JP2013507627A - 走査プローブセンサパッケージ用マウント、走査プローブセンサパッケージ、走査プローブ顕微鏡および走査プローブセンサパッケージの取り付けまたは取り外し方法 - Google Patents
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Abstract
Description
支持構造物と、
支持構造物に位置し、かつ、走査プローブセンサパッケージにおけるそれぞれの対応物と相互作用するよう設計されている少なくとも1つの可動なスナップ接合要素であって、取り付けられた走査プローブセンサパッケージに力を印加して、支持構造物へ向かって前記走査プローブセンサパッケージを押しやる第1位置へ、および、走査プローブセンサパッケージを支持構造物に取り付けるか、または、支持構造物から取り外せるようにする第2位置へと可動なスナップ接合要素と、
支持構造物に対して可動であり、かつ、支持構造物に対して移動させることを通じて少なくとも1つのスナップ接合要素を第1位置から第2位置へまたはその逆に動かすように少なくとも1つのスナップ接合要素に作用する作動要素と、
作動要素と支持構造物との相対移動を行うことができるように支持構造物または作動要素と接続されている作動モータと
を含む、マウントを提供する。
・少なくとも1つのスナップ接合要素を、取り付けられた走査プローブセンサパッケージに力を印加して、支持構造物へ向かって前記走査プローブセンサパッケージを押しやる第1位置から走査プローブセンサパッケージを支持構造物に取り付けるか、または、支持構造物から取り外せるようにする第2位置へと移動させる工程と、
・走査プローブセンサパッケージを取り付けるまたは取り外す工程と、
・少なくとも1つのスナップ接合要素を第2位置から第1位置へと移動させる工程と
を含み、
少なくとも1つのスナップ接合要素を第1位置から第2位置へと移動させることが、支持構造物に対して前記作動要素を移動させることを通じて少なくとも1つのスナップ接合要素に作用することにより行われ、かつ、
支持構造物に対して前記作動要素を移動させることが、前記位置決めモータにより支持構造物を所与の停止位置へと移動させることにより行われる。
2 ピン
3 ピンのより小さいセクション
4 走査プローブセンサパッケージ
5 ボール
7 スナップ接合要素
9 円筒部
11 脚部
13 環状壁要素
15 挿入開口
17 突起
18 内側壁表面
19 切り欠き
20 くぎ状物
21 誘導表面
23 スロット
25 隙間
27 センサパッケージ
29 センサ要素
31 基板
33 保護覆い
35 孔
37 電気回路
39 孔
41 長尺の孔
43 直線セクション
45 スロット
47 ハンドル
49 切り欠き壁セクション
51 アクチュエータ機構
101 支持板
103 接点
105 ボール
107 スナップ接合要素
109 ボール
111 脚部
127 センサパッケージ
133 保護カバー
135 孔
141 スロット
143 放射状外側セクション
201 支持板
202 円筒壁
204 環状凹部
205 ボール
206 コイルばね
207 スナップ接合要素
208 放射状内側セクション
301 支持板
302 壁セクション
304 環状凹部
305 ボール
306 コイルばね
311 面
313 作動リング
315 誘導棒
321 円錐形外側表面
Claims (15)
- 走査プローブセンサパッケージ(27、127)用マウントであって、
マウント内の平面を規定する支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)と、
走査プローブセンサパッケージ(27、127)におけるそれぞれの対応物(43、143)と相互作用するよう設計されている少なくとも1つの可動なスナップ接合要素(9、109、208)であって、取り付けられた走査プローブセンサパッケージ(27、127)に力を印加することにより、支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)へ向かって前記平面に対して垂線な方向に前記走査プローブセンサパッケージ(27、127)を押しやる第1位置へ、および、走査プローブセンサパッケージ(27、127)を前記平面に対して垂線な方向に沿って支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)に取り付けるか、または、支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)から取り外せるようにする第2位置へと可動なスナップ接合要素(9、109、208)と
を含む、マウント。 - スナップ接合要素(9、109)が、ばね力により前記支持構造物(1、5、101、105)の中心へ向かって付勢されている可動要素(11、111)に位置している、
請求項1に記載のマウント。 - 前記可動要素が、支持構造物(1、5、101、105)に対して自身の位置に固定されている静止セクションと、スナップ接合要素(9、109)が位置している自由端セクションとを有する弾性湾曲可能なレバー要素(11、111)を含み、
前記弾性湾曲可能なレバー要素(11、111)が、前記平面に対して垂線な方向に実質的に平行に延在しており、かつ、スナップ接合要素(9、109)を有する自由端セクションを支持構造物(1、5、101、105)の中心へ向かって付勢するように形作られている、
請求項2に記載のマウント。 - 弾性湾曲可能な要素(11、111)の静止セクションが、支持構造物(1、5、101、105)に固定されている、請求項3に記載のマウント。
- スナップ接合要素(9、109)が、対称軸の回りの回転対称性を示し、かつ、その対称軸が回転軸である状態、および、その対称軸がマウント内で規定される前記平面に対して垂線な方向に対して垂直に方向付けられている状態で、回転可能に取り付けられている、請求項1から4のいずれか1項に記載のマウント。
- 支持構造物(1、5、101、105)の縁の周りに均等に分布している少なくとも3つの可動なスナップ接合要素(9、109)を含む、請求項1から5のいずれか1項に記載のマウント。
- 支持構造物(201、205、301、305)を取り囲むように支持構造物(201、205、301、305)の周辺部に位置する少なくとも1つの環状コイルばね(206)を含み、支持構造物(201、205、301、305)の中心へ向かって現れるコイル(206)の該当セクション(208)がスナップ接合要素を形成している、請求項1に記載のマウント。
- 作動要素(13、313)を作動させることによりスナップ接合要素(9、208)を第1位置から第2位置へおよびその逆に移動させるように、少なくとも1つのスナップ接合要素(9、208)に作用するよう配置された作動要素(13、313)をさらに含む、請求項1から7のいずれか1項に記載のマウント。
- センサ要素(29)とセンサ要素(29)が固定された基部(31、131)とを含む走査プローブセンサパッケージ(27、127)であって、基部が、請求項1から11のいずれか1項に記載のマウントのスナップ接合要素(9、109)と相互作用するように設計されており、かつ、スナップ接合要素(9、109)が第2位置にあるときはマウント内で規定される前記平面に対して垂線な方向に沿って少なくとも1つのスナップ接合要素(9、109)を通過できるが、スナップ接合要素(9、109)が第1位置にあるときは前記垂線方向に沿って少なくとも1つのスナップ接合要素(9、109)を通過できないように、さらには、スナップ接合セクション(43、143)がスナップ接合要素を前記平面へ向かって通過したときに、スナップ接合要素(9、109)がマウントの垂線方向においてマウント内で規定される前記平面へ向かって力を印加できるように選択される寸法を有している少なくとも1つのスナップ接合セクション(43、143)を含む、走査プローブセンサパッケージ(27、127)。
- 基部(31)から延在しているハンドルセクション(47)をさらに含む、請求項9に記載の走査プローブセンサパッケージ(27)。
- 請求項1から8のいずれか1項に記載のマウントを含む、走査プローブ顕微鏡。
- 請求項1から8のいずれか1項に記載のマウントへ/から請求項9または10に記載の走査プローブセンサパッケージ(27、127)を取り付けるまたは取り外す方法であって、
少なくとも1つのスナップ接合要素(9、109、208)を第1位置から第2位置へと移動させることと、
マウント内で規定される前記平面に対して垂線な方向に沿って走査プローブセンサパッケージ(27、127)を取り付けるまたは取り外すことと、
少なくとも1つのスナップ接合要素(9、109、208)を第2位置から第1位置へと移動させることと
を含む方法。 - とりわけ請求項1から8のいずれか1項に記載の走査プローブセンサパッケージ(27、127)用マウントであって、
支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)と、
支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)に位置し、かつ、走査プローブセンサパッケージ(27、127)におけるそれぞれの対応物(43、143)と相互作用するよう設計されている少なくとも1つの可動なスナップ接合要素(9、109、208)であって、取り付けられた走査プローブセンサパッケージ(27、127)に力を印加することにより、支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)へ向かって前記走査プローブセンサパッケージ(27、127)を押しやる第1位置へ、および、走査プローブセンサパッケージ(27、127)を支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)に取り付けるか、または、支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)から取り外せるようにする第2位置へと移動可能なスナップ接合要素(9、109、208)と、
支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)に対して可動であり、かつ、支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)に対して移動させることを通じて少なくとも1つのスナップ接合要素(9、109、208)を第1位置から第2位置へまたはその逆に動かすように少なくとも1つのスナップ接合要素(9、109、、208)に作用する作動要素(13、313)と、
作動要素(13、313)と支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)との相対移動を可能にするように支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)または作動要素(13、313)と接続されている作動モータと
を含む、マウント。 - 探索される試料に対して支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)を位置決めするための位置決めモータと、
試料からの支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)の最大距離を規定する停止位置と、
を含み、
少なくとも1つの可動なスナップ接合要素(9、109、、208)が支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)に位置しており、
作動モータが位置決めモータにより与えられており、かつ、
作動要素(13、313)が、支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)が停止位置に達すると、少なくとも1つのスナップ接合要素(9、109、208)を第2位置へ動かすために少なくとも1つのスナップ接合要素(9、109、208)に作用するよう配置されている、請求項13に記載のマウント。 - マウントに対して走査プローブセンサパッケージ(27、127)を取り付けるまたは取り外す方法であって、マウントが、支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)と、走査プローブセンサパッケージ(27、127)におけるそれぞれの対応物(43、143)と相互作用するよう設計されている少なくとも1つの可動なスナップ接合要素(9、109、208)と、支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)に対して可動であり、かつ、少なくとも1つのスナップ接合要素(9、109、208)に作用する作動要素(13、313)と、探索される試料に対して支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)を位置決めするための位置決めモータとを含み、
前記方法が、
取り付けられた走査プローブセンサパッケージ(27、127)に力を印加することにより、支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)へ向かって前記走査プローブセンサパッケージ(27、127)を押しやる第1位置から、走査プローブセンサパッケージ(27、127)を支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)に取り付けるか、または、支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)から取り外すことができるようにする第2位置へと、少なくとも1つのスナップ接合要素(9、109、208)を移動させる工程と、
走査プローブセンサパッケージ(27、127)を取り付けるまたは取り外す工程と、
少なくとも1つのスナップ接合要素(9、109、208)を第2位置から第1位置へ移動させる工程と
を含み、
少なくとも1つのスナップ接合要素(9、109、208)を第1位置から第2位置へと移動させる工程が、支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)に対して前記作動要素(13、313)を移動させることを通じて少なくとも1つのスナップ接合要素(9、109、208)に作用することにより行われ、かつ、
支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)に対して前記作動要素(13、313)を移動させることが、前記位置決めモータにより支持構造物(1、5、101、105、201、205、301、305)を所与の停止位置へと移動させることにより行われる、方法。
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EP09075467.2A EP2312326B1 (en) | 2009-10-16 | 2009-10-16 | Mount for a scanning probe sensor package, scanning probe microscope and method of mounting or dismounting a scanning probe sensor package. |
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Publications (2)
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---|---|
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Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2754176A4 (en) | 2011-09-08 | 2015-04-15 | Univ California | SENSOR FOR DETECTING LOW NOISE IN LIQUIDS |
JP5909020B2 (ja) * | 2012-03-27 | 2016-04-26 | ハイジトロン, インク.Hysitron, Inc. | 顕微鏡対物レンズ機械検査機器 |
DE112013003048B4 (de) * | 2012-06-26 | 2019-05-09 | Hitachi High-Technologies Corp. | Tischvorrichtung und Probenbetrachtungsvorrichtung |
JP2016508603A (ja) * | 2013-01-29 | 2016-03-22 | メギット (オレンジ カウンティ) インコーポレイテッド | モジュール型ねじ切り付きパッケージを備えるセンサ |
US9239436B2 (en) * | 2013-11-26 | 2016-01-19 | Corning Cable Systems Llc | Fiber optic plug having an articulated force structure to inhibit angular ferrule biasing during insertion into an optical receptacle, and related assemblies and methods |
WO2016205632A1 (en) * | 2015-06-17 | 2016-12-22 | Berkeley Springs Instruments Llc | Transducer mounting apparatus |
EP3118631A1 (en) * | 2015-07-15 | 2017-01-18 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Scanning probe microscopy system for mapping high aspect ratio nanostructures on a surface of a sample |
US10712364B2 (en) * | 2015-11-03 | 2020-07-14 | Board Of Regents, The University Of Texas Systems | Metrology devices for rapid specimen setup |
US10488231B2 (en) * | 2016-08-18 | 2019-11-26 | Ford Global Technologies, Llc | Sensor cover |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0264401A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Seiko Instr Inc | 精密3次元形状測定装置 |
JPH0256972U (ja) * | 1988-10-19 | 1990-04-24 | ||
JPH03135701A (ja) * | 1989-10-20 | 1991-06-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップ交換装置 |
JPH0526661A (ja) * | 1991-07-22 | 1993-02-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置決め装置 |
US5374790A (en) * | 1993-02-05 | 1994-12-20 | Rochester Gauges, Inc. | Liquid level switch assembly |
JPH07504749A (ja) * | 1992-03-13 | 1995-05-25 | サーモマイクロスコープス コーポレーション | 走査型プローブ電子顕微鏡 |
JPH10267948A (ja) * | 1997-03-21 | 1998-10-09 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
US5861624A (en) * | 1997-08-22 | 1999-01-19 | Park Scientific Instruments | Atomic force microscope for attachment to optical microscope |
JPH1164347A (ja) * | 1997-08-19 | 1999-03-05 | Jeol Ltd | 走査プローブ顕微鏡におけるホルダ支持装置 |
JP3249130B2 (ja) * | 1995-02-10 | 2002-01-21 | モレキュラー・イメージング・コーポレーション | 流体中で使用される走査型プローブ顕微鏡 |
US20020174716A1 (en) * | 1997-10-16 | 2002-11-28 | Ray David James | Method for replacing a probe sensor assembly on a scanning probe microscope |
WO2005034134A1 (de) * | 2003-09-30 | 2005-04-14 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Sondenanordnung für ein rastersondeninstrument |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2549916B2 (ja) | 1989-05-18 | 1996-10-30 | 財団法人 半導体研究振興会 | トンネル注入型走行時間効果三端子半導体装置 |
US5376790A (en) | 1992-03-13 | 1994-12-27 | Park Scientific Instruments | Scanning probe microscope |
DE4338688C1 (de) | 1993-11-12 | 1995-03-09 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | Halterung für eine Tastspitze eines Rastersondenmikroskop |
US6078044A (en) * | 1996-05-13 | 2000-06-20 | Seiko Instruments Inc. | Probe scanning apparatus |
JP3714080B2 (ja) * | 2000-01-06 | 2005-11-09 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品実装用の移載ヘッド |
US6912893B2 (en) * | 2003-04-17 | 2005-07-05 | Veeco Instruments Inc. | Apparatus and method for improving tuning of a probe-based instrument |
EP1662246A1 (en) | 2003-07-23 | 2006-05-31 | Hitachi Kenki Finetech Co., Ltd. | Probe replacing method for scanning probe microscope |
-
2009
- 2009-10-16 EP EP09075467.2A patent/EP2312326B1/en not_active Not-in-force
-
2010
- 2010-10-05 US US13/502,171 patent/US8884222B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-10-05 CN CN2010800419922A patent/CN102667498A/zh active Pending
- 2010-10-05 WO PCT/EP2010/064832 patent/WO2011045208A1/en active Application Filing
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- 2010-10-05 JP JP2012533570A patent/JP5684269B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0264401A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Seiko Instr Inc | 精密3次元形状測定装置 |
JPH0256972U (ja) * | 1988-10-19 | 1990-04-24 | ||
JPH03135701A (ja) * | 1989-10-20 | 1991-06-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップ交換装置 |
JPH0526661A (ja) * | 1991-07-22 | 1993-02-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置決め装置 |
JPH07504749A (ja) * | 1992-03-13 | 1995-05-25 | サーモマイクロスコープス コーポレーション | 走査型プローブ電子顕微鏡 |
US5374790A (en) * | 1993-02-05 | 1994-12-20 | Rochester Gauges, Inc. | Liquid level switch assembly |
JP3249130B2 (ja) * | 1995-02-10 | 2002-01-21 | モレキュラー・イメージング・コーポレーション | 流体中で使用される走査型プローブ顕微鏡 |
JPH10267948A (ja) * | 1997-03-21 | 1998-10-09 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JPH1164347A (ja) * | 1997-08-19 | 1999-03-05 | Jeol Ltd | 走査プローブ顕微鏡におけるホルダ支持装置 |
US5861624A (en) * | 1997-08-22 | 1999-01-19 | Park Scientific Instruments | Atomic force microscope for attachment to optical microscope |
US20020174716A1 (en) * | 1997-10-16 | 2002-11-28 | Ray David James | Method for replacing a probe sensor assembly on a scanning probe microscope |
WO2005034134A1 (de) * | 2003-09-30 | 2005-04-14 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Sondenanordnung für ein rastersondeninstrument |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JPN5013005772; KAZUO YOKOYAMA: 'IN SITU TIP EXCHANGE MECHANISM FOR THE DEMUTHTYPE SCANNING TUNNELING MICROSCOPE' JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY:PART B V9 N2 PART 02, 19910301, P623-625, AVS/AIP * |
JPN5013005773; 'TIP REVOLVER FOR SCANNING TUNNELING MICROSCOPE' IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN V31 N9, 19890201, P216, INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. * |
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