JPH10119225A - 湿式フィルム張付方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 湿式フィルム張付装置において、空泡防止剤
がフィルム張付面と反対側の基板裏面に付着することを
防止する。 【解決手段】 湿式フィルム張付装置１０は、空泡防止
剤塗布装置１８の、基板１２を介して反対側の位置にウ
ェットローラ２８を配置し、且つウェットローラ２８と
ラミネーションロール１６Ｂとの間の位置にゴムローラ
３８からなる拭き取り装置２２を配置してなり、基板１
２の表面１２Ａから、更に裏面１２Ｂ側に流れ出した空
泡防止剤を、ウェットローラ２８から滲み出る洗浄液
（水）によって洗い取り、更にゴムローラ３８によっ
て、洗浄液と残余の空泡防止剤を拭き取る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、液状の空泡防止
剤を、プリント配線盤用基板、液晶表示パネル用基板、
プラズマディスプレイ用基板等に例示される基板の表面
に付着し、この空泡防止剤が付着された基板のフィルム
張付面にラミネーションロールによりフィルムを張り付
ける湿式フィルム張付方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板の製造過程において、透光性支持フィル
ムベースフィルム（通常はポリエステルに代表される樹
脂フィルム）上に感光性樹脂層が形成され、且つ、これ
がカバーフィルムによって覆われた積層体フィルムを、
カバーフィルムを剥がしてプリント配線盤用基板の表面
の導電層に張り付ける工程がある。

【０００３】そして、その後工程では、配線パターンフ
ィルムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光
性支持フィルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光
する。次いで、透光性支持フィルムを剥がした後、露光
された感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパター
ンを形成し、その後、前記導電層の不必要部分をエッチ
ングにより除去し、これにより所定の配線パターンを有
するプリント配線板が形成される。

【０００４】同様のパターン形成は、液晶表示装置にお
けるカラーフィルタ、及び、プラズマディスプレイパネ
ルにおける放電セルの障壁形成等に利用されている。

【０００５】上記のような液晶体フィルムを張り付ける
ためのフィルム張付装置は、フィルム供給ロールに装填
されている連続フィルム（原反フィルム）を、搬送手段
により搬送されてくる基板の、フィルム張付面に、感光
性樹脂層が該基板側となるように導き、ラミネーション
ロールにより、フィルムを基板に圧着しつつ基板を搬送
するようにされている。

【０００６】ここで、基板とフィルムとの間に気泡が噛
み込まれたりすると、後工程で形成されるパターンに欠
陥が生じてしまうので、従来、フィルムと基板との間に
水等の液状の空泡防止剤を塗布してから、基板にフィル
ムを張り付けることが多い。

【０００７】フィルムを基板に圧着するためのラミネー
ションロールは、従来は、内部に発熱体を備え、加熱さ
れた状態でフィルムを基板に熱圧着するようにされてい
たが、近年、基板上のパターンの高精細化が進み、加熱
されたラミネーションロール表面の熱分布が不均一の場
合、構成されるパターンにばらつきが生じたり、又、基
板が薄いガラス板で、且つ張り付けられるフィルムが薄
い場合、加熱したラミネーションロールに挟み込まれる
と、局部的な温度上昇により、ガラス基板に歪みを生じ
たり、フィルムの圧着状態にばらつきを生じたりすると
いう問題点が生じた。

【０００８】このため、基板を予め均一に加熱してお
き、ラミネーションロールは加熱することなく、フィル
ムを基板に確実に張り付けることができるようにしてい
る。

【０００９】この場合、前述のように、フィルム張付前
に空泡防止剤を塗布する湿式フィルム張付方法において
は、液状の空泡防止剤として、例えば特公平１−４３９
４４号公報に開示されるように、感光性樹脂層に対して
非溶媒である液体を用いるようにしている。

【００１０】又、例えば特公昭４６−１０９５８号公報
に開示されるように、空泡防止剤として、ポリビニール
アルコール系樹脂、カルボキシメチルセルロース、アル
ギン酸ソーダ等の増粘作用を有する物質によって、液状
の空泡防止剤である水の粘性を増大したものが用いられ
ている。

【００１１】又、前記特公平１−４３９４４号公報に開
示される方法においては、基板に塗布する液状の空泡防
止剤中に固体分を溶存させている。

【００１２】更に、米国特許第３６２９０３６号明細書
には、液状の空泡防止剤としてホトレジスト溶液を使用
していることが開示されている。

【００１３】上記のような、空泡防止剤は、通常できる
だけ均一に且つ薄く基板に塗布されなければならないの
で、例えば特開平１−２５３９８９号公報に開示される
ように、液状の空泡防止剤をウェットローラによって基
板表面に塗布するようにしている。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】このように、ウェット
ローラあるいは通常のローラによって液状の空泡防止剤
を基板表面に塗布する際に、ローラと基板表面との間に
噛み込み開始位置（ローラ上流側）に空泡防止剤が楔状
に溜まり、これが、ローラに沿って基板幅方向に流れ、
更には、基板裏面に到達することが多い。この場合、空
泡防止剤が単なる水であれば、これを拭き取ることによ
って特に問題が生じない。

【００１５】しかしながら、上記のように、空泡防止剤
にホトレジスト溶液を使用したり、水やアルコール等の
非溶媒液体中に固体分を溶存させたり、あるいは水にポ
リビニールアルコールを混合させたりした場合は、基板
裏面に付着してしまい、単に拭き取るのみではこれを除
去することができない。

【００１６】これらの、基板裏面に到達した空泡防止剤
は、これがそのまま残ると、基板裏面を支えて搬送する
搬送ローラや基板裏面に転接するラミネーションロール
の表面に空泡防止剤が転着し、それら表面を汚してしま
うという問題がある。又、基板を透過式液晶パネルのガ
ラス基板、あるいはプラズマディスプレイパネルとして
利用する場合、空泡防止剤が付着した部分が光の透過を
妨げるので、製品としては使用できず、不良品となって
しまうという問題点がある。

【００１７】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、ホトレジスト溶液、ポリビニール
アルコール、固体分等を含む空泡防止剤が基板裏面に残
らないようにしたフィルム張付方法及び装置を提供する
ことを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本方法発明は、請求項１
のように、基板搬送路に沿って搬送される基板の表面に
ラミネーションロールによりフィルムを張り付ける際
に、フィルム張付位置の上流側位置で前記基板の表面に
液状の空泡防止剤を付着させ、フィルム張付時に、該フ
ィルムと基板との表面間に気泡が残らないようにした湿
式フィルム張付方法において、前記基板への前記空泡防
止剤の付着の際に、該基板の裏面側に流出した空泡防止
剤を洗浄液により洗浄すると共に、この洗浄位置と前記
ラミネーションロールとの間で、基板の裏面に残った洗
浄液を拭き取るようにして、上記目的を達成するもので
ある。

【００１９】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記洗浄液を水としたものである。

【００２０】又、本装置発明は、請求項３のように、フ
ィルム張付前の基板の表面に液状の空泡防止剤を塗布さ
せるように基板搬送路の上側に設けられた空泡防止剤塗
布装置を備え、基板搬送路に沿って基板を搬送する際
に、空泡防止剤塗布装置により基板の表面に空泡防止剤
を塗布してから、ラミネーションロールによりフィルム
を張り付ける湿式フィルム張付装置において、前記空泡
防止剤塗布装置と前記ラミネーションロールとの間の位
置の、基板の裏面側に配置され、該裏面に空泡防止剤洗
浄液を付着させる洗浄装置と、この洗浄装置と前記ラミ
ネーションロールとの間の基板裏面側に配置され、該基
板裏面に付着している空泡防止剤及び洗浄液を拭き取る
拭き取り装置と、を設けることにより、上記目的を達成
するものである。

【００２１】請求項４の発明は、請求項３の発明におい
て、前記洗浄装置を、空泡防止剤洗浄液を塗布するよう
に基板の裏面に転接する洗浄ロールとすると共に、前記
空泡防止剤塗布手段を、前記洗浄ロールと対向して配置
され、該洗浄ロールと共に基板を挟み込みつつ、これに
転接する塗布ロールを含んで構成したものである。

【００２２】請求項５の発明は、請求項４の発明におい
て、前記洗浄ロールを、前記基板の裏面との転接面から
洗浄液を溢出させるウェットロールとしたものである。

【００２３】請求項６の発明は、請求項４又は５の発明
において、前記洗浄ロールを、前記基板裏面との転接面
における基板搬送方向の周速が基板搬送速度よりも小さ
くなるように構成したものである。

【００２４】この発明においては、空泡防止剤塗布装置
の、基板を介して反対側で、洗浄液により基板裏面を洗
浄して空泡防止剤を除去し、次に、洗浄液を拭き取るこ
とによって、基板裏面に空泡防止剤が残留しないように
している。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の湿
式フィルム張付装置の実施の形態の例について詳細に説
明する。

【００２６】図１、図２に示されるように、湿式フィル
ム張付装置１０（全体図示省略）は、基板搬送路Ｉ−Ｉ
に沿って搬送される基板１２の表面１２Ａに、フィルム
１４を、一対のラミネーションロール１６Ａ、１６Ｂに
より圧着する際に、空泡防止剤塗布装置１８により、表
面１２Ａに空泡防止剤を塗布するものであり、該空泡防
止剤塗布装置１８の、基板１２を介して反対側（下側）
に、基板１２の裏面１２Ｂを洗浄する洗浄装置２０と、
この洗浄装置２０と前記ラミネーションロール１６Ｂと
の間の位置で、基板１２の裏面１２Ｂに付着している空
泡防止剤及び洗浄液を拭き取る拭き取り装置２２と、を
設けたものである。

【００２７】前記空泡防止剤塗布装置１８は、基板搬送
路Ｉ−Ｉ上の基板１２の表面１２Ａに転接する塗布ロー
ラ２４と、この塗布ローラ２４の基板搬送方向上流側に
隣接した位置で、基板１２の表面１２Ａに空泡防止剤を
噴射する噴射装置２６とを備えて構成されている。

【００２８】前記塗布ローラ２４は、その表面が、例え
ば撥水性の合成樹脂から構成され、空泡防止剤により内
部が湿潤されないようにされている。又、噴射装置２６
は、塗布ローラ２４に沿って基板１２の幅方向に配置さ
れたパイプに、その長手方向適宜間隔で、且つ、表面１
２Ａに向けて複数の噴射孔２６Ａを形成してなり、該基
板１２の幅方向に均一に空泡防止剤を噴射するようにさ
れている。

【００２９】ここで、噴射装置２６から噴射される空泡
防止剤は、例えばホトレジスト溶液、界面活性剤及び少
量のポリビニールアルコール系樹脂等を含んだ水あるい
はホトレジストの溶媒とならない液体が必要に応じて用
いられ、図２に示されるように、空泡防止剤タンク２７
Ａからポンプ２７Ｂにより、ホース２７Ｃ及び継手２７
Ｄを介し、前記パイプの両端に供給される。

【００３０】前記洗浄装置２０は、前記塗布ローラ２４
に対して基板１２と対向する位置に配置され、該基板１
２の裏面１２Ｂに転接するウェットローラ２８と、この
ウェットローラ２８に洗浄液としての水を供給する給液
装置３０と、ウェットローラ２８から落下した洗浄液を
補集するためのドレンパン３２とを含んで構成されてい
る。

【００３１】前記ウェットローラ２８は、例えば出願人
が既に特開平３−７３４号公報、特開平５−１８５５１
７号公報で開示したものとほぼ同一であり、外周に複数
個の水供給孔２８Ａが設けられた回転自在な円筒状給水
パイプ２８Ｂと、この円筒状給水パイプ２８Ｂの外側を
覆うスポンジ等の水を含み易い多孔性物質からなる被覆
層２８Ｃとを含んで構成されている。

【００３２】前記給液装置３０は、図２に示されるよう
に、水タンク３０Ａ、ポンプ３０Ｂ、ホース３０Ｃ、継
手３０Ｄを備えてなり前記円筒状給水パイプ２８Ｂに、
その軸方向両端から空泡防止液を供給するようにされて
いる。前記継手３０Ｄは、回転状態の前記円筒状給水パ
イプ２８Ｂに給水できるようにされている。

【００３３】図１、図２の符号３４Ａは前記ウェットロ
ーラ２８及び後述のゴムローラ３８の軸方向両端を、相
互に平行に、且つ、回転自在に支持する下部ブロックを
示す。この左右一対の下部ブロック３４Ａは、前記ウェ
ットローラ２８及びゴムローラ３８の下側を被う板状部
材３２Ａにより連結され、該板状部材３２Ａと共に前記
ドレンパン３２を構成している。

【００３４】又、図１、図２の符号３４Ｂは前記噴射装
置２６及び塗布ローラ２４の軸方向両端を支持すると共
に、前記下部ブロック３４Ａに着脱自在とされた上部ブ
ロックを示す。

【００３５】前記塗布ローラ２４は、その両端が上部ブ
ロック３４Ｂに回転自在に支持され、且つ、一方の上部
ブロック３４Ｂからの突出端部には歯車２４Ｇが取付け
られている。

【００３６】又、前記ウェットローラ２８の一方の下部
ブロック３４Ａから突出した端部には歯車２８Ｇが取付
けられ、上部ブロック３４Ｂを下部ブロック３４Ａに取
付けたとき歯車２４Ｇが、歯車２８Ｇと噛み合うように
されている。

【００３７】又、歯車２８Ｇは下部ブロック３４Ａを装
置本体に取付けたとき、該装置本体側の駆動歯車３６と
噛み合い、この駆動歯車３６を介してモータ（図示省
略）により駆動されるようになっている。

【００３８】ここで歯車２８Ｇは歯車２４Ｇよりも大径
とされ、これにより、塗布ローラ２４は基板１２の搬送
速度と同期して回転され、又、前記ウェットローラ２８
は、基板１２の裏面１２Ｂと接触する位置での周速が、
該基板１２搬送方向の搬送速度よりも遅く駆動されるよ
うになっている。

【００３９】前記拭き取り装置２２は、基板１２の裏面
１２Ｂに圧接するゴムローラ３８と、このゴムローラ３
８の下方に設けられ、ゴムローラ３８から滴下する洗浄
液を補集するための前記ドレンパン３２、ゴムローラ３
８の回転中心軸における下部ブロック３４Ａからの突出
端部に取付けられた歯車３８Ａ、これと噛み合う中間歯
車３８Ｂを含んで構成されている。中間歯車３８Ｂは、
下部ブロック３４Ａを装置本体に取付けたとき、前記駆
動歯車３６と噛み合うようにされている。

【００４０】上記のような湿式フィルム張付装置１０に
おいて、空泡防止剤を基板１２の表面１２Ａに塗布しつ
つ、フィルム１４を、ラミネーションロール１６Ａ、１
６Ｂにより圧着する際に、噴射装置２６から噴射された
空泡防止剤は、図１に示されるように、塗布ローラ２４
と基板１２の表面１２Ａとの上流側に隣接した位置に、
楔状に溜まり、これが塗布ローラ２４に沿ってその軸線
方向に溢出し、基板１２の側端から裏面１２Ｂに流れ
る。

【００４１】このとき、空泡防止剤は、ホトレジスト溶
液であったり、ＰＶＡあるいは固体分が溶解された水で
あり、粘性があるので、基板１２の裏面１２Ｂに残存し
てしまう。

【００４２】一方、洗浄装置２０におけるウェットロー
ラ２８には、円筒状給水パイプ２８Ｂを通って供給され
た洗浄液である水が、水供給孔２８Ａから被覆層２８Ｃ
に滲み出す。この被覆層２８Ｃは、スポンジ等の水を含
み易い多孔性物質から構成されているので、被覆層２８
Ｃの外周から滲み出て、基板１２の裏面１２Ｂに流出
し、ここに付着している空泡防止剤を洗い流すことにな
る。

【００４３】ここで、前記ウェットローラ２８は、歯車
２８Ｇによって、基板１２の裏面１２Ｂの接触点におけ
る周速が、基板送り方向に、該基板１２の送り速度より
も遅くなるように駆動されるので、基板１２とウェット
ローラ２８外周との相対速度差によって、裏面１２Ｂに
付着している空泡防止剤が拭き取られるつつ洗い流され
ることになる。

【００４４】この場合、ウェットローラ２８を、基板１
２の進行方向と反対方向に回転させれば、裏面１２Ｂに
付着した空泡防止剤を更に良好に洗い流すことができ、
更に洗い流された空泡防止剤は、ウェットローラ２８の
外周により、基板１２の進行方向と反対方向に排出さ
れ、且つ、水供給孔２８Ａから供給される水によってウ
ェットローラ２８表面からも洗い落とされ、ドレンパン
３２において回収される。

【００４５】ウェットローラ２８によって洗い流されな
かった残余の空泡防止剤及び裏面１２Ｂに付着している
洗浄液は、次の拭き取り装置２２におけるゴムローラ３
８によって、基板１２の裏面１２Ｂから拭き取られる。

【００４６】このゴムローラ３８も、その回転周速を基
板１２の搬送速度よりも遅くするか、あるいは反対方向
にすることによって、裏面１２Ｂに付着している残余の
空泡防止剤及び洗浄液を良好に拭き取ることができる。

【００４７】上記湿式フィルム張付装置１０において、
空泡防止剤塗布装置１８は、塗布ローラ２４、噴射装置
２６とを含んで構成され、塗布ローラ２４はその表面か
ら空泡防止剤が侵入しないような材料によって形成され
ているが、これは、空泡防止剤が、例えばＰＶＡのよう
な粘性の高い物質を含んでいる場合、塗布ローラがスポ
ンジのような多孔性物質から形成されていると、侵入し
た空泡防止剤が固化してローラとしての弾性が失われて
しまうからである。

【００４８】従って、空泡防止剤に含まれる物質が、多
孔性物質を固化するものでないときは、塗布ローラとし
ては、ウェットローラ２８と同様に、多孔性物質から構
成してもよい。

【００４９】又、洗浄装置２０は、多孔性物質のウェッ
トローラ２８を備えているが、これは、洗浄液を基板１
２の裏面１２Ｂに吹き付けるようにしてもよい。

【００５０】更に、拭き取り装置２２は、ゴムローラ３
８を含んで構成されているが、他の拭き取り部材、例え
ばワイパーブレード等によって構成してもよく、又、ロ
ーラ表面を多孔性物質から構成し表面に付着した又は表
面近傍の空泡防止剤をローラ内側から吸引する吸引ロー
ラにより構成してもよい。

【００５１】なお、上記湿式フィルム張付装置１０にお
いて、前記ウェットローラ２８は基板搬送速度よりも遅
くされているが、洗浄水の供給量が充分であれば、ある
いはゴムローラ３８による拭き取りが充分であれば、同
一速度又は速くしてもよい。

【００５２】更に、ウェットローラ２８を上記と逆方向
に回転させて、拭き取りの機能を兼ねるようにしてもよ
い。

【００５３】又、ゴムローラ３８は、基板搬送速度より
も遅い回転速度（周速）とすれば、拭き取りができるの
で、上記と逆方向に回転させてもよい。

【００５４】

【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、空
泡防止剤にホトレジスト溶液やＰＶＡを用いた場合で
も、その基板裏面への付着を防止することができるとい
う優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の例に係る湿式フィルム張
付装置を示す分解斜視図

【図２】図１のII−II線に沿う拡大断面図

【符号の説明】

１０…湿式フィルム張付装置 １２…基板 １２Ａ…表面 １２Ｂ…裏面 １４…フィルム １６Ａ、１６Ｂ…ラミネーションロール １８…空泡防止剤塗布装置 ２０…洗浄装置 ２２…拭き取り装置 ２４…塗布ローラ ２６…噴射装置 ２８…ウェットローラ ２８Ａ…水供給孔 ２８Ｂ…円筒状給水パイプ ２８Ｃ…被覆層 ３０…給液装置 ３２…ドレンパン ３８…ゴムローラ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板搬送路に沿って搬送される基板の表面
   にラミネーションロールによりフィルムを張り付ける際
   に、フィルム張付位置の上流側位置で前記基板の表面に
   液状の空泡防止剤を付着させ、フィルム張付時に、該フ
   ィルムと基板との表面間に気泡が残らないようにした湿
   式フィルム張付方法において、前記基板への前記空泡防
   止剤の付着の際に、該基板の裏面側に流出した空泡防止
   剤を洗浄液により洗浄すると共に、この洗浄位置と前記
   ラミネーションロールとの間で、基板の裏面に残った洗
   浄液を拭き取ることを特徴とする湿式フィルム張付方
   法。
2. 【請求項２】請求項１において、前記洗浄液を水とした
   ことを特徴とする湿式フィルム張付方法。
3. 【請求項３】フィルム張付前の基板の表面に液状の空泡
   防止剤を塗布させるように基板搬送路の上側に設けられ
   た空泡防止剤塗布装置を備え、基板搬送路に沿って基板
   を搬送する際に、空泡防止剤塗布装置により基板の表面
   に空泡防止剤を塗布してから、ラミネーションロールに
   よりフィルムを張り付ける湿式フィルム張付装置におい
   て、前記空泡防止剤塗布装置と前記ラミネーションロー
   ルとの間の位置の、基板の裏面側に配置され、該裏面に
   空泡防止剤洗浄液を付着させる洗浄装置と、この洗浄装
   置と前記ラミネーションロールとの間の基板裏面側に配
   置され、該基板裏面に付着している空泡防止剤及び洗浄
   液を拭き取る拭き取り装置と、を設けたことを特徴とす
   る湿式フィルム張付装置。
4. 【請求項４】請求項３において、前記洗浄装置を、空泡
   防止剤洗浄液を塗布するように基板の裏面に転接する洗
   浄ロールとすると共に、前記空泡防止剤塗布手段を、前
   記洗浄ロールと対向して配置され、該洗浄ロールと共に
   基板を挟み込みつつ、これに転接する塗布ロールを含ん
   で構成したことを特徴とする湿式フィルム張付装置。
5. 【請求項５】請求項４において、前記洗浄ロールを、前
   記基板の裏面との転接面から洗浄液を溢出させるウェッ
   トロールとしたことを特徴とする湿式フィルム張付装
   置。
6. 【請求項６】請求項４又は５において、前記洗浄ロール
   を、前記基板裏面との転接面における基板搬送方向の周
   速が基板搬送速度よりも小さくなるように構成したこと
   を特徴とする湿式フィルム張付装置。