JPS587825A - ロ−ルコ−タ - Google Patents
ロ−ルコ−タInfo
- Publication number
- JPS587825A JPS587825A JP10447581A JP10447581A JPS587825A JP S587825 A JPS587825 A JP S587825A JP 10447581 A JP10447581 A JP 10447581A JP 10447581 A JP10447581 A JP 10447581A JP S587825 A JPS587825 A JP S587825A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- glass substrate
- photo resist
- coating
- photoresist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はロールコータに関する。
以下、−例として、液晶表示素子用ガラス基板にホトレ
ジストを塗布する場合について説明する。
ジストを塗布する場合について説明する。
従来のロールコータは、バックアップロールの洗浄につ
いて考慮されていないため、液晶表示素子のガラス基板
（両面ネサ基板）にホトレジストを塗布するような鳩舎
、コーティングロール部よりホトレジストが飛散してバ
ックアップロールを汚染している。この汚れ部分も露光
工程で光反応して現像工稠においてレジスト残りとなり
、結果的にはエツチング後にガラス基板車両のネサ残り
となる欠点があった。
いて考慮されていないため、液晶表示素子のガラス基板
（両面ネサ基板）にホトレジストを塗布するような鳩舎
、コーティングロール部よりホトレジストが飛散してバ
ックアップロールを汚染している。この汚れ部分も露光
工程で光反応して現像工稠においてレジスト残りとなり
、結果的にはエツチング後にガラス基板車両のネサ残り
となる欠点があった。
本発明の目的は前記従来技術の欠点に鑑みなされたもの
で、バックアップロールに飛散したホトレジストを連続
自動的に洗浄を行ない、両面ネサ基板の車両ネサ残りを
なくすバックアップロールの洗浄機構を備えたロールコ
ータを提供することにある。
で、バックアップロールに飛散したホトレジストを連続
自動的に洗浄を行ない、両面ネサ基板の車両ネサ残りを
なくすバックアップロールの洗浄機構を備えたロールコ
ータを提供することにある。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明になるロールコータの一実施例を示し、
液晶表示素子のガラス基板ｌξζ電極パターンを形成す
るためのホトレジスト２を塗布するロールコータに適用
した場合を示す。３はガラス基板１を矢印入方向に搬送
する搬送ベルト、４はガラス基板１にホトレジスト２を
転写するためのコーティングロール、５はホトレジスト
２を練るための練りロール、６はホトレジスト２を供給
する為の供給ノズル、７はガラス基板１にホトレジスト
２を転写する際の圧力を受けるバックアップロール、８
はバックアップロール７の表面を洗浄する為の洗浄ブラ
シ、９は洗浄ブラシ８を回転させる為のモータ、１０は
洗浄するための洗浄液を入れる容器、１１は洗浄液を貯
わえるタンク、１２はタンク１１内の洗浄液を循環する
ためのポンプである。
液晶表示素子のガラス基板ｌξζ電極パターンを形成す
るためのホトレジスト２を塗布するロールコータに適用
した場合を示す。３はガラス基板１を矢印入方向に搬送
する搬送ベルト、４はガラス基板１にホトレジスト２を
転写するためのコーティングロール、５はホトレジスト
２を練るための練りロール、６はホトレジスト２を供給
する為の供給ノズル、７はガラス基板１にホトレジスト
２を転写する際の圧力を受けるバックアップロール、８
はバックアップロール７の表面を洗浄する為の洗浄ブラ
シ、９は洗浄ブラシ８を回転させる為のモータ、１０は
洗浄するための洗浄液を入れる容器、１１は洗浄液を貯
わえるタンク、１２はタンク１１内の洗浄液を循環する
ためのポンプである。
次にかから構成される装置０作用について説明する。ガ
ラス基板１は上流の設備から１枚づつ搬送ベルト３上に
供給され、搬送ベルト３により矢印Ａ方向に搬送される
。そこでガラス基板１はコーティングロール４とバック
アップロール７の間に入り、それぞれのロール４．７の
回転により更−こ前進すると同時にガラス基板１の上Ｔ
ｉＪ（コーティングロール４個）にホトレジスト２が塗
布されて矢印Ｂ方向に搬送され、次の設備へ移動する。
ラス基板１は上流の設備から１枚づつ搬送ベルト３上に
供給され、搬送ベルト３により矢印Ａ方向に搬送される
。そこでガラス基板１はコーティングロール４とバック
アップロール７の間に入り、それぞれのロール４．７の
回転により更−こ前進すると同時にガラス基板１の上Ｔ
ｉＪ（コーティングロール４個）にホトレジスト２が塗
布されて矢印Ｂ方向に搬送され、次の設備へ移動する。
このように、本装置において、ガラス基板１＃こコーテ
ィング中は特に問題ないが、ガラス基板１は所定の間隔
で搬送されるため、コーティングをしないいわゆる空運
転の状態がある。この空運転状態においてコーティング
ロール４部からホトレジスト２の一部が飛散してバック
アップロール７の表面に付着する。
ィング中は特に問題ないが、ガラス基板１は所定の間隔
で搬送されるため、コーティングをしないいわゆる空運
転の状態がある。この空運転状態においてコーティング
ロール４部からホトレジスト２の一部が飛散してバック
アップロール７の表面に付着する。
このバックアップロール７＃こ付着したホトレジスト２
は次のようにして洗浄される。先ず洗浄液をポンプ１２
により循環させておき、更にモータ９によりブラシ８を
回転させる。この状態でブラシ８をバックアップロール
７に接触させて洗浄する。このときのブラシ８の回転方
向はバックアップロール７とは異ったものにする。次ぎ
に洗浄されたバックアップロール７の表面に付着してい
る洗浄液をガラス基板１の裏面へ転写しないようにする
ため、絞りロール１３を設けて洗浄液を絞り落す。
は次のようにして洗浄される。先ず洗浄液をポンプ１２
により循環させておき、更にモータ９によりブラシ８を
回転させる。この状態でブラシ８をバックアップロール
７に接触させて洗浄する。このときのブラシ８の回転方
向はバックアップロール７とは異ったものにする。次ぎ
に洗浄されたバックアップロール７の表面に付着してい
る洗浄液をガラス基板１の裏面へ転写しないようにする
ため、絞りロール１３を設けて洗浄液を絞り落す。
このように、本発明になるロールコータによれば、両面
ネサガラス基板の裏面を汚すことなく、片面のみのホト
レジストコーティングが可能となる。
ネサガラス基板の裏面を汚すことなく、片面のみのホト
レジストコーティングが可能となる。
第３図は本発明の他の実施例を示す。本実施例はバック
アップロール７にプラスチックス製のベルト１４を掛け
てもう一方をプーリ１５へ掛け、ベル）１４は図示して
いないモータで回転させて置き、ベルト１１の乾燥ノズ
ル１６によりベルト１４の乾燥を行う方式においても前
記実施例と同じ結果を得ることができる。
アップロール７にプラスチックス製のベルト１４を掛け
てもう一方をプーリ１５へ掛け、ベル）１４は図示して
いないモータで回転させて置き、ベルト１１の乾燥ノズ
ル１６によりベルト１４の乾燥を行う方式においても前
記実施例と同じ結果を得ることができる。
本発明によれば、両面ネサ基板であっても片面のみへ清
浄なホトレジストコーティングを可能とし、裏面のネサ
膜残りを防止することができる。
浄なホトレジストコーティングを可能とし、裏面のネサ
膜残りを防止することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は本発
明の他の実施例を示す側面図である。 ４・・・コーティングロール、 ５・・・練りロー
ル、７・・・バックアップロール、 ８−洗浄ブラ
シ、１０−・洗浄容器、 １４・・・ベル
ト。 第１図 第２図
明の他の実施例を示す側面図である。 ４・・・コーティングロール、 ５・・・練りロー
ル、７・・・バックアップロール、 ８−洗浄ブラ
シ、１０−・洗浄容器、 １４・・・ベル
ト。 第１図 第２図
Claims (1)
- 練りロールとコーティングロールとバックアップロール
より成るロールコータにおいて、バックアップロールの
洗浄機構を設けたことを特徴とするロールコータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10447581A JPS587825A (ja) | 1981-07-06 | 1981-07-06 | ロ−ルコ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10447581A JPS587825A (ja) | 1981-07-06 | 1981-07-06 | ロ−ルコ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS587825A true JPS587825A (ja) | 1983-01-17 |
Family
ID=14381593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10447581A Pending JPS587825A (ja) | 1981-07-06 | 1981-07-06 | ロ−ルコ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS587825A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60151968A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-10 | Mitsubishi Electric Corp | 燃料電池用電極の製造方法 |
| JPH0514116U (ja) * | 1991-08-05 | 1993-02-23 | 丸ノ内紙工株式会社 | シヤツ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5263U (ja) * | 1975-06-18 | 1977-01-05 |
-
1981
- 1981-07-06 JP JP10447581A patent/JPS587825A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5263U (ja) * | 1975-06-18 | 1977-01-05 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60151968A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-10 | Mitsubishi Electric Corp | 燃料電池用電極の製造方法 |
| JPH0461463B2 (ja) * | 1984-01-20 | 1992-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | |
| JPH0514116U (ja) * | 1991-08-05 | 1993-02-23 | 丸ノ内紙工株式会社 | シヤツ |
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