JP3273030B2 - 粘性液体の塗布装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、塗布面積が比較的
広い塗布対象物の塗布面に少ない粘性液体で、薄く、か
つ、均一な塗膜を形成できる粘性液体の塗布装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＬＣＤ用カラーフィルタ、カラー
イメージセンサ等に使用する比較的大サイズ（１５０×
１５０ｍｍ以上）の角型基板等に、水溶性感光性樹脂
や、顔料分散感光性樹脂等の感光性樹脂膜を形成する方
法として、遠心力により基板平面上の全面にわたって感
光性樹脂を分散させるスピンコート法やロールにより感
光性樹脂を転写するロールコート法が知られていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】図２９〜図３１、図３
２〜図３４は、従来のスピンコート法およびロールコー
ト法の問題点を説明するための図である。従来のスピン
コート法により、比較的大サイズ（３００×３２０×
１．１^t ｍｍ）の基板に、膜厚１．０μｍ±３％で感光
性樹脂膜を形成した例について説明する（図２９）。

【０００４】図３０は、格子上に膜厚を測定した結果を
示したグラフであり、図３１は、基点Ａ−Ｂ間を連続的
に膜厚測定したグラフである。これらのグラフからわか
るように、スピンコート法では、基板をスピンチャック
で吸着するので、吸着部の基板がたわむことにより、吸
着箇所で塗布厚が大きくなり、チャックムラ（ａ）が発
生する。チャックムラ（ａ）は、大サイズの基板に複数
の小サイズのカラーフィルタ等を多面付けして形成した
後、これを切断分離して使用する場合には、カラーフィ
ルタの品質に大きな影響を及ぼさないが、大サイズ基板
に画面サイズが１０〜１４インチ大の大形ＬＣＤ用カラ
ーフィルタを形成する場合には、画面の輝度ムラ・濃度
ムラの原因となり、これを回避するのが困難である。

【０００５】また、基板の周辺部に感光性樹脂が盛り上
がったフリンジ（ｂ）ができ、露光時に密着性が悪くな
るという問題があった。さらに、滴下ノズルで基板に感
光性樹脂を滴下した場合に、その部分の膜厚が厚くな
る、いわゆる滴下むらが発生することがあった。さらに
また、溶剤系感光性樹脂（ＯＦＰＲ−８００）の場合に
は１０〜１５ｇ／ｓ（シート）の感光性樹脂を消費し、
水溶性感光性樹脂の場合には、形成する色によって異な
るが、８０〜１２０ｇ／ｓの感光性樹脂を消費する。こ
のうち、基板に塗布される感光性樹脂は、滴下した感光
性樹脂の２〜３％であり、高価な感光性樹脂を有効に利
用できず、材料コストが高くなるという問題があった。

【０００６】一方、従来のロールコート法で、同サイズ
の基板に膜厚１．０μｍ±１０％で感光性樹脂膜を形成
する場合に（図３２）、前述した溶剤系の感光性樹脂を
塗布すると、５ｇ／ｓとスピンコート法に比較して、感
光性樹脂の塗布量は少なくて済む。しかし、ロールの塗
布方向（矢印Ｅ）に、スジ状ムラ（ｃ）が発生する。図
３３は、格子上に膜厚を測定した結果を示したグラフで
あり、図３４は基点Ｃ−Ｄ間を連続的に膜厚測定したグ
ラフであり、これらのグラフからスジ状ムラ（ｃ）が認
められる。このスジ状ムラ（ｃ）は、感光性樹脂の種類
の関係なく発生する。このため、基板平面上に形成され
た塗膜の厚さのバラツキが±１０％以上になってしま
い、高画質ディスプレイ用のフィルタには使用できな
い。

【０００７】特開昭６３−２４６８２０号には、「平板
状物体上に感光性樹脂を塗布する方法において、はじめ
に、ロールコーターで上記平板状物体上に上記感光性樹
脂を塗布し、引きつづき上記平板状物体を所定の回転数
で回転させることによって、上記感光性樹脂を塗布す
る」方法が開示されている。

【０００８】また、特開昭６３−３１３１５９号には、
「レジストを塗布する転写ローラを有するレジスト塗布
部と、上記転写ローラに対峙して設けられ、基板を水平
に保持し、かつ、回転自在になる保持装置と、この保持
装置と上記レジスト塗布部とを相対的に移動して、上記
転写ローラを上記基板の塗布面に移動させる移動手段
と、上記塗布された基板を保持した上記保持装置を回転
させる回転装置とを備えた」装置が開示されている。

【０００９】前記方法、前記装置は、いずれもスピンコ
ート法を行う前にロールコート法により感光性樹脂を塗
布することを要旨としているが、前述したようにロール
コート法で発生するスジ状ムラは、ロールコート時に固
定されてしまい、その後にスピンコートを行っても平滑
化することはできない。これは、どのような感光性樹脂
を、どのような厚さに塗布しても同じである。特に粘性
が低く、基板に対してぬれ性の悪い水溶性感光性樹脂で
は、ロールコート法を含む方法では塗布することができ
ない。

【００１０】本発明の目的は、前述の各問題点を解決し
て、粘性液体の塗布量を少なくでき、しかも薄くかつ、
均一な塗膜を形成できる粘性液体の塗布装置を提供する
ことである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明による顔料分散感光性樹脂の塗布装置は、塗
布対象物の塗布面への顔料分散感光性樹脂の塗布方向と
直交する方向に直線状部材を顔料分散感光性樹脂を介し
て配置し、前記直線状部材を使用して前記顔料分散感光
性樹脂を引き延ばして前記塗布対象物の塗布面の一部ま
たは全面に前記顔料分散感光性樹脂を塗布する塗布機構
から構成された第１塗布部と、該第１塗布部で塗布され
た顔料分散感光性樹脂を遠心力により塗布対象物の被塗
布面の全面に均一に分散させる第２塗布部とからなり、
第１塗布部における塗布対象物の塗布面と直線状部材と
の間隔を所定の間隔に設定する機構を設けた顔料分散感
光性樹脂の塗布装置において、第１塗布部における直線
状部材を洗浄する洗浄部を設けたことを特徴とする。

【００１２】上記の洗浄部が、洗浄槽と洗浄ブラシと拭
き取りローラより構成されることを特徴とする。

【００１３】上記の洗浄部が、洗浄液を給水する給水管
と洗浄後の排水を行なう排水管とを配設した洗浄槽より
構成されることを特徴とする。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面等を参照して、実施例
につき、本発明を詳細に説明する。図１は、本発明によ
る粘性液体の塗布方法の実施例を示したブロック図であ
る。本発明による粘性液体の塗布方法は、スキージ塗布
工程１０とスピン塗布工程１２とから構成されている。
スキージ塗布工程１０は、塗布対象物の被塗布面の端部
に粘性液体を滴下し、その被塗布面の一部または全面に
前記滴下された粘性液体を所定の厚さに引き延ばす工程
である。この工程で、粘性液体を予め塗布面にスキージ
によって引き延ばすことにより、後工程での粘性液体の
塗布量を減少させても均一に塗布することができる。

【００１５】粘性液体としては、１０〜１００ｃｐｓ程
度の粘度の液体であればよく、溶剤系感光性樹脂、水溶
性感光樹脂、またはこれらの感光性樹脂に顔料等の着色
材を分散させた感光性樹脂などの感光性樹脂や、各種の
接着剤、保護膜を形成するための樹脂、インキなどを対
象にすることができる。

【００１６】この工程で塗布される層の厚さは、３０μ
ｍ〜２００μｍ程度が好ましく、塗布面の全面に塗布し
てもよいし、塗布面の中心部から８０〜９０％程度の範
囲だけ塗布するようにしてもよい。

【００１７】スキージ塗布工程１０を施すことにより、
塗布面の有効部分に粘性液体を滴下しないので、滴下ム
ラが発生しない。また、塗布面の有効部分内の凹凸に対
して、強制的に平坦化できるので、従来の塗布方法に特
有な凹部にそった粘性液体の流れが発生しない。

【００１８】スピン塗布工程１２は、スキージ塗布工程
１０で引き伸ばした粘性液体を遠心力により前記塗布対
象物の被塗布面の全面に均一に分散させる工程である。
この工程では、予め粘性液体が塗布されているので、粘
性液体の飛散量が大幅に減少し、粘性液体の跳ね返りが
なくなり、突起不良などが減少する。

【００１９】図２は本発明による粘性液体の塗布装置の
第１の実施例を示した斜視図である。第１の実施例の塗
布装置は、スキージ塗布部１４とスピン塗布部２８に大
きく分けられる。スキージ塗布部１４には、載置台１６
と塗布ノズル１８とスキージ２２とスキージ洗浄槽２６
等とから構成されている。載置台１６は自動搬送されて
きた塗布対象物（以下、基板という）３４を載置して固
定する台である。塗布ノズル１８は、載置台１６の左側
に設けられている。塗布ノズル１８は、感光性樹脂３６
を滴下するノズルであり、ＤＣモータ等により移動する
移動台２０によりｙ方向に一定速度で移動することがで
きる。

【００２０】スキージ２２は、載置台１６の前後方向に
設けられている。このスキージ２２は、載置台１６の前
側に設けられたＤＣモータ等により移動する移動台２４
により、ｘ方向に一定速度で移動できる。また、スキー
ジ２２と基板３４の間隔を任意に調節できるように、ｚ
方向にも移動することができる。

【００２１】スキージ洗浄槽２６は、載置台１６の右側
に設けられている。スキージ洗浄槽２６は、１回の操作
が終了するごとに、スキージ２２を洗浄剤で洗浄したの
ち乾燥処理する槽である。

【００２２】スピン塗布部２８は、スピンチャック３０
とスピンカップ３２等とから構成されている。スピンチ
ャック３０は基板３４を吸着保持するとともに、高速回
転する部分である。スピンチャック３０は、外周部真空
吸着方式を採用しているので、有効画素内でのチャック
ムラを防止することができる。スピンカップ３２はスピ
ンチャック３０が回転したときに飛散した感光性樹脂３
６を収容する形状の容器である。

【００２３】次に、この実施例の粘性液体の塗布装置の
動作を具体的な製造例を挙げながら、さらに詳しく説明
する。基板３４として、３００×３２０×１．１^t ｍｍ
のサイズのものを用い、感光性樹脂３６として顔料分散
感光性樹脂を１．３μｍに塗布する例で説明する。

【００２４】基板３４が載置台１６上に搬送されてくる
と、塗布ノズル１８がその基板３４の端面と平行に移動
しながら、感光性樹脂３６を１０〜２５ｇ滴下する。つ
ぎに、スキージ２２と、基板３４の間隔を２００μｍに
設定して、５ｃｍ／ｓｅｃの速度で移動して、基板３４
上に滴下された感光性樹脂３６を全面に引き延ばす。

【００２５】スキージ塗布部１４で感光性樹脂３６が塗
布された基板３４は、図示しない自動搬送装置によりス
ピン塗布部２８に搬送される。この間に、スキージ２２
はスキージ洗浄槽２６で洗浄して乾燥される。スピン塗
布部２８に搬送された基板３４は、スピンチャック３０
に吸着されたのち、１９００ＲＰＭで、２〜３秒間だけ
回転する。この結果、基板３４の有効画素内で平均１．
３μｍ±２％の感光性樹脂膜が得られた。

【００２６】図３、図４は本発明による粘性液体の塗布
装置の第２の実施例を示した図、図５は同第２の実施装
置の動作シーケンスを説明するための線図である。第２
の実施例の塗布装置はスキージ塗布部とスピン塗布部を
一体にしたものである。これは図２の実施例の装置で
は、スキージ塗布部からスピン塗布部への自動搬送に時
間がかかり、感光性樹脂の種類によっては、乾燥、変質
などにより使用できない場合があるからである。

【００２７】図２の装置に使用できる感光性樹脂として
は、水溶性感光性樹脂（ゼラチン、カゼイン等）、顔料
分散した前記水溶性感光性樹脂、ＰＶＡ（ポリビニルア
ルコール）水溶液、アクリル主成分のＪＤＳ（日本合成
ゴム製）、アクリル主成分のＣＦＰ（チッソ製）等が挙
げられ、第３の装置に使用できる感光性樹脂としては、
ＪＳＲ−７０３（日本合成ゴム製）、ＯＭＲ−８５、Ｏ
ＭＲ−８３（東京応化製）、ＯＦＰＲ−８００、ＯＦＰ
Ｒ−２（東京応化製）、ＰＶＡ水溶液、アクリル主成分
のＪＤＳ（日本合成ゴム製）、アクリル主成分のＣＦＰ
（チッソ製）等が挙げられる。

【００２８】スピンカップ５２内には、スピンチャック
４８が上下方向に移動できるように設けられており、ス
ピンチャック４８の上昇端の位置に塗布ノズル３８およ
びスキージ４２が配置されている。

【００２９】次に、この実施例の塗布装置の細部の構造
と、その動作を図５に示した動作シーケンスに従って、
さらに詳しく説明する。基板５６として、３００×３２
０×１．１^t ｍｍのガラスを用い、感光性樹脂５８とし
て顔料分散感光性樹脂を１．３μｍの厚さに塗布する例
で説明する。

【００３０】まず、スピンチャック４８が上昇した状態
にする（図５（ｄ））。滴下ノズル３８の移動台４０が
移動しながら（図５（ａ）：ｔ₁ 〜ｔ₄ ）、滴下ノズル
３８から感光性樹脂５８を基板５６の端面に沿って滴下
する（図５（ｂ）：ｔ₂ 〜ｔ₃ ）。次に、スキージ４２
を一定速度（５ｃｍ／ｓｅｃ）で移動させ、基板５６上
の感光性樹脂５８を全面に引き延ばす（図５（ｃ）：ｔ
₅ 〜ｔ₈ ）。この時、スキージ４２と基板５６の間隔を
２００μｍに設定してある。

【００３１】スキージ４２で塗布したのち、スピンチャ
ック５をスピンカップ６内に下降させたのち（図５
（ｄ）：ｔ₉ 〜ｔ₁₀）、スピンモータ５０を１９００Ｒ
ＰＭで高速回転し（図５（ｆ）：ｔ₁₈〜ｔ₁₉）、その後
に５００ＲＰＭで中速回転する（図５（ｆ）：ｔ₂₀〜ｔ
₂₁）。このように、加速時間が１秒以下（ｔ₁₇〜ｔ₁₈）
であるショートスピン方式を採用しているので、基板外
周部の１０ｍｍ以内ではフリンジが発生することはな
い。

【００３２】この間に、排気ファン５４が回転し、チャ
ックカップ５２内を排気している（図５（ｅ）：ｔ₁₃〜
ｔ₁₆）。このように、スプレッド時より排気するととも
に、アッパフードの直径を大きくした（φ１０ｃｍから
φ３０ｃｍにした）ので、気流が基板表面を滑り、膜厚
段差が生じなくなった。また、スキージ４２は、スキー
ジ洗浄槽４６内で洗浄、乾燥される（図５（ｈ）：ｔ₂₇
〜ｔ₃₀）。

【００３３】感光性樹脂５８が均一に塗布された基板５
６は、図示しない搬送アームによりスピンカップ５２内
から搬出される（図５（ｇ）：ｔ₂₃〜ｔ₂₆）。この結
果、基板５６の有効画素内に、平均１．３μｍ±２．０
％の感光性樹脂膜が得られた。このように、本発明では
感光性樹脂の利用効率（従来比１／４〜１／５減）が高
く、基板平面に形成された膜厚のバラツキを±２％程度
におさえることができる。

【００３４】図６〜図１５は、本発明による粘性液体の
塗布装置の第３の実施例を示した図であって、図６は主
要部の平面図、図７は図６VII −VII 断面図、図８は図
６VIII−VIII断面図、図９はスピンチャックの一部を示
した平面図、図１０は図９の側断面図、図１１は塗布ノ
ズルを示した図、図１２はスキージを示した図、図１３
は前記スキージの部分拡大図、図１４は前記スキージの
変形例を示した部分拡大図、図１５はスキージ洗浄槽を
示した平面図、図１６は前記スキージ洗浄槽の側断面図
である。

【００３５】第３の実施例の塗布装置は、第２の実施例
の装置と同様に、スキージ塗布部とスピン塗布部を一体
化したものであるが、細部の構造に改良を加えたもので
ある。この塗布装置は、基本的には基板７４をバキュー
ムにより固定するとともに、スピン回転を与えるスピン
チャック６０と、感光性樹脂８０を基板の端部に滴下さ
せる塗布ノズル６０と、滴下された感光性樹脂８０を基
板の全面に引き伸ばすスキージ９０と感光性樹脂８０が
付着したスキージ９０の洗浄を行うスキージ洗浄部１２
４と、塗布プロセスによりスピンチャック６０の外周や
スピンナカップ６２回りに付着した感光性樹脂８０を落
とすチャック洗浄ノズル１４０と、１４２等とから構成
されている。

【００３６】スピンチャック６０は図７、図８に示すよ
うに、スピンナカップ６２の中に設けられている。この
スピンチャック６０は、図９、図１０に示すようにモー
タ軸６４とチャック受６６と、チャック下部６８と、チ
ャック中部７０と、チャック上部７２等とから構成され
ている。なお、図９、図１０はスピンチャック６０のほ
ぼ１／４の部分を示しており、さらに左右方向の中間部
分を省略してある。モータ軸６４には、大径の通路６４
ａと小径の通路６４ｂが設けられている。チャック受６
６は、円筒部６６ａの上に円板部６６ｂが設けられ、さ
らにその上に円板上の凸部６６ｃが設けられた形状をし
ており、円筒部６６ａの内壁がモータ軸６４の上端に挿
入されている。このチャック受６６は、モータ軸６４の
通路６４ａに接続される通路６６ｄと、通路６４ｂに接
続される通路６６ｅと、通路６６ｅに連通する環状の通
路６６ｆと、通路６６ｆに連通する４つの放射状の通路
６６ｇとを有している。チャック下部６８は、正方形の
底板６８ａの外周に、側壁６８ｂが設けられた形状をし
ており、中心部に設けられた結合孔６８ｃがチャック受
６６の円板部６６ｂと結合している。チャック中部７０
は、正方形の板７０ａの中心部に設けられた結合孔７０
ｂがチャック受け６６の凸部６６ｃに結合し、その板７
０ａがチャック下部６８内に間隙をもって挿入されてい
る。チャック中部７０は、上面の外周縁に凸部７０ｃ
と、上面の中心部を通る十字の溝７０ｄを有している。
チャック上部７２は、チャック中部７０の中に載置され
ている。基板７４は、チャック中部７０の外周縁の凸部
７０ｃにより支持される。

【００３７】モータ軸６４の通路６４ａは、図示しない
三方弁に接続されており、空気圧源からの圧縮エアまた
は真空ポンプからのバキュームが選択的に供給される。
通路６４ａは、チャック受６６の流路６６ｄ、チャック
中部７０の溝７０ｄ、チャック中部７０の凸部７０ｃと
チャック上部７２の間隙に、連通しており、感光性樹脂
塗布時にはバキュームによって基板７４が吸着され、ス
ピンチャック７０、スピナカップ７２の洗浄時には圧縮
エアが供給されることによって洗浄液に侵入を防いでい
る。モータ軸６４の通路６４ｂは、空気圧源からの圧縮
エアが供給される。通路６４ｂは、チャック受６６の通
路６６ｅ、通路６６ｆ、通路６６ｇ、チャック下部６８
とチャック中部７０との間隙に連通しており、感光性樹
脂塗布時に圧縮エアによって感光性樹脂の侵入を防いで
いる。

【００３８】塗布ノズル７６は、図６、図１１に示すよ
うに、案内棒７８に沿って任意の速度で移動でき、基板
７４の端部に感光性樹脂８０を滴下する。この実施例で
は、塗布ノズル７６の移動速度は１００ｍｍ／ｓｅｃ前
後に設定してある。

【００３９】センサ８２、８４、８６、８８は塗布ノズ
ル７６の外側に設けられており、非接触で塗布ノズル７
６を検出する。センサ８２とセンサ８４の出力はタイマ
で遅延させることにより、感光性樹脂８０の吐出の開始
と終了のタイミングを決定する信号として使用してい
る。また、塗布ノズル７６の移動速度は、センサ８２、
８４の間、センサ８４、８６の間およびセンサ８６、８
８の間で変化できるようになっている。

【００４０】スキージ９０は基板７４の端部に滴下され
た感光性樹脂８０を基板７４の全面に引き伸ばすための
ものであり、図６の示すように案内棒９２、９４に沿っ
て移動することができる。

【００４１】この実施例のスキージ９０は基板７４の厚
みにバラツキがあっても、ギャップ量の再現性を維持す
るように工夫されている。スキージ９０は、図１２、図
１３に示すように円柱状のスキージ部９６の両端にスキ
ージ部９６の半径よりも所定のギャップ量δに相当する
だけ半径が大きく、摩耗を防止するためにテフロン加工
された案内部９８が設けられている。スキージ９０は案
内部９８が基板７４の両端に直接接触して移動するの
で、スキージ部９６と基板７４の間に所定のギャップ量
δを持たせることができる。

【００４２】基板７４の両端に加わるスキージ９０の重
量が重いと、基板７４が撓んで、ギャップ量が変動する
可能性がある。このため、以下のような構造にしてあ
る。図１３に詳しく示したように、スキージ９０の案内
部９８のさらに外側には軸１００が設けられている。案
内棒９４上に移動する受け部１０２には支持棒１０４が
設けられており、その支持棒１０４にアーム１０６が設
けられている。このアーム１０６には矢印方向のあそび
をもたせるための長孔１０６ａが設けられており、その
長孔１０６ａに軸１００が挿入されている。このため、
基板７４の両端に加わる重量は、スキージ部９６、案内
部９８、軸１００だけになり、基板７４が撓んでギャッ
プ量δが変動することはなくなる。

【００４３】また、スキージ９０は、同様な目的で、図
１４に示すような構造とすることができる。スキージ部
１０８に設けられた案内部１１０の両側に軸１１２を設
け、さらにアーム１１４を介して、クランク状に軸１１
６を設ける。この軸１１６は、アーム１１８で支持され
ており、軸１１６の他端にはスキージ部１０８と釣り合
うようにアーム１２０を介して重り１２２が設けられて
いる。

【００４４】スキージ洗浄部１２４は、図６、図１５、
図１６に示すようにスピンナカップ６２を隔てた塗布ノ
ズル７６の反対側に配置されている。洗浄槽１２６には
給水管１２６ａから洗浄液１２８が給水され、排水管１
２６ｂから排水される。洗浄槽１２６内にはナイロン製
の洗浄ブラシ１３０が回転できるように配置されてい
る。洗浄槽１２６の斜め上側にはローラユニットが配置
されている。このローラユニットは絞りローラ１３２と
拭き取りローラ１３４を枠１３６で連結して絞りローラ
１３２の軸を中心にして、拭き取りローラ１３４が回転
できるようにしたものである。洗浄槽１２６や絞りロー
ラ１３２、拭き取りローラ１３４等はさらに外ケース１
３８で覆われており、洗浄槽１２６からオーバフローし
た洗浄液１２８は排水管１３８ａから排水される。

【００４５】スキージ９０はスキージ塗布を終了したの
ち、洗浄槽１２６の位置に移動する。スキージ部９６が
洗浄槽１２６の上部に移動すると、洗浄ブラシ１３０に
より感光性樹脂８０が付着したスキージ部９６の洗浄を
行う。次にスキージ部９６が上昇し、拭き取りローラ１
３４が９０度回転して、スキージ部９６の表面を拭き取
る。また、拭き取りローラ１３４に含まれた洗浄液は、
絞りローラ１３２により絞りながら、拭き取られる。こ
の間に洗浄槽１２６内を排水し、給水弁により洗浄液の
入れ換えを行う。

【００４６】チャック洗浄ノズル１４０、１４２は図
６、図８に示すようにスピンナカップ６２内の塗布ノズ
ル７６側に設けられている。これらのチャック洗浄ノズ
ル１４０、１４２はスピンチャック６０上に洗浄液（例
えば、純水）を吐出し、それと同時にスピンチャック６
０が回転して、その遠心力によりスピンチャック６０の
外周とスピンナカップ６２の回りに付着した感光性樹脂
を除去するようにして洗浄が行われる。

【００４７】タクト１４４、１４６は図６、図８に示す
ようにスピンナカップ６２内のスピンチャック６０への
基板７４の搬入、搬出を行うためのものであり、この実
施例ではスピンナカップ６２の両側に第１タクト１４４
Ａ、１４６Ａと第２タクト１４４Ｂ、１４６Ｂを配置し
て、搬入と搬出を交互におこなって効率化を図ってい
る。

【００４８】図１７、図１８は本発明による粘性液体の
塗布装置の第３の実施例の特性を説明するための図であ
って図１７は基板・スキージ間ギャップ量と感光性樹脂
最小滴下量の関係を示した図、図１８はスキージ送り速
度と感光性樹脂最小滴下量を関係を示した図である。

【００４９】感光性樹脂の有効利用率を上げるために
は、基板の全面に均一に塗布することができる感光性樹
脂の最小滴下量を見出すことが必要である。基板のサイ
ズが３００×３２０×１．１^t ｍｍであって、素ガラス
を用いた場合（実線）と、素ガラスの表面にコントラス
トを向上させる遮光槽であるクロムパターンを付けた場
合（１点鎖線）について、顔料分散水溶性感光樹脂（Ｂ
ＬＵＥ）を塗布することにより、以下のようなテストを
行った。

【００５０】スキージの送り速度を一定（７３ｍｍ／ｓ
ｅｃ）にして、基板とスキージ間のギャップ量を０．１
０ｍｍ、０．１５ｍｍ、０．２０ｍｍとしたときに、必
要な感光性樹脂の最小滴下量を測定し、図１７のような
結果が得られた。この実施例では、この結果を利用して
感光性樹脂の滴下量を基板とスキージ間のギャップ量を
もとにして決定することにした。

【００５１】次に、基板とスキージ間のギャップ量を
０．１０ｍｍ、０．１５ｍｍ、０．２０ｍｍにした場合
に、スキージの速度を変化させて、感光性樹脂の最小滴
下量を測定した。図１８に示すようにスキージの送り速
度を下げれば感光性樹脂の最小滴下量が少なくなり、し
かもギャップ量が大きいほど顕著であることがわかる。
また、各ギャップ量において、４０ｍｍ／ｓｅｃ以上の
送り速度では、スキージの送り速度にかかわらず略一定
の滴下量で安定的に塗布が行えることがわかる。この実
施例の塗布装置では、スキージの送り速度はスループッ
ト（量産性）と塗布の安定性を考慮して約６０ｍｍ／ｓ
ｅｃに設定した。

【００５２】図１９は本発明による粘性液体の塗布装置
の第３の実施例の塗布プロセスを説明するための工程図
である。図２０、図２１は、図１９のそれぞれ左半分、
右半分の拡大図であり、以下、図１９を使用して説明す
る。なお、この工程図はセンサ出力時のタイミングで考
えており、図中の白抜きの矢印は移動中であることを示
している。

【００５３】第１タクト１４４Ａ、１４６Ａは中間位置
から洗チャンバ位置に移動して（図１９（ａ）：ｔ₁ 〜
ｔ₂ ）、図８に示すアーム上限位置からアーム下限位置
に移動し（図１９（ａ）：ｔ₃ 〜ｔ₄ ）、アームを閉じ
ることにより、（図１９（ａ）：ｔ₅ 〜ｔ₆ ）、洗チャ
ンバ内の基板７４をつかむ。次に、アームが下限位置か
ら上限位置に移動し（図１９（ａ）：ｔ₇ 〜ｔ₈ ）、洗
チャンバ位置からコータチャンバ位置に移動し（図１９
（ａ）：ｔ₉ 〜ｔ₁₀）、アームが上限位置から下限位置
に移動して（図１９（ａ）：ｔ₁₁〜ｔ₁₂）、アームを開
き（図１９（ａ）：ｔ₁₃〜ｔ₁₄）、スピンチャック６０
上に基板７４を載置する。さらに、アームが下限位置か
ら上限位置に移動し（図１９（ａ）：ｔ₁₅〜ｔ₁₆）、コ
ータチャンバ位置から中間位置に移動して待機する（図
１９（ａ）：ｔ₁₇〜ｔ₁₈）。

【００５４】塗布ノズル７６は第１タクト１４４Ａ、１
４６Ａが洗チャンバ位置からコータチャンバ位置に移動
したタイミング（図１９（ａ）：ｔ₁₀）に同期して、所
定の時間だけ感光性樹脂の吐き出しを行う（図１９
（ｃ）：ｔ₁₉〜ｔ₂₀）。次に、アームが下限位置から上
限位置に移動したタイミング（図１９（ａ）：ｔ₁₆）に
同期して、図６に示す原点位置から終点位置まで移動す
る（図１９（ｃ）：ｔ₂₁〜ｔ₂₂）このとき、所定の時間
だけ感光性樹脂の吐き出しをおこなう（図１９（ｃ）：
ｔ₂₃〜ｔ₂₄）。こののち、終点位置から原点位置に復帰
する（図１９（ｃ）：ｔ₂₅〜ｔ₂₆）。

【００５５】スキージ９０は、塗布ノズル７６の位置を
検出するセンサからの出力により、図６に示した原点位
置から終了位置まで移動する（図１９（ｄ）：ｔ₂₇〜ｔ
₂₈）。このとき、スキージ９０は下限位置から上限位置
に移動する（図１９（ｄ）：ｔ₂₉〜ｔ₃₀）。次に、塗布
終了位置から終点に移動し（図１９（ｄ）：ｔ₃₁〜
ｔ ₃₂）、上限位置から下限位置に移動する（図１９
（ｄ）：ｔ₃₃〜ｔ₃₄）。

【００５６】スピンモータはスキージ９０が終点に移動
したタイミング（図１９（ｄ）：ｔ ₃₂）に同期して、モ
ータロックが解除されて、フリーになる（図１９
（ｅ）：ｔ ₃₅〜ｔ₃₆）。これと同時にスピンナカップ６
２が下限位置から上限位置に移動する（図１９（ｆ）：
ｔ₃₇〜ｔ₃₈）。スピンモータが所定のスピンプログラム
にしたがってオンオフしたのち（図１９（ｅ）：ｔ₃₉〜
ｔ₄₀）、スピンナカップ６２が上限位置から下限位置に
移動する（図１９（ｆ）：ｔ₄₃〜ｔ₄₄）。スピンモータ
は原点出しをしてオフする（図１９（ｅ）：ｔ₄₅）。モ
ータはフリーの状態からロックされた状態になる（図１
９（ｅ）：ｔ₄₇〜ｔ₄₈）。

【００５７】スピンモータによるスピン塗布が終了する
と、第２タクト１４４Ｂ、１４６Ｂは中間位置からコー
タチャンバ位置に移動して（図１９（ｂ）：ｔ₄₉〜
ｔ₅₀）、図８に示すアーム上限位置からアーム下限位置
に移動し、（図１９（ｂ）：ｔ₅₁〜ｔ₅₂）、アームを閉
じることにより（図１９（ｂ）：ｔ₅₃〜ｔ₅₄）、コータ
チャンバ内の基板７４をつかむ。つぎに、アームが下限
位置から上限位置に移動し（図１９（ｂ）：ｔ₅₅〜
ｔ₅₆）、コータチャンバ位置から乾チャンバ位置に移動
し（図１９（ｂ）：ｔ₅₇〜ｔ₅₈）、アームが上限位置か
ら下限位置に移動して（図１９（ｂ）：ｔ₅₉〜ｔ₆₀）、
アームを開き（図１９（ｂ）：ｔ₆₁〜ｔ₆₂）、乾チャン
バへ基板７４を移す。さらにアームが下限位置から上限
位置に移動し（図１９（ｂ）：ｔ₆₃〜ｔ₆₄）、乾チャン
バ位置から中間位置に移動して待機する（図１９
（ｂ）：ｔ₆₅〜ｔ₆₆）。

【００５８】一方、スキージ９０は終点位置ではスキー
ジ洗浄槽１２４上に位置している。洗浄ブラシ１３０は
常時回転しており、スキージが上限位置から下限位置に
移動することにより（図１９（ｄ）：ｔ₃₃〜ｔ₃₄）、洗
浄が開始され（図１９（ｇ）：ｔ₆₇）、洗浄終了（図１
９（ｇ）：ｔ₆₈）の直前に洗浄槽１２６内の給水を停止
し（図１９（ｇ）：ｔ₆₉）、排水を開始する（図１９
（ｇ）：ｔ₇₁）。第２タクト１４４Ｂ、１４６Ｂが乾チ
ャンバ内に移ったタイミングで（図１９（ｂ）：
ｔ₅₈）、拭き取りローラが原点位置から終点位置に移動
する（図１９（ｇ）：ｔ ₇₅〜ｔ₇₆）、常時回転している
拭き取りローラでスキージ９０上の洗浄液が拭き取ら
れ、終点位置から原点位置への移動により（図１９
（ｇ）：ｔ₇₇〜ｔ₇₈）、拭き取りを終了する。このの
ち、洗浄槽の排水が終了し（図１９（ｇ）：ｔ₇₂）、給
水が開始される（図１９（ｇ）：ｔ₇₀）。スピンナカッ
プ６２から基板７４が排出されたのち（図１９（ｂ）：
ｔ₅₈）、スピンナカップ６２が上昇し（図１９（ｅ）：
ｔ₇₉〜ｔ₈₀）、スピンモータのロックがフリーになり
（図１９（ｅ）：ｔ₈₁〜ｔ₈₂）、スピンプログラムに従
って、スピンモータが回転する（図１９（ｅ）：ｔ₄₆〜
ｔ₈₃〜ｔ₈₄）。この間に、チャック洗浄液が噴射される
（図１９（ｈ）：ｔ₈₉〜ｔ₉₀）。スピンナカップ６２は
下降し（図１９（ｆ）：ｔ₈₅〜ｔ ₈₆）、スピンモータは
ロックされる（図１９（ｅ）：ｔ₈₇〜ｔ₈₈）。

【００５９】スピンチャック６０のバキュームは第１タ
クト１４４Ａ、１４６Ａにより基板７４がコータチャン
バに入った時点（図１９（ａ）：ｔ₁₀）から、第２タク
ト１４４Ｂ、１４６Ｂにより基板７４がコータチャンバ
から出る時点（図１９（ｂ）：ｔ₅₀）までオンされてい
る（図１９（ｉ）：ｔ₉₁〜ｔ₉₂）。

【００６０】スピンチャック６０のエアはチャックを洗
浄時のスピンプログラムの開始の時点（図１９（ｅ）：
ｔ₄₆）に同期して所定の時間だけオンされている（図１
９（ｉ）：ｔ₉₃〜ｔ₉₄）。

【００６１】スピンチャック６０の外周エアは第１タク
ト１４４Ａ、１４６Ａのアームが上限位置へ移動した時
点（図１９（ａ）：ｔ₁₆）から、第２タクト１４４Ｂ、
１４６Ｂのアームが上限位置へ移動した時点（図１９
（ｂ）：ｔ₅₀）までオンされている（図１９（ｉ）：ｔ
₉₅〜ｔ₉₆）。また、チャック洗浄時のスピンプログラム
の開始の時点（図１９（ｅ）：ｔ₄₆）に同期して所定の
時間だけオンされている（図１９（ｉ）ｔ₉₇〜ｔ₉₈）。
コータチャンバに基板７４が搬入されてから、前述の工
程を終了するまでの１サイクルは８０ｓｅｃである。

【００６２】図２２、図２３は本発明による粘性液体の
塗布装置の第３の実施例をカラー（色分解）フィルタを
製造する場合を例にして示した工程図である。赤色、緑
色および青色の顔料を、それぞれ表１に示したような組
成割合で感光性樹脂に分散させて、赤色、緑色および青
色の着色感光性樹脂８０Ｒ、８０Ｇ、８０Ｂを作製す
る。

【００６３】

【表１】 （単位；重量％） 赤色感光性樹脂（８０Ｒ） ピラゾロンレッド（赤色顔料） ・・・１０ ポリビニルアルコール／５％スチルバゾリウムキノリウム（感光性樹脂） ・・・ ５ 水 ・・・８５ 緑色感光性樹脂（８０Ｇ） リオノールグリーン ２Ｙ−３０１（緑色顔料）・・ ９ ポリビニルアルコール／５％スチルバゾリウムキノリウム（感光性樹脂） ・・・ ５ 水 ・・・８６ 青色感光性樹脂（８０Ｂ） ファストドゲンブルー ・・・ ３ ポリビニルアルコール／５％スチルバゾリウムキノリウム（感光性樹脂） ・・・ ５ 水 ・・・９２

【００６４】基板７４は、厚さ１．１ｍｍのガラス基板
（旭ガラス製ＡＬ材）を十分に洗浄したものを用いた。

【００６５】基板７４の上に赤色感光性樹脂８０Ｒを滴
下ノズル７６で滴下し、（図２２（ａ））、スキージ９
６と基板７４のギャップ量Ｇ₁ ＝０．１ｍｍにして、ス
キージ９６でスキージ塗布した（図２２（ｂ））。さら
に、スピン塗布を行って１．２μｍの膜厚になるように
した（図２２（ｃ））。そののち、温度７０℃で３０分
間オーブン中で乾燥させ、所定のパターンのマスク１５
０を密着させて、水銀ランプを用いて露光し（図２２
（ｄ））、水によるスプレ現像を１分間行い、赤色画素
を形成すべき領域に赤色のレリーフ画素を形成し、さら
に１５０℃で３０分間加熱硬化させて、赤色画素を形成
すべき領域に赤色のレリーフ画素８０ｒを得た（図２２
（ｅ））。

【００６６】同様に、緑色感光性樹脂８０Ｇを滴下し
（スキージ９６と基板７４とのギャップ量Ｇ₂ を前述し
たギャップ量Ｇ₁ よりも大きいギャップ量Ｇ₂ ＝０．２
ｍｍにして、スキージ９６でスキージ塗布した（図２３
（ｆ））。さらに、スピン塗布を行って、１．２μｍの
膜厚になるようにした（図２３（ｇ））。そののち、温
度７０℃で３０分間オーブン中で乾燥させ、所定のパタ
ーンのマスク１５２を密着させて、水銀ランプを用いて
露光し（図２３（ｈ））、水によるスプレ現像を１分間
行い、緑色画素を形成すべき領域に緑色のレリーフ画素
を形成し、さらに１５０℃で３０分間加熱硬化させて、
緑色画素を形成すべき領域に緑色のレリーフ画素８０ｇ
を得た（図２３（ｉ））。

【００６７】さらに、青色感光性樹脂８０Ｂを緑色感光
性樹脂８０Ｇと同様に、滴下したのち、前述したギャッ
プ量Ｇ₁ よりも大きいギャップ量Ｇ₃ ＝０．２ｍｍにし
て、スキージ９６でスキージ塗布し（図２３（ｊ））、
上記緑のレリーフ画像と同様に所定のパターンのマスク
にて露光して現像した後、加熱硬化して、青色画素を形
成すべき領域に青色のレリーフ画素８０ｂを得た。

【００６８】最後に、透明樹脂を２μｍの膜厚に塗布し
て、１５０℃で３０分間加熱硬化させて保護膜を形成し
て赤色のレリーフ画素８０ｒ、緑色のレリーフ画素８０
ｇ、青色のレリーフ画素８０ｂが規則的に配置された色
分解フィルタを作製した（第２３図（ｋ））。

【００６９】次に、この実施例の粘性液体の塗布装置
（スキージ塗布＋スピンコート）と、従来のスピンコー
トのみの塗布装置の塗布結果を比較する。

【００７０】まず、感光性樹脂の有効利用率を比較す
る。

【００７１】

【表２】 本発明 スピンコート 利用率 金額 利用率 金額 赤画素 ３３．８％ ４２円 ２．０％ ４６６円 緑画素 ８．８ １６０ ２．０ ４４５ 青画素 ８．８ １６０ ３．１ ５２２ 合計 − ３６２ − １４３３

【００７２】表２からわかるように、赤画素を形成する
赤色感光性樹脂の有効利用率が３３．８％と高いが、緑
画素を形成する緑色感光性樹脂、青画素を形成する青色
感光性樹脂の場合は有効利用率がともに８．８％であっ
た。この理由はＬＣＤの製造工程上、３色の画素パター
ンをそれぞれ基板上に形成するが、最初に形成する赤画
素は、基板・スキージ間のギャップ量を０．１ｍｍにし
て塗布できる。

【００７３】しかし、２色目（緑画素）、３色目（青画
素）の感光性樹脂は、すでに１．２μｍの赤画素パター
ンが形成されている基板上に感光性樹脂を塗布しなけれ
ばならないので、ギャップ量が０．１ｍｍでスキージ塗
布したのち、スピン塗布するとムラが発生してしまう。
そこで、このムラを無くすために、ギャップ量を０．２
ｍｍにしてスキージ塗布しなければならないからであ
る。しかし、感光性樹脂のトータルコストが約１／４に
なり、有効利用率が著しく向上していることがわかる。

【００７４】図２４〜図２５、図２６〜図２７は本発明
による粘性液体の塗布装置の第３の実施例の膜厚分布特
性を従来例と比較して示した図である。図２４〜図２５
に示した例では、感光性樹脂はＰＶＡ−スチルバゾル基
に顔料を分散させたネガ感光性樹脂であって、粘度が４
０〜４５ｃｐｓのものを用いた。基板はサイズが３００
×３００×１．１^t ｍｍのものを用いてテストを行っ
た。

【００７５】この結果、基板の中央部での感光性樹脂の
盛り上がりは、本発明（図２４）のほうが、従来例（図
２５）よりも顕著に減少していることがわかる。また、
膜厚面内バラツキは、φ３００ｍｍの内接円で、従来例
では±５．５％であるのに対して本発明では±３．５％
以内に入っている。

【００７６】図２６〜図２７に示した例では感光性樹脂
はノボラック系ポジ感光性樹脂であって、粘度が６ｃｐ
ｓのものを用い、基板は同様に３００×３００×１．１
^t ｍｍのものを用いてテストを行った。この結果、基板
の中央部での感光性樹脂の盛り上がりは、本発明（図２
６）のほうが、従来例（図２７）よりも減少しているこ
とがわかる。また、膜厚面内バラツキはφ３００ｍｍの
内接円で従来では±３％以内であるのに対して、本発明
では±２％以内に入っている。

【００７７】図２８は、本発明による粘性液体の塗布装
置の第３の実施例による感光性樹脂滴下量と異物の関係
を従来例と比較して示した図である。前述と同様な条件
で、感光性樹脂を塗布した場合に、従来のスピンコート
のみの例では、３０ｇ以上の感光性樹脂が必要であり、
感光性樹脂滴下量が増加するにしたがって、異物数が増
えていることが分かる。この異物は、塗布に必要な感光
性樹脂量に比べて遙かに余分な感光性樹脂をスピンナカ
ップに持込み、その感光性樹脂が飛散することにより基
板上に再付着するものである。この実施例では、感光性
樹脂滴下量が３０ｇ以下で済み、異物数は殆ど認められ
ない。

【００７８】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
ればスピン塗布する前に、予め所定の厚さに粘性液体を
スキージにより引き延ばしておくので、従来の粘性液体
の使用量に比較して大幅に減少させることができる。ま
た、膜厚のバラツキを少なく塗布面の全面にわたり薄
く、かつ、均一に塗膜を形成することができる。したが
って、高価な感光性樹脂を塗布するような場合に、材料
費の大幅なコストダウンを図ることができる。

【００７９】また、本発明にれば、従来均一に塗膜を形
成することが困難であった水溶性感光性樹脂を均一に塗
布することができるので、溶剤系感光性樹脂を使用する
場合に必要な溶剤回収装置等の必要がなく、コストダウ
ンに有利である。さらに、本発明によりカラーフィルタ
を製造した場合には、輝度ムラや色の濃度ムラのない極
めて高品質なカラーフィルタを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は、本発明による粘性液体の塗布方法の
実施例を示したブロック図である。

【図２】 図２は、本発明による粘性液体の塗布装置の
第１の実施例を示した斜視図である。

【図３】 図３は、本発明による粘性液体の塗布装置の
第２の実施例を示した図である。

【図４】 図４は、本発明による粘性液体の塗布装置の
第２の実施例を示した図である。

【図５】 図５は第２の実施装置の動作シーケンスを説
明するための線図である。図６〜図１５は

【図６】 図６は、本発明による粘性液体の塗布装置の
第３の実施例を示した図であって、その主要部の平面図
である。

【図７】 図７は、図６のVII 〜VII での断面図であ
る。

【図８】 図８は、図６のVIII〜VIIIでの断面図であ
る。

【図９】 図９は、図６のスピンチャックの一部を示し
た平面図である。

【図１０】 図１０は、図９の側断面図である。

【図１１】 図１１は、塗布ノズルを示した図である。

【図１２】 図１２は、スキージを示した図である。

【図１３】 図１３は、図１２のスキージの部分拡大図
である。

【図１４】 図１４は、図１２のスキージの変形例を示
した部分拡大図である。

【図１５】 図１５はスキージ洗浄槽を示した平面図で
ある。

【図１６】 図１６はスキージ洗浄槽の側断面図であ
る。

【図１７】 図１７は、本発明による粘性液体の塗布装
置の第３の実施例の特性を説明するための図であって、
基板・スキージ間ギャップ量と感光性樹脂最小滴下量の
関係を示した図である。

【図１８】 図１８は、本発明による粘性液体の塗布装
置の第３の実施例の特性を説明するための図であって、
スキージ送り速度と感光性樹脂最小滴下量の関係を示し
た図である。

【図１９】 図１９は、本発明による粘性液体の塗布装
置の第３の実施例の塗布プロセスを説明するための工程
図である。

【図２０】 図２０は、図１９の部分拡大図である。

【図２１】 図２１は、図１９の部分拡大図である。

【図２２】 図２２は、本発明による粘性液体の塗布装
置の第３の実施例をカラー（色分解）フィルタを製造す
る場合の工程を示した工程図である。

【図２３】 図２３は、本発明による粘性液体の塗布装
置の第３の実施例をカラー（色分解）フィルタを製造す
る場合の工程を示した工程図である。

【図２４】 図２４は、本発明による粘性液体の塗布装
置の第３の実施例の膜厚分布特性を示した図である。

【図２５】 図２５は、従来例における膜厚分布特性を
示した図である。

【図２６】 図２６は、本発明による粘性液体の塗布装
置の第３の実施例の膜厚分布特性を示した図である。

【図２７】 図２７は、従来例における膜厚分布特性を
示した図である。

【図２８】 図２８は、本発明による粘性液体の塗布装
置の第３の実施例による感光性樹脂滴下量と異物の関係
を従来例と比較して示した図である。

【図２９】 図２９は、従来のスピンコート法およびロ
ールコート法の問題点を説明するための図である。

【図３０】 図３０は、従来のスピンコート法およびロ
ールコート法の問題点を説明するための図である。

【図３１】 図３１は、従来のスピンコート法およびロ
ールコート法の問題点を説明するための図である。

【図３２】 図３２は、従来のスピンコート法およびロ
ールコート法の問題点を説明するための図である。

【図３３】 図３３は、従来のスピンコート法およびロ
ールコート法の問題点を説明するための図である。

【図３４】 図３４は、従来のスピンコート法およびロ
ールコート法の問題点を説明するための図である。

【符号の説明】

１０…スキージ塗布工程、１２…スピン塗布工程、１４
…スキージ塗布部、１６…載置台、１８…塗布ノズル、
２０…移動台、２２…スキージ、２４…移動台、２６…
スキージ洗浄槽、２８…スピン塗布部、３０…スピンチ
ャック、３２…スピンカップ、３４…基板、３６…感光
性樹脂

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 飯田 満 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−246820（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−313159（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−153755（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−3139（ＪＰ，Ａ) 実公 昭62−18282（ＪＰ，Ｙ１) 実公 昭57−40117（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B05C 11/02 - 1/04 B05C 11/08,11/10 G02B 5/20 101 G03F 7/16 B05D 1/40

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塗布対象物の塗布面への顔料分散感光性
   樹脂の塗布方向と直交する方向に直線状部材を顔料分散
   感光性樹脂を介して配置し、前記直線状部材を使用して
   前記顔料分散感光性樹脂を引き延ばして前記塗布対象物
   の塗布面の一部または全面に前記顔料分散感光性樹脂を
   塗布する塗布機構から構成された第１塗布部と、 該第１塗布部で塗布された顔料分散感光性樹脂を遠心力
   により塗布対象物の被塗布面の全面に均一に分散させる
   第２塗布部とからなり、第１塗布部における塗布対象物
   の塗布面と直線状部材との間隔を所定の間隔に設定する
   機構を設けた顔料分散感光性樹脂の塗布装置において、
   第１塗布部における直線状部材を洗浄する洗浄部を設け
   たことを特徴とする顔料分散感光性樹脂の塗布装置。
2. 【請求項２】 洗浄部が、洗浄槽と洗浄ブラシと拭き取
   りローラより構成されることを特徴とする請求項１記載
   の顔料分散感光性樹脂の塗布装置。
3. 【請求項３】 洗浄部が、洗浄液を給水する給水管と洗
   浄後の排水を行なう排水管とを配設した洗浄槽より構成
   されることを特徴とする請求項１または請求項２記載の
   顔料分散感光性樹脂の塗布装置。