JP3173680B2 - Ｌｃｄカラーフィルタ基板端面の皮膜除去方法およびその装置 - Google Patents
Ｌｃｄカラーフィルタ基板端面の皮膜除去方法およびその装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、液晶ディスプレイ用
カラーフィルタのフィルタ層の形成に採用されるＬＣＤ
カラーフィルタ基板端面の皮膜除去方法に係り、詳しく
は、矩形状のガラス基板に着色樹脂を塗布する工程で基
板の周縁に厚膜化して付着するレジスト材料を除去する
皮膜除去方法と、皮膜除去装置とに関する。
カラーフィルタのフィルタ層の形成に採用されるＬＣＤ
カラーフィルタ基板端面の皮膜除去方法に係り、詳しく
は、矩形状のガラス基板に着色樹脂を塗布する工程で基
板の周縁に厚膜化して付着するレジスト材料を除去する
皮膜除去方法と、皮膜除去装置とに関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用のカラー
フィルタは、矩形状のガラス基板の一面に３原色（Ｒ，
Ｇ，Ｂ）のフィルタ層を染料分散法あるいは顔料分散法
等で所定のパターンに形成する。そして、これら染料分
散法等においては、一般に、染料または顔料を分散させ
た着色ポリイミド樹脂等の着色樹脂材料をスピンコータ
等でガラス基板に塗布して皮膜を形成し、この後に、こ
の皮膜上にポジレジストを塗布し、露光、現像、エッチ
ングを行い、所定のパターンを得ている。
フィルタは、矩形状のガラス基板の一面に３原色（Ｒ，
Ｇ，Ｂ）のフィルタ層を染料分散法あるいは顔料分散法
等で所定のパターンに形成する。そして、これら染料分
散法等においては、一般に、染料または顔料を分散させ
た着色ポリイミド樹脂等の着色樹脂材料をスピンコータ
等でガラス基板に塗布して皮膜を形成し、この後に、こ
の皮膜上にポジレジストを塗布し、露光、現像、エッチ
ングを行い、所定のパターンを得ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図５に
示すように、染料分散法あるいは顔料分散法等において
スピンコータ等によりガラス基板２１に形成される皮膜
２２は、膜厚が基板２１の中央部分よりも基板２１の周
縁部分で大きくなる傾向があり（図中、Ａ）、この周辺
部分の厚膜部Ａが次工程等で脱落、剥離して塗膜面に混
入し、不良原因になるという問題点があった。特に、矩
形状のガラス基板２１を用いるカラーフィルタはガラス
基板２１の形状との関係で皮膜２２の周縁部の皮膜がよ
り厚膜化しやすいため、この問題も顕著であった。この
発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、基板の周
縁の厚膜化した皮膜を不良原因となる前に除去できる皮
膜除去方法、および皮膜除去装置を提供することを目的
とする。
示すように、染料分散法あるいは顔料分散法等において
スピンコータ等によりガラス基板２１に形成される皮膜
２２は、膜厚が基板２１の中央部分よりも基板２１の周
縁部分で大きくなる傾向があり（図中、Ａ）、この周辺
部分の厚膜部Ａが次工程等で脱落、剥離して塗膜面に混
入し、不良原因になるという問題点があった。特に、矩
形状のガラス基板２１を用いるカラーフィルタはガラス
基板２１の形状との関係で皮膜２２の周縁部の皮膜がよ
り厚膜化しやすいため、この問題も顕著であった。この
発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、基板の周
縁の厚膜化した皮膜を不良原因となる前に除去できる皮
膜除去方法、および皮膜除去装置を提供することを目的
とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明にかかるＬＣＤカラーフィルタ基板端面の
皮膜除去方法は、カラーフィルタ基板２１の表面に着色
樹脂を塗布して皮膜２２を形成した後、皮膜２２を乾燥
させる乾燥工程と、次いで前記カラーフィルタ基板２１
表面の縁部の皮膜２２に対し溶剤を滴下させつつ当該縁
部の皮膜２２を除去する除去工程と、を備える。なお、
上記乾燥工程においては、皮膜２２が流動性を喪失する
程度に行われれば足りる。
め、この発明にかかるＬＣＤカラーフィルタ基板端面の
皮膜除去方法は、カラーフィルタ基板２１の表面に着色
樹脂を塗布して皮膜２２を形成した後、皮膜２２を乾燥
させる乾燥工程と、次いで前記カラーフィルタ基板２１
表面の縁部の皮膜２２に対し溶剤を滴下させつつ当該縁
部の皮膜２２を除去する除去工程と、を備える。なお、
上記乾燥工程においては、皮膜２２が流動性を喪失する
程度に行われれば足りる。
【０００５】また、この発明にかかるＬＣＤカラーフィ
ルタ基板端面の皮膜除去装置は、カラーフィルタ基板２
１を載置可能な基板ホルダ１１と、この基板ホルダ１１
の両側に対向して配置され、前記カラーフィルタ基板２
１の両側縁部の皮膜２２を掻き取る一対のスキージ１２
Ｌ，１２Ｒと、このスキージ１２Ｌ，１２Ｒの移動方向
前方の皮膜２２に溶剤を滴下するノズル１３ａと、前記
基板ホルダ１１の両側方に配置され、前記カラーフィル
タ基板２１の裏面側に垂れ落ちる溶剤を拭き取る一対の
吸取ロール１５Ｌ，１５Ｒと、を備えて構成される。
ルタ基板端面の皮膜除去装置は、カラーフィルタ基板２
１を載置可能な基板ホルダ１１と、この基板ホルダ１１
の両側に対向して配置され、前記カラーフィルタ基板２
１の両側縁部の皮膜２２を掻き取る一対のスキージ１２
Ｌ，１２Ｒと、このスキージ１２Ｌ，１２Ｒの移動方向
前方の皮膜２２に溶剤を滴下するノズル１３ａと、前記
基板ホルダ１１の両側方に配置され、前記カラーフィル
タ基板２１の裏面側に垂れ落ちる溶剤を拭き取る一対の
吸取ロール１５Ｌ，１５Ｒと、を備えて構成される。
【０００６】そして、この発明のＬＣＤカラーフィルタ
基板端面の皮膜除去装置は、スキージ１２Ｌ，１２Ｒを
掻き取り面が皮膜表面と移動方向に１０°〜５０°の角
度θをなすように傾斜させる態様に構成することができ
る。
基板端面の皮膜除去装置は、スキージ１２Ｌ，１２Ｒを
掻き取り面が皮膜表面と移動方向に１０°〜５０°の角
度θをなすように傾斜させる態様に構成することができ
る。
【０００７】
【作用】この発明に係るＬＣＤカラーフィルタ基板端面
の皮膜除去方法は、基板２１に膜材料を塗布して皮膜２
２を形成し、この皮膜２２が乾燥した後に、すなわち、
基板２１上の皮膜２２が流動性を喪失した後に、基板２
１周縁部の皮膜２２に溶剤を滴下しつつ除去するため、
基板２１上の中央部に残存してパターンを形成する皮膜
２２に変形等の悪影響を及ぼすこと無く、また、塵埃を
発生させること無く、縁部の皮膜２２を除去できる。
の皮膜除去方法は、基板２１に膜材料を塗布して皮膜２
２を形成し、この皮膜２２が乾燥した後に、すなわち、
基板２１上の皮膜２２が流動性を喪失した後に、基板２
１周縁部の皮膜２２に溶剤を滴下しつつ除去するため、
基板２１上の中央部に残存してパターンを形成する皮膜
２２に変形等の悪影響を及ぼすこと無く、また、塵埃を
発生させること無く、縁部の皮膜２２を除去できる。
【０００８】また、この発明のＬＣＤカラーフィルタ基
板端面の皮膜除去装置は、溶剤を滴下して皮膜２２を湿
潤状態にした後にスキージ１２により基板２１表面縁部
の皮膜２２を掻き取るため、皮膜２２が乾燥状態にあっ
ても発塵させること無く皮膜２２を除去でき、また、ス
キージ１２Ｌ，１２Ｒの抵抗を小さくできる。そして、
吸取ロール１５Ｌ，１５Ｒにより垂れ落ちる溶液を拭き
取ることができるため、皮膜２２を溶解した溶液が基板
２１端面下部で乾燥して新たに膜を形成し、この膜が後
の工程で不良原因となることも防止できる。
板端面の皮膜除去装置は、溶剤を滴下して皮膜２２を湿
潤状態にした後にスキージ１２により基板２１表面縁部
の皮膜２２を掻き取るため、皮膜２２が乾燥状態にあっ
ても発塵させること無く皮膜２２を除去でき、また、ス
キージ１２Ｌ，１２Ｒの抵抗を小さくできる。そして、
吸取ロール１５Ｌ，１５Ｒにより垂れ落ちる溶液を拭き
取ることができるため、皮膜２２を溶解した溶液が基板
２１端面下部で乾燥して新たに膜を形成し、この膜が後
の工程で不良原因となることも防止できる。
【０００９】そして、この発明のＬＣＤカラーフィルタ
基板端面の皮膜除去装置は、スキージ１２Ｌ，１２Ｒを
掻き取り面が皮膜表面と１０°〜５０°の角度をなすよ
うに傾斜させることで、滴下される溶剤をその表面張力
で広く拡散させることができ、溶剤の使用量を節減でき
る。
基板端面の皮膜除去装置は、スキージ１２Ｌ，１２Ｒを
掻き取り面が皮膜表面と１０°〜５０°の角度をなすよ
うに傾斜させることで、滴下される溶剤をその表面張力
で広く拡散させることができ、溶剤の使用量を節減でき
る。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。図１から図３はこの発明をＬＣＤ用カラーフィ
ルタの製造に適用した一実施例を示し、図１が皮膜除去
装置の模式図、図２が図１の一部拡大図、図３が工程の
流れ図である。
明する。図１から図３はこの発明をＬＣＤ用カラーフィ
ルタの製造に適用した一実施例を示し、図１が皮膜除去
装置の模式図、図２が図１の一部拡大図、図３が工程の
流れ図である。
【００１１】図１および図２において、１０は後述する
除去工程で用いられる皮膜除去装置であり、この皮膜除
去装置１０は基板ホルダ１１、一対のスキージ１２Ｌ，
１２Ｒおよび一対の液吸収パッド（吸取ロール）１５
Ｌ，１５Ｒを有する。基板ホルダ１１は矩形平板状のガ
ラス基板２１が真空吸着載置可能に構成され、この基板
ホルダ１１上には乾燥工程から搬送されるガラス基板２
１が皮膜２２を上方に向けて載置される。この基板ホル
ダ１１は寸法がガラス基板２１よりも小さく、基板ホル
ダ１１上に載置されたガラス基板２１は裏面周縁部が下
方に露呈する。なお、後述するように、ガラス基板２１
は、塗布工程において表面に皮膜２２が形成され、この
皮膜２２が乾燥工程において乾燥され、基板ホルダ１１
上に移送される。
除去工程で用いられる皮膜除去装置であり、この皮膜除
去装置１０は基板ホルダ１１、一対のスキージ１２Ｌ，
１２Ｒおよび一対の液吸収パッド（吸取ロール）１５
Ｌ，１５Ｒを有する。基板ホルダ１１は矩形平板状のガ
ラス基板２１が真空吸着載置可能に構成され、この基板
ホルダ１１上には乾燥工程から搬送されるガラス基板２
１が皮膜２２を上方に向けて載置される。この基板ホル
ダ１１は寸法がガラス基板２１よりも小さく、基板ホル
ダ１１上に載置されたガラス基板２１は裏面周縁部が下
方に露呈する。なお、後述するように、ガラス基板２１
は、塗布工程において表面に皮膜２２が形成され、この
皮膜２２が乾燥工程において乾燥され、基板ホルダ１１
上に移送される。
【００１２】スキージ１２Ｌ，１２Ｒは、ウレタンある
いはシリコンゴム等から構成され、基板ホルダ１１の側
部上方位置に配設され、図示しない四辺形状の軌跡で駆
動する駆動機構と連結している。これらスキージ１２
Ｌ，１２Ｒは、先端にテーパ状の掻き取り面（符号は省
略する）が形成された平板状を成し、掻き取り面が基板
ホルダ１１の外側方に向かい基板ホルダ１１と１０°〜
５０°の傾斜角度θ、望ましくは、２０°〜３０°の傾
斜角度θをなすように取り付けられている。これらスキ
ージ１２Ｌ，１２Ｒはそれぞれ、下端刃部が駆動機構に
よって駆動されて基板ホルダ１１上のガラス基板２１周
縁部を図中矢印で示すように外側に向かって移動し、基
板ホルダ１１上のガラス基板２１の周縁部の皮膜２２を
掻き取る。
いはシリコンゴム等から構成され、基板ホルダ１１の側
部上方位置に配設され、図示しない四辺形状の軌跡で駆
動する駆動機構と連結している。これらスキージ１２
Ｌ，１２Ｒは、先端にテーパ状の掻き取り面（符号は省
略する）が形成された平板状を成し、掻き取り面が基板
ホルダ１１の外側方に向かい基板ホルダ１１と１０°〜
５０°の傾斜角度θ、望ましくは、２０°〜３０°の傾
斜角度θをなすように取り付けられている。これらスキ
ージ１２Ｌ，１２Ｒはそれぞれ、下端刃部が駆動機構に
よって駆動されて基板ホルダ１１上のガラス基板２１周
縁部を図中矢印で示すように外側に向かって移動し、基
板ホルダ１１上のガラス基板２１の周縁部の皮膜２２を
掻き取る。
【００１３】また、スキージ１２Ｌ，１２Ｒにはそれぞ
れ外側の面に、図外の溶剤供給源と連絡した溶剤吐出チ
ューブ１３Ｌ，１３Ｒが紙面垂直方向、すなわち基板ホ
ルダ１１に載置されるガラス基板２１の側縁と平行に添
設されている。溶剤供給源は、着色樹脂の溶剤、例え
ば、ポリイミド樹脂であればジメチルホルムアミドある
いはＮ−メチル−２−ピロリドン等の溶剤を供給する。
溶剤吐出チューブ１３Ｌ，１３Ｒには、下向きに開口す
る複数のノズル１３ａがスキージ１２Ｌ，１２Ｒの下端
刃面に沿って形成されている。この溶剤吐出チューブ１
３Ｌ，１３Ｒは、スキージ１２Ｌ，１２Ｒがガラス基板
２１上を外側へ移動して縁部の皮膜２２を除去する時に
スキージ１２Ｌ，１２Ｒの前方で皮膜２２上にノズル１
３ａから溶剤を矢印で示すように滴下する。
れ外側の面に、図外の溶剤供給源と連絡した溶剤吐出チ
ューブ１３Ｌ，１３Ｒが紙面垂直方向、すなわち基板ホ
ルダ１１に載置されるガラス基板２１の側縁と平行に添
設されている。溶剤供給源は、着色樹脂の溶剤、例え
ば、ポリイミド樹脂であればジメチルホルムアミドある
いはＮ−メチル−２−ピロリドン等の溶剤を供給する。
溶剤吐出チューブ１３Ｌ，１３Ｒには、下向きに開口す
る複数のノズル１３ａがスキージ１２Ｌ，１２Ｒの下端
刃面に沿って形成されている。この溶剤吐出チューブ１
３Ｌ，１３Ｒは、スキージ１２Ｌ，１２Ｒがガラス基板
２１上を外側へ移動して縁部の皮膜２２を除去する時に
スキージ１２Ｌ，１２Ｒの前方で皮膜２２上にノズル１
３ａから溶剤を矢印で示すように滴下する。
【００１４】液吸収パッド１５Ｌ，１５Ｒは、不織布等
の吸液性材料を円柱形状のロール上に成形してなり、基
板ホルダ１１の両側部下方に基板ホルダ１１上のガラス
基板２１の裏面側部周縁に摺接可能に配置される。これ
らこれら液吸収パッド１５Ｌ，１５Ｒは、図示しない駆
動機構に連結され、この駆動機構により駆動されて回転
し基板ホルダ１１上のガラス基板２１の裏面周縁を拭き
取る。
の吸液性材料を円柱形状のロール上に成形してなり、基
板ホルダ１１の両側部下方に基板ホルダ１１上のガラス
基板２１の裏面側部周縁に摺接可能に配置される。これ
らこれら液吸収パッド１５Ｌ，１５Ｒは、図示しない駆
動機構に連結され、この駆動機構により駆動されて回転
し基板ホルダ１１上のガラス基板２１の裏面周縁を拭き
取る。
【００１５】次に、この実施例の作用を説明する。この
実施例は、矩形状のガラス基板の表面に３原色のフィル
タ層を形成する。そして、ガラス基板２１には、図３に
示すような工程を経てフィルタ層が形成される。すなわ
ち、先ず、洗浄工程を実施してガラス基板２１を純水等
で洗浄し、ガラス基板２１に付着する塵埃等の異物を洗
浄する。次いで、塗布工程において、染料または顔料を
分散させた着色樹脂を膜材料とし、この着色樹脂をスピ
ンコータ等によりガラス基板２１上に塗布して皮膜２２
を形成する。ここで、前述したように、ガラス基板２１
上には縁部に膜厚が厚い部分が形成、すなわち、皮膜２
２はガラス基板２１中央部分よりも周縁部分で厚みが大
きくなる（前述した図５中、Ａ参照）。
実施例は、矩形状のガラス基板の表面に３原色のフィル
タ層を形成する。そして、ガラス基板２１には、図３に
示すような工程を経てフィルタ層が形成される。すなわ
ち、先ず、洗浄工程を実施してガラス基板２１を純水等
で洗浄し、ガラス基板２１に付着する塵埃等の異物を洗
浄する。次いで、塗布工程において、染料または顔料を
分散させた着色樹脂を膜材料とし、この着色樹脂をスピ
ンコータ等によりガラス基板２１上に塗布して皮膜２２
を形成する。ここで、前述したように、ガラス基板２１
上には縁部に膜厚が厚い部分が形成、すなわち、皮膜２
２はガラス基板２１中央部分よりも周縁部分で厚みが大
きくなる（前述した図５中、Ａ参照）。
【００１６】続いて、乾燥工程を行い、ガラス基板２１
上の皮膜２２を乾燥させる。この乾燥工程は、減圧した
乾燥炉内にガラス基板１１を収容することで、あるい
は、ガラス基板２１を加熱して行う。そして、この乾燥
工程の後は、除去工程に進み、この除去工程で、後述す
る皮膜除去装置１０を用いてガラス基板２１の周辺部の
皮膜２２を除去する。
上の皮膜２２を乾燥させる。この乾燥工程は、減圧した
乾燥炉内にガラス基板１１を収容することで、あるい
は、ガラス基板２１を加熱して行う。そして、この乾燥
工程の後は、除去工程に進み、この除去工程で、後述す
る皮膜除去装置１０を用いてガラス基板２１の周辺部の
皮膜２２を除去する。
【００１７】そして、この除去工程においては、皮膜除
去装置１０の基板ホルダ１１に乾燥工程から移送された
ガラス基板２１が載置され、皮膜除去装置１０は、溶剤
吐出チューブ１３から溶剤を滴下しつつスキージ１２
Ｌ，１２Ｒがそれぞれ基板ホルダ１１上のガラス基板２
１の両側縁部の厚膜化した皮膜２２を掻き取り、また、
液吸収パッド１５Ｌ，１５Ｒが裏面に垂れ落ちる溶剤を
拭き取る。すなわち、スキージ１２Ｌ，１２Ｒはガラス
基板２１の外側方に向かって移動し、同時に、溶剤吐出
チューブ１３がスキージ１２Ｌ，１２Ｒの前方の皮膜２
２に溶剤を滴下、すなわち、溶剤吐出チューブ１３から
溶剤がスキージ１２Ｌ，１２Ｒによって掻き取られる皮
膜２２に滴下され、また、液吸収パッド１５Ｌ，１５Ｒ
が回転してガラス基板２１の裏面に垂れ落ちる溶剤等を
拭き取る。
去装置１０の基板ホルダ１１に乾燥工程から移送された
ガラス基板２１が載置され、皮膜除去装置１０は、溶剤
吐出チューブ１３から溶剤を滴下しつつスキージ１２
Ｌ，１２Ｒがそれぞれ基板ホルダ１１上のガラス基板２
１の両側縁部の厚膜化した皮膜２２を掻き取り、また、
液吸収パッド１５Ｌ，１５Ｒが裏面に垂れ落ちる溶剤を
拭き取る。すなわち、スキージ１２Ｌ，１２Ｒはガラス
基板２１の外側方に向かって移動し、同時に、溶剤吐出
チューブ１３がスキージ１２Ｌ，１２Ｒの前方の皮膜２
２に溶剤を滴下、すなわち、溶剤吐出チューブ１３から
溶剤がスキージ１２Ｌ，１２Ｒによって掻き取られる皮
膜２２に滴下され、また、液吸収パッド１５Ｌ，１５Ｒ
が回転してガラス基板２１の裏面に垂れ落ちる溶剤等を
拭き取る。
【００１８】ここで、この除去工程においては、スキー
ジ１２Ｌ，１２Ｒによって掻き取られる皮膜２２のみが
湿潤され、この周縁部の皮膜２２を湿潤させた状態で掻
き取ることができ発塵が防止され、また、中央部のパタ
ーンを形成する皮膜２２が乾燥状態を維持するため、こ
のパターンを形成する皮膜２２に損傷を与えることも防
止でき、さらに、スキージ１２Ｌ，１２Ｒの抵抗も小さ
くできスキージ駆動用のアクチュエータを小型化でき
る。またさらに、この除去工程では、裏面側に垂れ落ち
た溶剤が液吸収パッド１５Ｌ，１５Ｒにより拭き取られ
るため、裏面に皮膜が形成される等の不都合も防止でき
る。特に、この実施例では、スキージ１２Ｌ．１２Ｒが
傾斜して皮膜１２表面との間に隙間を形成するため滴下
される溶剤を表面張力により拡散させて溶剤を経済的に
使用することができ、また、液吸収パッド１５Ｌ，１５
Ｒを不織布から構成するため液吸収パッド１５Ｌ，１５
Ｒが発塵源となることも防止できる。
ジ１２Ｌ，１２Ｒによって掻き取られる皮膜２２のみが
湿潤され、この周縁部の皮膜２２を湿潤させた状態で掻
き取ることができ発塵が防止され、また、中央部のパタ
ーンを形成する皮膜２２が乾燥状態を維持するため、こ
のパターンを形成する皮膜２２に損傷を与えることも防
止でき、さらに、スキージ１２Ｌ，１２Ｒの抵抗も小さ
くできスキージ駆動用のアクチュエータを小型化でき
る。またさらに、この除去工程では、裏面側に垂れ落ち
た溶剤が液吸収パッド１５Ｌ，１５Ｒにより拭き取られ
るため、裏面に皮膜が形成される等の不都合も防止でき
る。特に、この実施例では、スキージ１２Ｌ．１２Ｒが
傾斜して皮膜１２表面との間に隙間を形成するため滴下
される溶剤を表面張力により拡散させて溶剤を経済的に
使用することができ、また、液吸収パッド１５Ｌ，１５
Ｒを不織布から構成するため液吸収パッド１５Ｌ，１５
Ｒが発塵源となることも防止できる。
【００１９】次いで、この皮膜除去装置１０は、基板ホ
ルダ１１を９０度回転させ、上述と同様にしてガラス基
板２１の他の対抗する両側縁部の皮膜２２を除去する。
そして、４辺の縁部の皮膜２２が除去されたガラス基板
２１はバックリンス工程へ移送され、裏面等に付着する
溶液等（図５中、Ｂ，Ｃ参照）が洗浄、除去される。こ
こで、この洗浄工程では、前工程の除去工程でガラス基
板２１の裏面が液吸収パッド１５Ｌ，１５Ｒにより拭き
取られているため、その洗浄を簡略化することができ
る。
ルダ１１を９０度回転させ、上述と同様にしてガラス基
板２１の他の対抗する両側縁部の皮膜２２を除去する。
そして、４辺の縁部の皮膜２２が除去されたガラス基板
２１はバックリンス工程へ移送され、裏面等に付着する
溶液等（図５中、Ｂ，Ｃ参照）が洗浄、除去される。こ
こで、この洗浄工程では、前工程の除去工程でガラス基
板２１の裏面が液吸収パッド１５Ｌ，１５Ｒにより拭き
取られているため、その洗浄を簡略化することができ
る。
【００２０】この後は、他の色について同様に上述した
各工程が行われ、３原色のパターンが形成されたカラー
フィルタが形成される。なお、上述した実施例では、滴
下される溶剤を拡散させるため平板状のスキージ１２
Ｌ，１２Ｒを傾斜させて用いるが、スキージ１２Ｌ，１
２Ｒは平板状のものに限らず種々の形状のものを用いる
ことができる。
各工程が行われ、３原色のパターンが形成されたカラー
フィルタが形成される。なお、上述した実施例では、滴
下される溶剤を拡散させるため平板状のスキージ１２
Ｌ，１２Ｒを傾斜させて用いるが、スキージ１２Ｌ，１
２Ｒは平板状のものに限らず種々の形状のものを用いる
ことができる。
【００２１】図４にはこの発明の他の実施例を示す。な
お、この実施例では、上述した実施例と同一の部分には
同一の番号を付して説明を省略する。この実施例は、ス
キージ１２Ｌ，１２Ｒの下端に刃部から外側方（スキー
ジの掻き取り方向、図中矢印）に延出する延出部１２ａ
を形成し、この延出部１２ａの下部に溶剤供給源と連絡
した供給孔（ノズルに相当）１２ｂを開口させたもので
ある。延出部１２ａはガラス基板２１の皮膜２２表面と
の間に微小間隔の隙間ｓを形成する。
お、この実施例では、上述した実施例と同一の部分には
同一の番号を付して説明を省略する。この実施例は、ス
キージ１２Ｌ，１２Ｒの下端に刃部から外側方（スキー
ジの掻き取り方向、図中矢印）に延出する延出部１２ａ
を形成し、この延出部１２ａの下部に溶剤供給源と連絡
した供給孔（ノズルに相当）１２ｂを開口させたもので
ある。延出部１２ａはガラス基板２１の皮膜２２表面と
の間に微小間隔の隙間ｓを形成する。
【００２２】この実施例にあっても、供給孔１２ｂから
溶剤を滴下させつつスキージ１２Ｌ，１２Ｒを矢印方向
に駆動し、ガラス基板２１周縁の厚膜化した皮膜２２を
湿潤状態で除去することができる。そして、この実施例
では、延出部１２ａにより皮膜２２表面との間に隙間ｓ
を形成するため、この隙間ｓに溶剤が拡散され、保持さ
れやすく、また、溶剤の拡散に最適な寸法の隙間を容易
に形成でき、溶剤の使用量をより節減できる。
溶剤を滴下させつつスキージ１２Ｌ，１２Ｒを矢印方向
に駆動し、ガラス基板２１周縁の厚膜化した皮膜２２を
湿潤状態で除去することができる。そして、この実施例
では、延出部１２ａにより皮膜２２表面との間に隙間ｓ
を形成するため、この隙間ｓに溶剤が拡散され、保持さ
れやすく、また、溶剤の拡散に最適な寸法の隙間を容易
に形成でき、溶剤の使用量をより節減できる。
【００２３】なお、上述した実施例では、着色樹脂材料
を塗布して皮膜を形成する場合を例示するが、トップコ
ート等を塗布する場合にも同様にして適用できることは
述べるまでもなく、また、カラーフィルタに限らず種々
の皮膜形成に適用することも可能である。また、上述し
た実施例の皮膜除去装置は、乾燥工程を備える皮膜除去
方法に用いられるが、乾燥工程を備えない皮膜除去方法
にも適用、すなわち、未乾燥の皮膜２２の除去にも適用
することができる。
を塗布して皮膜を形成する場合を例示するが、トップコ
ート等を塗布する場合にも同様にして適用できることは
述べるまでもなく、また、カラーフィルタに限らず種々
の皮膜形成に適用することも可能である。また、上述し
た実施例の皮膜除去装置は、乾燥工程を備える皮膜除去
方法に用いられるが、乾燥工程を備えない皮膜除去方法
にも適用、すなわち、未乾燥の皮膜２２の除去にも適用
することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明にかかる
ＬＣＤカラーフィルタ基板端面の皮膜除去方法によれ
ば、基板表面に着色樹脂の塗布により形成された皮膜を
乾燥させた後、基板縁部の皮膜に対し溶剤を滴下しつつ
除去するため、後の工程に移動させる装置が汚染される
ことがなく余分の清掃工程が不要となり、併せて、後工
程で不良発生の原因になる不要な皮膜を、残存させるべ
き皮膜に損傷等の悪影響を及ぼすこと無く、また、発塵
させること無く除去できるという効果が得られる。
ＬＣＤカラーフィルタ基板端面の皮膜除去方法によれ
ば、基板表面に着色樹脂の塗布により形成された皮膜を
乾燥させた後、基板縁部の皮膜に対し溶剤を滴下しつつ
除去するため、後の工程に移動させる装置が汚染される
ことがなく余分の清掃工程が不要となり、併せて、後工
程で不良発生の原因になる不要な皮膜を、残存させるべ
き皮膜に損傷等の悪影響を及ぼすこと無く、また、発塵
させること無く除去できるという効果が得られる。
【００２５】また、この発明のＬＣＤカラーフィルタ基
板端面の皮膜除去装置は、ノズルから滴下される溶剤で
湿潤された皮膜をスキージで掻き取り、また、吸取ロー
ルで垂れ落ちる溶液を拭き取るようにしたため、スキー
ジの抵抗が小さくでき、また、溶液が後の工程で不良原
因となることが防止できる。そして、この発明のＬＣＤ
カラーフィルタ基板端面の皮膜除去装置は、スキージを
傾斜させた構成を採用することで、滴下される溶剤を広
く拡散させて有効に使用することができ、溶剤の使用量
を節減できる。
板端面の皮膜除去装置は、ノズルから滴下される溶剤で
湿潤された皮膜をスキージで掻き取り、また、吸取ロー
ルで垂れ落ちる溶液を拭き取るようにしたため、スキー
ジの抵抗が小さくでき、また、溶液が後の工程で不良原
因となることが防止できる。そして、この発明のＬＣＤ
カラーフィルタ基板端面の皮膜除去装置は、スキージを
傾斜させた構成を採用することで、滴下される溶剤を広
く拡散させて有効に使用することができ、溶剤の使用量
を節減できる。
【図１】この発明の一実施例にかかるＬＣＤカラーフィ
ルタ基板端面の皮膜除去装置の模式図である。
ルタ基板端面の皮膜除去装置の模式図である。
【図２】同ＬＣＤカラーフィルタ基板端面の皮膜除去装
置の一部拡大図である。
置の一部拡大図である。
【図３】この発明の一実施例にかかるＬＣＤカラーフィ
ルタ基板端面の皮膜除去方法を示す工程流れ図である。
ルタ基板端面の皮膜除去方法を示す工程流れ図である。
【図４】この発明の他の実施例にかかるＬＣＤカラーフ
ィルタ基板端面の皮膜除去装置の要部拡大断面図であ
る。
ィルタ基板端面の皮膜除去装置の要部拡大断面図であ
る。
【図５】従来の問題を説明するため基板の一部を拡大し
た断面図である。
た断面図である。
１０ 皮膜除去装置 １１ 基板ホルダ １２Ｌ，１２Ｒ スキージ １２ａ 延出部 １２ｂ 供給孔（ノズル） １３Ｌ，１３Ｒ 溶剤吐出チューブ １３ａ ノズル １５Ｌ，１５Ｒ 液吸収パッド ２１ ガラス基板 ２２ 皮膜 ｓ 隙間
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/1335 G02F 1/13 505 G02B 5/20
Claims (3)
- 【請求項１】 カラーフィルタ基板の表面に着色樹脂を
塗布して皮膜を形成した後、皮膜を乾燥させる乾燥工程
と、この乾燥工程の後に前記カラーフィルタ基板表面の
縁部の乾燥した皮膜に対し溶剤を滴下させつつ当該縁部
の皮膜を湿潤状態として掻き取り除去する除去工程と、
を備えたことを特徴とするＬＣＤカラーフィルタ基板端
面の皮膜除去方法。 - 【請求項２】 カラーフィルタ基板を載置可能な基板ホ
ルダと、この基板ホルダの両側に対向して配置され、前
記カラーフィルタ基板の両側縁部の乾燥した後の皮膜を
掻き取る一対のスキージと、このスキージの移動方向前
方の乾燥した皮膜を湿潤させるための溶剤を滴下するノ
ズルと、前記基板ホルダの両端下方に配置され、前記カ
ラーフィルタ基板の外縁裏面側に垂れ落ちる溶剤を拭き
取る一対の吸取ローラと、を備えることを特徴とするＬ
ＣＤカラーフィルタ基板端面の皮膜除去装置。 - 【請求項３】 前記スキージの掻き取り面が前記皮膜表
面と移動方向に１０°〜５０°の角度θをなすように傾
斜させたことを特徴とする請求項２に記載のＬＣＤカラ
ーフィルタ基板端面の皮膜除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35002492A JP3173680B2 (ja) | 1992-12-03 | 1992-12-03 | Ｌｃｄカラーフィルタ基板端面の皮膜除去方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35002492A JP3173680B2 (ja) | 1992-12-03 | 1992-12-03 | Ｌｃｄカラーフィルタ基板端面の皮膜除去方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06175119A JPH06175119A (ja) | 1994-06-24 |
| JP3173680B2 true JP3173680B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=18407726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35002492A Expired - Fee Related JP3173680B2 (ja) | 1992-12-03 | 1992-12-03 | Ｌｃｄカラーフィルタ基板端面の皮膜除去方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3173680B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7655711B2 (en) | 2005-07-26 | 2010-02-02 | Knauf Insulation Gmbh | Binder and wood board product from maillard reactants |
-
1992
- 1992-12-03 JP JP35002492A patent/JP3173680B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7655711B2 (en) | 2005-07-26 | 2010-02-02 | Knauf Insulation Gmbh | Binder and wood board product from maillard reactants |
| US7947765B2 (en) | 2005-07-26 | 2011-05-24 | Knauf Insulation Gmbh | Binder and wood board product from maillard reactants |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06175119A (ja) | 1994-06-24 |
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