JPH08103089A - 振動モータ - Google Patents

振動モータ

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JPH08103089A
JPH08103089A JP7182791A JP18279195A JPH08103089A JP H08103089 A JPH08103089 A JP H08103089A JP 7182791 A JP7182791 A JP 7182791A JP 18279195 A JP18279195 A JP 18279195A JP H08103089 A JPH08103089 A JP H08103089A
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rod
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義朗 富川
Tadao Takagi
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Mitsuhiro Okazaki
光宏 岡崎
Takatoshi Ashizawa
隆利 芦沢
Isao Sugaya
功 菅谷
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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/106Langevin motors
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001Driving devices, e.g. vibrators
    • H02N2/0045Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with torsion or shear modes

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高トルク,高回転により駆動でき、しかも、
構造が簡単かつ製造が容易な振動波モータを提供する。 【解決手段】 棒状のステータ1と,ステータ1の端面
に配置されるロータ6と,ステータ1の軸回りの捩じり
振動を発生させる第1の圧電素子4と,ステータ1の軸
方向の縦振動を発生させる第2の圧電素子5と,ロータ
6をステータ1に加圧接触させる加圧部材9とを含み、
ステータ1は、2つの棒状部材2,3であり、第1及び
第2の圧電素子4,5はステータ1を構成する各棒状部
材2,3によりステータ1の軸と交差する方向に挟まれ
る2枚の板状部材である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、縦振動と捩じり振
動との合成振動を用いた振動モータに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】図13は、縦−捩じり振動型の振動モー
タの従来例の構造を示した斜視図である。
【0003】従来、この種の振動モータでは、ステータ
101は、2つの円柱型の振動子102,103間に、
捩じり振動用の圧電素子104が挟まれている。そし
て、振動子103の上側に、縦振動用の圧電素子105
が配置されている。捩じり振動用の圧電素子104は周
方向に分極され、一方、縦振動用の圧電素子105は厚
み方向に分極されている。さらに、ロータ106は、縦
振動用の圧電素子105の上側に配置されている。
【0004】ステータ101を構成する振動子102,
103及び圧電素子104,105は、シャフト107
に固定(シャフト107のねじ部に螺合)される。ロー
タ106は、ボールベアリング108を介して、シャフ
ト107に回転可能に設けられている。シャフト107
の先端には、ばね109を介して、ナット110が螺合
しており、ロータ106をステータ101に加圧接触さ
せている。
【0005】捩じり振動用の圧電素子104と縦振動用
の圧電素子105は、発振器111から発振される同一
周波数の電圧を、位相器112により位相制御して駆動
される。
【0006】捩じり振動用の圧電素子104は、ロータ
106が回転するための機械変位を与える。縦振動用の
圧電素子105は、ステータ101とロータ106の間
に働く摩擦力を、圧電素子104による捩じり振動の周
期に同期させて、周期的に変動させることにより、振動
を一方向への運動に変換する役割を果たす。
【0007】図14は、従来例にかかる振動モータのス
テータを展開して示した斜視図である。捩じり振動用の
圧電素子104は、周方向に分極する必要があるため、
圧電材料を、図14に示すように、6〜8個程度の扇形
の小片に一旦分割し、各小片を分極した後に再度環状に
組み合わせていた。なお、図中符号104aは電極であ
る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
の振動モータでは、捩じり振動用の圧電素子を環状に組
み合わせるときに、形状精度を出すことが難しかった。
【0009】一方、縦振動用の圧電素子及び捩じり振動
用の圧電素子それぞれの面積は、ステータの断面積とほ
ぼ等しいか、又は、ステータの断面積よりも小さかっ
た。また、シャフトを通すために、圧電素子の中央部に
孔を開ける必要があった。そのために、圧電素子の面積
は、さらに小さくなり、モータの高トルク化,高回転化
を図ることが難しかった。
【0010】本発明の目的は、前述の課題を解決して、
高トルク,高回転により駆動でき、しかも、構造及び製
造がともに簡単な振動モータを提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項1記載の発明では、円柱状の振動子と,前記
振動子の端面に配置される相対運動部材と,前記振動子
の軸回りの捩じり振動を発生させる第1の電気機械変換
素子と,前記振動子の軸方向の縦振動を発生させる第2
の電気機械変換素子と,前記相対運動部材を前記振動子
に加圧接触させる加圧部材とを有する振動モータであっ
て、前記振動子は、2つの半円柱状部材であり、前記第
1の電気機械変換素子及び前記第2の電気機械変換素子
は、前記振動子の各半円柱状部材に挟まれる、1枚以上
の板状部材であることを特徴とする。
【0012】請求項2記載の発明では、円柱状の振動子
と,前記振動子の端面に配置される相対運動部材と,前
記振動子の軸回りの捩じり振動を発生させる第1の電気
機械変換素子と,前記振動子の軸方向の縦振動を発生さ
せる第2の電気機械変換素子と,前記相対運動部材を前
記振動子に加圧接触させる加圧部材とを有する振動モー
タであって、前記振動子は、2つの半円柱状部材であ
り、前記第1の電気機械変換素子は、前記振動子の各半
円柱状部材に挟まれる、1枚以上の板状部材であり、前
記第2の電気機械変換素子は、前記振動子の各半円柱状
部材の外周の軸方向に配置されることを特徴とする。
【0013】請求項3記載の発明では、棒状に形成され
た振動子と,前記振動子の端面に配置される相対運動部
材と,前記振動子の軸回りの捩じり振動を発生させる第
1の電気機械変換素子と,前記振動子の軸方向の縦振動
を発生させる第2の電気機械変換素子と,前記相対運動
部材を前記振動子に加圧接触させる加圧部材とを有する
振動モータであって、前記振動子は、複数の棒状部材で
あり、前記第1の電気機械変換素子及び第2の電気機械
変換素子は、前記複数の棒状部材によって前記振動子の
軸と交差する方向に挟まれる、1枚以上の板状部材であ
ることを特徴とする。
【0014】請求項4記載の発明では、請求項3記載の
振動モータにおいて、前記振動子の中心又は中心近傍に
挿入されたシャフトを有し、前記シャフトは、非貫通の
状態で前記振動子に挿入されて前記振動子の一端側から
のみ突出しており、突出した部分には前記相対運動部材
が回転可能に挿入されていることを特徴とする。
【0015】請求項5記載の発明では、請求項3又は請
求項4記載の振動モータにおいて、前記振動子及び棒状
部材が、ともに角柱状であることを特徴とする。
【0016】請求項6記載の発明では、棒状に形成され
た振動子と,前記振動子の端面に配置される相対運動部
材と,前記振動子の軸回りの捩じり振動を発生させる第
1の電気機械変換素子と,前記振動子の軸方向の縦振動
を発生させる第2の電気機械変換素子と,前記相対運動
部材を前記振動子に加圧接触させる加圧部材とを有する
振動モータであって、前記振動子は、複数の棒状部材で
あり、前記第1の電気機械変換素子は、前記複数の棒状
部材によって前記振動子の軸と交差する方向に挟まれ
る、1枚以上の板状部材であり、前記第2の電気機械変
換素子は、前記複数の棒状部材の外面側の軸方向に配置
されることを特徴とする。
【0017】請求項7記載の発明では、請求項6記載の
振動モータにおいて、前記振動子の中心又は中心近傍に
挿入されたシャフトを有し、前記シャフトは、非貫通の
状態で前記振動子に挿入されて前記振動子の一端側から
のみ突出しており、突出した部分には前記相対運動部材
が回転可能に挿入されていることを特徴とする。
【0018】請求項8記載の発明では、請求項6又は請
求項7記載の振動モータにおいて、前記振動子及び棒状
部材が、ともに角柱状であることを特徴とする。
【0019】請求項9記載の発明では、棒状に形成され
た振動子と,前記振動子に加圧接触された相対運動部材
と,前記振動子に2つの異なる振動を発生させる複数の
電気機械変換素子とを有する振動モータであって、前記
振動子は、前記複数の電気機械変換素子の駆動により、
軸方向の剪断変形による捩じり振動と軸方向への縦振動
とによって前記軸と垂直又は略垂直な方向に駆動面を形
成し、前記相対運動部材は、前記駆動面に加圧接触され
た状態で駆動されることを特徴とする。
【0020】請求項10記載の発明では、棒状に形成さ
れた振動子と,前記振動子の端面に配置される相対運動
部材と,前記振動子の軸回りの捩じり振動を発生させる
第1の電気機械変換素子と,前記振動子の軸方向の縦振
動を発生させる第2の電気機械変換素子と,前記相対運
動部材を前記振動子に加圧接触させる加圧部材とを有す
る振動モータであって、前記第1の電気機械変換素子及
び前記第2の電気機械変換素子は前記振動子に接合さ
れ、接合された接合面は前記振動子の軸方向と平行又は
略平行であることを特徴とする。
【0021】請求項11記載の発明では、棒状に形成さ
れた振動子と,前記振動子の端面に配置される相対運動
部材と,前記振動子の軸回りの捩じり振動を発生させる
第1の電気機械変換素子と,前記振動子の軸方向の縦振
動を発生させる第2の電気機械変換素子と,前記相対運
動部材を前記振動子に加圧接触させる加圧部材とを有
し、前記振動子は、複数の棒状部材からなり、前記第1
の電気機械変換素子及び前記第2の電気機械変換素子
は、前記複数の棒状部材によって前記振動子の軸と交差
する方向に挟まれる、1枚以上の板状部材によって構成
される振動モータであって、前記第1の電気機械変換素
子と前記第2の電気機械変換素子とは、前記振動子の中
心又は中心近傍を通って前記振動子を縦方向に分割する
分割面と平行又は略平行な面を界面として積層されて配
置され、前記振動子の軸を境に積層される順序が入れ替
わっていることを特徴とする。
【0022】請求項12記載の発明では、棒状に形成さ
れた振動子と,前記振動子の端面に配置される相対運動
部材と,前記振動子の軸回りの捩じり振動を発生させる
第1の電気機械変換素子と,前記振動子の軸方向の縦振
動を発生させる第2の電気機械変換素子と,前記相対運
動部材を前記振動子に加圧接触させる加圧部材とを有す
る振動モータであって、前記振動子は複数の棒状部材で
あり、各部材は結合部材によって前記軸と垂直又は略垂
直な方向に固定されていることを特徴とする。
【0023】請求項13記載の発明では、棒状に形成さ
れた振動子と,前記振動子の端面に配置される相対運動
部材と,前記振動子の軸回りの捩じり振動を発生させる
第1の電気機械変換素子と,前記振動子の軸方向の縦振
動を発生させる第2の電気機械変換素子と,前記相対運
動部材を前記振動子に加圧接触させる加圧部材とを有す
る振動モータであって、前記振動子は3個以上の棒状部
材であり、前記第1の電気機械変換素子及び前記第2の
電気機械変換素子は、それぞれ前記棒状部材によって前
記振動子の軸と交差する方向に挟まれた状態で、接着に
より固定されていることを特徴とする。
【0024】請求項14記載の発明では、請求項13記
載の振動モータにおいて、前記振動子は、3個の棒状部
材によって円柱状に形成されていることを特徴とする。
【0025】請求項15記載の発明では、請求項13記
載の振動モータにおいて、前記振動子は、4個の棒状部
材によって円柱状に形成されていることを特徴とする。
【0026】請求項16記載の発明は、請求項13記載
の振動モータにおいて、前記振動子は、4個の棒状部材
によって四角柱状に形成されていることを特徴とする。
【0027】
【発明の実施の形態】
(第1の実施の形態)以下、図面等を参照して、本発明
を説明する。
【0028】図1は、本発明の第1の実施形態である振
動モータを展開して示した斜視図である。また、図2
は、図1の振動モータを組み立てた状態を示す斜視図で
ある。
【0029】第1の実施形態では、振動子であるステー
タ1は、半円柱状部材2,3の間に、4枚の板状の圧電
素子4,5(圧電素子4,5の配置については図3によ
り説明する。)が挟まれており、ステータ1の中心に
は、シャフト7が挿入されている。相対運動部材である
ロータ6は、シャフト7に回転可能に挿入される。
【0030】シャフト7は、一方側には、外周の軸方向
に2つの突起部7aが形成され、他方側には、ねじ部7
bが形成されている。半円柱状部材2,3には、ロータ
1の中心軸に対して平行に、シャフト7の突起部7aが
嵌合する溝2a,3aが形成されている。また、電気機
械変換素子である圧電素子4,5にも、シャフト7の突
起部7aが挿入される位置に切り欠き部4a,5aが形
成されている。
【0031】なお、シャフト7は、圧電素子4,5の切
り欠き部4a,5aと接するため、側面に面取部7dを
形成してもよい。
【0032】また、半円柱状部材2,3には、ステータ
1の中心軸に直交する方向に、ボルト孔2b,3bが形
成されている。この半円柱状部材2,3は、圧電素子
4,5を挟み、シャフト7を嵌合した状態で、ボルト1
3とナット14とによって、締め付け固定されている。
【0033】ロータ6は、シャフト7に挿入されて、ス
テータ1の端面に当接するが、本実施形態では、その間
にPPS等の摺動材15が挿入されている。また、シャ
フト7には、ロータ6の反対側の面に摺動材16,ばね
9,ワッシャ17がこの順に挿入され、ナット10によ
って締め付けられることによりロータ6をステータ1側
に加圧している。
【0034】図3は、第1の実施形態にかかる振動モー
タの圧電素子の配置を示す図である。圧電素子4は捩じ
り振動用の素子であり、一方、圧電素子5は縦振動用の
素子である。圧電素子4は、図3(A)の左上に2枚、
右下に2枚配置される。また、圧電素子5は、図3
(A)の右上に2枚、左下に2枚配置されている。
【0035】2枚の圧電素子4,4の間には電極4bが
配置され、2枚の圧電素子5,5の間には電極5bが配
置されている。電極4b,5bは、リン青銅などの金属
箔によって形成され、圧電素子4,5に接着して固定す
るか、又は、ボルト13とナット14とによって締め付
け固定する。また、圧電素子4,5と半円柱状部材2,
3との間は接地されており、圧電素子4と圧電素子5と
の間は、接地用電極を介して、接地されている。
【0036】なお、図3(A)は、捩じり振動用の圧電
素子4の厚さと縦振動用の圧電素子5の厚さとが異なる
場合を示しており、図3(B)は、それらの厚さが等し
い場合を示している。図3(A)の構造では、捩じり振
動の振幅を大きく取り出せる利点がある。
【0037】図3(C)は、捩じり振動用の圧電素子4
及び縦振動用の圧電素子5それぞれの分極方向を示して
いる。捩じり振動用の圧電素子4はモータの軸方向に分
極されており、縦振動用の圧電素子5は素子の厚さ方向
に分極されている。
【0038】図4及び図5は、本実施形態にかかる振動
モータに用いる圧電素子の分極方向及び電極配置と,電
圧印加時の変形とを示した図である。捩じり振動用の圧
電素子4は、図4(A)に示すように、平板の長さ方向
に分極されており、図4(A)の電極を用いて電圧を印
加すると、図4(B)のように剪断変形を利用してステ
ータ1を捩じり振動させることができる。
【0039】縦振動用の圧電素子5は、図5(A)に示
すように、平板の厚さ方向に分極されており、図5
(A)の電極を用いて電圧を印加すると、図5(B)の
ように伸び変形する。この圧電素子5の伸び変形を利用
してステータ1を縦振動させることができる。
【0040】高効率でモータを駆動するためには、モー
タの捩じり振動の共振周波数と縦振動の共振周波数とを
略一致させて、回転変位振幅及び縦振動振幅を同時に、
増大させることが望ましい。これらの共振周波数を略一
致させるためには、ステータ1の材質及び形状、ロータ
6の材質及び形状、摺動材15,16の材質及び形状、
加圧力などを適宜変化させることにより、最適な条件を
求めることが必要である。
【0041】次に、捩じり振動及び縦振動それぞれのタ
イミングについて説明する。図6に示すように、捩じり
振動用の圧電素子4の回転変位が正方向の場合には、縦
振動用の圧電素子5の変位が正方向(ステータ1とロー
タ6とが接触する方向)であるため、ステータ1の捩じ
り振動は、ロータ6に伝達され、正方向に回転する。
【0042】捩じり振動用の圧電素子4の回転変位が負
方向の場合には、縦振動用の圧電素子5の変位が負方向
(ステータ1とロータ6が離れる方向)であるため、ス
テータ1の捩じり振動は、ロータ6に伝達されず、回転
はしない。
【0043】このような動作を繰り返すことによって、
ロータ6が一定方向に回転する。前述のような捩じり振
動及び縦振動を得るために、捩じり振動用の圧電素子4
及び縦振動用の圧電素子5に、ほぼ90°位相のずれた
交流電圧を印加する。位相差を調節して、最適値を選ぶ
ことによって、モータのトルク,回転数,効率を向上さ
せることもできる。
【0044】モータを逆転させるためには、上記の位相
差を90°から−90°に変更すればよい。この変更に
よって、ロータ6に伝達される捩じり振動の向きが逆に
なり、逆転する。
【0045】以上のように、第1の電気機械変換素子及
び第2の電気機械変換素子それぞれが、振動子を構成す
る各部材に挟まれる板状部材であるため、組み立てが極
めて容易になる。
【0046】また、第1の電気機械変換素子は、板状部
材を用いているため、電気機械変換素子のコストを下げ
ることが可能となる。さらに、各電気機械変換素子の面
積を大きくすることができる構造となるため、高トル
ク,高回転のモータを実現することが可能になる。
【0047】(第2の実施の形態)図7は、本発明の第
2の実施形態である振動モータを展開して示した斜視図
である。なお、以下に示す各実施形態では、前述した第
1の実施形態と同様な機能を果たす部分には、同一の符
号を付して、重複する説明を省略する。
【0048】第2の実施形態では、捩じり振動用の圧電
素子4は、半円柱状部材2−1,3−1の間に挟まれる
が、縦振動用の圧電素子5は、半円柱状部材2−1,3
−1の外周の軸方向に形成された面取り部2−1a,3
−1aに配置される。
【0049】また、半円柱状部材2−1,3−1とシャ
フト7−1との連結は、ねじ部2c,ねじ部3c及びね
じ部7cによって行なわれる。この場合に、ねじ部2
c,ねじ部3cは、半円柱状部材2−1,3−1をボル
ト13,ナット14によって締め付けた後に、形成する
ことが望ましい。
【0050】その他の構造及び動作は、第1の実施形態
とほぼ同様である。以上のように、第2の電気機械変換
素子を、前記振動子の外面側の軸方向に配置すると、前
記第1の実施形態よりもさらに、組み立てが容易にな
る。
【0051】(第3の実施の形態)図8は、本発明の第
3の実施形態である振動モータのステータの構成を示す
斜視図である。第3の実施形態では、第1の実施形態に
おいて、ステータの形状を角柱状としたものである。そ
の他の構造及び動作は、第1の実施形態とほぼ同様であ
る。したがって、第1の実施形態と同様な機能を果たす
部分には同一の符号を付して、重複する説明を省略す
る。
【0052】この第3の実施形態では、ステータが角柱
状部材2−2,3−2に分割されている。そのため、ス
テータの製造に際しては平面加工だけを行えば済み、ス
テータの加工が容易で量産性に優れるという利点があ
る。また、平面加工だけで済むため、平面度が要求され
る圧電素子の接着面の加工精度を向上させることが容易
になるという利点も有する。
【0053】(第4の実施の形態)図9は、本発明の第
4の実施形態である振動モータ用いるステータを構成を
示す斜視図である。第4の実施形態では、第2の実施形
態において、ステータの形状を角柱状としたものであ
る。その他の構造及び動作は、第2の実施形態とほぼ同
様である。したがって、第2の実施形態と同様な機能を
果たす部分には同一の符号を付して、重複する説明を省
略する。
【0054】この第4の実施形態では、第3の実施形態
と同様、ステータが角柱状部材2−2,3−2に分割さ
れている。そのため、ステータの製造に際しては平面加
工だけを行えば済み、ステータの加工が容易で量産性に
優れるという利点がある。また、平面加工だけで済むた
め、平面度が要求される圧電素子の接着面の加工精度を
向上させることが容易になるという利点も有する。さら
に、縦振動用の圧電素子がステータの外面部に配置され
るため、組立てが容易になるという利点も備えている。
【0055】(第5の実施の形態)図10,図11,図
12は、本発明の第5の実施形態である振動モータに用
いるステータにおける、圧電素子の配置を示す図であ
る。第5の実施形態は、ステータを3個以上の部材によ
り構成するものである。その他の構造及び動作は、第1
の実施形態とほぼ同様である。したがって、第1の実施
形態と同様な機能を果たす部分には同一の符号を付し
て、重複する説明を省略する。
【0056】図10では、断面がほぼ扇型の棒状部材1
8a〜18cを3個組み合わせることでステータ18が
構成されている。この場合、圧電素子4,5やシャフト
7−1は接着によって固定することが望ましい。
【0057】図11は、断面がほぼ1/4 円状の部材19
a〜19dを4個組み合わせることでステータ19を構
成したものである。図12は、断面が正方形状の部材2
0a〜20dを4個組み合わせることでステータ20の
外形が角柱状になるように構成したものである。
【0058】第5の実施形態では、ステータ20に接触
する圧電素子4,5の面積が増えるため、圧電素子4,
5による振動の発生力が大きくなる。そのため、モータ
の出力を増大させることが可能となる。
【0059】なお、第5の実施形態においても、第2の
実施形態又は第4の実施形態のように、縦振動用の圧電
素子をステータの外周部に配置してもよい。
【0060】(変形形態)本発明は、以上説明した各実
施形態に限定されず、種々の変形や変更が可能であっ
て、それらも本発明の範囲に含まれる。例えば、電気エ
ネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子
として、圧電素子を例にあげて各実施形態の説明を行っ
たが、圧電素子以外に電歪素子や磁歪素子等を用いても
よい。
【0061】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、振動モ
ータの組み立てが極めて容易になる。また、電気機械変
換素子として板状部材を用いているため、電気機械変換
素子のコストを下げることが可能となる。さらに、電気
機械変換素子の面積を大きく確保することができる構造
であるため、高トルク,高回転の振動モータを実現する
ことができる。
【0062】振動子の形状の角柱状にすると、振動子の
製造に際しては平面加工だけを行えば済む。そのため、
振動子の加工が容易で量産性に優れる。また、平面加工
だけで済むため、平面度が要求される圧電素子の接着面
の加工精度を向上させることが容易になる。
【0063】振動子を構成する部材を増やすと、振動子
に接触する電気機械変換素子の面積がより大きくなる。
そのため、電気機械変換素子による振動の発生力が大き
くなり、モータの出力を増大させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる振動モータの第1の実施形態の
一例を展開して示した斜視図である。
【図2】図1の振動モータを組み立てた状態を示す斜視
図である。
【図3】第1の実施形態にかかる振動モータの圧電素子
の配置を示した図である。
【図4】第1の実施形態にかかる振動モータに用いる圧
電素子(捩じり振動用)の分極方向と電極配置及び電圧
印加時の変形を示した図である。
【図5】第1の実施形態にかかる振動モータに用いる圧
電素子(縦振動用)の分極方向と電極配置及び電圧印加
時の変形を示した図である。
【図6】第1の実施形態にかかる振動モータの圧電素子
に印加する電圧波形を示した図である。
【図7】第2の実施形態にかかる振動モータを展開して
示した斜視図である。
【図8】第3の実施形態にかかる振動モータを展開して
示した斜視図である。
【図9】第4の実施形態にかかる振動モータを展開して
示した斜視図である。
【図10】第5の実施形態にかかる振動モータにおい
て、3つの棒状部材でステータを構成した振動モータの
圧電素子の配置を示した図である。
【図11】第5の実施形態にかかる振動モータにおい
て、4つの棒状部材でステータを構成した振動モータの
圧電素子の配置を示した図である。
【図12】第5の実施形態にかかる振動モータにおい
て、4つの棒状部材でステータを角柱状に構成した振動
モータの圧電素子の配置を示した図である。
【図13】従来の縦−捩じり振動型の振動モータを示し
た斜視図である。
【図14】従来の振動モータのロータを展開して示す斜
視図である。
【符号の説明】
1 ステータ 2,3,18,19,20 棒状部材 4,5 圧電素子 6 ロータ 7 シャフト 9 ばね 10 ナット 13 ボルト 14 ナット 15,16 摺動材 17 ワッシャ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 芦沢 隆利 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号 株 式会社ニコン内 (72)発明者 菅谷 功 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号 株 式会社ニコン内

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 円柱状の振動子と,前記振動子の端面に
    配置される相対運動部材と,前記振動子の軸回りの捩じ
    り振動を発生させる第1の電気機械変換素子と,前記振
    動子の軸方向の縦振動を発生させる第2の電気機械変換
    素子と,前記相対運動部材を前記振動子に加圧接触させ
    る加圧部材とを有する振動モータであって、 前記振動子は、2つの半円柱状部材であり、 前記第1の電気機械変換素子及び前記第2の電気機械変
    換素子は、前記振動子の各半円柱状部材に挟まれる、1
    枚以上の板状部材であることを特徴とする振動モータ。
  2. 【請求項2】 円柱状の振動子と,前記振動子の端面に
    配置される相対運動部材と,前記振動子の軸回りの捩じ
    り振動を発生させる第1の電気機械変換素子と,前記振
    動子の軸方向の縦振動を発生させる第2の電気機械変換
    素子と,前記相対運動部材を前記振動子に加圧接触させ
    る加圧部材とを有する振動モータであって、 前記振動子は、2つの半円柱状部材であり、 前記第1の電気機械変換素子は、前記振動子の各半円柱
    状部材に挟まれる、1枚以上の板状部材であり、 前記第2の電気機械変換素子は、前記振動子の各半円柱
    状部材の外周の軸方向に配置されることを特徴とする振
    動モータ。
  3. 【請求項3】 棒状に形成された振動子と,前記振動子
    の端面に配置される相対運動部材と,前記振動子の軸回
    りの捩じり振動を発生させる第1の電気機械変換素子
    と,前記振動子の軸方向の縦振動を発生させる第2の電
    気機械変換素子と,前記相対運動部材を前記振動子に加
    圧接触させる加圧部材とを有する振動モータであって、 前記振動子は、複数の棒状部材であり、 前記第1の電気機械変換素子及び前記第2の電気機械変
    換素子は、前記複数の棒状部材によって前記振動子の軸
    と交差する方向に挟まれる、1枚以上の板状部材である
    ことを特徴とする振動モータ。
  4. 【請求項4】 請求項3記載の振動モータにおいて、 前記振動子の中心又は中心近傍に挿入されたシャフトを
    有し、前記シャフトは、非貫通の状態で前記振動子に挿
    入されて前記振動子の一端側からのみ突出しており、突
    出した部分には前記相対運動部材が回転可能に挿入され
    ていることを特徴とする振動モータ。
  5. 【請求項5】 請求項3又は請求項4記載の振動モータ
    において、 前記振動子及び棒状部材が、ともに角柱状であることを
    特徴とする振動モータ。
  6. 【請求項6】 棒状に形成された振動子と,前記振動子
    の端面に配置される相対運動部材と,前記振動子の軸回
    りの捩じり振動を発生させる第1の電気機械変換素子
    と,前記振動子の軸方向の縦振動を発生させる第2の電
    気機械変換素子と,前記相対運動部材を前記振動子に加
    圧接触させる加圧部材とを有する振動モータであって、 前記振動子は、複数の棒状部材であり、 前記第1の電気機械変換素子は、前記複数の棒状部材に
    よって前記振動子の軸と交差する方向に挟まれる、1枚
    以上の板状部材であり、 前記第2の電気機械変換素子は、前記複数の棒状部材の
    外面側の軸方向に配置されることを特徴とする振動モー
    タ。
  7. 【請求項7】 請求項6記載の振動モータにおいて、 前記振動子の中心又は中心近傍に挿入されたシャフトを
    有し、前記シャフトは、非貫通の状態で前記振動子に挿
    入されて前記振動子の一端側からのみ突出しており、突
    出した部分には前記相対運動部材が回転可能に挿入され
    ていることを特徴とする振動モータ。
  8. 【請求項8】 請求項6又は請求項7記載の振動モータ
    において、 前記振動子及び棒状部材が、ともに角柱状であることを
    特徴とする振動モータ。
  9. 【請求項9】 棒状に形成された振動子と,前記振動子
    に加圧接触された相対運動部材と,前記振動子に2つの
    異なる振動を発生させる複数の電気機械変換素子とを有
    する振動モータであって、 前記振動子は、前記複数の電気機械変換素子の駆動によ
    り、軸方向の剪断変形による捩じり振動と軸方向への縦
    振動とによって前記軸と垂直又は略垂直な方向に駆動面
    を形成し、 前記相対運動部材は、前記駆動面に加圧接触された状態
    で駆動されることを特徴とする振動モータ。
  10. 【請求項10】 棒状に形成された振動子と,前記振動
    子の端面に配置される相対運動部材と,前記振動子の軸
    回りの捩じり振動を発生させる第1の電気機械変換素子
    と,前記振動子の軸方向の縦振動を発生させる第2の電
    気機械変換素子と,前記相対運動部材を前記振動子に加
    圧接触させる加圧部材とを有する振動モータであって、 前記第1の電気機械変換素子及び前記第2の電気機械変
    換素子は前記振動子に接合され、接合された接合面は前
    記振動子の軸方向と平行又は略平行であることを特徴と
    する振動モータ。
  11. 【請求項11】 棒状に形成された振動子と,前記振動
    子の端面に配置される相対運動部材と,前記振動子の軸
    回りの捩じり振動を発生させる第1の電気機械変換素子
    と,前記振動子の軸方向の縦振動を発生させる第2の電
    気機械変換素子と,前記相対運動部材を前記振動子に加
    圧接触させる加圧部材とを有し、 前記振動子は、複数の棒状部材からなり、 前記第1の電気機械変換素子及び前記第2の電気機械変
    換素子は、前記複数の棒状部材によって前記振動子の軸
    と交差する方向に挟まれる、1枚以上の板状部材によっ
    て構成される振動モータであって、 前記第1の電気機械変換素子と前記第2の電気機械変換
    素子とは、前記振動子の中心又は中心近傍を通って前記
    振動子を縦方向に分割する分割面と平行又は略平行な面
    を界面として積層されて配置され、 前記振動子の軸を境に積層される順序が入れ替わってい
    ることを特徴とする振動モータ。
  12. 【請求項12】 棒状に形成された振動子と,前記振動
    子の端面に配置される相対運動部材と,前記振動子の軸
    回りの捩じり振動を発生させる第1の電気機械変換素子
    と,前記振動子の軸方向の縦振動を発生させる第2の電
    気機械変換素子と,前記相対運動部材を前記振動子に加
    圧接触させる加圧部材とを有する振動モータであって、 前記振動子は複数の棒状部材であり、各部材は結合部材
    によって前記軸と垂直又は略垂直な方向に固定されてい
    ることを特徴とする振動モータ。
  13. 【請求項13】 棒状に形成された振動子と,前記振動
    子の端面に配置される相対運動部材と,前記振動子の軸
    回りの捩じり振動を発生させる第1の電気機械変換素子
    と,前記振動子の軸方向の縦振動を発生させる第2の電
    気機械変換素子と,前記相対運動部材を前記振動子に加
    圧接触させる加圧部材とを有する振動モータであって、 前記振動子は3個以上の棒状部材であり、前記第1の電
    気機械変換素子及び前記第2の電気機械変換素子は、そ
    れぞれ前記棒状部材によって前記振動子の軸と交差する
    方向に挟まれた状態で、接着により固定されていること
    を特徴とする振動モータ。
  14. 【請求項14】 請求項13記載の振動モータにおい
    て、 前記振動子は、3個の棒状部材によって円柱状に形成さ
    れていることを特徴とする振動モータ。
  15. 【請求項15】 請求項13記載の振動モータにおい
    て、 前記振動子は、4個の棒状部材によって円柱状に形成さ
    れていることを特徴とする振動モータ。
  16. 【請求項16】 請求項13記載の振動モータにおい
    て、 前記振動子は、4個の棒状部材によって四角柱状に形成
    されていることを特徴とする振動モータ。
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