JP2012242790A - 試料観察方法、及びレンズホルダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保持部材6の凹部7内に配置された試料Sを観察する試料観察方法であって、凹部7内に光学部材30を挿入して、光学部材30の接触面32を保持部材6の開口面9から突出させた状態で試料Sの上に光学部材30を載置する工程と、光学部材30の接触面32の上に、固浸レンズ20のレンズ下面22を押し当てる工程と、固浸レンズ20を光学部材30の接触面32に沿って移動させる工程とを備える。
【選択図】図1
Description
本実施形態に係る試料観察方法に用いられるレンズホルダを備えた顕微鏡システムについて説明する。図1は、顕微鏡システム50を用いて試料Sを観察する構成の一例を示す図である。ここで、以下においては、説明の便宜のため固浸レンズ20の光軸Aに沿って、対物レンズ2側を上側とし、試料S側を下側として説明する。本実施形態では、顕微鏡システム50を用いて保持部材6に配置された試料Sを観察する。保持部材6はレンズホルダ1の下側に配置されている。保持部材6は、ICチップ等の試料Sを保持する部材であり、例えばICソケットを用いることができる。保持部材6は、試料Sを保持するための、例えば底面8が矩形状の凹部7を有している。この凹部7の底面8には、略矩形平板状の試料Sが配置されている。
次に、第2実施形態に係る試料観察方法に用いられるレンズホルダを備えた顕微鏡システムについて説明する。図4は、固浸レンズ20を備えたレンズホルダ1Bの一実施形態の構成を示す図である。本実施形態のレンズホルダ1Bは、以下の点で第1実施形態のレンズホルダ1と相違している。すなわち、光学部材30bは接触面32b側の端部にフランジ部33を有している。ベース10bは光学部材30bのフランジ部33を支持するフランジ支持部18を有している。第1実施形態ではレンズホルダ1と光学部材30とは別部材であったが、本実施形態では光学部材30bはベース10bのフランジ支持部18により支持される。従って、本実施形態のレンズホルダ1Bは、固浸レンズ20と光学部材30bとを内蔵している。
続いて、レンズホルダ1Bを対物レンズ2と保持部材6との間に挿入する。そして、光学部材30bを試料Sと接触するまで凹部7に挿入する。このとき、試料Sと光学部材30bの対物面31bとを直接に接触させてもよい。また、試料Sの上及び対物面31bの少なくとも一方に光学オイルを塗布してから、試料Sと対物面31bとを接触させてもよい。
固浸レンズ20の詳細な設計例について説明する。図1に示される固浸レンズ20の結像性能が最適となる条件は、固浸レンズ20、光学部材30及び試料Sにおける寸法値が下記の式(1)を満たす場合である。ここでRはレンズ上面21の曲率半径であり、Dは光学部材30の長さであり、dは試料Sの厚さである。さらに、tは固浸レンズ20の光軸Aにおける厚さである。すなわち、tは光軸Aに沿った方向におけるレンズ上面21からレンズ下面22までの長さである。例えば、試料の厚さdは0.05mmから0.8mmの範囲である。また、光学部材30の長さDは、保持部材6の凹部7の深さL3よりも長い。例えば、光学部材30の長さDは4mmである。保持部材6の凹部7の深さL3は通常、数mmである。
R=t+d+D…(1)
t=R−d−D…(2)
Claims (6)
- 保持部材の凹部内に配置された試料を観察する試料観察方法であって、
前記凹部内に光学部材を挿入して、前記光学部材の一端面を前記保持部材の開口面から突出させた状態で前記試料の上に前記光学部材を載置する工程と、
前記光学部材の前記一端面の上に、固浸レンズの一端面を押し当てる工程と、
前記固浸レンズを前記光学部材の前記一端面に沿って移動させる工程と、
を備えることを特徴とする、試料観察方法。 - 前記光学部材の前記一端面と、前記固浸レンズの前記一端面との間に、光学オイルを配置する工程をさらに備えることを特徴とする、請求項1に記載の試料観察方法。
- 前記光学部材の前記一端面の反対側にある他端面と前記試料との間に、光学オイルを配置する工程をさらに備えることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載の試料観察方法。
- 保持部材の凹部内に配置された試料を観察するレンズホルダであって、
第1レンズ面、前記第1レンズ面の反対側にある第2レンズ面、及び前記第1レンズ面側から前記第2レンズ面側に向かってテーパ状に外径が小さくなるレンズ側面を有する固浸レンズと、
前記第2レンズ面と光学的に接続される接触面、前記接触面の反対側にあり前記試料と光学的に接続される対物面、及び前記接触面側に設けられたフランジ部を有する光学部材と、
前記第1レンズ面を押圧する押圧面、前記レンズ側面と互いに接触して前記固浸レンズを支持するテーパ状の支持面及び前記フランジ部を収容するフランジ収容部が形成されたベースと、
を備え、
前記第2レンズ面は前記支持面の端部に設けられた開口から突出しており、
前記ベースは、
前記フランジ部が前記第2レンズ面に押し当てられた場合、前記押圧面によって前記固浸レンズの前記ベースに対する移動が規制される一方で、前記光学部材が前記フランジ収容部に対して、前記第2レンズ面に沿った方向に移動可能に構成されることを特徴とする、レンズホルダ。 - 前記開口から突出している前記固浸レンズの長さは、前記第1レンズ面から前記押圧面までの距離よりも長いことを特徴とする、請求項4に記載のレンズホルダ。
- 前記フランジ収容部の高さは、前記フランジ部の厚さよりも大きいことを特徴とする、請求項4又は請求項5に記載のレンズホルダ。
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- 2011-05-24 JP JP2011115976A patent/JP5606393B2/ja active Active
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