JPH0611863U - ロールコータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 液溜部内の塗液の品質を許容程度に維持し、
基板表面に形成される塗膜の高精度化の要求に応えると
ともに、塗液の有効な使用を図って塗液消費量を低減さ
せる。 【構成】 塗液供給用ロール28の外周円筒面と対向して
スクレーパ34を配設し、アプリケータロール10から基板
１へ転移されずにその外周円筒面に付着残留した塗液を
スクレーパによって回収し、回収された塗液を液溜部30
へ戻し、液溜部内の塗液の品質が許容程度に維持される
範囲で回収塗液を再使用する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、液晶用ガラス基板、フレキシブルＬＣＤ用フィルム、イメージセ ンサ用基板、半導体基板等の各種基板の表面に塗液、例えばフォトレジスト液、 カラーフィルタ用顔料、ポリイミド樹脂等を塗布して、基板表面に均一かつ所定 の膜厚の塗膜を形成するのに使用されるロールコータに関する。

【０００２】

【従来の技術】

この種のロールコータとしては、従来、例えば図８や図９に示すような構成の ものが使用されている。図８に示したロールコータは、外周円筒面の、少なくと も表層部分がゴム材等の弾性素材で形成されたアプリケータロール10の外周円筒 面にドクタロール12の外周円筒面を近接させ、これらアプリケータロール10とド クタロール12との近接部の上部に液溜部14を形成し、この液溜部14の上方に、液 溜部14内へフォトレジスト液等の塗液を供給する塗液供給管16を配設し、アプリ ケータロール10の下方に、液晶用ガラス基板等の基板１を水平方向へ搬送する複 数の搬送ロール18を配設するとともに、その水平搬送路を挾んでアプリケータロ ール10と対向するようにバックアップロール20を配設することにより構成されて いる。そして、このロールコータを使用して基板表面にフォトレジスト膜等の所 定の膜厚の塗膜を形成するには、塗液供給管16から液溜部14へ塗液を供給し、ア プリケータロール10及びバックアップロール20を回転させながら、搬送ロール18 によって基板１を水平方向へ搬送し、アプリケータロール10とバックアップロー ル20との間に基板１を通すことにより、アプリケータロール10の外周円筒面から 基板１の表面へ塗液が転移されるようにする。

【０００３】 図９に示したロールコータは、外周円筒面の、少なくとも表層部分がゴム材等 の弾性素材で形成されたアプリケータロール10と、外周円筒面に切欠き段差部が 形成されたドクタとしてのナイフロール26及びこのナイフロール26と近接すると ともにアプリケータロール10に接触又は近接してアプリケータロール10と同一方 向に回転するメタルロール（塗液供給用ロール）28とを備え、ナイフロール26は メタルロール28に対して一定範囲内で接離自在に支持されており、ナイフロール 26とメタルロール28との近接部上部に塗液の液溜部30が形成されるようになって いる。また、基板１は、ステージ32に吸着保持されて水平方向へ搬送されるよう になっている。このロールコータを使用して基板表面に所定の膜厚の塗膜を形成 するには、塗液供給管16から液溜部30へ塗液を供給し、メタルロール28及びアプ リケータロール10を回転させることにより、塗液を液溜部30からメタルロール28 の外周円筒面を経てアプリケータロール10の外周円筒面へ転移させてその外周円 筒面に薄膜状に保持させるとともに、基板移送用ステージ32の吸着保持機構によ ってステージ32上に基板１を吸着保持し、ステージ32を水平方向へ移動させて、 基板１をアプリケータロール10の直下位置へ移送する。そして、ステージ32に吸 着保持されて水平方向へ移送される基板１の表面に、アプリケータロール10を回 転させながらその外周円筒面を接触させ又は押し付け、アプリケータロール10の 外周円筒面から基板１の表面へ塗液が転移するようにされる。従って、アプリケ ータロール10の外周円筒面は、基板１表面に接触した状態において、又は、アプ リケータロール10の外周円筒面を基板１表面に押し付ける場合はそのアプリケー タロール10の外周円筒面の一部が弾性変形した状態において、塗液の塗布が行な われることになる（例えば実開平２−１３３４７０号公報等参照）。

【０００４】 ところで、上記したようなそれぞれのロールコータにおいて、アプリケータロ ールの外周円筒面の軸線方向長さが基板の幅寸法より長い場合には、アプリケー タロールの外周円筒面から基板の表面へ塗液が転移されて基板表面に塗液が塗布 されたとき、アプリケータロールの回転方向における、基板表面との接触位置よ り後方側の位置では、アプリケータロールの外周円筒面の、基板の幅寸法を越え る両側部分に、基板表面へ転移されずに塗液が残留することになる。そして、こ の残留した塗液は、アプリケータロールの外周円筒面から液溜部内へ持ち込まれ 、また、アプリケータロールの外周円筒面から、アプリケータロールに対しリバ ース回転する塗液供給用ロールの外周円筒面を介して液溜部内へ持ち込まれる。 ここで、アプリケータロールの外周円筒面或いは塗液供給用ロールの外周円筒面 に付着した状態で液溜部内へ持ち込まれた塗液は、液溜部から流出した後再び液 溜部内へ戻されるまでの間に、溶剤の揮発などによるレオロジー変化により、最 初に液溜部から流出したときとは塗布性が異なっており、液溜部内に貯留された 新鮮な塗液の品質を低下させることになる。また、基板が間隔を置いて水平方向 へ順次搬送され、アプリケータロールの下方位置へ送り込まれてくる場合におい て、アプリケータロールの外周円筒面が基板の表面と接触していない時期（イン ターバル中）には、アプリケータロールの外周円筒面に付着した塗液は、基板の 表面へ転移されないまま液溜部へ戻され、液溜部内の新鮮な塗液の品質を低下さ せる。そして、アプリケータロールの外周円筒面或いは塗液供給用ロールの外周 円筒面に付着した状態で液溜部内へ戻された塗液は、その相当の部分がそのまま ロール外周円筒面に付着保持されて再び液溜部から出ていくことになる。この結 果、塗膜の高精度化の要求に応えられなくなる。

【０００５】 上記したようなアプリケータロール外周円筒面から液溜部内への塗液の戻りに よる問題を解消するため、図８及び図９に示すように、アプリケータロール10の 回転方向における、アプリケータロール10外周円筒面と基板１表面との接触位置 より後方側の位置に、アプリケータロール10の外周円筒面と対向して残留塗液回 収用のスクレーパ22を付設し、また、メタルロール（塗液供給用ロール）28の外 周円筒面と対向して残留塗液回収用のスクレーパ34を付設し、そのスクレーパ22 、34によりアプリケータロール10の外周円筒面又は塗液供給用ロール28の外周円 筒面から残留塗液を掻き取って回収用トレイ24、36内へ回収するようにすること が行なわれている。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、図８や図９に示した従来のロールコータでは、アプリケータロ ールの回転方向における、アプリケータロール外周円筒面と基板表面との接触位 置より後方側の位置において、アプリケータロールの外周円筒面に付着残留し、 或いは、アプリケータロールの外周円筒面から塗液供給用ロールの外周円筒面へ 転移された残留塗液は、液溜部内へ持ち込まれないようにするためスクレーパに よってアプリケータロール外周円筒面或いは塗液供給用ロール外周円筒面から掻 き取って全て回収し、ロールコータの系外へ排出するようにしている。このため 、塗液の使用量が多くなる。特に、基板が間隔を置いて順次アプリケータロール の下方位置へ送り込まれてくるような場合、アプリケータロールの外周円筒面が 基板の表面と接触していないインターバル時期においては、アプリケータロール の外周円筒面に付着保持された塗液は、基板表面へ移転されずにそのまま全てア プリケータロール外周円筒面に付着残留し、その残留塗液は、スクレーパによっ てアプリケータロール外周円筒面或いは塗液供給用ロール外周円筒面から掻き取 られ、塗液として使用されないまま全部回収されてしまうことになり、塗液の消 費量が極めて多くなってしまう、といった問題点がある。

【０００７】 この考案は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、液溜部内の塗液 の品質を許容程度に維持しながら、塗液の有効な使用を図って塗液消費量を従来 に比べて低減させることができるロールコータを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

少なくとも表層部分が弾性を有するアプリケータロールと、このアプリケータ ロールの外周円筒面に供給する塗液を貯留する液溜部と、この液溜部へ塗液を供 給する塗液供給手段と、前記アプリケータロールの下方に配設され、基板を水平 方向へ搬送する基板搬送手段とを備えたロールコータにおいて、この発明では、 前記アプリケータロールの回転方向における、アプリケータロール外周円筒面と 前記基板の表面との接触位置より後方側の位置に、アプリケータロールの外周円 筒面に付着残留した塗液を回収する塗液回収手段を設けるとともに、その塗液回 収手段によって回収された塗液の一部又は全部を前記液溜部へ送給する塗液送給 手段を設けるようにした。

【０００９】 上記塗液回収手段は、アプリケータロールの外周円筒面と対向してスクレーパ を配設することにより構成される。或いは、アプリケータロールの外周円筒面に 対し外周円筒面を近接させて塗液供給用ロールを配設し、その塗液供給用ロール の外周円筒面と対向してスクレーパを配設することにより塗液回収手段を構成す ることができる。

【００１０】 上記塗液送給手段には、塗液回収手段によって回収され液溜部へ送給される塗 液の濃度を調整する手段を付設するようにしてもよい。また、塗液回収手段によ って回収された塗液の一部を排出する塗液排出手段を設けるようにすることもで きる。

【００１１】 塗液回収手段によって回収された塗液の一部を排出する塗液排出手段を設ける ようにする場合において、塗液回収手段を、アプリケータロールの外周円筒面に 付着残留した塗液の一部を掻き取る第１のスクレーパと、この第１のスクレーパ によって塗液の一部が掻き取られた後の残りの塗液を掻き取る第２のスクレーパ とを有した構成とし、それら２つのスクレーパのうちの一方のスクレーパによっ て掻き取られた塗液を塗液排出手段によって排出し、他方のスクレーパによって 掻き取られた塗液を塗液送給手段によって液溜部へ送給するようにすることがで きる。この場合、塗液排出手段によって排出されるべき塗液を掻き取るスクレー パを、アプリケータロールの外周円筒面の、軸線方向における両端部領域に付着 残留した塗液を掻き取るように配置した構成とするとよい。

【００１２】 また、別の構成として、少なくとも表層部分が弾性を有するアプリケータロー ルの外周円筒面に外周円筒面が接触又は近接するようにドクタロールを配設して 、それら両ロールの外周円筒面の間に液溜部が形成されるようにした構成のロー ルコータにおいて、前記アプリケータロールの回転方向における、アプリケータ ロール外周円筒面と水平方向へ搬送される基板の表面との接触位置より後方側の 位置に、アプリケータロールの外周円筒面と対向して第１のスクレーパを配設す るとともに、前記液溜部の内部に、前記アプリケータロールの外周円筒面と対向 して第２のスクレーパを配設し、第１のスクレーパによって塗液の一部が掻き取 られた後の残りの塗液を第２のスクレーパによってアプリケータロール外周円筒 面から掻き取るようにする塗液回収手段を設けるとともに、第１のスクレーパに よって掻き取られた塗液を排出する塗液排出手段を設けるようにした。この場合 、第１のスクレーパを、アプリケータロールの外周円筒面の、軸線方向における 両端部領域に付着残留した塗液を掻き取るように配置した構成とするとよい。

【００１３】 さらに別の構成として、少なくとも表層部分が弾性を有するアプリケータロー ルを備え、このアプリケータロールの外周円筒面に外周円筒面が接触又は近接す るように配設された塗液供給用ロールと、この塗液供給用ロールの外周円筒面に 接触又は近接するように配設されたドクタとの間に液溜部が形成されるようにし た構成のロールコータにおいて、前記アプリケータロールの回転方向における、 アプリケータロール外周円筒面と水平方向へ搬送される基板の表面との接触位置 より後方側の位置に、アプリケータロールの外周円筒面又は前記塗液供給用ロー ルの外周円筒面と対向して第１のスクレーパを配設するとともに、前記液溜部の 内部に、前記塗液供給用ロールの外周円筒面と対向して第２のスクレーパを配設 し、第１のスクレーパによって塗液の一部が掻き取られた後の残りの塗液を第２ のスクレーパによって塗液供給用ロール外周円筒面から掻き取るようにする塗液 回収手段を設けるとともに、第１のスクレーパによって掻き取られた塗液を排出 する塗液排出手段を設けるようにした。この場合、第１のスクレーパを、アプリ ケータロールの外周円筒面の、軸線方向における両端部領域に付着残留した塗液 を掻き取るように配置した構成とするとよい。

【００１４】

【作用】

上記した第１の構成のロールコータでは、アプリケータロールの外周円筒面か ら基板の表面へ転移されずにアプリケータロール外周円筒面に付着残留した塗液 は、塗液回収手段によって回収され、液溜部内へ持ち込まれることがない。従っ て、液溜部内に貯留された新鮮な塗液の品質が直ちに低下するようなことはない 。一方、塗液回収手段によって回収された塗液の一部又は全部は、液溜部内の塗 液の品質が許容程度に維持される範囲で、塗液送給手段によって液溜部へ送給さ れ再使用されるようにすることができるため、塗液が有効に使用されて新鮮な塗 液の消費量が低減する。

【００１５】 上記した別の構成並びにさらに別の構成に係るそれぞれのロールコータでは、 アプリケータロールの外周円筒面から基板の表面へ転移されずにアプリケータロ ール外周円筒面に付着残留した塗液は、塗液回収手段の第１のスクレーパによっ て一部が回収され、その塗液の一部は塗液排出手段によって排出される。従って 、液溜部内へ持ち込まれる残留塗液の量が減少し、液溜部内に貯留された新鮮な 塗液の品質の低下が防がれる。一方、第１のスクレーパによって塗液の一部が掻 き取られた後の残りの塗液は、液溜部の内部において第２のスクレーパによって アプリケータロールの外周円筒面或いは塗液供給用ロールの外周円筒面から掻き 取られ、液溜部内へ戻されて再使用される。従って、塗液が有効に使用されて新 鮮な塗液の消費量が低減する。そして、アプリケータロールの外周円筒面或いは 塗液供給用ロールの外周円筒面では、その外周円筒面に付着した状態で液溜部内 へ戻された塗液が第２のスクレーパによって掻き取られた後、その外周円筒面に 新鮮な塗液が新たに付着し、常に新鮮な塗液がアプリケータロール外周円筒面或 いは塗液供給用ロール外周円筒面に付着保持されて液溜部から出ていくことにな る。

【００１６】

【実施例】

以下、この考案の好適な実施例について図面を参照しながら説明する。

【００１７】 図１ないし図７はそれぞれ、この考案に係るロールコータの種々の構成例を示 す模式図である。

【００１８】 図１に示したロールコータは、図８に示した従来のロールコータと同一の基本 構成を有したものであり、図１において、図８で使用した符号と同一符号を付し たものは、図８に関して上述した部材と同一機能、同一作用をなす同一部材を示 し、その説明は省略する。このロールコータには、基板１の表面に転移されずに アプリケータロール10の外周円筒面に付着残留しスクレーパ22によってアプリケ ータロール10外周円筒面から掻き取られて回収用トレイ24に回収された塗液を移 送するための送液管路38が設けられており、この送液管路38は塗液貯留槽40へ導 かれ、回収塗液が塗液貯留槽40に一旦貯留される構成となっている。また、塗液 貯留槽40には、送給ポンプ44及びフィルタ46が介挿接続された送給管路42の一端 が接続され、その送給管路42の他端が液溜部14の上方に配置されている。そして 、塗液貯留槽40に貯留された回収塗液の一部又は全部が送給管路42を通して液溜 部14内へ戻されるようになっている。この場合、送給管路42を通して液溜部14内 へ戻される回収塗液の量は、液溜部14内の塗液の品質が許容程度に維持される範 囲に止められる。液溜部14内へ戻された回収塗液は、塗液供給管16から液溜部14 内へ供給された新鮮な塗液に混入され、有効に再使用される。また、塗液貯留槽 40に貯留された不要な回収塗液は、バルブ50が介挿接続された排液管路48を通し て適宜系外へ排出されるように構成されている。

【００１９】 図２に示したロールコータは、図９に示した従来のロールコータと同一の基本 構成を有したものである。この図２において、図９で使用した符号と同一符号を 付したものは、図９に関して上述した部材と同一機能、同一作用をなす同一部材 を示し、その説明は省略する。このロールコータは、基板１の表面へ転移されず にアプリケータロール10の外周円筒面に付着残留しアプリケータロール10外周円 筒面から塗液供給用ロール（メタルロール）28の外周円筒面へ転移された後スク レーパ34によって塗液供給用ロール28外周円筒面から掻き取られて回収用トレイ 36に回収された塗液を移送するための送液管路52、この送液管路52の先端が接続 され、回収用トレイ36から送られた回収塗液を一旦貯留する塗液貯留槽54、並び に、この塗液貯留槽54に一端が接続されるとともに、他端が液溜部30の上方に配 置され、送給ポンプ44及びフィルタ46が介挿接続されて、塗液貯留槽54に貯留さ れた回収塗液を液溜部30内へ送給する送給管路42を備えている。そして、このロ ールコータには、塗液貯留槽54に溶剤供給管路56が接続されており、溶剤の揮発 などによって濃度が変化した回収塗液に溶剤供給管路56を通して適宜の量の溶剤 を添加することにより、塗液貯留槽54内の回収塗液の濃度を調整し、濃度調整さ れた回収塗液を送給管路42を通し液溜部30へ送給する構成となっている。

【００２０】 図３に示したロールコータは、アプリケータロール10、塗液の液溜槽58、この 液溜槽58の上方に近接して配設された回転自在のドクタとしてのグラビアロール 60、このグラビアロール60及びアプリケータロール10にそれぞれ接触して回転す るオフセットゴムロール62、並びに、オフセットゴムロール62に付設されたスク レーパロール64及び回収用トレイ66を備え、グラビアロール60がオフセットゴム ロール62に対して一定押し込み量だけ移動自在に構成されている。そして、この ロールコータにも、図１或いは図２に示した構成と同様の構成の塗液回収・送給 手段が設けられており、オフセットゴムロール62の外周円筒面から掻き取られて 回収用トレイ66に回収された塗液の一部又は全部を液溜槽58へ戻す構成となって いる。

【００２１】 図４に示したロールコータは、図２に示したロールコータと同一の基本構成を 有したものであるが、このロールコータには、アプリケータロール10及び塗液供 給用ロール28にそれぞれスクレーパ68、72及び回収用トレイ70、74が付設されて いる。そして、このロールコータでは、基板１の表面へ転移されずにアプリケー タロール10の外周円筒面に付着残留した塗液を２段階に分けて回収するようにし ている。この場合、アプリケータロール10に付設された第１のスクレーパ68によ る１段階目の塗液回収では、図５に示すように、アプリケータロール10の外周円 筒面から、その軸線方向における両端部領域に付着残留した塗液76を掻き取るよ うに、第１のスクレーパ68を構成配置し、続いて、塗液供給用ロール28に付設さ れた第２のスクレーパ72による２段階目の塗液回収において、第１のスクレーパ 68によってアプリケータロール10の外周円筒面から塗液の一部が掻き取られた後 にその軸線方向における中央部領域に残留しアプリケータロール10外周円筒面か ら塗液供給用ロール28の外周円筒面へ転移された塗液を掻き取るようにするとよ い。そして、第１のスクレーパ68によってアプリケータロール10の外周円筒面か ら掻き取られて回収用トレイ70に回収された塗液は、塗液排出手段によって系外 へ排出するようにし、一方、第２のスクレーパ72によって塗液供給用ロール28の 外周円筒面から掻き取られて回収用トレイ74に回収された塗液は、図１或いは図 ２に示した構成と同様の構成の塗液回収・送給手段によって液溜槽30へ戻すよう にすればよい。さらに、液溜槽30にゴミなどの異物が入った場合に、これを除去 するには、まず、図４においてナイフロール26を時計方向へ回動させて塗液供給 用ロール28とナイフロール26との間隔を大きくし、異物が混入されている塗液を アプリケータロール10へ供給する。このようにすると、塗液に混入している異物 はアプリケータロール10の表面に浮遊し、第１のスクレーパ68により掻き取って 排出することができる、また、たとえ異物が第１のスクレーパ68によって掻き取 られなくても、異物は第２のスクレーパ72によって確実に掻き取られ、図１及び 図２に示されるフィルタ46によって液溜槽30への異物の再混入が阻止される。

【００２２】 尚、図４に示したロールコータのようにアプリケータロール10の外周円筒面に 付着残留した塗液を２段階に分けて回収するようにする場合において、アプリケ ータロール10の外周円筒面に付着した塗液の膜厚が例えば２mmであるときに、第 １のスクレーパ68による１段階目の塗液回収では、アプリケータロール10の外周 円筒面全体から上層部分の１mmの厚みの塗液を掻き取るようにし、続いて、第２ のスクレーパ72による２段階目の塗液回収において、アプリケータロール10の外 周円筒面から塗液供給用ロール28の外周円筒面へ転移された、残りの１mmの厚み の塗液を塗液供給用ロール28の外周円筒面全体から掻き取るような構成とするこ ともできる。また、図４に示したロールコータでは、アプリケータロール10及び 塗液供給用ロール28のそれぞれにスクレーパ68、72を付設するようにしているが 、２つのスクレーパをアプリケータロール10にだけ、或いは塗液供給用ロール28 にだけ配設するようにしてもよい。さらに、図１に示したような基本構成のロー ルコータにおいて、２つのスクレーパをアプリケータロール10に付設するように してもよい。尚、図４において、アプリケータロール10は、表層部分が弾性素材 から成るので、その表面に第１のスクレーパ68を押し付けてアプリケータロール 10の表面を凹ませるのが好ましくない場合には、第１のスクレーパ68及び回収用 トレイ70を金属から成る塗液供給用ロール28の方に付設するようにすればよい。

【００２３】 図６に示したロールコータは、図１に示したロールコータと同一の基本構成を 有したものであるが、このロールコータには、アプリケータロール10にスクレー パ22及び回収用トレイ24が付設されている他、液溜部14の内部に、アプリケータ ロール10の外周円筒面と対向して第２のスクレーパ78が配設されている。そして 、第１のスクレーパ22により、アプリケータロール10の外周円筒面に付着残留し ている塗液の一部をアプリケータロール10外周円筒面から掻き取って回収用トレ イ24に回収し、その回収塗液を塗液排出手段によって系外へ排出するようにする とともに、アプリケータロール10の外周円筒面に付着している残りの塗液を液溜 部14内において第２のスクレーパ78によってアプリケータ10の外周円筒面から掻 き取り、掻き取られた塗液はそのまま液溜部14内に回収し、新鮮な塗液に混入さ せて再使用するようにする。この場合、図５に示したように、第１のスクレーパ 22による１段階目の塗液回収では、アプリケータロール10の外周円筒面から、そ の軸線方向における両端部領域に付着残留した塗液を掻き取った後、第２のスク レーパ78により、アプリケータロール10の外周円筒面の中央部領域に残った塗液 を掻き取るような構成としてもよいし、第１のスクレーパ22によってアプリケー タロール10の外周円筒面全体から上層部分の所定厚みの塗液を掻き取った後、第 ２のスクレーパ78によって残りの塗液をアプリケータロール10の外周円筒面全体 から掻き取るような構成としてもよい。

【００２４】 また、図７に示したロールコータは、図２に示したロールコータと同一の基本 構成を有したものであるが、このロールコータには、塗液供給用ロール28にスク レーパ34及び回収用トレイ36が付設されている他、液溜部30の内部に、塗液供給 用ロール28の外周円筒面と対向して第２のスクレーパ80が配設されている。この ロールコータも、図６に示したロールコータと同様に動作する。尚、図７に示し たロールコータでは、第１のスクレーパ34を塗液供給用ロール28に配設している が、第１のスクレーパをアプリケータロール10に配設するようにしてもよい。

【００２５】

【考案の効果】

この考案は以上説明したように構成されかつ作用するので、この考案に係るロ ールコータを使用して基板表面に塗液を塗布するときは、液溜部内の塗液の品質 を許容程度に維持して塗膜の高精度化の要求に応え得るとともに、塗液を有効に 使用して塗液消費量を低減させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案に係るロールコータの１構成例を示す
模式図である。

【図２】この考案に係るロールコータの別の構成例を示
す模式図である。

【図３】この考案に係るロールコータのさらに別の構成
例を示す模式図である。

【図４】この考案に係るロールコータのさらに別の構成
例を示す模式図である。

【図５】図４に示したロールコータの一部を示す斜視図
であって、スクレーパによりアプリケータロールの外周
円筒面から塗液を掻き取っている状態を説明するための
図である。

【図６】上記とは別の構成を有するロールコータの模式
図である。

【図７】上記とはさらに別の構成を有するロールコータ
の模式図である。

【図８】従来のロールコータの構成の１例を示す模式図
である。

【図９】従来のロールコータの別の構成例を示す模式図
である。

【符号の説明】

１ 基板 10 アプリケータロール 12 ドクタロール 14、30 液溜部 16 塗液供給管 18 搬送ロール 20 バックアップロール 22、34 スクレーパ 24、36、66、70、74 回収用トレイ 26 ナイフロール（ドクタ） 28 メタルロール（塗液供給用ロール） 32 ステージ 38、52 送液管路 40、54 塗液貯留槽 42 送給管路 48 排液管路 56 溶剤供給管路 58 塗液の液溜槽 60 グラビアロール（ドクタ） 62 オフセットゴムロール 64 スクレーパロール 68 第１のスクレーパ 72、78、80 第２のスクレーパ 76 塗液

Claims (10)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも表層部分が弾性を有するアプ
   リケータロールと、このアプリケータロールの外周円筒
   面に供給する塗液を貯留する液溜部と、この液溜部へ塗
   液を供給する塗液供給手段と、前記アプリケータロール
   の下方に配設され、基板を水平方向へ搬送する基板搬送
   手段とを備え、前記基板搬送手段によって水平方向へ搬
   送される基板の表面に前記アプリケータロールの外周円
   筒面を接触させ又は押し付けながら回転させることによ
   り基板表面に塗液を塗布するようにしたロールコータに
   おいて、前記アプリケータロールの回転方向における、
   アプリケータロール外周円筒面と前記基板の表面との接
   触位置より後方側の位置に、アプリケータロールの外周
   円筒面に付着残留した塗液を回収する塗液回収手段を設
   けるとともに、その塗液回収手段によって回収された塗
   液の一部又は全部を前記液溜部へ送給する塗液送給手段
   を設けたことを特徴とするロールコータ。
2. 【請求項２】 塗液回収手段が、アプリケータロールの
   外周円筒面と対向して配設され、その外周円筒面から塗
   液を掻き取るスクレーパを有した請求項１記載のロール
   コータ。
3. 【請求項３】 アプリケータロールの外周円筒面に対し
   外周円筒面を近接させて塗液供給用ロールを配設し、塗
   液回収手段が、前記塗液供給用ロールの外周円筒面と対
   向して配設され、その外周円筒面から塗液を掻き取るス
   クレーパを有した請求項１記載のロールコータ。
4. 【請求項４】 塗液送給手段に、塗液回収手段によって
   回収され液溜部へ送給される塗液の濃度を調整する手段
   が付設された請求項１ないし請求項３のいずれかに記載
   のロールコータ。
5. 【請求項５】 塗液回収手段によって回収された塗液の
   一部を排出する塗液排出手段が設けられた請求項１記載
   のロールコータ。
6. 【請求項６】 塗液回収手段が、アプリケータロールの
   外周円筒面に付着残留した塗液の一部を掻き取る第１の
   スクレーパと、この第１のスクレーパによって塗液の一
   部が掻き取られた後の残りの塗液を掻き取る第２のスク
   レーパとを有し、それら２つのスクレーパのうちの一方
   のスクレーパによって掻き取られた塗液は塗液排出手段
   によって排出され、他方のスクレーパによって掻き取ら
   れた塗液は塗液送給手段によって液溜部へ送給されるよ
   うにした請求項５記載のロールコータ。
7. 【請求項７】 塗液排出手段によって排出されるべき塗
   液を掻き取るスクレーパが、アプリケータロールの外周
   円筒面の、軸線方向における両端部領域に付着残留した
   塗液を掻き取るように配置された請求項６記載のロール
   コータ。
8. 【請求項８】 少なくとも表層部分が弾性を有するアプ
   リケータロールと、このアプリケータロールの外周円筒
   面に外周円筒面が接触又は近接するように配設され、ア
   プリケータロールの外周円筒面との間に液溜部を形成す
   るドクタロールと、前記液溜部へ塗液を供給する塗液供
   給手段と、前記アプリケータロールの下方に配設され、
   基板を水平方向へ搬送する基板搬送手段とを備え、前記
   基板搬送手段によって水平方向へ搬送される基板の表面
   に前記アプリケータロールの外周円筒面を接触させ又は
   押し付けながら回転させることにより基板表面に塗液を
   塗布するようにしたロールコータにおいて、前記アプリ
   ケータロールの回転方向における、アプリケータロール
   外周円筒面と前記基板の表面との接触位置より後方側の
   位置に、前記アプリケータロールの外周円筒面と対向し
   て配設され、その外周円筒面から塗液を掻き取る第１の
   スクレーパと、前記液溜部の内部に、前記アプリケータ
   ロールの外周円筒面と対向して配設され、前記第１のス
   クレーパによって塗液の一部が掻き取られた後の残りの
   塗液をアプリケータロール外周円筒面から掻き取る第２
   のスクレーパとを有し、アプリケータの外周円筒面に付
   着残留した塗液を回収する塗液回収手段を設けるととも
   に、前記第１のスクレーパによって掻き取られた塗液を
   排出する塗液排出手段を設けたことを特徴とするロール
   コータ。
9. 【請求項９】 少なくとも表層部分が弾性を有するアプ
   リケータロールと、このアプリケータロールの外周円筒
   面に外周円筒面が接触又は近接するように配設された塗
   液供給用ロールと、この塗液供給用ロールの外周円筒面
   に接触又は近接するように配設され、塗液供給用ロール
   の外周円筒面との間に液溜部を形成するドクタと、前記
   液溜部へ塗液を供給する塗液供給手段と、前記アプリケ
   ータロールの下方に配設され、基板を水平方向へ搬送す
   る基板搬送手段とを備え、前記基板搬送手段によって水
   平方向へ搬送される基板の表面に前記アプリケータロー
   ルの外周円筒面を接触させ又は押し付けながら回転させ
   ることにより基板表面に塗液を塗布するようにしたロー
   ルコータにおいて、前記アプリケータロールの回転方向
   における、アプリケータロール外周円筒面と前記基板の
   表面との接触位置より後方側の位置に、前記アプリケー
   タロールの外周円筒面又は前記塗液供給用ロールの外周
   円筒面と対向して配設され、その外周円筒面から塗液を
   掻き取る第１のスクレーパと、前記液溜部の内部に、前
   記塗液供給用ロールの外周円筒面と対向して配設され、
   前記第１のスクレーパによって塗液の一部が掻き取られ
   た後の残りの塗液を塗液供給用ロール外周円筒面から掻
   き取る第２のスクレーパとを有し、アプリケータの外周
   円筒面に付着残留した塗液を回収する塗液回収手段を設
   けるとともに、前記第１のスクレーパによって掻き取ら
   れた塗液を排出する塗液排出手段を設けたことを特徴と
   するロールコータ。
10. 【請求項１０】 第１のスクレーパが、アプリケータロ
    ールの外周円筒面の、軸線方向における両端部領域に付
    着残留した塗液を掻き取るように配置された請求項８又
    は請求項９記載のロールコータ。