JP4773763B2 - 塗布装置、スペーサ塗布装置、および印刷ヘッドの清掃方法 - Google Patents

Description

本発明は、塗布装置に関し、特に液晶表示装置等にスペーサを配置するスペーサ塗布装置に関する。

従来より、液晶パネルの液晶を保持する基板間には、基板間の間隔を一定にするためのスペーサが挿入されている。
カラーＴＶ用大型パネル対応では、現状ＯＤＦ（液晶滴下）方式が採用されており、従来のようなボールスペーサを散布によって配置すると、液晶滴下時にボールスペーサが流されてしまうことから、フォトスペーサが現在主流となっている。

フォトスペーサは、基板全面にフォトスペーサ材料をスピン塗布した後、フォトリソグラフィ工程により、カラム状のスペーサを各ピクセルの所定位置にのみ残し、溶剤処理によって有機材料を溶解除去することで、残った有機材料がフォトスペーサとなる。欠点は、材料の無駄、フォトリソグラフィと言う高価な工程が入る事がコスト上の問題点である。また基板の大型化に伴い、スピン塗布後のフォトスペーサ材料の基板内の膜厚の均一性を取るのも難しくなってきている。

インクジェットプリンタは、インクの吐出量や配置位置の精密制御が可能であることから、インクに替え、スペーサが分散液中に分散された吐出液を吐出させ、乾燥すると基板等の処理対象物上にスペーサを配置することができる。乾燥及び熱処理によってスペーサが処理対象物の表面に固着される点や、無駄な材料が少ない点がフォトスペーサ方式よりも有利である。

しかしながらインクジェット方式では、印刷ヘッドが汚れたり、吐出液を吐出する吐出孔が詰まるという問題がある。
インクジェット方式の従来のスペーサ塗布装置では、印刷ヘッドに圧力を加えたり、又は下方から吸引し、吐出液と共にノズル詰まりの原因となる固形物や半固形物を排出しようとしていたが、ノズル詰まりを解消できず、解決が望まれていた。

スペーサの配置については、下記のような先行技術がある。
特開平１１−２４０８３号公報 特開２００２−３７２７１７号公報 特開２００２−７２２１８号公報 特開２００５−４０９４号公報

本発明は、上記従来技術の課題を解決するために創作されたものであり、その目的は、印刷ヘッドの詰まりを防止できるスペーサ塗布装置に関する。

上記課題を解決するため、本発明は、吐出孔が複数形成された印刷ヘッドと、処理対象物が配置される台と、前記印刷ヘッドと前記処理対象物とを相対的に移動させる移動機構とを有し、前記吐出孔から前記処理対象物上にスペーサが分散された吐出液を吐出し、スペーサを配置するスペーサ塗布装置であって、前記印刷ヘッドと接触可能な清掃布と、前記清掃布の前記印刷ヘッドが接触される面とは反対側の面に接触可能に配置された吸引装置とを有し、前記吐出孔は、前記清掃布の表面と接触して前記吐出孔の周囲に付着した付着物が拭われ、前記清掃布の表面には前記吐出孔が接触され、前記清掃布の裏面には前記吸引装置の吸引口が接触され、前記吸引口によって、前記吐出孔から前記吐出液と固形又は半固形物が吸引され、前記固形又は半固形物は前記清掃布上に残されるように構成されたスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、前記印刷ヘッドと接触された前記清掃布は、巻き取りロールに巻き取られるように構成されたスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、前記印刷ヘッドは前記台上と前記清掃布上との間を移動するように構成されたスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、前記吸引装置は、前記清掃布に接触した状態で移動可能に構成されたスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、前記吸引装置は、円筒形状に巻かれた外装網と、前記外装網に挿通された円筒形状の吸引ロールと、前記吸引ロールの側面に形成された吸引口と、前記吸引ロール内に設けられ、前記吸引口に接続された吸引路とを有し、前記外装網は前記吸引ロールとは独立に回転可能に構成され、前記吸引口上に位置する部分の前記外装網に、前記清掃布が掛け渡され、前記吸引路は真空ポンプに接続されるスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、前記清掃布は、前記印刷ヘッドとの接触面に粘着性物質が配置されたスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、塗布物を吐出する吐出孔を有する印刷ヘッドと、処理対象物が配置される台と、前記印刷ヘッドと前記処理対象物とを相対的に移動させる移動機構を有し、前記処理対象物に前記印刷ヘッドから塗布物を吐出して塗布する塗布装置であって、前記印刷ヘッドと接触可能な清掃布と、前記清掃布の前記印刷ヘッドが接触される面とは反対側の面に接触可能に配置された吸引装置とを有し、前記吐出孔は、前記清掃布の表面と接触して前記吐出孔の周囲に付着した付着物が拭われ、前記清掃布の表面には前記吐出孔が接触され、前記清掃布の裏面には前記吸引装置の吸引口が接触され、前記吸引口によって、前記吐出孔から前記吐出液と固形又は半固形物が吸引され、前記固形又は半固形物は前記清掃布上に残されるように構成された塗布装置である。
また、本発明は、塗布物を吐出する吐出孔を有する印刷ヘッドの清掃方法であって、前記印刷ヘッドを清掃布に接触させ、前記吐出孔周囲に付着した付着物を前記清掃布で拭う工程と、前記清掃布を介して前記印刷ヘッドを吸引し、吸引された固形又は半固形物を前記清掃布上に残す工程と、を有する印刷ヘッドの清掃方法である。
また、本発明は、前記印刷ヘッドと前記清掃布を相対的に移動させながら前記吸引する工程を行う印刷ヘッドの清掃方法である。

本発明は上記のように構成されており、ノズルを清掃布に押し当てると、ノズル表面の付着物は清掃布によって除去される。吸引装置を真空ポンプに接続し、清掃布を間に挟んで印刷ヘッドのノズルを吸引すると、ノズルを閉塞させる固形(半固形)物が吸引除去される。
使用後の清掃布は移動させ、汚れていない部分をノズルに接触させる。

本発明の印刷装置はノズルのクリーニングを行い、ノズルの目詰まりを防止又は解消することができるので、不良品の発生率が低下する。本スペーサ塗布装置のクリーニング機構は、スペーサ塗布装置以外の同様な印刷ヘッドを使用した、配向膜カラーフィルタ、有材発光素子、配線描画等の応用分野の塗布装置にも使用可能である。

図１(ａ)は、本発明のスペーサ塗布装置１１の平面図、同図(ｂ)は側面図である。
このスペーサ塗布装置１１は、印刷部１２を有している。
印刷部１２には台２０が設けられており、台２０上には、Ｘ軸方向とＹ軸方向にそれぞれ伸びるガイドレール２１₁、２１₂、２２₁〜２２₄が配置されている。

Ｘ軸方向のガイドレール２２₁〜２２₄は、Ｙ軸方向のガイドレール２₁、２１₂に、それに沿って移動可能に取りつけられており、また、Ｘ軸方向のガイドレール２２₁〜２２₄には、ヘッド保持体２３ａ、２３ｂが、そのガイドレール２２₁〜２２₄に沿って移動可能に取りつけられている。
Ｘ軸方向のガイドレール２２₁〜２２₄を移動させ、その間隔を変更すると、ヘッド保持体２３ａ、２３ｂがＸ軸及びＹ軸と成す角度が変わる。

ヘッド保持体２３ａ、２３ｂには、複数の印刷ヘッド１５ａ、１５ｂがそれぞれ取りつけられている。ここでは、ヘッド保持体２３ａ、２３ｂは二個であり、複数の印刷ヘッド１５ａ、１５ｂが千鳥状に取りつけられているが、本発明はそれに限定されない。

台２０上には処理対象物５が配置されている。印刷ヘッド１５ａ、１５ｂは、処理対象物５に対し、所定間隔を開けて上方に配置されている。
各印刷ヘッド１５ａ、１５ｂには、ノズル１６ａ、１６ｂがそれぞれ複数個列設されている。隣接するノズル１６ａ、１６ｂの間隔は一定であるが、Ｘ軸方向のガイドレール２２₁〜２２₄間の間隔を変更し、ヘッド保持体２３ａ、２３ｂのＸ軸及びＹ軸に対する角度が変更されると、ノズル１６ａ、１６ｂとノズル１６ａ、１６ｂの間の、Ｘ軸方向の距離とＹ軸方向の距離が変化する。

図２は、ヘッド保持体２３ａ、２３ｂが、Ｘ軸に垂直な方向から角度θだけ傾いた状態であり、このときのノズル１６ａ、１６ｂ間のＹ軸方向の距離は、Ｙ軸と平行なときの距離に比べ、ｓｉｎ（π／２−θ)(＝ｃｏｓ(θ))倍になる。

各印刷ヘッド１５ａ、１５ｂには、吐出液供給装置１９が接続されており、吐出液供給装置１９から各印刷ヘッド１５ａ、１５ｂに、分散液中にスペーサが分散された吐出液が供給され、ノズル１６ａ、１６ｂから処理対象物５表面に吐出されるように構成されている。

図６、図７は、本発明のスペーサ塗布装置１１によってスペーサを配置する処理対象物５を示している。
以下、処理対象物５がカラーフィルタである場合について説明するが、本発明の処理対象物５はカラーフィルタに限定されるものではない。

図６は、未処理の処理対象物５の表面を説明するための平面図である。カラーフィルタの場合、その表面には、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色に対応した赤、緑、青の窓部５５Ｒ、５５Ｇ、５５Ｂが規則正しく配置されており、各色の窓部５５Ｒ、５５Ｇ、５５Ｂは、ＢＭ(ブラックマトリクス)線５６によって区分けされている。

ＢＭ線５６は、ここでは縦横に延設され、格子状に形成されており、ＢＭ線５６の横方向Ｘと縦方向Ｙの交差する位置が、スペーサを配置するために適した吐出位置Ａ_x,yになっている。
図６及び後述する図７では、添字のｘ＝１〜４、ｙ＝１，２であり、Ａ_1,1からＡ_4,2の８個の吐出位置が示されている。

ヘッド保持体２３ａ、２３ｂは、上述したように、Ｘ軸方向のガイドレール２２₁〜２２₄に沿って移動するように構成されており、処理対象物５の吐出位置Ａ_x,yの間隔に応じてヘッド保持体２３ａ、２３ｂの処理対象物５に対する角度が調節され、各吐出位置Ａ_x,yの真上位置をノズル１６ａ、１６ｂが通過するように構成されている。
そして、ノズル１６ａ、１６ｂが吐出位置Ａ_x,y上に位置するときに吐出液が吐出されると、その吐出液は吐出位置Ａ_x,yに着弾する。

吐出液中には、スペーサが所定の含有率(個数／体積)で含有されており、吐出位置Ａ_x,yに一定量の吐出液が着弾すると、スペーサは、分散液中に分散された状態で処理対象物５の吐出位置Ａ_x,y上に配置される。スペーサは、着弾した吐出液が乾燥すると吐出位置に固定される。
なお、印刷ヘッド１５ａ、１５ｂは移動しながら吐出液を吐出してもよいし、吐出位置Ａ_x,y上で静止して吐出してもよい。

図７の符号５０は、吐出位置Ａ_x,y(ｘ＝１〜４，ｙ＝１，２)上に配置された一乃至複数個のスペーサを示しており、該スペーサ５０は印刷ヘッド１５ａ、１５ｂから吐出された吐出液が乾燥されて固定されている。スペーサ５０は、直径４μｍ〜５μｍの球形の樹脂粒子や無機粒子であるが、デバイス側で必要とするギャップに応じ限定されるものではない。

各吐出位置Ａ_x,yに所定個数のスペーサ５０が配置されると、その処理対象物５は未処理の処理対象物と交換され、上記のような手順により、吐出液が吐出され、スペーサ５０が配置される。

このようなスペーサ５０の配置を多数枚数の処理対象物５に対して行うと、印刷ヘッド１５ａ、１５ｂの表面が汚れ、それが原因となってノズル１６ａ、１６ｂが詰まったり、吐出液中に混入したゴミがノズルを詰まらせる場合がある。

このスペーサ塗布装置１１では、印刷部１２の側方に清掃部１３が配置されている。ガイドレール２２₁〜２２₄は清掃部１３上まで延設されており、印刷ヘッド１５ａ、１５ｂは、印刷部１２上の位置と清掃部１３上の位置との間を移動できるように構成されている。

図３に清掃部１３を示す。清掃部１３は、支持枠４１を有しており、該支持枠４１の内部には、吸引ヘッド５１が配置されている。吸引ヘッド５１はタンク５３に接続されており、タンク５３は真空ポンプ５４に接続されている。

吸引ヘッド５１の上端には、複数の吸引口５６が配置されており、真空ポンプ５４を動作させ、タンク５３を介して吸引ヘッド５１内部を排気すると、吸引口５６から大気が吸引される。

支持枠４１の開口上には、清掃布４２が配置されている。上記清掃布４２の材料としては、天然又は合成繊維を織った布の他、多孔質のポリマーフィルムや不織布や紙も「清掃布」に含まれる。
清掃布４２は、吸引ヘッド５１に接触する面に粘着性物質の層を配置し、清掃布の巻き取り時にスペーサの飛散を防止することも有効である。

吸引ヘッド５１は上下動可能に構成されており、吸引ヘッド５１の上端を清掃布４２の裏面と接触させた状態で真空ポンプ５４を動作させると大気は清掃布４２を通って吸引され、タンク５３を通って真空ポンプ５４によって排気される。

清掃布４２と吸引ヘッド５１は上下動可能に構成されており、保持体２３ａ、２３ｂと共に印刷ヘッド１５ａ、１５ｂを印刷部１２上の位置から清掃部１３上に移動させ、清掃布４２上で静止させた後、清掃布４２と吸引ヘッド５１とを上昇させると各印刷ヘッド１５ａ、１５ｂのノズル１６ａ、１６ｂは清掃布４２の表面と接触する。それにより、ノズル１６ａ、１６ｂの周囲に付着した付着物が清掃布４２によって拭われる。

図４は、清掃布４２の表面と裏面にノズル１６ａ、１６ｂと吸引口５６がそれぞれ当接された状態を示している。
吸引ヘッド５１は水平方向へ移動可能に構成されており、吸引口５６を清掃布４２の裏面に接触させた状態で、吸引口５６から大気を吸引しながら清掃布４２の裏面に沿って移動させると、ノズル１６ａ、１６ｂが清掃布４２表面に接触した部分を通過する。吸引口５６がノズル１６ａ、１６ｂの真裏に位置するときに、ノズル１６ａ、１６ｂの内部は吸引口５６によって吸引される。

その吸引により、印刷ヘッド１５ａ、１５ｂ中の吐出液と共に、ノズル１６ａ、１６ｂ中の固形物や半固形物が吸引され、除去される。この固形物や半固形物は、例えばノズル表面で乾燥析出したインク成分やノズル表面に固着した異物である。

多数枚数を処理した場合、ノズル１６ａ、１６ｂが、固形(半固形)物で閉塞されていたり、ノズル径が狭められている場合があるが、それらの固形(半固形)物は吐出液と共に吸引され、取り除かれる。

このとき、清掃布４２がフィルタとなり、ノズル１６ａ、１６ｂから取り出された固形(半固形)物は清掃布４２上に残り、液体の吐出液はパイプ５７を通ってタンク５３に導かれ、タンク５３の底面に落とされる。図３〜図４の符号５８は、タンク５３の底面上の吐出液を示している。この吐出液５８は廃棄される。

図５に示すように、吸引ヘッド５１が清掃布４２の一端から他端に移動し、各ノズル１６ａ、１６ｂが吸引されて清掃が行われた後、清掃布４２と吸引ヘッド５１を降下させると印刷ヘッド１５ａ、１５ｂは清掃布４２の表面から離される。

次いで、印刷ヘッド１５ａ、１５ｂが印刷部１２に移動されると、処理対象物５に対するスペーサ配置を再開することができる。
他方、吸引ヘッド５１は下方に移動し、清掃布４２の裏面から離され、元の位置に戻される。

ノズル１６ａ、１６ｂと吸引ヘッド５１が清掃布４２から離されると、表面が印刷ヘッド１５ａ、１５ｂと接触した部分の清掃布４２は巻き取りロール４３₂に巻き取られる。

未使用状態の清掃布４２はロール状に巻き取られており、巻き取られた分は、巻きだしロール４３₁から繰り出され、未使用の新しい部分がノズル１６ａ、１６ｂや吸引ヘッド５１と接触可能になる。

以上説明したように、本発明のスペーサ塗布装置１１は、所望の時期にノズル１６ａ、１６ｂを印刷部１２から清掃部１３に移動させ、ノズル１６ａ、１６ｂの清掃が行えるので、処理対象物５を所定枚数する毎に清掃を行えば、ノズル１６ａ、１６ｂが閉塞せず、不良品の発生が防止できる。

上記実施例では、台２０上のガイドレール２１₁、２１₂、２２₁〜２２₄とモータが移動機構となり、印刷ヘッド１５ａ、１５ｂを移動させていたが、本発明はそれに限定されるものではなく、例えば、Ｘ−Ｙステージ上に処理対象物を配置し、処理対象物５を移動させて液を吐出させ、且つ、清掃時には印刷ヘッド１５ａ、１５ｂを清掃部１３に移動させるようにしてもよい。要するに、スペーサ塗布の際には、処理対象物５と印刷ヘッド１５ａ、１５ｂのいずれか一方又は両方を移動させることで、処理対象物５と印刷ヘッド１５ａ、１５ｂを相対的に移動させればよい。

なお、上記例では清掃布４２を上下動させて印刷ヘッド１５ａ、１５ｂを清掃布４２に接触・離間させたが、印刷ヘッド１５ａ、１５ｂを上下動可能に構成して清掃布４２の表面に接触・離間させてもよい。

図８(ａ)の清掃部１１３は、本発明の印刷装置に設けられた清掃部の他の例を示している。
この清掃部１１３は、円筒状の吸引ヘッド１５１を有している。吸引ヘッド１５１は水平に配置されており、巻き出しロール１４３₁に巻き取られている清掃布１４２は、吸引ヘッド１５１の側面に掛け渡され、巻き取りローラ１４３₂に巻き取られるように構成されている。

吸引ヘッド１５１の平面図を同図(ｂ)に示す。
吸引ヘッド１５１は、網が円筒状に丸められた外装網１５６と、該外装網１５６内に挿通された円筒状の吸引ローラ１５２とを有している。外装網１５６は円筒状の構造体に多数の貫通孔を設けて構成してもよい。

吸引ローラ１５２の側面図を図８(ｃ)に示す。外装網１５６は、吸引ローラ１５２とは独立して回転可能に構成されている。
吸引ローラ１５２の側面の一部には、吸引ローラ１５２の長手方向に沿って溝から成る吸引口１５３が設けられている。吸引ローラ１５２の内部には、吸引ローラ１５２内の空洞である吸引路１５５が設けられている。吸引口１５３はその底部で吸引路１５５に接続されている。

吸引ヘッド１５１は、吸引口１５３の開口を上部に向けて配置されており、外装網１５６に清掃布１４２を掛け渡した状態で印刷ヘッド１５ａ、１５ｂを吸引口１５３上の清掃布１４２に押し当てると、吸引口１５３の内部空間は、印刷ヘッド１５ａ、１５ｂによって閉塞される。

吸引路１５５は、真空ポンプ１５４に接続されており、その真空ポンプ１５４を動作させると、吸引口１５３の内部空間は真空排気され、減圧雰囲気になる。
その結果、印刷ヘッド１５ａ、１５ｂのノズル１６ａ、１６ｂ中の吐出液は、外装網１５６の網目と清掃布１４２の布目を介して吸引される。

このとき、印刷ヘッド１５ａ、１５ｂ中の吐出液と共にノズル１６ａ、１６ｂ中の固形物や半固形物が吸引され、除去される。除去された固形物や半固形物は、清掃布１４２に付着する。

清掃後、印刷ヘッド１５ａ、１５ｂを清掃布から離間させ、巻き取りロール１４３₂を回転させると、外装網１５６が回転し、清掃布１４２が巻き取られ、固形物や半固形物が付着していない清浄な領域が吸引口１５３の上部に送られる。

なお、印刷ヘッド１５ａ、１５ｂを清掃布１４２に接触させた状態で清掃布１４２を移動させ、外装網１５６と一緒に回転する清掃布１４２の表面で印刷ヘッド１５ａ、１５ｂの表面を清掃布１４２で擦ることもできる。また、印刷ヘッド１５ａ、１５ｂをローラーの回転軸に垂直な方向からヘッド表面が吸引ヘッド１５１上の清掃布で擦るように水平移動させる事で、ヘッドの清掃を行っても良い。

本発明のスペーサ塗布装置の一例 (ａ)：平面図、(ｂ)：側面図 そのヘッドの傾きを説明するための図 清掃部を説明するための図(１) 清掃部を説明するための図(２) 清掃部を説明するための図(３) 処理対象物を説明するための図(１) 処理対象物を説明するための図(２) （ａ）〜（ｄ）：他の清掃部を説明するための図

符号の説明

５……処理対象物
１１……スペーサ塗布装置
１３、１１３……清掃部
１５ａ、１５ｂ……印刷ヘッド
１６ａ、１６ｂ……ノズル
４２、１４２……清掃布
５０……スペーサ
Ａ_x,y……吐出位置

Claims (9)

1. 吐出孔が複数形成された印刷ヘッドと、
   処理対象物が配置される台と、
   前記印刷ヘッドと前記処理対象物とを相対的に移動させる移動機構とを有し、
   前記吐出孔から前記処理対象物上にスペーサが分散された吐出液を吐出し、スペーサを配置するスペーサ塗布装置であって、
   前記印刷ヘッドと接触可能な清掃布と、
   前記清掃布の前記印刷ヘッドが接触される面とは反対側の面に接触可能に配置された吸引装置とを有し、
   前記吐出孔は、前記清掃布の表面と接触して前記吐出孔の周囲に付着した付着物が拭われ、
   前記清掃布の表面には前記吐出孔が接触され、前記清掃布の裏面には前記吸引装置の吸引口が接触され、
   前記吸引口によって、前記吐出孔から前記吐出液と固形又は半固形物が吸引され、前記固形又は半固形物は前記清掃布上に残されるように構成されたスペーサ塗布装置。
2. 前記印刷ヘッドと接触された前記清掃布は、巻き取りロールに巻き取られるように構成された請求項１記載のスペーサ塗布装置。
3. 前記印刷ヘッドは前記台上と前記清掃布上との間を移動するように構成された請求項１又は請求項２のいずれか１項記載のスペーサ塗布装置。
4. 前記吸引装置は、前記清掃布に接触した状態で移動可能に構成された請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載のスペーサ塗布装置。
5. 前記吸引装置は、円筒形状に巻かれた外装網と、
   前記外装網に挿通された円筒形状の吸引ロールと、
   前記吸引ロールの側面に形成された吸引口と、
   前記吸引ロール内に設けられ、前記吸引口に接続された吸引路とを有し、
   前記外装網は前記吸引ロールとは独立に回転可能に構成され、
   前記吸引口上に位置する部分の前記外装網に、前記清掃布が掛け渡され、
   前記吸引路は真空ポンプに接続される請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載のスペーサ塗布装置。
6. 前記清掃布は、前記印刷ヘッドとの接触面に粘着性物質が配置された請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載のスペーサ塗布装置。
7. 塗布物を吐出する吐出孔を有する印刷ヘッドと、
   処理対象物が配置される台と、
   前記印刷ヘッドと前記処理対象物とを相対的に移動させる移動機構を有し、前記処理対象物に前記印刷ヘッドから塗布物を吐出して塗布する塗布装置であって、
   前記印刷ヘッドと接触可能な清掃布と、
   前記清掃布の前記印刷ヘッドが接触される面とは反対側の面に接触可能に配置された吸引装置とを有し、
   前記吐出孔は、前記清掃布の表面と接触して前記吐出孔の周囲に付着した付着物が拭われ、
   前記清掃布の表面には前記吐出孔が接触され、前記清掃布の裏面には前記吸引装置の吸引口が接触され、
   前記吸引口によって、前記吐出孔から前記吐出液と固形又は半固形物が吸引され、前記固形又は半固形物は前記清掃布上に残されるように構成された塗布装置。
8. 塗布物を吐出する吐出孔を有する印刷ヘッドの清掃方法であって、
   前記印刷ヘッドを清掃布に接触させ、前記吐出孔周囲に付着した付着物を前記清掃布で拭う工程と、
   前記清掃布を介して前記印刷ヘッドを吸引し、吸引された固形又は半固形物を前記清掃布上に残す工程と、
   を有する印刷ヘッドの清掃方法。
9. 前記印刷ヘッドと前記清掃布を相対的に移動させながら前記吸引する工程を行う請求項８記載の印刷ヘッドの清掃方法。

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