JPH10153269A - パイロットチェック弁付スピードコントローラ - Google Patents

パイロットチェック弁付スピードコントローラ

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JPH10153269A
JPH10153269A JP8312363A JP31236396A JPH10153269A JP H10153269 A JPH10153269 A JP H10153269A JP 8312363 A JP8312363 A JP 8312363A JP 31236396 A JP31236396 A JP 31236396A JP H10153269 A JPH10153269 A JP H10153269A
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valve
port
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    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/01—Locking-valves or other detent i.e. load-holding devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Abstract

(57)【要約】 【課題】配管スペースを削減するとともに取付工数を簡
略化し、しかもコストの低減化を図ることにある。 【解決手段】一端部に流体圧出入ポート６４が設けられ
た第１ボデイ１２を有するパイロットチェック弁部１４
と、前記第１ボデイ１２と一体的に設けられた第２ボデ
イ１８を有するニードル弁部２０と、流体圧出入ポート
９４が設けられた管継手部２４と、前記流体圧出入ポー
ト６４と流体圧出入ポート９４とを連通させる流体通路
に臨み、前記流体通路を流通する圧力流体の流量を調整
するニードル弁本体７４と、パイロットポート３０から
供給される圧力流体の作用下に流体圧出入ポート６４と
流体圧出入ポート９４とを連通させる流体通路を開閉す
る弁体５８とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、パイロットチェッ
ク弁を有し、例えば、シリンダ等の流体圧機器から導出
される圧力流体の圧力を制御することが可能なパイロッ
トチェック弁付スピードコントローラに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、例えば、シリンダ等の流体圧
機器に出入する圧力流体を制御するためにスピードコン
トローラを含む流体圧制御回路が用いられている。この
流体圧制御回路は、シリンダの第１流体圧出入ポートに
直列に接続される第１スピードコントローラおよび第１
パイロットチェック弁と、前記シリンダの第２流体圧出
入ポートに直列に接続される第２スピードコントローラ
および第２パイロットチェック弁と、前記第１スピード
コントローラおよび第２スピードコントローラにそれぞ
れ接続される電磁弁とから構成される。
【０００３】前記流体圧制御回路の概略動作を説明する
と、電磁弁の切換作用下に圧力流体供給源から供給され
た圧力流体が第１スピードコントローラおよび第１パイ
ロットチェック弁を通過し、第１流体圧出入ポートを介
してシリンダの一方のシリンダ室に導入される。前記圧
力流体の作用下にピストンが他方のシリンダ室に向かっ
て移動する際、他方のシリンダ室に残存する圧力流体
は、第２流体圧出入ポートを介して第２パイロットチェ
ック弁および第２スピードコントローラに導入され、終
局的には大気中に排出される。この場合、第２スピード
コントローラを通過する圧力流体の流量を所定量に規制
調整しておくことにより、ピストンの移動速度を制御す
ることができる。
【０００４】なお、前記第１スピードコントローラと第
２スピードコントローラ、前記第１パイロットチェック
弁と第２パイロットチェック弁は、それぞれ同一の構成
要素からなり、また、スピードコントローラとパイロッ
トチェック弁とは、それぞれ別体で形成されている。
【０００５】従って、前記流体圧制御回路は、シリンダ
に対して、２個のスピードコントローラと、２個のパイ
ロットチェック弁と、１個の電磁弁とから構成され、電
磁弁と第１および第２スピードコントローラとの間、第
１および第２スピードコントローラと第１および第２パ
イロットチェック弁との間、第１および第２パイロット
チェック弁とシリンダとの間を、それぞれチューブ等の
管体を用いて連通接続している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
従来技術に係る流体圧制御回路では、シリンダに対して
それぞれ別体で形成された２個のスピードコントローラ
および２個のパイロットチェック弁とを付設しているた
め、部品点数が増大してコストが高騰するとともに、シ
リンダに対して付設される流体圧機器の配管スペースを
可及的に減少させることができないという不都合があ
る。
【０００７】また、２個のスピードコントローラ、２個
のパイロットチェック弁および電磁弁をそれぞれ接続す
るための配管作業が必要となり、取付工数が増加すると
いう不都合がある。
【０００８】本発明は、これらの種々の不都合を悉く克
服するためになされたものであり、配管スペースを減少
させるとともに取付工数を簡略化し、しかもコストの低
減化を図ることが可能なパイロットチェック弁付スピー
ドコントローラを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、一端部に第１流体圧出入ポートが設け
られ、他端部にパイロットポートが設けられた第１ボデ
イを有するパイロットチェック弁部と、前記第１ボデイ
と一体的に設けられた第２ボデイを有するニードル弁部
と、一端部に第２流体圧出入ポートが設けられ、前記第
２ボデイと一体的に形成された管継手本体を有する管継
手部と、前記ニードル弁部内に設けられ、前記第１流体
圧出入ポートと第２流体圧出入ポートとを連通させる流
体通路に臨み、前記流体通路を流通する圧力流体の流量
を調整するニードル弁本体と、前記パイロットチェック
弁部に設けられ、パイロットポートから供給される圧力
流体の作用下に前記第１流体圧出入ポートと第２流体圧
出入ポートとを連通させる流体通路を開閉する弁体と、
を備えることを特徴とする。
【００１０】本発明によれば、パイロットポートから供
給される圧力流体の作用下に弁体が弁開状態となり、第
１流体圧出入ポートから導入された圧力流体は、パイロ
ットチェック弁部を通過してニードル弁部に至り、ニー
ドル弁本体によって所定の流量に絞られた後、管継手部
の第２流体圧出入ポートから導出される。
【００１１】このように、パイロットチェック弁部とニ
ードル弁部とを一体的に組み付けることにより、配管工
数を削減するとともに、部品点数を減少させて製造コス
トの低減化を図ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明に係るパイロットチェック
弁付スピードコントローラについて好適な実施の形態を
挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１３】図１において参照数字１０は、本実施の形
態に係るパイロットチェック弁付スピードコントローラ
（以下、スピードコントローラ１０という）を示す。
【００１４】このスピードコントローラ１０は、円筒状
の第１ボデイ１２を有するパイロットチェック弁部１４
と、前記第１ボデイ１２の外周部に外嵌されるリング体
１６を介して該第１ボデイ１２の軸線を回転軸として所
定方向に回転自在な円筒状の第２ボデイ１８を有するニ
ードル弁部２０と、前記第２ボデイ１８の軸線に対して
略直交して連結されるエルボ形の第３ボデイ２２を有す
る管継手部２４とから構成される。なお、前記第１ボデ
イ１２、第２ボデイ１８および第３ボデイ２２は、それ
ぞれ、樹脂製材料からなる成形品として得られると好適
である。
【００１５】パイロットチェック弁部１４を構成する第
１ボデイ１２の上部には、軸線と略直交する方向に折曲
するとともに、該軸線を回動中心として矢印方向に回動
自在に軸着された管体２６が設けられ、前記管体２６の
一端部には、後述する管継手機構２８を介してパイロッ
トポート３０が形成される。フランジ部３２が形成され
た管体２６の他端部は、止め輪３４を介して第１ボデイ
１２に軸着され、該フランジ部３２の外周部に形成され
た環状溝には、該第１ボデイ１２の内壁面に接触して気
密性を保持するＯリング３６が装着される。前記管体２
６内には、パイロットポート３０に連通する第１通路３
８が形成される。なお、前記管継手機構２８は、後述す
るように、前記管継手部２４と略同一構成要素からな
る。
【００１６】第１ボデイ１２には、軸線方向に沿って延
在する第１貫通孔４０が形成され、前記第１貫通孔４０
の中央部には、断面Ｔ状のステム４２が矢印Ｘ方向に沿
って変位自在に設けられる。前記ステム４２は、第１コ
イルスプリング４４の弾発力によって、常時、矢印Ｘ1
方向に向かって付勢された状態にある。
【００１７】図２に示されるように、第１貫通孔４０の
軸線と略直交する方向には、直線状の第２通路４６が形
成される。また、第１ボデイ１２とリング体１６との間
には、一組のＯリング４８ａ、４８ｂによって閉塞され
た環状間隙５０が形成され、前記環状間隙５０は、第１
貫通孔４０および第２通路４６とそれぞれ連通するよう
に形成される。さらに、前記ステム４２の外周部に装着
されたシール部材５２を介して第１貫通孔４０が閉塞さ
れることにより、該ステム４２とフランジ部３２との間
に第１室５４が形成される。
【００１８】第１ボデイ１２の下端部には、孔部５６を
介して弁体５８を支持する支持部材６０が固定され、前
記支持部材６０は、第１貫通孔４０に連通する複数の連
通孔６２と、前記連通孔６２に連通する流体圧出入ポー
ト（第１流体圧出入ポート）６４とを有する。なお、前
記第１ボデイ１２の下端部の外周面には、後述するシリ
ンダのポートに螺入される雄ねじ部６６が刻設される。
【００１９】前記第２通路４６に近接する第１ボデイ１
２の内壁面には、中心に向かって所定長だけ突出する環
状凸部６８が形成され、前記ステム４２と支持部材６０
との間には、前記環状凸部６８を着座部とする弁体５８
が設けられる。前記弁体５８と支持部材６０との間には
第２コイルスプリング７０が介装され、前記弁体５８
は、前記第２コイルスプリング７０の弾発力の作用下
に、常時、矢印Ｘ1 方向に向かって押圧された状態にあ
る。
【００２０】換言すると、前記弁体５８は、支持部材６
０の孔部５６による案内作用下に軸線方向に沿って変位
し、第２コイルスプリング７０の弾発力の作用下に環状
凸部６８に着座する一方、前記第２コイルスプリング７
０の弾発力に打ち勝つ力が付与されることにより環状凸
部６８から離間する。なお、前記ステム４２と弁体５８
とは別体で形成され、相互に当接または離間自在に設け
られる。
【００２１】ニードル弁部２０を構成する第２ボデイ１
８には、その軸線方向に沿って第２貫通孔７２が形成さ
れ、前記第２貫通孔７２の一端部は、ニードル弁本体７
４が螺着されたキャップ部材７６によって閉塞され、一
方、該第２貫通孔７２の他端部は、第３通路７８を介し
て環状間隙５０に連通するように設けられる。
【００２２】前記キャップ部材７６には、軸線方向と略
直交し管継手部２４に連通する第４通路８０が形成さ
れ、前記第４通路８０は、キャップ部材７６の軸線方向
に沿って貫通する孔部８２と連通するように形成され
る。
【００２３】また、前記孔部８２が形成されたキャップ
部材７６の一端部には、ニードル弁本体７４の絞り部８
６が着座する着座部８１が設けられ、前記着座部８１の
外周面には、チェック弁８３が装着される。このチェッ
ク弁８３には可撓性を有する舌片８５が形成され、前記
舌片８５が第２ボデイ１８の内壁面に接触することによ
りチェック機能が営まれる。
【００２４】この場合、前記ニードル弁本体７４の一端
部に連結された摘み部８４を把持して所定方向に回動さ
せることによりニードル弁本体７４が矢印Ｙ方向に沿っ
て進退動作し、ニードル弁本体７４の絞り部８６と着座
部８１との離間間隔を調整することにより、ニードルの
弁開度を調整することができる。なお、参照数字８８
は、ニードル弁本体７４を所定の位置に保持するロック
ナットを示す。
【００２５】図２に示されるように、管継手部２４は円
筒状の管継手本体９０を有し、その一方の端部にはワン
タッチ継手機構９２が設けられ、前記ワンタッチ継手機
構９２には流体圧出入ポート（第２流体圧出入ポート）
９４が形成される。このワンタッチ継手機構９２は、底
部に複数の切欠が形成されたリリースブッシュ９６の外
周に、合成樹脂製のコレット９８と、このコレット９８
の外周に金属製の平板をリング状に形成したチャック１
００と、天然ゴム若しくは合成ゴム等の弾性体で形成さ
れたシール部材１０２とを含む。
【００２６】前記管継手部２４とニードル弁部２０との
間には、前記流体圧出入ポート９４と第２貫通孔７２と
を連通させる第５通路１０４が形成され、前記第５通路
１０４は管継手本体９０の形状に沿って屈曲して形成さ
れる。なお、エルボ状に屈曲して形成された管継手部２
４は、図２に示されるように、ニードル弁部２０の軸線
と略直交する軸線を回動中心として所定方向に回動自在
に設けられる。
【００２７】本実施の形態に係るスピードコントローラ
１０は基本的には以上のように構成されるものであり、
次に、その動作並びに作用効果について説明する。
【００２８】まず、圧力流体供給源１０６と、ダブルソ
レノイドタイプの電磁切換弁１０８と、同一の構成要素
からなる２個のスピードコントローラ１０（以下、第１
スピードコントローラ１０ａ、第２スピードコントロー
ラ１０ｂという）と、シリンダ１１２とをチューブ等の
管体を用いて接続することにより、流体圧回路１１４を
構成する。
【００２９】この場合、電磁切換弁１０８の一方のポー
ト１１６と第１スピードコントローラ１０ａの管継手部
２４の流体圧出入ポート９４との間を第１流体通路１１
８によって接続し、電磁切換弁１０８の他方のポート１
２０と第２スピードコントローラ１０ｂの管継手部２４
の流体圧出入ポート９４との間を第２流体通路１２２に
よって接続する。
【００３０】さらに、第１スピードコントローラ１０ａ
のパイロットチェック弁部１４の流体圧出入ポート６４
とシリンダ１１２の一方のポート１２４との間を第３流
体通路１２６によって接続し、第２スピードコントロー
ラ１０ｂのパイロットチェック弁部１４の流体圧出入ポ
ート６４とシリンダ１１２の他方のポート１２８との間
を第４流体通路１３０によって接続する。
【００３１】さらにまた、第１流体通路１１８の途中か
ら分岐する第１分岐通路１３２を介して電磁切換弁１０
８の一方のポート１１６と第２スピードコントローラの
１１０ｂのパイロットポート３０との間を接続し、第２
流体通路１２２の途中から分岐する第２分岐通路１３４
を介して電磁切換弁１０８の他方のポート１２０と第１
スピードコントローラ１０ａのパイロットポート３０と
を接続する。
【００３２】なお、電磁切換弁１０８は、第１ソレノイ
ド１３６を励磁することにより第１弁位置１３８に切り
換わり、第２ソレノイド１４０を励磁することにより第
２弁位置１４２に切り換わるものとする。また、実際
上、第１スピードコントローラ１０ａおよび第２スピー
ドコントローラ１０ｂは、その雄ねじ部６６をシリンダ
１１２のポート１２４、１２８に直接螺入して使用され
るため、第３流体通路１２６および第４流体通路１３０
を省略してもよい。
【００３３】このようにして流体圧回路１１４の配管作
業が終了した後、第１スピードコントローラ１０ａおよ
び第２スピードコントローラ１０ｂのそれぞれの摘み部
８４、８４を所定方向に回転させ、ニードル弁本体７４
の絞り部８６と着座部８１との間隙を所望の離間間隔に
調整した後、ロックナット８８を介して該ニードル弁本
体７４を所定位置に固定する。
【００３４】このような準備作業を経て図３に示す状態
に配管された流体圧回路１１４において、圧力流体供給
源１０６から供給された圧力流体が電磁切換弁１０８お
よび第１スピードコントローラ１０ａを介してシリンダ
１１２に供給される場合について説明する。
【００３５】まず、圧力流体供給源１０６を付勢すると
ともに、第１ソレノイド１３６を励磁して電磁切換弁１
０８を第１弁位置１３８に切り換える。圧力流体供給源
１０６から供給された圧力流体は、電磁切換弁１０８の
ポート１１６を介して第１スピードコントローラ１０ａ
の管継手部２４の流体圧出入ポート９４に導入される。
【００３６】前記流体圧出入ポート９４から導入された
圧力流体は、屈曲する第５通路１０４（図２参照）を介
してニードル弁部２０の第２貫通孔７２に至り、チェッ
ク弁８３の舌片８５を内方（矢印方向）に撓ませて該チ
ェック弁８３を通過する。すなわち、圧力流体の作用下
に舌片８５を矢印方向に押圧することにより、該舌片８
５が第２ボデイ１８の内壁面から離間して間隙が形成さ
れ、前記間隙を通じて圧力流体が流通する。前記チェッ
ク弁８３を通過した圧力流体は、ニードル弁部２０とパ
イロットチェック弁部１４との連結部位に形成された第
３通路７８および第２通路４６を通じて第１貫通孔４０
に導入される。
【００３７】前記第１貫通孔４０に導入された圧力流体
は、予め最低作動圧が設定された弁体５８を下方側（矢
印Ｘ2 方向）に押圧することにより、図３に示されるよ
うな状態となる。すなわち、圧力流体の押圧力が弁体５
８を上方側に押圧する第２コイルスプリング７０の弾発
力に打ち勝つことにより、該弁体５８が環状凸部６８か
ら離間して弁開状態となる。弁体５８を通過した圧力流
体は、複数の連通孔６２、流体圧出入ポート６４および
ポート１２４を介してシリンダ１１２に供給され、ピス
トンを矢印Ｙ2 方向に押圧する。
【００３８】続いて、ポート１２８を介してシリンダ１
１２から排出された圧力流体は、第２スピードコントロ
ーラ１０ｂによって所定の圧力値に調圧された後、第２
流体通路１２２に連通する電磁切換弁１０８を介して大
気中に排出される。なお、前記第２スピードコントロー
ラ１０ｂの調圧作用は、後述する第１スピードコントロ
ーラ１０ａと同一であるため、その詳細な説明を省略す
る。
【００３９】次に、前記とは逆方向に流通する圧力流体
がシリンダ１１２に供給された後、前記シリンダ１１２
から排出される圧力流体を第１スピードコントローラ１
０ａによって調圧する場合について説明する。
【００４０】まず、図４において、第２ソレノイド１４
０を励磁して電磁切換弁１０８を第２弁位置１４２に切
り換えることにより、第２スピードコントローラ１０ｂ
を介してシリンダ１１２に圧力流体が供給され、ピスト
ンが前記とは逆方向（矢印Ｙ 1 方向）に変位する。
【００４１】前記ピストンの変位作用下にシリンダ１１
２のポート１２４から排出された圧力流体は、第１スピ
ードコントローラ１０ａの流体圧出入ポート６４に導入
され、さらに、複数の連通孔６２を通過して第１貫通孔
４０に至る。
【００４２】その際、第２流体通路１２２から分岐する
第２分岐通路１３４を介してパイロットポート３０に圧
力流体が導入され、前記圧力流体の作用下にステム４２
が下方側（矢印Ｘ2 方向）に押圧される。従って、ステ
ム４２の変位作用下に該ステム４２の一端部に当接する
弁体５８が着座していた環状凸部６８から所定間隔離間
して弁開の状態（図４に示す状態）となる。
【００４３】従って、第１貫通孔４０に到達した圧力流
体は、弁体５８と環状凸部６８との間隙を通過し、さら
に、第２通路４６および第３通路７８を通じてニードル
弁部２０に導入される。この場合、ニードル弁部２０に
導入された圧力流体は、チェック弁８３の舌片８５によ
るチェック作用下にその流通が阻止されるため、キャッ
プ部材７６の孔部８２に沿って流通し、予め設定された
ニードル弁本体７４の絞り部８６と着座部８１との間隙
を通過することにより所望の圧力に調圧される。
【００４４】このようにして調圧された圧力流体は、第
４通路８０および第５通路１０４を介して管継手部２４
に導入され、流体圧出入ポート９４に接続された第１流
体通路１１８を通じて大気中に排出される。
【００４５】上記したように、本実施の形態では、従来
技術においてそれぞれ別体で構成されていたスピードコ
ントローラとパイロットチェック弁とを一体的に構成す
ることにより、配管スペースを可及的に減少させるとと
もに、部品点数を削減してコストの低減化を図ることが
できる。
【００４６】また、本実施の形態では、スピードコント
ローラとパイロットチェック弁とを配管接続する作業が
不要となるため、取付工数を削減して配管作業の簡便化
を図ることが可能となる。
【００４７】次に、他の実施の形態に係るスピードコン
トローラを図５並びに図６に示す。
【００４８】なお、図１に示すスピードコントローラ１
０と同一の構成要素には同一の参照数字を付し、その詳
細な説明を省略する。
【００４９】図５に示すスピードコントローラ１５０で
は、図１に示す実施の形態と比較して、第１ボデイ１２
の第１貫通孔４０の下部側に支持部材６０を設けること
なく、クリップ部材１５２を介して長尺なステム１５４
の一端部に弁体１５６を固定するように構成している点
で異なる。なお、参照数字１５８は、第３コイルスプリ
ングを示す。
【００５０】また、図６に示すスピードコントローラ１
６０では、図１に示す実施の形態と比較して、回動する
管体２６および管継手部２４を設けることなく、ねじ穴
１６２が刻設されたパイロットポート３０を有する部材
１６４を第１ボデイ１２の上部に固定している点で異な
る。
【００５１】これら他の実施の形態では、図１に示すス
ピードコントローラ１０と比較して部品点数が削減さ
れ、より一層のコストダウンを図ることができるという
利点がある。
【００５２】なお、図５並びに図６に示すスピードコン
トローラ１５０、１６０においても、図１と同様の作用
効果を奏することは勿論である。
【００５３】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。
【００５４】すなわち、従来技術においてそれぞれ別体
で構成されていたスピードコントローラとパイロットチ
ェック弁とを一体的に構成することにより、配管スペー
スを可及的に減少させるとともに、部品点数を削減して
コストの低減化を図ることができる。
【００５５】また、従来技術と比較して取付工数が削減
されることにより、配管作業の簡便化を図ることが可能
となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るパイロットチェック
弁付スピードコントローラの縦断面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。
【図３】図１に示すパイロットチェック弁付スピードコ
ントローラが組み込まれた流体圧回路の構成図である。
【図４】図１に示すパイロットチェック弁付スピードコ
ントローラが組み込まれた流体圧回路の構成図である。
【図５】他の実施の形態に係るパイロットチェック弁付
スピードコントローラの縦断面図である。
【図６】他の実施の形態に係るパイロットチェック弁付
スピードコントローラの縦断面図である。
【符号の説明】
１０、１０ａ、１０ｂ、１５０、１６０…パイロットチ
ェック弁付スピードコントローラ
１２、１８、２２…ボデイ １４…パイロットチェック弁部 １６…リング体 ２０…ニードル弁部 ２４…管継手部 ２６…管体 ２８…管継手機
構 ３０…パイロットポート ３６、４８ａ、
４８ｂ…Ｏリング ３８、４６、７８、８０、１０４…通路 ４０、７２…貫通孔 ４２、１５４…
ステム ４４、７０、１５８…コイルスプリング ５８、１５６…弁体 ６０…支持部材 ６４、９４…流体圧出入ポート ６６…雄ねじ部 ６８…環状凸部 ７４…ニードル
弁本体 ７６…キャップ部材 ８１…着座部 ８２…孔部 ８３…チェック
弁 ８５…舌片 ８６…絞り部 ９０…管継手本体

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】一端部に第１流体圧出入ポートが設けら
    れ、他端部にパイロットポートが設けられた第１ボデイ
    を有するパイロットチェック弁部と、 前記第１ボデイと一体的に設けられた第２ボデイを有す
    るニードル弁部と、 一端部に第２流体圧出入ポートが設けられ、前記第２ボ
    デイと一体的に形成された管継手本体を有する管継手部
    と、 前記ニードル弁部内に設けられ、前記第１流体圧出入ポ
    ートと第２流体圧出入ポートとを連通させる流体通路に
    臨み、前記流体通路を流通する圧力流体の流量を調整す
    るニードル弁本体と、 前記パイロットチェック弁部に設けられ、パイロットポ
    ートから供給される圧力流体の作用下に前記第１流体圧
    出入ポートと第２流体圧出入ポートとを連通させる流体
    通路を開閉する弁体と、 を備えることを特徴とするパイロットチェック弁付スピ
    ードコントローラ。
  2. 【請求項２】請求項１記載のスピードコントローラにお
    いて、第２ボデイは、第１ボデイの外周面を囲繞するリ
    ング体と一体的に連結され、前記第１ボデイの軸線を回
    動中心として所定方向に回動自在に設けられることを特
    徴とするパイロットチェック弁付スピードコントロー
    ラ。
  3. 【請求項３】請求項１または２記載のスピードコントロ
    ーラにおいて、ニードル弁部には、第２流体圧出入ポー
    トから第１流体圧出入ポートに向かって圧力流体が流通
    することを許容するとともに、前記とは反対方向に圧力
    流体が流通することを阻止するチェック弁が設けられる
    ことを特徴とするパイロットチェック弁付スピードコン
    トローラ。
  4. 【請求項４】請求項１乃至３のいずれか１項に記載のス
    ピードコントローラにおいて、第１ボデイの上部には、
    前記第１ボデイの軸線を回動中心として、所定方向に回
    動自在に設けられた管継手機構を有することを特徴とす
    るパイロットチェック弁付スピードコントローラ。
  5. 【請求項５】請求項１乃至４のいずれか１項に記載のス
    ピードコントローラにおいて、弁体は、パイロットポー
    トから供給される圧力流体の作用下に変位するステムが
    当接することにより、着座部から離間することを特徴と
    するパイロットチェック弁付スピードコントローラ。
  6. 【請求項６】請求項１乃至５のいずれか１項に記載のス
    ピードコントローラにおいて、弁体は、パイロットポー
    トから供給される圧力流体の作用下に変位するステムに
    固定されて該ステムと一体的に変位することにより、着
    座部から離間することを特徴とするパイロットチェック
    弁付スピードコントローラ。
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