JPH10267948A

JPH10267948A - 走査型プローブ顕微鏡

Info

Publication number: JPH10267948A
Application number: JP9068613A
Authority: JP
Inventors: Shuichi Ito; 修一伊東
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1997-03-21
Filing date: 1997-03-21
Publication date: 1998-10-09

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単且つ短時間にカンチレバーの位置調整を高
精度に行うことが可能なコンパクトで低価格な走査型プ
ローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】カンチレバー２４を保持するホルダ２６
と、ＸＹ方向に移動自在なＸＹステージ２８に設けられ
且つホルダをセット可能な第１乃至第３のセットステー
ションＳ１，Ｓ２，Ｓ３と、ホルダを着脱自在に支持可
能であって且つ支持されたホルダを所望の方向にスライ
ド可能な支持ユニット３０と、第１乃至第３のセットス
テーションと支持ユニットとの間の位置関係を相対的に
変化させることによって、第１乃至第３のセットステー
ションにセットされた所望のホルダを三次元方向に相対
的に移動可能な移動機構と、カンチレバーが所望の位置
に位置付けられるように、支持ユニットに支持されたホ
ルダをスライドさせることによってホルダの位置を自動
的に調整可能な位置調整機構とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カンチレバーの交
換時に、カンチレバーを所望の位置に正確に位置付ける
ことが可能な位置調整機構を備えた走査型プローブ顕微
鏡（ＳＰＭ；ＳｃａｎｎｉｎｇＰｒｏｂｅＭｉｃｒ
ｏｓｃｏｐｅ）に関する。

【０００２】

【従来の技術】カンチレバーを所望の位置（例えば、光
てこ方式を用いた変位センサの焦点位置）に位置付ける
ための位置調整機構を備えた走査型プローブ顕微鏡が知
られている。

【０００３】図４に示すように、例えば特開平６−８２
２４９号公報に開示された探針走査型の走査型プローブ
顕微鏡は、カンチレバー２を所定の傾斜角度で支持した
金属製ホルダ４と、アクチュエータ６の先端の光てこ式
変位センサ８に設けられ且つ金属製ホルダ４を吸引保持
可能な磁石１０と、カンチレバー２が所望の位置に位置
付けられるように、磁石１０に対する金属製ホルダ４の
吸着位置を手動で調整する位置調整機構１２とが設けら
れている。

【０００４】このような構成によれば、金属製ホルダ４
を磁石１０によって変位センサ８に吸引保持させた後、
位置調整機構１２の調整アーム１４を金属製ホルダ４の
調整溝１６に係合させて、金属製ホルダ４の吸着位置を
調整することによって、カンチレバー２（具体的には、
カンチレバー２の背面）を変位センサ８の焦点位置に位
置付けることができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、半導体レー
ザ１８から出射した直径３０μｍ以下のレーザー光を幅
３０μｍ程度のカンチレバー２の背面に集光させる場合
には、極めて高精度な位置調整作業が必要となる。この
場合、カンチレバー２に対するレーザー光の集光位置が
僅かでもずれると、カンチレバー２を通過した光によっ
て試料表面（図示しない）から散乱した反射光が、外乱
光となってフォトディテクタ２０に入射するため、測定
精度を一定レベルに維持することが困難になってしま
う。

【０００６】しかしながら、従来の走査型プローブ顕微
鏡では、手動操作によって、変位センサ８の焦点位置に
対するカンチレバー２の位置合わせを行っている。更
に、従来の走査型プローブ顕微鏡では、検査者の目視確
認によって、変位センサ８の焦点位置に対するカンチレ
バー２の光軸ずれ量の確認作業が行われている。このた
め、高精度な光軸合わせを行うことが困難であると共
に、位置調整に時間がかかるといった問題がある。

【０００７】また、位置調整機構１２を独立して設ける
必要があるため、装置が大型化して製造コストが上昇し
てしまう。特に、高精度な位置調整が必要となる走査型
プローブ顕微鏡の分野では、μｍオーダーの位置決め分
解能が要求されており、この要求を満足するような位置
調整機構１２は、その構成が複雑化してしまうため、装
置が更に大型化すると共に更に製造コストが上昇してし
まう。

【０００８】本発明は、このような課題を解決するため
に成されており、その目的は、簡単且つ短時間にカンチ
レバーの位置調整を高精度に行うことが可能なコンパク
トで低価格な走査型プローブ顕微鏡を提供することにあ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明の走査型プローブ顕微鏡は、試料を走査可能
な角度でカンチレバーを保持するホルダと、試料を載置
した状態で所望の方向に移動自在なステージに設けられ
且つホルダをセット可能な複数のセットステーション
と、ホルダを着脱自在に支持可能であって且つ支持され
たホルダを所望の方向にスライド可能な支持ユニット
と、セットステーションと支持ユニットとの間の位置関
係を相対的に変化させることによって、セットステーシ
ョンにセットされた所望のホルダを三次元方向に相対的
に移動可能な移動機構と、カンチレバーが所望の位置に
位置付けられるように、支持ユニットに支持されたホル
ダをスライドさせることによってホルダの位置を自動的
に調整可能な位置調整機構とを備える。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態に係
る走査型プローブ顕微鏡について、添付図面を参照して
説明する。図１（ａ），（ｂ）に示すように、本実施の
形態の走査型プローブ顕微鏡は、試料２２を走査可能な
傾斜角度でカンチレバー２４を保持するホルダ２６と、
試料２２を載置した状態でＸＹ方向に移動自在なＸＹス
テージ２８に設けられ、且つ、ホルダ２６をセット可能
な第１乃至第３のセットステーションＳ１，Ｓ２，Ｓ３
と、ホルダ２６を着脱自在に支持可能であって且つ支持
されたホルダ２６を所望の方向にスライド可能な支持ユ
ニット３０と、第１乃至第３のセットステーションＳ
１，Ｓ２，Ｓ３と支持ユニット３０との間の位置関係を
相対的に変化させることによって、第１乃至第３のセッ
トステーションＳ１，Ｓ２，Ｓ３にセットされた所望の
ホルダ２６を三次元方向に相対的に移動可能な移動機構
と、カンチレバー２４が所望の位置に位置付けられるよ
うに、支持ユニット３０に支持されたホルダ２６をスラ
イドさせることによってホルダ２６の位置を自動的に調
整可能な位置調整機構とを備えている。

【００１１】なお、図１（ｂ）には、その一例として、
３つのセットステーションＳ１，Ｓ２，Ｓ３を示した
が、試料２２に対する走査に支障の無い位置に、使用状
況に応じて３つ以上のセットステーションをＸＹステー
ジ２８に形成することが可能である。ただし、カンチレ
バー２４を交換する際、少なくとも１つのセットステー
ションを空けておく必要がある。従って、ＸＹステージ
２８には、少なくとも２つ以上のセットステーションを
設けることが好ましい。

【００１２】ホルダ２６は、磁性体材料から構成されて
おり、その下面には、凹部２６ａが形成されている。第
１乃至第３のセットステーションＳ１，Ｓ２，Ｓ３に
は、夫々、ホルダ２６の凹部２６ａに係合可能な凸部３
２と、ホルダ２６をセットした際に、カンチレバー２４
がＸＹステージ２８に接触しない程度の深さを有する溝
部２８ａとが設けられている。この構成によれば、凸部
３２に凹部２６ａを係合させるだけで、カンチレバー２
４を溝部２８ａに収容した状態でホルダ２６を安定して
ＸＹステージ２８上にセットさせることができる。この
結果、ＸＹステージ２８の移動中に、カンチレバー２４
がステージ２８に接触することによって、例えば探針３
４が損傷するといった問題は生じない。

【００１３】なお、ＸＹステージ２８は、筐体３６に固
定されたＸＹステージ移動機構３８によってＸＹ方向に
移動自在に支持されている。また、このＸＹステージ移
動機構３８は、モータ４０によって駆動させることがで
きるように構成されており、このモータ４０は、制御回
路４２から出力される制御信号に基づいて駆動制御され
ている。

【００１４】支持ユニット３０は、光てこ方式を応用し
た変位センサ４４の下端部に設けられており、ホルダ２
６を保持可能な保持手段４６を備えて構成されている。
この保持手段４６としては、例えば永久磁石、或いは、
電流制御によって磁力を発生する電磁石を適用すること
が可能である。

【００１５】光てこ方式を応用した変位センサ４４に
は、レーザー光源４８と、ハーフミラー５０と、フォト
ディテクタ５２とが設けられており、レーザー光源４８
から出射したレーザー光は、ハーフミラー５０を介して
所定の位置Ｐ（例えば、後述する光学顕微鏡６４の光軸
上）に集光するように構成されている。従って、位置調
整機構によってカンチレバー２４を光軸上に位置付けれ
ば、カンチレバー２４の背面（探針３４が形成された面
とは反対側の面）にレーザー光を集光させ且つこの背面
から反射した反射光をフォトディテクタ５２に入射させ
ることが可能となる。この構成によれば、フォトディテ
クタ５２の受光量に基づいて、探針３４先端と試料２２
表面との間の相互作用によって生じるカンチレバー２４
の撓み量を光学的に検出することができる。

【００１６】この変位センサ４４は、所定の電圧を印加
することによってＸＹＺ方向に変位可能な中空のアクチ
ュエータ５４（例えば、圧電体チューブスキャナ）の先
端に固定されている。なお、アクチュエータ５４の基端
は、Ｚ方向に移動自在なＺステージ５６に固定されてお
り、このＺステージ５６は、筐体３６に固定されたＺス
テージ移動機構５８によって、Ｚ方向に移動自在に支持
されている。また、このＺステージ移動機構５８は、モ
ータ６０によって駆動させることができるように構成さ
れており、このモータ６０は、制御回路４２から出力さ
れる制御信号に基づいて駆動制御されている。

【００１７】また、Ｚステージ５６には、ＣＣＤ６２が
固定された光学顕微鏡６４が取り付けられており、この
光学顕微鏡６４は、ハーフミラー５０を透過して導光さ
れた光学像（例えば、カンチレバー像や試料表面像等）
を取り込むことができるように、アクチュエータ５４内
に延出している。なお、光学顕微鏡６４に取り込まれた
光学像は、ＣＣＤ６２によって撮像された後、モニタ６
６上に画像表示されるようになっている。

【００１８】本実施の形態の移動機構は、ＸＹステージ
移動機構３８に加え、上述したＺステージ移動機構５８
を併用して構成されており、このＺステージ移動機構５
８を駆動させることによって、第１乃至第３のセットス
テーションＳ１，Ｓ２，Ｓ３にセットされた所望のホル
ダ２６を三次元方向に相対的に移動させることができる
ようになっている。

【００１９】本実施の形態の位置調整機構は、上述した
ＸＹステージ移動機構３８を併用して構成されている。
そして、モニタ６６上に画像表示されたカンチレバー２
４の位置を位置検出回路６８が読み取った際、この位置
検出回路６８から制御回路４２に出力された位置信号に
基づいて、ＸＹステージ移動機構３８を駆動させること
によって、ＸＹステージ２８をＸＹ方向に移動させるこ
とができるようになっている。

【００２０】次に、本実施の形態の動作について説明す
る。まず、第１乃至第３のセットステーションＳ１，Ｓ
２，Ｓ３に交換用の新しいホルダ２６をセットする。本
実施の形態では、その一例として、第２及び第３のセッ
トステーションＳ２，Ｓ３にホルダ２６（以下、交換用
ホルダ２６という）をセットする。なお、支持ユニット
３０には、使用済みのカンチレバー２４を有するホルダ
２６（以下、使用済みホルダ２６という）が支持されて
いるものとする。

【００２１】続いて、ＸＹステージ移動機構３８によっ
てＸＹステージ２８をＸＹ方向に移動させて、第１のセ
ットステーションＳ１を使用済みホルダ２６の真下に位
置付ける。具体的には、第１のセットステーションＳ１
の凸部３２を使用済みホルダ２６の凹部２６ａの真下に
位置付ける。

【００２２】この後、Ｚステージ移動機構５８によって
Ｚステージ５６をＺ方向に移動させて、使用済みホルダ
２６を第１のセットステーションＳ１に接近させる。そ
して、例えば、使用済みホルダ２６の凹部２６ａが、第
１のセットステーションＳ１の凸部３２に所定量だけ係
合し始めたとき、保持手段４６の保持力を解除する。な
お、保持手段４６として電磁石を用いている場合には、
通電を停止させることによって磁力の消滅させる。ま
た、永久磁石を用いている場合には、例えば、支持ユニ
ット３０と使用済みホルダ２６との間に絶縁膜等を挿入
することによって、使用済みホルダ２６に対する磁力作
用を遮断する。

【００２３】このとき、使用済みホルダ２６が、第１の
セットステーションＳ１方向に落下して、凹部２６ａが
凸部３２に完全に係合する。この結果、使用済みホルダ
２６は、第１のセットステーションＳ１に安定してセッ
トされることになる。

【００２４】続いて、Ｚステージ移動機構５８によって
Ｚステージ５６をＺ方向に移動させて、変位センサ４４
をＸＹステージ２８から所定距離だけ離間させる。この
後、ＸＹステージ２８をＸＹ方向に移動させることによ
って、所望の交換用ホルダ２６を支持ユニット３０の真
下に位置付ける。本実施の形態では、その一例として、
第２のセットステーションＳ２にセットされた交換用ホ
ルダ２６を保持手段４６に対向する位置に位置付ける。

【００２５】次に、Ｚステージ５６をＺ方向に移動させ
ることによって、支持ユニット３０を交換用ホルダ２６
に接近させる。具体的には、保持手段４６の下面と交換
用ホルダ２６の上面との間の距離が約０．５ｍｍ程度に
なるまで、Ｚステージ５６を移動させる。

【００２６】そして、保持手段４６の保持力を発生させ
る。なお、保持手段４６として電磁石を用いている場合
には、通電を開始することによって、磁力を発生させ
る。また、永久磁石を用いている場合には、絶縁膜等を
除去することによって、磁力を発生させる。

【００２７】この結果、交換用ホルダ２６は、保持手段
４６に吸引保持される。なお、この状態において、交換
用ホルダ２６の凹部２６ａには、第２のセットステーシ
ョンＳ２に設けられた凸部３２が係合している。

【００２８】この後、ＸＹステージ２８をＸＹ方向に移
動させて、カンチレバー２４を所望の位置に位置付け
る。具体的には、ＸＹステージ２８をＸＹ方向に移動さ
せて、交換用ホルダ２６をＸＹ方向にスライドさせるこ
とによって、カンチレバー２４の背面を集光位置Ｐに位
置付ける。

【００２９】この場合、モニタ６６には、カンチレバー
２４のレバー像とクロス７０が画像表示されており、位
置検出回路６８は、クロス７０とレバー像との間の位置
関係に基づいて、クロス中心７０ａとカンチレバー２４
の先端との間のずれ量を算出することができるように制
御されている。そして、制御回路４２は、位置検出回路
６８からの算出結果に基づいて、ＸＹステージ移動機構
３８を制御して、ＸＹステージ２８をＸＹ方向に自動的
に移動させることができるように制御されている。

【００３０】なお、クロス中心７０ａは、例えば、光学
顕微鏡６４の光軸又はこの光学顕微鏡６４に内蔵された
対物レンズ（図示しない）の観察視野中心に一致させる
ことが好ましい。更に、クロス中心７０ａと集光位置Ｐ
とが一致するように、予め、変位センサ４４の光軸を調
整しておくことが好ましい。

【００３１】従って、レバー像の先端をクロス中心７０
ａに位置付けるように、ＸＹステージ２８上の凸部３２
によって交換用ホルダ２６をＸＹ方向にスライドさせる
だけで、カンチレバー２４の背面を集光位置Ｐに正確に
位置付けることができる。

【００３２】このとき、Ｚステージ移動機構５８によっ
てＺステージ５６をＺ方向に移動させて、変位センサ４
４をＸＹステージ２８から所定距離だけ離間させる。こ
の時点で、カンチレバー２４の位置調整作業は、完了す
る。なお、厚さ寸法が一定の許容範囲内に納まるよう
に、ホルダ２６を作製すれば、カンチレバー２４のＺ方
向への取り付け位置の調整が不要となることは言うまで
もない。

【００３３】位置調整完了後、試料２２の表面情報が測
定される。なお、この測定法としては、探針３４先端と
試料２２表面との間の相互作用（粘性力、弾性力、接触
力、原子間力、磁気力、摩擦力等）によって生じるカン
チレバー２４の変位量を一定に維持するように、アクチ
ュエータ５４をＺ方向にフィードバック制御しながら探
針３４を試料２２表面に沿ってＸ方向又はＹ方向に走査
するスタティックモード測定、又は、所定の共振周波数
で振動させたカンチレバー２４の振動中心が、試料２２
表面から一定距離に維持されるように、フィードバック
制御しながら探針３４をＸ方向又はＹ方向に走査するダ
イナミックモード測定を適用することができる。

【００３４】従って、以下の動作説明では、これら２つ
の測定法を総称して、ＳＰＭ測定と表現することとす
る。このＳＰＭ測定において、まず、モニタ６６に画像
表示された試料２２表面の試料像を観察しながら、所望
の測定ポイントにクロス中心７０ａが位置付けられるよ
うに、ＸＹステージ２８を移動する。

【００３５】次に、変位センサ４４の変位信号が一定に
維持されるように、アクチュエータ５４をフィードバッ
ク制御しながら探針３４を試料２２表面に沿って走査す
る。この結果、試料２２の表面情報が測定される。

【００３６】測定終了後、カンチレバー２４を交換する
場合には、上述した交換プロセスを繰り返すことによっ
て、新しいカンチレバー２４を所望の位置に位置付ける
ことができる。

【００３７】このように本実施の形態によれば、既存の
走査型プローブ顕微鏡の装置を用いて自動的にカンチレ
バー２４を所望の位置に短時間且つ正確に位置付けるこ
とができる。また、ＸＹステージ２８を移動させるため
のＸＹステージ移動機構３８を位置調整機構として併用
しているため、装置の小型化と共に製造コストの低減を
実現することができる。更に、ＸＹステージ２８上に交
換用ホルダ２６をセットさせておくことができるため、
交換作業時間の短縮化を図ることができる。例えば、真
空中においてＳＰＭ測定を行っている場合でも、カンチ
レバー２４の交換に際し、真空圧状態から大気圧状態に
戻す必要は無い。

【００３８】なお、本発明は、上述した実施の形態に限
定されることは無く、新規事項を追加しない範囲で種々
変更することができる。図２には、本発明の第１の変形
例に係る試料走査型の走査型プローブ顕微鏡の構成が示
されている。

【００３９】この走査型プローブ顕微鏡において、変位
センサ４４及び光学顕微鏡６４は、共に、筐体３６に固
定されており、アクチュエータ５４は、ＸＹステージ２
８上に固定されている。なお、試料２２は、アクチュエ
ータ５４上に載置することができるようになっている。

【００４０】また、Ｚステージ５６は、ＸＹステージ移
動機構３８とＸＹステージ２８との間に配置されてお
り、Ｚステージ移動機構５８によってＸＹステージ２８
をＺ方向に移動させることができるように構成されてい
る。

【００４１】また、本変形例に適用した凸部３２は、ア
クチュエータ５４の高さ寸法に対応して、所定の長さだ
けＺ方向に延出しており、その延出端にホルダ２６を安
定してセットさせることができるように構成されてい
る。従って、本変形例に適用したＸＹステージ２８に
は、溝部２８ａを形成する必要は無い。

【００４２】なお、第１の変形例の作用効果は、上記実
施の形態と同様であるため、その説明は省略する。図３
（ａ）には、本発明の第２の変形例に係る走査型プロー
ブ顕微鏡の支持ユニット３０の構成が示されている。

【００４３】本変形例の支持ユニット３０には、保持手
段４６として、電磁弁７２を介して真空ポンプ７４に配
管接続された吸着口７６が形成されている。この保持手
段４６によれば、制御回路４２からの制御信号に基づい
て、電磁弁７２を開動作させると共に真空ポンプ７４を
動作させることによって、吸着口７６を負圧に制御する
ことができる。この結果、ホルダ２６を吸着口７６を介
して支持ユニット３０に吸引保持することができる。一
方、制御回路４２からの制御信号に基づいて、電磁弁７
２を閉動作させると共に真空ポンプ７４を停止させるこ
とによって、支持ユニット３０からホルダ２６を取り外
すことができる。

【００４４】第２の変形例によれば、変位センサ４４や
ホルダ２６に熱的影響を与えること無く、ホルダ２６を
支持ユニット３０に吸着させることができるため、熱的
影響を受けること無くＳＰＭ測定を行うことが可能とな
る。また、保持手段４６の構成も簡単であるため、製造
コストの低減を図ることができる。更に、ホルダ２６を
磁性体材料で形成する必要が無いため、例えばプラスチ
ック材料等の軽い材料でホルダ２６を形成することがで
きる。この結果、アクチュエータ５４の共振周波数を向
上させることができるため、ＳＰＭ測定時の走査速度を
上げることが可能となる。

【００４５】図３（ｂ）には、本発明の第３の変形例に
係る走査型プローブ顕微鏡の支持ユニット３０の構成が
示されている。本変形例の支持ユニット３０には、保持
手段４６として、ホルダ２６を支持ユニット３０にスラ
イド自在に保持可能な弾性体７８（例えば、板バネ、ス
プリング、コイルバネ、皿バネ等）が適用されている。

【００４６】第３の変形例によれば、弾性体７８によっ
てホルダ２６を弾性保持させることができるように構成
されているため、保持用の電源や圧力源等が不要とな
る。このため、装置の構成が簡略化して製造コストを減
少させることができる。また、ホルダ２６を磁性体材料
で形成する必要が無いため、例えばプラスチック材料等
の軽い材料でホルダ２６を形成することができる。この
結果、アクチュエータ５４の共振周波数を向上させるこ
とができるため、ＳＰＭ測定時の走査速度を上げること
が可能となる。

【００４７】図３（ｃ）には、本発明の第４の変形例に
係る走査型プローブ顕微鏡の凸部３２の構成が示されて
いる。本変形例の凸部３２は、ピストン８０によって、
Ｚ方向に昇降自在に構成されている。このピストン８０
は、ＸＹステージ２８に内蔵されたシリンダ８２に接続
されている。シリンダ８２は、スライダ８４によって第
１及び第２の蓄圧室８２ａ，８２ｂに分割されており、
夫々の蓄圧室８２ａ，８２ｂには、電磁弁８６を介して
圧力源８８が配管接続されている。

【００４８】このような構成において、制御回路４２か
らの制御信号に基づいて、圧力源８８を駆動させると共
に電磁弁８６の開閉量を調整することによって、スライ
ダ８４を所望の方向に所望量だけ昇降させることができ
る。例えば、第１の蓄圧室８２ａを加圧し且つ第２の蓄
圧室８２ｂを減圧すれば、スライダ８４をＺ方向に上昇
させることができる。この結果、凸部３２をＸＹステー
ジ２８から突出させることができる。一方、第１の蓄圧
室８２ａを減圧し且つ第２の蓄圧室８２ｂを加圧すれ
ば、スライダ８４をＺ方向に下降させることができる。
この結果、凸部３２をＸＹステージ２８内に退避させる
ことができる。

【００４９】ＳＰＭ測定に際し、カンチレバー２４は、
試料２２表面に対してナノ（ｎｍ）オーダの精度で近接
している。このため、凸部３２を試料２２表面から突出
させた状態でＳＰＭ測定を行ったとき、カンチレバー２
４又は探針３４が凸部３２に接触して損傷してしまう場
合が考えられる。また、ホルダ２６が凸部３２に接触し
て吸着位置がずれてしまう場合が考えられる。ホルダ２
６の吸着位置がずれた場合には、カンチレバー２４の位
置もずれてしまうため、ＳＰＭ測定が不能又は測定精度
が低下してしまう結果となり得る。

【００５０】しかしながら、第４の変形例によれば、位
置調整完了後、凸部３２をＸＹステージ２８内に退避さ
せることができるため、上述したような弊害を未然に防
ぐことが可能となる。

【００５１】

【発明の効果】本発明によれば、簡単且つ短時間にカン
チレバーの位置調整を高精度に行うことが可能なコンパ
クトで低価格な走査型プローブ顕微鏡を提供することが
可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は、本発明の一実施の形態に係る走査型
プローブ顕微鏡の構成を概略的に示す図、（ｂ）は、第
１乃至第３のセットステーションと支持ユニットとの間
の位置関係を示す平面図。

【図２】本発明の第１の変形例に係る試料走査型の走査
型プローブ顕微鏡の構成を概略的に示す図。

【図３】（ａ）は、本発明の第２の変形例に係る走査型
プローブ顕微鏡の支持ユニットの構成を示す図、（ｂ）
は、本発明の第３の変形例に係る走査型プローブ顕微鏡
の支持ユニットの構成を示す図、（ｃ）は、本発明の第
４の変形例に係る走査型プローブ顕微鏡の凸部の構成を
示す図。

【図４】位置調整機構を備えた従来の走査型プローブ顕
微鏡の構成を示す図。

【符号の説明】

２４カンチレバー２６ホルダ２８ＸＹステージ３０支持ユニットＳ１第１のセットステーションＳ２第２のセットステーションＳ３第３のセットステーション

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】試料を走査可能な角度でカンチレバーを
保持するホルダと、前記試料を載置した状態で所望の方向に移動自在なステ
ージに設けられ且つ前記ホルダをセット可能な複数のセ
ットステーションと、前記ホルダを着脱自在に支持可能であって且つ支持され
たホルダを所望の方向にスライド可能な支持ユニット
と、前記セットステーションと前記支持ユニットとの間の位
置関係を相対的に変化させることによって、セットステ
ーションにセットされた所望のホルダを三次元方向に相
対的に移動可能な移動機構と、前記カンチレバーが所望の位置に位置付けられるよう
に、前記支持ユニットに支持されたホルダをスライドさ
せることによってホルダの位置を自動的に調整可能な位
置調整機構とを備えていることを特徴とする走査型プロ
ーブ顕微鏡。
【請求項２】前記ホルダには、凹部が形成されてお
り、また、前記セットステーションには、夫々、前記凹
部が係合可能な凸部が設けられていることを特徴とする
請求項１に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項３】前記位置調整機構には、前記ステージを
移動させることによって、前記凸部を所望の方向に移動
させることが可能なステージ移動機構が設けられている
ことを特徴とする請求項２に記載の走査型プローブ顕微
鏡。