JPH10225148A

JPH10225148A - 振動アクチュエータ

Info

Publication number: JPH10225148A
Application number: JP9026361A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Matsumoto; 豪松本; Michihiro Tobe; 通宏戸部
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1997-02-10
Filing date: 1997-02-10
Publication date: 1998-08-21

Abstract

(57)【要約】【課題】回転部材が円滑に回転する振動アクチュエー
タを提供する。【解決手段】所定の回転軸回りに回転可能な回転部材
（６）と、回転軸と交差する方向に振動発生源（４、
５）を挟み、振動発生源に励振されて、回転軸方向の端
部を振動させる２以上の弾性部材（２、３）とを有し、
弾性部材の端部が行う振動運動の一部を回転部材に伝達
することにより、回転部材を回転させる振動アクチュエ
ータにおいて、弾性部材の端部に、回転軸に垂直な平面
を有する平面部材（１６）を設置し、平面を回転部材に
接触させることにより弾性部材の端部が行う振動運動を
回転部材に伝達することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、弾性体を振動さ
せ、その振動運動の一部を伝達することで回転部材を回
転させる振動アクチュエータに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の振動アクチュエータに
は、例えば本願出願人が特開平８−１４０３７７号にお
いて開示した振動アクチュエータがある。図９は、特開
平８−１４０３７７号により提案した振動アクチュエー
タの縦断面図であり、図１０はこの振動アクチュエータ
に用いる弾性体である固定子の斜視図である。

【０００３】図９及び図１０に示す縦−捩り振動型の振
動アクチュエータの固定子１０１は、駆動信号により励
振され、電気エネルギーを機械的変位に変換する電気機
械変換素子である圧電素子１０４、１０５と、これらの
圧電素子１０４、１０５が接合されるとともに圧電素子
１０４、１０５の励振により１次の縦振動と１次の捩り
振動とが同時に生じて、駆動面Ｄに駆動力が発生する弾
性体１０２、１０３とから構成される。

【０００４】弾性体１０２、１０３は、厚肉の円筒を縦
に２分割した形状の部材であり、その分割面に圧電素子
１０４、１０５が挟み込まれる。圧電素子１０４、１０
５は、合計４層からなっており、２層の圧電素子１０４
は、圧電定数ｄ15が大きい捩り振動用の圧電素子であ
り、残りの２層の圧電素子１０５は圧電定数ｄ31が大き
い縦振動用の圧電素子である。

【０００５】弾性体１０２、１０３は、高さ方向の略中
心に、圧電素子１０４、１０５の積層方向と平行に貫通
孔１０２ａ、１０３ａが形成される。この弾性体１０
２、１０３は、その貫通孔１０２ａ、１０３ａを用いて
ボルト１０２ｂとナット１０３ｂとで固定されることに
より、圧電素子１０４、１０５を挟み込むとともに、軸
方向の中心に挿入された固定軸１０７に螺着される。

【０００６】相対運動部材である移動子１０６は、移動
子母材１０６−１と、固定子１０１の駆動面Ｄに接触す
る摺動材１０６−２とから構成されており、内周部に嵌
合されたベアリング等の位置決め部材１０８により、固
定軸１０７に対して位置決めされる。また、移動子１０
６は、皿バネ等の加圧部材１０９ａにより、固定子１０
１の駆動面Ｄに向けて加圧接触される。

【０００７】固定軸１０７は、円柱型の弾性体１０２、
１０３の中心軸方向に形成された中空部に貫通してお
り、弾性体１０２、１０３等からなる固定子１０１を固
定するとともに、移動子１０６を半径方向に位置決めす
るための固定部材である。この固定軸１０７は、図面上
の上端部にネジ部が形成されており、加圧部材１０９ａ
の加圧量を調整するナット等の調整部材１０９ｂが螺合
する。

【０００８】各圧電素子１０４、１０５が、駆動信号の
印加によって励振されると、弾性体１０２、１０３に
は、捩り振動及び縦振動がそれぞれ生じる。この縦振動
及び捩り振動の共振周波数が略一致したときに、弾性体
１０２には縦振動と捩り振動とが同時に生じ（縮退）、
駆動面Ｄに楕円運動が発生して駆動力が生じ、加圧接触
する移動子１０６が固定軸１０７の中心軸回りに回転す
る。

【０００９】図１１は、図９及び図１０に示す縦−捩り
振動型の振動アクチュエータについて捩り振動による移
動子の駆動原理を示す説明図である。なお、図１１にお
いては、説明の便宜上、縦振動用の圧電素子１０５と圧
電素子１０５により生じる縦振動とは省略してある。

【００１０】図１１（ａ）に示すように、弾性体の中心
軸を含む平面に並列に設けられた捩り振動用の圧電素子
１０４、１０４に正弦波電界を加えると、正弦波電界の
正負に伴って、圧電素子１０４、１０４には剪断変形が
生じ、この剪断変形によって固定子１０１には図１１
（ｂ）ないし図１１（ｄ）に示すように両方向への捩り
振動が発生する。

【００１１】一方、圧電素子１０５により生じる縦振動
の存在により、固定子と移動子とは間欠的に接触する。
具体的には、固定子と移動子とは、図１１（ｂ）又は
（ｄ）の状態のときにのみ互いに接触する。この結果、
移動子は一方向の回転駆動力のみを伝達され、図１１
（ｂ）又は図１１（ｄ）に矢印で示す方向に回転する。

【００１２】すなわち、図９ないし図１１に示す縦−捩
り振動型の振動アクチュエータにおいて、縦振動は、固
定子及び移動子の間における動力の伝達をＯＮ−ＯＦＦ
するクラッチとしての役割を果たす。一方、捩り振動
は、移動子（ロータ）に動力である回転力を与える役割
を果たす。なお、移動子を駆動するときには、一般的に
縦振動及び捩り振動それぞれの共振周波数付近で固定子
を振動させる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】図１２は、特開平８−
１４０３７７号により提案した振動アクチュエータの固
定子１０１を示す側面図である。前述のように、固定子
１０１は、圧電素子１０４等を間に挟む２つの半円柱状
の弾性体１０２、１０３から構成されている。このため
に、駆動面Ｄには、図１２に示されるように圧電素子を
挟む位置において弾性体１０２、１０３のエッジが現れ
ている。このようなエッジの存在は、駆動面Ｄにおける
摩擦係数の不均一の原因となり、ひいては駆動面Ｄ上を
摺動する移動子１０６の回転ムラの原因になるという問
題があった。

【００１４】本発明は、上記のような問題に鑑みてなさ
れたものであり、回転部材が円滑に回転する振動アクチ
ュエータを提供することを課題とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項１に係る発明は、所定の回転軸回りに回転可
能な回転部材と、前記回転軸と交差する方向に振動発生
源を挟み、前記振動発生源に励振されて、回転軸方向の
端部を振動させる２以上の弾性部材とを有し、前記弾性
部材の端部が行う振動運動の一部を前記回転部材に伝達
することにより、前記回転部材を回転させる振動アクチ
ュエータにおいて、前記弾性部材の端部に、前記回転
軸に垂直な平面を有する平面部材を設置し、前記平面を
前記回転部材に接触させることにより前記弾性部材の端
部が行う振動運動を前記回転部材に伝達することを特徴
とする。

【００１６】請求項２に係る発明は、請求項１に記載の
振動アクチュエータにおいて、前記振動発生源は、前記
弾性部材に、前記回転軸方向の縦振動及び前記回転軸回
りの捩り振動を発生させ、前記弾性部材の端部に楕円運
動を行わせることを特徴とする。

【００１７】請求項３に係る発明は、請求項１又は請求
項２に記載の振動アクチュエータにおいて、前記弾性部
材は、２つの半円柱状部材であり、前記振動発生源は、
前記２つ半円柱状部材の間に配置され、前記２つの半円
柱状部材とともに略円柱形状を構成することを特徴とす
る。

【００１８】請求項４に係る発明は、請求項１から請求
項３までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータに
おいて、前記平面部材は、円板状部材又は環状部材であ
ることを特徴とする。

【００１９】請求項５に係る発明は、請求項１から請求
項４までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータに
おいて、前記振動発生源は、電気的エネルギーを機械的
変位に変換することにより機械的振動を発生する電気機
械変換素子であることを特徴とする。

【００２０】請求項６に係る発明は、請求項１から請求
項５までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータに
おいて、前記振動発生源は、圧電素子であることを特徴
とする。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図面等を参照して、本発明
に係る実施形態について、さらに詳しく説明する。な
お、以降の説明は、振動アクチュエータとして、超音波
の振動域を利用する超音波アクチュエータを例にとって
行う。図１は、本発明に係る振動アクチュエータの実施
形態を示す断面図である。本実施形態の振動アクチュエ
ータ１０は、固定軸であるシャフト７と、互いに加圧接
触するとともにシャフト７により保持される振動子１及
びロータ６とを備える。

【００２２】シャフト７は、軸方向と直交する断面形状
が円形の円柱状部材であり、一端にはねじ部７ａが刻ま
れている。また、その他端は、固定面に適宜手段により
固定される。また、シャフト７には、後述するボルト１
３ａ〜１３ｄを挿通させるためのボルト挿通孔７ｂ〜７
ｅがシャフト７の長手方向と直交する方向について設け
られる。このシャフト７により、振動子１及びロータ６
が支持される。

【００２３】振動子１は、ＳＵＳ３０４製の弾性体であ
る半円柱状部材２、３と、これらに挟まれた状態で保持
される圧電素子４と圧電素子５とにより構成される。半
円柱状部材２、３は、中空の円柱体を縦に２分割して得
られる形状であり、その材質は、振動減衰の少ないステ
ンレス鋼、インバーないしはアルミニウム合金等の金属
材料を用いることが望ましいが、樹脂製であってもよ
い。

【００２４】振動子１の外周面であって、後述する捩り
振動及び縦振動それぞれの振動の節となる位置には、く
びれである小径部１ａ、１ｂ及び１ｃが段差状に形成さ
れる。振動子１の小径部１ｂは中央に形成されており、
一方、小径部１ａ、１ｃは小径部１ｂに関して対称な位
置に形成されている。このようにして、小径部１ａ〜１
ｃを設けることにより、振動子１には、大径部１Ａ〜１
Ｄが形成される。小径部１ａ〜１ｃを形成するには、円
柱状の振動子母材に対して切削加工等の機械加工を行う
ことが簡単かつ確実である。

【００２５】振動子１の各大径部１Ａ〜１Ｄには、振動
子１の中心軸に直交する方向に、ボルト挿通孔１Ａ’〜
１Ｄ’が形成される。半円柱状部材２、３は、圧電素子
４、５を挟んだ状態で中心部にシャフト７を挿入し、シ
ャフト７に設けられたボルト挿通孔７ｂ〜７ｅと振動子
１に設けられたボルト挿通孔１Ａ’〜１Ｄ’とのシャフ
ト軸方向位置を合わせておき、ボルト１３ａ〜１３ｄを
挿入して、ナット１４ａ〜１４ｄを締め付けることによ
り、固定される。

【００２６】なお、振動子１とシャフト７との間には隙
間が設けられており、シャフト７が振動子１に発生する
振動を妨げないようになっている。また、ボルト１３ａ
〜１３ｄとシャフト７との間にも隙間が設けられてお
り、振動子１とともに振動するボルト１３ａ〜１３ｄが
シャフト７に接触しないようになっている。さらに、振
動子１は、その中心部に設けられたピン挿通孔１Ｅを貫
通するピン１２によってシャフト７に固定される。

【００２７】厚肉円筒状の部材であるロータ６は、その
中心部に設けられたベアリング８を介してシャフト７に
回転可能に支持される。ロータ６の材料は、アルミニウ
ム合金、ステンレス鋼等の金属又は樹脂が望ましい。

【００２８】ロータ６の振動子１との摺動面には、ＰＰ
Ｓ又はＰＴＦＥ含有樹脂等の摺動材１５が接着されてい
る。この摺動材１５は、ロータ６と振動子１との摺動抵
抗を低減させる役割を果たす部材である。一方、振動子
１のロータ６との摺動面、すなわち、半円柱部材２、３
の端部には、環状部材１６が取り付けられている。環状
部材１６は、振動子１の端面を平坦化するための部材で
ある。環状部材１６は、半円柱部材２、３と同種の金属
材料又は樹脂などからなる部材であり、ロータ６と接触
する面がロータ６の回転軸に対し垂直かつ滑らかな平坦
面となっている。摺動材１５（ロータ６）は、従来の振
動アクチュエータのように直接振動子１の端面と摺動す
ることはなく、環状部材１６の平坦面と摺動する。この
ために、ロータ６は、振動子１の端部に存在するエッジ
や段差の影響を受けて回転ムラを生じることがなく、円
滑に回転する。

【００２９】なお、ロータ６の摺動面の反対側の面にお
いては、シャフト７に加圧部材１１及びばね９がこの順
に挿入されている。加圧部材１１及びばね９は、シャフ
ト７に設けられたねじ部７ａに噛合するナット７ｆによ
って締め付けられることにより、ロータ６を振動子１側
に向けて適宜圧力で加圧している。

【００３０】図２（Ａ）及び図２（Ｂ）は、本実施形態
の振動アクチュエータに用いる振動子１の斜視図であ
る。なお、図２において、半円柱状部材２、３を締め付
けるためのボルト挿通孔１Ａ’〜１Ｄ’は省略してい
る。

【００３１】図２に示すように、本実施形態では、振動
子１を構成する半円柱状部材２、３の間に、計８枚の板
状の圧電素子４、５が挟まれた状態で保持される。ま
た、上記に説明したように、半円柱部材２、３の図面上
側の端部には、環状部材１６が備えられている。環状部
材１６は、図２（Ｂ）において明らかなように、半円柱
部材２、３と圧電素子４との間で生じている段差を覆っ
ている。したがって、ロータ６より見ると、振動子１の
上面は平坦な面となっている。

【００３２】圧電素子４は捩り振動用の素子であり、圧
電素子５は縦振動用の素子である。各圧電素子は２枚ず
つ積層されて配置されており、圧電素子４は、上部に４
枚配置され、一方、圧電素子５は、下部に４枚配置され
ている。圧電素子４の間には電極４ａ、及び４ｂが配置
され、圧電素子５の間には電極５ａ、５ｂが配置され
る。電極４ａ、４ｂ、５ａ及び５ｂは、ステンレス鋼、
銅又はリン青銅等の金属板によって形成され、圧電素子
４、５に接着して固定するか、又はボルト１３ａ〜１３
ｄ及びナット１４ａ〜１４ｄとによって締め付けて固定
する。また、半円柱状部材２、３は接地される。

【００３３】図３（Ａ）は本実施形態の振動アクチュエ
ータに用いる振動子の側面図であり、図３（Ｂ）〜図３
（Ｄ）はそれぞれ図３（Ａ）におけるＡ−Ａ、Ｂ−Ｂ、
及びＣ−Ｃ断面図であって、本実施形態の振動アクチュ
エータの圧電素子の配置を示すものである。なお、図３
（Ａ）においても、図２と同様に、締め付け用のボルト
挿通孔１Ａ’〜１Ｄ’は省略してある。

【００３４】図３（Ｂ）、図３（Ｃ）及び図３（Ｄ）
は、いずれも、捩り振動用の圧電素子４及び縦振動用の
圧電素子５それぞれの分極方向を示す。捩り振動用の圧
電素子４はモータの軸方向に分極され、縦振動用の圧電
素子５は素子の厚さ方向に分極される。

【００３５】図４及び図５は、圧電素子４及び圧電素子
５の分極方向及び電圧印加時の変形を模式的に示す説明
図である。捩り振動用の圧電素子４は、図４（Ａ）に示
すように、平板の長さ方向に分極されており、電圧を印
加し、板厚方向に電界を発生させると、図４（Ｂ）に示
すように剪断変形を利用して振動子１を捩り振動させる
ことができる。

【００３６】一方、縦振動用の圧電素子５は、図５
（Ａ）に示すように、平板の厚さ方向に分極されてお
り、電圧を印加し、板厚方向に電界を発生させると、図
５（Ｂ）に示すように伸び変形する。この圧電素子５の
変形を利用して振動子１を縦振動させることができる。

【００３７】次に、振動子１に発生する捩り振動及び縦
振動それぞれのタイミングについて説明する。図６は、
振動子１に発生する縦振動及び捩り振動を組み合わせて
振動子１の端面である駆動面に楕円運動を発生させるこ
とを示す説明図である。図中、ωは、駆動周波数をｆと
したときの角周波数（ω＝２πｆ）を表す。

【００３８】図６に示すように、捩り運動の周期と伸縮
運動の周期との間の位相差を１／４周期、すなわちπ／
２ずらすと、駆動面上の点では楕円運動が発生する。ｔ
＝（６／４）（π／ω）の時点では、捩り振動の変位は
左側に最大であり、縦振動の変位は零である。

【００３９】この状態から、ｔ＝（７／４）（π／ω）
〜０〜（２／４）（π／ω）までは、捩り振動は左側の
最大から右側の最大まで変位し、縦振動はゼロから上側
の最大に変位し、再びゼロに戻る。したがって、振動子
１の駆動面は、ロータ６（図６においては図示しな
い。）を押しながら、右方向に回転し、ロータ６は駆動
される。

【００４０】次に、ｔ＝（２／４）（π／ω）〜（６／
４）（π／ω）までは、捩り振動は右側の最大から左側
の最大まで変位し、縦振動はゼロから下側の最大に変位
し再びゼロに戻る。したがって、振動子１の駆動面はロ
ータ６から離れながら左方向に回転するため、ロータ６
は駆動されない。このときに、ロータ６は加圧部材１１
により加圧されていても、加圧部材１１の固有振動数が
超音波振動域よりも低いため、振動子１の縮みに追従で
きない。

【００４１】図７は、本実施形態の振動アクチュエータ
の駆動回路の一例を示すブロック図である。駆動信号発
生装置である発振器３１は、所定の周波数の駆動信号を
発生するためのものであり、その出力は分岐して、一方
は、位相を９０度進め（又は遅らせ）る移相器３２を介
して増幅器３３に接続され、他方は、増幅器３４に直接
接続される。

【００４２】各増幅器３３、３４は、それぞれ振動子１
に保持される電極４ａ〜４ｄ、５ａ及び５ｂに接続され
る。なお、移相器３２の位相差を調節して最適値を選ぶ
ことによって、振動アクチュエータ１０のトルク、回転
数及び効率をともに向上させることもできる。

【００４３】図８は、本実施形態にかかる振動アクチュ
エータの振動子１に発生する縦振動、捩り振動それぞれ
の振動モードの一例を示す説明図である。本実施形態で
は、１次の縦振動及び２次の捩り振動をそれぞれ振動子
１に発生させ、これらの振動を利用して振動子１の端面
に楕円運動を発生させている。ここで、効率よく振動ア
クチュエータを駆動するためには、振動アクチュエータ
の捩り振動の共振周波数と縦振動の共振周波数とを略一
致させて、回転変位振幅及び縦変位振幅をともに増大さ
せることが望ましい。これらの共振周波数を略一致させ
るために、本実施形態では振動子１に小径部（くびれ）
１ａ〜１ｃを設けている。

【００４４】小径部（くびれ）１ａ〜１ｃは、捩り振動
の節（振動子１の長手方向の両端側２か所）と縦振動の
節（振動子１の長手方向の略中央）との合計３か所にそ
れぞれ設けられる。例えば、縦振動の節に設けられてい
る小径部１ｂの深さを深くするか、又は幅を広げること
によって、振動子１の１次の縦振動の剛性が低下するた
め、１次の縦振動の共振周波数を下げることができる。

【００４５】このとき、小径部１ｂは２次の捩り振動の
腹に位置するため、２次の捩り振動の共振周波数にはさ
ほど影響を与えない。同様に、２次の捩り振動の節に設
けられている小径部１ａ、１ｃの形状を変更することに
よっても、２次の捩り振動の共振周波数を変化させるこ
とができる。

【００４６】以上説明したように、本実施形態では、振
動子１の端面に環状部材１６を取り付け、これにより振
動子１の端面を平坦化している。したがって、ロータ６
は、直接振動子１と摺動せず、振動子１の端面に存在す
るエッジの影響等を受けてロータ６の回転にムラが生じ
ることはない。また、環状部材１６のロータ６と接触す
る面は、ロータ６の回転軸に垂直かつ滑らかな平坦面と
しているので、ロータ６がいずれの回転位置にあって
も、ロータ６と環状部材１６との間の摩擦力の大きさは
等しく、この結果、ロータ６の円滑な回転が保証されて
いる。

【００４７】（その他の実施形態）なお、本発明は、上
記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態
は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された
技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効
果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技
術的範囲に包含される。

【００４８】例えば、環状部材１６を摺動材１５と同一
の材質のものとし、一方、ロータ６には摺動材１５を接
着せずに、ロータ６を直接環状部材１６の上面において
摺動させ、回転させることとしてもよい。

【００４９】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、弾性部材の端部に、回転軸に垂直な平面を有する
平面部材を設置し、平面部材の平面を回転部材に接触さ
せることにより弾性部材の端部が行う振動運動を回転部
材に伝達することとしたので、回転部材が滑らかに回転
する振動アクチュエータの提供が可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる振動アクチュエータの一実施形
態を示す断面図である。

【図２】図１に示した振動アクチュエータに用いる振動
子１の斜視図である。

【図３】図２に示した振動子１の側面図である。

【図４】圧電素子４の分極方向及び電圧印加時の変形を
模式的に示す説明図である。

【図５】圧電素子５の分極方向及び電圧印加時の変形を
模式的に示す説明図である。

【図６】振動子１の端面に発生する楕円運動を示す説明
図である。

【図７】本発明に係る振動アクチュエータの駆動回路の
一例を示すブロック図である。

【図８】本発明に係る振動アクチュエータの振動子１に
発生する縦振動、捩り振動それぞれの振動モードの一例
を示す説明図である。

【図９】特開平８−１４０３７７号に開示した振動アク
チュエータの断面図である。

【図１０】特開平８−１４０３７７号に開示したの振動
アクチュエータに用いる固定子の斜視図である。

【図１１】特開平８−１４０３７７号に開示した縦−捩
り振動型の振動アクチュエータにおける捩り振動による
移動子の駆動原理を示す説明図である。

【図１２】特開平８−１４０３７７号に開示したの振動
アクチュエータに用いる固定子の側面図である。

【符号の説明】

１振動子２、３半円柱状部材４捩り振動用の圧電素子５縦振動用の圧電素子６ロータ７シャフト８ベアリング９ばね１０振動アクチュエータ１１加圧部材１２ピン１５摺動材１６環状部材３１発振器３２移相器３３、３４増幅器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定の回転軸回りに回転可能な回転部材
と、前記回転軸と交差する方向に振動発生源を挟み、前記振
動発生源に励振されて、回転軸方向の端部を振動させる
２以上の弾性部材とを有し、前記弾性部材の端部が行う振動運動の一部を前記回転部
材に伝達することにより、前記回転部材を回転させる振
動アクチュエータにおいて、前記弾性部材の端部に、前記回転軸に垂直な平面を有す
る平面部材を設置し、前記平面を前記回転部材に接触させることにより前記弾
性部材の端部が行う振動運動を前記回転部材に伝達する
ことを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項２】請求項１に記載の振動アクチュエータに
おいて、前記振動発生源は、前記弾性部材に、前記回転軸方向の
縦振動及び前記回転軸回りの捩り振動を発生させ、前記
弾性部材の端部に楕円運動を行わせることを特徴とする
振動アクチュエータ。
【請求項３】請求項１又は請求項２に記載の振動アク
チュエータにおいて、前記弾性部材は、２つの半円柱状部材であり、前記振動発生源は、前記２つ半円柱状部材の間に配置さ
れ、前記２つの半円柱状部材とともに略円柱形状を構成
することを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項４】請求項１から請求項３までのいずれか１
項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記平面部材は、円板状部材又は環状部材であることを
特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項５】請求項１から請求項４までのいずれか１
項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記振動発生源は、電気的エネルギーを機械的変位に変
換することにより機械的振動を発生する電気機械変換素
子であることを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項６】請求項１から請求項５までのいずれか１
項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記振動発生源は、圧電素子であることを特徴とする振
動アクチュエータ。