導体領域38は
NPNバイポーラトランジスタ素子のベース領域82と
同じプロセスで形成されるため、NPNバイポーラトラ
ンジスタ素子のベース領域82と不純物が同じであると
ともに、拡散深さ及び不純物濃度が同じに形成されてい
る。
【0078】このように構成された光ピックアップ用半
導体装置においても、上記した実施の形態1と同様の効
果を奏する他、何等プロセスを増加させることなく、情
報信号用SPD群40のSPD・A2〜D2及びフォー
カス信号用SPD群30のSPD・A1〜D1を形成で
きるという効果も有する。なお、この実施の形態6で
は、半導体基板として、P型の半導体基板1及びN型の
エピタキシャル成長層34を用いたものであるが、N型
の半導体基板及びP型のエピタキシャル成長層を用いた
ものであってもよい。この場合、情報信号用SPD群4
0のSPD・A2〜D2及びフォーカス信号用SPD群
30のSPD・A1〜D1の構成は図6にて示した実施
の形態2と同じであり、NPNバイポーラトランジスタ
素子は、トランジスタ素子形成領域300におけるN型
の分離領域33にて囲われたP型のエピタキシャル成長
層34がコレクタ領域、このコレクタ領域の表面に形成
されたN型の半導体領域がベース領域、このベース領域
の表面に形成されたP型の半導体領域がエミッタ領域と
なる。
【0079】実施の形態7.図11は本発明の実施の形
態7を示す光ピックアップ用半導体装置を示す。この実
施の形態7に示す光ピックアップ用半導体装置は、図3
に示される光ピックアップ用処理装置におけるRFアン
プ10及びフォーカス信号用アンプ20ともに、情報信
号用SPD群40のSPD・A2〜D2及びフォーカス
信号用SPD群30のSPD・A1〜D1と一緒に半導
体基体の表面に形成したものである。
【0080】そして、図11は光ピックアップ用半導体
装置の主要部、具体的には情報信号用SPD群40のS
PD・C2、D2及びフォーカス信号用SPD群30の
SPD・C1、D1が形成された部分、及びRFアンプ
10及びフォーカス信号用アンプ20におけるオペアン
プ11、21〜24を構成するPNPバイポーラトラン
ジスタ素子のうちの一つを代表的に示すPNPバイポー
ラトランジスタ素子が形成された部分の断面図である。
【0081】情報信号用SPD群40のSPD・A2〜
D2及びフォーカス信号用SPD群30のSPD・A1
〜D1の構成は図7にて示した実施の形態3と同じであ
るので説明を省略し、主としてRFアンプ10及びフォ
ーカス信号用アンプ20におけるオペアンプ11、21
〜24を構成するPNPバイポーラトランジスタ素子の
構成について主として以下に説明する。
【0082】図11において、400はN型のエピタキ
シャル成長層34の表面からP型の半導体基板1の表面
に達するP型の分離領域33にて電気的に分離されるト
ランジスタ素子形成領域、91はこのトランジスタ素子
形成領域400における分離領域33にて囲われた半導
体基板1とエピタキシャル成長層34とのPN接合部に
埋め込み形成されたN型の第1の埋め込み領域31の表
面に埋め込み形成されたP型の第2の埋め込み領域32
にて構成されるコレクタ領域に対するP+型のコレクタ
取出領域で、コレクタ引出領域39の表面に形成され
る。92はトランジスタ素子形成領域400におけるコ
レクタ引出領域39に囲われた内側のエピタキシャル成
長層35にて構成されるベース領域の表面に形成された
N+型のベース取出領域、93はトランジスタ素子形成
領域400におけるコレクタ引出領域39に囲われた内
側のエピタキシャル成長層35にて構成されるベース領
域の表面に形成されたP型のエミッタ領域、94はこの
エミッタ領域の表面に形成されたP+型のエミッタ取出
領域である。なお、図11において図7に示した符号と
同一符号は同一又は相当部分を示している。
【0083】そして、このように構成された光ピックア
ップ用半導体装置は、情報信号用SPD群40のSPD
・A2〜D2及びフォーカス信号用SPD群30のSP
D・A1〜D1が、上記したRFアンプ10及びフォー
カス信号用アンプ20におけるオペアンプ11、21〜
24を構成するPNPバイポーラトランジスタ素子と同
じプロセスで形成される。
【0084】すなわち、情報信号用SPD群40のSP
D・A2〜D2の第1及び第2のSPDのカソード領域
となる第1の埋め込み領域31の形成を、PNPバイポ
ーラトランジスタ素子を半導体基板1から電気的に分離
するために設けられた第1の埋め込み領域31を形成す
るためのプロセスと同じプロセスにて行なう。
【0085】情報信号用SPD群40のSPD・A2〜
D2の第1のSPDのアノード領域及びフォーカス信号
用SPD群30のSPD・A1〜D1のアノード領域と
なる第2の埋め込み領域32の形成を、PNPバイポー
ラトランジスタ素子のコレクタ領域となる第2の埋め込
み領域32を形成するためのプロセスと同じプロセスに
て行なう。
【0086】情報信号用SPD群40のSPD・A2〜
D2の第1のSPDのアノード領域及びフォーカス信号
用SPD群30のSPD・A1〜D1のアノード領域に
対する引出領域39の形成を、PNPバイポーラトラン
ジスタ素子のコレクタ領域に対する引出領域39を形成
するためのプロセスと同じプロセスにて行なう。なお、
N+型のカソード取出領域35a及びP+型のアノード
取出領域39aはそれぞれPNPバイポーラトランジス
タ素子のN+型のコレクタ取出領域91及びP+型のベ
ース取出領域92と同じプロセスで形成される。
【0087】このように製造することによって、何等製
造プロセスを増やすことなく、PNPバイポーラトラン
ジスタ素子の形成プロセスによって情報信号用SPD群
40のSPD・A2〜D2の第1及び第2のSPD並び
にフォーカス信号用SPD群30のSPD・A1〜D1
を形成できる。
【0088】なお、情報信号用SPD群40のSPD・
A2〜D2の第1及び第2のSPDのカソード領域とな
る第1の埋め込み領域31、情報信号用SPD群40の
SPD・A2〜D2の第1のSPDのアノード領域及び
フォーカス信号用SPD群30のSPD・A1〜D1の
アノード領域となる第2の埋め込み領域32、及び情報
信号用SPD群40のSPD・A2〜D2の第1のSP
Dのアノード領域及びフォーカス信号用SPD群30の
SPD・A1〜D1のアノード領域に対する引出領域3
9それぞれは、PNPバイポーラトランジスタ素子に対
する第1の埋め込み領域31、コレクタ領域となる第2
の埋め込み領域32、及びコレクタ領域に対する引出領
域39それぞれと同じプロセスで形成されるため、PN
Pバイポーラトランジスタ素子に対する第1の埋め込み
領域31、コレクタ領域となる第2の埋め込み領域3
2、及びコレクタ領域に対する引出領域39それぞれと
不純物が同じであるとともに、拡散深さ及び不純物濃度
が同じに形成されている。
【0089】このように構成された光ピックアップ用半
導体装置においても、上記した実施の形態3と同様の効
果を奏する他、何等プロセスを増加させることなく、情
報信号用SPD群40のSPD・A2〜D2の第1及び
第2のSPD並びにフォーカス信号用SPD群30のS
PD・A1〜D1を形成できるという効果も有する。な
お、この実施の形態7では、半導体基板として、P型の
半導体基板1及びN型のエピタキシャル成長層34を用
いたものであるが、N型の半導体基板及びP型のエピタ
キシャル成長層を用いたものであってもよい。この場
合、情報信号用SPD群40のSPD・A2〜D2の第
1及び第2のSPD並びにフォーカス信号用SPD群3
0のSPD・A1〜D1の構成は図8にて示した実施の
形態4と同じであり、PNPバイポーラトランジスタ素
子は、トランジスタ素子形成領域400におけるN型の
分離領域33にて囲われたN型の半導体基板1とP型の
エピタキシャル成長層34とのPN接合部に埋め込み形
成されたP型の第1の埋め込み領域31の表面に埋め込
み形成されたN型の第2の埋め込み領域32がコレクタ
領域、P型のコレクタ引出領域39に囲まれたエピタキ
シャル成長層35がベース領域、このベース領域の表面
に形成されたN型の半導体領域93がエミッタ領域とな
る。
【0090】
【発明の効果】この発明の第1の発明に係る光ピックア
ップ用信号処理装置は、一方の電極が共通接続されると
ともに、他方の電極が所定電位点に接続される複数のシ
リコン・フォト・ダイオードを有する情報信号用SPD
群と、この情報信号用SPD群の複数のシリコン・フォ
ト・ダイオードの一方の電極が共通接続される共通接続
点に入力ノードが接続され、出力ノードから情報信号を
出力する情報信号用アンプとを設けたので、レーザ反射
光が微弱な場合でも十分な値の情報信号が得られる。さ
らに、従来の技術のように、フォーカス信号用アンプを
通した後の信号を用いて情報信号を得ていないので、フ
ォーカス信号用アンプで発生するノイズによって発生さ
れるノイズが情報信号に重畳されることがなく、誤りの
小さい情報信号が得られる。
【0091】この発明の第2の発明に係る光ピックアッ
プ用信号処理装置は、第1の発明にさらに、一方の電極
が共通接続されて前記情報信号用アンプの入力ノードに
接続される複数のシリコン・フォト・ダイオードを有す
るフォーカス信号用SPD群と、このフォーカス信号用
SPD群の複数のシリコン・フォト・ダイオードに対応
して設けられ、それぞれが対応するシリコン・フォト・
ダイオードの他方の電極に接続される複数の入力ノード
を有し、出力ノードからフォーカス用信号を出力するフ
ォーカス信号用アンプとを設けたので、レーザ反射光が
微弱な場合でも十分な値の情報信号が得られる。さら
に、従来の技術のように、フォーカス信号用アンプを通
した後の信号を用いて情報信号を得ていないので、フォ
ーカス信号用アンプで発生するノイズによって発生され
るノイズが情報信号に重畳されることがなく、誤りの小
さい情報信号が得られる。
【0092】この発明の第3の発明に係る光ピックアッ
プ用信号処理装置は、第1の発明にさらに、一方の電極
が上記所定電位点に接続される複数のシリコン・フォト
・ダイオードを有するフォーカス信号用SPD群と、こ
のフォーカス信号用SPD群の複数のシリコン・フォト
・ダイオードに対応して設けられ、それぞれが対応する
シリコン・フォト・ダイオードの他方の電極に接続され
る複数の入力ノードを有し、出力ノードからフォーカス
用信号を出力するフォーカス信号用アンプとを設けたの
で、レーザ反射光が微弱な場合でも十分な値の情報信号
が得られる。さらに、従来の技術のように、フォーカス
信号用アンプを通した後の信号を用いて情報信号を得て
いないので、フォーカス信号用アンプで発生するノイズ
によって発生されるノイズが情報信号に重畳されること
がなく、誤りの小さい情報信号が得られる。
【0093】この発明の第4の発明に係る光ピックアッ
プ用信号処理装置は、一方の電極が共通接続されるとと
もに、他方の電極が所定電位点に接続される複数のシリ
コン・フォト・ダイオードを有する情報信号用SPD群
と、この情報信号用SPD群の複数のシリコン・フォト
・ダイオードの一方の電極が共通接続される共通接続点
に接続される入力ノードに反転入力端が接続され、非反
転入力端に第1の基準電位が印加され、出力端が情報信
号を出力する出力ノードに接続されるオペアンプ、及び
このオペアンプの反転入力端と出力端との間に接続され
る抵抗素子を有する情報信号用アンプと、一方の電極が
共通接続されて情報信号用アンプの入力ノードに接続さ
れる複数のシリコン・フォト・ダイオードを有するフォ
ーカス信号用SPD群と、このフォーカス信号用SPD
群の複数のシリコン・フォト・ダイオードに対応して設
けられ、それぞれが対応するシリコン・フォト・ダイオ
ードの他方の電極に接続される入力ノードに反転入力端
が接続され、非反転入力端に第2の基準電位が印加さ
れ、フォーカス用信号を出力する対応の出力ノードに出
力端が接続される複数のオペアンプ、及びれら複数のオ
ペアンプに対応して設けられ、それぞれが対応するオペ
アンプの反転入力端と出力端との間に接続される複数の
抵抗素子を有するフォーカス信号用アンプとを設けたの
で、レーザ反射光が微弱な場合でも十分な値の情報信号
が得られる。さらに、従来の技術のように、フォーカス
信号用アンプを通した後の信号を用いて情報信号を得て
いないので、フォーカス信号用アンプで発生するノイズ
によって発生されるノイズが情報信号に重畳されること
がなく、誤りの小さい情報信号が得られる。
【0094】この発明の第5の発明に係る光ピックアッ
プ用半導体装置は、一方の電極が共通接続されて情報信
号用アンプの入力ノードに接続され、他方の電極が所定
電位点に接続される4つのシリコン・フォト・ダイオー
ドを有する情報信号用SPD群と、一方の電極が共通接
続されて情報信号用アンプの入力ノードに接続され、そ
れぞれの他方の電極がフォーカス信号用アンプにおける
対応の入力ノードに接続される4つのシリコン・フォト
・ダイオードを有するフォーカス信号用SPD群とを備
え、第1導電型の半導体基板、及びこの半導体基板の表
面上に半導体基板とPN接合をなして形成される第2導
電型のエピタキシャル成長層を有し、このエピタキシャ
ル成長層の表面から半導体基板の表面に達する第1導電
型の分離領域にて電気的に分離される上下左右に隣接し
て配置され、それぞれが情報信号用SPD群及びフォー
カス信号用SPD群のそれぞれのシリコン・フォト・ダ
イオードに対応する4つのSPD形成領域を有し、各S
PD形成領域において、半導体基板が情報信号用SPD
群の対応のシリコン・フォト・ダイオードの一方の電極
領域をなすとともに、分離領域にて囲われたエピタキシ
ャル成長層が情報信号用SPD群の対応のシリコン・フ
ォト・ダイオードの他方の電極領域及び前記フォーカス
信号用SPD群の対応のシリコン・フォト・ダイオード
の他方の電極領域をなす半導体基体と、それぞれがこの
半導体基体の各SPD形成領域における分離領域にて囲
われたエピタキシャル成長層の表面に形成され、前記フ
ォーカス信号用SPD群の対応のシリコン・フォト・ダ
イオードの一方の電極領域となる第1導電型の4つの第
1の半導体領域とを設けたので、レーザ反射光が微弱な
場合でも十分な値の情報信号が得られる。さらに、従来
の技術のように、フォーカス信号用アンプを通した後の
信号を用いて情報信号を得ていないので、フォーカス信
号用アンプで発生するノイズによって発生されるノイズ
が情報信号に重畳されることがなく、誤りの小さい情報
信号が得られる。さらに、何等プロセスを増加させるこ
となく、情報信号用SPD群の第1及び第2のSPD並
びにフォーカス信号用SPD群を形成できるという効果
も有する。
【0095】この発明の第6の発明に係る光ピックアッ
プ用半導体装置は、第5の発明にさらに、情報信号用ア
ンプ及びフォーカス信号用アンプともに半導体基板の表
面に形成され、情報信号用アンプ及びフォーカス信号用
アンプを構成する少なくとも一つの抵抗素子は、エピタ
キシャル成長層の表面から半導体基板の表面に達する第
1導電型の分離領域にて囲われたエピタキシャル成長層
の表面に形成される第2の半導体領域にて形成されるの
で、レーザ反射光が微弱な場合でも十分な値の情報信号
が得られる。さらに、従来の技術のように、フォーカス
信号用アンプを通した後の信号を用いて情報信号を得て
いないので、フォーカス信号用アンプで発生するノイズ
によって発生されるノイズが情報信号に重畳されること
がなく、誤りの小さい情報信号が得られる。さらに、何
等プロセスを増加させることなく、情報信号用SPD群
及びフォーカス信号用SPD群と共に抵抗素子をも形成
できるという効果も有する。
【0096】この発明の第7の発明に係る光ピックアッ
プ用半導体装置は、第5の発明にさらに、情報信号用ア
ンプ及びフォーカス信号用アンプともに半導体基板の表
面に形成され、情報信号用アンプ及びフォーカス信号用
アンプを構成する少なくとも一つのトランジスタ素子
は、エピタキシャル成長層の表面から半導体基板の表0
面に達する第1導電型の分離領域にて囲われたエピタキ
シャル成長層をコレクタ領域となし、このコレクタ領域
の表面に形成される第1導電型の第2の半導体領域をベ
ース領域となし、このベース領域の表面に形成される第
2導電型の第3の半導体領域をエミッタ領域となして形
成されるので、レーザ反射光が微弱な場合でも十分な値
の情報信号が得られる。さらに、従来の技術のように、
フォーカス信号用アンプを通した後の信号を用いて情報
信号を得ていないので、フォーカス信号用アンプで発生
するノイズによって発生されるノイズが情報信号に重畳
されることがなく、誤りの小さい情報信号が得られる。
さらに、何等プロセスを増加させることなく、情報信号
用SPD群及びフォーカス信号用SPD群と共にトラン
ジスタ素子をも形成できるという効果も有する。
【0097】この発明の第8の発明に係る光ピックアッ
プ用半導体装置は、それぞれが並列接続される第1及び
第2のシリコン・フォト・ダイオードからなり、一方の
電極が共通接続されて情報信号用アンプの入力ノードに
接続され、他方の電極が所定電位点に接続される4つの
シリコン・フォト・ダイオードを有する情報信号用SP
D群と、一方の電極が共通接続されて情報信号用アンプ
の入力ノードに接続され、それぞれの他方の電極がフォ
ーカス信号用アンプにおける対応の入力ノードに接続さ
れる4つのシリコン・フォト・ダイオードを有するフォ
ーカス信号用SPD群とを備え、第1導電型の半導体基
板、及びこの半導体基板の表面上に半導体基板とPN接
合をなして形成される第2導電型のエピタキシャル成長
層を有し、このエピタキシャル成長層の表面から半導体
基板の表面に達する第1導電型の分離領域にて電気的に
分離される上下左右に隣接して配置され、それぞれが情
報信号用SPD群及びフォーカス信号用SPD群のそれ
ぞれのシリコン・フォト・ダイオードに対応する4つの
SPD形成領域を有し、各SPD形成領域において、半
導体基板が情報信号用SPD群の対応のシリコン・フォ
ト・ダイオードの第1のシリコン・フォト・ダイオード
の一方の電極領域をなすとともに、分離領域にて囲われ
たエピタキシャル成長層がフォーカス信号用SPD群の
対応のシリコン・フォト・ダイオードの他方の電極領域
をなす半導体基体と、それぞれがこの半導体基体の各S
PD形成領域における分離領域にて囲われた前記半導体
基体とエピタキシャル成長層とのPN接合部に埋め込ま
れて形成され、情報信号用SPD群の対応のシリコン・
フォト・ダイオードの第1及び第2のシリコン・フォト
・ダイオードの他方の電極領域をなす第2導電型の4つ
の第1の埋め込み領域と、それぞれが各第1の埋め込み
領域の表面に形成され、情報信号用SPD群の対応のシ
リコン・フォト・ダイオードの第2のシリコン・フォト
・ダイオードの他方の電極領域及びフォーカス信号用S
PD群の対応のシリコン・フォト・ダイオードの他方の
電極領域をなす第1導電型の4つの第2の埋め込み領域
とを設けたので、レーザ反射光が微弱な場合でも十分な
値の情報信号が得られる。さらに、従来の技術のよう
に、フォーカス信号用アンプを通した後の信号を用いて
情報信号を得ていないので、フォーカス信号用アンプで
発生するノイズによって発生されるノイズが情報信号に
重畳されることがなく、誤りの小さい情報信号が得られ
る。さらに、何等プロセスを増加させることなく、情報
信号用SPD群及びフォーカス信号用SPD群と共にト
ランジスタ素子をも形成できるという効果も有する。
【0098】この発明の第9の発明に係る光ピックアッ
プ用半導体装置は、第8の発明にさらに、情報信号用ア
ンプ及びフォーカス信号用アンプともに半導体基板の表
面に形成され、情報信号用アンプ及びフォーカス信号用
アンプを構成する少なくとも一つのトランジスタ素子
は、エピタキシャル成長層の表面から半導体基板の表面
に達する第1導電型の分離領域にて囲われた半導体基体
とエピタキシャル成長層とのPN接合部に埋め込まれた
第2導電型の第3の埋め込み領域の表面に形成された第
1導電型の第4の埋め込み領域をコレクタ領域となし、
このコレクタ領域とPN接合するエピタキシャル成長層
をベース領域となし、このベース領域の表面に形成され
る第1導電型の半導体領域をエミッタ領域となして形成
されるので、レーザ反射光が微弱な場合でも十分な値の
情報信号が得られる。さらに、従来の技術のように、フ
ォーカス信号用アンプを通した後の信号を用いて情報信
号を得ていないので、フォーカス信号用アンプで発生す
るノイズによって発生されるノイズが情報信号に重畳さ
れることがなく、誤りの小さい情報信号が得られる。さ
らに、何等プロセスを増加させることなく、情報信号用
SPD群及びフォーカス信号用SPD群と共にトランジ
スタ素子をも形成できるという効果も有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1の光ピックアップ用信
号処理装置を示す回路図である。
【図2】 本発明の実施の形態2の光ピックアップ用信
号処理装置を示す回路図である。
【図3】 本発明の実施の形態3の光ピックアップ用信
号処理装置を示す回路図である。
【図4】 本発明の実施の形態4の光ピックアップ用信
号処理装置を示す回路図である。
【図5】 本発明の実施の形態1の光ピックアップ用半
導体装置を示す主要部断面図である。
【図6】 本発明の実施の形態2の光ピックアップ用半
導体装置を示す主要部断面図である。
【図7】 本発明の実施の形態3の光ピックアップ用半
導体装置を示す主要部断面図である。
【図8】 本発明の実施の形態4の光ピックアップ用半
導体装置を示す主要部断面図である。
【図9】 本発明の実施の形態5の光ピックアップ用半
導体装置を示す主要部断面図である。
【図10】 本発明の実施の形態6の光ピックアップ用
半導体装置を示す主要部断面図である。
【図11】 本発明の実施の形態7の光ピックアップ用
半導体装置を示す主要部断面図である。
【図12】 光ピックアップシステムを示す概略図であ
る。
【図13】 従来の光ピックアップ用信号処理装置を示
す回路図である。
【図14】 従来の光ピックアップ用半導体装置を示す
主要部断面図である。
【符号の説明】
10…RFアンプ、11…オペアンプ、r11…抵抗素
子、20…フォーカス信号用アンプ、r21〜r24…
抵抗素子、26〜29…フォーカス信号用出力端子、3
0…フォーカス信号用SPD群、31、61…第1の埋
め込み領域、32、62…第2の埋め込み領域、33、
43、63…分離領域、34、35、44、64、65
…エピタキシャル成長層、38、48…第1の半導体領
域、39、69…引出領域、40…情報信号用SPD
群、50…第1の基準電圧源、60…第2の基準電圧
源、70…抵抗素子部、81、91…コレクタ取出領
域、82…ベース領域、83、92…ベース取出領域、
84、93…エミッタ領域、85、94…エミッタ取出
領域、200…抵抗素子形成領域、300、400…ト
ランジスタ素子形成領域

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一方の電極が共通接続されるとともに、
    他方の電極が所定電位点に接続される複数のシリコン・
    フォト・ダイオードを有する情報信号用SPD群、 この情報信号用SPD群の複数のシリコン・フォト・ダ
    イオードの一方の電極が共通接続される共通接続点に入
    力ノードが接続され、出力ノードから情報信号を出力す
    る情報信号用アンプを備えた光ピックアップ用信号処理
    装置。
  2. 【請求項2】 一方の電極が共通接続されて前記情報信
    号用アンプの入力ノードに接続される複数のシリコン・
    フォト・ダイオードを有するフォーカス信号用SPD
    群、 このフォーカス信号用SPD群の複数のシリコン・フォ
    ト・ダイオードに対応して設けられ、それぞれが対応す
    るシリコン・フォト・ダイオードの他方の電極に接続さ
    れる複数の入力ノードを有し、出力ノードからフォーカ
    ス用信号を出力するフォーカス信号用アンプを備えた請
    求項1記載の光ピックアップ用信号処理装置。
  3. 【請求項3】 一方の電極が上記所定電位点に接続され
    る複数のシリコン・フォト・ダイオードを有するフォー
    カス信号用SPD群、 このフォーカス信号用SPD群の複数のシリコン・フォ
    ト・ダイオードに対応して設けられ、それぞれが対応す
    るシリコン・フォト・ダイオードの他方の電極に接続さ
    れる複数の入力ノードを有し、出力ノードからフォーカ
    ス用信号を出力するフォーカス信号用アンプを備えた請
    求項1記載の光ピックアップ用信号処理装置。
  4. 【請求項4】 上記情報信号用SPD群の各シリコン・
    フォト・ダイオードは、前記所定電位点と前記共通接続
    点との間に並列接続される複数のシリコン・フォト・ダ
    イオードからなる請求項1ないし請求項3のいずれかに
    記載の光ピックアップ用信号処理装置。
  5. 【請求項5】 一方の電極が共通接続されるとともに、
    他方の電極が所定電位点に接続される複数のシリコン・
    フォト・ダイオードを有する情報信号用SPD群、 この情報信号用SPD群の複数のシリコン・フォト・ダ
    イオードの一方の電極が共通接続される共通接続点に接
    続される入力ノードに反転入力端が接続され、非反転入
    力端に第1の基準電位が印加され、出力端が情報信号を
    出力する出力ノードに接続されるオペアンプと、このオ
    ペアンプの反転入力端と出力端との間に接続される抵抗
    素子とを有する情報信号用アンプ、 一方の電極が共通接続されて前記情報信号用アンプの入
    力ノードに接続される複数のシリコン・フォト・ダイオ
    ードを有するフォーカス信号用SPD群、 このフォーカス信号用SPD群の複数のシリコン・フォ
    ト・ダイオードに対応して設けられ、それぞれが対応す
    るシリコン・フォト・ダイオードの他方の電極に接続さ
    れる入力ノードに反転入力端が接続され、非反転入力端
    に第2の基準電位が印加され、フォーカス用信号を出力
    する対応の出力ノードに出力端が接続される複数のオペ
    アンプと、これら複数のオペアンプに対応して設けら
    れ、それぞれが対応するオペアンプの反転入力端と出力
    端との間に接続される複数の抵抗素子とを有するフォー
    カス信号用アンプを備えた光ピックアップ用信号処理装
    置。
  6. 【請求項6】 前記情報信号用SPD群の複数のシリコ
    ン・フォト・ダイオードの一方の電極はカソード電極で
    あり、他方の電極がアノード電極であり、 前記フォーカス信号用SPD群の複数のシリコン・フォ
    ト・ダイオードの一方の電極はカソード電極であり、他
    方の電極がアノード電極であり、 前記所定電位点は接地電位とされる接地電位点であり、 前記第1の基準電位は前記第2の基準電位より高い電位
    であることを特徴とする請求項5記載の光ピックアップ
    用信号処理装置。
  7. 【請求項7】 前記情報信号用SPD群の複数のシリコ
    ン・フォト・ダイオードの一方の電極はアノード電極で
    あり、他方の電極がカソード電極であり、 前記フォーカス信号用SPD群の複数のシリコン・フォ
    ト・ダイオードの一方の電極はアノード電極であり、他
    方の電極がカソード電極であり、 前記所定電位点は電源電位が印加される電源電位点であ
    り、 前記第1の基準電位は前記第2の基準電位より低い電位
    であることを特徴とする請求項5記載の光ピックアップ
    用信号処理装置。
  8. 【請求項8】 一方の電極が共通接続されて情報信号用
    アンプの入力ノードに接続され、他方の電極が所定電位
    点に接続される4つのシリコン・フォト・ダイオードを
    有する情報信号用SPD群と、 一方の電極が共通接続されて前記情報信号用アンプの入
    力ノードに接続され、それぞれの他方の電極がフォーカ
    ス信号用アンプにおける対応の入力ノードに接続される
    4つのシリコン・フォト・ダイオードを有するフォーカ
    ス信号用SPD群とを備え、 第1導電型の半導体基板、及びこの半導体基板の表面上
    に前記半導体基板とPN接合をなして形成される第2導
    電型のエピタキシャル成長層を有し、このエピタキシャ
    ル成長層の表面から前記半導体基板の表面に達する第1
    導電型の分離領域にて電気的に分離される上下左右に隣
    接して配置され、それぞれが前記情報信号用SPD群及
    びフォーカス信号用SPD群のそれぞれのシリコン・フ
    ォト・ダイオードに対応する4つのSPD形成領域を有
    し、各SPD形成領域において、前記半導体基板が前記
    情報信号用SPD群の対応のシリコン・フォト・ダイオ
    ードの一方の電極領域をなすとともに、前記分離領域に
    て囲われたエピタキシャル成長層が前記情報信号用SP
    D群の対応のシリコン・フォト・ダイオードの一方の電
    極領域及び前記フォーカス信号用SPD群の対応のシリ
    コン・フォト・ダイオードの一方の電極領域をなす半導
    体基体、 それぞれがこの半導体基体の各SPD形成領域における
    前記分離領域にて囲われたエピタキシャル成長層の表面
    に形成され、前記フォーカス信号用SPD群の対応のシ
    リコン・フォト・ダイオードの他方電極領域となる第1
    導電型の4つの第1の半導体領域を備えた光ピックアッ
    プ用半導体装置。
  9. 【請求項9】 前記情報信号用アンプ及び前記フォーカ
    ス信号用アンプともに前記半導体基体の表面に形成さ
    れ、 前記情報信号用アンプ及び前記フォーカス信号用アンプ
    を構成する少なくとも一つの抵抗素子は、前記エピタキ
    シャル成長層の表面から前記半導体基板の表面に達する
    第1導電型の分離領域にて囲われたエピタキシャル成長
    層の表面に形成される第2の半導体領域にて形成され、 前記4つの第1の半導体領域の拡散深さ及び不純物濃度
    が前記第2の半導体領域の拡散深さ及び不純物濃度と同
    じであることを特徴とする請求項8記載の光ピックアッ
    プ用半導体装置。
  10. 【請求項10】 前記情報信号用アンプ及び前記フォー
    カス信号用アンプともに前記半導体基板の表面に形成さ
    れ、 前記情報信号用アンプ及び前記フォーカス信号用アンプ
    を構成する少なくとも一つのトランジスタ素子は、前記
    エピタキシャル成長層の表面から前記半導体基板の表面
    に達する第1導電型の分離領域にて囲われたエピタキシ
    ャル成長層をコレクタ領域となし、このコレクタ領域の
    表面に形成される第1導電型の第2の半導体領域をベー
    ス領域となし、このベース領域の表面に形成される第2
    導電型の第3の半導体領域をエミッタ領域となして形成
    され、 前記4つの第1の半導体領域の不純物、拡散深さ及び不
    純物濃度が前記第2の半導体領域の不純物、拡散深さ及
    び不純物濃度と同じであることを特徴とする請求項8記
    載の光ピックアップ用半導体装置。
  11. 【請求項11】 それぞれが並列接続される第1及び第
    2のシリコン・フォト・ダイオードからなり、一方の電
    極が共通接続されて情報信号用アンプの入力ノードに接
    続され、他方の電極が所定電位点に接続される4対のシ
    リコン・フォト・ダイオードを有する情報信号用SPD
    群と、 それぞれの一方の電極がフォーカス信号用アンプにおけ
    る対応の入力ノードに接続されるとともに、他方の電極
    が所定電位点に接続される4つのシリコン・フォト・ダ
    イオードを有するフォーカス信号用SPD群とを備え、 第1導電型の半導体基板、及びこの半導体基板の表面上
    に前記半導体基板とPN接合をなして形成される第2導
    電型のエピタキシャル成長層を有し、このエピタキシャ
    ル成長層の表面から前記半導体基板の表面に達する第1
    導電型の分離領域にて電気的に分離される上下左右に隣
    接して配置され、それぞれが前記情報信号用SPD群及
    びフォーカス信号用SPD群のそれぞれのシリコン・フ
    ォト・ダイオードに対応する4つのSPD形成領域を有
    し、各SPD形成領域において、前記半導体基板が前記
    情報信号用SPD群の対応のシリコン・フォト・ダイオ
    ードの第1のシリコン・フォト・ダイオードの一方の電
    極領域をなす半導体基体、 それぞれがこの半導体基体の各SPD形成領域における
    前記分離領域にて囲われた前記半導体基板と前記エピタ
    キシャル成長層とのPN接合部に埋め込まれて形成さ
    れ、前記情報信号用SPD群の対応のシリコン・フォト
    ・ダイオードの第1及び第2のシリコン・フォト・ダイ
    オードの他方の電極領域をなす第2導電型の4つの第1
    の埋め込み領域、 それぞれが各第1の埋め込み領域の表面に形成され、前
    記情報信号用SPD群の対応のシリコン・フォト・ダイ
    オードの第2のシリコン・フォト・ダイオードの他方の
    電極領域及び前記フォーカス信号用SPD群の対応のシ
    リコン・フォト・ダイオードの他方の電極領域をなす第
    1導電型の4つの第2の埋め込み領域、 それぞれが前記各SPD形成領域における前記分離領域
    にて囲われたエピタキシャル成長層の表面から前記第2
    の埋め込み領域の表面に達し、各SPD形成領域におけ
    るエピタキシャル成長層を内側と外側とで電気的に分離
    するとともに前記第2の埋め込み領域の電極引出を行な
    うための第1導電型の引出領域39領域を備え、 前記各SPD形成領域における前記引出領域39領域に
    て電気的に分離された外側のエピタキシャル成長層が対
    応の前記第1の埋め込み領域の電極を引き出すための領
    域となり、内側のエピタキシャル成長層が前記フォーカ
    ス信号用SPD群の対応のシリコン・フォト・ダイオー
    ドの他方の電極領域となる光ピックアップ用半導体装
    置。
  12. 【請求項12】 前記情報信号用アンプ及び前記フォー
    カス信号用アンプともに前記半導体基板の表面に形成さ
    れ、 前記情報信号用アンプ及び前記フォーカス信号用アンプ
    を構成する少なくとも一つのトランジスタ素子は、前記
    エピタキシャル成長層の表面から前記半導体基板の表面
    に達する第1導電型の分離領域にて囲われた前記半導体
    基体と前記エピタキシャル成長層とのPN接合部に埋め
    込まれた第2導電型の第3の埋め込み領域の表面に形成
    された第1導電型の第4の埋め込み領域をコレクタ領域
    となし、このコレクタ領域とPN接合するエピタキシャ
    ル成長層をベース領域となし、このベース領域の表面に
    形成される第1導電型の半導体領域をエミッタ領域とな
    して形成され、 前記4つの第1の埋め込み領域の不純物及び不純物濃度
    が前記第3の埋め込み領域の不純物及び不純物濃度と同
    じであり、 前記4つの第2の埋め込み領域の不純物及び不純物濃度
    が前記第4の埋め込み領域の不純物及び不純物濃度と同
    じであることを特徴とする請求項11記載の光ピックア
    ップ用半導体装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007049493A (ja) * 2005-08-10 2007-02-22 Sharp Corp 受光アンプ回路およびそれを用いた光ピックアップ装置
JP2008109489A (ja) * 2006-10-26 2008-05-08 Sony Corp 信号処理回路及び光ディスク装置
JP2009089059A (ja) * 2007-09-28 2009-04-23 Toshiba Corp 受光回路

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